JP3597902B2

JP3597902B2 - 動圧流体軸受の製造方法

Info

Publication number: JP3597902B2
Application number: JP2995995A
Authority: JP
Inventors: 典明菱田
Original assignee: Nidec Corp
Current assignee: Nidec America Corp
Priority date: 1995-01-25
Filing date: 1995-01-25
Publication date: 2004-12-08
Anticipated expiration: 2019-12-08
Also published as: JPH08200354A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、動圧流体軸受の製造方法であって、２枚のスラストプレートを備えかつそれらのスラストプレート間の軸線方向距離を厳密な寸法公差下に制御されており、特にスピンドルモータの軸受として使用するのに最適な、新規な動圧流体軸受の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
今日、各種の機器において広く使用されている図１０に示すような例えばスピンドルモータにおける動圧流体軸受１においては、スリーブ２の孔３と、そこを貫通しているシャフト４と、の間においてラジアル方向の動圧を保持し、また、スリーブ２の突縁部５の上面６及び下面７と、これらの面６、７に対向する位置にあって前記シャフト４に中心部分が固定されている上側スラストプレート８及び下側スラストプレート９と、の間においてスラスト方向の動圧を保持している。より詳細には、これらのラジアル方向動圧発生部である孔３及びシャフト４、更にはスラスト方向動圧発生部であるスリーブ突縁部５の上面６、下面７及びこれらに対向する上側スラストプレート８の下面、下側スラストプレート９の上面には、それぞれ対向するいずれかに動圧溝が設けてあり、これの溝にオイルが充填されており、そのオイルが円滑な軸受作用を提供している。
【０００３】
ここで、もしスラスト方向の動圧発生部に所定値以上の間隙が生じていると、スピンドルモータを回転したときに、シャフト４が当該シャフト４の軸線方向に沿って振動運動を発生する危険がある。もしこのような軸線方向の振動運動を発生する危険があるスピンドルモータが、例えば情報記録／読取り用のハードデイスク等を回転するような場合には、通常、該ハードデイスクとこれに対置する公知のヘッドとの間の寸法がミクロンオーダに制御されている必要があるため、事実上、かかるスピンドルモータは、そのような用途には使用出来ないことになる。従って、特にこのような分野において使用されるスピンドルモータにあっては、シャフト４の軸線方向に沿った振動運動の発生は極力防止されねばならない重大な事項となっている。またスラスト方向の間隙が所定値以下の場合は、軸損トルクが上昇し、モータ消費電力が大きくなる。
【０００４】
このため、これまでのスピンドルモータの軸受においては、このような軸線方向の遊びを制限するため、例えば図１１に示すように、シャフト４の下方部分に下側スラストプレート９を一体的に形成し、又は、予め形成した下側スラストプレート９をシャフト４の下方部分に公知の手段によって固定し、該シャフト４の上方部分に厳しい寸法精度のもとに成形した位置決め基準となる段部１０へ上側スラストプレート８を嵌め込み固定していた。また、別の場合には、図１２に示すように、シャフト４の上端部と上側スラストプレート８の上面とが同一平面に成るようにシャフトを構成するようにしていた。更にはまた、シャフト４の上端部分に段付き加工を施すことなく、所定の治具を取り付け、上側スラストプレート８を所定位置に取り付けていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような公知の動圧流体軸受の製造法においては、段部１０の成形が非常に厳しい寸法精度のもとに加工されねばならないという課題があった。また予めシャフト４の上端部分に加工した段部１０に上側スラストプレート８を嵌め込み固定する場合に、スラストプレートがシャフトに食い込んだりする危険がある。その上側スラストプレート８が該段部１０上に適切に嵌め込まれたか否かを判定することが極めて困難であるという課題があった。
【０００６】
もし、上側スラストプレート８を幾分でも押し込み過ぎると軸受け面が噛み合いを生じたり、押し込みが緩いと軸線方向に余分な遊びが発生する。かかる課題は、上側スラストプレート８をシャフト４の端面と同一面まで押し込む際にも同様に存在する。もし、上側スラストプレート８を幾分でも押し込み過ぎると軸受け面が噛み合いを生じたり、押し込みが緩いと軸線方向に余分な遊びが発生するからである。このため上側スラストプレート８の嵌め込み制止位置を規定することが非常に困難であるという課題があった。
【０００７】
かかる課題は、シャフトの段付き加工誤差、スラストプレート８の加工誤差、スリーブ突縁部５の加工誤差、更にはそれらの部品の組み立て誤差が総合的に積算して発生するため、スピンドルモータの所定の精度を得るためには、部品の仕上げ加工又はその組付け作業に、非常に多くの時間と経験が必要となるという課題があった。更にまた、治具を用いる場合、上記の様な所定の高い精度を出すには、治具自体の精度以外に、その取り付け位置又はその位置の加工更には必要部品が増加する等の課題もあった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明はシャフト２１と、該シャフト２１が貫通しており該シャフトの面との間においてラジアル方向の動圧発生部を提供している孔３０を有するスリーブ２２と、該スリーブ２２の孔３０の上下部分に保持されており該上下部分の面との間においてスラスト方向の動圧発生部を提供している上下一対のスラストプレートと、を有している動圧流体軸受２０を製造するための新規な手段を提供するものであり、特にシャフト２１の下方部分の所定位置へ下側スラストプレート２４を固定し精度出ししたシャフト２１を用意すること、軸線方向に貫通する孔３０であって前記シャフト２１を受け入れる孔３０を備えたスリーブ２２を用意すること、該スリーブ２２の孔３０の一方からシャフト２１を挿通し該孔３０の他方からシャフト２１の上方部分を突き出すこと、シャフト２１の下方部分に固定された下側スラストプレート２４を保持しつつ、スリーブ２２の孔３０の他方から突き出しているシャフト２１の上方部分に上側スラストプレート２３を密嵌すること、該上側スラストプレート２３を下側スラストプレート２４の方へ押圧し、上下のスラストプレート２３、２４をスリーブ２２の上下面に対して隙間なく密着させ、これらのスリーブとスラストプレートとシャフトとを一体的に仮止めすること、スリーブ２２を所定位置に固定しかつ下側スラストプレート２４とシャフト２１とを自由な状態に維持したまま、該シャフト２１の上方部分を押圧し、上側スラストプレート２３の位置を僅かに押し戻す逆押しを行い、下側スラストプレート２４とスリーブ２２との間に間隙Ｌを設けること、から成る。
【０００９】
【作用】
本発明においては、初めにスリーブに対してシャフトと上下のスラストプレートとを取り付けかつ所定位置に仮止めした後に、一方のスラストプレートをシャフトに沿って逆押しし、これによって該スラストプレートを僅かに戻すことによりスラスト方向の動圧発生部の間隔を規定する。こうしてスリーブの寸法に対して相対的にスラストプレートの位置を特定する。このため、スラスト方向の動圧発生部の間隔を特定するに際し、各部品の加工誤差や、各部品の組つけ誤差等の影響を全く受けることなく、最も適した間隔を確実に得ることが出来、上下振動やぶれ等のない優れた特性の動圧流体軸受を提供することが出来る。
【００１０】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら述べる。この発明の動圧流体軸受２０（図６）は、図１に示すようなシャフト２１と、図２に示すような孔３０とくぼみ３１、３２と突縁部３３とを有するスリーブ２２と、図３に示すような上側スラストプレート２３と、下側スラストプレート２４（図１）と、により構成されている。これらの部品は、好ましくは、金属又は適当な合成樹脂によって構成されており、それらの各表面は所定の仕上げ精度に加工されている。
【００１１】
本発明の例えばスピンドルモータに使用される動圧流体軸受２０においては、スリーブ２２の孔３０と、そこを貫通するシャフト２１と、の間においてラジアル方向の動圧を保持し、また、スリーブ２２の突縁部３３の上面即ちくぼみ３１及び下面即ちくぼみ３２と、これらのくぼみ３１、３２に対向する位置にあって前記シャフト２１に中心部分が固定されている上側スラストプレート２３及び下側スラストプレート２４と、の間においてスラスト方向の動圧を保持している。
【００１２】
より詳細には、これらのラジアル方向動圧発生部である孔３０及びシャフト２１、更にはスラスト方向動圧発生部であるスリーブ突縁部３３のくぼみ３１、３２及びこれらに対向する上側スラストプレート２３の下面、下側スラストプレート２４の上面には、それぞれ対向するいずれかに動圧溝が設けてあり、これの溝にオイルが充填されており、そのオイルが円滑な軸受作用を提供している。
【００１３】
図１に示すように、円形断面を有するシャフト２１の下方部分の所定位置には、同様に円形断面を有する鍔状の下側スラストプレート２４がそこに密嵌状態に固定保持されている。この下側スラストプレート２４は、シャフト２１に対して接着剤により接合することも、またはシャフト２１と一緒に一体的に形成されることも可能である。シャフト２１の所定位置に予め下側スラストプレート２４を固定することにより、シャフトの位置決めひいては軸受全体の精度出しを行うためである。
【００１４】
スリーブ２２は概ね円柱形状を有しており、図２に示すようにその中央部分には該スリーブを上下に貫通している孔３０が設けてある。この孔３０の直径は、前記シャフト２１の直径より幾分大きな寸法を有している。該孔３０の上端部分及び下端部分であって該スリーブ２２の上面及び下面には、好ましくはそれぞれ前記スラストプレート２３、２４の厚みと同様又はそれよりも幾分大きい寸法を有するくぼみ３１、３２が形成されている。これらのくぼみ３１、３２の直径は前記孔３０の直径よりも大きく、該孔３０と同一軸芯上に例えばざぐり等の手段によって形成されている。このため、これらのくぼみ３１、３２の間には、中央に孔３０を有する突縁部３３が形成されることになる。
【００１５】
図４に示すように、下側スラストプレート２４が取り付けられているシャフト２１は、スリーブ２２の下方部分から、該スリーブ２２の孔３０内へ挿入される。シャフト２１は、該シャフト２１に一体的に形成され又はそこに固定されている下側スラストプレート２４が、スリーブ２２の下側くぼみ３２に完全に収納される位置まで押し込まれる。スリーブ２２の孔３０内に挿入されたシャフト２１の面と、当該孔３０の面とは、互い余分遊びを持つことなく自由に回転出来る寸法を有しており、これらはラジアル方向の動圧発生部を形成している。
【００１６】
次に図５に示すように、シャフト２１を受け入れたスリーブ２２を、前記下側スラストプレート２４を下側にした保持した状態で、スラストプレート受け部材４０上へ搭載する。スラストプレート受け部材４０は、金属又は剛性の樹脂により形成されており、その上面中央部分に隆起部４１を有している。この隆起部４１の中心部には前記シャフト２１の下端部を受け入れるような穴４２が設けてある。
【００１７】
隆起部４１の外径はスリーブ２２のくぼみ３２の直径よりも小さく、概ね下側スラストプレート２４の外径と同一の寸法を有している。またその隆起部４１の高さは、該隆起部４１が前記下側スラストプレート２４に接したときに、スリーブ２２の下面がスラストプレート受け部材４０に接することのないような高さを有していれば良い。一般にはこの隆起部４１の高さは下側スラストプレート２４の厚み寸法程度あればよいであろう。
【００１８】
また穴４２は、前記隆起部４１の中心部分から下方に向かって伸びており、前記シャフト２１の下端部が該穴の壁面に触れることなく自由に受け入れられるような直径及び深さを有している。図示の例ではこの穴４２は盲穴になっているが、受け部材４０の下方まで突き抜けていても良い。また、この受け部材４０はその上面中央部分に隆起部４１を形成する構成を取ることなく、受け部材４０全体が隆起部４１と同一の直径を有している円柱体により構成することも出来る。
【００１９】
図４に示すシャフト２１付きスリーブ２２の下端を図５に示すようにスラストプレート受け部材４０に搭載し、該シャフト２１付きスリーブ２２を安定状態に保持した後、スリーブ２２の中央部分から上方に突き出しているシャフト２１に、図３に示す円形断面を有する鍔状の上側スラストプレート２３を密な状態にて嵌め込み、このスラストプレート２３をスリーブ２２の上側くぼみ３１内に装着する。
【００２０】
該上側くぼみ３１内に装着された上側スラストプレート２３はスラストプレート押圧部材５０により押圧される。このスラストプレート押圧部材５０は、金属又は剛性の樹脂により形成されており、その下面中央部分に隆起部５１を有している。この隆起部５１の中心部には前記シャフト２１の上端部を受け入れるような穴５２が設けてある。隆起部５１の外径はスリーブ２２のくぼみ３１の直径よりも小さく、概ね上側スラストプレート２３の外径と同一の寸法を有している。
【００２１】
またその隆起部５１の高さは、該隆起部５１が前記上側スラストプレート２３に接したときに、スリーブ２２の上面がスラストプレート押圧部材５０に接することのないような高さを有していれば良い。一般にはこの隆起部５１の高さは上側スラストプレート２３の厚み寸法程度またはそれより幾分大きい寸法を有すればよいであろう。また穴５２は、前記隆起部５１の中心部分から上方に向かって伸びており、前記シャフト２１の上端部が該穴の壁面に触れることなく自由に受け入れられるような直径及び深さを有している。
【００２２】
図示の例では、該穴５２は押圧部材５０の上方に突き抜けているが、スラストプレート受け部材４０の穴４２のように盲穴であっても良い。また、この押圧部材５０はその下面中央部分に隆起部５１を形成するという構成を取ることなく、押圧部材５０全体が隆起部５１と同一の直径を有している円柱体により構成することも出来る。
【００２３】
スラストプレート押圧部材５０を、油圧装置その他の公知の手段を使って、下方に押圧する。スラストプレート押圧部材５０はその隆起部５１を介して上側スラストプレート２３を、スリーブ２２を介して下側スラストプレート２４の方へ押圧する。このためスリーブ２２の下側くぼみ３２と下側スラストプレート２４、及びスリーブ２２の上側くぼみ３１と上側スラストプレート２３の間には、突縁部３３を挟んで間隙のない密着状態が得られる。
【００２４】
この場合、下側スラストプレート２４はシャフト２１に予め固定されているので、実質的に、上側スラストプレート２３が、シャフト２１に沿って下側スラストプレート２４に最も接近した位置まで押し下げられ、その位置に密な状態にて仮止めされかつ保持される。
【００２５】
次いでこのシャフト２１、スリーブ２２、上下のスラストプレート２３、２４からなる仮止めされた軸受２０を、スラストプレート受け部材４０及びスラストプレート押圧部材５０から取り外し、これを間隙形成装置６０へ装着する。この間隙形成装置６０は、前記スラストプレート受け部材４０と同様に下側スラストプレート２４を保持するスラストプレート保持部材６１と、スリーブ２２の下端部を保持するスリーブ保持部材６２と、これらの保持部材６１、６２を互いに弾性的に連結する弾性部材６３と、により形成されている。
【００２６】
スラストプレート保持部材６１は、金属又は剛性の樹脂により形成されており、その上面中央部分に隆起部６５を有している。この隆起部６５の中心部にはシャフト２１の下端部を受け入れるような穴６６が設けてある。隆起部６５の外径はスリーブ２２のくぼみ３２の直径よりも小さく、概ね下側スラストプレート２４の外径と同一の寸法を有している。またその隆起部６５の高さは、該隆起部６５が前記下側スラストプレート２４に接したときに、スリーブ２２の下面がスラストプレート保持部材６１に接することのないような高さを有していれば良い。
【００２７】
一般にはこの隆起部６５の高さは下側スラストプレート２４の厚み寸法程度あればよいであろう。また穴６６は、前記隆起部６５の中心部分から下方に向かって伸びており、前記シャフト２１の下端部が該穴の壁面に触れることなく自由に受け入れられるような直径及び深さを有している。図示の例ではこの穴６６は盲穴になっているが、保持部材６１の下方まで突き抜けていても良い。
【００２８】
該保持部材６１は前記スリーブ２２の直径よりも小さい直径を有している。この保持部材６１はその上面中央部分に隆起部６５を形成するという構成を取ることなく、保持部材６１全体が隆起部６５と同一の直径を有している円柱体により構成することも出来る。このような場合には、スラストプレート受け部材４０とスラストプレート保持部材６１とを同一の部材により形成することも可能である。なお、保持部材６１は、シャフト２１、下側スラストプレート２４の万が一の落下防止具をなすと共に、シャフト２１の案内を兼ねている。従って、必ずしも必要不可欠のものではないが備用することが望ましい。
【００２９】
スリーブ保持部材６２は、金属又は剛性の樹脂により形成されており、円筒壁部７０と底壁部７１とにより構成されている。該円筒壁部７０の内壁面には段部７２が形成されている。このため内壁面は、上方の直径の大きい第１内壁面７３と、下方のこれよりも直径の小さい第２内壁面７４とにより形成されている。
【００３０】
ここで、第１内壁面７３の内部直径はスリーブ２２の外部直径とほぼ同様またはそれより幾分大きい直径となっており、該第１内壁面７３がスリーブ２２を遊びなく受け入れることが出来るようになっている。段部７２はスリーブ２２の外部直径よりも小さな直径を有する面を形成しており、この面にスリーブ２２の下端部が受け止められるようになっている。第２内壁面７４の内部直径は前記スラストプレート保持部材６１の外部直径とほぼ同様またはそれより幾分大きい直径となっており、該第２内壁面７４がスラストプレート保持部材６１を遊びなく受け入れることが出来るようになっている。この保持部材６１の下面とスリーブ保持部材６２の底壁部７１との間にはコイルばね、ゴム、等の弾性部材６３が配置されている。弾性部材６３により、保持部材６１がたえず下側スラストプレート２４に当接保持し、シャフト２１を安定保持させることができる。
【００３１】
図６に示すように、前記仮止めされた軸受２０は間隔形成装置６０に装着される。このため該仮止めされた軸受２０のスリーブ２２の下端部を間隔形成装置６０の第１内壁面に沿って段部７２まで落とし込む。この結果、この軸受２０のスリーブ２２の下面部分は円筒壁部７０の段部７２によって支持され、一方、シャフト１の下端部はスラストプレート保持部材６１の中央の穴６６内に受け入れられ、また下側スラストプレート２４は、スラストプレート保持部材６１の隆起部６５によって保持される。ここでスリーブ２２が段部７２に接するときに保持部材６１の隆起部６５がスラストプレート２４に接するような位置にあるように、弾性部材６３は保持部材６１を保持している。
【００３２】
前記仮止めされた軸受２０が適切に間隔形成装置６０に装着された後、シャフト２１の上端部を、油圧装置その他の公知の加圧装置により下方に向かって所定の力で押圧する。このためスリーブ２２の上側くぼみ３１に圧接されている上側スラストプレート２３とシャフト２１との圧接嵌合力に抗して、シャフト２１は逆押しされてシャフト２１は僅かに下方に移動する。シャフト２１の下方移動に伴って該シャフト２１に固定されている下側スラストプレート２３がスリーブ２２の下側くぼみ３２内から僅かに下方に押し離され、該くぼみ３２とスラストプレート２４との間に所定長さＬの間隔が形成される。
【００３３】
この長さＬは、スラスト方向動圧発生部である、上側スラストプレート２３とスリーブ２２の上側くぼみ３１との間の間隔と、下側スラストプレート２４とスリーブ２２の下側くぼみ３２との間の間隔との合計距離となる。この距離Ｌが、適正な値よりも大きいと、シャフト２１が上下方向に振れ、適切な回転を得ることが出来ない。一方、この距離Ｌが、適正な値よりも小さいと、上下のスラストプレート２３、２４がスリーブ２２に食い込んで、同様に適切な回転を得ることが出来ない。従って、このシャフトの逆押力は最適な距離Ｌを形成するように厳格に制御されている。
【００３４】
シャフト２１の上端部を逆押しする際に、上側スラストプレート２３がシャフト２１の面をかじり、これによりシャフトにむしれが発生するという危険がある。その場合には、シャフト２１の上端部に、超音波押圧装置により微振動を加えながら該シャフト２１を逆押しすることにより極めて円滑の逆押作業が出来、これによりかかる危険を防止することが出来るのである。
【００３５】
図７〜図９は、本件発明の動圧流体軸受製造方法を使用して組み立てたスピンドルモータの具体例を示している。図７に示すスピンドルモータ８０では、シャフト２１の下端部がブラケット８１に、またシャフト２１の上端部がトップカバー８２に固定されており、このブラケット８１に取り付けられたステータ８３と、回転するスリーブ２２に取り付けられたハブ８４に固定されたロータマグネット８５とが作用して、該ハブ８４に搭載されたデイスク等を上下動させることなく、回転させることが出来るのである。
【００３６】
図８に示すスピンドルモータ８６では、シャフト２１の下端部がブラケット８１に、またシャフト２１の上端部が図示していないトップカバーに固定されており、このブラケット８１に取り付けられたステータ８３と、回転するスリーブ２２に取り付けられたロータマグネット８５とが作用して、同様にスリーブ２２に取り付けられたハブ８４に搭載されたデイスク等を上下動させることなく、回転させることが出来るのである。
【００３７】
図９に示すスピンドルモータ９０では、シャフト２１の上端部がハブ８４に固定され、又はシャフト２１とハブ８４とが一体的に形成され、スリーブ２２がブラケット８１に固定され、又はスリーブ２２とブラケット８１とが一体的に形成され、スリーブ２２に装着されたステータ８３と、ハブ８４に装着されたロータマグネット８５とが作用して、ハブ８４に搭載されたデイスク等を上下動させることなく、回転させることが出来るのである。なお、符号９１は、油漏れ等を防止するためのキャップであり、必要に応じて装着することが出来る。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、スラスト方向の動圧発生部に適性距離を形成する場合、各部品が持つ加工公差は一切関係することなく、その公差の累積を考慮する必要がなく、常に一定の距離を得ることが出来るのである。このため、シャフトを非常に高速度で回転してもシャフトが上下方向へ対して振動運動を発生するということがなく極めて円滑で高精度なかつ非常に安定した特性を有する動圧流体軸受を提供することができる。更に、部品の加工公差が軸受の性能に関係してこないため、各部品の製造価格が安くなる。また、このように高精度な安定した作動を提供することができるため、とくにミクロン単位に制御されたハイテク機器の軸受に有効に使用出来るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本件発明のシャフトと該シャフトに組みつけた下側スラストプレートとを示す図である。
【図２】本件発明のスリーブを示す側面図である。
【図３】本件発明の上側スラストプレートを示す側面図である。
【図４】図２のスリーブに図１のシャフトを組みつけ軸受を構成している状態を示す図である。
【図５】図４に示す軸受の下側をスラストプレート受け部材にて支持し、上側を新たに上側スラストプレートを装着した後、スラストプレート押圧部材にて押圧し、スリーブとシャフトと上下のスラストプレートとを互いに仮止めしている状態を示している図である。
【図６】仮止めした軸受のシャフトを逆押しする工程を示している図である。
【図７】本発明の方法にて製造した動圧流体軸受を備えたシャフト固定型のスピンドルモータを示す図である。
【図８】本発明の方法にて製造した動圧流体軸受を備えたシャフト固定型のスピンドルモータの別の例を示す図である。
【図９】本発明の方法にて製造した動圧流体軸受を備えたシャフト回転型のスピンドルモータを示す図である。
【図１０】公知の動圧流体軸受を示す図である。
【図１１】公知の動圧流体軸受を製造する工程を示す図である。
【図１２】公知の動圧流体軸受を製造する別の工程を示す図である。
【符号の説明】
２０軸受
２１シャフト
２２スリーブ
２３上側スラストプレート
２４下側スラストプレート
３０、４２、５２、６６孔
３１上側くぼみ
３２下側くぼみ
３３突縁部
４０スラストプレート受け部材
４１、５１、６５隆起部
５０スラストプレート押圧部材
６０間隔形成装置
６１スラストプレート保持部材
６２スリーブ保持部材
６３弾性部材
７０円筒壁部
７１底壁部
７２段部
８０、８６、９０スピンドルモータ
８１ブラケット
８３ステータ
８４ハブ
８５ロータリマグネット

Claims

シャフト２１と、該シャフト２１が貫通しており該シャフトの面との間においてラジアル方向の動圧発生部を提供している孔３０を有するスリーブ２２と、該スリーブ２２の孔３０の上下部分に保持されており該上下部分の面との間においてスラスト方向の動圧発生部を提供している上下一対のスラストプレートと、を有している動圧流体軸受２０を製造する方法において、
シャフト２１の下方部分の所定位置へ下側スラストプレート２４を固定し精度出ししたシャフト２１を用意すること、
軸線方向に貫通する孔３０であって前記シャフト２１を受け入れる孔３０を備えたスリーブ２２を用意すること、
該スリーブ２２の孔３０の一方からシャフト２１を挿通し該孔３０の他方からシャフト２１の上方部分を突き出すこと、
シャフト２１の下方部分に固定された下側スラストプレート２４を保持しつつ、スリーブ２２の孔３０の他方から突き出しているシャフト２１の上方部分に上側スラストプレート２３を密嵌すること、
該上側スラストプレート２３を下側スラストプレート２４の方へ押圧し、上下のスラストプレート２３、２４をスリーブ２２の上下面に対して隙間なく密着させ、これらのスリーブ２２とスラストプレート２３、２４とシャフト２１とを一体的に仮止めすること、
スリーブ２２を所定位置に固定しかつ下側スラストプレート２４とシャフト２１とを自由な状態に維持したまま、該シャフト２１の上方部分を押圧し、上側スラストプレート２３の位置を僅かに押し戻す逆押しを行い、下側スラストプレート２４とスリーブ２２との間に間隙Ｌを設けること、
から成ることを特徴とする動圧流体軸受の製造方法。
該間隔Ｌがスリーブ２２の上下部分に存するスラスト方向動圧発生部の合計寸法に等しいことを特徴とする請求項１の動圧流体軸受の製造方法。
逆押し工程の際に、スリーブ２２を固定している部材と下側スラストプレート２４と保持している部材とが弾性部材６３を介して連結されていることを特徴とする請求項１又は２の動圧流体軸受の製造方法。
逆押し工程の際に、シャフト２１を超音波振動押圧装置にて押し込むことを特徴とする請求項３の動圧流体軸受の製造方法。
下側スラストプレート２４がシャフト２１へ密嵌固定されていることを特徴とする請求項１の動圧流体軸受の製造方法。
下側スラストプレート２４がシャフト２１と一体的に形成されていることを特徴とする請求項１の動圧流体軸受の製造方法。
スリーブ２２が孔３０の上下位置であって、該スリーブ２２の上下面において互いに近接する方向に向かってくぼみ３１、３２を有していることを特徴とする請求項１〜６に記載のいずれか１の動圧流体軸受の製造方法。
上側スラストプレート２３をシャフト２１に仮止めする際に、軸受２０の下側が、該シャフト２１の下側部分を遊嵌し、下側スラストプレート２４を保持するスラストプレート受け部材４０によって保持されていることを特徴とする請求項７の動圧流体軸受の製造方法。
シャフト２１を逆押しする際に、
軸受２０の下側が、該シャフト２１の下側部分を遊嵌し、下側スラストプレート２４を保持するスラストプレート保持部材６１によって保持され、
スリーブ２２の下方部分がスリーブ保持部材６２の内壁面に設けた段部７２に保持されており、
スリーブ２２の側面がスリーブ保持部材６２の段部７２の上方の内壁面内に支持されかつスラストプレート保持部材６１の側面がスリーブ保持部材６２の段部７２の下方の内壁面内に支持されており、スラストプレート保持部材６１とスリーブ保持部材６２とが弾性部材６３によって弾性連結されていることを特徴とする請求項８の動圧流体軸受の製造方法。