JP3634599B2 - 回転電極を用いた薄膜形成装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転電極を用いた薄膜形成装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
アモルファスシリコン等の薄膜を比較的高い圧力で形成する薄膜形成装置としては、反応容器内に平行平板型電極を設置したプラズマCVD装置が知られている。このような装置においては、一方の電極に高周波電力または直流電力を印加し、他方の電極を接地し、これらの電極間でプラズマを発生させ、発生したプラズマ中に反応ガスを供給し、反応ガスを分解することにより基板上に所望の薄膜を形成させている。
【0003】
高速でかつ大きな面積の薄膜を形成することができる薄膜形成装置として、特開平9−104985号公報では、回転電極を用いた薄膜形成装置が提案されている。このような回転電極を用いた薄膜形成装置によれば、回転電極の回転によりプラズマ空間に反応ガスを効率よく供給することができるので、反応ガスの利用効率を大幅に向上させることができるとともに、速い速度で均一な薄膜を形成することができる。
【0004】
本発明の第1の目的は、このような回転電極を用いた薄膜形成装置において、回転電極への電力供給を安定化し、プラズマを安定して発生することができる薄膜形成装置を提供することにある。
【0005】
本発明の第2の目的は、このような回転電極を用いた薄膜形成装置において、反応容器内での遊離した微粒子の発生を抑制し、基板以外への薄膜付着等を低減することができる薄膜形成装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の局面に従う薄膜形成装置は、回転することにより基板表面の近傍を移動しながら通過する電極表面を有する円筒状の回転電極に高周波電力を印加することによりプラズマを発生させて基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置であり、回転電極に対し非接触となるように設けられる電力伝達部材を介して電力が回転電極に印加され、電力伝達部材が、回転電極の電極表面に沿って該回転電極の一部を覆うように設けられるカバー部材であり、該カバー部材によってプラズマ発生領域が密閉されていることを特徴としている。
【0007】
本発明の第1の局面に従うさらに具体的な実施形態においては、反応容器内でプラズマを発生させて基板上に薄膜を形成するための薄膜形成装置であり、回転することにより基板表面の近傍を移動しながら通過する電極表面を有する円筒状の回転電極と、回転電極を回転させるための駆動手段と、基板表面と回転電極の間にプラズマを発生させるため回転電極に印加される高周波電力を供給する電源と、回転電極に対し非接触となるように設けられる電力伝達部材と、基板を保持する基板ホルダーとを備え、電源からの電力が電力伝達部材を介して回転電極に印加され、電力伝達部材が、回転電極の電極表面に沿って該回転電極の一部を覆うように設けられるカバー部材であり、該カバー部材によってプラズマ発生領域が密閉されていることを特徴としている。
【0008】
従来の回転電極を用いた薄膜形成装置においては、回転電極の回転軸受けの部分で、回転電極に電力を供給しており、この回転軸受けの部分での接触状態が変化すると、供給する電力が変化し、その結果電力供給が不安定になった。本発明の第1の局面に従えば、回転電極に対し非接触状態となるよう設けられる電力伝達部材を介して電力が回転電極に供給される。電力伝達部材と回転電極は非接触であるため、常に一定の状態で電力伝達部材を介して電力を回転電極に印加することができる。従って、回転電極への電力供給を安定化することができ、安定してプラズマを発生させることができる。従って、本発明の第1の局面に従えば、均質な薄膜を形成することができる。
【0009】
本発明の第1の局面に従う好ましい実施形態の一つにおいては、電力伝達部材は、回転電極の電極表面に沿って該回転電極の一部を覆うよう設けられるカバー部材である。このようなカバー部材を電力伝達部材として用いることにより、広い面積を有する電極表面を利用して回転電極に電力を供給することができる。
【0010】
本発明の第1の局面において、電力伝達部材を介しての回転電極への電力供給は、容量結合的に電力が供給されるものである。従って、電力伝達部材と回転電極との間で形成される静電容量は、大きいことが好ましく、具体的には、回転電極と基板との間で形成される静電容量の10倍以上であることが好ましい。電力伝達部材と回転電極との間の静電容量を大きくするためには、電力伝達部材と回転電極とが対向する面積をできるだけ大きくし、かつ電力伝達部材と回転部材との間の距離をできるだけ短くすることが必要である。
【0011】
従って、上記カバー部材の電力伝達部材を用いる場合には、回転電極の電極表面の1/2以上を覆うようなカバー部材を用いることが好ましい。また、電力伝達部材と回転電極の電極表面との間のギャップは、1mm以下であることが好ましく、さらに好ましくは0.1〜1mm程度である。このギャップがあまりに小さくなりすぎると、回転電極の熱膨張等により回転電極と電力伝達部材とが接触するおそれがある。
【0012】
本発明の第2の局面に従う薄膜形成装置は、回転することにより基板表面の近傍を移動しながら通過する電極表面を有する回転電極に高周波電力または直流電力を印加することによりプラズマを発生させて基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置であり、回転電極の電極表面に沿って回転電極の一部を覆うようにカバー部材が設けられており、該カバー部材によってプラズマ発生領域が密閉されていることを特徴としている。
【0013】
本発明の第2の局面に従うさらに具体的な実施形態においては、反応容器内でプラズマを発生させて基板上に薄膜を形成するための薄膜形成装置であり、回転することにより基板表面の近傍を移動しながら通過する電極表面を有する回転電極と、回転電極を回転させるための駆動手段と、基板表面と回転電極の間にプラズマを発生させるため回転電極に印加される高周波電力または直流電力を供給する電源と、回転電極の電極表面に沿って該回転電極の一部を覆うように設けられ、かつプラズマ発生領域を密閉するように設けられているカバー部材と、基板を保持する基板ホルダーとを備えることを特徴としている。
【0014】
本発明の第2の局面によれば、回転電極の電極表面に沿って覆うように設けられるカバー部材により、プラズマ発生領域が密閉されるので、反応容器内の容積を減少させることができる。従って、薄膜形成に関与しない領域における反応ガスの溜まりがなくなり、薄膜形成に関与しない遊離した微粒子の発生を抑制することができ、基板以外への薄膜付着等を低減することができる。
【0015】
また、本発明の第2の局面に従えば、遊離した微粒子の発生や基板以外への薄膜付着等を低減することができるので、反応ガスの利用効率をさらに向上させることができる。また、遊離した微粒子の発生や基板以外への薄膜付着等を低減することができるので、装置のメンテナンスが容易になる。
【0016】
また、本発明の第1の局面において、電力伝達部材として用いられるカバー部材を、本発明の第2の局面に従いプラズマ発生領域を密閉するように設けられるカバー部材とすれば、上記本発明の第1の局面の作用効果を発揮するとともに、上記本発明の第2の局面の作用効果を得ることもできる。すなわち、回転電極への電力供給を安定化し、安定してプラズマを発生させることができるとともに、反応容器内での遊離した微粒子の発生を抑制し、基板以外の薄膜付着等を低減することができる。
【0017】
本発明において用いられる回転電極としては、例えば、特開平9−104985号公報に開示された回転電極を挙げることができる。従って、電極表面に凹凸を有した回転電極や、電極表面の一部もしくは全部の上に絶縁膜を有した回転電極等を用いることができる。
【0018】
また、薄膜形成条件は、特に限定されるものではなく、例えば、特開平9−104985号公報に開示された薄膜形成条件を採用することができる。
本発明の薄膜形成装置は、通常、回転電極と基板の間に発生させたプラズマにより反応ガスを分解させるプラズマCVD法により薄膜を形成させることができる装置である。本発明の薄膜形成装置は、特に高い圧力下で薄膜を形成する場合に有用である。例えば、雰囲気圧力、すなわち反応容器内の全圧が1Torr以上の条件が特に有用である。反応ガスの分圧としては、0.01Torr以上の条件が好ましい。反応容器内の全圧は、より好ましくは100Torr〜1atmであり、さらに好ましくは約1atmである。反応ガスの分圧は、より好ましくは0.1〜50Torrであり、さらに好ましくは5〜50Torrである。
【0019】
反応容器内には反応ガス以外に不活性ガスを含有させることができる。このような不活性ガスとしては、He、Ne、Ar、Kr、及びXeなどが挙げられる。
【0020】
反応容器内には、さらに水素ガスを含有させることができる。水素ガスの分圧としては、1Torr以上が好ましく、より好ましくは1〜50Torrである。
【0021】
本発明において、回転電極の電極表面の周速度は、10m/秒以上、音速以下が好ましい。周速度がこの範囲よりも小さいと、プラズマ空間に対する反応ガスの供給が不十分となる場合がある。また、周速度が音速以上になると、音速を超えることによる衝撃波等の問題が生じる。電極表面の周速度として、より好ましくは、50m/秒〜音速であり、さらに好ましくは50〜200m/秒である。
【0022】
本発明において、回転電極と基板との間の距離は、0.01〜1mm程度が好ましい。本発明の第1の局面においては、上述のように、電力伝達部材と回転電極との間で形成される静電容量が、回転電極と基板との間で形成される静電容量の10倍以上となるように回転電極と基板との間の距離が設定されることが好ましい。
【0023】
本発明において、回転電極に高周波電力を印加する場合、パルス状に印加することが好ましい。高周波電力をパルス状に印加することにより、安定したプラズマを広範囲に維持することができる。パルス中に印加する高周波電力のデューティ比としては、1/100以上が好ましい。またパルス中に変調する変調周波数としては、100kHz以上が好ましい。
【0024】
本発明において、回転電極に高周波電力を印加する場合の高周波電力の周波数としては、13.56MHz以上が好ましく、さらに好ましくは150MHz以上である。
【0025】
本発明において、高周波電力の投入電力密度としては、10W/cm2 以上が好ましく、より好ましくは10〜100W/cm2 以上であり、さらに好ましくは30〜100W/cm2 である。
【0026】
本発明において、薄膜形成の際の基板温度は、室温(20℃)〜500℃が好ましく、より好ましくは室温(20℃)〜300℃である。
本発明において形成する薄膜は、プラズマCVD法等により形成することができる薄膜であれば特に限定されるものではない。具体的には、Si、C(ダイヤモンド及びダイヤモンド状薄膜を含む)、SiC、SiO2 、Si3 N4 、Al2 O3 、AlNなどが挙げられる。反応容器内に供給する反応ガスは、これらの形成する薄膜に応じて適宜選択される。
【0027】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の第1の局面及び第2の局面に従う薄膜形成装置を示す断面図である。反応容器であるチャンバー1内には、基板ホルダー6が設けられており、基板ホルダー6の上に基板7が保持されている。基板7の上方には、アルミニウム(20℃のときの熱膨張率:23.1×10−6)等の金属からなる円筒状の回転電極2が設けられている。従って、円周方向に連続した電極表面を有している。回転電極2は、その中心の位置に設けられた回転軸2aの回転により回転するように設けられている。回転軸2aは、図示されないモーター等の駆動手段によって回転される。
【0028】
回転電極2は、チャンバー1の回転電極収納部1aの内部に収納されている。回転電極2の円筒周面である電極表面2bの回りには導電材料からなるカバー部材4が設けられている。本実施例においてカバー部材4は、本発明の第1の局面における電力伝達部材であるとともに、本発明の第2の局面におけるカバー部材である。本実施例においてカバー部材4は、アルミニウム合金から形成されている。
【0029】
カバー部材4は、絶縁部材3を介して、回転電極収納部1aの内側に取付けられている。本実施例において、絶縁部材3は、セラミックス(例えば、アルミナ)から形成されている。
【0030】
本実施例において、回転電極2の直径は30cmであり、幅(図面奥から手前に向かう方向の幅)は10cmである。また回転電極2の電極表面2bとカバー部材4との間のギャップは、0.5mmである。カバー部材4の幅(図面奥から手前に向かう方向の幅)は10cmであり、回転電極2の電極表面2bに沿う円周方向の長さは70cmである。
【0031】
また基板7と回転電極2の下方端との間の距離dは、300μm(0.3mm)である。
本実施例において、回転電極2とカバー部材4との間に形成される静電容量は約1200pFであり、回転電極2と基板7との間に形成される静電容量は約100pFである。従って、回転電極2とカバー部材4との間の静電容量は、基板7との間での静電容量の約12倍の静電容量を有している。従って、高周波電源5からの高周波電力は、カバー部材4を介し、容量結合的に回転電極2に印加され、回転電極2と基板7との間でプラズマが発生する。このようにして発生したプラズマにより、チャンバー1内に供給された反応ガスが分解し、基板7上に薄膜が形成される。なお、反応ガス等のガスは、図示されない反応ガス供給管によりチャンバー1内に供給される。
【0032】
本実施例では、高周波電源5からの高周波電力を、カバー部材4を介して非接触の状態で、回転電極2に印加している。従って、回転電極2への電力供給において接触不良等が生じることがなく、安定して電力を供給することができる。従って、安定したプラズマを回転電極2と基板7との間で発生することができ、均質な薄膜を形成することができる。
【0033】
また、本実施例では、本発明の第2の局面に従い、回転電極2が、回転電極収納部1aの内側に設けられたカバー部材4によって覆われており、該カバー部材4によってチャンバー1の内部が密閉され、プラズマ発生領域が密閉された状態になっている。従って、チャンバー1の容積が大幅に減少され、遊離した微粒子が発生する空間が減少している。このため、チャンバー1内での遊離した微粒子の発生を抑制することができる。また、回転軸2aの軸受け部周辺などの、基板以外の領域に対する薄膜付着等を低減することができる。
【0034】
図2は、本発明の第1の局面に従う薄膜形成装置を示す断面図である。図2に示す実施例の薄膜形成装置においては、チャンバー11内に、回転電極2を収納する回転電極収納部材12が設けられている。回転電極収納部材12の内側の、回転電極2の電極表面2bと対向する面には、電力伝達部材としてのカバー部材14が、図1に示すカバー部材4と同様にして設けられている。カバー部材14は、絶縁部材13を介して設けられている。絶縁部材13も、図1に示す実施例の絶縁部材3と同様に形成されている。高周波電源5は、カバー部材14に接続されている。図2に示す実施例において、回転電極2及びカバー部材14は、図1に示す実施例と同様の寸法形状を有している。また基板7と回転電極2の下方端の間の距離dも、図1に示す実施例と同様に、300μm(0.3mm)となるように設定されている。
【0035】
高周波電源5から供給される高周波電力は、カバー部材14を介して、容量結合的に、電極部材2に印加され、回転電極2と基板7との間でプラズマが発生する。
【0036】
図2に示す実施例は、本発明の第1の局面に従うものであり、電力伝達部材としてのカバー部材14を介して高周波電源5からの高周波電力を回転電極2に印加している。従って、回転電極2への電力供給を安定化することができ、安定したプラズマを発生することができ、均一な薄膜を基板7上に形成することができる。
【0037】
図3は、本発明の第2の局面に従う薄膜形成装置を示す断面図である。図3に示す実施例においては、回転電極2が、チャンバー21の回転電極収納部である、カバー部材21aにより覆われている。カバー部材21aは、回転電極2の電極表面2bに沿い回転電極2を覆うように設けられている。カバー部材21aにより、チャンバー21が密閉されており、プラズマ発生領域が密閉されている。回転電極2の回転軸2aに高周波電源5が接続されている。従って、本実施例では、高周波電源5からの高周波電力は、回転軸2aを通して回転電極2に印加されている。
【0038】
本実施例において、回転電極2は、図1の回転電極2と同様の寸法形状を有しており、カバー部材21aは、図1に示すカバー部材4と同様の寸法形状を有している。
【0039】
本実施例は、本発明の第2の局面に従うものであり、チャンバー21はカバー部材21aにより密閉されているので、チャンバー21の容積は大幅に減少されている。従って、遊離した微粒子が発生する領域が少なくなっており、チャンバー21内での遊離した微粒子の発生が抑制される。また、回転軸2a周辺などの基板以外の領域への薄膜付着等も低減される。
【0040】
【発明の効果】
本発明の第1の局面に従い、回転電極に対し非接触となるように設けられる電力伝達部材を介して電力を回転電極に印加することにより、回転電極への電力供給を安定化することができ、安定したプラズマを発生することができる。従って、均質な薄膜を形成することができる。
【0041】
本発明の第2の局面に従い、回転電極の電極表面に沿って該回転電極の一部を覆うようにカバー部材を設け、該カバー部材によってプラズマ発生領域を密閉することにより、反応容器の容積を減少することができ、遊離した微粒子の発生を抑制することができる。また、基板以外への薄膜付着等を低減することができ、反応ガスを有効に利用し、効率的に薄膜を形成することができる。また、装置のメンテナンスを容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の局面及び第2の局面に従う薄膜形成装置を示す断面図。
【図2】本発明の第1の局面に従う薄膜形成装置を示す断面図。
【図3】本発明の第2の局面に従う薄膜形成装置を示す断面図。
【符号の説明】
1…チャンバー
1a…回転電極収納部
2…回転電極
2a…回転電極の回転軸
2b…回転電極の電極表面
3…絶縁部材
4…電力伝達部材(カバー部材)
5…高周波電源
6…基板ホルダー
7…基板
11…チャンバー
12…回転電極収納部材
13…絶縁部材
14…電力伝達部材(カバー部材)
21…チャンバー
21a…カバー部材
Claims (4)
- 回転することにより基板表面の近傍を移動しながら通過する電極表面を有する円筒状の回転電極に高周波電力を印加することによりプラズマを発生させて前記基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置において、
前記回転電極に対し非接触となるように設けられる電力伝達部材を介して前記電力が前記回転電極に印加され、前記電力伝達部材が、前記回転電極の電極表面に沿って該回転電極の一部を覆うように設けられるカバー部材であり、該カバー部材によってプラズマ発生領域が密閉されていることを特徴とする薄膜形成装置。 - 反応容器内でプラズマを発生させて基板上に薄膜を形成するための薄膜形成装置であって、
回転することにより前記基板表面の近傍を移動しながら通過する電極表面を有する円筒状の回転電極と、
前記回転電極を回転させるための駆動手段と、
前記基板表面と前記回転電極の間にプラズマを発生させるため前記回転電極に印加される高周波電力を供給する電源と、
前記回転電極に対し非接触となるように設けられる電力伝達部材と、
前記基板を保持する基板ホルダーとを備え、
前記電源からの前記電力が前記電力伝達部材を介して前記回転電極に印加され、前記電力伝達部材が、前記回転電極の電極表面に沿って該回転電極の一部を覆うように設けられるカバー部材であり、該カバー部材によってプラズマ発生領域が密閉されていることを特徴とする薄膜形成装置。 - 前記電力伝達部材と前記回転電極の電極表面との間のギャップが1mm以下である請求項1または2に記載の薄膜形成装置。
- 前記電力伝達部材と前記回転電極との間で形成される静電容量が、前記回転電極と前記基板との間で形成される静電容量の10倍以上となるように、前記電力伝達部材の寸法形状及び位置が設定されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31306997A JP3634599B2 (ja) | 1997-11-14 | 1997-11-14 | 回転電極を用いた薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31306997A JP3634599B2 (ja) | 1997-11-14 | 1997-11-14 | 回転電極を用いた薄膜形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11140654A JPH11140654A (ja) | 1999-05-25 |
JP3634599B2 true JP3634599B2 (ja) | 2005-03-30 |
Family
ID=18036834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31306997A Expired - Lifetime JP3634599B2 (ja) | 1997-11-14 | 1997-11-14 | 回転電極を用いた薄膜形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3634599B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5157741B2 (ja) * | 2008-08-12 | 2013-03-06 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | プラズマ放電処理装置 |
US8673078B2 (en) | 2008-11-05 | 2014-03-18 | Ulvac, Inc. | Take-up vacuum processing apparatus |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2811845B2 (ja) * | 1989-12-22 | 1998-10-15 | 株式会社島津製作所 | 移動式成膜装置 |
JP3295310B2 (ja) * | 1995-08-08 | 2002-06-24 | 三洋電機株式会社 | 回転電極を用いた高速成膜方法及びその装置 |
-
1997
- 1997-11-14 JP JP31306997A patent/JP3634599B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11140654A (ja) | 1999-05-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040907 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041028 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090107 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090107 Year of fee payment: 4 |
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