JP3680229B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、磁気軸受装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気軸受装置を使用した工作機械用スピンドル装置などの高速回転機械として、主軸などの回転体の軸方向(アキシアル方向)の2箇所がラジアル磁気軸受によって径方向(ラジアル方向)に非接触支持され、軸方向の1箇所がアキシアル磁気軸受によって軸方向に非接触支持されたものが知られている。
【0003】
上記のような高速回転機械に使用されるラジアル磁気軸受装置の1例が図1および図2に示されている。図1はラジアル磁気軸受装置の機械的部分の横断面図、図2はその制御部分のブロック図である。なお、以下の説明において、軸方向の軸をZ軸、Z軸と直交するとともに互いに直交する2つの径方向の軸をX軸およびY軸とする。ラジアル磁気軸受装置は回転体の軸方向の1箇所をX軸方向およびY軸方向に非接触支持するものであるが、図2にはX軸方向の制御部分だけが示されている。
【0004】
図1に示すように、ラジアル磁気軸受装置は、回転体(1) をX軸方向およびY軸方向に非接触支持する1組のラジアル磁気軸受(2) を備えている。磁気軸受(2) は、回転体(1) をX軸方向の両側から挟んで外向きに吸引する1対のX軸電磁石(2xa)(2xb)と、回転体(1) をY軸方向の両側から挟んで外向きに吸引する1対のY軸電磁石(2ya)(2yb)とを備えている。各X軸電磁石(2xa)(2xb)の近傍に、回転体(2) をX軸方向の両側から挟んで回転体(2) とのX軸方向の空隙の大きさを検出する1対のX軸変位センサ(3xa)(3xb)が設けられ、各Y軸電磁石(2ya)(2yb)の近傍に、回転体(2) をY軸方向の両側から挟んで回転体(2) との空隙の大きさを検出する1対のY軸変位センサ(3ya)(3yb)が設けられている。
【0005】
図2に示すように、ラジアル磁気軸受装置のX軸方向の制御部分は、X軸変位検出装置(4x)、電磁石制御装置(5x)および電力増幅器(6xa)(6xb)を備えている。変位検出装置(4x)は、上記の2個のX軸変位センサ(3xa)(3xb)と、演算部(7x)とを備えており、演算部(7x)が、センサ(3xa)(3xb)の出力から回転体(1) のX軸方向の変位を求めて、X軸変位信号Vx を出力する。電磁石制御装置(5x)は、変位検出装置(4x)の出力信号である変位信号Vx に基づいて各X軸電磁石(2xa)(2xb)の駆動電流をそれぞれ制御するための位置制御信号Vcxa'、Vcxb'を出力する。各位置制御信号Vcxa'、Vcxb'は、そのまま電磁石制御信号Vcxa 、Vcxb として対応する各電力増幅器(6xa)(6xb)に入力する。各電力増幅器(6xa)(6xb)は、電磁石制御信号Vcxa 、Vcxb を増幅して各X軸電磁石(2xa)(2xb)にそれぞれ駆動電流Icxa 、Icxb を供給する。そして、2個の電磁石(2xa)(2xb)にそれぞれ駆動電流Icxa 、Icxb が供給されることにより、各電磁石(2xa)(2xb)にX軸方向外向きの磁気吸引力が発生して、回転体(1) にX軸方向の磁気力Fcxが作用し、これにより回転体(1) がX軸方向の所定位置に非接触支持される。
【0006】
ラジアル磁気軸受装置のY軸方向の制御部分も、図2のX軸方向の制御部分と同様の構成を有する。
【0007】
上記のような高速回転機械に使用されるアキシアル磁気軸受装置の1例が図3および図4に示されている。図3はアキシアル磁気軸受装置の機械的部分の縦断面図、図4はその制御部分のブロック図である。
【0008】
図3に示すように、アキシアル磁気軸受装置は、回転体(1) をZ軸方向に非接触支持する1組のアキシアル磁気軸受(8) を備えている。磁気軸受(8) は、回転体(1) のフランジ部(1a)をZ軸方向の両側から挟んで反対向きに吸引する1対のZ軸電磁石(8za)(8zb)を備えている。回転体(1) の端面の近傍に、この端面とのZ軸方向の空隙の大きさを検出する1個のZ軸変位センサ(3z)が設けられている。
【0009】
図4に示すように、アキシアル磁気軸受装置の制御部分は、Z軸変位検出装置(4z)、電磁石制御装置(5z)および電力増幅器(6za)(6zb)を備えている。変位検出装置(4z)は、上記の1個のZ軸変位センサ(3z)と、演算部(7z)とを備えており、演算部(7z)が、センサ(3z)の出力から回転体(1) のZ軸方向の変位を求めて、Z軸変位信号Vz を出力する。電磁石制御装置(5z)は、変位検出装置(4z)の出力信号である変位信号Vz に基づいて各Z軸電磁石(8za)(8zb)の駆動電流をそれぞれ制御するための位置制御信号Vcza'、Vczb'を出力する。各位置制御信号Vcza'、Vczb'は、そのまま電磁石制御信号Vcza 、Vczb として対応する各電力増幅器(6za)(6zb)に入力する。各電力増幅器(6za)(6zb)は、電磁石制御信号Vcza 、Vczb を増幅して各Z軸電磁石(8za)(8zb)にそれぞれ駆動電流Icza 、Iczb を供給する。そして、2個の電磁石(8za)(8zb)にそれぞれ駆動電流Icza 、Iczb が供給されることにより、各電磁石(8za)(8zb)にZ軸方向反対向きの磁気吸引力が発生して、回転体(1) にZ軸方向の磁気力Fczが作用し、これにより回転体(1) がZ軸方向の所定位置に保持される。
【0010】
上記のようなラジアル磁気軸受装置およびアキシアル磁気軸受装置を備えた高速回転機械において、回転中の回転体(1) には、各磁気軸受装置による磁気力の他に外乱が作用する。図2において、外乱のX軸成分をFdxで示し、図4において、外乱のZ軸成分をFdzで示している。X軸方向については、磁気力Fcxと外乱のX軸成分Fdxを合わせた力Fx が回転体(1) に作用する。Y軸方向についても同様である。Z軸方向については、磁気力Fczと外乱のZ軸成分Fdzを合わせた力Fz が回転体(1) に作用する。
【0011】
外乱には種々のものがあるが、周期性を持つものが多い。
【0012】
径方向の外乱として、たとえば、回転体(1) のアンバランスによるものがある。この場合、定格回転時の回転体にそのアンバランス量に比例した振れ回りが発生し、これが回転精度や制御の安定性に悪影響を及ぼすことが多い。その解決方法として、たとえば、回転センサにより回転数に比例した参照信号を発生させ、この参照信号を基に、回転数に同期した信号のみを制御しないようにしたいわゆる慣性中心制御が知られている。ところが、この場合は、エンコーダなどの回転センサが別に必要になり、他の回転数領域で使用したときには外乱を抑制することができない。また、一定の周波数(回転数)についてのみ軸受剛性を大きくするいわゆるピークオブゲイン制御も知られているが、この場合も、他の回転数領域で使用したときには外乱を抑制することができない。
【0013】
一方、回転体が高速になると、回転体の固有振動数(剛性モード、1次曲げモード、2次曲げモード)は回転数の上昇とともに変化しかつ分岐するという特性すなわちジャイロ作用を有する。そして、各固有振動数に相当する回転数において、外乱などによるジャイロ振動が発生する。このため、ある状態における固有振動数に対する補償を行なったとしても、他の状態における固有振動数に相当する振動数においてジャイロ振動が発生する。高速回転する回転体については、実際の回転数と固有振動数との差をできるだけ大きくする必要があるが、上記のような事情より、回転数を高くすることは困難である。
【0014】
軸方向の外乱として、たとえば、磁気軸受装置を研削盤などの工作機械のスピンドル装置に使用する場合が考えられる。研削盤のスピンドル装置では、主軸(回転体)に軸方向に一定周波数のオシレーション(振動)を与えて加工を行なう場合が多いが、オシレーション周波数が軸受剛性の低い領域に設定されることがあり、その場合、軸受の剛性不足により主軸が軸方向に大きく振動し、加工精度に悪影響を及ぼすことがある。その対策として、前記のピークオブゲイン制御が知られているが、この場合は、前記のように、他の回転数領域で使用したときには外乱を抑制することができない。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の目的は、上記の問題を解決し、周期性外乱の周波数が変化しても常にその影響を軽減でき、どの回転数領域においても安定性の高い運転が可能で、高速回転が可能になる磁気軸受装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明による磁気軸受装置は、回転体を非接触支持する複数の電磁石を有する磁気軸受と、前記回転体の変位を検出する変位検出手段と、前記変位検出手段の出力信号に基づいて前記磁気軸受の電磁石の駆動電流を制御するための位置制御信号を出力する電磁石制御手段と、前記変位検出手段の出力信号から周期性外乱の周波数を推定してこの周期性外乱を抑制するための外乱抑制信号を出力する外乱抑制制御手段と、前記位置制御信号と前記外乱抑制信号を加算して電磁石制御信号を前記電磁石に供給する加算手段とを備えており、前記外乱抑制制御手段が、推定した周期性外乱の周波数ωおよび誤差信号eを処理して式( C1 )および( C2 )によりn 1( t ) およびn 2( t ) を計算する同期エネルギ計算手段と、前記n 1( t ) およびn 2( t ) から式( C3 )および( C4 )により制御入力rのフーリエ係数α ( k+1 ) およびβ ( k+1 ) を計算するフーリエ係数計算手段と、前記フーリエ係数から式( C5 )により制御入力rを求めて外乱抑制信号を生成する信号生成手段とを備えていることを特徴とするものである。
n 1( t ) =0.5〔Aαcos ( θ ) +α d −Aβsin ( θ ) 〕……( C1 )
n 2( t ) =0.5〔Aβcos ( θ ) +β d −Aαsin ( θ ) 〕……( C2 )
α ( k+1 ) =α ( k ) −μ 1( k+1 ) n 1( k ) ……( C3 )
β ( k+1 ) =β ( k ) −μ 2( k+1 ) n 2( k ) ……( C4 )
r=α ( k+1 ) sin ( ωt ) +β ( k+1 ) cos ( ωt ) ……( C5 )
ただし、式( C1 )および( C2 )において、θは位相角である。
式( C3 )および( C4 )において、μ i はステップサイズである。また、n 1( k+1 ) およびn 2( k+1 ) は、次の式( C6 )および( C7 )で表わされる。
n 1( k+1 ) =n 1( k )
+0.5A〔μ 2( k+1 ) n 2( k ) sin ( θ )
−μ 1( k+1 ) n 1( k ) cos ( θ ) 〕……( C6 )
n 2( k+1 ) =n 2( k )
−0.5A〔μ 2( k+1 ) n 2( k ) cos ( θ )
+μ 1( k+1 ) n 1( k ) sin ( θ ) 〕……( C7 )
式( C6 )および( C7 )において、μ 1( k+1 ) およびμ 2( k+1 ) は、次の式( C8 )および( C9 )で表わされる。
μ 1( k+1 ) =μ 1( k ) sgn〔n 1 2 ( k−1 ) −n 1 2 ( k ) 〕……( C8 )
μ 2( k+1 ) =μ 2( k ) sgn〔n 2 2 ( k−1 ) −n 2 2 ( k ) 〕……( C9 )
【0017】
周期性外乱の周波数を推定し、上記のような同期エネルギ計算手段、フーリエ係数計算手段および信号生成手段によりこの周期性外乱を抑制するための外乱抑制信号を生成して出力し、これを位置制御信号に加算して電磁石制御信号として電磁石に供給するため、外乱の周波数が変化しても、常にその影響を低減することができる。このため、どの回転数領域においても、外乱による回転体の振動を抑制して、安定性の高い制御ができ、高速回転が可能になる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、図5〜図11を参照して、この発明の実施形態について説明する。
【0019】
図5は、この発明をラジアル磁気軸受装置に適用した第1実施形態を示している。図5は従来技術を示す図2に相当するものであり、図2のものと同じ部分には同一の符号を付している。また、第1実施形態におけるラジアル磁気軸受装置の機械的部分の構成は、図1に示す従来技術と同じである。
【0020】
第1実施形態において、X軸変位検出装置(4x)は回転体(1) のX軸方向の変位を検出するX軸変位検出手段を、電磁石制御装置(5x)は変位検出装置(4x)の出力信号である変位信号Vx に基づいて各X軸電磁石(2xa)(2xb)の駆動電流Icxa 、Icxb をそれぞれ制御するための位置制御信号Vcxa'、Vcxb'を出力するX軸電磁石制御手段をそれぞれ構成している。
【0021】
第1実施形態の場合、ラジアル磁気軸受装置のX軸方向の制御部分において、外乱抑制制御手段としての外乱抑制制御装置(9x)が電磁石制御装置(5x)と並列に設けられている。外乱抑制制御装置(9x)は、後に詳しく説明するように、変位信号Vx から周期性外乱の周波数を推定し、この周期性外乱を抑制するための外乱抑制制御信号Vrxa 、Vrxb を出力する。外乱抑制制御装置(9x)は、DSP(ディジタル信号処理プロセッサ)を備えている。ディジタル信号処理プロセッサ(Digital Signal Processor)とは、ディジタル信号を入力してディジタル信号を出力し、ソフトウェアプログラムが可能で、高速実時間処理が可能な専用ハードウェアを指す。そして、後に説明する外乱抑制制御装置(9x)における処理は、DSPのプログラムを実行することにより行なわれる。電磁石制御装置(5x)からの一方の位置制御信号Vcxa'と外乱抑制制御装置(9x)からの一方の外乱抑制制御信号Vrxa とは、加算手段を構成する一方の加算器(10xa)により加算され、電磁石制御信号Vcxa として一方の電力増幅器(6xa) に供給される。電磁石制御装置(5x)からの他方の位置制御信号Vcxb'と外乱抑制制御装置(9x)からの他方の外乱抑制制御信号Vrxb とは、加算手段を構成する他方の加算器(10xb)により加算され、電磁石制御信号Vcxb として他方の電力増幅器(6xb) に供給される。他は、図1および図2の従来技術の場合と同様である。
【0022】
次に、図6および図7のフローチャートを参照して、外乱抑制制御装置(9x)の動作の1例を説明する。
【0023】
図6において、まず、X軸変位信号Vx のサンプリングを所定時間行う(ステップ101 )。そして、このサンプリング結果に基づいて、周期性外乱の周波数ωの推定を行う(ステップ102 )。
【0024】
次に、ωの推定アルゴリズムの1例について説明する。
【0025】
このアルゴリズムは、周期がτ* である信号d(t)を考え、次の式(1) で表わされる評価関数J(τ)の勾配最小化法に基づいた方法である。
【0026】
【数1】
ここで、Tmax >τ* である。式(1) より、直観的に、τがd(t)の周期と一致すれば、評価関数Jは最小で、0となる。そして、この評価関数Jを最小にする連続的な勾配適応アルゴリズムは次の式(2) のように与えられる。
【0027】
【数2】
サンプリング時間をΔTとすると、Tmax とτはΔTで次の式(3) のように表わされる。
【0028】
Tmax =LΔT,τ=ηΔT …… (3)
ただし、Lは整数で、ηは実数である。実数ηの整数部分を|η|と定義すると、ηと隣接の両整数は|η|と(|η|+1)である。
【0029】
サンプリング時間がΔTである離散データ(d1 ,・・・・,dL ,・・・・,d2L+2)に対して、η=τ/ΔTは整数ではないので、点τにおいて評価関数を次の式(4) および式(5) のように近似できる。
【0030】
【数3】
また、上記の両整数点における評価関数Jの偏微分は、次の式(6) および式(7) のように表わされる。
【0031】
【数4】
そして、点τ=ηΔTにおける評価関数Jの偏微分は、上記の点|η|ΔTと(|η|+1)ΔTにおける評価関数Jの偏微分の線形補間により次の式(8) のように求められる。
【0032】
【数5】
この式(8) を用いて、前記の式(2) は次の式(9) のように書き直せる。
【0033】
【数6】
次に、図7のフローチャートを参照して、上記のω推定のアルゴリズムについて説明する。
【0034】
図7において、まず、前記の式(1) で表わされる評価関数Jについて、前記の式(6) および式(7) を用いて、点|η|ΔTと点(|η|+1)ΔTにおける偏微分を計算する(ステップ201 )。次に、これらの偏微分の計算値と前記の式(8) を用いて、線形補間により、点ηδTにおけるJの偏微分を計算する(ステップ202 )。次に、前記の式(9) を用いて、η(t)の更新値η(t+1)を計算する(ステップ203 )。次に、Jと微小値εとを比較し(ステップ204 )、Jがε以上であれば、ステップ201 に戻り、ステップ201 〜204 を繰返す。ステップ204 において、Jがεより小さければ、ステップ205 に進み、次の式(10)を用いて、周期τを計算する。そして、このτを周波数ωに換算し(ステップ206 )、処理を終了する。
【0035】
図6において、ステップ102 の周波数ωの推定が終了したならば、外乱抑制信号を生成するために、ステップ103 以下の処理を行う。この処理について説明する前に、図8〜図10を参照して、外乱抑制信号生成の原理について説明する。
【0036】
図8は、制御系の全体構成を概略的に示している。図8において、(11)は制御対象であり、第1実施形態のラジアル磁気軸受(2) に相当する。(12)は、第1実施形態の外乱抑制制御装置(9x)に相当する外乱抑制制御装置である。dは、第1実施形態の外乱Fdxに相当する外乱である。eは制御対象(11)の出力である誤差信号であり、第1実施形態の変位信号Vx に相当する。rは外乱抑制制御装置(12)の出力信号すなわち制御対象(11)への制御入力であり、第1実施形態の外乱抑制制御信号Vrxa 、Vrxb に相当する。
【0037】
図9は外乱抑制制御装置(12)においてDSPのプログラムを実行することにより行われている処理をブロック図で表わしたものであり、制御装置(12)における処理は同期エネルギ計算手段(13)、フーリエ係数計算手段(14)および信号生成手段(15)より構成されている。
【0038】
図10は同期エネルギ計算手段(13)における処理をブロック図で表わしたものであり、この手段(13)における処理は2つの乗算器(16)(17)と2つの低域通過フィルタ(18)(19)より構成されている。
【0039】
外乱dを次の式(10)にように与え、制御対象(11)の伝達関数G(s)が次の式(11)のようであるとする。
【0040】
d=αd sin(ωt)+βd cos(ωt) …… (10)
G(jw)=Aej θ …… (11)
すると、制御対象(11)への制御入力rは次の式(12)にように与えられる。
【0041】
r=α(t)sin(ωt)+β(t)cos(ωt) …… (12)
制御入力rに対して、制御対象(11)の定常出力yと誤差信号eは次の式(13)および式(14)のようになる。
【0042】
y=A〔α(t)sin(ωt+θ)+β(t)cos(ωt+θ)〕…… (13)
e=A〔α(t)sin(ωt+θ)+β(t)cos(ωt+θ)〕+αd sin(ωt)+βd cos(ωt) …… (14)
同期エネルギ計算手段(13)は、誤差信号eを処理して、n1 (t)およびn2 (t)を生成する。一方の乗算器(16)において、e(t)とsin(ωt)との積が演算され、この積e(t)sin(ωt)が一方のフィルタ(18)に通されて、その出力としてn1 (t)が生成される。同様に、他方の乗算器(17)において、e(t)とcos(ωt)との積が演算され、この積e(t)cos(ωt)が他方のフィルタ(19)に通されて、その出力としてn2 (t)が生成される。フィルタ(18)(19)のカットオフ周波数ωB は、ωB <<2ωの関係を満たすように選ばれる。ここで、ゲインの非常に小さい高周波成分を無視すると、定常状態のフィルタ(18)(19)の出力は近似的に次の式(15)および式(16)にように表わされる。
【0043】
n1 (t)=0.5〔Aαcos(θ)+αd −Aβsin(θ)〕…… (15)
n2 (t)=0.5〔Aβcos(θ)+βd −Aαsin(θ)〕…… (16)
一般に、位相角θは未知であるから、制御入力rのフーリエ係数α(k)とβ(k)は次の式(17)および式(18)のようになる。
【0044】
α(k+1)=α(k)−μ1 (k+1)n1 (k) …… (17)
β(k+1)=β(k)−μ2 (k+1)n2 (k) …… (18)
ここで、μi はステップサイズである。また、n1 (k+1)およびn2 (k+1)は、次の式(19)および式(20)のようになる。
【0045】
ただし、μ1 (k+1)およびμ2 (k+1)は、次の式(21)および式(22)のとおりである。
【0046】
μ1 (k+1)=μ1 (k)sgn〔n1 2 (k−1)−n1 2 (k)〕…… (21)
μ2 (k+1)=μ2 (k)sgn〔n2 2 (k−1)−n2 2 (k)〕…… (22)
上式は非線形系であるが、一定の条件下でこの非線形系が漸近安定であることがわかっている。また、前記の式(15)、式(16)および式(14)より、n1 (t)とn2 (t)が0に収束すると、誤差信号e(t)は0に収束することがわかる。
【0047】
図6において、ステップ103 で、sin(ωt)の計算が行われる。次に、Vx とsin(ωt)の積が演算され(ステップ104 )、この積Vx sin(ωt)が低域通過フィルタ(18)に通されて、n1 (t)、n1 (k)が求められる(ステップ105 )。次に、n1 2 が演算されて、これがY1 とされる(ステップ106 )。次に、Y1 (k)とY1 (k−1)とが比較され(ステップ107 )、Y1 (k)がY1 (k−1)より大きければ、ステップ108 に進み、そうでなければ、ステップ109 に進む。ステップ108 では、次の式(23)によりμ1 (k+1)を求め、ステップ110 に進む。
【0048】
μ1 (k+1)=−μ1 (k) …… (23)
ステップ109 では、次の式(24)によりμ1 (k+1)を求め、ステップ110 に進む。
【0049】
μ1 (k+1)=μ1 (k) …… (24)
上記のステップ103 〜ステップ109 が実行されている間に、同時に、同様のステップ111 〜ステップ117 が実行される。
【0050】
ステップ111 では、cos(ωt)の計算が行われる。次に、Vx とcos(ωt)の積が演算され(ステップ112 )、この積Vx cos(ωt)が低域通過フィルタ(19)に通されて、n2 (t)、n2 (k)が求められる(ステップ113 )。次に、n2 2 が演算されて、これがY2 とされる(ステップ114 )。次に、Y2 (k)とY2 (k−1)とが比較され(ステップ115 )、Y2 (k)がY2 (k−1)より大きければ、ステップ116 に進み、そうでなければ、ステップ117 に進む。ステップ116 では、次の式(25)によりμ2 (k+1)を求め、ステップ110 に進む。
【0051】
μ2 (k+1)=−μ2 (k) …… (25)
ステップ117 では、次の式(26)によりμ2 (k+1)を求め、ステップ110 に進む。
【0052】
μ2 (k+1)=μ2 (k) …… (26)
ステップ110 では、前記の式(17)および式(18)によりα(k+1)およびβ(k+1)が求められ、これらを用いて、次の式(27)により制御入力rが計算される(ステップ111 )。
【0053】
r=α(k+1)sin(ωt)+β(k+1)cos(ωt) …… (27)
そして、このrから外乱抑制制御信号Vrxa 、Vrxb が生成され、加算器(10xa)(10xb)に供給される。
【0054】
第1実施形態では、外乱抑制制御装置(9x)において、周期性外乱の周波数を推定してこの周期性外乱を抑制するための外乱抑制信号Vrxa 、Vrxb を出力し、加算器(10xa)(10xb)において、外乱抑制信号Vrxa 、Vrxb を位置制御信号Vcxa'、Vcxb'に加算し、それを電磁石制御信号Vcxa 、Vcxb として電力増幅器(6xa)(6xb)に供給し、これにより電磁石(2xa)(2xb)の駆動電流Icxa 、Icxb を制御しているため、外乱の周波数が変化しても、常にその影響を低減することができる。このため、どの回転数領域においても、外乱による回転体(1) の振動を抑制して、安定性の高い制御ができ、高速回転が可能になる。
【0055】
図11は、この発明をアキシアル磁気軸受装置に適用した第2実施形態を示している。図11は従来技術を示す図4に相当するものであり、図4のものと同じ部分には同一の符号を付している。また、第2実施形態におけるアキシアル磁気軸受装置の機械的部分の構成は、図3に示す従来技術と同じである。
【0056】
第2実施形態において、Z軸変位検出装置(4z)は回転体(1) のZ軸方向の変位を検出するZ軸変位検出手段を、電磁石制御装置(5z)は変位検出装置(4z)の出力信号である変位信号Vz に基づいて各Z軸電磁石(8za)(8zb)の駆動電流Icza 、Iczb をそれぞれ制御するための位置制御信号Vcza'、Vczb'を出力するZ軸電磁石制御手段をそれぞれ構成している。
【0057】
第2実施形態の場合、アキシアル磁気軸受装置の制御部分において、外乱抑制制御手段としての外乱抑制制御装置(9z)が電磁石制御装置(5z)と並列に設けられている。外乱抑制制御装置(9z)は、第1実施形態における外乱抑制制御装置(9x)と同様の構成を有し、前記同様に、変位信号Vz から周期性外乱の周波数ωを推定し、この周期性外乱を抑制するための外乱抑制制御信号Vrza 、Vrzb を出力する。電磁石制御装置(5z)からの一方の位置制御信号Vcza'と外乱抑制制御装置(9z)からの一方の外乱抑制制御信号Vrza とは、加算手段を構成する一方の加算器(10za)により加算され、電磁石制御信号Vcza として一方の電力増幅器(6za) に供給される。電磁石制御装置(5z)からの他方の位置制御信号Vczb'と外乱抑制制御装置(9z)からの他方の外乱抑制制御信号Vrzb とは、加算手段を構成する他方の加算器(10zb)により加算され、電磁石制御信号Vczb として他方の電力増幅器(6xb) に供給される。他は、図3および図4の従来技術ならびに第1実施形態の場合と同様である。
【0058】
回転体が2組のラジアル磁気軸受と1組のアキシアル磁気軸受で非接触支持されて高速回転させられる高速回転機械にこの発明を適用する場合、回転体のアンバランスなどによる径方向の振れ回りだけが問題になるときは、2組のラジアル磁気軸受を第1実施形態のように構成すればよい。このようにすれば、どの回転数領域においても、外乱による回転体の径方向の振動を抑制することができる。そして、従来の慣性中心制御の場合のようなエンコーダなどの回転センサを必要としない。また、外乱によりいくつかの固有振動数においてジャイロ振動が現われても、これが短時間で抑制され、安定回転、高速回転が可能となる。また、回転体(主軸)に軸方向に一定周波数のオシレーションを与えて加工を行う研削盤のスピンドル装置に適用するときは、アキシアル磁気軸受を第2実施形態のように構成すればよい。このようにすれば、オシレーション周波数にかかわらずに、オシレーションによる回転体の軸方向の振動を抑制することができ、高精度の加工が可能になる。その場合、ラジアル磁気軸受は従来のものでもよいが、ラジアル磁気軸受も第1実施形態のように構成して径方向の外乱による振動も抑制するようにするのが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、ラジアル磁気軸受装置の機械的構成の1例を示す横断面図である。
【図2】図2は、従来のラジアル磁気軸受装置のX軸方向の制御部分の構成を示すブロック図である。
【図3】図3は、アキシアル磁気軸受装置の機械的構成の1例を示す縦断面図である。
【図4】図4は、従来のアキシアル磁気軸受装置の制御部分の構成を示すブロック図である。
【図5】図5は、本願発明の第1実施形態を示すラジアル磁気軸受装置のX軸方向の制御部分のブロック図である。
【図6】図6は、外乱抑制制御装置の処理の1例を示すフローチャートである。
【図7】図7は、図6の周期性外乱の周波数の推定の部分の処理の1例を示すフローチャートである。
【図8】図8は、外乱抑制制御装置の処理を説明するための制御系のブロック図である。
【図9】図9は、外乱抑制制御装置における処理を示すブロック図である。
【図10】図10は、図9の同期エネルギ計算手段における処理を示すブロック図である。
【図11】図11は、本願発明の第2実施形態を示すアキシアル磁気軸受装置の制御部分のブロック図である。
【符号の説明】
(1) 回転体
(2) ラジアル磁気軸受
(2xa)(2xb) X軸電磁石
(2ya)(2yb) Y軸電磁石
(4x) X軸変位検出装置(X軸変位検出手段)
(4z) Z軸変位検出装置(Z軸変位検出手段)
(5x) X軸電磁石制御装置(X軸電磁石制御手段)
(5z) Z軸電磁石制御装置(Z軸電磁石制御手段)
(8) アキシアル磁気軸受
(8za)(8zb) Z軸電磁石
(9x) X軸外乱抑制制御装置(X軸外乱抑制制御手段)
(9z) Z軸外乱抑制制御装置(Z軸外乱抑制制御手段)
(10xa)(10xb) 加算器(加算手段)
Claims (1)
- 回転体を非接触支持する複数の電磁石を有する磁気軸受と、前記回転体の変位を検出する変位検出手段と、前記変位検出手段の出力信号に基づいて前記磁気軸受の電磁石の駆動電流を制御するための位置制御信号を出力する電磁石制御手段と、前記変位検出手段の出力信号から周期性外乱の周波数を推定してこの周期性外乱を抑制するための外乱抑制信号を出力する外乱抑制制御手段と、前記位置制御信号と前記外乱抑制信号を加算して電磁石制御信号を前記電磁石に供給する加算手段とを備えており、
前記外乱抑制制御手段が、推定した周期性外乱の周波数ωおよび誤差信号eを処理して式( C1 )および( C2 )によりn 1( t ) およびn 2( t ) を計算する同期エネルギ計算手段と、前記n 1( t ) およびn 2( t ) から式( C3 )および( C4 )により制御入力rのフーリエ係数α ( k+1 ) およびβ ( k+1 ) を計算するフーリエ係数計算手段と、前記フーリエ係数から式( C5 )により制御入力rを求めて外乱抑制信号を生成する信号生成手段とを備えていることを特徴とする磁気軸受装置。
n 1( t ) =0.5〔Aαcos ( θ ) +α d −Aβsin ( θ ) 〕……( C1 )
n 2( t ) =0.5〔Aβcos ( θ ) +β d −Aαsin ( θ ) 〕……( C2 )
α ( k+1 ) =α ( k ) −μ 1( k+1 ) n 1( k ) ……( C3 )
β ( k+1 ) =β ( k ) −μ 2( k+1 ) n 2( k ) ……( C4 )
r=α ( k+1 ) sin ( ωt ) +β ( k+1 ) cos ( ωt ) ……( C5 )
ただし、式( C1 )および( C2 )において、θは位相角である。
式( C3 )および( C4 )において、μ i はステップサイズである。また、n 1( k+1 ) およびn 2( k+1 ) は、次の式( C6 )および( C7 )で表わされる。
n 1( k+1 ) =n 1( k )
+0.5A〔μ 2( k+1 ) n 2( k ) sin ( θ )
−μ 1( k+1 ) n 1( k ) cos ( θ ) 〕……( C6 )
n 2( k+1 ) =n 2( k )
−0.5A〔μ 2( k+1 ) n 2( k ) cos ( θ )
+μ 1( k+1 ) n 1( k ) sin ( θ ) 〕……( C7 )
式( C6 )および( C7 )において、μ 1( k+1 ) およびμ 2( k+1 ) は、次の式( C8 )および( C9 )で表わされる。
μ 1( k+1 ) =μ 1( k ) sgn〔n 1 2 ( k−1 ) −n 1 2 ( k ) 〕……( C8 )
μ 2( k+1 ) =μ 2( k ) sgn〔n 2 2 ( k−1 ) −n 2 2 ( k ) 〕……( C9 )
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