JP3650466B2 - 樹脂モールド装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂注入時において、その注入圧によりリードフレームが変形する事態を防止するための支持ピンを備えた樹脂モールド装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体モールド装置においては、一般的にトランスファモールド装置が使用されるが、これらの装置により半導体素子を樹脂モールド成型する場合に使用されるリードフレーム形状は、半導体素子用パッケージの形式において種々異なるものである。例えば、上記パッケージの形式としては図4(a)に示すように、リードフレームAの中央部に樹脂モールド部Bを成型するもの(クワッド・フラット・パッケージ[QFP],デュアル・インライン・パッケージ[DIP]など)や、図4(b)に示すように、リードフレームCの片側に樹脂モールド部Dを成型するもの(シングル・インライン・パッケージ[SIP]など)がある。
【0003】
特に、図4(b)のような形状のリードフレームCを利用する場合には、図5に示すように、半導体チップEが搭載されたリードフレームCの基端部側を上金型1及び下金型2により挟持した状態で、それら金型1及び2間に形成されるキャビティ3内に、リードフレームCの先端側の下寄り位置に形成されたゲート4から樹脂を注入(充填)する構成とされる。但し、このような構成では、注入された樹脂が、まずリードフレームCの下側に流入して当該リードフレームCを押上げ変形させるという事情がある。そこで、リードフレームCの変形を防止するために、当該リードフレームCの先端側に上方から当接する支持ピン5が設けられる。
【0004】
上記のような支持ピン5は、固定式の支持ピン5を利用する構成では、キャビティ3内への樹脂注入が終了した時点においても当該支持ピン5の先端がリードフレームCに触れている。この為、成型後の樹脂モールド部に支持ピン5による小孔が形成され、その小孔底部はリードフレームCが露出した状態となり半導体としての性能や寿命に悪影響を及ぼすので、一般的に可動式の支持ピン5が用いられる。
【0005】
図6に、可動式の支持ピンを備えた半導体モールド装置の従来の一例を示し説明する。
図において、支持ピン5は、上金型1のキャビティブロック1aの上方に配置した2枚の固着された可動プレート7a及び7bにより上下動自在に保持されている。この可動プレート7bと上金型1のベースプレート9との間に、常時前記可動プレート7a及び7bを下方に付勢し、可動プレート7aをスペーサ6を介しキャビティブロック1aに接圧させる複数個の圧縮バネgが設けられている。
【0006】
前記可動プレート7bの中央部には、モールドプレス部(図示しない)の上プレート10に設けた直動アクチュエータ13の駆動ロッドネジ部13aにより適性位置に調整固着された連結金具12の連結凹部12aと隙間を持ちつつ嵌合する連結凸部11が固着されている。又、前記連結凸部11は、後ろ方向に開口部が設けられている。尚、ベースプレート9には、前記連結凸部11に対応する後ろ方向を開口部とした溝形状の逃げが設けられている。
【0007】
図6は、モールドプレス部(図示しない)の上プレート10とスライドプレート(図示しない)の間に金型(下金型は図示しない)を搭載する段取り状態を示す図で、上プレート10と上金型1のベースプレート9との間に△A、連結金具12の連結凹部12aと△B,△C,△D,△Eの隙間を持ちつつ、上金型1をスライドプレート上に位置決めしたところである。この時、△Aは金型(下金型は図示しない)を搭載する際の作業性を考慮すると少なくとも1mm前後は必要でである。この後、スライドプレートを上昇させて上プレート10とベースプレート9を密着させ、上金型1を上プレート10に締付けボルトなどにより固着するためには下記の隙間が必要となる。
【0008】
(1). △B≧△A (2). △C≧△A
(3). △D=0.5mm前後 (4). △E=1.0mm前後
以上から、連結凹部12aと連結凸部11の上下(支持ピン5の作動)方向に△C+△D=1.5mm前後の隙間ができることになる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来技術では、金型段取時の上プレート10と上金型1のベースプレート9との隙間△Aを必ず△C(1mm前後)以下にする必要が有るので、
(1)スライドプレート位置調整がクリティカルで金型段取りがやりにくく作業性が悪い。
(2)位置調整によって最悪の場合、連結凹部12aと連結凸部11が干渉し、破損する可能性もある。
又、連結凹部12aと連結凸部11の上下(支持ピン5の動作)方向に△C+△D=1.5mm前後の隙間ができるので、
(3)金型により連結凸部11の寸法バラツキによる形状誤差が生じるため、段取り毎に直動アクチュエータ13の駆動ロッドネジ部13aにより連結凹部12aの位置調整が必要となる。
(4)長期の作業により、連結凹部12aと連結凸部11の接圧部にいわゆる 「ヘタリ」が生じ、支持ピン5の位置が変化し性能不良の原因になる。
等の問題があった。
【0010】
本発明は、金型段取りが容易で作業性が良く、可動部に隙間がなく支持ピンを高精度に位置決め可能な支持ピン駆動機構を有するモールドプレス部を設けた半導体モールド装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前述の目的を達成するために、請求項1の発明は、対をなす金型間に形成されるキャビティ内にリードフレーム収納状態で樹脂注入により樹脂モールドを行うもので、樹脂注入時に前記リードフレームに当接してその変形を防止する支持ピンを備えた樹脂モールド装置において、前記支持ピンを保持し且つ当該支持ピンを前記リードフレームと当接させた支持位置または前記支持位置より僅か下側の位置とリードフレームから離間させた引抜位置との間で往復移動自在に設けられ、上記支持位置または前記支持位置より僅か下側の位置に移動状態で前記金型の上金型キャビティブロックに対し胴突き状態で当接される、支持ピンを保持する可動プレートと、この可動プレートをベースプレートに対し常時下方に付勢する付勢手段と、前記支持ピンを保持する可動プレートを前記付勢手段の付勢力に抗して移動させる連結プレートを備えた駆動機構と、前記駆動機構を支持する上プレートと、前記連結プレートと上金型の可動プレートを固着連結する手段とを備えたことを特徴とする。
以上のような請求項1の発明では、金型段取りが容易で作業性が良く、可動部に隙間がなく支持ピンを高精度に位置決め可能な支持ピン駆動機構を有するモールドプレス部を設けた半導体モールド装置を提供できる。
請求項2の発明は、前記駆動機構は、サーボモータを駆動源として減速機,駆動プーリ,タイミングベルト,従動プーリを介してボールネジナットを回転させ、スプラインナットによりボールネジスプラインを回り止めとして直線運動に変換し、ボールネジスプラインに固着された連結プレートと可動プレートを介して付勢手段の付勢力に打ち勝って支持ピンを移動させるよう構成したことを特徴とする。
以上のような請求項2の発明では、モールドプレス部のスライドプレート上に金型を搭載する際、上プレートと上金型のベースプレート間に5〜10mm程度の隙間を設けることができるため、作業が容易で破損箇所もなくなる。
請求項3の発明は、金型段取り又は通常時に、前記連結プレートは金型搭載時にベースプレートと干渉しない金型段取り位置として駆動機構により位置決めされ、前記可動プレートは金型搭載時に前記上プレートの下面と干渉しない位置付けしたことを特徴とする。以上のような請求項3の発明では、連結ボルトにより可動プレートBと連結プレートを締付け固定するだけで良いため、調整箇所がなく前述と合わせて段取り作業が容易になる。
請求項4の発明は、前記可動プレートが、前記胴突き状態で前記金型の上金型キャビティブロックに対し当接される位置を駆動機構の原点位置とし、且つ、前記支持ピンがリードフレームの先端部と当接した下方の支持位置より僅か下側の位置としたこと特徴とする。以上のような請求項4の発明では、プレート面の「ヘタリ」等による支持ピンの位置ズレもない。又、駆動機構と支持ピン間に隙間(ガタ)がないので、サーボモータとの組合わせにより高精度の支持ピンの位置制御が可能で、且つ樹脂の注入状態に合わせて(例えば、注入開始時にリードフレームCの先端を僅か下げておき、注入途中で保持位置に移動する等)支持ピンを上下に移動させる事により、高品質な半導体素子をモールド成型することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下本発明の一実施例を図1及び2を参照して説明する。
図1は金型の段取り中を示す図で、モールドプレス部(図示しない)の上プレート30と上金型21のベースプレート29間に5〜10mm程度の隙間を設け、上下金型を重ねた状態でモールドプレス部のスライドプレート(図示しない)上に搭載した状態を示す図である。図において、上金型21及び下金型22の各キャビティブロック21a及び22a間には、型合わせ状態で複数のキャビティ23(2個のみ図示)が形成され、各キャビティ23内には下金型22のキャビティブロック22aのポット部22bに設けられたプランジャ22cを駆動部(図示しない)により上方に押上げ、同様に、下金型22のキャビティブロック22aに形成されたランナ部24及びゲート25を通して樹脂が注入される。
【0013】
尚、上記型合わせ時には、キャビティ23内に半導体チップ(図示しない)が搭載されたリードフレームCの基端部側が、上金型21及び下金型22の各キャビティブロック21a及び22a間に挟持された状態となる。
【0014】
次に複数本の支持ピン26(通常キャビティ1個当たり1〜2本設けられ、本実施例は2本のみ図示)は、上金型21のキャビティブロック21aの上方に固着配置された2枚の可動プレートA27a及び可動プレートB27bにより保持されており、その保持状態で前記キャビティブロック21aを上下に貫通して支持ピン26の先端がリードフレームCの先端部に上方から当接可能に配置されている(図2参照)。前記可動プレートA27a及び可動プレートB27bは、支持ピン26を前記リードフレームCの先端部と当接させた下方の支持位置より僅か下側と、前記リードフレームCの先端部から離間させた上方の引抜位置との間で往復移動自在に設けられ、前記支持位置に移動された状態でキャビティブロック21aに対し胴突き状態で当接されている。
【0015】
前記可動プレートA27a及び可動プレートB27bを介し、支持ピン26を下方に付勢し可動プレートA27aをキャビティブロック21aに常時胴突きさせる複数個(2個のみ図示)の圧縮バネ28が、ベースプレート29と可動プレートB27b間に設けられている。上プレート30には、可動プレートB27bまでの貫通穴30aが形成されると共に、この貫通穴30aに可動プレートA27a及び可動プレートB27bを介し、支持ピン26を上下動作させるための駆動機構31が埋設されている。但し、貫通穴30aは後述するように、固着連結手段として複数個(2個のみ図示)の連結ボルト45部分は対応する逃げが設けられている。
【0016】
次に駆動機構31の構成を説明する。
貫通穴30a内にホルダ32が挿入状態で固定されており、このホルダ32の上部には2個の玉軸受33の外輪が押え金具34により固定されている。前記玉軸受33の内輪を貫通するよう配置されたボールネジナット35は、当該内輪に対し軸ナット36を介して固定されており、ボールネジナット35上端部には従動プーリ37が嵌着されている。貫通穴30a内にホルダ32が挿通した状態で配置されたボールネジスプライン38は、ボールネジナット35及びホルダ32の下部に嵌着したスプラインナット39により保持されており、その下端には駆動機構31の上下動作を伝導する連結プレート37が可動プレートB27bに固着されている。
【0017】
上プレート30の上面には、サーボモータ40を組付けた減速機41がブラケット42を介して取付けられている。前記減速機41の出力軸には駆動プーリ43が嵌着されており、この駆動プーリ43と前記従動プーリ37との間にタイミングベルト44が掛けられている。段取り時において、連結プレート37aは、上プレート30の下面より僅か上方(金型搭載時にベースプレート29と干渉しないよう)に、「金型段取り位置」として駆動機構31により位置決めされており、前記可動プレートB27bは、圧縮バネ28の付勢力によりベースプレート29より僅か下方(金型搭載時に上プレート30の下面と干渉しないよう)に位置付けされている。
【0018】
図2は段取りが終了した状態を示す図で、以下本図により説明する。
図1からモールドプレス部のスライドプレート(図示しない)を上昇させ、上プレート30と下面ベースプレート29を密着させ金型を取付けた後、駆動機構31により連結プレート37aを下方に移動させ可動プレートB27bに胴突きさせた状態で、前記複数個(2個のみ図示)の連結ボルト45により、可動プレートB27bと連結プレート37aが締付け固定される。
【0019】
以上の様な半導体モールド装置の操作について説明する。
以上の構成において、段取り替えは、まず図1に示すようにモールドプレス部(図示しない)の上プレート30と上金型21のベースプレート29間に5〜10mm程度の隙間を設け、上下金型21,22を重ねた状態でモールドプレス部のスライドプレート(図示しない)上に搭載し位置決めする。次に、スライドプレートが上昇し、上プレート30と下面ベースプレート29を密着させて金型を取付けた後、駆動機構31により連結プレート37aを下方に移動させ可動プレートB27bに胴突きさせた状態で、連結ボルト45により可動プレートB27bと連結プレート37aを締付け固定する。この時、連結プレート37aの胴突きは、サーボモータ40を連続定格トルク(定格の20%〜40%程度)で連結プレート37aを下降させ、現在位置がある微少時間(0.05〜0.2秒程度)以上変化しない(停止した)時に検出する。
【0020】
前記胴突き位置を駆動機構31の原点位置として、胴突き動作が原点復帰動作を兼用する。又、胴突き位置は、支持ピン26がリードフレームCの先端部と当接した下方の支持位置より僅か下側、即ち、支持ピン26の実用下限より僅か下側の位置とする。
【0021】
次に、樹脂モールド成型について述べる。
まず、支持ピン26をリードフレームCの先端部から離間した戻り位置に移動する。この状態で上下金型21,22を開き、下金型22のキャビティブロック22a上にリードフレームCをセットする。そして予熱した樹脂タブレット(図示しない)を下金型22のキャビティブロック22aのポット部22bに投入して、上下金型21,22の型締めを行うと同時に、支持ピン26をリードフレームCの先端部と当接する保持位置に移動する。次に、プランジャ22cを駆動部(図示しない)により上方に押上げ、溶融流動化した樹脂をキャビティ23内に注入する。この時、樹脂をリードフレームCの先端側の下寄り位置に形成されたゲート25から注入するため、樹脂がリードフレームCの下側に流入して当該リードフレームCを押上げ変形させようとするが、前記支持ピン26によりリードフレームCの変形が防止される。
【0022】
この後、樹脂がキャビティ23内に(キャビティ23内の全容積の80〜95%程度の量)注入されたタイミングでサーボモータ40を回転させる。そして、減速機41,駆動プーリ43,タイミングベルト44,従動プーリ37を介してボールネジナット35を回転させ、スプラインナット39によりボールネジスプライン38を回り止めして直線運動に変換し、ボールネジスプライン38に固着された連結プレート37aと可動プレートA27a及び可動プレートB27bを介し、圧縮バネ28に打ち勝って支持ピン26を微少量(通常0.05〜0.5mm程度で、樹脂の特性により変化させる)上方の引抜き位置まで移動させる。更に、樹脂が注入され支持ピン26先端とリードフレームCの先端側の隙間にも樹脂が充填され、硬化後に上下金型21,22を開き、樹脂モールド成型品を取り出す。
【0023】
尚、支持ピン26の移動タイミングは、プランジャ22cの位置を検出する方法または注入開始後の経過時間による方法等により決められる。
次に、支持ピン26を保持位置に移動し、上金型21及び下金型22の各キャビティブロック21a及び22aの表面と支持ピン26の先端部をクリーニングする。続いて、支持ピン26をを戻り位置に移動する。以下、同一作業を繰り返しモールド成型を行う。
【0024】
以上の構成によれば、段取り時に連結プレート37aは、上プレート30の下面より僅か上方(金型搭載時にベースプレート29と干渉しないよう)に、「金型段取り位置」として駆動機構31により位置決めされており、可動プレートB27bは圧縮バネ28の付勢力によりベースプレート29より僅か下方(金型搭載時に上プレート30の下面と干渉しないよう)に位置付けされているので、モールドプレス部のスライドプレート(図示しない)上に金型を搭載する際、上プレート30と上金型21のベースプレート29間に5〜10mm程度の隙間を設けることができるため、作業が容易で破損箇所も無くなる。
【0025】
次にスライドプレートが上昇し、上プレート30と下面ベースプレート29を密着させ金型を取付けた後、駆動機構31により連結プレート37aを下方に移動させ可動プレートB27bに胴突きさせた状態で、連結ボルト45により可動プレートB27bと連結プレート37aを締付け固定するだけで良いため、調整箇所がなく前述と合わせて段取り作業が容易になる。
【0026】
又、支持ピン26の駆動機構31と上金型21の連結が、可動プレートB27bと連結プレート37aを締付け固定する方法だから、プレート面の「ヘタリ」等による支持ピン26の位置ズレもない。又、駆動機構31と支持ピン26間に隙間(ガタ)がないので、サーボモータ40との組合わせにより高精度の支持ピン26の位置制御が可能で、且つ樹脂の注入状態に合わせて(例えば、注入開始時にリードフレームCの先端を僅か下げておき、注入途中で保持位置に移動する等)支持ピン26を上下に移動させる事により、高品質な半導体素子をモールド成型することができる等の効果がある。
【0027】
【発明の効果】
以上本発明によれば、金型段取りが容易で作業性が良く、可動部に隙間がなく支持ピンを高精度に位置決め可能な支持ピン駆動機構を有するモールドプレス部を設けた半導体モールド装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す金型の段取り中の状態図、
【図2】図1の段取りが終了した状態図、
【図3】図1で支持ピンをリードフレームC先端部から戻り位置に移動の状態図、
【図4】(a)はリードフレームA中央部への樹脂モールド部Bの成型図で、(b)はリードフレームC片側への樹脂モールド部Dの成型図、
【図5】半導体チップE搭載のリードフレームC基端部を上下金型で挟持の状態図、
【図6】(a)は従来のモールドプレス部の上プレートとスライドプレート間に金型を搭載する段取り状態図で、(b)は連結凹部と連結凸部の拡大図。
【符号の説明】
C…リードフレーム、 21…上金型、
23…キャビティ、 26…支持ピン、
27a…可動プレートA、 27b…可動プレートB、
29…ベースプレート、 30…上プレート、
31…駆動機構、 37a…連結プレート、
45…連結ボルト。
Claims (4)
- 対をなす金型間に形成されるキャビティ内にリードフレーム収納状態で樹脂注入により樹脂モールドを行うもので、樹脂注入時に前記リードフレームに当接してその変形を防止する支持ピンを備えた樹脂モールド装置において、
前記支持ピンを保持し且つ当該支持ピンを前記リードフレームと当接させた支持位置または前記支持位置より僅か下側の位置とリードフレームから離間させた引抜位置との間で往復移動自在に設けられ、上記支持位置または前記支持位置より僅か下側の位置に移動状態で前記金型の上金型キャビティブロックに対し胴突き状態で当接される、支持ピンを保持する可動プレートと、
この可動プレートをベースプレートに対し常時下方に付勢する付勢手段と、
前記支持ピンを保持する可動プレートを前記付勢手段の付勢力に抗して移動させる連結プレートを備えた駆動機構と、
前記駆動機構を支持する上プレートと、
前記連結プレートと上金型の可動プレートを固着連結する手段とを備えたことを特徴とする樹脂モールド装置。 - 前記駆動機構は、サーボモータを駆動源として減速機,駆動プーリ,タイミングベルト,従動プーリを介してボールネジナットを回転させ、スプラインナットによりボールネジスプラインを回り止めとして直線運動に変換し、ボールネジスプラインに固着された連結プレートと可動プレートを介して付勢手段の付勢力に打ち勝って支持ピンを移動させるよう構成したことを特徴とする請求項1記載の樹脂モールド装置。
- 金型段取り又は通常時に、前記連結プレートは金型搭載時にベースプレートと干渉しない金型段取り位置として駆動機構により位置決めされ、前記可動プレートは金型搭載時に前記上プレートの下面と干渉しない位置付けしたことを特徴とする請求項1記載の樹脂モールド装置。
- 前記可動プレートが、前記胴突き状態で前記金型の上金型キャビティブロックに対し当接される位置を駆動機構の原点位置とし、且つ、前記支持ピンがリードフレームの先端部と当接した下方の支持位置より僅か下側の位置としたこと特徴とする請求項1記載の樹脂モールド装置。
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