JP3565177B2 - 真空搬送装置 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造装置に用いられる真空搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の真空搬送装置は、真空搬送室と、この真空搬送室内に設けられたロボットアームとを備える。上記ロボットアームは、上記真空搬送室の略中央に位置する第1回転軸に取り付けられた第1アームと、この第1アームの先端の第2回転軸に取り付けられた第2アームと、この第2アームの先端の第3回転軸に取り付けられた第3アームとを有する。上記第3アームの先端に、この真空搬送装置で搬送されるウェハを把持するハンド部が設けられている。上記第1乃至第3回転軸は金属からなり、モータに直接、あるいは、ベルトを介して接続されて、上記第1乃至第3アームを回転駆動するようになっている。ウェハを大気圧の外部との間で出し入れする真空予備室と、上記真空搬送室と、ウェハに分子拡散などの処理を施す真空処理室とを順に、略一直線に接続して、半導体製造装置を構成している。
【0003】
上記真空搬送装置のロボットアームは、上記第1乃至第3アームを伸張して、上記真空予備室内に載置されたウェハを上記ハンド部で把持し、その後、上記第1乃至第3アームを収縮して上記ウェハを真空搬送室内に移送する。この真空搬送室内で、上記第1乃至第3アームが収縮した状態で、上記第1アームは上記第1回転軸回りに一方から他方へ180°回転する。その後、上記収縮した第1乃至第3アームが伸張して、上記ウェハを真空処理室内に載置する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の真空搬送装置は、金属からなる可動部分である回転軸は、金属汚染やパーティクルなどのコンタミ源であり、そのような回転軸が第1から第3までの3個あるので、コンタミが生じ易いという問題がある。
【0005】
また、上記真空搬送装置は、ウェハの搬送時におけるロボットアームの第1アームの回転角度が180°であるので、上記真空処理室内にウェハを載置するときに上記第3回転軸が真空処理室内に入らないように真空搬送装置を構成すると、上記ウェハおよびロボットアームの動作範囲が大きくなって、真空搬送室が大型になるという問題がある。
【0006】
そこで、本発明の目的は、コンタミが生じ難くてウェハの不良が生じ難く、また、真空搬送室が小型にできる真空搬送装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の発明の真空搬送装置は、真空処理室にゲートバルブを介して連なる真空搬送室と、
上記真空搬送室内に設けた第1回転軸に取り付けられた回転可能な第1アームと、この第1アームの先端に第2回転軸を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部を有する回転可能な第2アームとを含むロボットアームとを備え、
上記第2回転軸が、上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するよう構成されていることを特徴としている。
【0008】
請求項1の真空搬送装置によれば、コンタミ源となる回転軸の個数が、第1および第2回転軸との2個であるので、従来の3個の回転軸を有する真空搬送装置よりもコンタミが生じ難い。また、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと真空搬送室の内部のみに位置するよう構成されているので、コンタミ源となる上記第2回転軸は上記真空処理室内に入らないから、この真空処理室におけるコンタミによるウェハの処理不良が防止される。
【0009】
請求項2の発明の真空搬送装置は、真空処理室および真空準備室にゲートバルブを介して略一直線上に配置された真空搬送室と、
上記真空搬送室内に設けた第1回転軸に取り付けられた回転可能な第1アームと、この第1アームの先端に第2回転軸を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部を有する回転可能な第2アームとを含むロボットアームとを備え、
上記第2回転軸が、上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するよう構成され、
上記第1アームの回転角度が、上記真空処理室にハンド部を位置させる場合と、上記真 空準備室にハンド部を位置させる場合との間で180°未満になるように制御して、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するように制御する制御装置を備えることを特徴としている。
【0010】
請求項2の真空搬送装置によれば、上記制御装置は、上記ロボットアームが、上記第1アームの回転角度が180°未満になるようにして上記ゲートバルブおよび真空搬送室の内部のみに位置するように制御するから、コンタミ源である第2回転軸が上記真空処理室に入ることが防止されて、コンタミによるウェハの処理不良が回避される。また、上記第1アームの回転角度が180°未満になるので、ウェハの搬送方向において、第1アームの動作範囲が小さくなり、ロボットアームおよびウェハの動作範囲が小さくなって、真空搬送室のウェハの搬送方向の寸法を小さくできる。
【0011】
請求項3の発明の真空搬送装置は、請求項1または2に記載の真空搬送装置において、
上記制御装置は、上記ロボットアームが、
上記第1アームと第2アームとを互いに逆向きに回転駆動して上記ウェハを直線方向に搬送する直線搬送区間と、
上記第1アームを静止させて第2アームのみを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第1曲線搬送区間と、
上記第2アームを第1アームに対して相対的に静止させて第1アームを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第2曲線搬送区間とを有して上記ウェハを搬送するように、上記第1アームと第2アームを制御することを特徴としている。
【0012】
請求項3の真空搬送装置によれば、上記ロボットアームが、上記第1直線搬送区間と第1曲線搬送区間と第2曲線搬送区間とを有してウェハを搬送するように、上記制御装置によって上記第1および第2アームが制御されるので、これによって、上記第1アームの回転角度が確実に180°未満になり、かつ、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと真空搬送室の内部のみに位置するようになる。その結果、上記真空搬送室が効果的に小型にでき、かつ、コンタミによるウェハの処理不良が効果的に防止できる。
【0013】
請求項4の発明の真空搬送装置は、請求項1乃至3のいずれか1つに記載の真空搬送装置において、
上記第1回転軸が、上記真空搬送室の中心からオフセットしていることを特徴としている。
【0014】
請求項4の真空搬送装置によれば、上記第1回転軸が真空搬送室の中心からオフセットしているので、上記第1回転軸と、この第1回転軸のオフセット方向と反対側に位置する真空搬送室の壁の内面との間の距離が、上記第1回転軸と第1回転軸のオフセット方向側の真空搬送室の壁の内面との間の距離よりも大きくなる。したがって、上記第1回転軸と上記オフセット方向と反対側の真空搬送室の壁の内面との間に、ウェハや第1アームや第2アームを通過させることによって、真空搬送室を大型にすることなくウェハを搬送できる。
【0015】
請求項5の発明の真空搬送装置は、請求項1乃至4のいずれか1つに記載の真空搬送装置において、
上記ウェハの中心回りの姿勢を変更するアライナを備えたことを特徴としている。
【0016】
請求項5の真空搬送装置によれば、上記アライナによってウェハの中心周りの姿勢が変更されるので、上記ウェハが所定の位置に搬送された際に、所定の姿勢になるようにできる。これによって、従来のアームを3つ有する3リンク型のロボットアームと同様に、ウェハを真空処理室などに搬送した際に、ウェハが所望の姿勢になるようにできる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【0018】
図1は、本発明による真空搬送装置を示す平面図である。この真空搬送装置1は、真空搬送室2と、この真空搬送室2に設けられたロボットアーム3と、このロボットアーム3を制御する制御装置4とを備える。上記真空搬送室内のロボットアーム3の第1回転軸S1の図1において上側に、上記ロボットアーム2が搬送するウェハの中心回りの姿勢を変更するアライナ5が設けられている。
【0019】
上記真空搬送室2は、大気圧の外部と真空の真空搬送室2との間で出し入れするウェハを経由させる真空予備室6と、上記ウェハに所定の薄膜を形成するCVD(気相成長)装置が設けられた真空処理室7とに接続している。上記真空予備室6と、真空搬送室2と、真空処理室7とは、この順に略一直線上に配置されている。上記真空予備室6と真空搬送室2との間には第1ゲートバルブG1が設けられており、上記真空搬送室2と真空処理室7との間には第2ゲートバルブG2が設けられている。
【0020】
上記ロボットアーム3は、上記真空搬送室2に設けた第1回転軸S1に取り付けられた第1アームA1と、この第1アームA1の先端に第2回転軸S2を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部Hを有する第2アームA2とを含んでいる。上記第1回転軸S1は、上記真空搬送室2に、この真空搬送室2の図1における縦方向の辺の中心を通る中心線C1から下側に、所定距離dだけオフセットして取り付けられている。上記第1および第2回転軸S1,S2は、金属からなる。上記第1回転軸S1は、図示しないステッピングモータである第1モータで直接駆動されるようになっており、上記第2回転軸S2は、上記第1アームA1内部に設けられたベルトを介して、図示しない駆動用モータである第2モータで駆動されるようになっている。上記第1モータおよび第2モータは、上記制御装置4に電気的に接続している。上記ロボットアームは、上記第1回転軸S1に、この回転軸S1の回転角度を検出する図示しない第1角度センサを備え、上記第2回転軸S2に、この回転軸S2の回転角度を検出する図示しない第2角度センサを備える。上記第1角度センサと第2角度センサは、上記制御装置4に電気的に接続している。
【0021】
上記制御装置4は、上記第1角度センサと第2角度センサから、第1回転軸S1および第2回転軸S2の回転角度を示す信号を受け取り、この信号に基いて、上記第1および第2モータを制御するようになっている。より詳しくは、上記制御装置4は、上記第1および第2角度センサからの信号に基いて、ハンド部Hが把持するウェハの中心の位置を算出する。この算出したウェハの中心位置を、予め定められた所定位置のデータと比較して、上記ウェハの中心位置が上記所定位置になるように、上記制御装置4が上記第1および第2モータに供給するパルスを制御する。これによって、上記第1および第2回転軸S1,S2が第1および第2モータによって各々駆動されて、第1および第2回転軸S1,S2の回転角度が所定の回転角度になる。そうすると、上記第1および第2アームA1、A2の回転角度が所定の角度になって、上記第2アームA2の先端のハンド部Hが把持するウェハの中心位置が所定位置になる。
【0022】
さらに、上記制御装置4は、上記ロボットアーム3が、直線搬送区間と、第1曲線搬送区間と、第2曲線搬送区間とを有してウェハを搬送するように、上記第1アームA1および第2アームA2を制御している。上記直線搬送区間は、ロボットアームの第1アームA1と第2アームA2とを、互いに逆向きに回転駆動して、ウェハを直線方向に搬送する区間である。上記第1曲線搬送区間は、上記ロボットアームの第1アームA1を静止させる一方、上記第2アームA2を回転駆動して、ウェハを曲線方向に搬送する区間である。上記第2曲線搬送区間は、上記ロボットアームの第2アームA2を第1アームA1に対して相対的に静止させ、上記第1アームA1を回転駆動して、ウェハを曲線方向に搬送する区間である。
【0023】
上記構成の真空搬送装置1の動作を、ロボットアーム3が、真空処理室7でCVD処理された処理済のウェハを真空予備室6に向って搬送する様子を示した図2(a),(b),(c)を用いて説明する。
【0024】
図2(a),(b),(c)は、ロボットアーム3によって搬送されるウェハの中心が通る軌跡10を示した図であり、簡単のために、上記ロボットアームのハンド部Hが把持するウェハは図示していない。上記ウェハの中心の軌跡10は、上記直線搬送区間に対応する2つの直線軌跡部分11,12と、上記第1曲線搬送区間に対応する2つの第1曲線軌跡部分14,15と、上記第2曲線搬送区間に対応する1つの第2曲線軌跡部分17とからなる。
【0025】
図2(a)は、真空処理装置7でCVD処理されたウェハをロボットアーム3のハンド部Hが把持する際の様子を示した図である。この場合のウェハの中心位置P1から、このウェハはロボットアーム3によって直線方向に搬送されて、ウェハ中心が直線軌跡部分11を描いてウェハ中心位置P2に至る。図2(b)は、上記ウェハの中心がP2に達した際のロボットアーム3の様子を示す図である。ウェハ中心がP2に位置すると、上記ロボットアーム3は、第1アームA1が停止する一方、第2アームA2のみを第2回転軸S2回りに回転駆動する。これによって、上記第2アームA2の先端のハンド部Hに把持されているウェハの中心が、第1曲線軌跡部分14を描いて、ウェハ中心位置P3に至る。図2(c)は、上記ウェハの中心がP3に達した際のロボットアーム3の様子を示す図である。このウェハ中心位置P3において、上記ロボットアーム3は、第1アームA1と第2アームA2とが略一直線上に重なり合う。ウェハ中心がP3に達すると、上記第2アームA2が第1アームA1に対して相対的に停止する一方、第1アーム1を第1回転軸S1回りに回転駆動する。これによって、上記第2アームA2のハンド部Hに把持されているウェハの中心が、第2曲線軌跡部分17を描く。この第2曲線軌跡部分17の略中央位置P4であって、上記第1アームA1と第2アームA2とが真空搬送室2の図2(c)における横方向幅の中心線C2に略一致する位置で、上記第1アームA1の回転動作が一旦停止する。ここで、上記真空処理室7と真空搬送室2との間のゲートバルブG2が閉じる。さらに、上記ウェハが、このウェハ中心位置P4と略同一位置に設けられたアライナ5に載置される。このアライナ5によってウェハを中心回りに回動して、このウェハの中心回りの姿勢を、ウェハが真空予備室6に配置された際に所定の姿勢になる姿勢に変更する。上記アライナ5によるウェハの姿勢変更は、上記真空予備室6から真空処理室7へウェハを搬送するときにも行われる。その後、このウェハをロボットアーム3のハンド部Hが把持し、第2アームA2が第1アームA1に相対的に停止した状態で、上記第1アームA1が第1回転軸S1回りに回って、ウェハの中心が引き続き第2曲線軌跡部分17を描く。そして、上記ウェハは、中心位置がP5に達し、第1アームA1の回転が停止する。ウェハの中心位置P5から中心位置P6までは、第1アームA1の回転が停止した状態で第2アームA2が第2回転軸S2回りに回転して、ウェハ中心の軌跡が第1曲線部分15を描く。その後、ロボットアーム3はウェハを直線方向に搬送して、ウェハの中心位置が、上記P6から直線軌跡部分12を描いてP7まで達する。ウェハの中心位置P7において、ハンド部Hがウェハを真空予備室に配置し、ロボットアーム3が真空予備室から退去する。その後、ゲートバルブG1を閉じて、略真空の真空予備室を大気圧に昇圧し、大気側に配置された移載装置によって真空予備室内のウェハを大気側に取り出す。
【0026】
上記真空搬送装置1は、金属からなる可動部であってコンタミ源となる回転軸の個数が、第1回転軸S1と第2回転軸S2との2個であるので、従来の3個の回転軸を有する真空搬送装置よりも、金属汚染やパーティクルなどのコンタミが生じ難い。さらに、上記制御装置4は、ロボットアームのハンド部Hを真空予備室と真空処理室との間で動作させる際、上記第1アームA1の回転角度を180°未満にしている。これによって、図2(a)に示すように、ロボットアーム3が真空処理室7側に延び切った場合においても、第2回転軸S2はゲートバルブG2内部に留まって真空処理室7内には位置しない。すなわち、コンタミ源となる第2回転軸S2が真空処理室7内に位置しないので、この真空処理室7内の金属汚染やパーティクルなどのコンタミを効果的に防止して、CVD処理の際のウェハの成膜不良を回避できる。
【0027】
また、上記第1アームA1の回転角が180°未満にしているので、ロボットアーム3とこのロボットアーム3によって搬送されるウェハの動作範囲が小さくできる。したがって、真空搬送装置の真空搬送室2が小型にできる。
【0028】
また、上記制御装置4は、上記ロボットアームの把持部Hが把持するウェハの中心が、2つの直線軌跡部分11,12と、2つの第1曲線軌跡部分14,15と、1つの第2曲線軌跡部分17を描くようにロボットアーム3を制御するので、ロボットアームの第1アームA1の回転角度が効果的に180°未満にできる。したがって、ロボットアーム3およびウェハの動作範囲を効果的に小さくでき、また、ロボットアーム3の第2回転軸S2を、効果的にゲートバルブG1および真空搬送室2内部のみに位置するようにできる。したがって、真空搬送室2を効果的に小型にでき、また、真空処理室7のコンタミを効果的に防止できる。
【0029】
また、上記ロボットアーム3は、真空搬送室2に、第1アームA1の第1回転軸S1を真空搬送室2の中央からオフセット量dだけオフセットして配置し、このオフセット側の反対側の真空搬送室2の壁の内面と、上記第1回転軸S1との間に、第1および第2アームA1,A2を通過させている。これによって、動作範囲が比較的大きい第1および第2アームA1,A2を、第1回転軸S1のオフセットの反対側で動作させることができるので、真空搬送室2を大型にすることなくウェハを搬送できる。
【0030】
また、上記真空搬送装置1は、上記真空搬送室2にアライナ5を備え、ロボットアーム3で搬送するウェハをウェハ中心回りに所定の姿勢に変更できる。したがって、上記第1および第2アームA1,A2を有する2リンクのロボットアーム3は、従来の3リンクのロボットアームと同様に、ウェハを真空予備室6および真空処理室7に搬送した際にウェハを所望の姿勢にできる。すなわち、本発明の真空搬送装置1は、従来の3リンクの真空搬送装置と同一の機能を有するにも拘らず、従来よりも簡易な構造で、しかも小型にできる。
【0031】
さらに、上記真空搬送装置1は、ロボットアーム3が2リンクであり、厚みが従来の3リンクのロボットアームの厚みよりも小さいので、図3に示すように真空搬送室2内部の厚みDが小さくできる。したがって、真空搬送室2の容積が小さくできる。上記真空搬送室2は、平面においても従来の真空搬送室よりも小型であるので、容積が効果的に小さくなる。これによって、上記真空搬送室2は、内部へのガスの供給や真空引きが容易かつ迅速に実行できる。すなわち、真空搬送室2は、真空と大気圧とを比較的容易に切替えることができるから、真空予備室として兼用することもできる。この真空予備室に兼用できる真空搬送装置を用いて半導体製造装置を構成すると、別個に真空予備室を設ける必要がないから、半導体製造装置をさらに小型にできる。
【0032】
上記実施形態において、真空予備室6と、真空搬送装置1と、真空処理室7とを一直線に接続したが、図4に示すように、真空搬送装置の1つの真空搬送室21に、2つの真空予備室22,22と、2つの真空処理室23,23とを接続してもよい。図4に示すように、ロボットアーム25によって真空処理室23内のウェハを把持した際に、第2回転軸26を真空搬送室23およびゲートバルブG4内部に位置させて真空処理室23内に入らないようにすることによって、真空処理室23内のコンタミを効果的に防止できる。
【0033】
また、図4の真空処理室23にさらに真空搬送装置を介して他の真空処理室を接続して、複数の真空搬送装置を用いて半導体製造装置を構成してもよい。これによって、ウェハに複数の処理を連続して施すことができる半導体製造装置を、従来よりも小型に構成できる。この場合、本発明の真空搬送装置と従来の真空搬送装置とが混在していてもよい。
【0034】
上記実施形態において、ロボットアーム3の第1および第2回転軸S1,S2は、金属からなるが、金属以外の例えば樹脂からなる回転軸であってもよい。この場合においても、パーティクルやガスが生じる虞がある樹脂製の回転軸は、従来よりも個数が少ないので、真空搬送装置内部の汚染の虞を少なくでき、また、ウェハ搬送の際に第2回転軸が真空処理室内に入らないので、真空処理室の汚染を防止できる。
【0035】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項1の発明の真空搬送装置によれば、真空処理室にゲートバルブを介して連なる真空搬送室と、上記真空搬送室内に設けた第1回転軸に取り付けられた回転可能な第1アームと、この第1アームの先端に第2回転軸を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部を有する回転可能な第2アームとを含むロボットアームとを備え、上記第2回転軸が、上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するよう構成されているので、コンタミ源となる回転軸の個数が、従来の3個よりも少ない2個であるから、従来の真空搬送装置よりもコンタミが生じ難く、また、コンタミ源となる第2回転軸が真空処理室内に入らないから、この真空処理室のコンタミを防止できて、コンタミによるウェハの処理不良が防止できる。
【0036】
請求項2の発明の真空搬送装置によれば、上記第1アームの回転角度が、上記真空処理室にハンド部を位置させる場合と、上記真空準備室にハンド部を位置させる場合との間で180°未満になるように制御して、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するように制御する制御装置を備えるので、上記第1アームの動作範囲を小さくしてロボットアームおよびウェハの動作範囲を小さくできるから、真空搬送室のウェハの搬送方向の寸法を小さくできる。しかも、上記第1アームの回転角度を180°未満にして、コンタミ源であるロボットアームの第2回転軸が真空処理室に入ることを防止できるから、コンタミによるウェハの処理不良を回避できる。
【0037】
請求項3の発明の真空搬送装置によれば、上記制御装置は、上記ロボットアームが、上記第1アームと第2アームとを互いに逆向きに回転駆動して上記ウェハを直線方向に搬送する直線搬送区間と、上記第1アームを静止させて第2アームのみを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第1曲線搬送区間と、上記第2アームを第1アームに相対的に静止させて第1アームを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第2曲線搬送区間とを有して上記ウェハを搬送するように、上記第1アームと第2アームを制御するので、上記第1アームの回転角度が確実に180°未満にでき、かつ、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと真空搬送室の内部のみに位置するようにできるから、上記真空搬送室を効果的に小型にでき、かつ、コンタミによるウェハの処理不良が効果的に防止できる。
【0038】
請求項4の発明の真空搬送装置によれば、上記第1回転軸が、上記真空搬送室の中心からオフセットしているので、上記第1回転軸と、この第1回転軸のオフセット方向と反対側に位置する真空搬送室の壁の内面との間に、ウェハや第1アームや第2アームを通過させることによって、真空搬送室を大きくすることなくウェハを搬送できる。
【0039】
請求項5の発明の真空搬送装置によれば、上記ウェハの中心回りの姿勢を変更するアライナを備えたので、上記ウェハを所定の位置に搬送する際に、ウェハが所望の姿勢になるようにできるから、従来のアームを3つ有する3リンク型のロボットアームと同様に、ウェハを真空処理室などに所定の姿勢で搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の真空搬送装置を示す図である。
【図2】図2(a)は、真空搬送装置のロボットアームの把持部が真空処理室内に位置する様子を示した図であり、図2(b)、(c)は、ウェハを真空処理室から真空予備室に向けて搬送する過程において、異なるロボットアームの位置を示した図である。
【図3】真空搬送装置の断面図を示す図である。
【図4】他の実施形態の真空搬送装置を示す図である。
【符号の説明】
1 真空搬送装置
2 真空搬送室
3 ロボットアーム
4 制御装置
5 アライナ
6 真空予備室
7 真空処理室
10 ウェハ中心の軌跡
11 直線軌跡部分
12 直線軌跡部分
14 第1曲線軌跡部分
15 第1曲線軌跡部分
17 第2曲線軌跡部分
A1 第1アーム
A2 第2アーム
S1 第1回転軸
S2 第2回転軸
H ウェハの把持部
C1 真空搬送室の縦方向の辺の中心を通る中心線
C2 真空搬送室の横方向の辺の中心を通る中心線
G1 ゲートバルブ
G2 ゲートバルブ
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造装置に用いられる真空搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の真空搬送装置は、真空搬送室と、この真空搬送室内に設けられたロボットアームとを備える。上記ロボットアームは、上記真空搬送室の略中央に位置する第1回転軸に取り付けられた第1アームと、この第1アームの先端の第2回転軸に取り付けられた第2アームと、この第2アームの先端の第3回転軸に取り付けられた第3アームとを有する。上記第3アームの先端に、この真空搬送装置で搬送されるウェハを把持するハンド部が設けられている。上記第1乃至第3回転軸は金属からなり、モータに直接、あるいは、ベルトを介して接続されて、上記第1乃至第3アームを回転駆動するようになっている。ウェハを大気圧の外部との間で出し入れする真空予備室と、上記真空搬送室と、ウェハに分子拡散などの処理を施す真空処理室とを順に、略一直線に接続して、半導体製造装置を構成している。
【0003】
上記真空搬送装置のロボットアームは、上記第1乃至第3アームを伸張して、上記真空予備室内に載置されたウェハを上記ハンド部で把持し、その後、上記第1乃至第3アームを収縮して上記ウェハを真空搬送室内に移送する。この真空搬送室内で、上記第1乃至第3アームが収縮した状態で、上記第1アームは上記第1回転軸回りに一方から他方へ180°回転する。その後、上記収縮した第1乃至第3アームが伸張して、上記ウェハを真空処理室内に載置する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の真空搬送装置は、金属からなる可動部分である回転軸は、金属汚染やパーティクルなどのコンタミ源であり、そのような回転軸が第1から第3までの3個あるので、コンタミが生じ易いという問題がある。
【0005】
また、上記真空搬送装置は、ウェハの搬送時におけるロボットアームの第1アームの回転角度が180°であるので、上記真空処理室内にウェハを載置するときに上記第3回転軸が真空処理室内に入らないように真空搬送装置を構成すると、上記ウェハおよびロボットアームの動作範囲が大きくなって、真空搬送室が大型になるという問題がある。
【0006】
そこで、本発明の目的は、コンタミが生じ難くてウェハの不良が生じ難く、また、真空搬送室が小型にできる真空搬送装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の発明の真空搬送装置は、真空処理室にゲートバルブを介して連なる真空搬送室と、
上記真空搬送室内に設けた第1回転軸に取り付けられた回転可能な第1アームと、この第1アームの先端に第2回転軸を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部を有する回転可能な第2アームとを含むロボットアームとを備え、
上記第2回転軸が、上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するよう構成されていることを特徴としている。
【0008】
請求項1の真空搬送装置によれば、コンタミ源となる回転軸の個数が、第1および第2回転軸との2個であるので、従来の3個の回転軸を有する真空搬送装置よりもコンタミが生じ難い。また、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと真空搬送室の内部のみに位置するよう構成されているので、コンタミ源となる上記第2回転軸は上記真空処理室内に入らないから、この真空処理室におけるコンタミによるウェハの処理不良が防止される。
【0009】
請求項2の発明の真空搬送装置は、真空処理室および真空準備室にゲートバルブを介して略一直線上に配置された真空搬送室と、
上記真空搬送室内に設けた第1回転軸に取り付けられた回転可能な第1アームと、この第1アームの先端に第2回転軸を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部を有する回転可能な第2アームとを含むロボットアームとを備え、
上記第2回転軸が、上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するよう構成され、
上記第1アームの回転角度が、上記真空処理室にハンド部を位置させる場合と、上記真 空準備室にハンド部を位置させる場合との間で180°未満になるように制御して、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するように制御する制御装置を備えることを特徴としている。
【0010】
請求項2の真空搬送装置によれば、上記制御装置は、上記ロボットアームが、上記第1アームの回転角度が180°未満になるようにして上記ゲートバルブおよび真空搬送室の内部のみに位置するように制御するから、コンタミ源である第2回転軸が上記真空処理室に入ることが防止されて、コンタミによるウェハの処理不良が回避される。また、上記第1アームの回転角度が180°未満になるので、ウェハの搬送方向において、第1アームの動作範囲が小さくなり、ロボットアームおよびウェハの動作範囲が小さくなって、真空搬送室のウェハの搬送方向の寸法を小さくできる。
【0011】
請求項3の発明の真空搬送装置は、請求項1または2に記載の真空搬送装置において、
上記制御装置は、上記ロボットアームが、
上記第1アームと第2アームとを互いに逆向きに回転駆動して上記ウェハを直線方向に搬送する直線搬送区間と、
上記第1アームを静止させて第2アームのみを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第1曲線搬送区間と、
上記第2アームを第1アームに対して相対的に静止させて第1アームを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第2曲線搬送区間とを有して上記ウェハを搬送するように、上記第1アームと第2アームを制御することを特徴としている。
【0012】
請求項3の真空搬送装置によれば、上記ロボットアームが、上記第1直線搬送区間と第1曲線搬送区間と第2曲線搬送区間とを有してウェハを搬送するように、上記制御装置によって上記第1および第2アームが制御されるので、これによって、上記第1アームの回転角度が確実に180°未満になり、かつ、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと真空搬送室の内部のみに位置するようになる。その結果、上記真空搬送室が効果的に小型にでき、かつ、コンタミによるウェハの処理不良が効果的に防止できる。
【0013】
請求項4の発明の真空搬送装置は、請求項1乃至3のいずれか1つに記載の真空搬送装置において、
上記第1回転軸が、上記真空搬送室の中心からオフセットしていることを特徴としている。
【0014】
請求項4の真空搬送装置によれば、上記第1回転軸が真空搬送室の中心からオフセットしているので、上記第1回転軸と、この第1回転軸のオフセット方向と反対側に位置する真空搬送室の壁の内面との間の距離が、上記第1回転軸と第1回転軸のオフセット方向側の真空搬送室の壁の内面との間の距離よりも大きくなる。したがって、上記第1回転軸と上記オフセット方向と反対側の真空搬送室の壁の内面との間に、ウェハや第1アームや第2アームを通過させることによって、真空搬送室を大型にすることなくウェハを搬送できる。
【0015】
請求項5の発明の真空搬送装置は、請求項1乃至4のいずれか1つに記載の真空搬送装置において、
上記ウェハの中心回りの姿勢を変更するアライナを備えたことを特徴としている。
【0016】
請求項5の真空搬送装置によれば、上記アライナによってウェハの中心周りの姿勢が変更されるので、上記ウェハが所定の位置に搬送された際に、所定の姿勢になるようにできる。これによって、従来のアームを3つ有する3リンク型のロボットアームと同様に、ウェハを真空処理室などに搬送した際に、ウェハが所望の姿勢になるようにできる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【0018】
図1は、本発明による真空搬送装置を示す平面図である。この真空搬送装置1は、真空搬送室2と、この真空搬送室2に設けられたロボットアーム3と、このロボットアーム3を制御する制御装置4とを備える。上記真空搬送室内のロボットアーム3の第1回転軸S1の図1において上側に、上記ロボットアーム2が搬送するウェハの中心回りの姿勢を変更するアライナ5が設けられている。
【0019】
上記真空搬送室2は、大気圧の外部と真空の真空搬送室2との間で出し入れするウェハを経由させる真空予備室6と、上記ウェハに所定の薄膜を形成するCVD(気相成長)装置が設けられた真空処理室7とに接続している。上記真空予備室6と、真空搬送室2と、真空処理室7とは、この順に略一直線上に配置されている。上記真空予備室6と真空搬送室2との間には第1ゲートバルブG1が設けられており、上記真空搬送室2と真空処理室7との間には第2ゲートバルブG2が設けられている。
【0020】
上記ロボットアーム3は、上記真空搬送室2に設けた第1回転軸S1に取り付けられた第1アームA1と、この第1アームA1の先端に第2回転軸S2を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部Hを有する第2アームA2とを含んでいる。上記第1回転軸S1は、上記真空搬送室2に、この真空搬送室2の図1における縦方向の辺の中心を通る中心線C1から下側に、所定距離dだけオフセットして取り付けられている。上記第1および第2回転軸S1,S2は、金属からなる。上記第1回転軸S1は、図示しないステッピングモータである第1モータで直接駆動されるようになっており、上記第2回転軸S2は、上記第1アームA1内部に設けられたベルトを介して、図示しない駆動用モータである第2モータで駆動されるようになっている。上記第1モータおよび第2モータは、上記制御装置4に電気的に接続している。上記ロボットアームは、上記第1回転軸S1に、この回転軸S1の回転角度を検出する図示しない第1角度センサを備え、上記第2回転軸S2に、この回転軸S2の回転角度を検出する図示しない第2角度センサを備える。上記第1角度センサと第2角度センサは、上記制御装置4に電気的に接続している。
【0021】
上記制御装置4は、上記第1角度センサと第2角度センサから、第1回転軸S1および第2回転軸S2の回転角度を示す信号を受け取り、この信号に基いて、上記第1および第2モータを制御するようになっている。より詳しくは、上記制御装置4は、上記第1および第2角度センサからの信号に基いて、ハンド部Hが把持するウェハの中心の位置を算出する。この算出したウェハの中心位置を、予め定められた所定位置のデータと比較して、上記ウェハの中心位置が上記所定位置になるように、上記制御装置4が上記第1および第2モータに供給するパルスを制御する。これによって、上記第1および第2回転軸S1,S2が第1および第2モータによって各々駆動されて、第1および第2回転軸S1,S2の回転角度が所定の回転角度になる。そうすると、上記第1および第2アームA1、A2の回転角度が所定の角度になって、上記第2アームA2の先端のハンド部Hが把持するウェハの中心位置が所定位置になる。
【0022】
さらに、上記制御装置4は、上記ロボットアーム3が、直線搬送区間と、第1曲線搬送区間と、第2曲線搬送区間とを有してウェハを搬送するように、上記第1アームA1および第2アームA2を制御している。上記直線搬送区間は、ロボットアームの第1アームA1と第2アームA2とを、互いに逆向きに回転駆動して、ウェハを直線方向に搬送する区間である。上記第1曲線搬送区間は、上記ロボットアームの第1アームA1を静止させる一方、上記第2アームA2を回転駆動して、ウェハを曲線方向に搬送する区間である。上記第2曲線搬送区間は、上記ロボットアームの第2アームA2を第1アームA1に対して相対的に静止させ、上記第1アームA1を回転駆動して、ウェハを曲線方向に搬送する区間である。
【0023】
上記構成の真空搬送装置1の動作を、ロボットアーム3が、真空処理室7でCVD処理された処理済のウェハを真空予備室6に向って搬送する様子を示した図2(a),(b),(c)を用いて説明する。
【0024】
図2(a),(b),(c)は、ロボットアーム3によって搬送されるウェハの中心が通る軌跡10を示した図であり、簡単のために、上記ロボットアームのハンド部Hが把持するウェハは図示していない。上記ウェハの中心の軌跡10は、上記直線搬送区間に対応する2つの直線軌跡部分11,12と、上記第1曲線搬送区間に対応する2つの第1曲線軌跡部分14,15と、上記第2曲線搬送区間に対応する1つの第2曲線軌跡部分17とからなる。
【0025】
図2(a)は、真空処理装置7でCVD処理されたウェハをロボットアーム3のハンド部Hが把持する際の様子を示した図である。この場合のウェハの中心位置P1から、このウェハはロボットアーム3によって直線方向に搬送されて、ウェハ中心が直線軌跡部分11を描いてウェハ中心位置P2に至る。図2(b)は、上記ウェハの中心がP2に達した際のロボットアーム3の様子を示す図である。ウェハ中心がP2に位置すると、上記ロボットアーム3は、第1アームA1が停止する一方、第2アームA2のみを第2回転軸S2回りに回転駆動する。これによって、上記第2アームA2の先端のハンド部Hに把持されているウェハの中心が、第1曲線軌跡部分14を描いて、ウェハ中心位置P3に至る。図2(c)は、上記ウェハの中心がP3に達した際のロボットアーム3の様子を示す図である。このウェハ中心位置P3において、上記ロボットアーム3は、第1アームA1と第2アームA2とが略一直線上に重なり合う。ウェハ中心がP3に達すると、上記第2アームA2が第1アームA1に対して相対的に停止する一方、第1アーム1を第1回転軸S1回りに回転駆動する。これによって、上記第2アームA2のハンド部Hに把持されているウェハの中心が、第2曲線軌跡部分17を描く。この第2曲線軌跡部分17の略中央位置P4であって、上記第1アームA1と第2アームA2とが真空搬送室2の図2(c)における横方向幅の中心線C2に略一致する位置で、上記第1アームA1の回転動作が一旦停止する。ここで、上記真空処理室7と真空搬送室2との間のゲートバルブG2が閉じる。さらに、上記ウェハが、このウェハ中心位置P4と略同一位置に設けられたアライナ5に載置される。このアライナ5によってウェハを中心回りに回動して、このウェハの中心回りの姿勢を、ウェハが真空予備室6に配置された際に所定の姿勢になる姿勢に変更する。上記アライナ5によるウェハの姿勢変更は、上記真空予備室6から真空処理室7へウェハを搬送するときにも行われる。その後、このウェハをロボットアーム3のハンド部Hが把持し、第2アームA2が第1アームA1に相対的に停止した状態で、上記第1アームA1が第1回転軸S1回りに回って、ウェハの中心が引き続き第2曲線軌跡部分17を描く。そして、上記ウェハは、中心位置がP5に達し、第1アームA1の回転が停止する。ウェハの中心位置P5から中心位置P6までは、第1アームA1の回転が停止した状態で第2アームA2が第2回転軸S2回りに回転して、ウェハ中心の軌跡が第1曲線部分15を描く。その後、ロボットアーム3はウェハを直線方向に搬送して、ウェハの中心位置が、上記P6から直線軌跡部分12を描いてP7まで達する。ウェハの中心位置P7において、ハンド部Hがウェハを真空予備室に配置し、ロボットアーム3が真空予備室から退去する。その後、ゲートバルブG1を閉じて、略真空の真空予備室を大気圧に昇圧し、大気側に配置された移載装置によって真空予備室内のウェハを大気側に取り出す。
【0026】
上記真空搬送装置1は、金属からなる可動部であってコンタミ源となる回転軸の個数が、第1回転軸S1と第2回転軸S2との2個であるので、従来の3個の回転軸を有する真空搬送装置よりも、金属汚染やパーティクルなどのコンタミが生じ難い。さらに、上記制御装置4は、ロボットアームのハンド部Hを真空予備室と真空処理室との間で動作させる際、上記第1アームA1の回転角度を180°未満にしている。これによって、図2(a)に示すように、ロボットアーム3が真空処理室7側に延び切った場合においても、第2回転軸S2はゲートバルブG2内部に留まって真空処理室7内には位置しない。すなわち、コンタミ源となる第2回転軸S2が真空処理室7内に位置しないので、この真空処理室7内の金属汚染やパーティクルなどのコンタミを効果的に防止して、CVD処理の際のウェハの成膜不良を回避できる。
【0027】
また、上記第1アームA1の回転角が180°未満にしているので、ロボットアーム3とこのロボットアーム3によって搬送されるウェハの動作範囲が小さくできる。したがって、真空搬送装置の真空搬送室2が小型にできる。
【0028】
また、上記制御装置4は、上記ロボットアームの把持部Hが把持するウェハの中心が、2つの直線軌跡部分11,12と、2つの第1曲線軌跡部分14,15と、1つの第2曲線軌跡部分17を描くようにロボットアーム3を制御するので、ロボットアームの第1アームA1の回転角度が効果的に180°未満にできる。したがって、ロボットアーム3およびウェハの動作範囲を効果的に小さくでき、また、ロボットアーム3の第2回転軸S2を、効果的にゲートバルブG1および真空搬送室2内部のみに位置するようにできる。したがって、真空搬送室2を効果的に小型にでき、また、真空処理室7のコンタミを効果的に防止できる。
【0029】
また、上記ロボットアーム3は、真空搬送室2に、第1アームA1の第1回転軸S1を真空搬送室2の中央からオフセット量dだけオフセットして配置し、このオフセット側の反対側の真空搬送室2の壁の内面と、上記第1回転軸S1との間に、第1および第2アームA1,A2を通過させている。これによって、動作範囲が比較的大きい第1および第2アームA1,A2を、第1回転軸S1のオフセットの反対側で動作させることができるので、真空搬送室2を大型にすることなくウェハを搬送できる。
【0030】
また、上記真空搬送装置1は、上記真空搬送室2にアライナ5を備え、ロボットアーム3で搬送するウェハをウェハ中心回りに所定の姿勢に変更できる。したがって、上記第1および第2アームA1,A2を有する2リンクのロボットアーム3は、従来の3リンクのロボットアームと同様に、ウェハを真空予備室6および真空処理室7に搬送した際にウェハを所望の姿勢にできる。すなわち、本発明の真空搬送装置1は、従来の3リンクの真空搬送装置と同一の機能を有するにも拘らず、従来よりも簡易な構造で、しかも小型にできる。
【0031】
さらに、上記真空搬送装置1は、ロボットアーム3が2リンクであり、厚みが従来の3リンクのロボットアームの厚みよりも小さいので、図3に示すように真空搬送室2内部の厚みDが小さくできる。したがって、真空搬送室2の容積が小さくできる。上記真空搬送室2は、平面においても従来の真空搬送室よりも小型であるので、容積が効果的に小さくなる。これによって、上記真空搬送室2は、内部へのガスの供給や真空引きが容易かつ迅速に実行できる。すなわち、真空搬送室2は、真空と大気圧とを比較的容易に切替えることができるから、真空予備室として兼用することもできる。この真空予備室に兼用できる真空搬送装置を用いて半導体製造装置を構成すると、別個に真空予備室を設ける必要がないから、半導体製造装置をさらに小型にできる。
【0032】
上記実施形態において、真空予備室6と、真空搬送装置1と、真空処理室7とを一直線に接続したが、図4に示すように、真空搬送装置の1つの真空搬送室21に、2つの真空予備室22,22と、2つの真空処理室23,23とを接続してもよい。図4に示すように、ロボットアーム25によって真空処理室23内のウェハを把持した際に、第2回転軸26を真空搬送室23およびゲートバルブG4内部に位置させて真空処理室23内に入らないようにすることによって、真空処理室23内のコンタミを効果的に防止できる。
【0033】
また、図4の真空処理室23にさらに真空搬送装置を介して他の真空処理室を接続して、複数の真空搬送装置を用いて半導体製造装置を構成してもよい。これによって、ウェハに複数の処理を連続して施すことができる半導体製造装置を、従来よりも小型に構成できる。この場合、本発明の真空搬送装置と従来の真空搬送装置とが混在していてもよい。
【0034】
上記実施形態において、ロボットアーム3の第1および第2回転軸S1,S2は、金属からなるが、金属以外の例えば樹脂からなる回転軸であってもよい。この場合においても、パーティクルやガスが生じる虞がある樹脂製の回転軸は、従来よりも個数が少ないので、真空搬送装置内部の汚染の虞を少なくでき、また、ウェハ搬送の際に第2回転軸が真空処理室内に入らないので、真空処理室の汚染を防止できる。
【0035】
【発明の効果】
以上より明らかなように、請求項1の発明の真空搬送装置によれば、真空処理室にゲートバルブを介して連なる真空搬送室と、上記真空搬送室内に設けた第1回転軸に取り付けられた回転可能な第1アームと、この第1アームの先端に第2回転軸を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部を有する回転可能な第2アームとを含むロボットアームとを備え、上記第2回転軸が、上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するよう構成されているので、コンタミ源となる回転軸の個数が、従来の3個よりも少ない2個であるから、従来の真空搬送装置よりもコンタミが生じ難く、また、コンタミ源となる第2回転軸が真空処理室内に入らないから、この真空処理室のコンタミを防止できて、コンタミによるウェハの処理不良が防止できる。
【0036】
請求項2の発明の真空搬送装置によれば、上記第1アームの回転角度が、上記真空処理室にハンド部を位置させる場合と、上記真空準備室にハンド部を位置させる場合との間で180°未満になるように制御して、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと上記真空搬送室の内部のみに位置するように制御する制御装置を備えるので、上記第1アームの動作範囲を小さくしてロボットアームおよびウェハの動作範囲を小さくできるから、真空搬送室のウェハの搬送方向の寸法を小さくできる。しかも、上記第1アームの回転角度を180°未満にして、コンタミ源であるロボットアームの第2回転軸が真空処理室に入ることを防止できるから、コンタミによるウェハの処理不良を回避できる。
【0037】
請求項3の発明の真空搬送装置によれば、上記制御装置は、上記ロボットアームが、上記第1アームと第2アームとを互いに逆向きに回転駆動して上記ウェハを直線方向に搬送する直線搬送区間と、上記第1アームを静止させて第2アームのみを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第1曲線搬送区間と、上記第2アームを第1アームに相対的に静止させて第1アームを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第2曲線搬送区間とを有して上記ウェハを搬送するように、上記第1アームと第2アームを制御するので、上記第1アームの回転角度が確実に180°未満にでき、かつ、上記第2回転軸が上記ゲートバルブと真空搬送室の内部のみに位置するようにできるから、上記真空搬送室を効果的に小型にでき、かつ、コンタミによるウェハの処理不良が効果的に防止できる。
【0038】
請求項4の発明の真空搬送装置によれば、上記第1回転軸が、上記真空搬送室の中心からオフセットしているので、上記第1回転軸と、この第1回転軸のオフセット方向と反対側に位置する真空搬送室の壁の内面との間に、ウェハや第1アームや第2アームを通過させることによって、真空搬送室を大きくすることなくウェハを搬送できる。
【0039】
請求項5の発明の真空搬送装置によれば、上記ウェハの中心回りの姿勢を変更するアライナを備えたので、上記ウェハを所定の位置に搬送する際に、ウェハが所望の姿勢になるようにできるから、従来のアームを3つ有する3リンク型のロボットアームと同様に、ウェハを真空処理室などに所定の姿勢で搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の真空搬送装置を示す図である。
【図2】図2(a)は、真空搬送装置のロボットアームの把持部が真空処理室内に位置する様子を示した図であり、図2(b)、(c)は、ウェハを真空処理室から真空予備室に向けて搬送する過程において、異なるロボットアームの位置を示した図である。
【図3】真空搬送装置の断面図を示す図である。
【図4】他の実施形態の真空搬送装置を示す図である。
【符号の説明】
1 真空搬送装置
2 真空搬送室
3 ロボットアーム
4 制御装置
5 アライナ
6 真空予備室
7 真空処理室
10 ウェハ中心の軌跡
11 直線軌跡部分
12 直線軌跡部分
14 第1曲線軌跡部分
15 第1曲線軌跡部分
17 第2曲線軌跡部分
A1 第1アーム
A2 第2アーム
S1 第1回転軸
S2 第2回転軸
H ウェハの把持部
C1 真空搬送室の縦方向の辺の中心を通る中心線
C2 真空搬送室の横方向の辺の中心を通る中心線
G1 ゲートバルブ
G2 ゲートバルブ
Claims (5)
- 真空処理室(7)にゲートバルブ(G2)を介して連なる真空搬送室(2)と、
上記真空搬送室(2)内に設けた第1回転軸(S1)に取り付けられた回転可能な第1アーム(A1)と、この第1アーム(A1)の先端に第2回転軸(S2)を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部(H)を有する回転可能な第2アーム(A2)とを含むロボットアーム(3)とを備え、
上記第2回転軸(S2)が、上記ゲートバルブ(G2)と上記真空搬送室(2)の内部のみに位置するよう構成されていることを特徴とする真空搬送装置。 - 真空処理室(7)および真空準備室(6)にゲートバルブ(G2,G1)を介して略一直線上に配置された真空搬送室(2)と、
上記真空搬送室(2)内に設けた第1回転軸(S1)に取り付けられた回転可能な第1アーム(A1)と、この第1アーム(A1)の先端に第2回転軸(S2)を介して取り付けられると共に、先端にウェハを把持するハンド部(H)を有する回転可能な第2アーム(A2)とを含むロボットアーム(3)とを備え、
上記第2回転軸(S2)が、上記ゲートバルブ(G2)と上記真空搬送室(2)の内部のみに位置するよう構成され、
上記第1アーム(A1)の回転角度が、上記真空処理室(7)にハンド部(H)を位置させる場合と、上記真空準備室(6)にハンド部(H)を位置させる場合との間で180°未満になるように制御して、上記第2回転軸(S2)が上記ゲートバルブ(G2)と上記真空搬送室(2)の内部のみに位置するように制御する制御装置(4)を備えることを特徴とする真空搬送装置。 - 請求項1または2に記載の真空搬送装置において、
上記制御装置(4)は、上記ロボットアーム(3)が、
上記第1アーム(A1)と第2アーム(A2)とを互いに逆向きに回転駆動して上記ウェハを直線方向に搬送する直線搬送区間と、
上記第1アームを静止させて第2アームのみを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第1曲線搬送区間と、
上記第2アームを第1アームに対して相対的に静止させて第1アームを回転駆動して、上記ウェハを曲線方向に搬送する第2曲線搬送区間とを有して上記ウェハを搬送するように、上記第1アーム(A1)と第2アーム(A2)を制御することを特徴とする真空搬送装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1つに記載の真空搬送装置において、
上記第1回転軸(S1)が、上記真空搬送室(2)の中心からオフセットしていることを特徴とする真空搬送装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1つに記載の真空搬送装置において、
上記ウェハの中心回りの姿勢を変更するアライナ(5)を備えたことを特徴とする真空搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001078188A JP3565177B2 (ja) | 2001-03-19 | 2001-03-19 | 真空搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001078188A JP3565177B2 (ja) | 2001-03-19 | 2001-03-19 | 真空搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002280437A JP2002280437A (ja) | 2002-09-27 |
JP3565177B2 true JP3565177B2 (ja) | 2004-09-15 |
Family
ID=18934838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001078188A Expired - Fee Related JP3565177B2 (ja) | 2001-03-19 | 2001-03-19 | 真空搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3565177B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004235549A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Rorze Corp | 薄板状物搬送ロボット及び薄板状物処理装置 |
JP4098338B2 (ja) | 2006-07-20 | 2008-06-11 | 川崎重工業株式会社 | ウェハ移載装置および基板移載装置 |
-
2001
- 2001-03-19 JP JP2001078188A patent/JP3565177B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002280437A (ja) | 2002-09-27 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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