JP3625330B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
【発明の利用分野】
この発明は金属酸化物半導体ガスセンサの改良に関し、特にシリコーン等の被毒物や高温・高湿の雰囲気への耐久性の向上に関する。この明細書でガスは、イソブタンやプロパン,CH4等の本来のガスの他に,水蒸気をも含むものとし、この発明は特に金属酸化物半導体を用いたガスセンサを湿度センサとして用いる場合に有効である。
【0002】
【従来技術】
出願人は、金属酸化物半導体膜の表面をガラスで被覆したガスセンサを提案した(特公平6−63994号公報)。このガスセンサではSnO2膜等の表面をガラスで被覆し、雰囲気との接触を制限する。そしてSnO2膜の一部のみをガラスで被覆せずに開口,即ち外部への露出部,として残し、この部分からガスをSnO2膜内へ拡散させ検出する。そしてこのようなガスセンサは、CH4等の難燃性ガスの検出や絶対湿度の検出に用いられる。このガスセンサを湿度センサとして用いる際の主な用途は、電子レンジの制御で、食品から発生する水蒸気を検出して解凍や再加熱を制御する。電子レンジへの応用では、加熱開始前のセンサ出力を基準値として記憶し、基準値に対するセンサ出力の変化から検出を行う。なお特公平6−63994号公報等の従来技術では、金属酸化物半導体膜をガラス膜よりも大きな四角形とし、金属酸化物半導体膜の4周に開口を設けている。
【0003】
発明者は、このガスセンサではシリコーン等の被毒物への耐久性が不十分であることを見い出した。シリコーンは電子レンジ等に用いるシリコーンゴムから発生する代表的な被毒物で、ガスセンサの触媒活性を変化させる。そして湿度センサとして用いる場合、触媒活性の低下に伴ってアルコール等の可燃性ガスへの感度を発現させる。このため食品中のアルコール含有量によってセンサ出力が変化し、可燃性ガスと湿度との相対感度が低下する。
【0004】
発明者はさらに、被覆したガラスにより高温・高湿雰囲気への金属酸化物半導体の耐久性が低下することを見い出した。そしてこの劣化の主因が、ガラス中のMgO成分であることを確認した。ガラス中のMgO成分は、高温・高湿雰囲気への金属酸化物半導体膜の耐久性を低下させ、かつシリコーン被毒の防止のために、ガラス膜のパターンを変更すると、劣化が著しくなることが判明した。
【0005】
【発明の課題】
この発明の課題は、金属酸化物半導体膜をガラス膜で被覆したガスセンサの、シリコーン等の被毒物への耐久性を向上させると共に、被覆に用いたガラス膜による金属酸化物半導体膜の劣化を防止し、特に高温・高湿雰囲気への耐久性を向上させることにある(請求項1 , 2)。
【0006】
【発明の構成】
この発明は、耐熱絶縁基板上に、ヒータ膜とガスにより抵抗値が変化する金属酸化物半導体膜とを設け、金属酸化物半導体膜の表面を開口を残してガラス膜で被覆したガスセンサにおいて、前記金属酸化物半導体膜の外周の1辺にのみ開口を設け、他周をガラス膜で被覆すると共に、ガラス中のMgO含有量を2wt%以下にし、好ましくは0 . 1wt%以下にしたことを特徴とする。
【0007】
さらに好ましくは、金属酸化物半導体膜中の金属酸化物半導体に対するS i O 2 含有量を1wt%以下にし、最も好ましくは0 . 2wt%以下にする。
【0008】
【発明の作用と効果】
発明者は、金属酸化物半導体膜に対するガラス膜のパターン形状が、シリコーン等の被毒物への耐久性と関係することを見い出し、特に金属酸化物半導体膜の外周の1辺のみを開口とし他周をガラス膜で被覆すると、シリコーン被毒への耐久性を著しく向上できることを見い出した。このことの原因は明らかではないが、恐らく、金属酸化物半導体膜と外部との接触を制限することにより、被毒物の金属酸化物半導体膜の内部への拡散を制限し蓄積を防止することによるものと考えられる。そして金属酸化物半導体膜の1辺のみを開口としても、予想に反しガスセンサの応答特性はほとんど低下しなかった。
【0009】
しかしながらこのことに伴って、ガスセンサの高温・高湿雰囲気への耐久性が低下した。特に高温・高湿雰囲気に、ガスセンサを加熱せずに放置した際の耐久性が低下した。これは金属酸化物半導体膜の開口が1辺になったことに伴い、膜の内部へ拡散した水蒸気の脱離が遅れることと関係するものと考えられる。そして発明者は、高温・高湿雰囲気へのガスセンサの耐久性の低下が、被覆に用いたガラス膜と関係し、特にガラス膜中のMgO成分と関係することを見い出した。発明者の実験によれば、ガラス膜中のMgO含有量が15wt%(なお以下で組成は重量%単位で表示する)では高温・高湿雰囲気への耐久性は低く、MgO含有量を5wt%としても耐久性は向上せず、1wt%以下で顕著な耐久性の向上が見られた。そして最も良い結果はMgO含有量が0.01wt%で得られた。なおガラスによる金属酸化物半導体膜の特性劣化は、ガラス膜のパターン形状と関係するが、これはガラス自体の性質に基づくものであり、従来例のように金属酸化物半導体膜の2辺以上を開口としても生じる。
【0010】
金属酸化物半導体膜には、膜の強度を増すためにシリカバインダーを添加するのが普通である。このようなバインダーは、テトラエトキシシランを加水分解した硅酸ゾルや、シリカの重合度をこれよりも高めた水ガラス系の硅酸ゾルとして添加する。発明者は、高温・高湿雰囲気への耐久性とシリカバインダーの有無が関連することを見い出し、シリカバインダーを加えない系で高温・高湿雰囲気への耐久性が増すことを見い出した。そこで金属酸化物半導体膜中のSiO2含有量を1wt%以下とすると、即ちバインダーとしてのSiO2を加えないと、高温・高湿雰囲気への耐久性はさらに向上する。
【0011】
この発明では以下の効果が得られる。金属酸化物半導体膜の1辺のみを開口とすると、被毒物の侵入と蓄積を防止し耐被毒性を向上できる。しかもガスセンサの応答特性はほとんど低下しない。ガラス膜中のMgO含有量を2wt%以下とするので、高温・高湿雰囲気への耐久性が向上する(請求項1 , 2)。また金属酸化物半導体膜中のSiO2含有量を1wt%以下にすると、高温・高湿雰囲気への耐久性がさらに向上する(請求項2)。
【0012】
【実施例】
図1〜図11に実施例のガスセンサとその特性とを示す。図1に実施例のガスセンサの構造を示し、2はアルミナやシリカ,ムライト,ZrO2,TiO2等の耐熱絶縁基板である。基板2の表面は断熱ガラスで被覆しても良い。4はヒータで、ここでは膜厚10μm程度の酸化ルテニウムヒータを用い、これ以外にPtヒータ等を用いてもよく、またその配置は任意である。6,8,10は電極、12はSnO2膜で、ZnO膜やIn2O3,やWO3膜等でもよく、ガス特に絶対湿度により抵抗値が変化する金属酸化物半導体膜であれば良い。ここではSnO2膜12の膜厚を10μm程度とし、SnO2に約1wt%のPtを触媒として加えた。なおSnO2膜12への添加物や膜厚は任意であるが、例えば骨材にアルミナ等を加えても良いが、バインダーとしてのシリカを加えないことが好ましい。14はガラス膜で、好ましくはMgO含有量が2wt%以下のガラスを用い、特に好ましくは0.1wt%以下とする。SnO2膜12は例えば4辺形とし、その1辺を残してガラス膜14で被覆し、ガスはSnO2膜12の開口16から拡散する。20,22は電極6,8に接続した対向電極で、この間のSnO2膜12の抵抗値がガスセンサの出力となる。SnO2膜12の1辺にのみ開口16を設け他をガラス14で被覆すること、ガラス14は好ましくはMgO含有量が2wt%以下、より好ましくは0.1wt%以下とすること、SnO2膜12中のSiO2含有量は好ましくは1wt%以下、より好ましくは0.2wt%以下とすることを除き、ガスセンサの構造や材料自体は任意である。
【0013】
図2に比較例として用いたガスセンサを示す。このガスセンサでは、SnO2膜12の2辺に開口16,18を設けたこと、これに伴って形状の異なるガラス膜15を用いたことを除き、図1のガスセンサと同様の構造である。
【0014】
【ガスセンサの調製】
表1に示すガスセンサを調製した。なお用いたガラス組成を表2に示す。SnCl4を加水分解して得た錫酸ゲルを650℃で焼成してSnO2とした。これに塩化白金酸により1wt%のPtを添加し、600℃で再度焼成した。得られたSnO2を基板2上に印刷後、650℃で焼成して膜厚約10μmのSnO2膜を得た。なおシリカバインダーを加える場合、テトラエチルシリケートを加水分解して得た錫酸ゾルを焼成後のSnO2膜12に含浸させ、再度700℃で焼成した。シリカバインダーの添加量はSnO2膜12に対して約5wt%である。またシリカバインダーを用いない場合、SnO2膜12中のSiO2は不純物に起因するもので、その含有量はSnO2に対して0.1wt%以下となる。そこでシリカバインダーを含まない金属酸化物半導体を表すものとして、SiO2含有量が0.2wt%以下であることを用い、より広くはSiO2含有量を1wt%以下とした。次いで表2に示す4種類のガラスを用い、SnO2膜12上にガラス膜14あるいは15を設けた。ガラス膜14,15は膜厚が約10mmで、サイズは横が1.2mm,縦が1.5mm、ガラス膜14,15の印刷後の焼成温度は約850℃である。なおSnO2膜12のサイズは横が1.5mm,縦が1.2mmである。
【0015】
【表1】
【0016】
【表2】
【0017】
得られたガスセンサをヒータ4により例えば450℃に加熱すると、水蒸気以外のガスへの感度が実質上失われ、湿度センサとなる。また同じガスセンサを例えば400℃で使用すると、メタンセンサとなる。
【0018】
表1のガスセンサを用いて、シリコーン蒸気に対する耐久性を調べた。容積25Lの試験槽に、東レ株式会社製のシリコーンパテ45gを配置し、雰囲気温度を200℃に保って、シリコーンパテからシリコーン蒸気を発生させた。この試験槽内に各5個のガスセンサを配置し、ヒータ4により動作温度に保って1時間シリコーン蒸気に晒した。この耐久テストを2回行った際の実施例2のガスセンサでのエタノール感度の変化を図3に示す。なお結果は、シリコーン耐久前の感度と1時間の耐久テスト後の感度、並びに3日大気中で通電した後の感度、その後さらに1日大気中で通電した際の感度と、さらに1時間のシリコーン耐久テストを行った後の感度の順で示す。図3の横軸の1〜5は実施例2のガスセンサのロット番号を示し、図3の右側に比較例のガスセンサでの結果を示す。センサは各ロットとも5個である。
【0019】
図3から明らかなように、図2のパターンを用いた比較例では、シリコーン耐久によってエタノール感度が発現する。これに対して実施例2のガスセンサでは、シリコーン耐久によりエタノール感度が僅かに低下するが、これは有意差よりも小さく、シリコーン耐久テストの影響を実質的に受けていない。次に図3でのエタノール感度の初期値(シリコーン耐久テスト前)と耐久後(2回のシリコーン耐久テスト後)とでのエタノール感度の変化を表3に示す。図1のパターンを用いた実施例1〜3及び比較例2 , 3ではいずれもシリコーン耐久によるエタノール感度の変化は無視できる。なおシリコーン蒸気による被毒は、ガスセンサの可燃性ガス感度の発現として現れ、センサの抵抗値や水蒸気感度には影響しなかった。また発明者はシリコーン耐久以外に、SO2耐久テストやH2S耐久テスト等の他の被毒物への耐久テストを行ったが、結果は表3と同等であった。即ち図1のパターンで被毒物に対する耐久性が増し、図2のパターンで被毒物への耐久性が減少する。
【0020】
【表3】
【0021】
図1のパターンは開口16をSnO2膜12の1辺にのみ設けるので、図2のパターンに比べて応答特性が低下することが予想された。そこで絶対湿度の変化に対するガスセンサの応答波形を求めた。図4は、27℃,相対湿度31%の雰囲気から、60℃,相対湿度95%の雰囲気へと絶対湿度を急激に増加させた際の実施例2のガスセンサの応答波形を示している。また図5は、同じ条件での比較例のガスセンサの応答波形を示している。図4の応答波形と図5の応答波形の間に有意差はなく、開口16をSnO2膜12の1辺にのみ設けても応答特性が低下しない。なお実施例1や比較例2 , 3及び実施例3のガスセンサの応答波形は、図4の実施例2のガスセンサの応答波形と同等であった。また図1のパターンでも図2のパターンでも、湿度感度は同じであった。
【0022】
【高温・高湿雰囲気への耐久性】
しかしながら図1のパターンは、高温・高湿の雰囲気へのガスセンサの耐久性を低下させ、センサの抵抗値を増加させた。耐久性の低下は、高温・高湿の雰囲気にガスセンサを加熱せずに放置する場合に生じ、60℃×相対湿度95%の雰囲気にセンサを30日間加熱せずに放置した際の抵抗値の変化を表4に示す。比較例と比較例2とを比べると、ガラス膜14からガラス膜15へのパターン変更に伴って、高温・高湿雰囲気への耐久性が低下していることが明らかである。次にここでガラス膜14中のMgO含有量を変化させると、高温・高湿雰囲気への耐久性が変化する。即ちMgO含有量を0.01wt%あるいは1wt%とすると、高温・高湿雰囲気への耐久性は著しく向上するが、MgO含有量を5wt%まで減少させても、耐久性はさして向上しない。このことからガラス膜14中のMgO含有量は2wt%以下が好ましく、より好ましくは実施例2と実施例3の中間の0.1wt%以下とする。なお高温・高湿雰囲気でもヒータ4を用いてガスセンサを加熱している場合、劣化は小さい。このようにガラス膜14中のMgOの有無により劣化の程度が異なり、SnO2膜12を加熱していると劣化が小さいことから、高温・高湿雰囲気でのSnO2膜12の劣化機構を以下のように推定した。即ち高温・高湿雰囲気でガラス膜14からMgO成分が吸着した水に溶出し、これがSnO2膜12を被毒して抵抗値を変化させる。MgOによる劣化の機構は吸着水へのMgOの溶出であり、このためセンサを加熱していると高温・高湿雰囲気でも劣化は小さい。なお表2の組成で、MgO以外にSnO2膜12を被毒する可能性がある元素はアルカリ金属とPbで、これらの含有量は好ましくはいずれも0.5wt%以下とする。
【0023】
【表4】
【0024】
高温・高湿雰囲気への耐久性には、表4に示したように、SnO2膜12中のシリカバインダーの有無が関係している。MgOフリーのガラスを用いシリカバインダーを用いない実施例1では、高温・高湿雰囲気に晒した際の影響は小さい。シリカバインダーを用いない場合、SnO2膜12中のSnO2に対するシリカ含有量は通常は0.1wt%以下なので、好ましくはSnO2に対するシリカ含有量を1wt%以下、より好ましくは0.2wt%以下とする。なおシリカバインダーを加える場合、SnO2に対して数wt%程度のバインダーを加えるのが普通である。
【0025】
図6,図7,図8に、60℃×相対湿度90%の雰囲気に、ガスセンサを加熱せずに放置した際の抵抗値の変化を示す。抵抗値は20℃×相対湿度65%の基準大気中での抵抗値である。図6は実施例1のガスセンサでの結果を、図7は実施例2のガスセンサの結果を、図8は比較例2のガスセンサの結果を示している。なお図6〜図8は表4よりも高温・高湿雰囲気による抵抗値の変化が大きいが、これは測定毎のばらつきによるものと考えられる。そして図6〜図8を比較すると、MgOを含まないガラスを用いることにより高温・高湿雰囲気への耐久性が増し、シリカバインダーを用いないことにより耐久性がさらに向上することを示している。
【0026】
【センサ特性のばらつき】
ガラス膜14中のMgOの有無や図1と図2のパターンの差は、ガスセンサのばらつきにも影響する。なおこのばらつきには、シリカバインダーの有無は殆ど寄与していない。図9は実施例2のガスセンサの抵抗値分布を示し、図10は比較例2のガスセンサの抵抗値分布を、図11は比較例のガスセンサの抵抗値分布を示している。なお抵抗値はいずれも20℃×相対湿度65%の基準大気中での抵抗値である。図2から図1へのパターンの変更に伴い、センサの抵抗値分布は図11から図10へと減少する。そしてガラス膜14中のMgO成分を除くことにより、抵抗値分布は図10から図9へと減少する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例のガスセンサの平面図
【図2】従来例のガスセンサの平面図
【図3】実施例2のガスセンサでの、シリコーン被毒に対する耐久性を示す特性図
【図4】実施例2のガスセンサでの絶対湿度の変化への応答波形を示す特性図
【図5】従来例のガスセンサでの絶対湿度の変化への応答波形を示す特性図
【図6】実施例1のガスセンサでの高温・高湿雰囲気への耐久性を示す特性図
【図7】実施例2のガスセンサでの高温・高湿雰囲気への耐久性を示す特性図
【図8】比較例2のガスセンサでの高温・高湿雰囲気への耐久性を示す特性図
【図9】実施例2のガスセンサでの抵抗値分布を示す特性図
【図10】比較例2のガスセンサでの抵抗値分布を示す特性図
【図11】従来例のガスセンサでの抵抗値分布を示す特性図
【符号の説明】
2 基板
4 ヒータ
6,8,10 電極
12 SnO2膜
14,15 ガラス膜
16,18 開口
20,22 対向電極
Claims (2)
- 耐熱絶縁基板上に、ヒータ膜とガスにより抵抗値が変化する金属酸化物半導体膜とを設け、金属酸化物半導体膜の表面を開口を残してガラス膜で被覆したガスセンサにおいて、
前記金属酸化物半導体膜の外周の1辺にのみ開口を設け、他周をガラス膜で被覆すると共に、
ガラス中のMgO含有量を2wt%以下にしたことを特徴とする、ガスセンサ。 - 金属酸化物半導体膜中の、金属酸化物半導体に対するSiO2含有量を1wt%以下にしたことを特徴とする、請求項1のガスセンサ。
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