JP3637653B2 - ボンディングワイヤーの配線順序決定装置および配線順序決定方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレームのインナーリード部と電子部材のパッド部とを接続するボンディングワイヤーの配線順序を決定する装置および方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置等の製造において、リードフレームに半導体素子等の電子部材を実装した後は、そのリードフレームのインナーリード部と電子部材のパッド部とをボンディングワイヤーで配線するワイヤーボンドが行われる。
【0003】
ワイヤーボンドを行うワイヤーボンディング装置には、金線等から成るボンディングワイヤーを保持するためのキャピラリが設けられており、インナーリード側とパッド側との接続点間を移動させてボンディングワイヤーを引き回し、配線を行っている。
【0004】
このため、複数のボンディングワイヤーを接続する場合には、ワイヤーボンディング装置のキャピラリが、既に配線を行ったボンディングワイヤーと接触しないようにする必要がある。従来では、複数のボンディングワイヤーを配線するにあたり一定方向(電子部材の辺に沿った一定方向)で行い、ある段階で逆の方向に沿った配線を行うようにしてキャピラリとボンディングワイヤーとの接触を回避する方法がとられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来技術では、ボンディングワイヤーの配線順序をある段階で逆方向にする場合にどの段階で逆方向へ移行するかを定量的に判定するのが困難であった。つまり、実際に電子部材に対し複数のボンディングワイヤーの配線を行い、経験的にある段階から配線順序を逆方向にしてみてキャピラリが配線済のボンディングワイヤーと接触するか否かを目視によって判定し、接触していないようであれば良いとしている。
【0006】
このような経験的な判断では、ボンディングワイヤーの配線順序が安定しないとともに、キャピラリの無駄な移動によってタイムロスを招く原因となる。また、電子部材におけるパッド部の間隔が狭くなるにつれて目視による接触判定が困難となり、大きなマージンが必要となる問題が生じている。
【0007】
よって、本発明は効率の良いボンディングワイヤーの配線順序を決定できるボンディングワイヤーの配線順序決定装置および配線順序決定方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成するために成されたボンディングワイヤーの配線順序決定装置および配線順序決定方法である。すなわち、本発明の装置は、リードフレームにおけるインナーリード部と電子部材のパッド部とを接続する複数のボンディングワイヤーの配線順序を決定するものであり、複数のボンディングワイヤーの接続点座標と配線情報とを入力する入力手段と、この接続点座標と配線情報とに基づき、所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと、前記所定のパッド部と隣接するパッド部にボンディングワイヤーを引き回すキャピラリとが接触するか否かを判定する接触判定として、前記隣接するパッド部の位置と、前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーとの位置関係が、キャピラリにとって前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと接触する可能性を有するか否かを判定する第1の判定を行い、この第1の判定によって接触の可能性を有すると判定された場合に、前記隣接するパッド部の位置でキャピラリが前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと接触するか否かを判定する第2の判定を行うことで前記隣接するパッド部へのボンディングワイヤーの配線可否を算出し、該配線可否に基づいて複数のボンディングワイヤーの配線順序を決定する配線順序決定手段とを備えている。
【0009】
また、本発明の方法は、予め設定されている複数のボンディングワイヤーの接続点座標と配線情報とに基づき、所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと、前記所定のパッド部と隣接するパッド部にボンディングワイヤーを引き回すキャピラリとが接触するか否かを判定する接触判定として、前記隣接するパッド部の位置と、前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーとの位置関係が、キャピラリにとって前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと接触する可能性を有するか否かを判定する第1の判定を行い、この第1の判定によって接触の可能性を有すると判定された場合に、前記隣接するパッド部の位置でキャピラリが前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと接触するか否かを判定する第2の判定を行うことで前記隣接するパッド部へのボンディングワイヤーの配線可否を算出し、次いで、その配線可否の結果に基づいて複数のボンディングワイヤーの配線順序を決定するものである。
【0010】
このような本発明では、複数のボンディングワイヤーの接続点座標と配線情報とに基づき、所定のボンディングワイヤーが配線されていると仮定した場合における隣接するボンディングワイヤーの配線可否、すなわち配線済と仮定された所定のボンディングワイヤーに対してキャピラリが接触するか否かを幾何的に計算することができる。これによって、ボンディングワイヤーの配線順序をどのようにすればボンディングワイヤーとキャピラリとが接触しないかを定量的に判定することができるようになる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明のボンディングワイヤーの配線順序決定装置および配線順序決定方法における実施の形態を図に基づいて説明する。図1は本発明の配線順序決定装置1の構成を説明するブロック図である。図1に示す配線順序決定装置1は、主としてワイヤーボンディング装置内に組み込まれているもので、ボンディングワイヤー30の配線順序を決定するために必要な配線データを入力する配線データ入力部2と、与えられた配線データに基づいて配線順序を算出する配線順序編集部3と、算出した配線順序に基づいてキャピラリ40を移動させる配線指示部4とから構成されている。
【0012】
この配線データ入力部2からは、ボンディングワイヤー30の配線順序を決定するために必要となる配線データとして、ボンド点座標(x,y)、キャピラリコーンアングルθ、キャピラリt寸法、ワイヤー高さh、ワイヤー径φ、接触マージンMが入力される。この他、ワイヤーボンディング装置自体に設定されているキャピラリ40の振動振幅Aも配線データとして利用される。
【0013】
なお、ボンド点座標(x,y)とは、電子部材10の各パッド部11側のボンド点B1 と、リードフレーム20の各インナーリード部21側のボンド点B2 との座標値であり、使用するリードフレーム20や電子部材10のパッド部11の配置によって決められている位置である。
【0014】
配線順序編集部3は、配線データ入力部2から配線データを得て、所定のボンディングワイヤー30が配線されていると仮定した場合における隣接するボンディングワイヤーの配線可否、すなわち配線済のボンディングワイヤーに対して隣のボンディングワイヤーの配線をしようとした場合に、配線済のボンディングワイヤーとキャピラリ40とが接触しないかどうかの判定(以下、接触判定という。)を行い、この接触判定から各ボンディングワイヤー30の配線順序を決定する処理を行っている。
【0015】
配線指示部4は、配線順序編集部3で決定した配線順序に従いキャピラリ40の移動指示を行う。具体的には配線順序編集部3から配線順序に対応したボンド点座標(x,y)の並びデータを得て、ボンド点座標(x,y)の並び順にキャピラリ40を移動させる。これによって、配線順序編集部3で決定した順番通りにボンディングワイヤー30の配線が行われることになる。
【0016】
図1に示す配線順序決定装置1はワイヤーボンディング装置内に組み込まれたものであが、このうちの配線データ入力部2および配線順序編集部3をワイヤーボンディング装置以外の例えばワークステーション内において構成してもよい。図2はこれらをワークステーション内で構成した場合の処理の流れを示す図である。
【0017】
すなわち、ワークステーション内に配線データ入力部2および配線順序編集部3を構成する場合には、その配線データ入力部2にて図2に示すワイヤリング設計データ50の入力およびステップS1の配線パラメータ設定処理を行い、次にステップS2に示す熱膨張補正を行い、次いで配線順序編集部3にて図2のステップS3に示す配線順序編集処理を行う。
【0018】
ここでワイヤリング設計データ50としては、図1に示す電子部材10の各パッド部11側のボンド点B1 の座標値と、使用するリードフレーム20の各インナーリード部21側のボンド点B2 の座標値とが読み込まれる。またステップS1の配線パラメータ設定処理では、図1に示す配線データ入力部2にて入力を行うキャピラリコーンアングルθ、キャピラリt寸法、ワイヤー高さh、ワイヤー径φ、接触マージンM、さらにキャピラリ40の振動振幅A等が入力される。
【0019】
また、ワークステーションでは、金線等から成るボンディングワイヤー30(図1参照)の熱による膨張を考慮して図2のステップS2の熱膨張補正処理を行いボンド点座標(x,y)の補正を行っている。さらにステップS3の配線順序編集で算出されたボンド点座標(x,y)はステップS4に示すフォーマット変換処理によってワイヤーボンディング装置の配線指示部4(図1参照)が解釈できるワイヤーボンディング装置用データ60に変換されることになる。
【0020】
次に、配線順序編集部3(図1参照)および配線順序編集処理(図2に示すステップS3)で行われる本実施形態の配線順序決定方法を説明する。配線順序決定方法は、接触判定処理、付番処理、最短パスの選択処理の3つの処理から構成される。
【0021】
すなわち、接触判定処理では、配線済と仮定した所定のボンディングワイヤーに対して隣のボンディングワイヤーを配線する際にキャピラリが配線済のボンディングワイヤーと接触するか否かの判定を、入力された配線データに基づいて幾何的に算出する。
【0022】
また、付番処理では、算出した接触判定の結果に基づいてボンディングワイヤーをどのような順序で配線すれば良いか(配線済のボンディングワイヤーとキャピラリとが接触しないで済むか)のワイヤリングオーダーを所定の手順によって決定する。
【0023】
さらに、最短パスの選択処理では、付番処理における手順が複数ある場合に、各々の手順での配線順序によるキャピラリの総移動距離(パス)を算出し、そのパスが最短となる方の配線順序を選択する。
【0024】
以下、各処理の順に説明を行う。先ず、接触判定処理では、予めキャピラリと配線済のボンディングワイヤーとが接触するか否かを判定するための基準距離(L)を設定しておく。この基準距離(L)はキャピラリと配線済のボンディングワイヤーとが接触しないための最低限の距離であり、入力された配線データのうちの図1に示すキャピラリコーンアングルθ、キャピラリt寸法、ワイヤー高さh、ワイヤー径φ、接触マージンMおよびワイヤーボンディング装置に設定されたキャピラリ40の振動振幅Aから数1を用いて算出される。
【0025】
【数1】
L=(t/2)+h・tan(θ/2)+(φ/2)+(A/2)+M
【0026】
なお、接触マージンMはキャピラリ40(図1参照)の機械的な移動誤差を考慮した値であり、「0」にしてもよい。また、図3は各パラメータに対応した寸法を説明する図である。すなわち、キャピラリコーンアングルθはキャピラリ40の広がり角度、キャピラリt寸法はキャピラリ40の底面41(側面視底辺)における中心から端部までの距離、ワイヤー高さhはボンディングワイヤー30のアーチ高さ、ワイヤー径φはボンディングワイヤー30の直径を示している。また、図3に示す距離dは、数1に示すh・tan(θ/2)で表される。
【0027】
入力された配線データに基づきこのような基準距離(L)を設定した後は、この基準距離(L)に基づく接触判定を行う。接触判定としては第1の判定としてパッド部の位置と隣接するボンディングワイヤーとの位置関係が、キャピラリにとって接触の可能性がある位置関係か否かの判定を行い、この第1の判定で接触の可能性のある位置関係となった場合に第2の判定としてパッド部から隣接するボンディングワイヤーに下ろした平面視垂線(以下、単に垂線という。)の距離が基準距離(L)以下となっているか否かを判定する。
【0028】
図4は配線順序決定の具体例を説明する図であり、これに基づき上記第1の判定および第2の判定を説明する。なお、図4には、リードフレーム20に4つのインナーリード部21a〜21dがあり、電子部材10には4つのパッド部11a〜11dがあり、各々を4本のボンディングワイヤー30a〜30dによって配線する例が示されている。
【0029】
例えば、ボンディングワイヤー30bが既に配線されていると仮定した場合の隣接するボンディングワイヤー30a、30cの接触判定を考える。この場合には、ボンディングワイヤー30bを底辺、隣接するボンディングワイヤー30a、30cのパッド部11a、11cを頂点とした三角形T1 、T2 (図中斜線部参照)を想定し、各三角形T1 、T2 におけるパッド部11bでの角度α1 、α2 が鋭角であるか鈍角であるかによって上記第1の判定を行う。
【0030】
これを幾何的に説明すると、パッド部11aとパッド部11bとの距離(またはパッド部11cとパッド部11bとの距離)をa、ボンディングワイヤー30bの平面視の長さをb、パッド部11a(またはパッド部11c)からインナーリード部21bのボンド点までの距離をcとした場合、数2を満たす場合には角度α1 (またはα2 )が直角以上(鈍角)であって、パッド部11a(またはパッド部11c)はボンディングワイヤー30bに対して接触の可能性がない位置関係にあると判定する。
【0031】
【数2】
a2 +b2 ≦c2
【0032】
一方、数3を満たす場合には角度α1 (またはα2 )が鋭角であって、パッド部11a(またはパッド部11c)はボンディングワイヤー30bに対して接触の可能性のある位置関係にあると判定する。
【0033】
【数3】
a2 +b2 >c2
【0034】
図4に示す例では、ボンディングワイヤー30bを底辺、パッド部11cを頂点とした三角形T2 が数3を満たすため、パッド部11cはボンディングワイヤー30bに対して接触の可能性のある位置関係にあると判定される。
【0035】
次に、この数3を満たす三角形T2 を用いて上記第2の判定を行う。第2の判定では、三角形T2 の頂点であるパッド部11cからボンディングワイヤー30bに対して垂線(Lc )を下ろし、この長さが基準距離(L)より大きいか否かの判定を行う。ここで垂線(Lc )の長さはヘロンの公式を用いて数4のようになる。
【0036】
【数4】
Lc の長さ=(2√(s(s−a)(s−b)(s−c)))/b
ここでsは、s=(a+b+c)/2である。
【0037】
第2の判定では、数4を用いて算出した垂線(Lc )の長さと予め設定してある基準距離(L)とを比較し、垂線(Lc )の長さが基準距離(L)以下となる場合には、ボンディングワイヤー11cの配線を行おうとした場合にパッド部11cの位置で既に配線されたボンディングワイヤー30bとキャピラリ40とが接触を起こす「接触あり」の判定を行う。
【0038】
一方、垂線(Lc )の長さが基準距離(L)より大きい場合には、ボンディングワイヤー30cの配線を行おうとした場合に、既に配線されたボンディングワイヤー30bとキャピラリ40とが接触を起こすことはない「接触なし」の判定を行う。
【0039】
このような第1の判定および第2の判定から成る接触判定処理をボンディングワイヤーに対する各パッド部に対して行うことで、隣合うボンディングワイヤーの間でどちらを先に配線する必要があるか、またはどちらでも配線可能であるかが分かることになる。
【0040】
次に、この接触判定処理の結果に基づき付番処理を行う。以下では第1の付番処理と第2の付番処理との2通りの処理を説明する。先ず第1の付番処理では、「接触なし」と判定されたパッド部または接触の対象となるボンディングワイヤーが配線済(先に配線された)となった順にワイヤリングオーダーを付けていく。
【0041】
例えば、図4においてボンディングワイヤー30bに対してパッド部11cが「接触あり」と判定され、ボンディングワイヤー30cに対してパッド部11bが「接触なし」と判定されている場合には、ボンディングワイヤー30bを配線する前にボンディングワイヤー30cを配線する必要がある。そこで、先ずボンディングワイヤー30bを除く手前(図中上)からボンディングワイヤー30a、次にボンディングワイヤー30cの順にワイヤリングオーダーを付ける。
【0042】
次に、ボンディングワイヤー30cが配線済となったことでボンディングワイヤー30bの配線を行い、最後にボンディングワイヤー30dの配線を行うようワイヤリングオーダーを付ける。
【0043】
また、第2の付番処理では、「接触なし」と判定されたパッド部の接続を行うボンディングワイヤーを先に配線し、最後に「接触あり」と判定されたパッド部の接続を行うボンディングワイヤーの順にワイヤリングオーダーを付ける。
【0044】
例えば、先と同様の例においては、先ずボンディングワイヤー30bを除く手前(図中上)から「接触なし」と判定されたパッド部に接続するボンディングワイヤー30a、30c、30dの順にワイヤリングオーダーを付け、最後にボンディングワイヤー30bを配線するようワイヤリングオーダーを付ける。
【0045】
このような付番処理を行った後は、最短パスの選択処理を行う。すなわち、上記2通りのワイヤリングオーダーのうち、各々の場合におけるキャピラリの総移動距離(パス)を算出し、パスの最短となる方のワイヤリングオーダーを選択する。
【0046】
配線順序編集部3(図1参照)および配線順序編集処理(図2に示すステップS3)では、このような接触判定処理を全てのボンディングワイヤーに対して行い、これに基づき付番処理および最短パスの選択処理を行うことで、キャピラリと既に配線済のボンディングワイヤーとが接触することのない、またキャピラリを無駄に移動させることのない配線順序を定量的に決定できるようになる。
【0047】
決められた配線順序は、その配線順序に対応したボンド点座標(x,y)の並びデータとなって図1に示す配線指示部4へ渡される。そして、このボンド点座標(x,y)の並び順にキャピラリ40を移動させることにより、配線順序編集部3および配線順序編集処理(図2に示すステップS3)で決定した順番通りの配線が行われるようになる。
【0048】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のボンディングワイヤーの配線順序決定装置および配線順序決定方法によれば次のような効果がある。すなわち、キャピラリと既に配線済のボンディングワイヤーとの接触判定を定量的に行うことができるため、例えば、パッド部の間隔が狭くなって目視では確認できないような接触判定も正確に行うことが可能となる。さらに、キャピラリの総移動距離を最短にすることができ、タクトタイムを大幅に短縮させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の配線順序決定装置の構成を説明するブロック図である。
【図2】配線順序決定方法の処理の流れを説明する図である。
【図3】各種の寸法を説明する図である。
【図4】具体例を説明する図である。
【符号の説明】
1 配線順序決定装置
2 配線データ入力部
3 配線順序編集部
4 配線指示部
10 電子部材
11 パッド部
20 リードフレーム
21 インナーリード部
30 ボンディングワイヤー
40 キャピラリ
Claims (6)
- リードフレームにおけるインナーリード部と電子部材のパッド部とを接続する複数のボンディングワイヤーの配線順序を決定する装置であって、
前記複数のボンディングワイヤーの接続点座標と配線情報とを入力する入力手段と、
前記接続点座標と前記配線情報とに基づき、所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと、前記所定のパッド部と隣接するパッド部にボンディングワイヤーを引き回すキャピラリとが接触するか否かを判定する接触判定として、前記隣接するパッド部の位置と、前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーとの位置関係が、前記キャピラリにとって前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと接触する可能性を有するか否かを判定する第1の判定を行い、この第1の判定によって接触の可能性を有すると判定された場合に、前記隣接するパッド部の位置で前記キャピラリが前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと接触するか否かを判定する第2の判定を行うことで前記隣接するパッド部へのボンディングワイヤーの配線可否を算出し、該配線可否に基づいて前記複数のボンディングワイヤーの配線順序を決定する配線順序決定手段と
を備えていることを特徴とするボンディングワイヤーの配線順序決定装置。 - 前記第1の判定は、前記キャピラリと前記所定のボンディングワイヤーとが接触する可能性があるか否かを判定するために幾何的な計算に基づいて行う
ことを特徴とする請求項1記載のボンディングワイヤーの配線順序決定装置。 - 前記第2の判定は、前記パッド部から隣接するボンディングワイヤーに下ろした垂線の距離を、予め設定された基準距離と比較することによって行う
ことを特徴とする請求項2記載のボンディングワイヤーの配線順序決定装置。 - リードフレームにおけるインナーリード部と電子部材のパッド部とを接続する複数のボンディングワイヤーの配線順序を決定する方法であって、
予め設定されている前記複数のボンディングワイヤーの接続点座標と配線情報とに基づき、所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと、前記所定のパッド部と隣接するパッド部にボンディングワイヤーを引き回すキャピラリとが接触するか否かを判定する接触判定として、前記隣接するパッド部の位置と、前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーとの位置関係が、前記キャピラリにとって前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと接触する可能性を有するか否かを判定する第1の判定を行い、この第1の判定によって接触の可能性を有すると判定された場合に、前記隣接するパッド部の位置で前記キャピラリが前記所定のパッド部に配線されていると仮定したボンディングワイヤーと接触するか否かを判定する第2の判定を行うことで前記隣接するパッド部へのボンディングワイヤーの配線可否を算出し、
次いで、前記配線可否の結果に基づいて前記複数のボンディングワイヤーの配線順序を決定する
ことを特徴とするボンディングワイヤーの配線順序決定方法。 - 前記第1の判定は、前記キャピラリと前記所定のボンディングワイヤーとが接触する可能性があるか否かを判定するために幾何的な計算に基づいて行う
ことを特徴とする請求項4記載のボンディングワイヤーの配線順序決定方法。 - 前記第2の判定は、前記パッド部から隣接するボンディングワイヤーに下ろした垂線の距離を、予め設定された基準距離と比較することによって行う
ことを特徴とする請求項4記載のボンディングワイヤーの配線順序決定方法。
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