JP3622854B2 - 導電性セラミックス焼結体の製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性セラミックス焼結体、特にディーゼルパティキュレートフィルター（ＤＰＦ）用に好適な導電性セラミックス焼結体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、自動車の排気ガスから煤などの有害物質とされる可燃性微粒子を補足するためにディーゼルパティキュレートフィルター（以下、ＤＰＦという）が使用されており、その材質としては、耐熱性の点から多孔質炭化珪素焼結体が使用されている。
【０００３】
多孔質炭化珪素焼結体は、炭化珪素粉末に有機バインダーと水とを添加し、混練後、成形し、２２５０℃の高温下で約３時間焼成することにより製造している（特許文献１、２参照）。
【特許文献１】
特開２００１−９６１１１号公報。
【特許文献２】
特開２００１−９７７７６号公報。
【０００４】
多孔質炭化珪素焼結体を大量に生産する場合には連続焼成炉が有効であるが、高温下に約３時間保持する必要があることから、炉長が極めて長くなり、焼成コストが高くなること、またメンテナンスが大変であることなどの問題点があり、炉長が一層短く、かつ焼成コストが小さい製造方法が望まれている（特許文献３、４参照）。
【特許文献３】
特開２００２−１１５９７６号公報。
【特許文献４】
特開２００２−１３０９５６号公報。
【０００５】
他方、セラミックスを直接通電し、最終的に多孔質炭化珪素焼結体を製造する方法も知られている（特許文献５、６参照）。これらは、バッチ炉としては有効であるが、量産化を前提とした連続炉への適用は容易でない。
【特許文献５】
特開平１０−５２６１８号公報。
【特許文献６】
特開２００１−１５１５７８号公報。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、連続炉による導電性セラミックス焼結体、更に炭化珪素からなる導電性セラミックス焼結体、ことにＤＰＦで使用するに好適な導電性セラミックス焼結体、の製造方法を提供することであり、加えて、前記製法で用いる連続炉について、炉長が短く、従って焼成コストの小さいという特徴を有する導電性セラミックス焼結体の製造方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、導電性セラミックス成形体を連続炉にて焼成して導電性セラミックス焼結体を製造する方法であって、原料の導電性セラミックス成形体を、セッターに載せ、セッター毎前記連続炉にプッシャーにて間歇的に供給するとともに、連続炉の焼成帯域に達した該導電性セラミックス成形体に直接通電し、焼結を助長させることを特徴とする導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、好ましくは、導電性セラミックス成形体に通電するための一対の電極が、それぞれ当該連続炉の上下部に相対するように設けられ、しかも少なくとも一方が可動である電極を有している連続炉を用いることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、更に好ましくは、前記連続炉の可動する電極として、導電性セラミックス成形体に負荷する荷重を制御する機能を備えたものを用いることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法である。
【０００８】
また、本発明は、セッターとして、電気絶縁性の物質からなり、中央部に貫通孔を有する板形状であるものを用いることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、好ましくは、導電性セラミックス焼結体が炭化珪素からなることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、更に好ましくは、導電性セラミックス焼結体がディーゼルパティキュレートフィルター用であることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明は、導電性セラミックス成形体を連続炉にて焼成して導電性セラミックス焼結体を製造する方法であって、原料の導電性セラミックス成形体を、セッターに載せ、セッター毎前記連続炉にプッシャーにて間歇的に供給するとともに、連続炉の焼成帯域に達した該導電性セラミックス成形体に直接通電し、焼結を助長させることを特徴とする導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、前記の方法を採用することにより、導電性セラミックス焼結体を短時間に高温度に達成することができるので、焼成が短時間で行うことができるし、また、これに用いる連続炉の炉長が短く、従って設備費を大幅に抑制することができるので、これらの結果として、焼成コストを小さくすることができ、導電性セラミックス焼結体を安価に提供できる。
【００１０】
本発明に於ける導電性セラミックス成形体あるいは導電性セラミックス焼結体とは、セラミックス成形体あるいは焼結体が全体として導電性を有していれば良く、特にセラミックス成形体は後述する程度の導電性を有すればよく、また、セラミックス焼結体については所望の用途に適用できる特性が得られる程度に焼結が進行できる程度に導電性を有すれば良い。従って、セラミックス自体が導電性を有する物質からなる成形体あるいは焼結体を意味するばかりでなく、セラミックス自体が非導電性であっても導電性付与剤を添加した成形体や焼結体も含んでいる。
【００１１】
本発明に於ける導電性セラミックス成形体は、その通電時の抵抗値が１００Ω以下、特に１０− ４〜１０２Ωであるものが好ましく、さらに１０− ２〜１０２Ωであるものが最も好ましい。前記の導電性を有する成形体を用いる場合には、数Ｖ〜数十Ｖ程度の低電圧で発熱させることができるので、大きな給電設備を必要とせずに、焼結を助長させることが可能となるからである。
【００１２】
導電性セラミックス成形体の材質を例示すると、炭化チタン、窒化チタン、硼化チタン、珪化モリブデン、炭化タングステン等の導電性セラミックス、その前駆物質である例えば金属チタン粉末と黒鉛粉末の混合物などが挙げられ、さらには、炭化珪素、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素、アルミナ、ムライト、コーディライト等の半導電性あるいは非導電性セラミックスを使用することもできる。後群の場合には通電焼結を行うためには後述するような導電性付与剤を添加することにより通電焼結が可能或いは一層容易となる。
【００１３】
導電性付与剤としては、上記の導電性セラミックスや半導電性セラミックスや、黒鉛、カーボンブラック、アセチレンブラック等の遊離炭素のほか、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂等のように非酸化雰囲気下で加熱することにより炭素を生成するものが使用できる。導電性付与剤の使用は、焼成温度が高く、また長い焼成時間を必要とする導電性セラミックスの場合に効果的であり、例えば、後述する通りに、炭化珪素焼結体の製造に効果的に適用することができる。
【００１４】
本発明に使用する導電性セラミックス成形体について、それを構成するセラミックス粉末の平均粒径は１００μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましい。
【００１５】
また、導電性付与剤として炭素を用いる場合、炭素の平均粒径は１０μｍ以下が好ましく、１μｍ以下がより好ましい。なお、炭素を導電性付与剤として用いた場合、焼結後に酸化雰囲気下で焼結体を加熱処理することにより、炭素を容易に除去することが可能である。またセラミックス成形体に炭素を添加する場合、その添加量や粒度を調整することにより、得られる導電性セラミックス焼結体の気孔率、気孔径を制御することができるという副次的効果もある。
【００１６】
導電性セラミックス成形体の作製方法は、押出成形法、射出成型法、鋳込み成型法等、公知の成形方法を適用すればよい。例えば、ＤＰＦを製造する方法の一例をあげると以下の通りである。炭化珪素粉末、窒化珪素粉末および黒鉛粉末を配合、混合し、バインダーと水を用いて粘土状とし、押出成型機にて直径１５０ｍｍ、セル寸法２．０ｍｍ、壁厚０．４ｍｍのハニカム形状に成形し、乾燥後、長さ２００ｍｍに切断することで導電性セラミックス成形体を得ることができる。
【００１７】
本発明では、前記導電性セラミックス成形体を用いて、セルの入口端面、出口端面を市松模様に封止し、さらに、脱脂等の処理を施した後、前述の方法で焼結することにより、導電性セラミックス焼結体からなるＤＰＦを容易に得ることができる。なお、導電性セラミックス成形体としては、前述したように、その通電時の抵抗値が１０− ４〜１０２Ωであることが好ましく、この領域の抵抗値を満足することにより、気孔率が４０％以上の炭化珪素焼結体を容易に製造することができる。
【００１８】
本発明に於いては、導電性セラミックス成形体をセッターに載せ、炉外のプッシャーにてセッターを押し込む形式の連続炉を用いる。その搬送形式に関しては、スキッド（レール）形、ローラレール形、ローラトレイ形、ローラハース形、台車形等の連続炉が知られているが、本発明に於いては、どの形式のものでも使用できる。そして、本発明では、連続炉を用いて、原料の導電性セラミックス成形体を、セッターに載せ、セッター毎前記連続炉にプッシャーにて間歇的に供給するとともに、焼成帯域に於いて該導電性セラミックス成形体に直接通電し、焼結を助長させることを特徴としている。
【００１９】
本発明に於いては、セッターに載せた導電性セラミックス成形体を間歇的に供給しながら、焼成帯域に達した導電性セラミックス成形体を同時に直接通電することにより、焼結を助長することを特徴としているが、本発明でいう焼成帯域とは、一般的なバッチ炉で焼成する場合の焼成温度に相当するが、焼成温度以下であっても直接通電することにより導電性セラミックス成形体が加熱され、実質的に焼成温度が達成されるので、かならずしも最高温度域には限定されない。つまり、経済性の点から、焼成温度以下であっても構わず、ただし、バッチ炉で焼成する場合の焼成温度よりも５００℃以内であること、更には１００℃以内がより好ましい温度範囲内である。バッチ炉で焼成する場合の焼成温度よりも、本発明の連続炉の焼成帯域での温度が５００℃を超えて低い温度の場合、導電性セラミックス成形体の内外に温度勾配が発生し、均一な導電性セラミックス焼結体が得られない恐れがあるからである。なお、連続炉の雰囲気は、対象となる導電性セラミックスに応じて、酸化雰囲気、非酸化雰囲気、還元雰囲気を選択することが好ましい。
【００２０】
導電性セラミックス成形体を同時に直接的に通電する場合の電圧や電流値は、導電性セラミックス成形体の種類、抵抗値、寸法等により、一概には決定できないが、均一な導電性セラミックス焼結体を短時間で製造するには、電圧は３〜１００Ｖ、電流は５０〜５０００Ａ程度とすることが好ましい。
【００２１】
本発明に於いて、導電性セラミックス成形体に直接通電するために、焼成帯域に一対の電極が、それぞれ当該連続炉の上下部に相対するように設けられ、しかも少なくともその一方が可動である電極を有していることが好ましい。このような構成を採用することで、導電性セラミックス成形体を焼成とともに直接通電を確実に達成し、生産性が高く、しかも確実に所望の特性を有する導電性セラミックス焼結体を得ることができる。
【００２２】
さらに、本発明に於いては、可動する電極として導電性セラミックス成形体に負荷する荷重を制御する機能を備えたものであることが好ましい。然るに、前記構成により、電極と導電性セラミックス成形体との間の電気抵抗が、導電性セラミックス成形体毎にばらつくのを防ぎ、その結果、安定して所望の性質を有する導電性セラミックス焼結体が得られるからである。
【００２３】
本発明に於いて、セッターとは導電性セラミックス成形体を載せる板形状の板の名称であって、プッシャーでセッターを押して導電性セラミックス成形体を移動させる治具である。セッターの材質は、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素、アルミナ、ムライト、コーディライト等の電気絶縁性の材質からなり、中央部に通電用の電極が挿入できる貫通孔を有することが好ましい。このような形状のセッターを用いるとき、電極が上下方向に配置された連続炉を用いて導電性セラミックス焼結体が容易に生産できる特徴がある。即ち、前記形状のセッターを用い、当該セッターの中央部に導電性セラミックス成形体を貫通孔が覆われるように配置することにより、当該導電性セラミックス成形体同士が電気的に絶縁され、しかも、個々の導電性セラミックス成形体は連続炉の上部に配置された電極に接すると共に、前記セッターの中央部にある貫通孔を介して、連続炉の下部に配置された電極と接することができるからである。
【００２４】
なお、貫通孔の穴径については、導電性セラミックス成形体をセッターに載せるために導電性セラミックス成形体の大きさよりも小さく、かつ電極径よりも大きく設定されるのが普通で、一般的には、電極径の１．１倍〜２倍が好ましい。また、セッターの貫通孔に比べ、導電性セラミックス成形体の寸法が小さい場合は、セッターと導電性セラミックス成形体の間に、電極と同様材質の導電性板状体を挟み、導電性板状体と導電性セラミックス成形体を可動する電極で他方の電極に接触させ、直接的に通電することが好ましい。
【００２５】
本発明に於いて、電極の材質は、黒鉛、炭化珪素、炭化チタン、窒化チタン、硼化チタン、珪化モリブデン、炭化タングステン、金属等の導電性材料が使用できる。そして、連続炉の焼成帯域に一対の電極を上下部に相対するように設け、しかも少なくともその一方が可動である電極を有することが好ましい。機械力、油圧等、動力源は構わないが、導電性セラミックス成形体に負荷する荷重を制御する機能を備えたものであることが好ましいことから、油圧式の動力源が好ましい。
【００２６】
導電性セラミックス成形体の両端面に加える面圧は、導電性セラミックス成形体が破壊しない圧力未満にする必要があるが、面圧が小さすぎると導電性セラミックス成形体と電極との接触面で放電し、導電性セラミックス成形体が均一に焼成されない恐れがあるため、通電時の面圧は０．００１〜１ＭＰａに調整することが好ましく、さらに０．０１〜０．５ＭＰａに調整することがより好ましい。なお、導電性セラミックス成形体が、ハニカム成形体のように、成形体の強度が小さい場合は、電極との接触時に導電性セラミックス成形体が破損しないように、例えばカーボン製不織布等の柔らかい、導電性の材料を挟むことが好ましい。
【００２７】
本発明の導電性セラミックス焼結体は、例えばヒータ、半導体製造用治具、断熱材、熱交換器、触媒担体、高温ガス浄化フィルタ、溶融金属濾過フィルタ、消臭フィルタ、金属蒸着用坩堝、太陽電池用基板、ＤＰＦ等に使用することができる。これらの用途のうち、ＤＰＦ用途への適用がより好ましい。
【００２８】
【実施例】
（実施例１〜５、比較例）
炭化珪素粉末４０質量部（平均粒径６μｍ）、窒化珪素粉末５０質量部（平均粒径８μｍ）、黒鉛粉末１０質量部（０．１μｍ）を混合し、混合物１００質量部に対し、水２０質量部、バインダー（メチルセルロース）１０質量部を配合しヘンシェルミキサーで混合し、混練物を調整した。
【００２９】
次いで、この混練物を真空押出成型機を用いて、成型圧力５ＭＰａで直径１５０ｍｍ、長さ２００ｍｍのハニカム成形体を作製した。なお、セルの壁厚は０．３ｍｍ、セル寸法は２．０ｍｍである。得られたハニカム成形体を乾燥後、セルの入口端面、出口端面を市松模様に封止し、さらに、窒素雰囲気下４００℃で脱脂処理を行った。
【００３０】
前記の脱脂体の上下に直径１５０ｍｍのカーボン製不織布を敷き、さらに直径１００ｍｍの貫通孔を有した窒化ホウ素製の縦横が２００ｍｍ、厚さ５ｍｍのセッターに載せて、連続炉に投入した。
【００３１】
使用した連続炉に於いて、昇温速度および降温速度が３０℃／ｍｉｎ、焼成帯域での温度を２３００℃に設定し、プッシャーにて５分毎に間歇的に供給し、焼成帯域に達したハニカム成形体を直径６０ｍｍの下部電極により持ち上げ、上部電極に接触させて０．０５ＭＰａの荷重を加えた状態でハニカム成形体に直接通電し、導電性セラミックス焼結体を得た。ハニカム成形体への通電条件を表１に示した。
【００３２】
導電性セラミックス焼結体を酸化雰囲気１１００℃加熱処理し、脱炭処理を行った後、ポロシメーターにより平均細孔径を測定した。結果を表１に示した。
【００３３】
【表１】
【００３４】
【発明の効果】
本発明の製造方法によれば、連続炉を用いて導電性セラミックス焼結体、更に炭化珪素からなる導電性セラミックス焼結体、ことにＤＰＦで使用するに好適な導電性セラミックス焼結体を安定して提供でき、更に、前記製法で用いる連続炉については、炉長が短く、従って焼成コストの小さいという特徴を有するので、産業上非常に有用である。
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性セラミックス焼結体、特にディーゼルパティキュレートフィルター（ＤＰＦ）用に好適な導電性セラミックス焼結体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、自動車の排気ガスから煤などの有害物質とされる可燃性微粒子を補足するためにディーゼルパティキュレートフィルター（以下、ＤＰＦという）が使用されており、その材質としては、耐熱性の点から多孔質炭化珪素焼結体が使用されている。
【０００３】
多孔質炭化珪素焼結体は、炭化珪素粉末に有機バインダーと水とを添加し、混練後、成形し、２２５０℃の高温下で約３時間焼成することにより製造している（特許文献１、２参照）。
【特許文献１】
特開２００１−９６１１１号公報。
【特許文献２】
特開２００１−９７７７６号公報。
【０００４】
多孔質炭化珪素焼結体を大量に生産する場合には連続焼成炉が有効であるが、高温下に約３時間保持する必要があることから、炉長が極めて長くなり、焼成コストが高くなること、またメンテナンスが大変であることなどの問題点があり、炉長が一層短く、かつ焼成コストが小さい製造方法が望まれている（特許文献３、４参照）。
【特許文献３】
特開２００２−１１５９７６号公報。
【特許文献４】
特開２００２−１３０９５６号公報。
【０００５】
他方、セラミックスを直接通電し、最終的に多孔質炭化珪素焼結体を製造する方法も知られている（特許文献５、６参照）。これらは、バッチ炉としては有効であるが、量産化を前提とした連続炉への適用は容易でない。
【特許文献５】
特開平１０−５２６１８号公報。
【特許文献６】
特開２００１−１５１５７８号公報。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、連続炉による導電性セラミックス焼結体、更に炭化珪素からなる導電性セラミックス焼結体、ことにＤＰＦで使用するに好適な導電性セラミックス焼結体、の製造方法を提供することであり、加えて、前記製法で用いる連続炉について、炉長が短く、従って焼成コストの小さいという特徴を有する導電性セラミックス焼結体の製造方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、導電性セラミックス成形体を連続炉にて焼成して導電性セラミックス焼結体を製造する方法であって、原料の導電性セラミックス成形体を、セッターに載せ、セッター毎前記連続炉にプッシャーにて間歇的に供給するとともに、連続炉の焼成帯域に達した該導電性セラミックス成形体に直接通電し、焼結を助長させることを特徴とする導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、好ましくは、導電性セラミックス成形体に通電するための一対の電極が、それぞれ当該連続炉の上下部に相対するように設けられ、しかも少なくとも一方が可動である電極を有している連続炉を用いることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、更に好ましくは、前記連続炉の可動する電極として、導電性セラミックス成形体に負荷する荷重を制御する機能を備えたものを用いることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法である。
【０００８】
また、本発明は、セッターとして、電気絶縁性の物質からなり、中央部に貫通孔を有する板形状であるものを用いることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、好ましくは、導電性セラミックス焼結体が炭化珪素からなることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、更に好ましくは、導電性セラミックス焼結体がディーゼルパティキュレートフィルター用であることを特徴とする前記の導電性セラミックス焼結体の製造方法である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明は、導電性セラミックス成形体を連続炉にて焼成して導電性セラミックス焼結体を製造する方法であって、原料の導電性セラミックス成形体を、セッターに載せ、セッター毎前記連続炉にプッシャーにて間歇的に供給するとともに、連続炉の焼成帯域に達した該導電性セラミックス成形体に直接通電し、焼結を助長させることを特徴とする導電性セラミックス焼結体の製造方法であり、前記の方法を採用することにより、導電性セラミックス焼結体を短時間に高温度に達成することができるので、焼成が短時間で行うことができるし、また、これに用いる連続炉の炉長が短く、従って設備費を大幅に抑制することができるので、これらの結果として、焼成コストを小さくすることができ、導電性セラミックス焼結体を安価に提供できる。
【００１０】
本発明に於ける導電性セラミックス成形体あるいは導電性セラミックス焼結体とは、セラミックス成形体あるいは焼結体が全体として導電性を有していれば良く、特にセラミックス成形体は後述する程度の導電性を有すればよく、また、セラミックス焼結体については所望の用途に適用できる特性が得られる程度に焼結が進行できる程度に導電性を有すれば良い。従って、セラミックス自体が導電性を有する物質からなる成形体あるいは焼結体を意味するばかりでなく、セラミックス自体が非導電性であっても導電性付与剤を添加した成形体や焼結体も含んでいる。
【００１１】
本発明に於ける導電性セラミックス成形体は、その通電時の抵抗値が１００Ω以下、特に１０− ４〜１０２Ωであるものが好ましく、さらに１０− ２〜１０２Ωであるものが最も好ましい。前記の導電性を有する成形体を用いる場合には、数Ｖ〜数十Ｖ程度の低電圧で発熱させることができるので、大きな給電設備を必要とせずに、焼結を助長させることが可能となるからである。
【００１２】
導電性セラミックス成形体の材質を例示すると、炭化チタン、窒化チタン、硼化チタン、珪化モリブデン、炭化タングステン等の導電性セラミックス、その前駆物質である例えば金属チタン粉末と黒鉛粉末の混合物などが挙げられ、さらには、炭化珪素、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素、アルミナ、ムライト、コーディライト等の半導電性あるいは非導電性セラミックスを使用することもできる。後群の場合には通電焼結を行うためには後述するような導電性付与剤を添加することにより通電焼結が可能或いは一層容易となる。
【００１３】
導電性付与剤としては、上記の導電性セラミックスや半導電性セラミックスや、黒鉛、カーボンブラック、アセチレンブラック等の遊離炭素のほか、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂等のように非酸化雰囲気下で加熱することにより炭素を生成するものが使用できる。導電性付与剤の使用は、焼成温度が高く、また長い焼成時間を必要とする導電性セラミックスの場合に効果的であり、例えば、後述する通りに、炭化珪素焼結体の製造に効果的に適用することができる。
【００１４】
本発明に使用する導電性セラミックス成形体について、それを構成するセラミックス粉末の平均粒径は１００μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましい。
【００１５】
また、導電性付与剤として炭素を用いる場合、炭素の平均粒径は１０μｍ以下が好ましく、１μｍ以下がより好ましい。なお、炭素を導電性付与剤として用いた場合、焼結後に酸化雰囲気下で焼結体を加熱処理することにより、炭素を容易に除去することが可能である。またセラミックス成形体に炭素を添加する場合、その添加量や粒度を調整することにより、得られる導電性セラミックス焼結体の気孔率、気孔径を制御することができるという副次的効果もある。
【００１６】
導電性セラミックス成形体の作製方法は、押出成形法、射出成型法、鋳込み成型法等、公知の成形方法を適用すればよい。例えば、ＤＰＦを製造する方法の一例をあげると以下の通りである。炭化珪素粉末、窒化珪素粉末および黒鉛粉末を配合、混合し、バインダーと水を用いて粘土状とし、押出成型機にて直径１５０ｍｍ、セル寸法２．０ｍｍ、壁厚０．４ｍｍのハニカム形状に成形し、乾燥後、長さ２００ｍｍに切断することで導電性セラミックス成形体を得ることができる。
【００１７】
本発明では、前記導電性セラミックス成形体を用いて、セルの入口端面、出口端面を市松模様に封止し、さらに、脱脂等の処理を施した後、前述の方法で焼結することにより、導電性セラミックス焼結体からなるＤＰＦを容易に得ることができる。なお、導電性セラミックス成形体としては、前述したように、その通電時の抵抗値が１０− ４〜１０２Ωであることが好ましく、この領域の抵抗値を満足することにより、気孔率が４０％以上の炭化珪素焼結体を容易に製造することができる。
【００１８】
本発明に於いては、導電性セラミックス成形体をセッターに載せ、炉外のプッシャーにてセッターを押し込む形式の連続炉を用いる。その搬送形式に関しては、スキッド（レール）形、ローラレール形、ローラトレイ形、ローラハース形、台車形等の連続炉が知られているが、本発明に於いては、どの形式のものでも使用できる。そして、本発明では、連続炉を用いて、原料の導電性セラミックス成形体を、セッターに載せ、セッター毎前記連続炉にプッシャーにて間歇的に供給するとともに、焼成帯域に於いて該導電性セラミックス成形体に直接通電し、焼結を助長させることを特徴としている。
【００１９】
本発明に於いては、セッターに載せた導電性セラミックス成形体を間歇的に供給しながら、焼成帯域に達した導電性セラミックス成形体を同時に直接通電することにより、焼結を助長することを特徴としているが、本発明でいう焼成帯域とは、一般的なバッチ炉で焼成する場合の焼成温度に相当するが、焼成温度以下であっても直接通電することにより導電性セラミックス成形体が加熱され、実質的に焼成温度が達成されるので、かならずしも最高温度域には限定されない。つまり、経済性の点から、焼成温度以下であっても構わず、ただし、バッチ炉で焼成する場合の焼成温度よりも５００℃以内であること、更には１００℃以内がより好ましい温度範囲内である。バッチ炉で焼成する場合の焼成温度よりも、本発明の連続炉の焼成帯域での温度が５００℃を超えて低い温度の場合、導電性セラミックス成形体の内外に温度勾配が発生し、均一な導電性セラミックス焼結体が得られない恐れがあるからである。なお、連続炉の雰囲気は、対象となる導電性セラミックスに応じて、酸化雰囲気、非酸化雰囲気、還元雰囲気を選択することが好ましい。
【００２０】
導電性セラミックス成形体を同時に直接的に通電する場合の電圧や電流値は、導電性セラミックス成形体の種類、抵抗値、寸法等により、一概には決定できないが、均一な導電性セラミックス焼結体を短時間で製造するには、電圧は３〜１００Ｖ、電流は５０〜５０００Ａ程度とすることが好ましい。
【００２１】
本発明に於いて、導電性セラミックス成形体に直接通電するために、焼成帯域に一対の電極が、それぞれ当該連続炉の上下部に相対するように設けられ、しかも少なくともその一方が可動である電極を有していることが好ましい。このような構成を採用することで、導電性セラミックス成形体を焼成とともに直接通電を確実に達成し、生産性が高く、しかも確実に所望の特性を有する導電性セラミックス焼結体を得ることができる。
【００２２】
さらに、本発明に於いては、可動する電極として導電性セラミックス成形体に負荷する荷重を制御する機能を備えたものであることが好ましい。然るに、前記構成により、電極と導電性セラミックス成形体との間の電気抵抗が、導電性セラミックス成形体毎にばらつくのを防ぎ、その結果、安定して所望の性質を有する導電性セラミックス焼結体が得られるからである。
【００２３】
本発明に於いて、セッターとは導電性セラミックス成形体を載せる板形状の板の名称であって、プッシャーでセッターを押して導電性セラミックス成形体を移動させる治具である。セッターの材質は、窒化アルミニウム、窒化珪素、窒化ホウ素、アルミナ、ムライト、コーディライト等の電気絶縁性の材質からなり、中央部に通電用の電極が挿入できる貫通孔を有することが好ましい。このような形状のセッターを用いるとき、電極が上下方向に配置された連続炉を用いて導電性セラミックス焼結体が容易に生産できる特徴がある。即ち、前記形状のセッターを用い、当該セッターの中央部に導電性セラミックス成形体を貫通孔が覆われるように配置することにより、当該導電性セラミックス成形体同士が電気的に絶縁され、しかも、個々の導電性セラミックス成形体は連続炉の上部に配置された電極に接すると共に、前記セッターの中央部にある貫通孔を介して、連続炉の下部に配置された電極と接することができるからである。
【００２４】
なお、貫通孔の穴径については、導電性セラミックス成形体をセッターに載せるために導電性セラミックス成形体の大きさよりも小さく、かつ電極径よりも大きく設定されるのが普通で、一般的には、電極径の１．１倍〜２倍が好ましい。また、セッターの貫通孔に比べ、導電性セラミックス成形体の寸法が小さい場合は、セッターと導電性セラミックス成形体の間に、電極と同様材質の導電性板状体を挟み、導電性板状体と導電性セラミックス成形体を可動する電極で他方の電極に接触させ、直接的に通電することが好ましい。
【００２５】
本発明に於いて、電極の材質は、黒鉛、炭化珪素、炭化チタン、窒化チタン、硼化チタン、珪化モリブデン、炭化タングステン、金属等の導電性材料が使用できる。そして、連続炉の焼成帯域に一対の電極を上下部に相対するように設け、しかも少なくともその一方が可動である電極を有することが好ましい。機械力、油圧等、動力源は構わないが、導電性セラミックス成形体に負荷する荷重を制御する機能を備えたものであることが好ましいことから、油圧式の動力源が好ましい。
【００２６】
導電性セラミックス成形体の両端面に加える面圧は、導電性セラミックス成形体が破壊しない圧力未満にする必要があるが、面圧が小さすぎると導電性セラミックス成形体と電極との接触面で放電し、導電性セラミックス成形体が均一に焼成されない恐れがあるため、通電時の面圧は０．００１〜１ＭＰａに調整することが好ましく、さらに０．０１〜０．５ＭＰａに調整することがより好ましい。なお、導電性セラミックス成形体が、ハニカム成形体のように、成形体の強度が小さい場合は、電極との接触時に導電性セラミックス成形体が破損しないように、例えばカーボン製不織布等の柔らかい、導電性の材料を挟むことが好ましい。
【００２７】
本発明の導電性セラミックス焼結体は、例えばヒータ、半導体製造用治具、断熱材、熱交換器、触媒担体、高温ガス浄化フィルタ、溶融金属濾過フィルタ、消臭フィルタ、金属蒸着用坩堝、太陽電池用基板、ＤＰＦ等に使用することができる。これらの用途のうち、ＤＰＦ用途への適用がより好ましい。
【００２８】
【実施例】
（実施例１〜５、比較例）
炭化珪素粉末４０質量部（平均粒径６μｍ）、窒化珪素粉末５０質量部（平均粒径８μｍ）、黒鉛粉末１０質量部（０．１μｍ）を混合し、混合物１００質量部に対し、水２０質量部、バインダー（メチルセルロース）１０質量部を配合しヘンシェルミキサーで混合し、混練物を調整した。
【００２９】
次いで、この混練物を真空押出成型機を用いて、成型圧力５ＭＰａで直径１５０ｍｍ、長さ２００ｍｍのハニカム成形体を作製した。なお、セルの壁厚は０．３ｍｍ、セル寸法は２．０ｍｍである。得られたハニカム成形体を乾燥後、セルの入口端面、出口端面を市松模様に封止し、さらに、窒素雰囲気下４００℃で脱脂処理を行った。
【００３０】
前記の脱脂体の上下に直径１５０ｍｍのカーボン製不織布を敷き、さらに直径１００ｍｍの貫通孔を有した窒化ホウ素製の縦横が２００ｍｍ、厚さ５ｍｍのセッターに載せて、連続炉に投入した。
【００３１】
使用した連続炉に於いて、昇温速度および降温速度が３０℃／ｍｉｎ、焼成帯域での温度を２３００℃に設定し、プッシャーにて５分毎に間歇的に供給し、焼成帯域に達したハニカム成形体を直径６０ｍｍの下部電極により持ち上げ、上部電極に接触させて０．０５ＭＰａの荷重を加えた状態でハニカム成形体に直接通電し、導電性セラミックス焼結体を得た。ハニカム成形体への通電条件を表１に示した。
【００３２】
導電性セラミックス焼結体を酸化雰囲気１１００℃加熱処理し、脱炭処理を行った後、ポロシメーターにより平均細孔径を測定した。結果を表１に示した。
【００３３】
【表１】
【発明の効果】
本発明の製造方法によれば、連続炉を用いて導電性セラミックス焼結体、更に炭化珪素からなる導電性セラミックス焼結体、ことにＤＰＦで使用するに好適な導電性セラミックス焼結体を安定して提供でき、更に、前記製法で用いる連続炉については、炉長が短く、従って焼成コストの小さいという特徴を有するので、産業上非常に有用である。
Claims (6)
- 導電性セラミックス成形体を連続炉にて焼成して導電性セラミックス焼結体を製造する方法であって、原料の導電性セラミックス成形体を、セッターに載せ、セッター毎前記連続炉にプッシャーにて間歇的に供給するとともに、連続炉の焼成帯域に達した該導電性セラミックス成形体に直接通電し、焼結を助長させることを特徴とする導電性セラミックス焼結体の製造方法。
- 導電性セラミックス成形体に通電するための一対の電極が、それぞれ当該連続炉の上下部に相対するように設けられ、しかも少なくとも一方が可動である電極を有している連続炉を用いることを特徴とする請求項１記載の導電性セラミックス焼結体の製造方法。
- 前記連続炉の可動する電極として、導電性セラミックス成形体に負荷する荷重を制御する機能を備えたものを用いることを特徴とする請求項２記載の導電性セラミックス焼結体の製造方法。
- セッターとして、電気絶縁性の物質からなり、中央部に貫通孔を有する板形状であるものを用いることを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３記載の導電性セラミックス焼結体の製造方法。
- 導電性セラミックス焼結体が炭化珪素からなることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４記載の導電性セラミックス焼結体の製造方法。
- 導電性セラミックス焼結体がディーゼルパティキュレートフィルター用であることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又は請求項５記載の導電性セラミックス焼結体の製造方法。
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