JP3543558B2 - 光源装置及び光ビーム走査光学装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光源装置及び光ビーム走査光学装置、詳しくはレーザプリンタやデジタル複写機の画像書込み手段として用いられる光源装置及び光ビーム走査光学装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、画素密度を高めたり、画像書込み速度を高めることが求められ、そのために、複数の光源を設置して、それぞれの光ビームを副走査方向に近接した状態で偏向走査し、1回の走査で複数ラインずつ画像を書き込む光ビーム走査光学装置が提案されている。そして、従来、この種の光ビーム走査光学装置の光源装置として、複数の光源から放射された光ビームをそれぞれ略平行光又は収束光に変換する複数の集光レンズと、各集光レンズから出射された光ビームを重ね合わせる複数のビームスプリッタとを備えたものが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の光源装置にあっては、各光源毎に集光レンズを必要とし、集光レンズの位置調整作業がその分多くなると共に、集光レンズ位置調節機構のための部品点数も増えるという問題があった。そこで、この問題を解消するために、光ビームの重ね合わせを集光レンズに入射する前に行う構成が提案されている。しかし、複数の光源から放射された光ビームを単に一つの集光レンズに入射させるだけでは、一つの光源についてピント合わせや像面上での照射位置調整を行うと、他の光源のピント状態や像面上での照射位置がずれるという問題があった。さらに、各光源毎にピント合わせと像面上での照射位置調整をしなければならず、各光源をそれぞれ三次元的に調整するための複雑な位置調整機構が必要であった。
【0004】
そこで、本発明の目的は、光ビームの重ね合わせを集光レンズに入射する前に行い、しかも各光源の位置調整を簡素な機構で独立して行うことができる光源装置及び光ビーム走査光学装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段と作用】
以上の目的を達成するため、本発明に係る光源装置は、
(a)k個(k≧2)の光源と、
(b)前記k個の光源からそれぞれ放射された光ビームを重ね合わせて同一方向に進行させるk−1個の重ね合わせ手段と、
(c)前記k個の光源のうち第1の光源がこの第1の光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されたベース部材と、
(d)前記k個の光源のうち第i(2≦i≦k)の光源がこの第iの光源の光ビーム放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置され、かつ、前記k−1個の重ね合わせ手段のうち第j(1≦j≦k−1)の重ね合わせ手段が固定された第jの可動保持部材と、
(e)前記ベース部材又は前記可動保持部材のいずれか一つに、光軸と平行な方向に位置調整可能に設置された、前記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビームをそれぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集光レンズとを備え、
(f)k−1個の前記可動保持部材のうち第jの可動保持部材が、前記ベース部材又は前記第1から前記第j−1までの可動保持部材のいずれか一つに、前記第jの重ね合わせ手段によって重ね合わされた光ビームの進行方向と平行な方向に位置調整可能に設置されていること、
を特徴とする。ここに、略平行光は、若干発散する光をも含む。
【0006】
以上の構成により、可動保持部材を移動させて一の光源から放射される光ビームのピント合わせを行う場合、その可動保持部材に設置された重ね合わせ手段を通過する他の光源の光ビームはピント状態も像面上での照射位置も影響を受けない。従って、適当な順序で光源を調整することにより、各光源は独立してピント合わせや像面上での照射位置が調整される。
【0007】
さらに、本発明に係る光源装置は、k個の光源がそれぞれ各光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されたk個の弾性部材と、前記k個の弾性部材が各弾性部材に設置された前記光源の光ビームの放射方向と平行な方向に弾性を有すると共にこの光ビームの放射方向と平行な方向に前記光源の位置を調整可能に設置され、かつ、k−1個の重ね合わせ手段と集光レンズとが固定されたベース部材とを備えている。
【0008】
また、本発明に係る光源装置は、k個の光源のうちk−1個の光源が、それぞれの光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されたk−1個の弾性部材と、前記k−1個の弾性部材が各弾性部材に設置された光源の光ビームの放射方向と平行な方向に弾性を有すると共にこの光ビームの放射方向と平行な方向に前記光源の位置を調整可能に設置され、前記k個の光源のうち残る1個の光源がこの光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置され、集光レンズが光軸と平行な方向に位置を調整可能に設置され、かつ、k−1個の重ね合わせ手段が固定されたベース部材とを備えている。
【0009】
また、本発明に係る光源装置は、k−1個の重ね合わせ手段と集光レンズとが固定されたベース部材と、k個の光源のうち第i(1≦i≦k)の光源が、この第iの光源の光ビームの放射方向と平行な方向の位置を調整可能に設置された第iの可動保持部材とを備え、k個の前記可動保持部材のうち、光源がこの光源の光ビームの放射方向と平行な方向の位置調整可能に設置された可動保持部材を、前記ベース部材に前記光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置したことを特徴とする。
【0010】
以上の構成により、ベース部材に位置を固定された重ね合わせ手段に対して、各光源は他の光源とは独立して三次元的に位置調整され、ピント合わせや像面上での照射位置調整が個々の光源毎に独立して行なわれる。
【0011】
また、本発明に係る光ビーム走査光学装置は、さらに、光源装置から放出された光ビームを偏向する光偏向器と、前記偏向器から出射した光ビームを被走査面上にライン状に走査する走査光学素子とを備えたことを特徴とする。以上の構成により、被走査面上での光ビームのフォーカス調整と集光位置調整が容易となる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光源装置及び光ビーム走査光学装置の実施形態について添付図面を参照して説明する。
【0013】
図1において、光ビーム走査光学装置は、概略、光源ユニット1と、シリンドリカルレンズ11とポリゴンミラー12と3枚のfθレンズ13,14,15及びシリンドリカルレンズ16と、平面ミラー17とで構成されている。
【0014】
光源ユニット1は、光ビームB1,B2,B3を放射する第1、第2及び第3レーザダイオード2,3,4と、二つの三角プリズムをフィルタミラー膜を介して接合したキューブ型の第1及び第2ビームスプリッタ5,6と、コリメータレンズ7とからなる。放射された光ビームB1は、第1及び第2ビームスプリッタ5,6のフィルタミラー膜を透過して直進し、コリメータレンズ7によって平行光(又は収束光)とされる。第2レーザダイオード3から放射された光ビームB2は、第1ビームスプリッタ5のフィルタミラー膜で90度に反射された後、第2ビームスプリッタ6のフィルタミラー膜を透過して、コリメータレンズ7によって平行光(又は収束光)とされる。第3レーザダイオード4から放射された光ビームB3は、第2ビームスプリッタ6のフィルタミラー膜で90度に反射され、コリメータレンズ7によって平行光(又は収束光)とされる。光ビームB1,B2は第1ビームスプリッタ5で同一進行方向に結合された後、さらに第2ビームスプリッタ6で光ビームB3と同一進行方向に結合される。これらの光ビームB1〜B3は、光束の大部分をほとんど重なり合わせつつ、光束の中心を互いに副走査方向にわずかに異ならせた状態で進行する。
【0015】
コリメータレンズ7から出射された光ビームB1〜B3は、シリンドリカルレンズ11を介してポリゴンミラー12に到達する。シリンドリカルレンズ11は光ビームB1〜B3をポリゴンミラー12の反射面近傍に主走査方向に長い線状に集光する。ポリゴンミラー12は矢印a方向に一定角速度で回転駆動される。光ビームB1〜B3はポリゴンミラー12の回転に基づいて各反射面で等角速度に偏向走査され、fθレンズ13,14,15及びシリンドリカルレンズ16を透過し、平面ミラー17で下方に反射される。その後、光ビームB1〜B3は感光体ドラム25上で結像すると共に、矢印b方向に走査する。即ち、この光学系では1回の走査で3ラインを同時に書き込む。
【0016】
fθレンズ13,14,15はポリゴンミラー12で等角速度に偏向された光ビームB1〜B3を感光体ドラム25上での主走査速度を等速に補正(歪曲収差補正)機能を有している。シリンドリカルレンズ16は前記シリンドリカルレンズ11と同様に副走査方向にのみパワーを有し、二つのレンズ11,16が協働してポリゴンミラーの面倒れ誤差を補正する。
【0017】
感光体ドラム25は矢印c方向に一定速度で回転駆動され、ポリゴンミラー12及びfθレンズ13,14,15による矢印b方向への主走査と、感光体ドラム25の矢印c方向への副走査によって感光体ドラム25上に画像(静電潜像)が書き込まれる。
【0018】
次に、光源ユニット1の構造の第1例について図2を参照して説明する。なお、以下の説明でx方向とはビームスプリッタ6から出射される光軸Bに対して平行な方向、y方向とはx方向に対して水平面上で直交する方向、z方向とは、x,y方向に直交する方向をいう。さらに、同一部品及び同一部分には同じ符号を付した。
【0019】
この光源ユニット1は、ベース台31、第1ビームスプリッタ5を保持する第1可動保持台32、第2ビームスプリッタ6を保持する第2可動保持台33、第1レーザダイオード2を保持する第1光源ホルダ35、第2レーザダイオード3を保持する第2光源ホルダ36、第3レーザダイオード4を保持する第3光源ホルダ37、コリメータレンズ7を保持する鏡胴38とで構成されている。
【0020】
第1ないし第3レーザダイオード2〜4は同一の性能のものであり、各レーザダイオード2〜4から放射される光ビームB1〜B3の波長と光量は略等しい。また、レーザダイオード2〜4は、第2ビームスプリッタ6から出射した光ビームB1〜B3のそれぞれの偏光方向が同じ方向になるように、かつ、光ビームB1〜B3がビームスプリッタ5,6の入射面に対して縦波となるように配置されている。
【0021】
第1ビームスプリッタ5のフィルタミラー膜5aは、入射ビームの約50%を透過させ、約50%を反射させる。第2ビームスプリッタ6のフィルタミラー膜6aは、入射ビームの約67%を透過させ、約33%を反射させる。フィルタミラー膜5a,6aの透過と反射の特性をこのように設定することにより、第2ビームスプリッタ6から出射した光ビームB1〜B3のそれぞれの光量を均一にすることができる。ビームスプリッタ5,6は相互に平行な状態で光路に沿ってレーザダイオード2〜4とコリメータレンズ7の間に配置され、フィルタミラー膜5a,6aは光ビームB1〜B3の進行方向に対して45度傾斜している。なお、各ビームスプリッタ5,6において、コリメータレンズ7側に進行しなかった光ビームは、ビームスプリッタ5,6の底面に設けられている遮光板5b,6bによって遮光される。
【0022】
ベース台31は、ねじや接着剤等によってハウジング(図示せず)の水平基準面(底面)上に固定される。第1及び第2可動保持台32,33と鏡胴38は、このベース台31の光軸Bに対して平行な面31a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。すなわち、第1及び第2ビームスプリッタ5,6とコリメータレンズ7は、第1及び第2ビームスプリッタ5,6によって重ね合わされた光ビームB1〜B3の進行方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0023】
第1光源ホルダ35はベース台31の光軸Bに対して垂直な面31b上にy,z方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第1レーザダイオード2は、この第1レーザダイオード2の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されている。第2及び第3光源ホルダ36,37は、それぞれ第1及び第2可動保持台32,33の光軸Bに対して平行な面32a,33a上に、x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第2及び第3レーザダイオード3,4は、それぞれ第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビームB2,B3の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されている。
【0024】
ここで、以上の構成からなる第1例の光源ユニット1の各部の位置調整について説明する。以下の調整作業は専用の調整治具上で行われ、第1〜第3レーザダイオード2〜4から放射された光ビームB1〜B3は調整治具の像面上に照射される。
まず、第1レーザダイオード2から光ビームB1を放射させ、第1光源ホルダ35をy,z方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2の光ビーム放射位置を決める。さらに、鏡胴38をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB1のピント合わせを行って、コリメータレンズ7の位置を決める。
【0025】
次に、第2レーザダイオード3から光ビームB2を放射させ、第2光源ホルダ36をx,y方向に2次元的に移動させ、第2レーザダイオード3の光ビーム放射位置を決める。この後、第1可動保持台32をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB2のピント合わせを行う。このとき、第2レーザダイオード3は第1ビームスプリッタ5と共にx方向に移動するため、調整治具の像面上での光ビームB2の照射位置は変化しない。ところが、仮に、第1ビームスプリッタ5を第2レーザダイオード3とは独立にx方向に移動させてピント合わせを行うと、ピント状態が変わると同時に像面上での光ビームB2の照射位置も変わるという不具合が生じる。
【0026】
さらに、第2レーザダイオード3のピント合わせ作業は、第1レーザダイオード2のピント状態や像面上での光ビームB1の照射位置には殆ど影響を与えない。なぜならば、第1レーザダイオード2から放射される光ビームB1に対して、第1ビームスプリッタ5は平行平板であり、x方向に移動してその位置を変えても光学的には等価だからである。
【0027】
次に、第3レーザダイオード4から光ビームB3を放射させ、第3光源ホルダ37をx,y方向に2次元的に移動させ、第3レーザダイオード4の光ビーム放射位置を決める。この後、第2可動保持台33をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB3のピント合わせを行う。このとき、第3レーザダイオード4は第2ビームスプリッタ6と共にx方向に移動するため、調整治具の像面上での光ビームB3の照射位置は変化しない。さらに、第3レーザダイオード4のピント合わせ作業も、第1及び第2レーザダイオード2,3のピント状態等には殆ど影響を与えない。なぜならば、第1及び第2レーザダイオード2,3から放射される光ビームB1,B2に対して、第2ビームスプリッタ6は平行平板であり、x方向に移動してその位置を変えても光学的には等価だからである。
【0028】
次に、第2及び第3光源ホルダ36,37をx,y方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2から放射された光ビームB1の像面上での照射位置を基準にして、第2及び第3レーザダイオード3,4から放射された光ビームB2,B3の像面上での照射位置を調整し、第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビーム放射位置を微調整する。このときの第2及び第3レーザダイオード3,4の移動量は僅かであり、ピント状態が崩れる心配はない。このように、ピント合わせの前にレーザダイオードの光ビーム放射位置を決めているにも関わらず、再び微調整する必要があるのは、複数ビームで同時に書き込む場合、光ビーム間の相対位置が高精度でなければならないからである。
【0029】
なお、第1例においては、第2レーザダイオード3の光ビーム放射位置及びピント合わせを、第3レーザダイオード4の光ビーム放射位置及びピント合わせより先に行っているが、第3レーザダイオード4の光ビーム放射位置及びピント合わせを先に行ってもよい。
【0030】
以上の構成からなる光源ユニット1は、第1及び第2可動保持部材32,33を移動させて第2及び第3レーザダイオード3,4から放射される光ビームB2,B3のピント合わせをしても、その第1及び第2可動保持部材32,33に固定された第1及び第2ビームスプリッタ5,6を通過する光ビームB1,B2,B3の像面上でのピント状態や照射位置には殆ど影響を与えない。従って、適当な順序で第1〜第3レーザダイオード2〜4のピント合わせや放射位置を決めることにより、各レーザダイオード2〜4を独立して調整することができる。
【0031】
次に、光源ユニット1の構造の第2例について図3を参照して説明する。
この光源ユニット1は、ベース台41、第1ビームスプリッタ5’を保持する第1可動保持台42、第2ビームスプリッタ6’を保持する第2可動保持台43、第1レーザダイオード2を保持する第1光源ホルダ45、第2レーザダイオード3を保持する第2光源ホルダ46、第3レーザダイオード4を保持する第3光源ホルダ47、コリメータレンズ7を保持する鏡胴48とで構成されている。
【0032】
第1ビームスプリッタ5’のフィルタミラー膜5a’は、入射ビームの約33%を透過させ、約67%を反射させる。第2ビームスプリッタ6’のフィルタミラー膜6a’は、入射ビームの約50%を透過させ、約50%を反射させる。図3中において5b’,6b’は遮光板である。
【0033】
ベース台41は、ねじや接着剤等によってハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。第1可動保持台42と鏡胴48は、このベース台41の光軸Bに対して平行な面41a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。すなわち、第1ビームスプリッタ5’とコリメータレンズ7は、第1及び第2ビームスプリッタ5’,6’によって重ね合わされた光ビームB1〜B3の進行方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0034】
第2可動保持台43は、第1可動保持台42の光軸Bに対して垂直な面42b上に、z方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。すなわち、第2ビームスプリッタ6’は、第2ビームスプリッタ6’によって重ね合わされた光ビームB2,B3の進行方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0035】
第1光源ホルダ45はベース台41の光軸Bに対して垂直な面41b上にy,z方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第1レーザダイオード2は、この第1レーザダイオード2の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されている。第2光源ホルダ46は、第1可動保持台42の光軸Bに対して平行な面42a上に、x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。第3光源ホルダ47は、第2可動保持台43の光軸Bに対して垂直な面43a上に、y,z方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第2及び第3レーザダイオード3,4は、それぞれ第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビームB2,B3の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されている。
【0036】
ここで、以上の構成からなる第2例の光源ユニット1の各部の位置調整について説明する。
まず、第1レーザダイオード2から光ビームB1を放射させ、第1光源ホルダ45をy,z方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2の光ビーム放射位置を決める。さらに、鏡胴48をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB1のピント合わせを行って、コリメータレンズ7の位置を決める。
【0037】
次に、第2レーザダイオード3から光ビームB2を放射させ、第2光源ホルダ46をx,y方向に2次元的に移動させ、第2レーザダイオード3の光ビーム放射位置を決める。この後、第1可動保持台42をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB2のピント合わせを行う。このとき、第2レーザダイオード3は第1ビームスプリッタ5’と共にx方向に移動するため、調整治具の像面上での光ビームB2の照射位置は変化しない。さらに、第2レーザダイオード3のピント合わせ作業は、第1レーザダイオード2のピント状態や像面上での光ビームB1の照射位置には殆ど影響を与えない。
【0038】
次に、第3レーザダイオード4から光ビームB3を放射させ、第3光源ホルダ47をz,y方向に2次元的に移動させ、第3レーザダイオード4の光ビーム放射位置を決める。この後、第2可動保持台43をz方向に1次元的に移動させ、光ビームB3のピント合わせを行う。このとき、第3レーザダイオード4は第2ビームスプリッタ6’と共にx方向に移動するため、調整治具の像面上での光ビームB3の照射位置は変化しない。さらに、第3レーザダイオード4のピント合わせ作業も、第1及び第2レーザダイオード2,3のピント状態等には殆ど影響を与えない。
【0039】
次に、第2光源ホルダ46をx,y方向に2次元的に移動させると共に、第3光源ホルダ47をy,z方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2から放射された光ビームB1の像面上での照射位置を基準にして、第2及び第3レーザダイオード3,4から放射された光ビームB2,B3の像面上での照射位置を調整し、第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビーム放射位置を微調整する。このときの第2及び第3レーザダイオード3,4の移動量は僅かであり、ピント状態が崩れる心配はない。以上の構成からなる第2例の光源ユニット1は、前記第1例の光源ユニットと同様の作用効果を奏する。
【0040】
次に、光源ユニット1の構造の第3例について図4を参照して説明する。この光源ユニット1はレーザダイオードを2個備えたものである。
光源ユニット1は、ベース台51、第1ビームスプリッタ5を保持する第1可動保持台52、第1レーザダイオード2を保持する第1光源ホルダ55、第2レーザダイオード3を保持する第2光源ホルダ56、コリメータレンズ7を保持する鏡胴58とで構成されている。
【0041】
ベース台51は、ねじや接着剤等によってハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。第1可動保持台52は、このベース台51の光軸Bに対して平行な面51a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。鏡胴58は、第1可動保持台52の光軸Bに対して平行な面52a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。すなわち、第1ビームスプリッタ5とコリメータレンズ7は、第1ビームスプリッタ5によって重ね合わされた光ビームB1,B2の進行方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0042】
第1光源ホルダ55はベース台51の光軸Bに対して垂直な面51b上にy,z方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第1レーザダイオード2は、この第1レーザダイオード2の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されている。第2光源ホルダ56は、第1可動保持台52の光軸Bに対して平行な面52b上に、x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第2レーザダイオード3は、第2レーザダイオード3の光ビームB2の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されている。
【0043】
ここで、以上の構成からなる第3例の光源ユニット1の各部の位置調整について説明する。
まず、第2レーザダイオード3から光ビームB2を放射させ、第2光源ホルダ56をx,y方向に2次元的に移動させ、第2レーザダイオード3の光ビーム放射位置を決める。さらに、鏡胴58をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB2のピント合わせを行って、コリメータレンズ7の第1可動保持台52に対する位置を決める。
【0044】
次に、第1レーザダイオード2から光ビームB1を放射させ、第1光源ホルダ55をy,z方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2の光ビーム放射位置を決める。この後、第1可動保持台52をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB1のピント合わせを行う。このとき、調整治具の像面上での光ビームB1の照射位置は変化しない。さらに、第1レーザダイオード2のピント合わせ作業は、第2レーザダイオード3のピント状態や像面上での光ビームB2の照射位置には殆ど影響を与えない。この位置調整では、第1レーザダイオード2から放射された光ビームB1と第2レーザダイオード3から放射された光ビームB2の像面上での照射位置関係を高精度で調整できるので、この後に第1及び第2レーザダイオード2,3の光ビーム放射位置を必ずしも微調整する必要がない。
【0045】
次に、光源ユニット1の構造の第4例について図5を参照して説明する。この第4例は、基本的には第3例と同様のタイプのものであり、レーザダイオードを3個備えている。
この光源ユニット1は、ベース台61、第1ビームスプリッタ5を保持する第1可動保持台62、第2ビームスプリッタ6を保持する第2可動保持台63、第1レーザダイオード2を保持する第1光源ホルダ65、第2レーザダイオード3を保持する第2光源ホルダ66、第3レーザダイオード4を保持する第3光源ホルダ67、コリメータレンズ7を保持する鏡胴68とで構成されている。
【0046】
ベース台61は、ねじや接着剤等によってハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。第1可動保持台62は、このベース台61の光軸Bに対して平行な面61a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。第2可動保持台63は第1可動保持台62の光軸Bに対して平行な面62a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。鏡胴68は第2可動保持台63の光軸Bに対して平行な面63a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。すなわち、第1及び第2ビームスプリッタ5,6とコリメータレンズ7は、第1及び第2ビームスプリッタ5,6によって重ね合わされた光ビームB1〜B3の進行方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0047】
第1光源ホルダ65はベース台61の光軸Bに対して垂直な面61b上にy,z方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第1レーザダイオード2は、この第1レーザダイオード2の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されている。第2及び第3光源ホルダ66,67は、それぞれ第1及び第2可動保持台62,63の光軸Bに対して平行な面62b,63b上に、x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第2及び第3レーザダイオード3,4は、それぞれ第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビームB2,B3の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されている。
【0048】
ここで、以上の構成からなる第4例の光源ユニット1の各部の位置調整について説明する。
まず、第3レーザダイオード4から光ビームB3を放射させ、第3光源ホルダ67をy,z方向に2次元的に移動させ、第3レーザダイオード4の光ビーム放射位置を決める。さらに、鏡胴68をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB3のピント合わせを行って、コリメータレンズ7の位置を決める。
【0049】
次に、第2レーザダイオード3から光ビームB2を放射させ、第2光源ホルダ66をx,y方向に2次元的に移動させ、第2レーザダイオード3の光ビーム放射位置を決める。この後、第2可動保持台63をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB2のピント合わせを行う。このとき、調整治具の像面上での光ビームB2の照射位置は変化しない。さらに、第2レーザダイオード3のピント合わせ作業は、第3レーザダイオード4のピント状態や像面上での光ビームB3の照射位置には殆ど影響を与えない。
【0050】
次に、第1レーザダイオード2から光ビームB1を放射させ、第1光源ホルダ65をx,y方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2の光ビーム放射位置を決める。この後、第1可動保持台62をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB1のピント合わせを行う。このとき、調整治具の像面上での光ビームB1の照射位置は変化しない。さらに、第1レーザダイオード2のピント合わせ作業も、第2及び第3レーザダイオード3,4のピント状態等には殆ど影響を与えない。
【0051】
次に、第2及び第3光源ホルダ66,67をx,y方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2から放射された光ビームB1の像面上での照射位置を基準にして、第2及び第3レーザダイオード3,4から放射された光ビームB2,B3の像面上での照射位置を調整し、第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビーム放射位置を微調整する。このときの第2及び第3レーザダイオード3,4の移動量は僅かであり、ピント状態が崩れる心配はない。以上の構成からなる第4例の光源ユニット1は、前記第1例の光源ユニットと同様の作用効果を奏する。
【0052】
次に、光源ユニット1の構造の第5例について図6を参照して説明する。
この光源ユニット1は、第1及び第2ビームスプリッタ5,6を保持したベース台71、三つの板ばね72,73,74、第1レーザダイオード2を保持する第1光源ホルダ76、第2レーザダイオード3を保持する第2光源ホルダ77、第3レーザダイオード4を保持する第3光源ホルダ78、コリメータレンズ7を保持する鏡胴79とで構成されている。
【0053】
ベース台71は、ねじや接着剤等によってハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。鏡胴79は、このベース台71の光軸Bに対して平行な面71a上にねじ又は接着剤等で固定されている。
【0054】
板ばね72は略U字形をしており、二つの腕部のうち一方の腕部がベース台71の光軸Bに対して垂直な面71b上に接着剤等で固定されている。他方の腕部には調整用ねじ75が取り付けられており、この調整用ねじ75をベース台71に螺着させて板ばね72を締めたり緩めたりすることにより、板ばね72を撓ませて他方の腕部をx方向に位置調整することができる。同様に、板ばね73,74も略U字形をしており、それぞれ二つの腕部のうち一方の腕部がベース台71の光軸Bに対して平行な面71c,71d上に接着剤等で固定されている。他方の腕部には調整用ねじ75が取り付けられており、この調整用ねじ75をベース台71に螺着させて板ばね73,74を締めたり緩めたりすることにより、板ばね73,74を撓ませて他方の腕部をz方向に位置調整することができる。このような簡素な構造の板ばねを72〜74を用いることにより、第1〜第3レーザダイオード2〜4の調整機構の複雑化を避けることができ、調整作業を容易化することができる。
【0055】
第1光源ホルダ76は板ばね72の光軸Bに対して垂直な面72a上にy,z方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第1レーザダイオード2は、第1光源ホルダ76によってこの第1レーザダイオード2の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に、かつ、板ばね72によって光ビームB1の放射方向と平行な方向に位置調節可能に設置されている。
【0056】
第2及び第3光源ホルダ77,78は、それぞれ板ばね73,74の光軸Bに対して平行な面73a,74a上に、x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第2及び第3レーザダイオード3,4は、それぞれ第2及び第3光源ホルダ77,78によって第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビームB2,B3の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に、かつ、板ばね73,74によって光ビームB2,B3の放射方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0057】
ここで、以上の構成からなる第5例の光源ユニット1の各部の位置調整について説明する。
第5例の光源ユニット1の場合、第1〜第3レーザダイオード2〜4の位置調整はそれぞれ独立して行うことができ、任意の順番で調整することができる。例えば、第3レーザダイオード4から光ビームB3を放射させ、第3光源ホルダ78をx,y方向に2次元的に移動させ、第3レーザダイオード4の光ビーム放射位置を決める。さらに、調整用ねじ75を回して前進又は後退させることにより、板ばね74の第3光源ホルダ78が取り付けられた腕をz方向に1次元的に移動させ、光ビームB3のピント合わせを行う。
【0058】
以下、同様にして第1及び第2レーザダイオード2,3のそれぞれの位置調整を行う。それぞれのレーザダイオードの位置調整作業は他のレーザダイオードのピント状態等には殆ど影響を与えない。なぜなら、第1及び第2ビームスプリッタ5,6とコリメータレンズ7の位置は固定されており、一のレーザダイオードを移動させて第1及び第2ビームスプリッタ5,6とコリメータレンズ7との位置関係を変えても、他のレーザダイオードとこれらの部品5〜7との位置関係は変わらないからである。
【0059】
次に、光源ユニット1の構造の第6例について図7を参照して説明する。
この光源ユニット1は、第1及び第2ビームスプリッタ5,6を保持したベース台81、ベース台81と一体的に設けられた二つの板ばね82,83、第1レーザダイオード2を保持する第1光源ホルダ84、第2レーザダイオード3を保持する第2光源ホルダ85、第3レーザダイオード4を保持する第3光源ホルダ86、コリメータレンズ7を保持する鏡胴88とで構成されている。
【0060】
ベース台81は、ねじや接着剤等によってハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。鏡胴88は、このベース台81の光軸Bに対して平行な面81a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。
【0061】
板ばね82は略L字形をしており、ベース台81の光軸Bに対して垂直な面81bから延在し、面81bに対して略平行な面82aを有している。板ばね82の先端部には調整用ねじ87が取り付けられており、この調整用ねじ87をベース台81に螺着させて板ばね82を締めたり緩めたりすることによって、板ばね82を撓ませて面82aをx方向に1次元的に位置調整することができる。同様に、板ばね83も略L字形をしており、ベース台81の光軸に対して平行な面81cから延在し、面81cに対して略平行な面83aを有している。板ばね83の先端部には調整用ねじ87が取り付けられており、この調整用ねじ87をベース台81に螺着させて板ばね83を撓ませて面83aをz方向に位置調整することができる。
【0062】
第1光源ホルダ84は板ばね82の光軸Bに対して垂直な面82a上にy,z方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第1レーザダイオード2は、第1光源ホルダ84によってこの第1レーザダイオード2の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に、かつ、板ばね82によって光ビームB1の放射方向と平行な方向に位置調節可能に設置されている。第2光源ホルダ85は、板ばね83の光軸Bに対して平行な面83a上に、x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第2レーザダイオード3は、第2光源ホルダ85によって第2レーザダイオード3の光ビームB2の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に、かつ、板ばね83によって光ビームB2の放射方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。第3光源ホルダ86は、ベース台81の光軸Bに対して平行な面81d上に、x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第3レーザダイオード4は、その光ビームB3の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されている。
【0063】
ここで、以上の構成からなる第6例の光源ユニット1の各部の位置調整について説明する。
まず、第3レーザダイオード4から光ビームB3を放射させ、第3光源ホルダ86をy,z方向に2次元的に移動させ、第3レーザダイオード4の光ビーム放射位置を決める。さらに、鏡胴88をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB3のピント合わせを行って、コリメータレンズ7の位置を決める。
【0064】
次に、第1レーザダイオード2又は第2レーザダイオード3のいずれか一方の調整を行う。例えば、第1レーザダイオード2から光ビームB1を放射させ、第1光源ホルダ84をy,z方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2の光ビーム放射位置を決める。さらに、調整用ねじ87によって板ばね82の面82aをx方向に1次元的に移動させ、光ビームB1のピント合わせを行う。同様にして第2レーザダイオード3の位置調整を行う。
【0065】
次に、光源ユニット1の構造の第7例について図8を参照して説明する。
この光源ユニット1は、第1及び第2ビームスプリッタ5,6を保持したベース台91、第1、第2及び第3可動保持台92,93,94、第1レーザダイオード2を保持する第1光源ホルダ95、第2レーザダイオード3を保持する第2光源ホルダ96、第3レーザダイオード4を保持する第3光源ホルダ97、コリメータレンズ7を保持する鏡胴98とで構成されている。第1〜第3可動保持台92〜94の形状は同一形状とされ、部品管理の容易化と量産化による部品コスト低減を図ることができる。
【0066】
ベース台91は、ねじや接着剤等によってハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。鏡胴98は、このベース台91の光軸Bに対して平行な面91a上にねじ又は接着剤等で固定されている。第1可動保持台92は、ベース台91の光軸Bに対して垂直な面91b上に、y,z方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。同様に、第2及び第3可動保持台93,94は、それぞれベース台91の光軸Bに対して平行な面91c,91d上に、x,y方向に2次元的に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。
【0067】
第1光源ホルダ95は第1可動保持台92の光軸Bに対して平行な面92a上にx方向に1次元的に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第1レーザダイオード2は、第1可動保持台92によってこの第1レーザダイオード2の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に、かつ、第1光源ホルダ95によって光ビームB1の放射方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0068】
第2及び第3光源ホルダ96,97は、それぞれ第2及び第3可動保持台93,94の光軸Bに対して垂直な面93a,94a上に、z方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第2及び第3レーザダイオード3,4は、それぞれ第2及び第3可動保持台93,94によって第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビームB2,B3の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に、かつ、第2及び第3光源ホルダ96,97によって光ビームB2,B3の放射方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。第7例の光源ユニット1の場合、第1〜第3レーザダイオード2〜4の位置調整はそれぞれ独立して行うことができ、任意の順番で調整することができる。
【0069】
なお、本発明に係る光源装置及び光ビーム走査光学装置は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。例えば、レーザダイオード2〜4の光ビームを結合する素子としては、二つの三角プリズムを組み合わせたキューブ型ビームスプリッタ5,6の他に、無偏光ハーフミラー面を有する平板、偏光特性を有するフィルタミラー面を有する平板、あるいは、波長選択性を有するフィルタミラー面を有する平板等であってもよい。また、ベース部材は、必ずしもハウジングと別体にする必要はなく、ハウジングを延在させたものであってもよい。
【0070】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、可動保持部材を移動させて一の光源から放射される光ビームのピント合わせを行う場合、その可動保持部材に固定された重ね合わせ手段を通過する他の光源の光ビームはピント状態も像面上での照射位置も影響を受けない。従って、適当な順序で光源を調整することにより、各光源は独立してピント合わせや像面上での照射位置が調整される。この結果、光ビームの重ね合わせを集光レンズに入射する前に行い、しかも各光源の位置調整を簡素な機構で独立して行うことができる光源装置及び光ビーム走査光学装置を得ることができる。
【0071】
また、重ね合わせ手段や集光レンズをベース部材に固定すると共に、弾性部材や可動保持部材によって光源を3次元的に位置調整可能にベース部材に取り付けることにより、重ね合わせ手段や集光レンズに対して、各光源は他の光源とは独立して三次元的に位置調整され、光源の調整順序を考慮することなくピント合わせや像面上での照射位置調整を個々の光源毎に独立して行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光ビーム走査光学装置の一実施形態を示す概略構成図。
【図2】本発明に係る光源装置の第1例を示す概略構成図。
【図3】本発明に係る光源装置の第2例を示す概略構成図。
【図4】本発明に係る光源装置の第3例を示す概略構成図。
【図5】本発明に係る光源装置の第4例を示す概略構成図。
【図6】本発明に係る光源装置の第5例を示す概略構成図。
【図7】本発明に係る光源装置の第6例を示す概略構成図。
【図8】本発明に係る光源装置の第7例を示す概略構成図。
【符号の説明】
1…光源ユニット
2,3,4…レーザダイオード
5,6,5’,6’…ビームスプリッタ
7…コリメータレンズ
12…ポリゴンミラー
13,14,15…走査レンズ
31,41,51,61,71,81,91…ベース台
32,33,42,43,52,62,63,92,93,94…可動保持台
35〜37,45〜47,55,56,65〜67,76〜78,84〜86,95〜97…光源ホルダ
72〜74,82,83…板ばね
B1,B2,B3…光ビーム
Claims (5)
- k個(k≧2)の光源と、
前記k個の光源からそれぞれ放射された光ビームを重ね合わせて同一方向に進行させるk−1個の重ね合わせ手段と、
前記k個の光源のうち第1の光源がこの第1の光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されたベース部材と、
前記k個の光源のうち第i(2≦i≦k)の光源がこの第iの光源の光ビーム放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置され、かつ、前記k−1個の重ね合わせ手段のうち第j(1≦j≦k−1)の重ね合わせ手段が固定された第jの可動保持部材と、
前記ベース部材又は前記可動保持部材のいずれか一つに、光軸と平行な方向に位置調整可能に設置された、前記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビームをそれぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集光レンズとを備え、
k−1個の前記可動保持部材のうち第jの可動保持部材が、前記ベース部材又は前記第1から前記第j−1までの可動保持部材のいずれか一つに、前記第jの重ね合わせ手段によって重ね合わされた光ビームの進行方向と平行な方向に位置調整可能に設置されていること、
を特徴とする光源装置。 - k個(k≧2)の光源と、
前記k個の光源からそれぞれ放射された光ビームを重ね合わせて同一方向に進行させるk−1個の重ね合わせ手段と、
前記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビームをそれぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集光レンズと、
前記k個の光源がそれぞれ各光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されたk個の弾性部材と、
前記k個の弾性部材が各弾性部材に設置された前記光源の光ビームの放射方向と平行な方向に弾性を有すると共にこの光ビームの放射方向と平行な方向に前記光源の位置を調整可能に設置され、かつ、前記k−1個の重ね合わせ手段と集光レンズとが固定されたベース部材と、
を備えたことを特徴とする光源装置。 - k個(k≧2)の光源と、
前記k個の光源からそれぞれ放射された光ビームを重ね合わせて同一方向に進行させるk−1個の重ね合わせ手段と、
前記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビームをそれぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集光レンズと、
前記k個の光源のうちk−1個の光源がそれぞれ各光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置されたk−1個の弾性部材と、
前記k−1個の弾性部材が各弾性部材に設置された前記光源の光ビームの放射方向と平行な方向に弾性を有すると共にこの光ビームの放射方向と平行な方向に前記光源の位置を調整可能に設置され、前記k個の光源のうち残る1個の光源がこの光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置され、前記集光レンズが光軸と平行な方向に位置調整可能に設置され、かつ、前記k−1個の重ね合わせ手段が固定されたベース部材と、
を備えたことを特徴とする光源装置。 - k個(k≧2)の光源と、
前記k個の光源からそれぞれ放射された光ビームを重ね合わせて同一方向に進行させるk−1個の重ね合わせ手段と、
前記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビームをそれぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集光レンズと、
前記k−1個の重ね合わせ手段と前記集光レンズとが固定されたベース部材と、
前記k個の光源のうち第i(1≦i≦k)の光源が、この第iの光源の光ビームの放射方向と平行な方向の位置を調整可能に設置された第iの可動保持部材とを備え、
k個の前記可動保持部材のうち、光源がこの光源の光ビームの放射方向と平行な方向の位置調整可能に設置された可動保持部材を、前記ベース部材に前記光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置したこと、
を特徴とする光源装置。 - 請求項1、請求項2、請求項3又は請求項4記載のいずれか一つの光源装置と、
前記光源装置から放射された光ビームを偏向する光偏向器と、
前記偏向器から出射した光ビームを被走査面上にライン状に走査する走査光学素子と、
を備えたことを特徴とする光ビーム走査光学装置。
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