JP3655902B2 - バンプを備えたウエハーの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハーの製造方法に関する。さらに詳しくはウエハー上にバンプを形成した、バンプを備えたウエハーの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハーは、バンプを電気的接合点として各種の回路基板上に担持されている。該バンプは、通常、スパッタリング法、蒸着法、無電解めっき法等の物理化学的な方法によって形成されたり、導電性のピンを使用することによって形成されたりしている。
【0003】
しかしながら、これらの方法によっては未だ十分な性能を発揮するバンプを経済的に有利な方法で製造することができない状況にある。すなわち、前記の物理化学的な方法においては、ある程度の高さをもったバンプを単一の操作で形成することは困難であり、これを達成するためには複数回の操作を必要とするため各操作の精密性が要求されるばかりか経済的にも不利であった。一方、ピンを使用する方法においては、ウエハー上に設置できるピンの本数には限度があり、電気的接合の自由度が極めて制限されるものであった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような現状に鑑みなされたものであってその目的とするところは、ウエハー上にバンプを極めて簡単かつ経済的に、しかもその高さを自由に調節して製造することができるバンプを備えたウエハーの製造方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかるバンプを備えたウエハーの製造方法は、ウエハーの少なくともいずれか一の面に導電性保護層を形成する工程と、該導電性保護層上のバンプを形成しようとする部分以外の部分に第1レジスト層を形成する工程と、該導電性保護層上のバンプを形成しようとする部分にZn層を形成する工程と、該Zn層上にNi層を形成する工程と、該第1レジスト層と該Ni層の両者の上にスパッタリング層を形成する工程と、該スパッタリング層上であってかつ該第1レジスト層の上部に相当する部分に第2レジスト層を形成する工程と、該スパッタリング層上であってかつ該Ni層の上部に相当する部分に導電金属層を形成する工程と、該第2レジスト層を除去する工程と、該導電金属層が形成されていない部分の該スパッタリング層を除去する工程と、を有することを特徴としている。
【0006】
本発明にかかるバンプを備えたウエハーの別の製造方法は、ウエハーの少なくともいずれか一の面に導電性保護層を形成する工程と、該導電性保護層上のバンプを形成しようとする部分以外の部分に第1レジスト層を形成する工程と、該導電性保護層と該第1レジスト層の両者の上にスパッタリング層を形成する工程と、該スパッタリング層上であってかつ該第1レジスト層の上部に相当する部分に第2レジスト層を形成する工程と、該スパッタリング層上であってかつ該導電性保護層上のバンプを形成しようとする部分の上部に相当する部分にNi層を形成する工程と、該Ni層上に導電金属層を形成する工程と、該第2レジスト層を除去する工程と、該導電金属層が形成されていない部分の該スパッタリング層を除去する工程と、を有することを特徴としている。
【0007】
また、本発明の上記各製造方法においては、特に導電金属層が電気めっきで形成されることを特徴とすることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下本発明についてさらに詳細に説明する。なお、説明の便宜上図1に示されている製造工程にかかる製造方法を第1方法、図2に示されている製造工程にかかる製造方法を第2方法と呼ぶこととする。
【0009】
<ウエハー>
本発明が対象とするウエハー101、201は、構造的あるいは組成的に何ら限定されるものではなく、あらゆるウエハーを対象とするものである。例えば、シリコンウエハーをはじめ化合物半導体ウエハー等を例示することができる(図1(a)、図2(a))。
【0010】
<導電性保護層>
ウエハーの少なくともいずれか一の面上に形成される導電性保護層102、202は、主としてバンプを形成する際の諸操作によりウエハーが損傷を受けるのを防止する作用を奏するものである。最終的にバンプはこの層上に形成されることとなるため、該層は導電性を有していることが必要とされる。このような導電性保護層は、通常Al、Cu等の金属を蒸着、スパッタリング、めっき等することにより0.5〜1.0μmの厚さで形成することができる(図1(b)、図2(b))。
【0011】
<第1レジスト層>
第1レジスト層103、203は、上記の導電性保護層上のバンプを形成しようとする部分104、204以外の部分に形成するものであって、バンプを形成する部分以外の部分をマスクする作用を有するものである。該第1レジスト層を構成する成分としては、従来公知のレジスト材料を何等限定なく使用することができ、またその形成方法も特に限定されることはなく従来公知の形成方法をいずれも採用することができる。このような第1レジスト層の厚さは、後述のNi層等の厚さと関係するため、通常1〜10μmの厚さで形成することが好ましい(図1(c)、図2(c))。
【0012】
<Zn層>
Zn層105は、第1方法で形成されるものであって、上記の導電性保護層102上のバンプを形成しようとする部分104に形成されるものである(図1(d))。該Zn層は、金属亜鉛(Zn)を主成分とするものでありバンプの一部となるものであって、後述のNi層との密着性を向上させる作用を有するものである。すなわち、上記の導電性保護層を構成するAl等は容易に酸化され、その酸化物に対してNi等を密着性良く付着させることは無電解めっきあるいは電気めっきの別を問わず困難となるところ、このZn層を介在させることにより密着性良好なNi等の皮膜を無電解または電気めっきにより形成させることが可能となる。該Zn層は、通常金属亜鉛(Zn)を置換めっき法により0.1〜1μmの厚さで形成することができる。
【0013】
<Ni層>
Ni層106、206は、第1方法では上記Zn層105上に形成され(図1(e))、第2方法では後述のスパッタリング層207上であってかつ該導電性保護層202上のバンプを形成しようとする部分204の上部に相当する部分に形成されるものである(図2(f))。該Ni層は、金属ニッケル(Ni)を主成分とするものでありバンプの一部となるものであって、Zn層やスパッタリング層との密着性に優れるとともに後述の導電金属層との密着性にも優れるため、いわばこれらのジョイントとしての作用を有するものである。該Ni層は、金属ニッケル(Ni)を通常、第1方法では主として無電解めっきにより0.5〜3μmの厚さで、また第2方法では主として電気めっきにより0.5〜30μmの厚さでそれぞれ形成することができる。
【0014】
<スパッタリング層>
スパッタリング層107、207は、第1方法では該第1レジスト層103と該Ni層106の両者の上に形成され(図1(f))、第2方法では該導電性保護層202と該第1レジスト層203の両者の上に形成されるものである(図2(d))。該スパッタリング層は、後述の第2レジスト層108、208によりバンプを形成しようとする部分以外の部分がマスクされることにより後述の導電金属層109、209が形成される際の電極としての作用を有するものである。このようなスパッタリング層は、通常Ni、Pd、Au、Cu等をスパッタリングすることにより0.05〜1.0μmの厚さで形成することができる。
【0015】
<第2レジスト層>
第2レジスト層108、208は、上記スパッタリング層107、207上であってかつ前記第1レジスト層103、203の上部に相当する部分に形成される(図1(g)、図2(e))。このような第2レジスト層は、前記第1レジスト層と同様にバンプを形成する部分以外の部分をマスクする作用を有するとともに、さらに後述の導電金属層の高さを調節する作用を兼ね備えるものである。すなわち、該第2レジスト層を分厚く形成すればそれだけ導電金属層を分厚く形成させることができ、結果的にバンプ110、210を高く形成できることとなる。したがって、該第2レジスト層の厚さは、該導電金属層(バンプ)の高さをどの程度のものとするかを考慮して、通常5〜80μmの厚さで形成することが好ましい。なお、該第2レジスト層を構成する成分としては、前記第1レジスト層と同様従来公知のレジスト材料を何等限定なく使用することができ、またその形成方法も特に限定されることはなく従来公知の形成方法をいずれも採用することができる。
【0016】
<導電金属層>
導電金属層109、209は、第1方法ではスパッタリング層107上であってかつ該Ni層106の上部に相当する部分に形成され(図1(h))、第2方法では該Ni層206上に直接形成される(図2(g))。該導電金属層は、バンプを構成するものであり、従って導電性を有していることが必要とされる。通常、Cu、Ni、Ag、Au、Sn、Pd、半田等により5〜80μmの高さ(厚さ)で構成される。本発明においては、特にこの導電金属層を電気めっきで形成することを特徴とすることができ、これにより通常は単一の工程操作で所望の高さのバンプ110、210を形成することができる。このため、この方法によれば工程操作自体に精密性が要求されることもなく、その操作性が簡単でかつ経済的にも非常に優れたものとなる。また一方、該導電金属層は2種以上の異なった金属を積層させることにより形成することもできる。たとえば、Cu、Ni、Ag等を下層とし、Au、Sn、Pd、Ag、半田等を上層とすることができ、これらの上下両層を合わせて高さ(厚さ)5〜80μmとすることができる。この場合、上下少なくともいずれかの層、好ましくは特に上下両層を電気めっきで形成することが好ましい。これにより、上述したのと同様のメリットが電気めっきすることにより得られる。
【0017】
<バンプ>
バンプ110、210は、最終的に第2レジスト層108、208を剥離させるとともに(図1(i)、図2(h))、バンプが形成されていない部分のスパッタリング層107、207をソフトエッチングすることにより除去させることによって形成される(図1(j)、図2(i))。該第2レジスト層は、溶剤を使用したり、加熱させたり、あるいは光照射させたりして剥離することができる。また、スパッタリング層は、硝酸等の酸性液に浸漬させたり、専用の剥離液に浸漬させたりしてソフトエッチングすることができる。なお、該スパッタリング層はこのようなソフトエッチングにより除去しなければ、バンプの一部を構成するスパッタリング層まで損傷を受けることとなるため好ましくない。
【0018】
【実施例】
以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【0019】
<実施例1>
図1を参照しつつ説明する。
【0020】
まず、シリコンで構成されているウエハー101の少なくともいずれか一の面にアルミニウム(Al)を0.7μmの厚さで真空蒸着することにより導電性保護層102を形成した(図1(b))。
【0021】
次に、該導電性保護層102上の全面にネガタイプのレジスト(商品名:NIT0707、ニチゴーモートン社製)を塗布し、バンプを形成しようとする部分104のみをマスクした後露光、現像処理することによりバンプを形成しようとする部分104以外の部分に、厚さ7μmの第1レジスト層103を形成した(図1(c))。
【0022】
続いて、上記で形成した導電性保護層102上のバンプを形成しようとする部分104に置換亜鉛めっき液(商品名:TADジンケート40S、奥野製薬工業(株)社製)を用いて室温、pH10.5の条件下で置換めっき処理を施すことによって亜鉛(Zn)からなる厚さ0.3μmのZn層105を形成した(図1(d))。
【0023】
次に、該Zn層105上に無電解ニッケルめっき液(商品名:トップニコロンBL、奥野製薬工業(株)社製)を用いて85℃、pH4.5の条件下で無電解めっき処理を施すことによってニッケル(Ni)からなる厚さ2.5μmのNi層106を形成した(図1(e))。
【0024】
続いて、上記で形成した第1レジスト層103とNi層106の両者の上に金属ニッケル(Ni)を、1000ガウスのマグネットを使用し、Niターゲットを取付け、真空度2×10-4Torr、出力2.2KWという条件下でスパッタリングすることによりNiからなる厚さ0.5μmのスパッタリング層107を形成した(図1(f))。
【0025】
次に、上記で形成したスパッタリング層107上の全面にネガタイプのレジスト(商品名:NIT240、ニチゴーモートン社製)を塗布し、バンプを形成しようとする部分104のみをマスクした後露光、現像処理することによりスパッタリング層107上であってかつ前記第1レジスト層103の上部に相当する部分に、厚さ40μmの第2レジスト層108を形成した(図1(g))。
【0026】
続いて、上記スパッタリング層107上であってかつ該Ni層106の上部に相当する部分(すなわち、上記の第2レジスト層108でマスクされていない部分)に、電気ニッケルめっき液(硫酸ニッケル240g/l、塩化ニッケル40g/lおよび硼酸40g/lからなるもの)を用いて50℃、pH3.8、電流密度0.6A/dm2、空気攪拌の条件下で電気めっき処理を施すことによってニッケル(Ni)からなる厚さ20μmの層を形成し、引続きノーシアン系金めっき液(金12g/l、その他添加剤からなるもの)を用いて温度60℃、pH7.8、電流密度0.6A/dm2、空気攪拌の条件下で電気めっき処理を施すことによって厚さ15μmの金(Au)からなる層を形成し、これら両層を合わせて厚さ35μmの導電金属層109を形成した(図1(h))。
【0027】
その後、上記で形成した第2レジスト層108をアミン系溶剤(商品名:KS1000、ニチゴーモートン社製)を用いることにより除去するとともに(図1(i))、上記導電金属層109が形成されていない部分の該スパッタリング層107を硝酸に浸漬させてソフトエッチングすることにより除去することによってバンプ110を形成し、バンプを備えてなるウエハーを製造した(図1(j))。
【0028】
上記で得られたウエハーは、十分な高さを有するバンプを備えているため、所望の回路基板上に用いることができた。
【0029】
<実施例2>
図2を参照しつつ説明する。
【0030】
まず、シリコンで構成されているウエハー201の少なくともいずれか一の面にアルミニウム(Al)を0.8μm厚さで真空蒸着することにより導電性保護層202を形成した(図2(b))。
【0031】
次に、該導電性保護層202上の全面にネガタイプのレジスト(商品名:NIT0707、ニチゴーモートン社製)を塗布し、バンプを形成しようとする部分204のみをマスクした後露光、現像処理することによりバンプを形成しようとする部分204以外の部分に、厚さ7μmの第1レジスト層203を形成した(図2(c))。
【0032】
続いて、上記で形成した導電性保護層202と第1レジスト層203の両者の上にニッケル(Ni)を、1000ガウスのマグネットを使用し、Niターゲットを取付け、真空度2×10-4Torr、出力2.2KWという条件下でスパッタリングすることによりNiからなる厚さ0.5μmのスパッタリング層207を形成した(図2(d))。
【0033】
続いて、上記で形成したスパッタリング層207上の全面にネガタイプのレジスト(商品名:NIT240、ニチゴーモートン社製)を塗布し、バンプを形成しようとする部分204のみをマスクした後露光、現像処理することによりスパッタリング層207上であってかつ前記第1レジスト層203の上部に相当する部分に、厚さ40μmの第2レジスト層208を形成した(図2(e))。
【0034】
次に、上記スパッタリング層207上であってかつ前記導電性保護層202上のバンプを形成しようとする部分204の上部に相当する部分(すなわち、上記の第2レジスト層208でマスクされていない部分)に電気ニッケルめっき液(硫酸ニッケル240g/l、塩化ニッケル40g/lおよび硼酸40g/lからなるもの)を用いて50℃、pH3.8、電流密度0.6A/dm2、空気攪拌の条件下で電気めっき処理を施すことによってニッケル(Ni)からなる厚さ20μmのNi層206を形成した(図2(f))。
【0035】
続いて、上記で得られたNi層206上にノーシアン系金めっき液(金12g/l、その他添加剤からなるもの)を用いて温度60℃、pH7.8、電流密度0.6A/dm2、空気攪拌の条件下で電気めっき処理を施すことによって金からなる導電金属層209(厚さ15μm)を形成した(図2(g))。
【0036】
その後、上記で形成した第2レジスト層208をアミン系溶剤(商品名:KS1000、ニチゴーモートン社製)を用いることにより除去するとともに(図2(h))、上記導電金属層209が形成されていない部分の該スパッタリング層207を硝酸に浸漬させてソフトエッチングすることにより除去することによってバンプ210を形成し、バンプを備えてなるウエハーを製造した(図2(i))。
【0037】
上記で得られたウエハーは、十分な高さを有するバンプを備えているため、所望の回路基板上に用いることができた。
【0038】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0039】
【発明の効果】
本発明の製造方法によれば、ウエハー上にバンプを極めて簡単かつ経済的に、しかもその高さを自由に調節して製造することができる。特に、導電金属層を電気めっきにより形成することにより、単一の操作で所望の高さのバンプを形成することができる。したがって、本発明は、産業上極めて有用なバンプを備えたウエハーの製造方法を提供している。
【図面の簡単な説明】
【図1】 バンプを備えたウエハーの製造工程を示す概略断面図である。
【図2】 バンプを備えたウエハーの別の製造工程を示す概略断面図である。
【符号の説明】
101,201 ウエハー、102,202 導電性保護層、103,203第1レジスト層、104,204 バンプを形成しようとする部分、105 Zn層、106,206 Ni層、107,207 スパッタリング層、108,208 第2レジスト層、109,209 導電金属層、110,210 バンプ。
Claims (3)
- ウエハーの少なくともいずれか一の面に導電性保護層を形成する工程と、
該導電性保護層上のバンプを形成しようとする部分以外の部分に第1レジスト層を形成する工程と、
該導電性保護層上のバンプを形成しようとする部分にZn層を形成する工程と、
該Zn層上にNi層を形成する工程と、
該第1レジスト層と該Ni層の両者の上にスパッタリング層を形成する工程と、
該スパッタリング層上であってかつ該第1レジスト層の上部に相当する部分に第2レジスト層を形成する工程と、
該スパッタリング層上であってかつ該Ni層の上部に相当する部分に導電金属層を形成する工程と、
該第2レジスト層を除去する工程と、
該導電金属層が形成されていない部分の該スパッタリング層を除去する工程と、
を有することを特徴とするバンプを備えたウエハーの製造方法。 - ウエハーの少なくともいずれか一の面に導電性保護層を形成する工程と、
該導電性保護層上のバンプを形成しようとする部分以外の部分に第1レジスト層を形成する工程と、
該導電性保護層と該第1レジスト層の両者の上にスパッタリング層を形成する工程と、
該スパッタリング層上であってかつ該第1レジスト層の上部に相当する部分に第2レジスト層を形成する工程と、
該スパッタリング層上であってかつ該導電性保護層上のバンプを形成しようとする部分の上部に相当する部分にNi層を形成する工程と、
該Ni層上に導電金属層を形成する工程と、
該第2レジスト層を除去する工程と、
該導電金属層が形成されていない部分の該スパッタリング層を除去する工程と、
を有することを特徴とするバンプを備えたウエハーの製造方法。 - 導電金属層が電気めっきで形成されることを特徴とする請求項1または2記載のバンプを備えたウエハーの製造方法。
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