JP3632078B2 - 透明平行平板の表面形状測定および厚さ不均一測定のための干渉縞解析法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長可変レーザを観察用光源とする干渉計装置において被測定体である透明平行平板の光学的厚さあるいは裏面形状の位相情報を得るための干渉縞解析方法に関し、特に、平板の表面と裏面双方からの反射出力光によって生じる干渉縞ノイズ、および参照面、平行平板表面・裏面間のいずれかで合計3回多重反射した出力光の光干渉によって生じる干渉縞ノイズを除去する干渉縞解析方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、透明平行平板の光学的厚さ不均一測定では、波長可変の照明光源を用し参照面を外したフィゾー型干渉計を用いた方法が知られている。この方法では、照明光が平板の表面と裏面双方で反射してできる出力光によって生じる干渉縞の位相を検出することで厚さを決定するが、平板表面の形状を同時に測定することができなかったため、厚さの不均一が表面あるいは裏面どちらの凹凸に起因するのかを決定することができなかった。
【0003】
一方、透明平行平板の表面(あるいは裏面)形状を測定するためには、他方の面である裏面(あるいは表面)に屈折率合致オイル等を介在して反射防止の布等を張り付ける処理を施した後に、フィゾー型干渉計で平板表面と参照面とを比較する方法が広く行われている。しかしながら、この方法では裏面反射がないため光学的厚さ測定を同時に行うことはできなかった。平行平板の光学的厚さと表面形状を別々の方法で測定する場合、裏面処理に伴って平板の支持圧力が変わり平板が一般に弾性変形するので、先の厚さ測定時とは異なる表面形状を測定することが多く、測定の再現性が悪い問題点があった。
【0004】
こうした測定の同時性の問題を解決する手段として、K. Okada, H.Sakuta, T.Ose, and J. Tsujiuchi, “Separate measurements of surface shapes and refractive index inhomogeneity of an optical element using tunable source phase shifting interferometry,” Applied Optics, vol.29(1990) 3280−3285.(文献1)に示す波長可変レーザを光源として透明平行平板の光学的厚さと平行平板の表面形状を測定するトワイマングリーン干渉計装置が知られている。この干渉計装置では、平行平板表面と参照面を単色の平面光波で照明し、平板裏面からの反射光および参照面からの反射光を統合して干渉縞を形成し、CCDカメラ等の撮像装置で撮像し、得られた干渉縞画像を解析して上記平板の光学的厚さの不均一と表面形状を位相変化として観察測定する。
【0005】
この測定では、平板裏面からの反射出力光(測定光)の他に平板表面からの反射出力光、及び表面と前記裏面の間を奇数回反射して出力する多重反射出力光が存在し、それぞれ参照面からの出力光(参照光)と統合して干渉縞を形成しノイズ信号となる。このため平行平板面の測定では、これらのノイズ信号の影響を除去する操作が必要である。
【0006】
この点に関して、前記文献1では、出力光の波長λを1/1200nmずつ変化させる毎に撮像装置により記録した60枚の干渉縞画像を解析処理することにより、表面からの直接反射光が作るノイズ信号を除去することに成功し、測定誤差としてλ/60(rms:平方根平均自乗誤差)以下を得ている。
【0007】
しかしながら、光学ガラスを用いた平行平板に要求される仕様は、最近ではλ/100にも達しており、測定感度不足に陥っている。また、半導体ウェーハなどでは、反射率が25%程度に達する場合も珍しくなく、このような高反射率の平行平板測定では、この方法による測定誤差はλ/10(rms誤差)程度が得られる。このため0.1μm以下の加工精度を問題とする半導体製造に当たっては、測定感度が大幅に不足している。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
現在までの技術では、平行平板の光学的厚さ不均一および表面形状の同時測定の最高測定精度は、文献1の方法によりλ/60(rms:平方根平均自乗誤差)が得られている。しかしながらこの精度では、光学ガラスあるいは半導体ウェーハの製造・検査に当たっては、測定精度が不足している。
【0009】
本発明では波長可変の単色光源で平行平板を照明し、平板からの反射光と別に用意した参照面からの反射光を統合して得られる19枚の干渉縞画像を解析する新しい方法により、前記の問題である平板の光学的厚さおよび表面形状の測定誤差として従来の3倍以上であるλ/200以下(rms誤差)を実現することを目的としている。また副次的に、得られた光学的厚さから表面形状を引き算することで、平板の裏面形状を測定することも目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は上記課題を解決するため、透明平行平板の表面の各位置での光学的厚さ不均一を測定する方法において、出力光が平行平板を透過するコヒーレントでその中心波長λを時間的に変化させ得る照明光源と、該照明光源からの光束を平行光束とした後、参照面上および被測定平板表面上に導く光学系と、前記参照面と前記被測定平板表面との光軸上での距離Lと前記被測定平板の光学的厚さnTの比が、およそL=nT/3を満たすように距離Lを設定する装置と、該被測定平板表面および裏面からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像し、そのとき前記出力光の波長λを変化させて、該被測定平板表面および参照面からの反射光束の位相差がおよそπ/6ずつ変化する毎に、連続的に19画像撮像する撮像手段とを備えた干渉計装置において、該撮像して得られた19枚の干渉縞画像情報I−9(x,y),I−8(x,y), …,I0(x,y),I1(x,y),…,I9(x,y)に対して、数値式(2)を用いた下式(1)に基づく演算処理を施して被測定平板の光学的厚さの不均一に関する位相情報ψ2(x、y)を求め、数式(3)によって該被測定平板の各位置での厚さ不均一を測定することを特徴とする干渉縞解析方法としたものである。
式(1)
【数7】
ここで定数ar,brは以下の値とする。
式(2)
【数8】
式(3)
【数9】
【0011】
また、請求項2に係る発明は、透明平行平板の表面の各位置での裏面の高さを測定する方法において、出力光が平行平板を透過するコヒーレントでその中心波長λを時間的に変化させ得る照明光源と、該照明光源からの光束を平行光束とした後、参照面上および被測定平板表面上に導く光学系と、前記参照面と前記被測定平板表面との光軸上での距離Lと前記被測定平板の光学的厚さnTの比が、およそL=nT/3を満たすように距離Lを設定する装置と、該被測定平板表面および裏面からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像し、そのとき前記出力光の波長λを変化させて、該被測定平板表面および参照面からの反射光束の位相差がおよそπ/6ずつ変化する毎に、連続的に19画像撮像する撮像手段とを備えた干渉計装置において、撮像して得られた19枚の干渉縞画像情報I−9(x,y),I−8(x,y), …,I0(x,y),I1(x,y),…,I9(x,y)に対して、数値式(5)を用いた下式(4)に基づく演算処理を施して被測定平板の第一面の高さに関する位相情報ψ1(x、y)を求めた後、数式(6)によって該被測定平板の各位置での裏面の高さを測定することを特徴とする干渉縞解析方法。
式(4)
【数10】
ここで定数ar,brは以下の値とする。
式(5)
【数11】
式(6)
【数12】
【0012】
また、請求項3に係る発明は、前記干渉計装置がフィゾー型干渉計であり、被測定平行平板表面からの測定光とからの参照光との位相差をおよそπ/6ずつずらして19枚の画像を撮像する手段を備えている請求項1または請求項2記載の干渉縞解析方法としたものである。
【0013】
また、請求項4に係る発明は、前記干渉計装置がミラウ型干渉計であり、被測定平行平板表面からの測定光と前記参照面からの参照光との位相差をおよそπ/6ずつずらして19枚の画像を撮像する手段を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の干渉縞解析方法としたものである。
【0014】
また、請求項5に係る発明は、前記平行平板が半導体ウェーハであり、照明光源が赤外波長光源である場合に、被測定ウェーハ表面からの測定光と前記参照面からの参照光との位相差をおよそπ/6ずつずらして19枚の画像を撮像する手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の干渉縞解析方法としたのもである。
【0015】
また、請求項6に係る発明は、前記平行平板が薄ガラス板にはさまれた透明液体であり、ガラス表面からの測定光と前記参照面からの参照光との位相差をおよそπ/6ずつずらして19枚の画像を撮像する手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の干渉縞解析方法としたものである。
【0016】
【発明の実施の形態】
本発明について、透明平行平板の干渉縞解析方法の具体的な例を述べる前に、本発明によって上記課題を解決することができる原理について説明する。図1の干渉計において出力光の波長λを時間的に変化させたとき、光束の光干渉により形成され時刻tに撮像装置に記録される干渉縞強度は、次式で表される。
【数13】
【0017】
参照面と平行平板の表面(測定面)の間隔をLとして波長が単位時間にδλ変化するとして、変調周波数は、
【数14】
で表される。位相値ψ1が平板表面の形状を表す位相情報であり、位相値ψ2が平板の光学的厚さを表す位相情報である。振幅skを含む項は裏面反射や3回多重反射により発生したノイズ項である。図2に平行平板の光学的厚さがnT=3Lのときの信号およびノイズの周波数スペクトルJ(ν)を表す。
【0018】
光源波長をλ2/24Lずつ変化させ、測定平板表面(第一面)および参照面からの反射光束の位相差がおよそπ/6ずつ変化する毎に干渉縞画像を取り込み、数式5のパラメータ値を用いた数式4で位相情報を解析した結果は次式で表される。
【数15】
【0019】
数式15の右辺第一項が、平板表面の高さ情報に関する位相値、第二項は誤差項である。ここで関数Fは、数式5の値を用いた次式で表される。
【数16】
【0020】
さらに数式2のパラメータ値を用いた数式1で位相情報を解析した結果は次式で表される。
【数17】
数式17の右辺第一項が平板の光学的厚さに関する位相値、第二項は誤差項である。
ここで関数Fは、数式2の値を用いた次式で表される。
【数18】
【0021】
被測定平行平板の光学的厚さがおよそL=nT/3である時に、図2の周波数スペクトル J(ν)を求め、数式10の解析パラメータar,brを、数式15の右辺第二項誤差項を最小化するように決定する。このようにして解析パラメータar,brが数式5のように決定される。
【0022】
同様に被測定平行平板の光学的厚さがおよそL=nT/3である時に、図2の周波数スペクトルJ(ν)を求め、数式12の解析パラメータar,brを、数式17の右辺第二項誤差項を最小化するように決定する。このようにして解析パラメータar,brが数式2のように決定される。
【0023】
図3にこの解析法を採用した場合の位相値ψ2のrms誤差を示す。ここで透明平行平板の表面反射率は4%および25%を仮定している。今回の方法により、反射率25%程度の被測定平行平板の光学的厚さが2.59L<nT<3.15Lの範囲にある場合は、rms誤差の大きさはλ/200以下であり、従来法1の最高値(平板の反射率4%の時にrms誤差でλ/60、また25%の時にλ/10)よりも優れていることがわかる。
【0024】
また反射率4%程度の光学ガラス等を材質とする被測定平行平板の光学的厚さが2.67L<nT<3.26Lの範囲である時にも、最高測定精度であるλ/200を実現することが証明される。
【0025】
図4にこの解析法を採用した場合の位相値ψ1のrms誤差を示す。ここで透明平行平板の表面反射率は4%および25%を仮定している。今回の方法により、反射率がいずれの場合も被測定平行平板の光学的厚さが2.6L<nT<4.2Lの範囲にある場合は、rms誤差の大きさはλ/200以下であり、従来法1の最高値(平板の反射率4%の時にrms誤差でλ/60、また25%の時にλ/10)よりも優れていることがわかる。
【0026】
次に、本発明の一実施形態に係る干渉縞解析方法について図面を参照しつつ説明する。
図1は、本実施形態に係る干渉縞解析方法を実施するためのフィゾー型干渉計装置を示すものである。
【0027】
このフィゾー型干渉計装置において、出力光の波長λを可変とし得るレーザダイオード等の単色の波長可変レーザ光源11から出射されたレーザ光は、コリメータレンズ12(入射面を3、出射面を4により示す)によって平行光束とされ、基準板13の基準面1および被測定平行平板14の表面(第一面)2に入射する。基準面1で反射された光束と被測定平板の表面2および裏面3で反射された光束は互いに干渉しつつ光路を逆行し、半透鏡15で反射され、CCDカメラ16の撮像面上に被測定平板面2および3の位相情報を有する干渉縞を形成する。
【0028】
ここで得られた干渉縞画像情報は演算装置17において所定の演算処理が施され、有効かつ高精度な干渉縞解析がなされる。
このような波長可変レーザ光源11を用いた干渉計装置においては、平板面2及び3からの反射光が平板の光学的厚さ情報を担った干渉縞を生成するほかに、基準面及び平板表面2からの反射光が生成する表面2の高さ情報を持つ干渉縞、基準面及び平板裏面3からの反射光が生成するノイズ縞、参照面、平板面2,3の間で合計3回反射した反射光と基準面1及び平板面2,3からの反射光とで生成されるノイズ縞が発生し、従来の測定ではこれらのノイズ縞が重なって解析されてしまい、測定精度を低下させる原因となっていた。
【0029】
本実施形態においては、基準面1、被測定平板面2の間隔を平板の光学的厚さから算出される所定値付近に設定するとともに、得られた干渉縞画像データに対し、上記演算装置17において前述した演算処理を施し、上記ノイズを除去するようにしている。
【0030】
ここで、上記方法において具体的数値を示す。被測定平板14の厚さTを1.6mm、光源11の波長の光に対する平板の屈折率nを3とすると、基準面と平板表面2の間の距離Lを1.6mmに設定すればよい。数式(1)で示される位相シフトアルゴリズムに用いられる19枚の画像のデータとしては、具体的には、上記波長可変レーザ光源11の中心波長λを1.5μmとして、その波長を振幅0.0586nm(λ2/24L)ずつずらし、順次、CCDカメラ16で撮像した19枚の干渉縞画像データIr(x、y)を用いる。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の干渉縞解析方法によれば、透明平行平板の光学的厚さ及び表面形状に関する情報を、波長可変型レーザを観察用光源とした干渉計装置により非接触で同時に測定することが可能である。これにより光学要素製造技術、半導体ウェーハ加工技術の定量的で信頼性の高い評価ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の干渉縞解析法を実施するための干渉計装置を示す概略図である。
【図2】撮像装置に入力する干渉縞信号のある位置における周波数スペクトルを示す説明図である。
【図3】本発明の19画像干渉縞解析法を用いて、フィゾー型干渉計で透明平行平板の厚さ不均一を測定した場合の測定誤差(rms値)を示すグラフである。
【図4】本発明の19画像干渉縞解析法を用いて、フィゾー型干渉計で透明平行平板の表面(第一面)形状を測定した場合の測定誤差(rms値)を示すグラフである。
【符号の説明】
1 参照面
2 被測定平行平板表面(第一面)
3 平行平板裏面(第二面)
11 波長可変レーザー光源
12 コリメータレンズ
13 基準板
14 平行平板
15 半透鏡
16 撮像装置
17 演算装置
Claims (6)
- 透明平行平板の表面の各位置での光学的厚さ不均一を測定する方法において、
出力光が平行平板を透過するコヒーレントでその中心波長λを時間的に変化させ得る照明光源と、
該照明光源からの光束を平行光束とした後、参照面上および被測定平板表面上に導く光学系と、
前記参照面と前記被測定平板表面との光軸上での距離Lと前記被測定平板の光学的厚さnTの比が、およそL=nT/3を満たすように距離Lを設定する装置と、
該被測定平板表面および裏面からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像し、そのとき前記出力光の波長λを変化させて、該被測定平板表面および参照面からの反射光束の位相差がおよそπ/6ずつ変化する毎に、連続的に19画像撮像する撮像手段とを備えた干渉計装置において、
該撮像して得られた19枚の干渉縞画像情報I−9(x,y),I−8(x,y), …,I0(x,y),I1(x,y),…,I9(x,y)に対して、数値式(2)を用いた下式(1)に基づく演算処理を施して被測定平板の光学的厚さの不均一に関する位相情報ψ2(x、y)を求め、数式(3)によって該被測定平板の各位置での厚さ不均一を測定することを特徴とする干渉縞解析方法。
式(1)
式(2)
- 透明平行平板の表面の各位置での裏面の高さを測定する方法において、
出力光が平行平板を透過するコヒーレントでその中心波長λを時間的に変化させ得る照明光源と、
該照明光源からの光束を平行光束とした後、参照面上および被測定平板表面上に導く光学系と、
前記参照面と前記被測定平板表面との光軸上での距離Lと前記被測定平板の光学的厚さnTの比が、およそL=nT/3を満たすように距離Lを設定する装置と、
該被測定平板表面および裏面からの光束の光干渉により得られた干渉縞情報を撮像し、そのとき前記出力光の波長λを変化させて、該被測定平板表面および参照面からの反射光束の位相差がおよそπ/6ずつ変化する毎に、連続的に19画像撮像する撮像手段とを備えた干渉計装置において、
撮像して得られた19枚の干渉縞画像情報I−9(x,y),I−8(x,y), …,I0(x,y),I1(x,y),…,I9(x,y)に対して、数値式(5)を用いた下式(4)に基づく演算処理を施して被測定平板の第一面の高さに関する位相情報ψ1(x、y)を求めた後、数式(6)によって該被測定平板の各位置での裏面の高さを測定することを特徴とする干渉縞解析方法。
式(4)
式(5)
- 前記干渉計装置がフィゾー型干渉計であり、被測定平行平板表面からの測定光とからの参照光との位相差をおよそπ/6ずつずらして19枚の画像を撮像する手段を備えている請求項1または請求項2記載の干渉縞解析方法。
- 前記干渉計装置がミラウ型干渉計であり、被測定平行平板表面からの測定光と前記参照面からの参照光との位相差をおよそπ/6ずつずらして19枚の画像を撮像する手段を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の干渉縞解析方法。
- 前記平行平板が半導体ウェーハであり、照明光源が赤外波長光源である場合に、被測定ウェーハ表面からの測定光と前記参照面からの参照光との位相差をおよそπ/6ずつずらして19枚の画像を撮像する手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の干渉縞解析方法。
- 前記平行平板が薄ガラス板にはさまれた透明液体であり、ガラス表面からの測定光と前記参照面からの参照光との位相差をおよそπ/6ずつずらして19枚の画像を撮像する手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の干渉縞解析方法。
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