JP2001509899A - Ｘ線フィルタを含むｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 Ｘ線検査装置が、Ｘ線を放出するＸ線源（１）を有している。放射線的に検査されるべき物体が検査空間内に配置される。Ｘ線検出器（２）は、該物体のＸ線画像から、例えば電気ビデオ信号等の画像信号を導出する。Ｘ線フィルタは、上記Ｘ線を局部的に減衰させる。このＸ線フィルタは上記Ｘ線源とＸ線検出器との間に配置され、該Ｘ線フィルタには、個々のフィルタ要素内に存在するＸ線吸収液の量に基づいてＸ線吸収率を調整することができるようなフィルタ要素が設けられている。該Ｘ線検査装置は、更に、Ｘ線を局部的に遮断するためのＸ線コリメータを有している。該Ｘ線コリメータは、上記Ｘ線源と検査空間との間に配置されると共に、Ｘ線透過状態とＸ線遮断状態との間で切り換えることができるようなコリメータ要素を備えている。上記Ｘ線遮断状態においては、個々のコリメータ要素はＸ線遮断液で満たされる。上記フィルタ要素内に存在するＸ線吸収液の量は、該当するフィルタ要素に電圧を印加することにより制御することができる。上記コリメータ要素は、該当するコリメータ要素に印加される電圧により、Ｘ線遮断状態とＸ線透過状態との間で切り換えられる。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｘ線フィルタを含むＸ線検査装置 技術分野 本発明はＸ線装置に係り、該装置が、 − Ｘ線を放出するＸ線源と、 − 放射線的に検査されるべき物体を収容する検査空間と、 − 上記物体のＸ線画像から画像信号を導出するＸ線検出器と、 − 上記Ｘ線を局部的に減衰させるＸ線フィルタであって、 − 前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間に配置され、 − フィルタ要素を備え、これらフィルタ要素のＸ線吸収率が個々のフ ィルタ要素内のＸ線吸収液の量に基づいて調整することができる、 ようなＸ線フィルタと、 を含むようなＸ線装置に関する。 背景技術 この種のＸ線検査装置は国際特許出願公開第WO 96/13040号から既知である。 該既知のＸ線検査装置は、そのフィルタ要素が毛細管として構成されているよ うなＸ線フイルタを含んでいる。これら毛細管の一端はＸ線吸収液を含む貯留容 器に連通している。個々の毛細管内のＸ線吸収液の量は、これら個々の毛細管に 印加される調整電圧に基づいて調整される。Ｘ線吸収液で満たされた毛細管は、 当該管を通過するＸ線を部分的に減衰させる。上記既知のＸ線検査装置において は、放射線的に検査されるべき物体（例えば、検査されるべき患者）を、該患者 の曝される必要のない領域においてＸ線から適切に遮蔽することが、あまり良好 には可能ではない。該既知のＸ線検査装置においては、特に、患者の所定の部分 のみを曝すように制限されたＸ線ビームを形成することが、あまり良好には可能 ではない。曝されるべき部分は、例えば、検査されるべき患者の疑わしい異常に 基づいて選択される。 発明の開示 本発明の目的は、フィルタ要素を備えると共に該フィルタ要素のＸ線吸収率が 個々のフィルタ要素内におけるＸ線吸収液の量に基づいて調整可能であって、且 つ、患者の所定部分を照射するように限定されたＸ線ビームを発生するのに適し たＸ線フィルタを含むようなＸ線検査装置を提供することにある。 この目的は、本発明によるＸ線検査装置であって、 前記Ｘ線検査装置が前記Ｘ線を局部的に遮断するＸ線コリメータを含み、 該Ｘ線コリメータは前記Ｘ線源と前記検査空間との間に配置され、 該Ｘ線コリメータには、Ｘ線透過状態とＸ線遮断状態との間で切り換えること ができるようなコリメータ要素が設けられ、 これら個々のコリメータ要素が上記Ｘ線遮断状態においてはＸ線遮断液により 満たされる、 ことを特徴とするＸ線検査装置により達成される。 検査されるべき物体（例えば前記検査空間内に収容される放射線的に検査され るべき患者等）内でのＸ線吸収の差により、該患者のＸ線により照射された部分 に関してＸ線画像が形成される。このＸ線画像は、前記Ｘ線源の反対側に配置さ れるＸ線検出器のＸ線感知面上に形成される。上記検査空間は該Ｘ線源とＸ線検 出器との間に位置される。 上記Ｘ線遮断液で満たされたコリメータ要素はＸ線を透過せず、一方、Ｘ線遮 断液で満たされていないコリメータ要素はＸ線を事実上減衰無しで透過させる。 Ｘ線源により放出されたＸ線ビームの部分を、Ｘ線遮断液により満たされたコリ メータ要素により遮断することができると、事実上、患者の照射されるべき部分 のみがＸ線に曝されるようにすることができ、これにより、Ｘ線が患者の画像化 する必要のない部分へ到達することが防止される。Ｘ線コリメータはコリメータ 要素をＸ線遮断液で満たすか又は満たさないことにより所望のように調整するこ とができ、かくして、これらコリメータ要素をＸ線遮断状態か又はＸ線透過状態 の何れかに設定することができる。これらコリメータ要素は個々に調整すること ができるので、Ｘ線ビームの各部分の遮断に関して高度な自由度が存在する。特 に、Ｘ線ビームの部分を断面内で遮断することが可能となるので、Ｘ線により横 切られない“島”を、制限されたビームの断面内に形成することができる。 前記Ｘ線フィルタは、患者の低いＸ線吸収率を持つ部分を通過するＸ線ビーム の部分は或る程度減衰させるが、該患者の高い吸収率を持つ部分を通過するＸ線 ビームの部分は全く減衰されないか又は殆ど減衰されない。このようにして、該 Ｘ線フィルタはＸ線画像のダイナミックレンジが制限されたままとなるのを保証 する。Ｘ線画像又は一連の連続した画像のダイナミックレンジは、該Ｘ線画像又 は該一連のＸ線画像の最も高い輝度値と最も低い輝度値との間の間隔である。こ のようにＸ線画像のダイナミックレンジは制限されるので、該Ｘ線画像は大きな 妨害無しに容易に処理することができ、これにより該Ｘ線画像の画像情報を例え ばモニタ上の画像として容易に再生することができる。Ｘ線フィルタは、特に、 該フィルタが医学的に関係のある画像情報を表すようなＸ線画像内の輝度値の範 囲よりも大きくない又は殆ど大きくないような所与の間隔内に入るダイナミック レンジを持つＸ線画像を生じるように調整される。かくして、低コントラストの 小さな詳細部を適切な見ることのできる態様で再生することができるので、該Ｘ 線画像は診断における効果的な技術的診断補助手段を構成する。 上記Ｘ線コリメータ及びＸ線フィルタは、共に、コリメータ要素及びフィルタ 要素内のＸ線遮断液及びＸ線吸収液の各々の量に基づいて調整される。このよう に、Ｘ線コリメータ及びＸ線フィルタは同様の方法により調整されるので、これ らＸ線コリメータ及びＸ線フィルタを１つの同一の調整ユニットにより又は同様 の態様で動作する別個の調整ユニットにより、比較的簡単に調整することができ る。非常に異なる態様で動作する複数の調整ユニットを使用する必要がない点で 、特に有利である。特に、これらＸ線コリメータ及びＸ線フィルタは、コリメー タ要素及びフィルタ要素に各々印加される調整電圧に基づいて調整することが可 能である。この場合、該調整電圧はＸ線吸収液又はＸ線遮断液と、該当するフィ ルタ要素又はコリメータ要素の壁との間の電位差である。更に、このＸ線コリメ ータは、該Ｘ線コリメータの調整の間に所望の位置へ調整しなければならないよ うな如何なる機械的に可動な部分も含んでいない。 また、上記Ｘ線コリメータ及びＸ線フィルタが同様に（少なくとも非常に類似 した形態で）構成されていることは利点である。結果として、Ｘ線検査装置用の Ｘ線コリメータ及びＸ線フィルタを製造するのが容易であり、したがって、より 廉価である。 上記及び他の利点が縦続項に記載された実施例により達成される。 水銀及びガリウムのような液体金属はＸ線を略完全に遮断する。数ミリメート ルから数センチメートルの長さを持つ短い毛細管により形成されたコリメータ要 素でさえも、斯かる液体金属により満たされた場合はＸ線を略完全に遮断するで あろう。長さ３ミリメートルの柱状水銀は５０ｋｅＶと１２５ｋｅＶとの間のエ ネルギを持つＸ線を殆ど完全に吸収し、ガリウムが使用された場合は、事実上Ｘ 線を完全に吸収するのに約２０ないし３０ミリメートルの柱状のものが必要であ ろう。更に、セシウム、インジウム及びルビジウムは比較的低い融解点及び顕著 なＸ線吸収率を有しているので、これらも上記Ｘ線吸収液体金属として用いるの に好適な材料である。斯かる毛細管が上記液体金属を含まない場合は、該毛細管 はＸ線を略減衰無しで透過させる。したがって、コリメータ要素（特に毛細管） は、これらを液体金属で満たすことによりＸ線遮断状態に、また、これら毛細管 を空にすることによりＸ線透過状態に調整することができる。 短い毛細管が上記コリメータ要素として使用される場合は、これらコリメータ 要素はＸ線透過状態からＸ線遮断状態へ非常に急速に切り換えることができる。 該コリメータ要素の長さに依存して、これらコリメータ要素の切り換えには僅か １ないし１０ミリ秒しか必要とされないことが分かった。フィルタ要素は好まし くは幾らか長い毛細管とし、これにより、個々のフィルタ要素のＸ線吸収率の程 度を、これらフィルタ要素内のＸ線吸収液の量を制御することにより所与の範囲 内で調整することができる。当該Ｘ線コリメータの速い調整及びＸ線フィルタの 充分な調整範囲に関しての好ましい結果が、数十ミリメートルの長さを持つフィ ルタ要素及び数ミリメートルの長さを持つコリメータ要素の使用により得られる 。コリメータ要素の長さは、フィルタ要素の長さの約１／１０ないし１／２とな る。例えば、硝酸鉛の水溶液が上記Ｘ線吸収液として使用され、一方、水銀が上 記Ｘ線遮断液として使用される。その場合、フィルタ要素は好ましくは１２ミリ メートルの長さを有し、コリメータ要素は約３ミリメートルの長さを有する。即 ち、 この場合、コリメータ要素の長さはフィルタ要素の長さの約１／４、したがって １／３未満になる。 少数の好ましくは毛細管の形態のコリメータ要素が使用される場合は、当該Ｘ 線コリメータを調整するのに要する調整時間は更に減少されるであろう。Ｘ線コ リメータに対しては高い空間解像度は必要ではないことが分かった。このことは 、Ｘ線ビームの非常に小さな断面を持つ部分は遮断する必要がないことが分かっ たということを意味する。結果として、短い調整時間の利点を得るため、少数の 個々のコリメータ要素を用いて当該Ｘ線コリメータの空間解像度を低減するのが 有利である。好適な結果は、例えば、１２８ｘ１２８のコリメータ要素を用いる ことにより得られる。また、Ｘ線フィルタの魅力的な空間解像度を達成するには 、好ましくは、２５６ｘ２５６のフィルタ要素又は５１２ｘ５１２のフィルタ要 素させ使用される。この場合、前記コリメータ要素の数は、フィルタ要素の数の 約１／８又は１／１６のみとなる。 好ましくは、上記コリメータ要素はＸ線遮断液を含む貯留容器に共通ダクトを 介して連通するものとする。更に、好ましくは、Ｘ線コリメータは上記共通ダク トを空にする排出システムを有するものとする。前記液体金属のような該Ｘ線遮 断液は上記共通ダクトを介してコリメータ要素に供給され又はコリメータ用から 排出される。該共通ダクトは、好ましくは、Ｘ線遮断液用の貯留容器と連通する 。上記排出システムは、共通ダクトからのＸ線遮断液の除去を可能にする。該共 通ダクトを空にした後は、該共通ダクトはＸ線の不所望な遮断を生じない。 上記排出システムは、例えば、上記共通ダクトの壁上に設けられ且つＸ線遮断 液からは電気絶縁により絶縁された導電層を含む。共通ダクトの該導電層への電 圧の印加は、該共通ダクトの壁とＸ線遮断液との間の粘着を、Ｘ線遮断液に対し て該共通ダクトが疎水性となり、該Ｘ線遮断液が例えば重力の影響で共通ダクト から流出する程度に低下させる。該共通ダクトが空にされた後は、該ダクトは殆 ど如何なるＸ線も遮断しない。このように、Ｘ線は、事実上専らＸ線遮断液によ り満たされたコリメータ要素により遮断される。特に、上記共通ダクト内に残存 するＸ線遮断液によりＸ線ビームの部分が不所望に遮断されるのを防止すること が可能である。 上記排出システムはピストン及び弁のシステムを含んでもよく、その場合は、 上記Ｘ線遮断液は空気圧的に共通ダクトから強制排出することができる。 Ｘ線吸収遮断液の共通ダクトからの除去に関する好適な結果が、特に該共通ダ クトの容積の減少により達成される。該共通ダクトの変形は該ダクトの容積を減 少させ、かくして、Ｘ線遮断液を共通ダクトから貯留容器へと押しやる。該共通 ダクトは、変形可能な壁を使用することにより、容易に変形させることができる 。この変形可能な壁の変形は、当該共通ダクトから如何なる残存Ｘ線液も強制排 出する。斯かる変形は、例えば上記変形可能な壁上に力を発生させる小型モータ のシステム等の電気機械的手段により非常に良好に達成することができる。 前記Ｘ線コリメータが検査空間とＸ線フィルタとの間に配置される場合は、該 Ｘ線コリメータは上記Ｘ線フィルタ内で散乱されたＸ線を遮断するであろう。こ のように、Ｘ線フィルタにより散乱されたＸ線がＸ線画像を妨害することがない ようになるであろう。特に、Ｘ線フィルタにより散乱されたＸ線によるＸ線画像 のブレが、このようにして防止される。 Ｘ線コリメータがＸ線源とＸ線フィルタとの間に配置される場合は、Ｘ線コリ メータとＸ線源との間の距離が極く短く、特にＸ線源とＸ線検出器との間の距離 よりも非常に短くなるようになる。かくして、Ｘ線コリメータにより生じる、Ｘ 線の強度の短い距離にわたる変調が、発散するＸ線ビームによりＸ線画像内では 大きな距離にわたり広げられることになるので、これら変調がＸ線画像に全く又 は殆ど影響することがない。このような差は、隣接するコリメータ要素がＸ線透 過状態及びＸ線遮断状態にあるような領域において発生する。特に、Ｘ線コリメ ータの領域でのＸ線ビームの横切る方向におけるミリメートルの何分の１かの距 離にわたるＸ線の強度の差は、Ｘ線検出器の領域では高程度に広げられる。 図面の簡単な説明 本発明の上記及び他の特徴は、下記実施例及び添付図面を参照して明らかにさ れるであろう。添付図面において、 第１図は、本発明によるＸ線検査装置の概略図、 第２図は、第１図のＸ線検査装置におけるＸ線フィルタの詳細を示し、 第３図は、第１図のＸ線検査装置におけるＸ線コリメータの詳細を示し、 第４図及び第５図は、本発明によるＸ線フィルタ及びＸ線コリメータを備える Ｘ線検査装置の異なる構成を概略的に示す。 発明を実施するための最良の形態 第１図は、本発明によるＸ線検査装置を概略的に示す。Ｘ線源１は、物体３を 照射するためのＸ線ビーム１０を放出する。例えば放射線的に検査されるべき患 者等の物体３内におけるＸ線吸収の差により、前記Ｘ線源の反対側に配置された Ｘ線検出器４０のＸ線感知面４２上にＸ線画像が形成される。物体３は検査空間 ２内に収容される。例えば、照射の間に患者が載置される患者テーブルは、該検 査空間内に配置される。本実施例におけるＸ線検出器４０は画像倍増器ピックア ップチェーンにより形成され、該チェーンは上記Ｘ線画像を出口窓４４上の光学 画像に変換するＸ線画像倍増器４１と、該光学画像を抽出するためのビデオカメ ラ４７とを含んでいる。入口スクリーン４２は該Ｘ線画像倍増器のＸ線感知面と して作用し、該感知面は入射Ｘ線を電子光学系４３により上記出口窓上に結像さ れる電子ビームに変換する。入射電子は、出口窓４４の蛍光層４５上に光学画像 を発生させる。ビデオカメラ４７は、例えばレンズ系又はファイバ光学結合等の 光学結合４６によりＸ線画像倍増器４１に結合されている。ビデオカメラ４７は 上記光学画像から例えば電子ビデオ信号等の画像信号を導出し、該信号はＸ線画 像内の画像情報の表示のためにモニタ５に供給される。該画像信号は、更なる処 理の為に画像処理ユニット４にも供給することができる。 Ｘ線源１と、検査空間２内の物体３との間には、前記Ｘ線ビームの局部的な減 衰のためにＸ線フィルタ５０が配置されている。該Ｘ線フィルタ５０は毛細管の 形態の多数のフィルタ要素５１を有し、これらフィルタ要素のＸ線吸収率は、調 整ユニット６によって個々の毛細管の内側部に電圧（以下、調整電圧と呼ぶ）を 印加することにより調整することができる。Ｘ線吸収液の個々の毛細管の内側部 への付着は、該毛細管５１の内側部上に設けられる金属層（即ち、導電層５２） に印加されるべき電圧により調整することができる。毛細管５１の一端はＸ線吸 収液用の貯留容器５３に連通している。該貯留容器５３は上記毛細管が連通する 共通ダクトであってもよいが、上記毛細管が共通ダクトを介して接続されるよう な別の貯留容器を利用してもよい。各毛細管は、個々の管に印加される調整電圧 の関数としての所与の量のＸ線吸収液により満たされる。これら毛細管はＸ線ビ ームと略平行に延在するので、個々の毛細管のＸ線吸収率は、斯かる毛細管内に 存在するＸ線吸収液の相対量に依存する。個々の毛細管に印加される調整電圧は 、調整ユニット６により、例えば前記Ｘ線画像内の輝度値及び／又はＸ線源１の 設定に基づいて調整される。この目的のため、該調整ユニットは前記ビデオカメ ラの出力端子４８とＸ線源１の高圧電源１２とに結合されている。この種のＸ線 フィルタ５０の構成及びＸ線吸収液の組成は、国際特許出願公開第WO 96/13040 号及び第WO 97/03450号に詳細に記載されている。 Ｘ線源１と検査空間２内の物体３との間には、Ｘ線ビーム１０の一部を遮断す るよう作用するＸ線コリメータ６０が配置されている。該Ｘ線コリメータは制限 されたＸ線ビームを透過させる。この制限されたＸ線ビームは、検査されるべき 患者３の照射されるべき部分のみにＸ線が到達することができるように成形され る。言い換えると、該Ｘ線コリメータは、上記の制限されたＸ線ビームの断面が 、照射されるべき患者の領域に正確に対応するように調整される。斯様な照射さ れるべき領域は事前に選択される。該Ｘ線コリメータ６０は、毛細管の形態の多 数のコリメータ要素６１を含み、これらコリメータ要素は、調整ユニット６を用 いて、該毛細管の内側部に電圧（以下、調整電圧と呼ぶ）を印加することにより 、Ｘ線遮断状態及びＸ線透過状態に調整することができる。調整電圧が印加され る毛細管６１は、Ｘ線遮断液により次のように満たされる。即ち、該遮断液は斯 かる満たされたコリメータ要素上に入射するＸ線を略完全に遮断する。好適なＸ 線遮断液は、特に、ガリウム及び水銀のような液体金属である。ガリウムが使用 される場合は、該Ｘ線コリメータの温度は融解点（２９.８℃）以上に維持され 、これによりガリウムが凝固しないようにする。水銀の融解点は約−３８.８℃ であるので、水銀が用いられる場合はＸ線コリメータは室温で動作させることが できる。Ｘ線遮断液の上記毛細管の内側部への付着は、これら毛細管６１の内側 部上に設けられる金属層（即ち、導電層６２）に印加される電圧により調整する ことができる。これら毛細管の一端は、上記Ｘ線遮断液用の貯留容器６３に連通 している。 該貯留容器６３は共通ダクト６４を介してコリメータ要素６１に接続されている 。これら毛細管は、個々の管に印加される調整電圧の関数としてＸ線遮断液によ り満たされる。コリメータ要素６１に印加される調整電圧は、調整ユニット６に より調整される。該調整ユニット６は前記ビデオカメラの出力端子４８に結合さ れているので、該Ｘ線コリメータは前記Ｘ線画像に基づいて調整することができ る。 上記Ｘ線コリメータの共通ダクト６４は可撓壁６６を有している。該Ｘ線コリ メータの調整の後、上記可撓壁は共通ダクト６４の対向する剛性壁に向かって押 圧され、これにより前記Ｘ線遮断液を該ダクトから貯留容器６３に押しやる。該 Ｘ線コリメータが調整された場合は上記共通ダクトは空になるので、該共通ダク ト内に残されたＸ線遮断液によるＸ線の不所望な遮断は防止される。 Ｘ線コリメータ６０及びＸ線フィルタ５０は同様の方法により、即ち、調整電 圧のコリメータ要素及びフィルタ要素の各々への印加により調整される。これに より、共通の調整ユニット６を使用することができる。更に、実際には、Ｘ線コ リメータ６０とＸ線フィルタ５０とを１つのコリメータ／フィルタユニットに統 合するのは容易である。 上記Ｘ線フィルタは、二次元マトリクスに配列された多数の（例えば、２５６ ｘ２５６又は５１２ｘ５１２の）フィルタ要素を含んでいる。また、上記Ｘ線コ リメータも、二次元マトリクスに配列された多数の（例えば、１２８ｘ１２８の ）コリメータ要素を含んでいる。個々のフィルタ要素及び個々のコリメータ要素 はマトリクス制御システムにより調整することができ、該制御システムは個別の 列のフィルタ要素又はコリメータ要素に対する電圧リード線を有し、これにより 該当する列のフィルタ要素又はコリメータ要素に調整電圧を印加する。斯かるマ トリクス制御システムは個別の行のフィルタ要素又はコリメータ要素に対する制 御リード線も有している。このような制御リード線に制御電圧が供給されると、 該当する行のフィルタ要素又はコリメータ要素が選択されて、これらフィルタ要 素又はコリメータ要素が接続された電圧リード線により伝達される調整電圧に調 整されることになる。これら電圧リード線に供給される上記調整電圧は、調整ユ ニット６に含まれる電圧源１３により発生される。Ｘ線フィルタ及びＸ線コリメ ータを調整するための前記制御電圧も調整ユニット６により供給される。 第２図は第１図のＸ線検査装置におけるＸ線フィルタの詳細を示している。第 ２図は、特に、個々のフィルタ要素の壁に、前記調整電圧を印加することができ る例えばＩＴＯ（インジウム錫酸化物）又はアルミニウム等の金属層５２が設け られていることを示している。該金属層５２上には、例えばパリレン（parylene ）層等の誘電体層５５が設けられる。該誘電体層はＸ線吸収液５４と金属層５２ との間の電気的降服を防止する。例えば１０μｍ未満の薄いパリレン層は、特に 好適な誘電体層を構成する。この薄いパリレン層上には、好ましくは、ＰＴＦＥ （テフロン）又はシラン（silane）又はシロキサン（siloxane）の被覆層５６が 設けられ、これにより上記フィルタ要素が液体金属に対して印加電圧の関数とし ての適切な付着度を有するのを保証する。個々のフィルタ要素は、それらの金属 層５２によりスイッチング素子５８を介して電圧リード線５９に接続されている 。該スイッチング素子は、例えば、薄膜トランジスタ５８である。斯かる薄膜ト ランジスタは、当該薄膜トランジスタのゲート接点に制御電圧が印加されること により閉成、即ちオンされる。このような制御電圧は制御リード線５７を介して 該当する薄膜トランジスタに印加される。 第３図は、第１図のＸ線検査装置におけるＸ線コリメータの詳細を示している 。第３図は、特に、個々のコリメータ要素の壁に、前記調整電圧を印加すること ができる金属層６２が設けられていることを示している。該金属層６２上には、 例えばパリレン層等の誘電体層６４が設けられる。該誘電体層はＸ線遮断液６５ と金属層６２との間の電気的降服を防止する。該誘電体層上には、疎水性ＰＴＦ Ｅ（テフロン）の被覆層７１が設けられている。個々のコリメータ要素は、それ らの金属層６２によりスイッチング素子６８を介して電圧リード線６９に接続さ れている。該スイッチング素子は、例えば、薄膜トランジスタ６８である。斯か る薄膜トランジスタは、当該薄膜トランジスタのゲート接点に制御電圧が印加さ れることにより閉成、即ちオンされる。このような制御電圧は制御リード線７０ を介して該当する薄膜トランジスタに印加される。 第４図は本発明によるＸ線検査装置を示し、該装置においてはＸ線コリメータ ６０はＸ線フィルタ５０とＸ線源との間に配置されている。該Ｘ線コリメータと Ｘ線源との間の距離はＸ線検出器とＸ線源との間の距離よりも大幅に小さく、Ｘ 線ビームは円錐状ビームであって、該ビームのＸ線検出器近傍での断面はＸ線コ リメータ近傍での断面よりも大幅に大きい。近接するコリメータ要素６１はＸ線 透過状態及びＸ線遮断状態にあるので、Ｘ線ビーム１１には、該Ｘ線ビームを横 切る方向において約１００μｍから５００μｍまでの短い距離にわたる強度変調 が生じる。Ｘ線検出器の領域では、これらの変調は発散が制限されたＸ線ビーム １１により数センチメートルにわたり広げられており、これら変調の変調深度は 該Ｘ線検出器の領域においては無視することができるほど小さくなっている。 第５図は本発明によるＸ線検査装置を示し、該装置においてはＸ線コリメータ ６０はＸ線フィルタ５０と検査空間２との間に配置されている。この構成におい ては、Ｘ線フィルタにより散乱されたＸ線（例えば、散乱されたＸ線８０）はＸ 線コリメータにより遮断されるようになる。かくして、Ｘ線フィルタにより散乱 されたＸ線はＸ線検出器には到達し得ないので、散乱されたＸ線によるＸ線画像 の妨害、特に所謂ブレ、が防止される。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウェルタース ウィルヘルムス ヤコブス ヨハネス オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 ウィラード ニコラース ペトラス オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６ (72)発明者 フォッキンク ランベルタス ゲリット ジャン オランダ国 5656 アーアー アインドー フェン プロフ ホルストラーン ６

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．Ｘ線を放出するＸ線源と、 放射線的に検査されるべき物体を収容する検査空間と、 前記物体のＸ線画像から画像信号を導出するＸ線検出器と、 前記Ｘ線を局部的に減衰させるＸ線フィルタであって、 前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器との間に配置され、 フィルタ要素を備え、該フィルタ要素のＸ線吸収率はこれら個々のフィ ルタ要素内のＸ線吸収液の量に基づいて調整することができる、 ようなＸ線フィルタと、 を含むようなＸ線装置において、 前記Ｘ線検査装置は前記Ｘ線を局部的に遮断するＸ線コリメータを含み、 前記Ｘ線コリメータは前記Ｘ線源と前記検査空間との間に配置されると共に 、Ｘ線透過状態とＸ線遮断状態との間で切り換えることができるようなコリメ ータ要素を備え、これら個々のコリメータ要素は上記Ｘ線遮断状態においては Ｘ線遮断液により満たされることを特徴とするＸ線検査装置。 ２．請求項１に記載のＸ線検査装置において、前記Ｘ線遮断液が液体金属又は液 体金属合金であることを特徴とするＸ線検査装置。 ３．請求項２に記載のＸ線検査装置において、前記液体金属又は前記液体金属合 金が水銀及びガリウムの群からの物質を含むことを特徴とするＸ線検査装置。 ４．請求項１に記載のＸ線検査装置であって、前記フィルタ要素が毛細管のフィ ルタ群により形成されているようなＸ線検査装置において、 前記コリメータ要素が毛細管のコリメータ群により形成され、 前記コリメータ群の毛細管が前記フィルタ群の毛細管よりも短い、 ことを特徴とするＸ線検査装置。 ５．請求項４に記載のＸ線検査装置において、 前記コリメータ群の毛細管の長さが前記フィルタ群の毛細管の長さの１／３ 未満であることを特徴とするＸ線検査装置。 ６．請求項１に記載のＸ線検査装置において、 前記コリメータ要素の数が前記フィルタ要素の数よりも少ないことを特徴と するＸ線検査装置。 ７．請求項１に記載のＸ線検査装置において、 前記コリメータ要素が共通ダクトと連通し、 前記Ｘ線コリメータには前記共通ダクト内のＸ線遮断液の量を制御するため の排出手段が設けられている、 ことを特徴とするＸ線検査装置。 ８．請求項７に記載のＸ線検査装置において、 前記共通ダクトが該共通ダクトの容積を変化させるように変形することがで きることを特徴とするＸ線検査装置。 ９．請求項７に記載のＸ線検査装置において、 前記共通ダクトが変形可能な壁を有していることを特徴とするＸ線検査装置 。 10．請求項１に記載のＸ線検査装置において、 前記Ｘ線コリメータが前記Ｘ線フィルタと前記検査空間との間に配置されて いることを特徴とするＸ線検査装置。 11．請求項１に記載のＸ線検査装置において、 前記Ｘ線フィルタが前記Ｘ線コリメータと前記検査空間との間に配置されて いることを特徴とするＸ線検査装置。