JP3638458B2 - インクジェットプリンタヘッド - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクを噴出して印刷するインクジェットプリンタに用いられるインクジェットプリンタヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、マルチメディアの発達とともに、情報の記録装置としてのプリンタ、とりわけインクジェットプリンタはパーソナルコンピュータの普及とともに急速に利用範囲が拡大している。
【0003】
インクジェットプリンタに用いるインクジェットプリンタヘッド(以下、ヘッドという)としては、図3に示すようなジルコン酸チタン酸鉛等を主成分とする圧電セラミックスからなる複数の隔壁23を等間隔で並設してなり、上記隔壁23間を加圧室24としてなる加圧部材22と、上記隔壁23上に接合され、各加圧室24を閉じる天板25とからなり、上記加圧室24の一方端側には各加圧室24と連通するインク噴出孔27を有するノズル板28を具備するとともに、上記各隔壁23の上部側両側面にはその長手方向に沿って駆動用電極26をそれぞれ備えた剪断モード型のものがあった(特開平9−164672号公報、特開平7ー101056等参照)。なお、29は加圧室24の他方端側にインクを導くためのインク供給孔である。
【0004】
そして、このヘッド21でもって記録媒体(不図示)に印刷するには、隔壁23を挟んで形成された駆動用電極26間に通電することで、圧電セラミックスの剪断モード変形を利用して各隔壁23を屈曲変位させ、各加圧室24内の圧力をそれぞれ変化させることでインク噴出孔27よりインクを吐出させるようになっている。即ち、図4(a)に示すように、隔壁23a,23bを加圧室24aの内側へ、隔壁23d,23eを加圧室24dの内側へそれぞれ屈曲変位させて加圧室24a,24d内を同時に加圧することでインク噴出孔27よりインクを吐出させ、次に、図4(b)に示すように、隔壁23b,23cを加圧室24bの内側へ、隔壁23e,23fを加圧室24eの内側へそれぞれ屈曲変位させて加圧室24b,24e内を同時に加圧することでインク噴出孔27よりインクを吐出させ、さらに図4(c)に示すように、隔壁23c,23dを加圧室24cの内側へ、隔壁23f,23gを加圧室24fの内側へそれぞれ屈曲変位させて加圧室24c,24f内を同時に加圧することでインク噴出孔27よりインクを吐出させるようになっており、このように、3つの加圧室24を一つの群とし、順次インクを吐出させるようになっていた。
【0005】
なお、図4(a)において、加圧室24c,24fでは圧力が減圧されることからインク供給孔29よりインクが導入されるようになっており、図4(b)において、加圧室24a,24dでは圧力が減圧されることからインク供給孔29よりインクが導入されるようになっており、図4(c)において、加圧室24b,24eでは圧力が減圧されることからインク供給孔29よりインクが導入されるようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図3に示す従来のヘッド21では、前述した通り、3つの加圧室24を一つの群としてインクを順次吐出する構造であるため、一回に吐出させることができる加圧室24の数が制限されるとともに、2つの加圧室24おきにしか吐出させることができないため、一回に吐出することができるインク噴出孔27の間隔が長くなる結果、所定の画像を印刷するのに時間がかかるといった課題があった。
【0007】
そこで、2つの加圧室4を一つの群としてインクを吐出させることも考えられえるが、このような場合、例えば、図4(a)のように、隔壁23a,23bをそれぞれ加圧室24a側に屈曲変位させて加圧室24aを加圧してインクを吐出させると、その隣の加圧室24bでは隔壁23b,23cがそれぞれ加圧室24bに対して外側へ拡がるように屈曲変位することになるため、加圧室24b内の圧力が急激に減圧され、インク噴出孔27より加圧室24b内に空気が侵入して気泡が発生する結果、次に、図4(b)のように、加圧室24b内を加圧してインクを吐出させようとしても、その圧力が気泡によって吸収されるため、所望のインク容量を吐出することができなかったり、酷いときにはインクを吐出させることができないといった課題があった。
【0008】
このように、図3に示すようなこれまでの剪断モード型のヘッド21では、印刷時間を短縮することができなかった。
【0009】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は上記課題に鑑み、平行に整列した圧電セラミックスからなる複数の隔壁を有し、該隔壁間を加圧室としてなる加圧部材と、該加圧部材の隔壁の頂部に接合され、上記加圧室を塞ぐ天板とからなり、上記加圧室の一方端側には電気粘性を有するインクを導入するインク供給孔を、他方端側には上記インクを吐出するインク噴出孔をそれぞれ備えるとともに、上記隔壁の両側面にはそれぞれ駆動用電極を有し、上記各隔壁を挟む駆動用電極間に通電して隔壁を屈曲変位させることによって加圧室内の圧力を変化させ、前記インク供給孔からインクを加圧室内に導入するとともに、インク噴出孔からインクを吐出するインクジェットプリンタヘッドであって、各加圧室のインク噴出孔近傍における対向壁面にそれそれ前記電気粘性を有するインクの粘度を調整する制御用電極を設けたことを特徴とする。
【0010】
【作用】
本発明によれば、加圧室を形成する加圧部材の隔壁を屈曲変位させることで加圧室内の圧力を変化させ、インクを吐出する剪断モード型のヘッドにおいて、インクとして電気粘性を有するインク(以下、ERインクという)を用いるとともに、上記加圧室のインク噴出孔近傍における対向壁面に、上記インクの粘度を調整するための制御用電極をそれぞれ設けたことから、インクの吐出に寄与していない加圧室側において、制御用電極間に通電してERインクの粘度を見かけ上高めることで、加圧室内の急激な圧力減少によるインク噴出孔からの空気の侵入を防ぐことができるため、インク吐出が不能とならず、2つの加圧室を一つの群としてインクを吐出させることができる。その為、一回に吐出させることができる加圧室の数を増やすことができるとともに、インク噴出孔の間隔を短く(インクを吐出する密度が向上する)することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【0012】
図1は本発明のインクジェットプリンタヘッド1を示す一部を破断した斜視図で、圧電セラミックスからなる複数の隔壁3を等間隔で並設してなり、上記隔壁3間を加圧室4としてなる加圧部材2と、上記隔壁3上に接合され、各加圧室4を閉じる天板5と、上記加圧室4の一方端側を塞ぐように接合され、各加圧室4と連通するインク噴出孔7を備えたノズル板8とからなり、上記各隔壁3の上部側両側面にはその長手方向に沿って駆動用電極6をそれぞれ形成してある。
【0013】
なお、上記加圧部材2において、加圧室4の他方端側は閉じられた構造となっており、前記天板5に穿孔されたインク供給孔9から加圧室4の他方端側へインクが導入されるようになっている。また、上記隔壁3の両側面に形成された駆動用電極6は、加圧室4の終端から加圧部材2の後端まで延設したリード膜11を介して通電されるようになっており、ERインクの制御用電極6は、隔壁3の頂部から加圧部材2の後端まで延びるリード膜12を介して通電されるようになっている。
【0014】
そして、このインクジェットプリンタヘッド1を用いて記録媒体(不図示)へ印刷するには、まず、インクとしてERインクを用いる。ERインクとは、オイル等の絶縁性の分散媒体に、酸化珪素等の各種セラミックスなどからなる数μm程度の微粒子粉末を分散させたもので、このインクに電圧を加えると、見かけ上粘度を高めることができるといった性質を有するものである。
【0015】
そして、このERインクをインク供給孔9より各加圧室4に充填し、加圧室4b,4dを構成する隔壁3b〜3eの対向壁面にそれぞれ形成された制御用電極10間にそれぞれ通電してインク噴出孔7の近傍に位置するインクの粘度を見かけ上高めた状態で、図2(a)に示すように、各隔壁3の両側面に形成された駆動用電極6間に通電して隔壁3a,3bを加圧室4a側に、隔壁3c,3dを加圧室4c側にそれぞれ屈曲変位させて加圧室4a,4c内の圧力を加圧することで、加圧室4a,4c内のインクをインク噴出孔7より同時に吐出させることができる。この時、加圧室4b,4d内の圧力は、加圧室4a,4c内の圧力の増加に伴って急激に減圧されることになるが、インク噴出孔7の近傍におけるインクの粘度は見かけ上高められているため、インク噴出孔7より加圧室4b,4d内への空気の侵入を効果的に防止することができる。
【0016】
次に、加圧室4b,4dを構成する隔壁3b〜3eの対向壁面にそれぞれ形成された制御用電極10間への通電を止めるとともに、加圧室4a,4cを構成する隔壁3a〜3dの対向壁面にそれぞれ形成された制御用電極10間に通電してインク噴出孔7の近傍に位置するインクの粘度を見かけ上高めた状態で、図2(b)に示すように、各隔壁3の両側面に形成された駆動用電極6間に通電して隔壁3b,3cを加圧室4b側に、隔壁3d,3eを加圧室4d側にそれぞれ屈曲変位させて加圧室4b,4d内の圧力を加圧することで、加圧室4b,4d内のインクをインク噴出孔7より同時に吐出させることができる。また、この時、加圧室4a,4c内の圧力は、加圧室4b,4d内の圧力の増加に伴って急激に減圧されることになるが、インク噴出孔7の近傍におけるインクの粘度は見かけ上高められているため、インク噴出孔7より加圧室4a,4c内への空気の侵入を効果的に防止することができる。
【0017】
このように、図2(a)(b)の動作を繰り返すことにより、2つの加圧室4を一つの群としてインクを順次吐出させることができるため、図3に示す従来のヘッド21と比較して、一回に吐出させることができる加圧室4の数を増やすことができるとともに、インク噴出孔7の間隔を短くすることができるため、所定の画像を印刷するのに要する時間を短縮することができる。
【0018】
ところで、上記隔壁3を有する加圧部材2を形成する圧電セラミックスとしては、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT系)を主成分とする圧電セラミックス、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)を主成分とする圧電セラミックス、ニッケルニオブ酸鉛を主成分とする圧電セラミックス、アンチモンスズ酸鉛を主成分とする圧電セラミックス、チタン酸鉛を主成分とする圧電セラミックス、チタン酸バリウムを主成分とする圧電セラミックス、さらにはこれら主成分を複合した圧電セラミックスを用いることができ、好ましくはマグネシウムニオブ酸鉛とジルコン酸鉛とチタン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスもしくはニッケルニオブ酸鉛とマグネシウムニオブ酸鉛とジルコン酸鉛とチタン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスにより形成することが良い。
【0019】
また、隔壁3の両側面に形成する駆動用電極6及びERインクの制御用電極10の材質としては、白金(Pt)、金(Au)、パラジウム(Pd)、ロジウム(Rh)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)等の金属や、Pt−Au、Pb−Ag、Pt−Pb等を主体とする合金を用いることができる。
【0020】
以上のように、図1に示すヘッド1では、ERインクの制御用電極10を加圧室4を構成する隔壁3の対向壁面にそれぞれ形成した例を示したが、加圧室4の他の対向壁面をなす天板5と加圧室4の底部にそれぞれ形成したものでも同様の作用効果が得られることは言うまでもない。また、本発明のインクジェットプリンタヘッド1は、図1に示すものだけに限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲であれば、改良や変更を加えたものであっても良いことを言うまでもない。
【0021】
次に、本発明のインクジェットプリンタヘッド1の製法について説明する。
【0022】
まず、加圧部材2を形成するために、前記圧電セラミック体を用意し、その厚み方向に分極処理を行い、ダイシングソーなどを用いた切削加工やブラスト加工等によって、複数の溝を並設し、該溝を加圧室4とするとともに、この加圧室4を構成する壁を隔壁3としてなる加圧部材2を形成する。
【0023】
次に、各隔壁3の両側面に、蒸着、スパッタリング、メッキ等の膜形成手段によって前記金属材料からなる駆動用電極6とERインクの制御用電極10をそれぞれ形成するのであるが、制御用電極10は、ノズル板8が接合される加圧室4の開口部の近傍に位置する隔壁3の壁面に、駆動用電極6は、制御用電極10を除く上部側壁面に加圧室4の終端まで形成する。なお、制御用電極10には、隔壁3の頂部から加圧部材2の後端まで延びるリード膜12を延設してあり、このリード膜11を介して制御用電極10へ通電するとともに、駆動用電極6には、加圧室4の終端から加圧部材2の後端まで延びるリード膜11を延設してあり、このリード膜12を介して駆動用電極6へ通電するようになっている。
【0024】
ここで、制御用電極10の大きさについては特に限定するものではなく、加圧室4内の圧力が減圧された時にインク噴出孔7から空気の侵入がなくかつ隔壁3の駆動特性に影響を与えない範囲で、ERインクの粘度や電気的特性に応じて適宜設定すれば良い。また、駆動用電極6は、隔壁3の上部側壁面にのみ形成した例を示したが、隔壁3の下部側壁面にのみ形成しても良く、さらには制御用電極10を除く壁面全面に形成することもできる。
【0025】
さらに、駆動用電極6及び制御用電極10への他の通電方法として、後述する天板5に複数のスルーホール導体を形成しておき、この天板5を加圧部材2の隔壁3上に接合する際に、天板5のスルーホール導体を隔壁3の駆動用電極6及び制御用電極10とそれぞれ直接当接させて導通を図るようにすることもできる。
しかるのち、加圧部材2の加圧室4を塞ぐべく、隔壁3の頂部に、セラミックス、ガラス、シリコン等の絶縁材料からなるインク供給孔9を備えた天板5を接着剤やガラスにて接合するとともに、加圧室4の開口部を塞ぐべく、セラミックス、ガラス、シリコンからなるインク噴出孔7を備えたノズル板8を接着剤やガラスにて接合することにより、図1に示すインクジェットプリンタヘッド1を得ることができる。
【0026】
【実施例】
ジルコン酸チタン酸鉛からなる圧電セラミック体を用意し、ダイシングソーにて溝幅100μm、溝深さ500μm、ピッチ200μmの溝加工を施して複数の加圧室4を有する加圧部材2を形成した。
【0027】
次に、各加圧室4を構成する隔壁3の両壁面に、スパッタリングにてAuからなる駆動用電極6とERインクの制御用電極10をそれぞ形成した。なお制御用電極10の大きさは加圧室4の深さ方向の長さが500μm、加圧室4の長手方向の長さが800μmの長方形とし、駆動用電極6の大きさは、加圧室4の深さ方向の長さが250μm、加圧室4の長手方向の長さが1500μmの帯状とした。
【0028】
しかるのち、加圧部材2の隔壁3上に、インク供給孔9を備えたアルミナセラミック製の天板5をエポキシ系接着剤にて接合するとともに、加圧室4の開口部に、インク噴出孔7を備えた樹脂製のノズル板8をエポキシ系接着剤にて接合して図1に示すインクジェットプリンタヘッド1を製作した。
【0029】
そこで、このインクジェットプリンタヘッド1を駆動させ、インクの吐出特性について確認する実験を行った。
【0030】
まず、インクとしてERインクをインク供給孔9より各加圧室4a〜4dに導入し、加圧室4b,4dを構成する隔壁3b〜3eの対向壁面に備える制御用電極10間に、30Vの直流電圧を印加して、インク噴出孔7近傍のインクの粘度を見かけ上高めるとともに、加圧室4a,4cを構成する各隔壁3a〜3dに、周波数5kHzの矩形波を30Vの電圧で印加して図2(a)に示すように隔壁3a,3bを加圧室4a側に、隔壁3c,3dを加圧室4c側にそれぞれ屈曲変位させて各加圧室4a,4c内を加圧し、加圧室4a,4cと連通するインク噴出孔7よりインクを吐出させ、次に、加圧室4b,4dを構成する隔壁3b〜3eの対向壁面に備える制御用電極10間への通電を止め、加圧室4a,4cを構成する隔壁3a〜3dの対向壁面に備える制御用電極10間に、30Vの直流電圧を印加して、インク噴出孔7近傍のインクの粘度を見かけ上高めるとともに、加圧室4b,4dを構成する各隔壁3b〜3eに、周波数5kHzの矩形波を30Vの電圧で印加して図2(b)に示すように隔壁3b,3cを加圧室4b側に、隔壁3d,3eを加圧室4d側にそれぞれ屈曲変位させて各加圧室4b,4d内を加圧し、加圧室4b,4dと連通するインク噴出孔7よりインクを吐出させる、という動作を繰り返したところ、インクの吐出に寄与していない加圧室4側で急激な圧力低下が起こってもインク噴出孔7からの空気の侵入は見られず、2つの加圧室4を一つの群として順次インクを安定して吐出させることができた。
【0031】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、平行に整列した圧電セラミックスからなる複数の隔壁を有し、該隔壁間を加圧室としてなる加圧部材と、該加圧部材の隔壁の頂部に接合され、上記加圧室を塞ぐ天板とからなり、上記加圧室の一方端側には電気粘性を有するインクを導入するインク供給孔を、他方端側には上記インクを吐出するインク噴出孔をそれぞれ備えるとともに、上記隔壁の両側面にはそれぞれ駆動用電極を有し、上記各隔壁を挟む駆動用電極間に通電して隔壁を屈曲変位させることによって加圧室内の圧力を変化させ、前記インク供給孔からインクを加圧室内に導入するとともに、インク噴出孔からインクを吐出するインクジェットプリンタヘッドであって、各加圧室のインク噴出孔近傍における対向壁面間に前記電気粘性を有するインクの粘度を調整する制御用電極を設けたことによって、インクの吐出に寄与しない加圧室に備える制御用電極間に通電してERインクの粘度を見かけ上高めることで、加圧室内の圧力減少によるインク噴出孔からの空気の混入を防ぐことができ、インク吐出が不能とならないため、2つの加圧室を一つの群としてインクを吐出させることができ、もって、一回に吐出することができるインク噴出孔の数を増やすことができるとともに、インク噴出孔の間隔を短くできるため(インクを吐出する密度が向上する)、所定の画像を印刷するのに要する時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のインクジェットプリンタヘッドを示す一部を破断した斜視図である。
【図2】(a)(b)はそれぞれ本発明のインクジェットプリンタヘッドの駆動原理を説明するための縦断面図である。
【図3】従来のインクジェットプリンタヘッドを示す一部を破断した斜視図である。
【図4】(a)〜(c)は従来のインクジェットプリンタヘッドの駆動原理を説明するための縦断面図である。
【符号の説明】
1,11:インクジェットプリンタヘッド 2,12:加圧部材
3,13:隔壁 4,14:加圧室 5,15:天板
6,16:駆動用電極 7,17:インク噴出孔 8,18:ノズル板
9,19:インク供給孔 10:制御用電極 11,12:リード膜
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクを噴出して印刷するインクジェットプリンタに用いられるインクジェットプリンタヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、マルチメディアの発達とともに、情報の記録装置としてのプリンタ、とりわけインクジェットプリンタはパーソナルコンピュータの普及とともに急速に利用範囲が拡大している。
【0003】
インクジェットプリンタに用いるインクジェットプリンタヘッド(以下、ヘッドという)としては、図3に示すようなジルコン酸チタン酸鉛等を主成分とする圧電セラミックスからなる複数の隔壁23を等間隔で並設してなり、上記隔壁23間を加圧室24としてなる加圧部材22と、上記隔壁23上に接合され、各加圧室24を閉じる天板25とからなり、上記加圧室24の一方端側には各加圧室24と連通するインク噴出孔27を有するノズル板28を具備するとともに、上記各隔壁23の上部側両側面にはその長手方向に沿って駆動用電極26をそれぞれ備えた剪断モード型のものがあった(特開平9−164672号公報、特開平7ー101056等参照)。なお、29は加圧室24の他方端側にインクを導くためのインク供給孔である。
【0004】
そして、このヘッド21でもって記録媒体(不図示)に印刷するには、隔壁23を挟んで形成された駆動用電極26間に通電することで、圧電セラミックスの剪断モード変形を利用して各隔壁23を屈曲変位させ、各加圧室24内の圧力をそれぞれ変化させることでインク噴出孔27よりインクを吐出させるようになっている。即ち、図4(a)に示すように、隔壁23a,23bを加圧室24aの内側へ、隔壁23d,23eを加圧室24dの内側へそれぞれ屈曲変位させて加圧室24a,24d内を同時に加圧することでインク噴出孔27よりインクを吐出させ、次に、図4(b)に示すように、隔壁23b,23cを加圧室24bの内側へ、隔壁23e,23fを加圧室24eの内側へそれぞれ屈曲変位させて加圧室24b,24e内を同時に加圧することでインク噴出孔27よりインクを吐出させ、さらに図4(c)に示すように、隔壁23c,23dを加圧室24cの内側へ、隔壁23f,23gを加圧室24fの内側へそれぞれ屈曲変位させて加圧室24c,24f内を同時に加圧することでインク噴出孔27よりインクを吐出させるようになっており、このように、3つの加圧室24を一つの群とし、順次インクを吐出させるようになっていた。
【0005】
なお、図4(a)において、加圧室24c,24fでは圧力が減圧されることからインク供給孔29よりインクが導入されるようになっており、図4(b)において、加圧室24a,24dでは圧力が減圧されることからインク供給孔29よりインクが導入されるようになっており、図4(c)において、加圧室24b,24eでは圧力が減圧されることからインク供給孔29よりインクが導入されるようになっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図3に示す従来のヘッド21では、前述した通り、3つの加圧室24を一つの群としてインクを順次吐出する構造であるため、一回に吐出させることができる加圧室24の数が制限されるとともに、2つの加圧室24おきにしか吐出させることができないため、一回に吐出することができるインク噴出孔27の間隔が長くなる結果、所定の画像を印刷するのに時間がかかるといった課題があった。
【0007】
そこで、2つの加圧室4を一つの群としてインクを吐出させることも考えられえるが、このような場合、例えば、図4(a)のように、隔壁23a,23bをそれぞれ加圧室24a側に屈曲変位させて加圧室24aを加圧してインクを吐出させると、その隣の加圧室24bでは隔壁23b,23cがそれぞれ加圧室24bに対して外側へ拡がるように屈曲変位することになるため、加圧室24b内の圧力が急激に減圧され、インク噴出孔27より加圧室24b内に空気が侵入して気泡が発生する結果、次に、図4(b)のように、加圧室24b内を加圧してインクを吐出させようとしても、その圧力が気泡によって吸収されるため、所望のインク容量を吐出することができなかったり、酷いときにはインクを吐出させることができないといった課題があった。
【0008】
このように、図3に示すようなこれまでの剪断モード型のヘッド21では、印刷時間を短縮することができなかった。
【0009】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明は上記課題に鑑み、平行に整列した圧電セラミックスからなる複数の隔壁を有し、該隔壁間を加圧室としてなる加圧部材と、該加圧部材の隔壁の頂部に接合され、上記加圧室を塞ぐ天板とからなり、上記加圧室の一方端側には電気粘性を有するインクを導入するインク供給孔を、他方端側には上記インクを吐出するインク噴出孔をそれぞれ備えるとともに、上記隔壁の両側面にはそれぞれ駆動用電極を有し、上記各隔壁を挟む駆動用電極間に通電して隔壁を屈曲変位させることによって加圧室内の圧力を変化させ、前記インク供給孔からインクを加圧室内に導入するとともに、インク噴出孔からインクを吐出するインクジェットプリンタヘッドであって、各加圧室のインク噴出孔近傍における対向壁面にそれそれ前記電気粘性を有するインクの粘度を調整する制御用電極を設けたことを特徴とする。
【0010】
【作用】
本発明によれば、加圧室を形成する加圧部材の隔壁を屈曲変位させることで加圧室内の圧力を変化させ、インクを吐出する剪断モード型のヘッドにおいて、インクとして電気粘性を有するインク(以下、ERインクという)を用いるとともに、上記加圧室のインク噴出孔近傍における対向壁面に、上記インクの粘度を調整するための制御用電極をそれぞれ設けたことから、インクの吐出に寄与していない加圧室側において、制御用電極間に通電してERインクの粘度を見かけ上高めることで、加圧室内の急激な圧力減少によるインク噴出孔からの空気の侵入を防ぐことができるため、インク吐出が不能とならず、2つの加圧室を一つの群としてインクを吐出させることができる。その為、一回に吐出させることができる加圧室の数を増やすことができるとともに、インク噴出孔の間隔を短く(インクを吐出する密度が向上する)することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【0012】
図1は本発明のインクジェットプリンタヘッド1を示す一部を破断した斜視図で、圧電セラミックスからなる複数の隔壁3を等間隔で並設してなり、上記隔壁3間を加圧室4としてなる加圧部材2と、上記隔壁3上に接合され、各加圧室4を閉じる天板5と、上記加圧室4の一方端側を塞ぐように接合され、各加圧室4と連通するインク噴出孔7を備えたノズル板8とからなり、上記各隔壁3の上部側両側面にはその長手方向に沿って駆動用電極6をそれぞれ形成してある。
【0013】
なお、上記加圧部材2において、加圧室4の他方端側は閉じられた構造となっており、前記天板5に穿孔されたインク供給孔9から加圧室4の他方端側へインクが導入されるようになっている。また、上記隔壁3の両側面に形成された駆動用電極6は、加圧室4の終端から加圧部材2の後端まで延設したリード膜11を介して通電されるようになっており、ERインクの制御用電極6は、隔壁3の頂部から加圧部材2の後端まで延びるリード膜12を介して通電されるようになっている。
【0014】
そして、このインクジェットプリンタヘッド1を用いて記録媒体(不図示)へ印刷するには、まず、インクとしてERインクを用いる。ERインクとは、オイル等の絶縁性の分散媒体に、酸化珪素等の各種セラミックスなどからなる数μm程度の微粒子粉末を分散させたもので、このインクに電圧を加えると、見かけ上粘度を高めることができるといった性質を有するものである。
【0015】
そして、このERインクをインク供給孔9より各加圧室4に充填し、加圧室4b,4dを構成する隔壁3b〜3eの対向壁面にそれぞれ形成された制御用電極10間にそれぞれ通電してインク噴出孔7の近傍に位置するインクの粘度を見かけ上高めた状態で、図2(a)に示すように、各隔壁3の両側面に形成された駆動用電極6間に通電して隔壁3a,3bを加圧室4a側に、隔壁3c,3dを加圧室4c側にそれぞれ屈曲変位させて加圧室4a,4c内の圧力を加圧することで、加圧室4a,4c内のインクをインク噴出孔7より同時に吐出させることができる。この時、加圧室4b,4d内の圧力は、加圧室4a,4c内の圧力の増加に伴って急激に減圧されることになるが、インク噴出孔7の近傍におけるインクの粘度は見かけ上高められているため、インク噴出孔7より加圧室4b,4d内への空気の侵入を効果的に防止することができる。
【0016】
次に、加圧室4b,4dを構成する隔壁3b〜3eの対向壁面にそれぞれ形成された制御用電極10間への通電を止めるとともに、加圧室4a,4cを構成する隔壁3a〜3dの対向壁面にそれぞれ形成された制御用電極10間に通電してインク噴出孔7の近傍に位置するインクの粘度を見かけ上高めた状態で、図2(b)に示すように、各隔壁3の両側面に形成された駆動用電極6間に通電して隔壁3b,3cを加圧室4b側に、隔壁3d,3eを加圧室4d側にそれぞれ屈曲変位させて加圧室4b,4d内の圧力を加圧することで、加圧室4b,4d内のインクをインク噴出孔7より同時に吐出させることができる。また、この時、加圧室4a,4c内の圧力は、加圧室4b,4d内の圧力の増加に伴って急激に減圧されることになるが、インク噴出孔7の近傍におけるインクの粘度は見かけ上高められているため、インク噴出孔7より加圧室4a,4c内への空気の侵入を効果的に防止することができる。
【0017】
このように、図2(a)(b)の動作を繰り返すことにより、2つの加圧室4を一つの群としてインクを順次吐出させることができるため、図3に示す従来のヘッド21と比較して、一回に吐出させることができる加圧室4の数を増やすことができるとともに、インク噴出孔7の間隔を短くすることができるため、所定の画像を印刷するのに要する時間を短縮することができる。
【0018】
ところで、上記隔壁3を有する加圧部材2を形成する圧電セラミックスとしては、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT系)を主成分とする圧電セラミックス、マグネシウムニオブ酸鉛(PMN系)を主成分とする圧電セラミックス、ニッケルニオブ酸鉛を主成分とする圧電セラミックス、アンチモンスズ酸鉛を主成分とする圧電セラミックス、チタン酸鉛を主成分とする圧電セラミックス、チタン酸バリウムを主成分とする圧電セラミックス、さらにはこれら主成分を複合した圧電セラミックスを用いることができ、好ましくはマグネシウムニオブ酸鉛とジルコン酸鉛とチタン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスもしくはニッケルニオブ酸鉛とマグネシウムニオブ酸鉛とジルコン酸鉛とチタン酸鉛を主成分とする圧電セラミックスにより形成することが良い。
【0019】
また、隔壁3の両側面に形成する駆動用電極6及びERインクの制御用電極10の材質としては、白金(Pt)、金(Au)、パラジウム(Pd)、ロジウム(Rh)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)等の金属や、Pt−Au、Pb−Ag、Pt−Pb等を主体とする合金を用いることができる。
【0020】
以上のように、図1に示すヘッド1では、ERインクの制御用電極10を加圧室4を構成する隔壁3の対向壁面にそれぞれ形成した例を示したが、加圧室4の他の対向壁面をなす天板5と加圧室4の底部にそれぞれ形成したものでも同様の作用効果が得られることは言うまでもない。また、本発明のインクジェットプリンタヘッド1は、図1に示すものだけに限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲であれば、改良や変更を加えたものであっても良いことを言うまでもない。
【0021】
次に、本発明のインクジェットプリンタヘッド1の製法について説明する。
【0022】
まず、加圧部材2を形成するために、前記圧電セラミック体を用意し、その厚み方向に分極処理を行い、ダイシングソーなどを用いた切削加工やブラスト加工等によって、複数の溝を並設し、該溝を加圧室4とするとともに、この加圧室4を構成する壁を隔壁3としてなる加圧部材2を形成する。
【0023】
次に、各隔壁3の両側面に、蒸着、スパッタリング、メッキ等の膜形成手段によって前記金属材料からなる駆動用電極6とERインクの制御用電極10をそれぞれ形成するのであるが、制御用電極10は、ノズル板8が接合される加圧室4の開口部の近傍に位置する隔壁3の壁面に、駆動用電極6は、制御用電極10を除く上部側壁面に加圧室4の終端まで形成する。なお、制御用電極10には、隔壁3の頂部から加圧部材2の後端まで延びるリード膜12を延設してあり、このリード膜11を介して制御用電極10へ通電するとともに、駆動用電極6には、加圧室4の終端から加圧部材2の後端まで延びるリード膜11を延設してあり、このリード膜12を介して駆動用電極6へ通電するようになっている。
【0024】
ここで、制御用電極10の大きさについては特に限定するものではなく、加圧室4内の圧力が減圧された時にインク噴出孔7から空気の侵入がなくかつ隔壁3の駆動特性に影響を与えない範囲で、ERインクの粘度や電気的特性に応じて適宜設定すれば良い。また、駆動用電極6は、隔壁3の上部側壁面にのみ形成した例を示したが、隔壁3の下部側壁面にのみ形成しても良く、さらには制御用電極10を除く壁面全面に形成することもできる。
【0025】
さらに、駆動用電極6及び制御用電極10への他の通電方法として、後述する天板5に複数のスルーホール導体を形成しておき、この天板5を加圧部材2の隔壁3上に接合する際に、天板5のスルーホール導体を隔壁3の駆動用電極6及び制御用電極10とそれぞれ直接当接させて導通を図るようにすることもできる。
しかるのち、加圧部材2の加圧室4を塞ぐべく、隔壁3の頂部に、セラミックス、ガラス、シリコン等の絶縁材料からなるインク供給孔9を備えた天板5を接着剤やガラスにて接合するとともに、加圧室4の開口部を塞ぐべく、セラミックス、ガラス、シリコンからなるインク噴出孔7を備えたノズル板8を接着剤やガラスにて接合することにより、図1に示すインクジェットプリンタヘッド1を得ることができる。
【0026】
【実施例】
ジルコン酸チタン酸鉛からなる圧電セラミック体を用意し、ダイシングソーにて溝幅100μm、溝深さ500μm、ピッチ200μmの溝加工を施して複数の加圧室4を有する加圧部材2を形成した。
【0027】
次に、各加圧室4を構成する隔壁3の両壁面に、スパッタリングにてAuからなる駆動用電極6とERインクの制御用電極10をそれぞ形成した。なお制御用電極10の大きさは加圧室4の深さ方向の長さが500μm、加圧室4の長手方向の長さが800μmの長方形とし、駆動用電極6の大きさは、加圧室4の深さ方向の長さが250μm、加圧室4の長手方向の長さが1500μmの帯状とした。
【0028】
しかるのち、加圧部材2の隔壁3上に、インク供給孔9を備えたアルミナセラミック製の天板5をエポキシ系接着剤にて接合するとともに、加圧室4の開口部に、インク噴出孔7を備えた樹脂製のノズル板8をエポキシ系接着剤にて接合して図1に示すインクジェットプリンタヘッド1を製作した。
【0029】
そこで、このインクジェットプリンタヘッド1を駆動させ、インクの吐出特性について確認する実験を行った。
【0030】
まず、インクとしてERインクをインク供給孔9より各加圧室4a〜4dに導入し、加圧室4b,4dを構成する隔壁3b〜3eの対向壁面に備える制御用電極10間に、30Vの直流電圧を印加して、インク噴出孔7近傍のインクの粘度を見かけ上高めるとともに、加圧室4a,4cを構成する各隔壁3a〜3dに、周波数5kHzの矩形波を30Vの電圧で印加して図2(a)に示すように隔壁3a,3bを加圧室4a側に、隔壁3c,3dを加圧室4c側にそれぞれ屈曲変位させて各加圧室4a,4c内を加圧し、加圧室4a,4cと連通するインク噴出孔7よりインクを吐出させ、次に、加圧室4b,4dを構成する隔壁3b〜3eの対向壁面に備える制御用電極10間への通電を止め、加圧室4a,4cを構成する隔壁3a〜3dの対向壁面に備える制御用電極10間に、30Vの直流電圧を印加して、インク噴出孔7近傍のインクの粘度を見かけ上高めるとともに、加圧室4b,4dを構成する各隔壁3b〜3eに、周波数5kHzの矩形波を30Vの電圧で印加して図2(b)に示すように隔壁3b,3cを加圧室4b側に、隔壁3d,3eを加圧室4d側にそれぞれ屈曲変位させて各加圧室4b,4d内を加圧し、加圧室4b,4dと連通するインク噴出孔7よりインクを吐出させる、という動作を繰り返したところ、インクの吐出に寄与していない加圧室4側で急激な圧力低下が起こってもインク噴出孔7からの空気の侵入は見られず、2つの加圧室4を一つの群として順次インクを安定して吐出させることができた。
【0031】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、平行に整列した圧電セラミックスからなる複数の隔壁を有し、該隔壁間を加圧室としてなる加圧部材と、該加圧部材の隔壁の頂部に接合され、上記加圧室を塞ぐ天板とからなり、上記加圧室の一方端側には電気粘性を有するインクを導入するインク供給孔を、他方端側には上記インクを吐出するインク噴出孔をそれぞれ備えるとともに、上記隔壁の両側面にはそれぞれ駆動用電極を有し、上記各隔壁を挟む駆動用電極間に通電して隔壁を屈曲変位させることによって加圧室内の圧力を変化させ、前記インク供給孔からインクを加圧室内に導入するとともに、インク噴出孔からインクを吐出するインクジェットプリンタヘッドであって、各加圧室のインク噴出孔近傍における対向壁面間に前記電気粘性を有するインクの粘度を調整する制御用電極を設けたことによって、インクの吐出に寄与しない加圧室に備える制御用電極間に通電してERインクの粘度を見かけ上高めることで、加圧室内の圧力減少によるインク噴出孔からの空気の混入を防ぐことができ、インク吐出が不能とならないため、2つの加圧室を一つの群としてインクを吐出させることができ、もって、一回に吐出することができるインク噴出孔の数を増やすことができるとともに、インク噴出孔の間隔を短くできるため(インクを吐出する密度が向上する)、所定の画像を印刷するのに要する時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のインクジェットプリンタヘッドを示す一部を破断した斜視図である。
【図2】(a)(b)はそれぞれ本発明のインクジェットプリンタヘッドの駆動原理を説明するための縦断面図である。
【図3】従来のインクジェットプリンタヘッドを示す一部を破断した斜視図である。
【図4】(a)〜(c)は従来のインクジェットプリンタヘッドの駆動原理を説明するための縦断面図である。
【符号の説明】
1,11:インクジェットプリンタヘッド 2,12:加圧部材
3,13:隔壁 4,14:加圧室 5,15:天板
6,16:駆動用電極 7,17:インク噴出孔 8,18:ノズル板
9,19:インク供給孔 10:制御用電極 11,12:リード膜
Claims (1)
- 平行に整列した圧電セラミックスからなる複数の隔壁を有し、該隔壁間を加圧室としてなる加圧部材と、該加圧部材の隔壁の頂部に接合され、上記加圧室を塞ぐ天板とからなり、上記加圧室の一方端側には電気粘性を有するインクを導入するインク供給孔を、他方端側には上記インクを吐出するインク噴出孔をそれぞれ備えるとともに、上記隔壁の両側面にはそれぞれ駆動用電極を有し、上記各隔壁を挟む駆動用電極間に通電して隔壁を屈曲変位させることによって加圧室内を加圧することによってインク噴出孔からインクを吐出するインクジェットプリンタヘッドであって、各加圧室のインク噴出孔近傍における壁面に前記電気粘性を有するインクの粘度を調整する制御用電極を設けたことを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
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