JP3670740B2 - 化合物半導体受光素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化合物半導体素子の結晶表面に保護膜を設けた化合物半導体受光素子に関し、特に、保護膜としてAl酸化物を含む2層以上の絶縁膜を設けた化合物半導体受光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
化合物半導体受光素子の結晶表面を保護するために、その表面に保護膜を設けることは、従来から公知であり、特に、保護膜として酸化ケイ素または窒化ケイ素を用いた場合の研究が盛んに行われている。これらに関する研究の中で、pn接合を結晶表面に露出させた構造を有する半導体受光素子においては、表面保護膜の形成前または形成後における結晶表面の酸化、または表面保護膜形成時における結晶表面へのダメージ(欠陥)、もしくは表面保護膜自身の特性不良などに起因する素子特性の劣化が問題とされており、これらについての報告が数多くなされている。
【0003】
例えば、ヒューレット・パッカード ジャーナル(HEWLETT-PACKARD JOURNAL.p69-75 OCTOBER 1989)のR.Sloanによる論文”Processing and Passivasion Techniques for Fabrication of High-Speed InP/InGaAs/InP Mesa Photodetectors”では、メサ型受光素子の結晶表面に対して、酸化ケイ素や窒化ケイ素などの絶縁膜を表面保護膜として被着する試みがなされているが、これらの膜では膜被着後における素子暗電流の劣化がみられることを明らかにしている。また、この報告では、上記結晶表面をポリイミド樹脂膜によって保護することにより、受光素子暗電流の劣化を抑制できることが実験的に示されている。これに関しては、結晶表面保護膜として、ポリイミド樹脂膜を使った化合物半導体受光素子の構造に関する発明が本発明者らによって特許出願されている(特開平4−152579号公報参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記公開公報に開示されているように、化合物半導体受光素子の保護膜としてポリイミド樹脂膜を用いた場合に、受光素子の暗電流の劣化がある程度抑制できるという効果があるが、保護膜としてポリイミド樹脂膜だけを用いた場合には、ポリイミド樹脂膜中を通して吸着される水分もしくは酸素イオンによって結晶表面が酸化され、その結果、暗電流特性に悪影響(素子特性の劣化)を及ぼす恐れがある。そのため、化合物半導体受光素子の結晶表面の保護膜としてさらに好適なものが望まれている。
本発明の目的は、化合物半導体結晶表面に形成する絶縁膜の被着に伴う素子特性の劣化を極力小さく抑えることが可能な構造の保護膜を有する化合物半導体受光素子を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、InP基板上に第1導電型のバッファ層、Gaを含む光吸収層および第2導電型のバッファ層を設けられ、前記基板裏面と前記第2導電型のバッファ層上に一対の電極を設けて電圧を印加できるように構成された化合物半導体受光素子であって、前記積層膜の側面にはpn接合の一部および前記Gaを含む光吸収層の一部が出現しており、それらを含む前記側面にはAlOx (x=1〜15)またはAl2O3からなる第1の絶縁膜が設けられ、前記第1の絶縁膜上には窒化ケイ素膜が設けられることにより前記側面が被覆されていることを特徴としている。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明の化合物半導体受光素子は、pn接合が露出している面入射型または導波型の半導体受光素子部の結晶表面を、AlOx薄膜またはAl2O3薄膜(第1の絶縁膜)と、その上のポリイミド樹脂膜などの絶縁膜(第2の絶縁膜)からなる多層膜で被覆する。この絶縁膜構造を採用することによって、半導体受光素子の暗電流特性を大幅に向上させることができる。
【0007】
次に本発明の実施例を詳細に説明する。
図1は、本発明の化合物半導体受光素子の参考例を説明するための図である。本参考例は、化合物半導体受光素子を面入射型受光素子を用いて構成したものであり、同図はその面入射型受光素子の断面構造を示している。
本参考例における面入射型受光素子は、同図に示されているように、n型InP基板7上に有機金属気相成長法で成長されたp型InGaAs層9、p型InAlAs層11およびアンドープInGaAs/InAlAs超格子層13およびn型InAlAs層15を有する結晶をケミカルエッチングによりメサ型構造にし、その結晶表面にAl2O3薄膜5をEB(Electoron Beam)蒸着法により形成し、その後、ポリイミド樹脂膜3を被着させ、さらに、その上にTi/Au電極1を蒸着によって形成することによって完成される。なお、裏面にはAuGeNi/Pd/Au電極17が形成される。
本参考例では、p型InAlAs層11〜n型InAlAs層15の間でpn接合が形成され、その部分がAl2O3薄膜5(第1の絶縁膜)とポリイミド樹脂膜3(第2の絶縁膜)からなる多層の絶縁膜で被覆されている。
【0008】
図2は、本発明の化合物半導体受光素子の第1の実施例を説明するための図である。本実施例は、化合物半導体受光素子を導波路型受光素子を用いて構成したものであり、同図はその導波路型受光素子の断面構造を示している。
本実施例における導波路型受光素子は、同図に示されているように、p型InP基板21上に分子線エピタキシ成長されたn型InGaAs層29、n型InAlAs層15、n型InAlGaAsSb層23、nマイナス型InAlGaAsSb層25およびn型InAlGaAsSb層27およびp型InAlAs層11を有する結晶表面に、AlOx(x=1〜1.5)薄膜6をEB蒸着法により形成し、その後、更にCVD法により窒化ケイ素膜2を被着させた後、Ti/Pt/Au電極19を形成することによって完成される。なお、裏面には、第1の実施例と同様に、AuGeNi/Pd/Au電極17が形成される。
【0009】
図3は、本発明の化合物半導体受光素子の第2の実施例を説明するための図である。
本実施例は、第1の実施例と同様の層構造(p型InP基板21,p型InAlAs層11,n型InAlGaAsSb層27,nマイナス型InAlGaAsSb層25,n型InAlGaAsSb層23,n型InAlAs層15,n型InGaAs層29)をもった導波路型受光素子を用いたものである。本実施例では、導波路型受光素子の(110)面31の面方位の結晶表面に、Al2O3薄膜5(第1の絶縁膜)をEB(Electoron Beam)蒸着法により被着し、その後CVD法により窒化ケイ素膜2(第2の絶縁膜)を被着させることによって完成される。
【0010】
本発明では、受光素子の半導体にGaを含ませているため、バンドギャップを変化させるなど設計時の余裕度を向上させることができる。
なお、上記第1〜第2の実施例では、結晶表面保護膜としてのAlOx(x=1〜1.5)およびAl2O3薄膜をEB法によって被着しているが、CVD法或いはスパッタリング法もしくはAlを酸化させることによってでも形成でき、同様の構造を形成できる。
【0011】
図4は、面入射型受光素子の暗電流−逆バイアス電圧特性を示す図である。図4において、実線で示された特性は上記参考例で説明したAl2O3薄膜を結晶表面保護膜として有する構造の素子特性であり、点線で示された特性は従来の構造の素子特性である。同図から明らかなように、参考例の構造を有する面入射型受光素子の特性が従来構造の面入射型受光素子の特性に比較して暗電流が激減していることがわかる。
なお、実験の結果、結晶表面保護膜としてAl2O3に代わりAlOx(x=1〜1.5)を用いても同様の効果があることがわかった。
【0012】
図5は、導波路型受光素子の暗電流−逆バイアス電圧特性を示す図である。図5において、実線で示された特性は上記第1の実施例で説明したAlOx(x=1〜1.5)薄膜を結晶表面保護膜として有する構造の素子特性であり、点線で示された特性は従来の構造の素子特性である。同図から明らかなように、第1の実施例の構造を有する導波路型受光素子の特性が従来構造の導波路型受光素子の特性に比較して暗電流が激減していることがわかる。
【0013】
また、本発明の第2の実施例で説明した構造の導波路型受光素子の特性も、図5に示されたのと同様の結果が得られた。これは、外気から直接またはポリイミド膜等を介して吸着される水分もしくは酸素イオンに対して、他の元素と比べても比較的酸素との結束力が大きいAlを有する酸化膜を被着しておくことによって、結晶表面の酸化に起因した素子暗電流の増加を回避しているためと考えられる。
【0014】
上記実施例では表面保護膜を2層の膜(AlOxまたはAl2O3からなる第1の絶縁膜とその上の窒化ケイ素膜などの第2の絶縁膜)にした例を示したが、さらにその上を別の絶縁膜で被覆することによって表面保護膜を3層以上にする構成を採用してもよいことはいうまでもない。
【0015】
【発明の効果】
本発明によれば、pn接合を有する化合物半導体受光素子において、化合物半導体結晶表面を、少なくとも、AlOx薄膜またはAl2O3薄膜からなる絶縁膜(第1の絶縁膜)とその上の窒化ケイ素膜などの絶縁膜(第2の絶縁膜)の多層膜で被覆して結晶表面を保護することによって、素子特性(暗電流特性)の劣化が大幅に改善される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の化合物半導体受光素子の参考例(面入射型受光素子の場合)を説明するための図である。
【図2】 本発明の化合物半導体受光素子の第1の実施例(導波路型受光素子の場合)を説明するための図である。
【図3】 本発明の化合物半導体受光素子の第2の実施例(導波路型受光素子の場合)を説明するための図である。
【図4】 本発明の参考例における面入射型受光素子の暗電流−逆バイアス電圧特性を示す図である。
【図5】 本発明の第1の実施例における導波路型受光素子の暗電流−逆バイアス電圧特性を示す図である。
【符号の説明】
1…Ti/Au電極、2…窒化ケイ素膜、3…ポリイミド樹脂膜、5…Al2O3薄膜、6…AlOx薄膜、7…n型InP基板、9…p型InGaAs層、11…p型InAlAs層、13…アンドープInAlAs/InGaAs超格子層、15…n型InAlAs層、17…AuGeNi/Pd/Au電極、19…Ti/Pt/Au電極、21…p型InP基板、23…n型InAlGaAsSb層、25…nマイナス型InAlGaAsSb層、27…n型InAlGaAsSb層、29…n型InGaAs層、31…(110)面
Claims (1)
- InP基板上に第1導電型のバッファ層、Gaを含む光吸収層および第2導電型のバッファ層を設けられ、前記基板裏面と前記第2導電型のバッファ層上に一対の電極を設けて電圧を印加できるように構成された化合物半導体受光素子であって、
前記積層膜の側面にはpn接合の一部および前記Gaを含む光吸収層の一部が出現しており、それらを含む前記側面にはAlOx (x=1〜1.5)またはAl2O3からなる第1の絶縁膜が設けられ、前記第1の絶縁膜上には窒化ケイ素膜が設けられることにより前記側面が被覆されていることを特徴とする化合物半導体受光素子。
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