JP3666106B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3666106B2 JP3666106B2 JP04356196A JP4356196A JP3666106B2 JP 3666106 B2 JP3666106 B2 JP 3666106B2 JP 04356196 A JP04356196 A JP 04356196A JP 4356196 A JP4356196 A JP 4356196A JP 3666106 B2 JP3666106 B2 JP 3666106B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- amorphous carbon
- film
- fluorinated amorphous
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造方法に関し、さらに詳しくは、フッ素を含む低誘電率のフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
LSI等の半導体装置の高集積化が進展するに伴い、多層配線構造においては同一配線層内の隣り合う配線間の層間絶縁膜の幅が狭まるとともに、異なる上下の配線層間の層間絶縁膜の厚さも薄くなりつつある。かかる配線間隔の縮小により、配線間容量の上昇が問題となりつつある。配線間容量の上昇防止は、高集積度半導体装置の高速動作、低消費電力および低発熱等の諸要請に応えるためには、是非とも解決しなければならない要素技術の1つである。
【0003】
高集積度半導体装置の配線間容量の低減方法として、例えば特開昭63−7650号公報に開示されているように、低誘電率材料の層間絶縁膜への採用が有効である。低誘電率材料としては、フッ素を含む酸化シリコン系絶縁膜(以下SiOFと記す)等の無機系材料が代表的であるが、この他にもシロキサン結合を有する有機SOG(Spin On Glass)、ポリイミド、ポリパラキシリレン(商品名パリレン)、ポリナフタレン等の有機高分子材料や、フレア(アライドシグナル社商品名)あるいはパーフルオロ基含有ポリイミドやフッ化ポリアリルエーテル等のフッ素樹脂系の有機高分子材料がある。これら低誘電率材料については、例えば日経マイクロデバイス誌1995年7月号p.105に紹介されている。
【0004】
これら比誘電率が3.5以下の低誘電率材料層を、隣り合う配線間はもとより、異なるレベルの配線層間にも適用し、しかも低誘電率材料層をSiO2 (比誘電率4)、SiON(比誘電率4〜6)やSi3 N4 (比誘電率6)等の膜質に優れた絶縁膜により挟み込む構造の積層構造の層間絶縁膜を、本願出願人は特願平7−3727号明細書に提案し、低誘電率と高信頼性を合わせ持つ層間絶縁膜を有する半導体装置の可能性を示した。
【0005】
低誘電率材料のうち、無機系のSiOFはその成膜プロセスがSiO2 等従来の無機系層間絶縁膜の成膜プロセスと整合性があることから、現用の製造設備でも容易に採用できるので注目されている。すなわち、一般的にはプラズマCVD法による酸化シリコン系絶縁膜を形成する原料ガス中に、SiF4 を添加することによりSi−F結合を酸化シリコン系絶縁膜中に取り込み、SiOFを形成することができる。しかしながらSiOFは比誘電率が3前後と低減の効果が小さく、次世代以降の高集積度半導体装置への適用には不充分である。
一方、有機系の材料は比誘電率が2〜2.5程度と小さく、次世代半導体装置への適用の期待が大きい。
【0006】
有機系の低誘電率絶縁膜は、被処理基板上に回転塗布等のウェットプロセスにより成膜し、この後保護膜としてSiO2 等の無機系絶縁膜をCVDで成膜するのが一般的である。したがって、複数種類の成膜装置を必要としスループットの低下は避けられない。このため、有機系の低誘電率絶縁膜と、無機系の保護膜とを連続的にCVD成膜する方法が望まれる。
【0007】
かかる観点から、有機系の低誘電率絶縁膜としてフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜(a−C:F)のプラズマCVD方法が、例えば第42回応用物理学関係連合講演会(1995年春季年会)講演予稿集p786、講演番号30p−C−11や、第56回応用物理学会学術講演会(1995年秋季年会)講演予稿集p588、講演番号26a−ZB−6に報告されている。ここに報告されている成膜方法は、CH4 にCF4 を添加した混合ガスによりプラズマCVDを施すもので、膜中のフッ素濃度が上昇するにしたがい比誘電率が低下する特徴を有する。しかしCF4 を用いる方法では、放電解離状態の制御は困難であり、プラズマ中に生成するCFx 系活性種の種別を選択できない。したがって、堆積するa−C:Fの膜質や電気特性等およびそれらの再現性については必ずしも充分な結果が得られなかった。
【0008】
本発明は上述した従来技術に鑑みて提案するものである。すなわち本発明の課題は、低誘電率のフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜をプラズマCVD法により成膜する工程を有する半導体装置の製造方法において、堆積する膜の組成制御とその再現性確保が容易な半導体装置の製造方法を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の製造方法は、上述の課題を解決するために提案するものであり、ヘキサフルオロプロピレンオキサイドを主体とする原料ガスを用いたプラズマCVD法により、被処理基板上にフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜を形成する工程を有することを特徴とするものである。
【0010】
また、本発明のもう一つの半導体装置の製造方法は、ヘキサフルオロ−2−ブチン、ヘキサフルオロ−1,3−ブタジエン、ヘキサフルオロプロペンおよびヘキサフルオロプロピレンオキサイドからなる群から選ばれる少なくとも一種を主体とする原料ガスを用いたプラズマCVD法により、被処理基板上にフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法であって、上記原料ガス中に、さらにN 2 、NH 3 およびN 2 H 4 からなる群から選ばれる少なくとも一種の窒化剤を混合することを特徴とするものである。
【0011】
次に作用の説明に移る。
本発明の要旨は、フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜をプラズマCVD法で形成するにあたり、プラズマ中に生成する解離生成物すなわち前駆体として、CF系化学種あるいはCF2 系化学種を生成しうる特定の化合物を原料ガスとして採用する点にある。
従来例で採用したCF4 ガスは、放電解離によりプラズマ中に主としてCF3 系の化学種を生成し、またその生成量もプラズマの電子密度を高めなければ充分な確保は困難であった。したがってCF4 単独ではフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜の堆積は容易でなく、CH4 等の炭化水素化合物ガスの併用によるカーボン源の供給が別途必要であり、組成制御やその再現性が不充分であった。またカーボン源の混合によりパーティクル発生の懸念もあった。
この点、本発明で採用する特定の化合物は放電解離や加熱により容易にCF系化学種あるいはCF2 系化学種を生成する物質であり、フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜の形成に不可欠な、適量のフッ素とカーボンとが結合した状態の前駆体を供給しうるので、組成制御とその再現性に優れる。
【0012】
【実施例】
以下、本発明の具体的実施例につき図面を参照しながら説明する。以下の実施例はいずれもAl系金属配線上の層間絶縁膜形成工程に本発明を適用した例である。
【0013】
実施例1
本実施例は、フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜のプラズマCVDによる成膜の原料ガスとして、ヘキサフルオロ−1,3−ブタジエン(Hexafluoro−1,3−bytadiene;CF2 =CFCF=CF2 ,bp=6〜7℃)を採用した例であり、このプロセスを図1(a)〜(c)を参照して説明する。
【0014】
本実施例で用いた被処理基板は、図1(a)に示すようにシリコン等の半導体基板1上の層間絶縁膜2上に、Al系金属配線3ガス形成され、さらにTEOSを用いたプラズマCVDにより薄いSiO2 膜(p−TEOS膜)4を例えば50nmの厚さにコンフォーマルに形成したものである。Al系金属配線3の厚さは例えば0.5μm、最小ラインアンドスペースは0.35μmであり、その下面および上面にはバリア層および反射防止層が形成されていてもよい。これらバリア層および反射防止層は、TiやTiNを適宜組み合わせ常法に準じて形成することができる。
【0015】
つぎにプラズマCVD装置として一般的な平行平板型プラズマCVD装置を用い、一例として下記条件によりフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜のプラズマCVDを施す。
CF2 =CFCF=CF2 50 sccm
H2 10 sccm
ガス圧力 100 Pa
RF電源パワー 300 W(13.56MHz)
基板温度 20 ℃
【0016】
フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜の厚さは、Al系金属配線3の上部でで例えば0.3μmの厚さとなるまで形成した。この結果、図1(b)に示すようにAl系金属配線3のスペースをボイドを発生することなくフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜5が平坦に形成された。
この後図1(c)に示すようにTEOSを用いたプラズマCVDにより薄いSiO2 膜6を例えば100nmの厚さに形成し、SiO2 膜4、フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜5およびSiO2 膜6からなる積層構造の層間絶縁膜を完成する。なおSiO2 膜4およびSiO2 膜6はフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜5の膜質を補完するために形成するものであり、Si3 N4 SiONを用いてもよい。また必要がなければこれを省略してもよい。
【0017】
本実施例によれば、ヘキサフルオロ−1,3−ブタジエンはプラズマ中の電子衝突等でCF系化学種とCF2 系化学種に容易に解離し、フッ素を含んだアモルファスカーボン膜を再現性よく成膜することができる。フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜5の比誘電率は2.1であった。
【0018】
実施例2
本実施例は、フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜のプラズマCVDによる成膜の原料ガスとしてヘキサフルオロプロピレンオキサイド(HFPO;Hexafluoropropyleneoxide,bp=−42℃)を採用した例であり、このプロセスを再び図1(a)〜(c)を参照して説明する。
【0019】
本実施例で採用した図1(a)に示す被処理基板は前実施例1と同様であり、重複する説明は省略する。
この被処理基板を同じく平行平板型プラズマCVD装置のアノード電極上に載置し、一例として下記条件によりフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜のプラズマCVDを施す。
HFPO 50 sccm
H2 10 sccm
ガス圧力 100 Pa
RF電源パワー 300 W(13.56MHz)
基板温度 20 ℃
【0020】
フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜の厚さは、Al系金属配線3の上部でで例えば0.3μmの厚さとなるまで形成した。この結果、図1(b)に示すようにAl系金属配線3のスペースをボイドを発生することなくフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜5が平坦に形成された。
【0021】
この後の図1(c)に示す工程は前実施例1と同様であるので、重複する説明は省略する。
【0022】
本実施例によれば、ヘキサフルオロプロピレンオキサイドはプラズマ中の電子衝突等で主としてCF2 系化学種を大量に生成し、フッ素を含んだアモルファスカーボン膜を再現性よく成膜することができる。フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜5の比誘電率は本実施例においても2.1であった。
【0023】
実施例3
本実施例は、フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜のプラズマCVDによる成膜の原料ガスとしてヘキサフルオロ−2−ブチン(Hexafluoro−2−butyne;F3 CC≡CCF3 ,mp=−117℃,bp=−24.6℃)を採用し、これにさらにNH3 を添加してプラズマCVDを施した例であり、これを再度図1(a)〜(c)を参照して説明する。
【0024】
本実施例で採用した図1(a)に示す被処理基板は前実施例1と同様であり、重複する説明は省略する。
この被処理基板を同じく平行平板型プラズマCVD装置のアノード電極上に載置し、一例として下記条件によりフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜のプラズマCVDを施す。
F3 CC≡CCF3 50 sccm
NH3 20 sccm
ガス圧力 100 Pa
RF電源パワー 300 W(13.56MHz)
基板温度 20 ℃
【0025】
フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜の厚さは、Al系金属配線3の上部でで例えば0.3μmの厚さとなるまで形成した。この結果、図1(b)に示すようにAl系金属配線3のスペースをボイドを発生することなく埋め込んで平坦なフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜5が形成された。
この後の図1(c)に示す工程は前実施例1と同様であるので、重複する説明は省略する。
【0026】
本実施例によれば、ヘキサフルオロ−2−ブチンからはプラズマ中の電子衝突等で主としてCF3 系化学種が大量に生成されるが、NH3 の解離によって生成する活性HがCF3 系化学種中のFをスカベンジ(消費)し、この結果CF系化学種やCF2 系化学種が生成され、フッ素と窒素を含んだアモルファスカーボン膜を再現性よく成膜することができる。このとき堆積したフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜5の比誘電率は2.5であった。
【0027】
以上、本発明を3種の実施例により説明したが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。
【0028】
例えば放電解離条件下で、プラズマ中にCF系化学種およびCF2 系化学種のうちのいずれか少なくとも一種を生成しうる化合物としてヘキサフルオロ−2−ブチン、ヘキサフルオロ−1,3−ブタジエン、あるいはヘキサフルオロプロピレンオキサイドを用いたが、ヘキサフルオロプロペン(Hexafluoropropene or Hexafluoropropylene;C3 F6 ,mp=−153℃,bp=−28℃)を用いてもよい。
【0029】
また窒化性ガスとしてNH3 以外にN2 やN2 H4 等を用いてもよく、その他、希釈ガスとしてHe、Ar、Xe等の希ガスを混合して用いてもよい。
【0030】
プラズマCVD装置として、上記実施例で用いた平行平板型の装置の他に、マイクロ波CVD装置、ECR−CVD装置、さらにはヘリコン波プラズマや誘導結合プラズマ(ICP)等の高密度プラズマソースを用いることも可能である。また低圧Hgランプ等のUV光線の利用は原料ガスの解離の促進や、基板ダメージ低減に有用である。また原料ガスの解離促進や前駆体のマイグレーション促進のため、被処理基板や反応空間に超音波を照射して原料ガスの振動、回転や並進エネルギを励起してもよい。
【0031】
前述の各実施例は、Al系金属配線上の層間絶縁膜を形成する場合について例示したが、他の配線材料層を用いる場合や、最終パッシベーション膜として用いる場合、さらにはトレンチアイソレーションをボイドの発生なく平坦に埋め込む場合等に適用することもできることは言うまでもない。
【0032】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によればフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜を安定に再現性よく成膜することが可能となる。
したがって、配線間容量による信号遅延が特に問題となるマイクロプロセッサや高集積度メモリ等の半導体装置を信頼性よく製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1ないし3のプラズマCVDプロセスを、その工程順に説明する概略断面図であり、(a)はAl系金属配線上にSiO2 膜をコンフォーマルに形成した状態、(b)はフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜を形成した状態、(c)は上層のSiO2 膜を形成した状態である。
【符号の説明】
1…半導体基板 2…層間絶縁膜
3…Al系金属配線 4、6…SiO2 膜
5…フッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜
Claims (2)
- ヘキサフルオロプロピレンオキサイドを主体とする原料ガスを用いたプラズマCVD法により、被処理基板上にフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜を形成する工程を有する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - ヘキサフルオロ−2−ブチン、ヘキサフルオロ−1,3−ブタジエン、ヘキサフルオロプロペンおよびヘキサフルオロプロピレンオキサイドからなる群から選ばれる少なくとも一種を主体とする原料ガスを用いたプラズマCVD法により、被処理基板上にフッ素化アモルファスカーボン系絶縁膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法であって、
前記原料ガス中に、さらにN 2 、NH 3 およびN 2 H 4 からなる群から選ばれる少なくとも一種の窒化剤を混合する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04356196A JP3666106B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04356196A JP3666106B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09237783A JPH09237783A (ja) | 1997-09-09 |
JP3666106B2 true JP3666106B2 (ja) | 2005-06-29 |
Family
ID=12667168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04356196A Expired - Fee Related JP3666106B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3666106B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230169654A (ko) | 2022-06-09 | 2023-12-18 | 충남대학교산학협력단 | 고유전 비정질 불소화 탄소 박막, 이의 제조방법 및 이를 이용한 반도체 또는 커패시터 소자 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5989998A (en) | 1996-08-29 | 1999-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of forming interlayer insulating film |
US6149730A (en) * | 1997-10-08 | 2000-11-21 | Nec Corporation | Apparatus for forming films of a semiconductor device, a method of manufacturing a semiconductor device, and a method of forming thin films of a semiconductor |
US6323119B1 (en) * | 1997-10-10 | 2001-11-27 | Applied Materials, Inc. | CVD deposition method to improve adhesion of F-containing dielectric metal lines for VLSI application |
US6624064B1 (en) * | 1997-10-10 | 2003-09-23 | Applied Materials, Inc. | Chamber seasoning method to improve adhesion of F-containing dielectric film to metal for VLSI application |
US6406975B1 (en) * | 2000-11-27 | 2002-06-18 | Chartered Semiconductor Manufacturing Inc. | Method for fabricating an air gap shallow trench isolation (STI) structure |
TW200301238A (en) | 2001-11-08 | 2003-07-01 | Zeon Corp | Gas for plasma reaction, process for producing the same, and use |
JP4413556B2 (ja) | 2003-08-15 | 2010-02-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法、半導体装置の製造方法 |
EP1655772B1 (en) | 2003-08-15 | 2011-09-28 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor device, method for manufacturing semiconductor device and gas for plasma cvd |
CN100433294C (zh) * | 2004-01-13 | 2008-11-12 | 东京毅力科创株式会社 | 半导体装置的制造方法以及成膜系统 |
WO2005069367A1 (ja) * | 2004-01-13 | 2005-07-28 | Tokyo Electron Limited | 半導体装置の製造方法および成膜システム |
KR101173713B1 (ko) | 2004-04-28 | 2012-08-13 | 니폰 제온 가부시키가이샤 | 적층체, 발광 소자 및 그의 사용 |
US20100273326A1 (en) * | 2005-11-30 | 2010-10-28 | Masahiro Nakamura | Method for purifying unsaturated fluorocarbon compound, method for forming fluorocarbon film, and method for producing semiconductor device |
CN101410359B (zh) | 2006-03-31 | 2011-10-26 | 日本瑞翁株式会社 | 制备全氟炔烃化合物的方法 |
CN109761936A (zh) * | 2019-01-18 | 2019-05-17 | 广东电网有限责任公司 | 一种用于制备绝缘介质的化合物及其应用 |
-
1996
- 1996-02-29 JP JP04356196A patent/JP3666106B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230169654A (ko) | 2022-06-09 | 2023-12-18 | 충남대학교산학협력단 | 고유전 비정질 불소화 탄소 박막, 이의 제조방법 및 이를 이용한 반도체 또는 커패시터 소자 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09237783A (ja) | 1997-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3666106B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US6340843B1 (en) | Plasma CVD dielectric film and process for forming the same | |
KR100624566B1 (ko) | 커패시터 상부에 유동성 절연막을 갖는 반도체소자 및 그제조 방법 | |
KR100294376B1 (ko) | 반도체장치 및 절연막 형성방법 | |
EP0701283A2 (en) | Semiconductor device with amorphous carbon layer and method of fabricating the same | |
JPH1154504A (ja) | 積層絶縁体膜の形成方法およびこれを用いた半導体装置 | |
KR100382387B1 (ko) | 플라즈마 처리 방법 | |
KR100292393B1 (ko) | 반도체장치및그제조방법 | |
JP3641869B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2985789B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4015510B2 (ja) | 半導体集積回路の多層配線用層間絶縁膜及びその製造方法 | |
US20060166514A1 (en) | TEOS deposition method | |
JP2004200203A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP3399154B2 (ja) | 積層絶縁膜のプラズマエッチング方法 | |
US8513805B2 (en) | Manufacturing of a semiconductor device and the manufacturing method | |
JP4032447B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH08167601A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH07288251A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2666681B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH1056009A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2001077192A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2011146596A (ja) | 半導体装置の製造方法、半導体装置、及び半導体製造装置 | |
JPH06216122A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2000223485A (ja) | 複合絶縁膜の製造方法及びこれを用いた半導体装置の製造方法 | |
EP1460685A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050328 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080415 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090415 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090415 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100415 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |