JP3557393B2

JP3557393B2 - 部品管理装置及び在庫管理システム

Info

Publication number: JP3557393B2
Application number: JP2000357589A
Authority: JP
Inventors: 崇弘清水; 敦奥野
Original assignee: 株式会社三幸
Priority date: 2000-11-24
Filing date: 2000-11-24
Publication date: 2004-08-25
Anticipated expiration: 2020-11-24
Also published as: JP2002160807A

Description

【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体関連部品の在庫や入出庫等を自動で管理する部品管理装置及びその部品管理装置を用いる在庫管理システムに関する。
【従来の技術】
従来、半導体関連部品の在庫等を自動で管理するものとして、一般的に大型設備である自動倉庫が使用されている。かかる自動倉庫は、寸法が大きく重量があるものを自動的に指定の格納場所へ運搬するものであり、例えばケース単位で部品を運搬し、ケース単位で部品の在庫等の管理を行うものである。そして、前記自動倉庫で個々の部品の在庫を管理する手法としては、例えば個々の部品の数量を人的に数える方法や、個々の部品にバーコードを貼り付け、前記バーコードをバーコードリーダーで読み取ることで管理を行う方法が行われている。
さらに自動倉庫から出庫された部品は、作業現場で使用するために現場近辺の指定場所に適宜の数量で運搬され、そこから現場作業者が必要とする部品を使用するのが一般的な作業の流れである。そして、作業現場に於いても部品の管理をするため、例えば個々の部品の数量を人的に記録する方法や、バーコードをバーコードリーダーで読み取ることで管理を行う方法が行われている。
また、半導体関連部品の管理環境としては、大気中での保管やクリーンルーム内での保管が行われており、特別に管理が必要なものは、所定の保管庫内に置かれたり、厳重に梱包されて保管されている。
【発明が解決しようとする課題】
ところが上記自動倉庫は、非常に大きなスペースを要する大型設備であるため、導入に際して予め大きな空間を準備することが必要とされることになり、結果的にそこで行われる部品管理も大きなスペースが前提となるものである。
また自動倉庫で行われる部品管理はケース単位での管理であるため、最終的に個々の部品に対する管理は現場作業者に委ねられ、例えば個々の部品の数量を人的に記録することになる。そのため、現場作業者が部品の在庫管理を行う際に記入漏れや記入ミス等が発生する場合が多く、個々の部品管理の精度には問題がある。
また上記自動倉庫や現場での管理手法では、部品の在庫数等を正確に把握しておくことが現実には困難であり、実際に作業現場に常備してあるはずの部品が無い場合等を避けがたい。そのため、前記部品が無い場合には、その都度部品を探すという無駄な工程も発生することになり、かかる工程は作業の効率化に対して障害となる。
また部品保管環境に於いては、大気中での保管が可能なものに関しては通常の大気中での保管を行っても問題は生じないが、特定の部品に関しては、特別な環境下で保管しておかなくてはならない。
また真空パックなど梱包が施された部品を使用する場合、必要な際に現場作業者が梱包を開封して部品を使用し、使用後に残余の部品を再保管することになるが、その再保管にも手間がかかり、また在庫等を正確に把握しながら再保管することも難しい。
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであって、半導体関連部品の入出庫管理及び在庫管理に要する人的工数を減じて自動化を推進し、作業工程の効率化を図ることができると共に、管理精度を向上することができる部品管理装置及びその部品管理装置を用いる在庫管理システムを提供することを目的とする。
また本発明は、半導体関連部品の保管場所を装置内に一体化し、小スペース化を図ることができ、小さな設置スペースで的確な部品の入出庫管理及び在庫管理を行うことができる部品管理装置及びその部品管理装置を用いる在庫管理システムを提供することを目的とする。
また本発明は、半導体関連部品の保管場所に於いて良好な保管環境を実現し、半導体関連部品の品質劣化を防止して部品を絶えず良好な状態で保管することが可能な部品管理装置及びその部品管理装置を用いる在庫管理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
本発明の部品管理装置は、半導体関連部品を内部に保管する箱体の部品管理装置であって、箱体内の複数に区画された各区画部にそれぞれ配設される収容部が、半導体関連部品の搬入或いは搬出を行う搬入出口の近傍に搬送され、入庫時及び出庫時の両時点に於いて該収容部に収容されている半導体関連部品の画像を該搬入出口の近傍でその全数量が認識可能な状態で取得し、該収容部の各半導体関連部品の画像データと予め記憶されている所定種別の半導体関連部品の形状データとを照合し、該収容部の半導体関連部品が全て該所定種別の半導体関連部品であることを確認すると共に、該収容部に収容されている半導体関連部品の画像データが該所定種別の半導体関連部品の形状データと適合しない場合に警告し、該収容部の所定種別の半導体関連部品の合計数量を認識し、入庫時には所定種別の半導体関連部品の入庫前の在庫量と該合計数量を対比して入庫数量を認識し、該所定種別の半導体関連部品の合計数量及び入庫数量を記憶し、且つ、出庫時には所定種別の半導体関連部品の出庫前の在庫量と該合計数量を対比して出庫数量を認識し、該所定種別の半導体関連部品の合計数量及び出庫数量を記憶して、半導体関連部品の種別毎に記憶した数量に基づき在庫管理することを特徴とする。前記搬入出口近傍で収容部内の対象物の画像を取得する構成や区画部に収容部を配設することにより、より小スペースで部品の保管や在庫管理を行うことが可能となり、また、警告により誤った部品を取り出し防止など必要な処理を適宜行うことができるので、精度の高い在庫管理が可能となる。
更に、本発明の部品管理装置は、操作部から入力される入庫指示に含まれる所定種別の半導体関連部品の入庫数量と前記認識した入庫数量を照合確認すると共に、操作部から入力される出庫指示に含まれる所定種別の半導体関連部品の出庫数量と前記認識した出庫数量を照合確認することを特徴とする。
更に、本発明の部品管理装置は、前記収容部及び前記区画部がクリーンルームの箱体内部に設けられていることを特徴とする。例えば窒素ガス等を箱体内部に循環させクリーンルームとすること等により、高度な部品の品質維持が可能となり、半導体関連部品を絶えず良好な状態で保管することができる。
更に、本発明の部品管理装置は、前記半導体関連部品がカーボン部品であり、前記箱体内部に窒素ガスを循環させることを特徴とする。
また、本発明の在庫管理システムは、上記部品管理装置の複数を管理用コンピュータとネットワーク化し、該管理用コンピュータが、各所定種別の半導体関連部品の入庫数量、出庫数量、合計数量である在庫数量のデータを各部品管理装置から取り出して一元管理することを特徴とする。
【発明の実施の形態】
以下、本発明について、図に於ける半導体関連部品の部品管理装置の具体的な実施形態に基づいて説明する。図１乃至図３はそれぞれ本発明の部品管理装置の一実施例を示す斜視図、縦断側面図、横断平面図、図４は搬送機構及び区画部の概略を示す斜視図、図５は搬入出口近傍に配置された収容部を示す一部縦断正面図、図６は搬入出口近傍での収容部の搬送動作を示す一部縦断側面図である。
図１乃至図４に於ける部品管理装置１は密閉可能な略箱形で、その内部の後方には略直方体の区画部２が縦横に区画されて複数設けられ、各区画部２には同種別の部品が収容される収容部３が各々配設されている。収容部３は図５及び図６に示すように上面開放の略箱形であり、収容部３への部品の収容及び収容部３からの部品の取り出しの便宜のため、その前面上端には外側へ向かって斜め下方に傾斜した前縁部３ａが形成されており、また両側面上端には側方へ略鉤形になっている側縁部３ｂ・３ｂが形成され、この側縁部３ｂ・３ｂを図３に示す各区画部２内の両側に形成されている係止部２ａ・２ａに係止することで、収容部３を区画部２内に配置する構成である。
部品管理装置１の前面には、図に省略した開閉扉を有する搬入出口４が形成されており、搬入出口４を開状態にすることで収容部３への部品の収容及び収容部３からの部品の取り出しをすることができ、搬入出口４を閉状態にすることで部品管理装置１の内部を密閉することができる。搬入出口４を閉状態にすることが可能な構成にすることで、例えば窒素ガス等を箱体内部に循環させクリーンルームとすること等が可能となり、半導体関連部品の品質維持を一層高度に行うことができる。
搬入出口４の後方下部には、図２及び図５に示すように、部品管理装置１の前面に近接して定置部５が固設され、定置部５の上部に形成された溝５ａ内に、後述する搬送機構で搬送された収容部３が定置されるようになっている。即ち、定置部５の後部には図５及び図６に示すように、前後に伸縮自在なピストン及びピストンロッドによる移動機構５ｂが溝５ａの右片側に設けられ、移動機構５ｂの先端のピストンロッドには、その上方で両側縁部３ｂ・３ｂの両外側に位置することとなる、側方へ略鉤形に形成された係止部５ｃ・５ｃが各々固設されている。搬入出口４の付近に搬送された収容部３は、移動機構５ｂのピストンロッドが伸長した状態で、その両側縁部３ｂ・３ｂをそれぞれ前記係止部５ｃ・５ｃに係止され、前記係止状態で移動機構５ｂのピストンロッドを収縮して移動し、最終的に前方の溝５ａ内に移動され定置される構成である。
定置部５の上方には画像取得手段としてカメラ６が設けられ、カメラ６は定置部５に収容部３が定置された状態で、収容部３内に収容された各部品の形状及び部品の全数量が取得画像から認識可能なように取り付けられている。本実施例のカメラ５は上方から下方の収容部３内を撮像する固定カメラとしたが、前後左右等に移動して撮像する移動式カメラとしてもよく、また設置位置も必要に応じて適宜であり、またカメラの種類は部品や装置の大きさ等を考慮してＣＣＤカメラを用いる、或いは画像解析の精度を向上するためデジタルカメラを用いるなど、必要に応じて適宜種類のカメラを使用することが可能である。
部品管理装置１の内部には、図２乃至図４に示すように、各区画部２と搬入出口４近傍の定置部５との間で収容部３を個別に搬送し、区画部２内の係止部２ａ或いは定置部５の係止部５ｃに収容部３を係止する搬送機構７が設けられている。搬送機構７は、前後方向の略中央で左右に延在して形成されている底部７１と、底部７１上を左右にスライド可能で上下に延在して形成されている昇降部７２と、昇降部７２に沿って上下にスライドして昇降する搬送部７３とを有する。搬送部７３は昇降部７３に沿って上下に昇降する昇降台７３ａの上に、前後にスライド可能な搬送台７３ｂが設けられている。前記搬送台７３ｂは、昇降部７２の左右のスライド、搬送部７３の上下の昇降、及び搬送台７３ｂの昇降台７３ａに対する前後のスライドで、所要位置へ移動し定置可能な構成になっており、所要の区画部２内と定置部５との間を自在に移動するようになっている。
そして、所要の区画部２内と定置部５との間で収容部３を搬送する場合には、所要位置まで搬送部７３を移動して定置し、区画部２内或いは移動機構５ｂのピストンロッドが後方に伸長した定置部５に係止されている収容部３の底面の若干下方に、昇降台７３ａから搬送台７３ｂをスライドして位置させ、その状態で搬送部７３を上方向に若干スライドし、搬送台７３ｂの上面で収容部３の底面を支持する。ついで更に搬送部７３を上昇させ、収容部３の側縁部３ｂ・３ｂを、区画部２の両側の係止部２ａ・２ａ或いは定置部５の係止部５ｃ・５ｃとの係止からすくい上げるように外し、搬送台７３ｂ上に収容部３を載置した状態にする。
ついで搬送台７３ｂを昇降台７３ａ上にスライドして移動し、底部７１と昇降部７２でのスライドで搬送部７３を上下左右に移動し、ピストンロッドが後方に伸長した定置部５或いは区画部２に対する所定位置で、再度搬送台７３ｂを昇降台７３ａからスライドする。前記所定位置は、スライドが完了した際に、収容部３の側縁部３ｂ・３ｂが各々定置部５の係止部５ｃ・５ｃ或いは区画部２の係止部２ａ・２ａの若干上方に位置する位置とする。そして、搬送台７３ｂのスライドの完了後には、搬送部７３を若干下降し、収容部３の側縁部３ｂ・３ｂを各々定置部５の係止部５ｃ・５ｃ或いは区画部２の係止部２ａ・２ａに係止して定置する。これにより、収容部３は、所望の区画部２内に配設されるか、或いは更に定置部５に於いて移動機構５ｂのピストンロッドを収縮し定置部５の溝５ａ内に移動され配設される。
また部品管理装置１には、図には省略したが制御部、記憶部が設けられ、更に操作部と表示部を兼ねるタッチパネル８が設けられている。前記制御部は、取得画像データの解析、前記解析や操作部の入力に応じて行う後述する所定処理の実行、搬送機構７の搬送動作の制御等を行う部分であり、前記記憶部は所定処理の実行に必要なデータや所定処理の実行結果等を記憶する部分である。また操作部としてのタッチパネル８は、部品の入庫指示や出庫指示の入力等を行う部分であり、表示部としてのタッチパネル８は警告表示等を行う部分である。なお９は非常停止スイッチであり、１０は部品管理装置１内での異常発生を赤、搬送中を黄、待機状態を緑等で示すパトライト、１１は部品を収容された収容部３が部品管理装置１に於ける搬送可能な重量や収容可能な重量等の許容範囲重量内であることを判定するための重量シリンダーである。重量シリンダー１１の示す重量に応じて自動或いは手動で部品の収容及び搬送を停止することが可能である。
次に本実施例の部品管理装置１で行われる処理について説明する。図７、図８はそれぞれ入庫時或いは出庫時の処理を示すフローチャートである。
まず、部品管理装置１で入庫を行う場合、図７に示すように、操作部としてのタッチパネル８により部品の入庫指示を行う（Ｓ１０１）。前記部品の入庫指示には入庫する部品の種別に関する情報や必要に応じてその入庫数量が含まれている。前記入庫指示に基づき制御部は、入庫する所定種別の部品を収容する所定の収容部３を認識し、前記収容部３が配設されている所定の区画部２から搬入出口４近傍まで、前記所定収容部３を搬送機構７に搬送させる（Ｓ１０２）。前記所定収容部３には、既に所定種別の部品が入庫されている場合には所定種別の部品が一個又は複数個収容された状態になっており、所定種別の部品が未だ入庫されていない場合には所定種別の部品が収容されていない、即ちゼロの状態になっている。
ついで、搬入出口４を開状態にして部品管理装置１内部を大気開放し、搬入出口４から前記所定収容部３に所定種別の部品を入庫し、所定収容部３に前記所定種別の部品が一個又は複数個収容される（Ｓ１０３）。従って、所定収容部３には、前記入庫前から既に収容されていた０個又は一個又は複数個の所定種別の部品の数量と、前記入庫で新規に収容された一個又は複数個の所定種別の部品の数量の合計数量が収容された状態となる。
そして、搬入出口４の近傍に於いて、前記入庫後に所定収容部３に収容されている部品の画像を画像取得手段であるカメラ６で取得する。前記画像取得は、収容されている各部品の形状と部品の全数量が認識可能な状態で行う（Ｓ１０４）。制御部は、前記取得画像を取り込んで各部品の形状データを抽出し、各部品の形状データを記憶部に予め記憶されている所定種別の部品の形状データと順次照合し（Ｓ１０５）、所定収容部３に収容されている部品が全て所定種別の部品であるかを確認する（Ｓ１０６）。かかる形状データの対比及び判定により、所定種別の部品が誤った収容部３及び区画部２へ収納されることを防止できる。
なお予め記憶されている所定種別の部品の形状データは図面データや写真データなど必要に応じて適宜のものを使用できる。また、例えば収容部３を開状態の搬入出口４の外部にまで移動した後に搬入出口４を閉状態とし、前記外部でカメラ６で収容部３内の部品の形状及び数量を認識し、その後に搬入出口４を開状態にして部品管理装置１内を大気開放し、収容部３が開状態の搬入出口４を通って搬送される構成とすることも可能である。同様に後述する出庫時にも、搬入出口４の外部で出庫及びカメラ６の撮像を行うことが可能である。
前記所定種別の確認に於いて、所定種別ではない部品が混入し部品の一部或いは全てが所定種別でない場合には警告を行う（Ｓ１０７）。前記警告はタッチパネル８等の表示部への警告表示や警報など適宜の手段で行うことが可能である。警告が発せられた場合には、例えばタッチパネル８で再試行モードを選択すること等により、再び搬入出口４から所定収容部３に所定種別の部品の入庫処理を行う（Ｓ１０３）。他方、所定収容部３に収容されている部品が全て所定種別の部品である場合には、制御部により収容されている部品の合計数量を認識し、前記数量を所定種別の部品の数量として記憶部に記憶すると共に、入庫前の在庫量と対比して入庫数量を認識して記憶する（Ｓ１０８）。この際に、搬入出口４を閉状態にし、部品管理装置１の内部には例えば窒素ガスの循環を開始する等によって保管状態とする。
従って、各収容体３に収容された所定種別の部品は、確実に所定種別であることが確認されると共に、種別毎に区別されて数量が記憶されるので、正確な在庫管理が可能となる。なお入庫指示に入庫数量が情報として含まれている場合には前記認識した入庫数量との照合確認も可能となって、一層正確な在庫管理が可能となる。
ついで制御部は、タッチパネル８での搬送指示により或いは自動的に、所定種別の部品が収容された所定収容部３を、搬入出口４近傍から所定収容部３が配設されていた所定区画部２まで搬送機構に搬送させ、所定収容部３は再び所定区画部２に配設される（Ｓ１０９）。前記所定収容部３が配設されると一連の入庫処理が完了する。なお搬送が終了した場合には必要に応じて表示部としてのタッチパネル８に搬送終了の表示をすると、一連の入庫処理の完了を確認できて好適である。また搬送動作中にはタッチパネル８の表示等でその旨の警告を行うと良好である。
また、部品管理装置１で出庫を行う場合、図８に示すように、操作部としてのタッチパネル８により必要な部品の出庫指示を行う（Ｓ２０１）。前記部品の出庫指示には出庫する部品の種別に関する情報及び必要に応じて出庫数量に関する情報が含まれており、前記出庫指示に基づき制御部は、出庫する所定種別の部品を収容する所定の収容部３を認識し、前記収容部３が配設されている所定の区画部２から搬入出口４近傍まで、前記所定収容部３を搬送機構７に搬送させる（Ｓ２０２）。出庫時に於ける前記所定収容部３には、所定種別の部品が一個又は複数個収容された状態になっている。
ついで、搬入出口４を開状態とし、開状態の搬入出口４から前記所定収容部３に収容されている所定種別の部品を所要数出庫する（Ｓ２０３）。従って、出庫後の所定収容部３には、０個又は１個又は複数個の数量である所定種別の部品が残された状態になる。
そして、搬入出口４の近傍に於いて、前記出庫後に所定収容部３に収容されている部品の画像を画像取得手段であるカメラ６で取得する。前記画像取得は、少なくとも所定収容部３に収容されている部品の全数量が認識可能な状態で行う（Ｓ２０４）。なお必要に応じて出庫時にも、前記取得画像を取り込んで各部品の形状データを抽出し、各部品の形状データを記憶部に予め記憶されている所定種別の部品の形状データと順次照合し、所定収容部３に収容されている部品が全て所定種別の部品であるかを確認し、所定種別ではない部品が混入し部品の一部或いは全てが所定種別でない場合には警告を行い、再試行モードで再処理を行うようにすると、所定収容部３に収容されている部品の種別がより確実なものとなって好適である。
ついで、取得画像から制御部により所定収容部３に収容されている部品の合計数量を認識し、前記数量を所定種別の部品の数量として記憶部に記憶すると共に、出庫前の在庫量から認識した出庫数量を記憶部に記憶する（Ｓ２０５）。従って、保管されている所定種別の部品の数量及び入庫数量及び出庫数量は、入庫時と出庫時に適宜更新して記憶され、正確な在庫管理が自動的に可能となる。なお出庫指示に出庫量が含まれている場合には、前記認識した出庫数量との照合確認も可能となって、一層正確な在庫管理が可能となる。またこの際に、搬入出口４を閉状態にし、部品管理装置１の内部には例えば窒素ガスの循環を開始する等によって保管状態とする。
ついで制御部は、タッチパネル８での搬送指示により或いは自動的に、所定種別の部品が収容された所定収容部３を、搬入出口４近傍から所定収容部３が配設されていた所定区画部２まで搬送機構７に搬送させ、所定収容部３は再び所定区画部２に配設される（Ｓ２０６）。前記所定収容部３が配設されると一連の出庫処理が完了する。なお搬送が終了した場合には必要に応じてタッチパネル８等の表示部に搬送終了の表示をすると、一連の出庫処理の完了を確認できて好適である。また搬送動作中にはタッチパネル８の表示等でその旨の警告を行うと良好である。又画像取得による所定種別の部品の数量認識は入庫時のみ行い、出庫時には出庫数量をタッチパネル８を介して手入力して在庫管理を行う、或いは逆に画像取得による所定種別の部品の数量認識は出庫時のみ行い、入庫時には出庫数量を手入力して在庫管理を行うこと等も可能である。
また上記部品管理装置１では、所定種別の部品が所定種別毎に区別して収容され、その所定種別及び在庫量が制御部や記憶部により把握されている構成であるから、前記所定種別を例えばシリアルナンバー、部品名、装置名、用途、概略形状等と必要に応じて関連づけて記憶しデータベース化することで、番号検索やキーワード検索などで必要に応じて部品検索が可能な構成とすると好適であり、部品種別や数量についての検索結果を表示部に表示して確認し、その検索結果に応じて部品管理装置１への入庫や出庫、保管を行うようにしてもよい。
上記部品管理装置１は、例えば１ｍ×１ｍ×２ｍなど、装置自体の寸法を小型化することが可能であり、設置場所を特定せずに配置することができ、空間を有効利用することができる。また部品の入出庫をカメラ６による自動認識及びタッチパネル８での簡易操作等によって行うことができ、入出庫時の作業者に対する負担を軽減し、入出庫業務や在庫管理を自動化、簡素化することができる。また在庫管理についても、部品の入出庫時の情報を基に自動的な数量管理を行うことができ、人的な在庫記録工数が発生せず、更に管理精度の向上を図ることもできる。また装置１内に保管する部品の品質状態を常に維持するために装置１内部に窒素ガスを循環する等、半導体関連部品の品質維持を図り、保管する半導体関連部品にあわせて最適な保管環境を実現することができる。従って、部品管理装置１は部品を管理するために必要且つ十分な機能を有するものである。
さらには部品管理装置１内のデータは取出可能であり、部品管理装置１を他のコンピュータに接続する、部品管理装置１内のデータを記録媒体に保存する、複数の部品管理装置１をネットワーク化して管理用コンピュータで一元管理する、前記管理用コンピュータの更なるネットワーク化を図ること等により、精度が高く、状況変化に対する対応を迅速に行うことができ、高性能な在庫管理システムを構築することが可能である。
【発明の効果】
本発明の部品管理装置及びその部品管理装置を用いる在庫管理システムは、半導体関連部品の入出庫管理及び在庫管理に要する人的工数を減じて自動化を推進し、作業工程の効率化、低コスト化を図ることができると共に、管理精度を向上することができるという効果を奏する。また、半導体関連部品の保管場所を装置内に一体化し、小スペース化を図ることができ、小さな設置スペースで的確な部品の入出庫管理及び在庫管理を行うことができる。また、半導体関連部品の保管場所に於いて良好な保管環境を実現し、半導体関連部品の品質劣化を防止して部品を絶えず良好な状態で保管することを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の部品管理装置の一実施例を示す斜視図。
【図２】図１の部品管理装置の縦断側面図。
【図３】図１の部品管理装置の横断平面図。
【図４】図１の部品管理装置に於ける搬送機構及び区画部の概略を示す斜視図。
【図５】図１の部品管理装置に於いて搬入出口近傍に配置された収容部を示す一部縦断正面図。
【図６】図１の部品管理装置に於いて搬入出口近傍での収容部の搬送動作を示す一部縦断側面図。
【図７】図１の部品管理装置に於ける入庫時の処理を示すフローチャート。
【図８】図１の部品管理装置に於ける出庫時の処理を示すフローチャート。
【符号の説明】
１部品管理装置
２区画部
２ａ係止部
３収容部
３ｂ側縁部
４搬入出口
５定置部
５ｃ係止部
６カメラ
７搬送機構
７１底部
７２昇降部
７３搬送部
７３ａ昇降台
７３ｂ搬送台
８タッチパネル

Claims

半導体関連部品を内部に保管する箱体の部品管理装置であって、箱体内の複数に区画された各区画部にそれぞれ配設される収容部が、半導体関連部品の搬入或いは搬出を行う搬入出口の近傍に搬送され、入庫時及び出庫時の両時点に於いて該収容部に収容されている半導体関連部品の画像を該搬入出口の近傍でその全数量が認識可能な状態で取得し、該収容部の各半導体関連部品の画像データと予め記憶されている所定種別の半導体関連部品の形状データとを照合し、該収容部の半導体関連部品が全て該所定種別の半導体関連部品であることを確認すると共に、該収容部に収容されている半導体関連部品の画像データが該所定種別の半導体関連部品の形状データと適合しない場合に警告し、該収容部の所定種別の半導体関連部品の合計数量を認識し、入庫時には所定種別の半導体関連部品の入庫前の在庫量と該合計数量を対比して入庫数量を認識し、該所定種別の半導体関連部品の合計数量及び入庫数量を記憶し、且つ、出庫時には所定種別の半導体関連部品の出庫前の在庫量と該合計数量を対比して出庫数量を認識し、該所定種別の半導体関連部品の合計数量及び出庫数量を記憶して、半導体関連部品の種別毎に記憶した数量に基づき在庫管理することを特徴とする部品管理装置。
操作部から入力される入庫指示に含まれる所定種別の半導体関連部品の入庫数量と前記認識した入庫数量を照合確認すると共に、操作部から入力される出庫指示に含まれる所定種別の半導体関連部品の出庫数量と前記認識した出庫数量を照合確認することを特徴とする請求項１記載の部品管理装置。
前記収容部及び前記区画部がクリーンルームの箱体内部に設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の部品管理装置。
前記半導体関連部品がカーボン部品であり、前記箱体内部に窒素ガスを循環させることを特徴とする請求項３記載の部品管理装置。
請求項１〜４のいずれかに記載の部品管理装置の複数を管理用コンピュータとネットワーク化し、該管理用コンピュータが、各所定種別の半導体関連部品の入庫数量、出庫数量、合計数量である在庫数量のデータを各部品管理装置から取り出して一元管理することを特徴とする在庫管理システム。