JP3663212B2 - フィルターを有するｘ線装置 - Google Patents

Description

本発明はＸ線源と、Ｘ線検出器と、それらの間に配置されるフィルターとからなり、該フィルターはそれぞれのフィルター要素内のＸ線吸収液体の量を制御することにより調整可能なＸ線吸収率を有する複数のフィルター要素からなるＸ線検査装置に関する。
この種のＸ線検査装置はフランス国特許FR2599886から知られている。この知られているＸ線装置は輝度値の両極値間の間隔であるＸ線画像のダイナミックレンジを制限するフィルターからなる。Ｘ線画像はＸ線源とＸ線検出器との間に検査される患者のような対象を配置し、Ｘ線源により放射されたＸ線により該対象を照射することによりＸ線検出器上に形成される。対策がなされない場合にはＸ線画像のダイナミックレンジは大きい。他方で例えば肺組織のような対象のある部分に対してＸ線透過率は高く、一方で例えば骨組織のような対象の他の部分はＸ線によりほとんど透過されない。Ｘ線から検査される対象の部分を遮蔽するためにＸ線源により放射されたＸ線ビームの部分を遮るために用いられる鉛のシャッターは均一で非常に低輝度で画像化される。鉛のシャッターはまた対象を透過しないＸ線がＸ線検出器に到達し、それによりＸ線画像が露出過度を引き起こすのを回避する。更なる対策がとられなければＸ線画像は大きなダイナミックレンジで得られ、他方で例えばＸ線画像内の医学に関する情報はよりずっと小さなダイナミックレンジの輝度変化の中に含まれる；何故ならばそのようなＸ線画像の描写内で低コントラストの小さな詳細を適切に可視的にすることは可能とは言えず、そのようなＸ線画像は診断をなすために非常に有用には用いられ得ないからである。更にまたそのようなＸ線画像が画像増強器撮像チェーンにより検出されるときに問題が生ずる。画像増強器撮像チェーンは入射Ｘ線画像を光画像に変換する画像増強管と光画像から電子画像信号を得るビデオカメラとからなる。Ｘ線画像の非常に高い又は非常に低い輝度の領域からそれぞれ光画像が形成される。更なる対策がなされる場合には光画像のダイナミックレンジは電子画像信号内の攪乱を生じないでビデオカメラにより取り扱い可能な輝度値の範囲より大きい。
Ｘ線画像のダイナミックレンジを制限するために知られているＸ線検査装置はそれぞれが毛細管の内側壁を適切に濡らすＸ線吸収液体を含む貯蔵器にバルブを介して接続される平行な毛細管の束を設けられる。毛細管をＸ線吸収液体で満たすために問題の毛細管のバルブが開かれ、その後で毛細管は毛細管現象によりＸ線吸収液体で満たされる。そのような満たされた毛細管はその長手方向に概略平行な方向に毛細管を通過するＸ線に対する高いＸ線吸収率を有する。バルブは毛細管内のＸ線吸収液体の量が対象フィルター要素の低い吸収の部分を通過するＸ線ビームの一部が高いＸ線吸収率に適合され、対象の高い吸収率の部分を通過または鉛シャッターにより遮られるＸ線ビームの一部にあるフィルター要素が低いＸ線吸収率に適合されるように調整されることを確実にするために制御される。
知られたＸ線検査装置のフィルターの適合を変えるために満たされた毛細管を空にすることがまず必要である。故に磁界の印加により毛細管から除去される常磁性Ｘ線吸収液体が用いられる。全ての毛細管が空にされた後にフィルターは磁界を不作動にし、高いＸ線吸収率にチューブを適合するために新たなフィルター設定に対するＸ線吸収液体で満たされた毛細管のバルブを続いて開くことにより新たに適合される。
知られたフィルターの欠点は例えば１秒間のような短い時間でフィルターの設定を変えることに対してあまり適していないことである。故に知られたＸ線装置はフィルターの設定が連続したＸ線画像の形成の間に変化するときに高い画像速度で連続したＸ線画像を形成することに適切ではない。フィルター要素が新たなＸ線吸収率に適合される前に全ての毛細管を空にすることが必要な故に、Ｘ線吸収液体は毛細管の内側を濡し、それによりＸ線吸収液体が空になるのには実質的な時間、即ち数秒又は数十秒を要する故に知られたフィルターを切り替えるためには時間がかなりかかる。更にまた磁界の印加により毛細管を完全に空にすることはなお不可能である故にＸ線吸収液体の層は毛細管の内壁に付着する。
知られたフィルターの更なる欠点は各毛細管に対して別の機械的なバルブを用いる構成がかなり複雑であることである。
本発明の目的はその設定が短時間に変えられうるフィルターからなるＸ線装置を提供することにある。
この目的に対して本発明によるＸ線検査装置はそれぞれのフィルター要素に電圧を印加する調整回路からなり、それぞれのフィルター要素内のＸ線吸収液体の量は該電圧に基づいて制御されることを特徴とする。
液体の相対的な量はそれが完全に液体で満たされているときに問題のフィルター要素内の液体の量によるそのようなフィルター要素内の液体の量をここでは意味するものである。フィルター要素に印加された電圧はＸ線吸収液体のフィルター要素の内側への付着に影響し、この付着はＸ線吸収液体を有するフィルター要素の充填の度合いを決定する。各フィルター要素内のＸ線吸収液体の相対的な量はそれぞれのフィルター要素に印加された電圧に基づき制御される。例えば電圧の第一の値の場合には内側へのＸ線吸収液体の付着は増加され、問題のフィルター要素は貯蔵器からのＸ線吸収液体で満たされる。電圧の第二の値の場合には内側へのＸ線吸収液体の付着は減少され、Ｘ線吸収液体は問題のフィルター要素がら貯蔵器へ流出する。フィルター要素はＸ線吸収液体を満たすことにより高いＸ線吸収率に調整され；それらはそれらを空にすることにより低いＸ線吸収率に調整される。
各フィルター要素に印加される電圧を変えることは多くの時間を必要とせず（多くとも数十秒）、フィルター要素内のＸ線吸収液体の相対的な量は電圧が変化した後にすぐに変化するので、フィルターの設定の変化はほとんど時間を必要としない（１又は数秒以下）。更にまたフィルターの２つの適合の間に全てのフィルター要素を空にする必要はない。
フィルターにバルブの複雑な機械的システムを設ける必要はない。何故ならばフィルター要素の充填の度合いは電圧により制御されるからである。
Ｘ線吸収液体は例えば鉛の塩の水溶液により形成される。ウラン塩の溶液もまた本発明のＸ線吸収液体に適切である。
フィルター要素に用いる材料及びＸ線吸収液体に依存して、付着への電圧の影響は異なる結果を有する；例えばＸ線吸収液体内の電気的二層の表面が各フィルター要素の内側付近で影響され、又は電圧の影響下で酸化還元反応が生じ、それによりそのような電気的二層が影響される。電圧付着−脱着反応の影響下で生ずることはまた親水と疎水との間に内側の表面を切り替えることである。
各フィルター要素に印加された電圧は、例えば形成されるＸ線画像の型に特徴的なフィルター設定に対して；例えばフィルター設定が助骨の血管構造のＸ線画像に対して要求されるそれから変動するよう要求される患者の心臓及び冠静脈のＸ線画像に対して選択される。電圧はＸ線源の設定に基づきフィルターを適合するためにＸ線源を動作する高電圧及び陽極電流の設定のようなＸ線源の設定からまた得られる。
本発明によるＸ線検査装置の好ましい実施例は調整回路はＸ線検出器に入射するＸ線画像の輝度値が所定の範囲内であるようなＸ線吸収率に調整されるようフィルター要素が配置され、該Ｘ線画像はＸ線源により放射されたＸ線ビームにより対象を照射することにより形成されることを特徴とする。
フィルター設定が適切に選択されるときにＸ線画像のダイナミックレンジはＸ線画像内の医学的に問題の画像情報の輝度値の範囲より非常に大きくはない所定の範囲内になお残っている。このＸ線画像内のほとんどコントラストのない小さな詳細はよりよく再現され、それによりＸ線画像はより良い医学診断のツールとなる。例えばＸ線検出器がビデオカメラを含む画像増強器検出連鎖の形をとるよう用いられるときにフィルターの適切な設定により、Ｘ線画像の輝度値は妨害なしに画像増強器検出連鎖により電子信号に処理される範囲内にあるように達成される。この電子的画像信号を介して画像情報は例えばモニター上のような妨害のない方法で表示されうる。
本発明によるＸ線検査装置の更に好ましい実施例は調整回路はＸ線検出器により検出されたＸ線画像の輝度値に基づき、フィルター要素を調整するよう配置されることを特徴とする。
Ｘ線画像に基づきフィルターを調節することによりＸ線露出の型及び露出条件に従って自動的に調整される。この目的のために調整回路はＸ線画像の輝度値を表すＸ線検出器からの信号を受ける；例えばそのような信号はＸ線検出器上に形成されたＸ線画像の画像情報及び／又は輝度値を含む画像情報信号である。この画像情報信号は画像輝度が望ましいダイナミックレンジを越える領域内と見なしうるような著しい情報を含む；この情報に基づき、各フィルター要素に印加された電圧はＸ線画像の全体の画像輝度に対する値に調整されたフィルター要素のＸ線吸収率が該所望のダイナミックレンジ内にあるよう調整される。
例えば１秒以下のような短い時間内の画像情報に基づくフィルターの設定を変化することは患者の動きによるＸ線画像内の攪乱に対して逆に作用する。検査される患者の動きは例えば呼吸又は心拍によるが、そのような動きがフィルター設定が自動的にかつ実時間で動きを追いかけるように回避されるようにＸ線画像の画質に悪影響を与える。
本発明によるＸ線検査装置の更に好ましい実施例は各フィルター要素は一以上の毛細管を設けられ、調整回路の出力は該電圧を出力するために毛細管の内側に結合されることを特徴とする。
調整回路によりそのような毛細管の内側に印加された電圧の小さな変動はＸ線吸収液体でこれらの毛細管を満たす割合の早い大きな変化を生ずる。例えば数cmの長さを有する空の毛細管は最初に完全に満たされ、それから約１ボルトの電圧変動により数秒以内で再び完全に空になる。各フィルター要素はＸ線吸収液体を含む貯蔵器と一端を介して連通する１以上の毛細管を設ける。例えば毛細管がＸ線ビームに概略平行に延在するような方法でフィルターは構成される；空間的なＸ線吸収パターンの均一な空間解像度がＸ線ビームの断面にわたり達成される。代替的にフィルターは毛細管が相互に概略平行に延在するように構成される；これはＸ線ビームがＸ線が減衰することなく実質的に２つのチューブ間で受け渡しされないように毛細管を通して少なくとも部分的に実質的に全てのＸ線路を拡散するときに達成される。
フィルター要素のＸ線吸収率は電圧値による問題のフィルター要素の毛細管内のＸ線吸収液体の相対的な量を調整することにより調整される。幾つかの毛細管の群を設けられるフィルター要素のＸ線吸収を調整する他の可能性は問題のフラクションの毛細管に電圧を選択的に印加して実質的に完全に群の毛細管のフラクションを満たし、残りの群の毛細管を空又はそれらをバッファ液体で満たしたままにすることからなる。それでフィルター要素のＸ線吸収はそれが問題の群の満たされた毛細管のフラクションの調整により調整されるように満たされた毛細管のフラクションに概略正比例する。医学診断用のＸ線はそれがウラニウム塩の溶液を通して10mm以上の長さを透過するように用いられる。、特に水で満たされた毛細管内の塩化ウランは実質的に完全に吸収する。塩化ウラン溶液のようなウラニウム塩がＸ線吸収液体として用いられるときにフィルターはまたＸ線ビームから検査される患者の部分に対して適切に遮蔽し、それにより生体組織に有害であるＸ線の不要な露出はＸ線画像の質を劣化させずに更に減少される。
本発明によるＸ線検査装置の更なる好ましい実施例は毛細管の内側の少なくとも一部分は導電性層により覆われることを特徴とする。
毛細管は好ましくはガラスで作られる。何故ならばガラスはＸ線に適切な耐久性を有し、例えば200μｍのような小さな直径を有する毛細管を作るのにも適切であるが、導電性であることは必要ではない。電圧は少なくとも内側を部分的に覆う導電性層に印加される。導電性層は金、銀、プラチナ、銅、タングステン、グラファイト、又はドープされたガリウム砒素又はそれらの組合せのような材料を含み、それは導電性であるが、また印加された電圧の影響の元で（又は影響なしに）Ｘ線吸収液体と化学的に反応による侵蝕に適切に耐えられる。
本発明によるＸ線検査装置の更に好ましい実施例は導電性層はそれによりＸ線吸収液体が接触角値90゜を含む値の範囲で導電性層に印加される電圧の関数として変化する接触角で封入されるコーティング層により覆われることを特徴とする。
Ｘ線吸収液体で満たされた毛細管内で液面は管の内側に対してある角度で封入される；この角度は、接触角と称されるがＸ線吸収液体の付着の尺度である。印加された電圧の関数としての接触角の範囲はコーティング層により導電性層を覆うことにより導電性層の材料に独立にあたえられる。結果として導電性層の組成は所望の接触角範囲によらずに最適に選択可能である。コーティング層の材料は電圧の第一の値に対してＸ線吸収液体と内側の導電性層との間の接触角が90゜以下であり、第二の値に対して該接触角は90゜以上であるように好ましく選択される。そこへ第一の値の電圧が印加される毛細管は該第一の電圧値に依存する実質的な程度にＸ線吸収液体を満たされ、そこへ第二のの値の電圧が印加される毛細管はＸ線吸収液体を満たされない、又はごくわずかに満たされるだけである。該第二の電圧値は例えばＸ線吸収液体内の基準電極の電圧に等しい。
本発明によるＸ線検査装置の更に好ましい実施例はＸ線吸収液体はＸ線吸収材料の水溶液を含み、コーティング層はCN,C1又はCH₃群又はそれらの組合せで置換されたフェロセン チオール及びアルカン チオールの群からの材料を含むことを特徴とする。
チオールを含むそのようなコーティング層を用いて接触角は水溶液がＸ線吸収液体として用いられるときに90゜以上及び以下の値の間で切り替えられる。このチオールは金の層を覆うために特に適切である。何故ならばチオールの硫黄は金と適切な結合するからである。チオールの量がＸ線吸収液体に加えられるときに例えばＸ線の吸収によりチオールの分解により生ずるコーティング層内の欠陥はコーティング層がＸ線吸収液体からチオールを吸収する故に自動的に修復される。プラチナ層が導電性層として用いられるときに水銀がコーティング層として適切な材料である。導電性グラファイト層は水に溶解された鉛及びウラニウム塩が電圧により90゜以上及び以下の値の間で切り替えられる接触角を生ずるという特徴を有し、それによりグラファイト層は別のコーティング層により覆われる必要はない。
Ｘ線吸収液体の粘性及び付着特性は与えられた程度にフィルターの温度に依存ずる；フィルターがＸ線に曝され、更なる対策がなされていない場合には例えばＸ線吸収液体内のＸ線の吸収によりこの温度は上昇しうる。フィルターの調整挙動を安定させるためにフィルター及び特にＸ線吸収液体の温度を実質的に一定に保つ温度制御システムを設けることが望ましい。
本発明のこれらの及び他の特徴は以下に説明する実施例を参照して明らかとなる。
図面の説明：
図１は本発明によるフィルターからなるＸ線検査装置を示す。
図２は図１のＸ線検査装置のフィルターの実施例の断面図を示す。
図３はＸ線吸収液体で満たされた図２のフィルターのフィルター要素の断面図を示す。
図４はＸ線吸収液体で満たされない図２のフィルターのフィルター要素の断面図を示す。
図５は図１に示されるＸ線検査装置のフィルターの平面図を示す。
図１は本発明によるフィルターからなるＸ線検査装置を示す。Ｘ線源１は例えば検査される患者である対象３が露出されるＸ線ビーム２を出射する。対象３でのＸ線吸収の局部的な違いの結果としてＸ線画像はこの場合画像増強撮像チェーンであるＸ線検出器４上に形成される。Ｘ線画像はＸ線増強器６の入射スクリーン５上に形成され、出射窓７上での光画像に変換され、この光画像はレンズシステム８によりビデオカメラ９上に画像化される。ビデオカメラ９は光画像から電子画像を形成する。電子画像信号は例えば更なる処理のために画像処理ユニット10又はＸ線画像内の画像情報が表示されるモニター11に印加される。
Ｘ線源１と対象３との間にそのＸ線吸収は調整回路14により毛細管の内側への電圧の印加により調整される毛細管の形の種々のフィルター要素13によりＸ線ビーム12の局部減衰に対してフィルター12が配列される。電圧は例えばＸ線画像の輝度値及び／又はＸ線源の設定に基づいて調整回路14により調整される；この目的のために調整回路はＸ線源の電源15及びビデオカメラ９の出力端子16に結合される。
出射窓の光の一部は出射窓上の画像の画像情報に基づき高電圧源を制御するために光画像から制御信号を得る露出制御システム20に分割プリズム19により導かれる。出射窓７上の画像の画像情報を受けるためにフィルター12の調整回路14は露出制御システム20に結合され、それによりフィルター12は出射窓７上の画像に基づいて調整される。
フィルターは例えば毛細管がＸ線ビーム２の方向に概略平行に延在するような方法で構成され；故に空間的なＸ線吸収パターンの均一な空間解像度はＸ線ビームの断面にわたり達成される。代替的にフィルターは毛細管が相互に概略平行に延在するような方法でまた構成される;X線ビームが拡散するときに実質的に全てのＸ線が少なくとも部分的には毛細管を通過し、それによりＸ線は減衰なしには２つの管の間を通過しない。調整回路は内側へのＸ線吸収液体の付着に影響するために毛細管の内側に電圧を印加する。フィルター要素を高いＸ線吸収率に調整するために第一の値の電圧は調整回路14により問題のフィルター要素の毛細管の内側に印加され、それにより問題の毛細管は内側へのＸ線吸収液体の強い付着により貯蔵器17からのＸ線吸収液体で満たされる。フィルター要素を低Ｘ線吸収率に調整するために例えばＸ線吸収液体内の基準電極（例えば基準カロメル電極）の電位と等しい第二の値の電圧は調整回路14により問題のフィルター要素の毛細管の内側に印加され、それにより問題の毛細管は内側へのＸ線吸収液体の弱い付着によりこれらの毛細管は貯蔵器17からのＸ線吸収液体で満たされない。フィルター要素は幾つかの毛細管の群からまたなり、フィルター要素のＸ線吸収率はフラクションの毛細管に第一の値の電圧の印加及び群の残りのフラクションの毛細管に第二の値の電圧の印加によるＸ線吸収液体で満たされた該群の毛細管のフラクションを調整することにより調整される。調整回路はＸ線画像の輝度値が例えば電子画像信号内に攪乱を導入せずにビデオカメラ９により取り扱われる光画像の輝度値の範囲に従って所定の範囲にあるようにフィルター要素のＸ線吸収率を調整する。対象により強く減衰されるＸ線ビームの部分により辿られるフィルター要素は低Ｘ線吸収率に調整され、対象により良く透過されるＸ線ビームの部分により辿られるフィルター要素は高Ｘ線吸収率に調整される。
フィルター12はＸ線ビーム２の路内に配置される補正フィルター18を設けられる。補正フィルターは毛細管が空の時に補正フィルター18と共にフィルター12を通過するＸ線が概略同じ程度に全てが減衰することを確実にする空間的変化を有するＸ線吸収率を有する。フィルター12に関して補正フィルター18のずれを防ぐために補正フィルター18はフィルター12に機械的に固定接続されることが好ましい。補正フィルターの使用の結果として、フィルター12の構造はそれが毛細管内でＸ線吸収液体によりＸ線を吸収される限りはＸ線画像内の分布に導入されない。
図２は図１に示されたＸ線検査装置のフィルターの実施例の断面図である。フィルター12は多数のフィルター要素13からなり、それらの各々は毛細管13により形成される。１ダースの毛細管が例示のために示されるが、特定の実施例では本発明によるＸ線検査装置のフィルターは例えば5cmx5cmの200x200のマトリックス配置内で40000のように非常に多数の毛細管を含む。各毛細管13はＸ線吸収液体22用の貯蔵器17を有する端21により連通する。Ｘ線吸収液体22は例えば過塩素酸鉛、硝酸鉛、塩素酸鉛水和物、酢酸鉛３水和物、又はジオチン酸鉛のような鉛塩の水溶液からなる。塩化ウラニル、４臭化ウラン、又は４塩化ウランの水溶液のようなウラニウム塩の溶液はまた本発明に用いられるＸ線吸収液体22を構成する。Ｘ線吸収液体22の溶液の電気分解による好ましくないガスの発生を回避するためにほぼ１ボルトのDCの電圧が好ましい。代替的に溶媒として用いられる水の分解は数十Hzから数kHzの周波数で数kVの高い交流電圧の使用により防止される。
毛細管を通過するＸ線の概略10倍の減衰は約12mmの長さにわたる硝酸鉛の実質的に飽和水溶液で毛細管を満たすことにより達成され、該充填は約0.2秒で完了する。過塩素塩鉛が最大の溶解量での硝酸鉛の代わりに用いられる場合には同じ減衰を得るために毛細管は1.6mmの長さのみにわたって満たされる必要があり、毛細管を満たすのに必要な時間は例えば数ミリ秒のように１秒よりずっと短い。
毛細管がＸ線吸収液体22で満たされていない、又は満たされない限り毛細管はＸ線吸収液体と混合しないＸ線透過バッファ液体で満たされる。バッファ溶液は好ましくは毛細管の内側上及びバッファ溶液のＸ線吸収液体の材料にまた依存する接触角が毛細管の内側に印加される電圧をDCの約０から１ボルトの間で変化する、又は数十Hzから数kHz間の周波数のACを０から数kVの間で変化することにより90゜の角度を含む範囲で変化するように選択される。Ｘ線吸収液体22のそれと概略等しい濃度を有するバッファ液体を選択することにより、Ｘ線吸収液体22で毛細管を満たすことは実質的に重力に依存せず、故にフィルターの空間的な方向に依存しないことを確実にする。
毛細管の内側は例えば金、銀、又はプラチナ層である導電層23を設けられ、それは例えばフェロセン チオール又はアルカン チオールのようなコーティング層24により覆われる。各毛細管の内側の導電層23は電解効果トランジスタのようなスイッチング要素25により電源リード26に結合される。電源リード26上の電圧を毛細管の導電層に印加するために問題のスイッチング要素25は制御リード27を介して供給される信号により閉じられる。毛細管の内側への付着は毛細管の内側に設けられた導電層上の電圧値に依存し；従ってＸ線吸収液体22で各毛細管を満たす程度は該電圧値により調整される。それぞれの毛細管に異なる電圧値を印加することによりフィルターのＸ線吸収率は例えばミリメートル尺度での短い距離にわたり変化される。フィルターの設定を変化するために印加された電圧値は約0.12秒間変化され、変化された電圧値故に、毛細管の充填の度合いは一秒の数十分の一で変化する。
図３はＸ線吸収液体22で満たされた図２のフィルターのフィルター要素の断面図である。毛細管13の導電層23はスイッチング要素として動作し、そのソース接触31は電源リード26と結合する電界効果トランジスタ25のドレイン接触30に結合される。電界効果トランジスタ25は制御リード27を介して電界効果トランジスタ25のゲート接触32に印加される制御電圧によりオンされる、即ちスイッチング要素が閉じられる。導電層23はスイッチング要素を閉じることにより電源リード26の電圧に接続される。電源リードが該第一の電圧値に接続されるときにＸ線吸収液体22のコーティング層24に関する接触角θは90゜以下の値を仮定し、問題の毛細管は電圧の値に依存する度合いにＸ線吸収液体で満たされる。
図４はＸ線吸収液体22で満たされていない図２のフィルターのフィルター要素の断面図である。コーティング層及びＸ線吸収液体は好ましくは電圧の不在、即ちＸ線吸収液体内の基準電極の電位に等しい電圧で接触角の値は90゜を越えるよう選択される。電源リード26の電位が基準電極の電位に等しいときにスイッチング要素25を閉じることによりＸ線吸収液体の付着は調整され、それにより接触角θは90゜より大きくなり;X線吸収液体は毛細管13にほとんど又は全く入らなくなる。
図５は図１に示されるＸ線検査装置のフィルターの平面図である。例として、行及び列を有する正方マトリックス配列内の3x3の毛細管からなるフィルターが示される。実際に例えば200x200の毛細管のように非常に多数の毛細管からなる、及び正方形マトリックスの代わりにどのような他の配列でも用いられるフィルターが設けられる。毛細管は好ましくは最密充填が達成される構成で配置され；これは毛細管がだいたい正方形の断面又は菱形（三角形）配置を有するときに、毛細管が概略円形の断面を有するときに正方形の構成が用いられることである。比較的簡単に失敗のない方法で実現される六角形の構成がまた用いられる。各毛細管13が導電層23によりそのソース接触により電源リード26に結合される電界効果トランジスタ25のドレイン接触30に結合される。毛細管13の各行に対して制御リード27により制御される行内の電界効果トランジスタのゲート接触32に制御電圧を印加することにより電界効果トランジスタを制御する制御リード27が設けられる。電圧を内側、特に毛細管の導電層23に印加するために調整回路14は問題の毛細管に結合された電源リードにより適切な電圧値で通電される。調整回路は制御電圧を問題の毛細管の制御リード27に印加し、該制御電圧は問題の毛細管のゲート接触32に印加され、それにより電界効果トランジスタはオンし、電源リード上の電圧は毛細管の内側の導電性層に印加される。短時間の後に制御電圧はスイッチオフされ、それにより制御された行内の電界効果トランジスタは電気的に隔離され、故に電源リード上の電圧はスイッチオフされる。それで制御及び電源リードから電気的に離脱された問題の毛細管は印加された電圧を維持する。毛細管が問題の列内で動作される行に電源リードに対して列毎に電圧を電源リードに対して制御電圧を連続的に印加することにより所望の電圧がフィルターを調整するために毛細管又は全体のマトリックスフィルター要素に印加されることが達成される。

Claims (7)

1. −Ｘ線源（１）と、
   −Ｘ線検出器（４）と、
   −それらの間に配置されるフィルター（12）とからなり、該フィルターは、
   −それぞれのフィルター要素（13）内のＸ線吸収液体（22）の量を制御することにより調整可能なＸ線吸収率を有する複数のフィルター要素（13）からなる、Ｘ線検査装置であって、
   −Ｘ線検査装置はそれぞれのフィルター要素（13）に電圧を印加する調整回路（14）からなり、
   −それぞれのフィルター要素（13）内のＸ線吸収液体（22）の量は該電圧に基づいて制御されることを特徴とするＸ線検査装置。
2. 調整回路（14）はフィルター要素（13）をＸ線検出器（４）上に入射するＸ線画像の輝度値が所定の範囲内であるようなＸ線吸収率に調整するように配置され、該Ｘ線画像はＸ線源（１）により放射されたＸ線ビーム（２）により対象（３）を照射することにより形成されることを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
3. 調整回路（14）はＸ線検出器（４）により撮像されたＸ線画像の輝度値に基づき、フィルター要素（13）を調整するように配置されることを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線検査装置。
4. 各フィルター要素（13）は一以上の毛細管（13）を設けられ、調整回路（14）の出力は該電圧を出力するために毛細管（13）の内側に結合されることを特徴とする請求項１から３のうちのいずれか一項記載のＸ線検査装置。
5. 毛細管（13）の内側の少なくとも一部分は導電性層（23）により覆われることを特徴とする請求項４記載のＸ線検査装置。
6. 導電性層（23）はそれによりＸ線吸収液体（22）が接触角値90゜を含む値の範囲で導電性層に印加される電圧の関数として変化する接触角をなすコーティング層（24）により覆われることを特徴とする請求項５記載のＸ線検査装置。
7. Ｘ線吸収液体（22）はＸ線吸収材料の水溶液を含み、コーティング層はCN,C1又はCH₃群又はそれらの組合せで置換されたフェロセン チオール及びアルカン チオールの群からの材料を含むことを特徴とする請求項６記載のＸ線検査装置。

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