JP3558352B2 - 冗長メモリセルを備えたメモリ - Google Patents
冗長メモリセルを備えたメモリ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3558352B2 JP3558352B2 JP05528593A JP5528593A JP3558352B2 JP 3558352 B2 JP3558352 B2 JP 3558352B2 JP 05528593 A JP05528593 A JP 05528593A JP 5528593 A JP5528593 A JP 5528593A JP 3558352 B2 JP3558352 B2 JP 3558352B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- memory cell
- redundant memory
- signal
- group
- redundant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Static Random-Access Memory (AREA)
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、不良メモリセルグループと置き換えられる冗長メモリセルグループの良否を検査するための機能を有する冗長メモリセル選択回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
最近、半導体メモリ装置の大容量化に伴い、メモリセルグループの高密度化、高集積化が進んでいる。このような半導体メモリ装置においては、冗長メモリセル選択回路が不良メモリセルグループを冗長メモリセルグループに置き換えることにより、半導体メモリ装置を良品として救済し歩留まりを向上させる技術が使われている。冗長メモリセルグループを多く有する冗長メモリセル選択回路の場合には、製作された冗長メモリセルグループのすべてが必ずしも正常に動作するものであるとは限らない。このため、冗長メモリセルグループに置き換える前に冗長メモリセルグループの良否を検査する機能を有し、正常な冗長メモリセルグループのみを不良メモリセルグループと置き換える冗長メモリセル選択回路が発明者等により特開昭63−206999号公報に提案されている。
【0003】
以下、上記従来例に係る冗長メモリセル選択回路について図5を参照しながら説明する。
【0004】
図5は従来例に係る冗長メモリセル選択回路の冗長メモリセルテスト回路ブロック51を示しており、該冗長メモリセルテスト回路ブロックは冗長メモリセル選択回路の冗長メモリセルグループの良否を検査するものである。
【0005】
図5において、A1,A2は冗長メモリセル選択用入力信号であるアドレス信号、Bは制御信号、Cは冗長メモリセル選択用出力信号、Dは冗長メモリセルテスト用制御信号、F1,F2は冗長メモリセル選択用ヒューズ、QP1〜QP6はPチャネル型MOSトランジスタ、QN1〜QN7はNチャネル型MOSトランジスタ、51は冗長メモリセルテスト回路ブロック、52は選択用ヒューズ回路ブロック、VCCは電源電圧、VSSは接地電圧である。
【0006】
従来例に係る冗長メモリセル選択回路では、冗長メモリセル選択用出力信号Cが論理電圧“Low(以下、Lと記す)”のとき通常のメモリセルグループが選択され、冗長メモリセル選択用出力信号Cが論理電圧“High(以下、Hと記す)”のとき冗長メモリセルグループが選択される。
【0007】
以下、従来例に係る冗長メモリセル選択回路の動作について説明する。
【0008】
冗長メモリセルテスト用制御信号Dはフローティング状態となっている。この状況下で、Pチャネル型MOSトランジスタQP2がオンしている。このため、Nチャネル型MOSトランジスタQN3のゲートが論理電圧“H”となり、Nチャネル型MOSトランジスタQN3はオン状態となり、Pチャネル型MOSトランジスタQP3のゲートが論理電圧“L”となり、Pチャネル型MOSトランジスタQP3はオン状態となり、そして、Nチャネル型MOSトランジスタQN7のゲートが論理電圧“L”となり、Nチャネル型MOSトランジスタQN7はオフ状態となる。このため、Pチャネル型MOSトランジスタQP1のドレインの論理電圧と同じ論理電圧の信号が冗長メモリセル選択用出力信号Cとなる。
【0009】
初めに、選択用ヒューズ回路ブロック52のヒューズが切断されている場合の冗長メモリセル選択回路の動作について説明する。
【0010】
まず、初期状態として制御信号Bを論理電圧“L”にすると、Pチャネル型MOSトランジスタQP1がオン状態になる。したがって、Pチャネル型MOSトランジスタQP1のドレインが論理電圧“H”となる。そして、アドレス信号A1,A2のうちの選択されたアドレス信号のみが論理電圧“H”となる。
【0011】
この状況下で、選択されたアドレス信号に対応したヒューズが切断されていない場合、Pチャネル型MOSトランジスタQP1のドレインが論理電圧“L”となり、冗長メモリセル選択用出力信号Cが論理電圧“L”となる。これにより、メモリセルグループが選択される。
【0012】
一方、選択されたアドレス信号に対応したヒューズが切断されている場合、Pチャネル型MOSトランジスタQP1のドレインが論理電圧“H”となり、冗長メモリセル選択用出力信号Cが論理電圧“H”となる。これによって、冗長メモリセルグループが選択される。
【0013】
このようにして、選択されたアドレス信号によりメモリセルグループ及び冗長メモリセルグループのいずれかを選択することができる。
【0014】
次に、選択用ヒューズ回路ブロック52のヒューズを切断せずに冗長メモリセルグループを選択する場合の冗長メモリセル選択回路の動作について説明する。
【0015】
まず、冗長メモリセルテスト用制御信号Dを論理電圧“L”にする。この状況下では、Nチャネル型MOSトランジスタQN3のゲートが論理電圧“L”となり、Nチャネル型MOSトランジスタQN3はオフ状態となり、Pチャネル型MOSトランジスタQP3のゲートが論理電圧“H”となり、Pチャネル型MOSトランジスタQP3はオフ状態となり、そして、Nチャネル型MOSトランジスタQN7のゲートが論理電圧“H”となり、Nチャネル型MOSトランジスタQN7はオン状態となる。このため、冗長メモリセル選択用出力信号Cは常に論理電圧“H”となる。これにより、アドレス信号A1,A2が選択されているか否か、ヒューズF1,F2が接続されているか切断されているかに関係なく、冗長メモリセルグループが選択される。
【0016】
以上のように、従来例に係る冗長メモリセル選択回路においては、冗長メモリセルテスト用制御信号Dを論理電圧“L”とすることで、選択用ヒューズ回路ブロックのヒューズを切断することなく冗長メモリセルグループを選択することができ、冗長メモリセルグループが正常に動作するかどうかを確認できる。実際には、この冗長メモリセルテスト用制御信号Dに対応して外部制御端子が設けられ、デバイスの組み立て前のプローブ検査時に該外部制御端子を使用して冗長メモリセルグループの検査が行なわれる。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような従来例に係る冗長メモリセル選択回路においては、冗長メモリセルグループの良否を検査するための冗長メモリセルテスト回路ブロックは、1つの冗長メモリセルグループを選択しようとすると、1つの冗長メモリセルテスト用制御信号Dが必要である。このため、冗長メモリセルグループが多くなると、それらの冗長メモリセルグループを選択するための冗長メモリセルテスト用制御信号Dの数も冗長メモリセルグループの数だけ多く必要となる。このため、上記冗長メモリセルテスト用制御信号Dに対応して外部制御端子を設け、デバイスの組み立て前のプローブ検査時に該外部制御端子を使用して冗長メモリセルグループを検査を行なうとすると、多くの外部制御端子が必要となり半導体メモリ装置のチップ面積が増大するという問題がある。ひいては、半導体メモリ装置のコストが高くなるという問題がある。
【0018】
さらに、上記外部制御端子を制御するためにプローブ検査装置において制御端子が多く必要となり、プローブ検査装置のコストが高くなるという問題がある。本発明は、上記に鑑みなされたものであって、チップ面積の増大を抑制し、検査時のコストを低下させ、安価で高歩留まりの冗長メモリセル選択回路を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、請求項1の発明は、複数の冗長メモリセルグループの選択を1つの冗長メモリセルテスト用制御信号と複数のアドレス信号とによって行なうものである。
【0020】
上記の課題を解決するために、請求項1の発明が講じた解決手段は、
行方向の複数の冗長メモリセルを有する冗長メモリセルグループが複数設けられた第1の冗長メモリセルグループ群と、
列方向の複数の冗長メモリセルを有する冗長メモリセルグループが複数設けられた第2の冗長メモリセルグループ群と、
メモリの通常動作時に上記複数の冗長メモリセルグループの何れかが使用される場合に、上記複数の冗長メモリセルグループのうちの少なくとも何れか1つの選択を示す通常動作時選択信号を出力する複数の通常動作時選択用ヒューズ回路ブロックと、
各上記通常動作時選択信号と、1つの冗長メモリセルテスト用制御信号と、メモリの通常動作時に用いられるアドレス信号のうちの所定のアドレス信号とに基づいて、
メモリの通常動作時に、上記各通常動作時選択信号をそれぞれそのまま冗長メモリセルグループ選択信号として出力する一方、
メモリのテスト動作時に、上記所定のアドレス信号に基づいて決定される、上記第1の冗長メモリセルグループ群、および上記第2の冗長メモリセルグループ群に含まれる上記複数の冗長メモリセルグループのうちの少なくとも何れか1つの選択を示す冗長メモリセルグループ選択信号を出力する冗長メモリセルテスト回路ブロックとを備え、
上記冗長メモリセルテスト回路ブロックにおける、上記第1の冗長メモリセルグループ群に含まれる上記複数の冗長メモリセルグループのうちの少なくとも何れか1つを選択するアドレス信号と、上記第2の冗長メモリセルグループ群に含まれる上記複数の冗長メモリセルグループのうちの少なくとも何れか1つを選択するアドレス信号とが、共通のアドレス信号であることを特徴とする。
【0021】
また、請求項2の発明は、
請求項1のメモリであって、
上記冗長メモリセルテスト回路ブロックが、1つの上記所定のアドレス信号と、その論理反転信号とに基づいて、上記選択される冗長メモリセルグループが、上記第1の冗長メモリセルグループ群、または上記第2の冗長メモリセルグループ群の何れに属するものであるかを決定するように構成されたことを特徴とする。
【0022】
また、請求項3の発明は、
請求項1または請求項2の何れか1つのメモリであって、さらに、
第1の外部入力信号と第2の外部入力信号とが入力され、上記第1の外部入力信号の立ち上がり時または立ち下がり時の何れか一方と他方とにおける上記第2の外部入力信号の論理レベルが互いに異なるときに、メモリのテスト動作時であることを示す上記冗長メモリセルテスト用制御信号を出力する制御信号発生回路を備えたことを特徴とする。
【0025】
【作用】
請求項1の発明によると、冗長メモリセルグループの良否を検査する場合において、冗長メモリセルテスト回路ブロックが、1つの冗長メモリセルテスト用制御信号とアドレス信号との組み合わせによって冗長メモリセルグループ選択信号を出力することにより、第1の冗長メモリセルグループ群に含まれる行方向の複数の冗長メモリセルを有する冗長メモリセルグループと、第2の冗長メモリセルグループ群に含まれる列方向の複数の冗長メモリセルを有する冗長メモリセルグループとのうちの少なくとも何れか1つを選択することができる。
すなわち、第1の冗長メモリセルグループ群に含まれる複数の冗長メモリセルグループのうちの何れか1つを選択するアドレス信号と、第2の冗長メモリセルグループ群に含まれる複数の冗長メモリセルグループのうちの何れか1つを選択するアドレス信号とに共通のアドレス信号を用い得るようにすることによって、第1の冗長メモリセルグループ群、または第2の冗長メモリセルグループ群の選択にも、同じアドレス信号が用いられるようにすることができる。それゆえ、冗長メモリセルテスト用制御信号のために1つの外部制御端子を設けるだけで、複数の冗長メモリセルグループからなる冗長メモリセルグループ群ごとに各冗長メモリセルグループを選択して、正常に動作するか否かを検査することができる。よって、デバイスのチップ面積の増大を抑制し、プローブ検査装置のコストを低く抑え、安価で高歩留まりのメモリを製造することが可能になる。
【0026】
請求項2の発明によると、1つのアドレス信号と、その論理反転信号とに基づいて、選択される冗長メモリセルグループが上記第1の冗長メモリセルグループ群、または上記第2の冗長メモリセルグループ群の何れに属するものであるかが決定されるので、適切な冗長メモリセルグループの選択を容易に行わせることができる。
【0027】
請求項3の発明によると、さらに、制御信号発生回路が、第1の外部入力信号の立ち上がり、立ち下がり時における第2の外部入力信号の論理レベルが互いに異なるときに、冗長メモリセルテスト用制御信号を出力するので、他の動作を制御するための入力信号を流用して、すなわち外部端子を増やすことなく冗長メモリセルグループの検査をすることができる。
【0028】
【実施例】
(第1の実施例)
本発明の第1の実施例に係る冗長メモリセル選択回路について図1を参照しながら説明する。
【0029】
図1は上記第1の実施例に係る冗長メモリセル選択回路が内蔵する冗長メモリセルテスト回路ブロックを示している。
【0030】
図1において、A1〜A4は冗長メモリセル選択用入力信号であるアドレス信号、Bは制御信号、C1,C2は冗長メモリセル選択用出力信号、Dは冗長メモリセルテスト用制御信号、F111〜F114,F121〜F124は冗長メモリセル選択用ヒューズ、QP101,QP111,QP112はPチャネル型MOSトランジスタ、QN111〜QN114,QN121〜QN124はNチャネル型MOSトランジスタ、11は冗長メモリセルテスト回路ブロック、12は選択用ヒューズ回路ブロック、N11,N12はノード、VCCは電源電圧、VSSは接地電圧である。
【0031】
第1の実施例に係る冗長メモリセル選択回路は、1つの冗長メモリセルテスト回路ブロック11と2つの選択用ヒューズ回路ブロック12とを備えている。
【0032】
第1の選択用ヒューズ回路ブロック12において、ノードN11と接地電圧VSSの端子との間には、ヒューズF111とNチャネル型MOSトランジスタQN111とが直列に接続されており、同様に、ヒューズF112とNチャネル型MOSトランジスタQN112とが直列に接続され、ヒューズF113とNチャネル型MOSトランジスタQN113とが直列に接続され、ヒューズF114とNチャネル型MOSトランジスタQN114とが直列に接続されており、フューズF111,F112,F113及びF114はノードN11により接続されている。また、Nチャネル型MOSトランジスタQN111のゲートにアドレス信号A1が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN112のゲートにアドレス信号A2が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN113のゲートにアドレス信号A3が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN114のゲートにアドレス信号A4が入力されている。さらに、ノードN11と電源電圧VCCの端子との間にPチャネル型MOSトランジスタQP111が接続され、Pチャネル型MOSトランジスタQP111のゲートに制御信号Bが入力されている。
【0033】
これと同様に、第2の選択用ヒューズ回路ブロック12において、ノードN12と接地電圧VSSの端子との間には、ヒューズF121とNチャネル型MOSトランジスタQN121とが直列に接続され、ヒューズF122とNチャネル型MOSトランジスタQN122とが直列に接続され、ヒューズF123とNチャネル型MOSトランジスタQN123とが直列に接続され、ヒューズF124とNチャネル型MOSトランジスタQN124とが直列に接続されており、フューズF121,F122,F123及びF124はノードN12により接続されている。また、Nチャネル型MOSトランジスタQN121のゲートにアドレス信号A1が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN122のゲートにアドレス信号A2が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN123のゲートにアドレス信号A3が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN124のゲートにアドレス信号A4が入力されている。さらに、ノードN12と電源電圧VCCの端子との間にPチャネル型MOSトランジスタQP112が接続され、Pチャネル型MOSトランジスタQP112のゲートに制御信号Bが入力されている。
【0034】
また、冗長メモリセルテスト回路ブロック11においては、冗長メモリセルテスト用制御信号Dの端子と電源電圧VCCの端子との間にPチャネル型MOSトランジスタQP101が接続され、Pチャネル型MOSトランジスタQP101のゲートに接地電圧VSSが入力されている。冗長メモリセルテスト用制御信号Dの否定信号及びアドレス信号A1の論理積の否定信号と、ノードN11の論理電圧の否定信号との論理積の否定信号が冗長メモリセル選択用出力信号C1として出力される。一方、冗長メモリセルテスト用制御信号Dの否定信号及びアドレス信号A2の論理積の否定信号と、ノードN12の論理電圧の否定信号との論理積の否定信号が冗長メモリセル選択用出力信号C2として出力される。
【0035】
第1の実施例では、冗長メモリセル選択回路は2つの冗長メモリセルグループを選択できる。冗長メモリセルテスト回路ブロック11は2つの冗長メモリセル選択用出力信号C1,C2を出力し、各冗長メモリセル選択用出力信号が論理電圧“L”であるとき通常のメモリセルグループが選択される。また、各冗長メモリセル選択用出力信号が論理電圧“H”であるとき当該冗長メモリセル選択用出力信号に接続された冗長メモリセルグループが選択される。
【0036】
以下、第1の実施例に係る冗長メモリセル選択回路の動作に説明する。
【0037】
まず、冗長メモリセル選択回路の通常の動作について説明する。
【0038】
通常、冗長メモリセルテスト用制御信号Dに対応して外部端子が設けられており、該外部端子はフローティング状態となっている。そのため、ゲートに接地電圧VSSが入力されたPチャネル型MOSトランジスタQP101により、冗長メモリセルテスト用制御信号Dは電源電圧VCCと同電位となり即ち論理電圧“H”となる。
【0039】
冗長メモリセルテスト用制御信号Dが論理電圧“H”となると、冗長メモリセル選択用出力信号C1,C2の端子には、ノードN11,N12と同じ論理電圧の信号がそれぞれ出力される。
【0040】
冗長メモリセルテスト用制御信号Dが論理電圧“H”である状態で、まず、初期状態として、制御信号Bが論理電圧“L”にされる。これにより、Pチャネル型MOSトランジスタQP111,QP112がオン状態となり、したがって、Pチャネル型MOSトランジスタQP111,QP112のドレインが論理電圧“H”となる。
【0041】
ここで、アドレス信号A1〜A4のうちの選択されたアドレス信号のみが論理電圧“H”とされ、制御信号Bが論理電圧“H”とされる。通常、Pチャネル型MOSトランジスタQP111,QP112の能力をNチャネル型MOSトランジスタQN111〜QN124の能力よりも大きくしておくことにより、アドレス信号はノードN11,N12を論理電圧”H”とする。
【0042】
この状況下で、選択されたアドレス信号に対応するヒューズが切断されていない場合には、Pチャネル型MOSトランジスタQP111,QP112のドレインすなわちノードN11,N12が論理電圧“L”となり、冗長メモリセル選択用出力信号C1,C2が論理電圧“L”となり、通常のメモリセルグループが選択される。
【0043】
一方、選択されたアドレス信号に対応するヒューズが切断されている場合、Pチャネル型MOSトランジスタQP111(またはQP112)のドレインが論理電圧“H”となり、冗長メモリセル選択用出力信号C1(またはC2)が論理電圧“H”となり、冗長メモリセルグループが選択される。
【0044】
このようにして、選択されたアドレス信号により、通常のメモリセルグループと冗長メモリセルグループとのいずれかを選択することができるようになっている。
【0045】
次に、選択用ヒューズ回路ブロックのヒューズを切断せずに冗長メモリセルグループを選択する場合の冗長メモリセル選択回路の動作について説明する。
【0046】
この場合には、冗長メモリセルテスト用制御信号Dが論理電圧“L”にされる。そして、アドレス信号A1(またはA2)が論理電圧“H”の選択状態とされる。これにより、冗長メモリセル選択用出力信号C1(またはC2)が論理電圧“H”となり、冗長メモリセルグループが選択される。
【0047】
このように、冗長メモリセルテスト用制御信号Dが論理電圧“L”とされ、アドレス信号A1が論理電圧“H”とされることにより、冗長メモリセル選択用出力信号C1が論理電圧“H”となり、冗長メモリセル選択用出力信号C1で選択される冗長メモリセルグループの検査が行なわれる。冗長メモリセルテスト用制御信号Dが論理電圧“L”とされ、アドレス信号A2が論理電圧“H”とされることにより、冗長メモリセル選択用出力信号C2が論理電圧“H”となり、冗長メモリセル選択用出力信号C2で選択される冗長メモリセルグループの検査が行なわれる。
【0048】
以上のように、第1の実施例に係る冗長メモリセル選択回路においては、ヒューズF111〜F124が接続されているか切断されているかに関係なく、冗長メモリセルグループを選択することができる。冗長メモリセルテスト用制御信号Dが論理電圧“L”とされアドレス信号A1またはA2が選択されることによって、選択用ヒューズ回路ブロックのヒューズを切断することなく冗長メモリセルグループを選択することができ、各冗長メモリセルグループが正常に動作するかどうかを確認できる。この冗長メモリセルテスト用制御信号Dに対応して外部制御端子が設けられ、デバイスの組み立て前のプローブ検査時に冗長メモリセルテスト用制御信号Dを論理電圧“L”にすることによって、各冗長メモリセルグループの検査を行なうことができる。
【0049】
(第2の実施例)
以下、本発明の第2の実施例に係る冗長メモリセル選択回路について図2を参照しながら説明する。
【0050】
図2は上記第2の実施例に係る冗長メモリセル選択回路が内蔵する冗長メモリセルテスト回路ブロックを示している。
【0051】
図2において、A1〜A4は冗長メモリセル選択用入力信号であるアドレス信号、Bは制御信号、CR1,CR2,CC1,CC2は冗長メモリセル選択用出力信号、Dは冗長メモリセルテスト用制御信号、F211〜F214,F221〜F224F,231〜F234,F241〜F244は冗長メモリセル選択用ヒューズ、QP201,QP211〜QP214はPチャネル型MOSトランジスタ、QN211〜QN214,QN221〜QN224,QN231〜QN234,QN241〜QN244はNチャネル型MOSトランジスタ、21は冗長メモリセルテスト回路ブロック、22は選択用ヒューズ回路ブロック、N21〜N24はノード、VCCは電源電圧、VSSは接地電圧である。
【0052】
第2の実施例に係る冗長メモリセル選択回路は、1つの冗長メモリセルテスト回路ブロック21と4つの選択用ヒューズ回路ブロック22とを備えている。
【0053】
第1の選択用ヒューズ回路ブロック22において、ノードN21と接地電圧VSSの端子との間には、ヒューズF211とNチャネル型MOSトランジスタQN211とが直列に接続されており、同様に、ヒューズF212とNチャネル型MOSトランジスタQN212とが直列に接続され、ヒューズF213とNチャネル型MOSトランジスタQN213とが直列に接続され、ヒューズF214とNチャネル型MOSトランジスタQN214とが直列に接続されており、フューズF211,F212,F213及びF214はノードN21により接続されている。また、Nチャネル型MOSトランジスタQN211のゲートにアドレス信号A1が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN212のゲートにアドレス信号A2が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN213のゲートにアドレス信号A3が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN214のゲートにアドレス信号A4が入力されている。さらに、ノードN21と電源電圧VCCの端子との間にPチャネル型MOSトランジスタQP211が接続され、Pチャネル型MOSトランジスタQP211のゲートに制御信号Bが入力されている。
【0054】
第2の選択用ヒューズ回路ブロック22において、ノードN22と接地電圧VSSの端子との間には、ヒューズF221とNチャネル型MOSトランジスタQN221とが直列に接続され、ヒューズF222とNチャネル型MOSトランジスタQN222とが直列に接続され、ヒューズF223とNチャネル型MOSトランジスタQN223とが直列に接続され、ヒューズF224とNチャネル型MOSトランジスタQN224とが直列に接続されており、フューズF221,F222,F223及びF224はノードN22により接続されている。また、Nチャネル型MOSトランジスタQN212のゲートにアドレス信号A1が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN222のゲートにアドレス信号A2が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN223のゲートにアドレス信号A3が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN224のゲートにアドレス信号A4が入力されている。さらに、ノードN22と電源電圧VCCの端子との間にPチャネル型MOSトランジスタQP212が接続され、Pチャネル型MOSトランジスタQP212のゲートに制御信号Bが入力されている。
【0055】
第3の選択用ヒューズ回路ブロック22において、ノードN23と接地電圧VSSの端子との間には、ヒューズF231とNチャネル型MOSトランジスタQN231とが直列に接続され、ヒューズF232とNチャネル型MOSトランジスタQN232とが直列に接続され、ヒューズF233とNチャネル型MOSトランジスタQN233とが直列に接続され、ヒューズF234とNチャネル型MOSトランジスタQN234とが直列に接続されており、フューズF231,F232,F233及びF234はノードN23により接続されている。また、Nチャネル型MOSトランジスタQN231のゲートにアドレス信号A1が入力され、QN232のゲートにアドレス信号A2が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN233のゲートにアドレス信号A3が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN234のゲートにアドレス信号A4が入力されている。さらに、ノードN23と電源電圧VCCの端子との間にPチャネル型MOSトランジスタQP213が接続され、Pチャネル型MOSトランジスタQP213のゲートに制御信号Bが入力されている。
【0056】
第4の選択用ヒューズ回路ブロック22において、ノードN24と接地電圧VSSの端子との間には、ヒューズF241とNチャネル型MOSトランジスタQN241とが直列に接続され、ヒューズF242とNチャネル型MOSトランジスタQN242とが直列に接続され、ヒューズF243とNチャネル型MOSトランジスタQN243とが直列に接続され、ヒューズF244とNチャネル型MOSトランジスタQN244がとが直列に接続されており、フューズF211,F212,F213及びF214はノードN21により接続されている。また、Nチャネル型MOSトランジスタQN212のゲートにアドレス信号A1が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN242のゲートにアドレス信号A2が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN243のゲートにアドレス信号A3が入力され、Nチャネル型MOSトランジスタQN244のゲートにアドレス信号A4が入力されている。さらに、ノードN24と電源電圧VCCの端子との間にPチャネル型MOSトランジスタQP214が接続され、Pチャネル型MOSトランジスタQP214のゲートに制御信号Bが入力されている。
【0057】
また、冗長メモリセルテスト回路ブロック21においては、冗長メモリセルテスト用制御信号Dの端子と電源電圧VCCの端子との間にPチャネル型MOSトランジスタQP201が接続されており、Pチャネル型MOSトランジスタQP201のゲートに接地電圧VSSが入力されている。冗長メモリセルテスト用制御信号Dの否定信号,アドレス信号A1及びアドレス信号A3の否定信号の論理積の否定信号と、ノードN21の論理信号の否定信号との論理積の否定信号が列方向の冗長メモリセル選択用出力信号CR1として出力される。同様に、冗長メモリセルテスト用制御信号Dの否定信号,アドレス信号A2及びアドレス信号A3の否定信号との論理積の否定信号と、ノードN22の論理信号の否定信号との論理積の否定信号が列方向の冗長メモリセル選択用出力信号CR2として出力される。一方、冗長メモリセルテスト用制御信号Dの否定信号,アドレス信号A1及びアドレス信号A3の論理積の否定信号と、ノードN23の論理信号の否定信号との論理積の否定信号が行方向の冗長メモリセル選択用出力信号CC1として出力される。冗長メモリセルテスト用制御信号Dの否定信号,アドレス信号A2及びアドレス信号A3の論理積の否定信号と、ノードN24の論理信号の否定信号との論理積の否定信号が行方向の冗長メモリセル選択用出力信号CC2として出力される。
【0058】
第2の実施例では、冗長メモリセル選択回路は、冗長メモリセルグループを行方向と列方向との両方向に有するものである。行方向の冗長メモリセルグループ及び列方向の冗長メモリセルグループのうちのいずれかの選択は、冗長メモリセルテスト回路ブロック21へ入力されるアドレス信号によって決定される。ここでは、冗長メモリセル選択用出力信号CR1,CR2が列方向の2つの冗長メモリセルグループの選択に用いられ、冗長メモリセル選択用出力信号CC1,CC2が行方向の2つの冗長メモリセルグループの選択に用いられる。各冗長メモリセル選択用出力信号が論理電圧“L”であるとき通常のメモリセルが選択され、各冗長メモリセル選択用出力信号が論理電圧“H”であるとき当該冗長メモリセル選択用出力信号の伝送線に接続された冗長メモリセルグループが選択される。
【0059】
以下、第2の実施例に係る冗長メモリセル選択回路の動作について説明する。
【0060】
まず、冗長メモリセル選択回路の通常の動作について説明する。
【0061】
通常、冗長メモリセルテスト用制御信号Dの端子はフローティング状態となっている。この状況下では、Pチャネル型MOSトランジスタQP201がオン状態であるので、冗長メモリセルテスト用制御信号Dは論理電圧“H”となっている。このため、冗長メモリセル選択用出力信号CR1,CR2,CC1,CC2の端子には、ノードN21,N22,N23,N24と同じ論理電圧の信号がそれぞれ出力される。
【0062】
ここで、まず、初期状態として、制御信号Bが論理電圧“L”にされる。これによって、Pチャネル型MOSトランジスタQP211〜QP214がオン状態となる。すなわち、Pチャネル型MOSトランジスタQP211〜QP214のドレインが論理電圧“H”となる。ここで、アドレス信号A1〜A4のうちの選択されたアドレス信号のみが論理電圧“H”とされる。
【0063】
この状況下で、選択されたアドレス信号に対応するヒューズが切断されていない場合、Pチャネル型MOSトランジスタQP211〜QP214のドレインが論理電圧“L”となり、冗長メモリセル選択用出力信号CR1,CR2,CC1,CC2が論理電圧“L”となり、通常のメモリセルグループが選択される。
【0064】
一方、選択されたアドレス信号に対応するヒューズが切断されている場合、Pチャネル型MOSトランジスタQP211,QP212,QP213またはQP214のドレインが論理電圧“H”となり、冗長メモリセル選択用出力信号CR1,CR2,CC1またはCC2が論理電圧“H”となり、冗長メモリセルグループが選択される。
【0065】
このようにして、選択されたアドレス信号により、通常のメモリセルグループと冗長メモリセルグループとのいずれかを選択することができる。
【0066】
次に、選択用ヒューズ回路ブロックのヒューズを切断せずに冗長メモリセルグループを選択する場合の冗長メモリセル選択回路の動作について説明する。
【0067】
この場合には、冗長メモリセルテスト用制御信号Dが論理電圧“L”にされる。そして、アドレス信号A1またはA2が論理電圧“H”の選択状態とされ、アドレス信号A3が論理電圧“H”または“L”とされる。これにより、冗長メモリセル選択用出力信号CR1,CR2,CC1またはCC2が論理電圧“H”となり、冗長メモリセルグループが選択される。ここで、アドレス信号A3が論理電圧“L”であるとき列方向の2つの冗長メモリセルグループが選択できる。また、アドレス信号A3が論理電圧“H”であるとき行方向の2つの冗長メモリセルグループが選択できる。このように、ヒューズF211〜F214,F221〜F224,F231〜F234及びF241〜F244が接続されているか切断されているかに関係なく、冗長メモリセルグループが選択される。
【0068】
以上のように、第2の実施例に係る冗長メモリセル選択回路においては、冗長メモリセルテスト用制御信号Dが論理電圧“L”とされ、アドレス信号が所定の論理電圧にされることによって、選択用ヒューズ回路ブロックのヒューズを切断することなく列方向または行方向の冗長メモリセルグループを選択することができ、各冗長メモリセルグループが正常に動作するかどうかを確認できる。冗長メモリセルテスト用制御信号Dに対応して外部制御端子が設けられ、デバイスの組み立て前のプローブ検査時に上記外部制御端子を使用して各冗長メモリセルグループの検査を行なうことができる。
【0069】
(第3の実施例)
以下、本発明の第3の実施例に係る冗長メモリセル選択回路について図3及び図4を参照しながら説明する。
【0070】
図3は上記第3の実施例に係る冗長メモリセル選択回路が内蔵するテスト用制御信号発生回路ブロックを示しており、図4は該テスト用制御信号発生回路ブロックの動作を示す信号波形図である。
【0071】
図3及び図4において、/RASは外部入力信号、MODEはモード切換制御信号、MM,TM,RMはモード制御信号、N31〜N37はノード、QP301はPチャネル型MOSトランジスタ、QN311,QN312はNチャネル型MOSトランジスタ、31,32は信号遷移検知回路、VCCは電源電圧、VSSは接地電圧である。
【0072】
モード制御信号MM,TM,RMは論理電圧“L”の状態時に選択状態となる信号である。モード制御信号MMは入出力が1ビットのモードであるモノモードに対応し、モード制御信号TMは入出力が4ビットのモードであるテトラモードに対応し、モード制御信号RMは、冗長メモリセルテストモードに対応しており、冗長メモリセルテスト用制御信号として用いられる。
【0073】
図3に示すテスト用制御信号発生回路ブロックにおいては、信号遷移検知回路31に外部入力信号/RASの否定信号が入力され、出力信号がノードN31に出力される。また、信号遷移検知回路32に外部入力信号/RASが入力され、出力信号がノードN32に出力される。信号遷移検知回路31及び32は、入力信号と該入力信号から遅延した逆論理電圧信号との論理積を出力するものである。また、モード切換制御信号MODEの端子と電源電圧VCCの端子との間にPチャネル型MOSトランジスタQP301が接続され、Pチャネル型MOSトランジスタQP301のゲートに接地電圧VSSが入力されている。モード切換制御信号MODEの端子とノードN33との間にNチャネル型MOSトランジスタQN311が接続され、Nチャネル型MOSトランジスタQN311のゲートがノードN31である。モード切換制御信号MODEの端子とノードN34との間にNチャネル型MOSトランジスタQN312が接続され、Nチャネル型MOSトランジスタQN312のゲートがノードN32である。ノードN33の論理電圧の否定信号がノードN35に出力され、ノードN35の論理電圧の否定信号がノードN33に出力され、ノードN34の論理電圧の否定信号がノードN36に出力され、ノードN36の論理電圧の否定信号がノードN34に出力され、ノードN36の論理電圧の否定信号がノードN37に出力されている。ノードN35の論理電圧とノードN36の論理電圧との論理積の否定信号がモード制御信号MMとして出力され、ノードN35の論理電圧とノードN37の論理電圧との論理積の否定信号がモード制御信号RMとして出力され、ノードN37の論理電圧の否定信号がモード制御信号TMとして出力されている。
【0074】
信号遷移検知回路31は外部入力信号/RASの立ち下がり時にノードN31に論理電圧“H”のパルス信号を出力する。信号遷移検知回路32は外部入力信号/RASの立ち上がり時にノードN32に論理電圧“H”のパルス信号を出力する。モード切換制御信号MODEは、ノードN31,N32に出力された論理電圧“H”のパルス信号によって、Nチャネル型MOSトランジスタQN311,QN312を通じてノードN33,N34に伝えられる。
【0075】
図4はテスト用制御信号発生回路ブロックの動作を示す信号波形図であり、図4に示すように、CASE1とは、モード切換制御信号MODEが常に論理電圧“H”の状態であることを示し、CASE2とは、モード切換制御信号MODEが常に論理電圧“L”の状態であることを示している。また、CASE3とは、外部入力信号/RASが論理電圧“H”から論理電圧“L”に立ち下がるときモード切換制御信号MODEが論理電圧“L”の状態であり、且つ、外部入力信号/RASが論理電圧“L”から論理電圧“H”に立ち上がるときモード切換制御信号MODEが論理電圧“H”の状態であることを示している。
【0076】
CASE1のとき、モード切換制御信号MODEは論理電圧“H”で保持され、モード制御信号MM,TM,RMはそれぞれ論理電圧“H”,“L”,“H”となり、入出力が4ビットのモードであるテトラモードの通常メモリセルテストモードとなる。
【0077】
CASE2のとき、モード切換制御信号MODEは論理電圧“L”で保持され、モード制御信号MM,TM,RMはそれぞれ論理電圧“L”,“H”,“H”となり、入出力が1ビットのモードであるモノモードの通常メモリセルテストモードとなる。
【0078】
CASE3のとき、モード切換制御信号MODEは外部入力信号/RASの立ち下がり時に論理電圧“L”であり、且つ、外部入力信号/RASの立ち上がり時に論理電圧“H”であり、モード制御信号MM,TM,RMはそれぞれ論理電圧“H”,“L”,“L”となり、入出力が4ビットのテトラモードの冗長メモリセルテストモードとなる。
【0079】
第3の実施例に係る冗長メモリセル選択回路は、第1または第2の実施例に係る冗長メモリセル選択回路に図3に示すテスト用制御信号発生回路ブロックを用いたものであり、モード制御信号RMを冗長メモリセルテスト用制御信号Dとして第1または第2の実施例の冗長メモリセルテスト回路ブロックに入力するものである。
【0080】
以上のように、第3の実施例に係る冗長メモリセル選択回路においては、モード切換制御信号MODEと外部入力信号/RASとの入力タイミングにより、テトラモードの通常メモリセルテストモード、モノモードの通常メモリセルテストモード、テトラモードの冗長メモリセルテストモードの3つのモードを切り換えることができる。即ち、1つのモード切換制御信号で3つのモードを切り換えることが可能となり、少数の外部制御端子ですべての冗長メモリセルグループを検査することができる。ちなみに、外部制御端子1端子で保護回路も含めると約20000μm2 のチップ面積を必要とする。また、外部制御端子が増すに従いプローブ検査装置のコストアップにも繋がる。従って、1つのモード切換制御信号で3つのモードを切り換えることができる第3の実施例に係る冗長メモリセル選択回路によると、チップ面積の縮小とプローブ検査装置の低コスト化に効果がある。
【0083】
また、請求項3の発明に係るメモリによると、第1の外部入力信号の立ち上がり、立ち下がり時における第2の外部入力信号の論理レベルに応じて冗長メモリセルテスト用制御信号が出力されるので、外部端子を増やすことなく冗長メモリセルグループの検査をすることができる。
【0084】
以上のように、本発明によると、少数の外部制御端子ですべての冗長メモリセルグループを選択し検査できるため、デバイスのチップ面積の増大を抑制し、プローブ検査装置のコストを低く抑え、安価で高歩留まりの冗長メモリセル選択回路を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る冗長メモリセル選択回路の冗長メモリセルテスト回路ブロックを示す回路図である。
【図2】本発明の第2の実施例に係る冗長メモリセル選択回路の冗長メモリセルテスト回路ブロックを示す回路図である。
【図3】本発明の第3の実施例に係る冗長メモリセル選択回路のテスト用制御信号発生回路ブロックを示す回路図である。
【図4】上記第3の実施例に係る冗長メモリセル選択回路のテスト用制御信号発生回路ブロックの動作を示す信号波形図である。
【図5】従来例に係る冗長メモリセル選択回路の冗長メモリセルテスト回路ブロックを示す回路図である。
【符号の説明】
11 冗長メモリセルテスト回路ブロック
12 選択用ヒューズ回路ブロック
21 冗長メモリセルテスト回路ブロック
22 選択用ヒューズ回路ブロック
31,32 信号遷移検知回路
A1〜A4 アドレス信号
C1,C2 冗長メモリセル選択用出力信号
CC1,CC2,CR1,CR2 冗長メモリセル選択用出力信号
D 冗長メモリセルテスト用制御信号
N11,N12 ノード
N21〜N24 ノード
/RAS 外部入力信号
MODE モード切換制御信号
MM,TM,RM モード制御信号
Claims (3)
- 行方向の複数の冗長メモリセルを有する冗長メモリセルグループが複数設けられた第1の冗長メモリセルグループ群と、
列方向の複数の冗長メモリセルを有する冗長メモリセルグループが複数設けられた第2の冗長メモリセルグループ群と、
メモリの通常動作時に上記複数の冗長メモリセルグループの何れかが使用される場合に、上記複数の冗長メモリセルグループのうちの少なくとも何れか1つの選択を示す通常動作時選択信号を出力する複数の通常動作時選択用ヒューズ回路ブロックと、
各上記通常動作時選択信号と、1つの冗長メモリセルテスト用制御信号と、メモリの通常動作時に用いられるアドレス信号のうちの所定のアドレス信号とに基づいて、
メモリの通常動作時に、上記各通常動作時選択信号をそれぞれそのまま冗長メモリセルグループ選択信号として出力する一方、
メモリのテスト動作時に、上記所定のアドレス信号に基づいて決定される、上記第1の冗長メモリセルグループ群、および上記第2の冗長メモリセルグループ群に含まれる上記複数の冗長メモリセルグループのうちの少なくとも何れか1つの選択を示す冗長メモリセルグループ選択信号を出力する冗長メモリセルテスト回路ブロックとを備え、
上記冗長メモリセルテスト回路ブロックにおける、上記第1の冗長メモリセルグループ群に含まれる上記複数の冗長メモリセルグループのうちの少なくとも何れか1つを選択するアドレス信号と、上記第2の冗長メモリセルグループ群に含まれる上記複数の冗長メモリセルグループのうちの少なくとも何れか1つを選択するアドレス信号とが、共通のアドレス信号であることを特徴とするメモリ。 - 請求項1のメモリであって、
上記冗長メモリセルテスト回路ブロックが、1つの上記所定のアドレス信号と、その論理反転信号とに基づいて、上記選択される冗長メモリセルグループが、上記第1の冗長メモリセルグループ群、または上記第2の冗長メモリセルグループ群の何れに属するものであるかを決定するように構成されたことを特徴とするメモリ。 - 請求項1または請求項2の何れか1つのメモリであって、さらに、
第1の外部入力信号と第2の外部入力信号とが入力され、上記第1の外部入力信号の立ち上がり時または立ち下がり時の何れか一方と他方とにおける上記第2の外部入力信号の論理レベルが互いに異なるときに、メモリのテスト動作時であることを示す上記冗長メモリセルテスト用制御信号を出力する制御信号発生回路を備えたことを特徴とするメモリ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05528593A JP3558352B2 (ja) | 1992-06-26 | 1993-03-16 | 冗長メモリセルを備えたメモリ |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4-168783 | 1992-06-26 | ||
JP16878392 | 1992-06-26 | ||
JP05528593A JP3558352B2 (ja) | 1992-06-26 | 1993-03-16 | 冗長メモリセルを備えたメモリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0689597A JPH0689597A (ja) | 1994-03-29 |
JP3558352B2 true JP3558352B2 (ja) | 2004-08-25 |
Family
ID=26396181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05528593A Expired - Fee Related JP3558352B2 (ja) | 1992-06-26 | 1993-03-16 | 冗長メモリセルを備えたメモリ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3558352B2 (ja) |
-
1993
- 1993-03-16 JP JP05528593A patent/JP3558352B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0689597A (ja) | 1994-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20050068059A1 (en) | Suppressing the leakage current in an integrated circuit | |
CN108766493B (zh) | 一种应用于sram的可调节wlud读写辅助电路 | |
US6285603B1 (en) | Repair circuit of semiconductor memory device | |
KR101710056B1 (ko) | 퓨즈 회로, 이를 포함하는 퓨즈 어레이 및 반도체 메모리 장치 | |
JPH06195995A (ja) | Dramの冗長構成に対するアドレス突合せ構成 | |
KR0147712B1 (ko) | 에스램의 저전압 동작용 비트 라인 회로 | |
US7403432B2 (en) | Differential read-out circuit for fuse memory cells | |
JP3558352B2 (ja) | 冗長メモリセルを備えたメモリ | |
US20070230079A1 (en) | Semiconductor device | |
JPH06334010A (ja) | 論理回路 | |
KR20010065139A (ko) | 안티퓨즈를 이용한 리페어 회로 | |
US5740114A (en) | Redundant memory cell selecting circuit having fuses coupled to memory cell group address and memory cell block address | |
US7379358B2 (en) | Repair I/O fuse circuit of semiconductor memory device | |
US20020027811A1 (en) | Semiconductor memory device | |
KR100450349B1 (ko) | 프로그램값 판정회로, 이것을 갖는 반도체 집적회로 장치및 프로그램값 판정방법 | |
KR100383882B1 (ko) | 주기선택회로 및 이를 이용한 반도체메모리저장장치 | |
JP4443315B2 (ja) | データ出力バッファ及びこれを用いた半導体メモリ装置 | |
US5953264A (en) | Redundant memory cell selecting circuit having fuses coupled to memory cell group address and memory cell block address | |
KR0164398B1 (ko) | 반도체 메모리의 고속 리던던시 디코더 회로 | |
KR100268434B1 (ko) | 반도체 메모리 장치 및 그것의 번-인 테스트방법 | |
KR100191775B1 (ko) | 반도체 메모리 장치의 리페어 정보 저장 및 검출 회로 | |
KR100246182B1 (ko) | 메모리 셀 리페어 회로 | |
KR100652428B1 (ko) | 반도체 메모리 장치의 리던던시 회로 | |
JP3278856B2 (ja) | パルス信号発生回路と冗長選択回路 | |
KR20000019405A (ko) | 반도체 메모리의 번-인 모드 제어회로 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020917 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040323 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040518 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090528 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110528 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110528 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120528 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |