JPH1172730A - 光源装置及び光ビーム走査光学装置 - Google Patents

光源装置及び光ビーム走査光学装置

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JPH1172730A
JPH1172730A JP23505497A JP23505497A JPH1172730A JP H1172730 A JPH1172730 A JP H1172730A JP 23505497 A JP23505497 A JP 23505497A JP 23505497 A JP23505497 A JP 23505497A JP H1172730 A JPH1172730 A JP H1172730A
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Yoshihiro Inagaki
義弘 稲垣
Toshio Naiki
俊夫 内貴
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ビームの重ね合わせを集光レンズに入射す
る前に行い、しかも各光源の位置調整を簡素な機構で独
立して行う。 【解決手段】 第1及び第2ビームスプリッタ5,6を
それぞれ保持した第1及び第2可動保持台32,33と
鏡胴38は、ベース台31の光軸Bに対して平行な面3
1a上に、x方向に位置調整可能に取り付けられてい
る。第1レーザダイオード2を保持した第1光源ホルダ
35は、ベース台31の光軸に対して垂直な面31b上
にy,z方向に位置調整可能に取り付けられている。第
2及び第3レーザダイオード3,4をそれぞれ保持した
第2及び第3光源ホルダ36,37は、第1及び第2可
動保持台32,33の光軸Bに対して平行な面32a,
33a上にx,y方向に位置調整可能に取り付けられて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光源装置及び光ビ
ーム走査光学装置、詳しくはレーザプリンタやデジタル
複写機の画像書込み手段として用いられる光源装置及び
光ビーム走査光学装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、画素密度を高めたり、画像書込み
速度を高めることが求められ、そのために、複数の光源
を設置して、それぞれの光ビームを副走査方向に近接し
た状態で偏向走査し、1回の走査で複数ラインずつ画像
を書き込む光ビーム走査光学装置が提案されている。そ
して、従来、この種の光ビーム走査光学装置の光源装置
として、複数の光源から放射された光ビームをそれぞれ
略平行光又は収束光に変換する複数の集光レンズと、各
集光レンズから出射された光ビームを重ね合わせる複数
のビームスプリッタとを備えたものが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光源装置にあっては、各光源毎に集光レンズを必要と
し、集光レンズの位置調整作業がその分多くなると共
に、集光レンズ位置調節機構のための部品点数も増える
という問題があった。そこで、この問題を解消するため
に、光ビームの重ね合わせを集光レンズに入射する前に
行う構成が提案されている。しかし、複数の光源から放
射された光ビームを単に一つの集光レンズに入射させる
だけでは、一つの光源についてピント合わせや像面上で
の照射位置調整を行うと、他の光源のピント状態や像面
上での照射位置がずれるという問題があった。さらに、
各光源毎にピント合わせと像面上での照射位置調整をし
なければならず、各光源をそれぞれ三次元的に調整する
ための複雑な位置調整機構が必要であった。
【0004】そこで、本発明の目的は、光ビームの重ね
合わせを集光レンズに入射する前に行い、しかも各光源
の位置調整を簡素な機構で独立して行うことができる光
源装置及び光ビーム走査光学装置を提供することにあ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段と作用】以上の目的を達成
するため、本発明に係る光源装置は、(a)k個(k≧
2)の光源と、(b)前記k個の光源からそれぞれ放射
された光ビームを重ね合わせて同一方向に進行させるk
−1個の重ね合わせ手段と、(c)前記k個の光源のう
ち第1の光源がこの第1の光源の光ビームの放射方向と
直交する面内での位置を調整可能に設置されたベース部
材と、(d)前記k個の光源のうち第i(2≦i≦k)
の光源がこの第iの光源の光ビーム放射方向と直交する
面内での位置を調整可能に設置され、かつ、前記k−1
個の重ね合わせ手段のうち第j(1≦j≦k−1)の重
ね合わせ手段が固定された第jの可動保持部材と、
(e)前記ベース部材又は前記可動保持部材のいずれか
一つに、光軸と平行な方向に位置調整可能に設置され
た、前記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビーム
をそれぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集
光レンズとを備え、(f)k−1個の前記可動保持部材
のうち第jの可動保持部材が、前記ベース部材又は前記
第1から前記第j−1までの可動保持部材のいずれか一
つに、前記第jの重ね合わせ手段によって重ね合わされ
た光ビームの進行方向と平行な方向に位置調整可能に設
置されていること、を特徴とする。ここに、略平行光
は、若干発散する光をも含む。
【0006】以上の構成により、可動保持部材を移動さ
せて一の光源から放射される光ビームのピント合わせを
行う場合、その可動保持部材に設置された重ね合わせ手
段を通過する他の光源の光ビームはピント状態も像面上
での照射位置も影響を受けない。従って、適当な順序で
光源を調整することにより、各光源は独立してピント合
わせや像面上での照射位置が調整される。
【0007】さらに、本発明に係る光源装置は、k個の
光源がそれぞれ各光源の光ビームの放射方向と直交する
面内での位置を調整可能に設置されたk個の弾性部材
と、前記k個の弾性部材が各弾性部材に設置された前記
光源の光ビームの放射方向と平行な方向に弾性を有する
と共にこの光ビームの放射方向と平行な方向に前記光源
の位置を調整可能に設置され、かつ、k−1個の重ね合
わせ手段と集光レンズとが固定されたベース部材とを備
えている。
【0008】また、本発明に係る光源装置は、k個の光
源のうちk−1個の光源が、それぞれの光源の光ビーム
の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設置さ
れたk−1個の弾性部材と、前記k−1個の弾性部材が
各弾性部材に設置された光源の光ビームの放射方向と平
行な方向に弾性を有すると共にこの光ビームの放射方向
と平行な方向に前記光源の位置を調整可能に設置され、
前記k個の光源のうち残る1個の光源がこの光源の光ビ
ームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設
置され、集光レンズが光軸と平行な方向に位置を調整可
能に設置され、かつ、k−1個の重ね合わせ手段が固定
されたベース部材とを備えている。
【0009】また、本発明に係る光源装置は、k−1個
の重ね合わせ手段と集光レンズとが固定されたベース部
材と、k個の光源のうち第i(1≦i≦k)の光源が、
この第iの光源の光ビームの放射方向と直交する面内で
の位置又はこの第iの光源の光ビームの放射方向と平行
な方向の位置のいずれか一方の位置を調整可能に設置さ
れた第iの可動保持部材とを備え、k個の前記可動保持
部材のうち、光源がこの光源の光ビームの放射方向と直
交する面内での位置を調整可能に設置された可動保持部
材を、前記ベース部材に前記光源の光ビームの放射方向
と平行な方向に位置調整可能に設置し、かつ、光源がこ
の光源の光ビームの放射方向と平行な方向の位置調整可
能に設置された可動保持部材を、前記ベース部材に前記
光源の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調
整可能に設置したことを特徴とする。
【0010】以上の構成により、ベース部材に位置を固
定された重ね合わせ手段に対して、各光源は他の光源と
は独立して三次元的に位置調整され、ピント合わせや像
面上での照射位置調整が個々の光源毎に独立して行なわ
れる。
【0011】また、本発明に係る光ビーム走査光学装置
は、さらに、光源装置から放出された光ビームを偏向す
る光偏向器と、前記偏向器から出射した光ビームを被走
査面上にライン状に走査する走査光学素子とを備えたこ
とを特徴とする。以上の構成により、被走査面上での光
ビームのフォーカス調整と集光位置調整が容易となる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る光源装置及び
光ビーム走査光学装置の実施形態について添付図面を参
照して説明する。
【0013】図1において、光ビーム走査光学装置は、
概略、光源ユニット1と、シリンドリカルレンズ11と
ポリゴンミラー12と3枚のfθレンズ13,14,1
5及びシリンドリカルレンズ16と、平面ミラー17と
で構成されている。
【0014】光源ユニット1は、光ビームB1,B2,B
3を放射する第1、第2及び第3レーザダイオード2,
3,4と、二つの三角プリズムをフィルタミラー膜を介
して接合したキューブ型の第1及び第2ビームスプリッ
タ5,6と、コリメータレンズ7とからなる。放射され
た光ビームB1は、第1及び第2ビームスプリッタ5,
6のフィルタミラー膜を透過して直進し、コリメータレ
ンズ7によって平行光(又は収束光)とされる。第2レ
ーザダイオード3から放射された光ビームB2は、第1
ビームスプリッタ5のフィルタミラー膜で90度に反射
された後、第2ビームスプリッタ6のフィルタミラー膜
を透過して、コリメータレンズ7によって平行光(又は
収束光)とされる。第3レーザダイオード4から放射さ
れた光ビームB3は、第2ビームスプリッタ6のフィル
タミラー膜で90度に反射され、コリメータレンズ7に
よって平行光(又は収束光)とされる。光ビームB1
2は第1ビームスプリッタ5で同一進行方向に結合さ
れた後、さらに第2ビームスプリッタ6で光ビームB3
と同一進行方向に結合される。これらの光ビームB1
3は、光束の大部分をほとんど重なり合わせつつ、光
束の中心を互いに副走査方向にわずかに異ならせた状態
で進行する。
【0015】コリメータレンズ7から出射された光ビー
ムB1〜B3は、シリンドリカルレンズ11を介してポリ
ゴンミラー12に到達する。シリンドリカルレンズ11
は光ビームB1〜B3をポリゴンミラー12の反射面近傍
に主走査方向に長い線状に集光する。ポリゴンミラー1
2は矢印a方向に一定角速度で回転駆動される。光ビー
ムB1〜B3はポリゴンミラー12の回転に基づいて各反
射面で等角速度に偏向走査され、fθレンズ13,1
4,15及びシリンドリカルレンズ16を透過し、平面
ミラー17で下方に反射される。その後、光ビームB1
〜B3は感光体ドラム25上で結像すると共に、矢印b
方向に走査する。即ち、この光学系では1回の走査で3
ラインを同時に書き込む。
【0016】fθレンズ13,14,15はポリゴンミ
ラー12で等角速度に偏向された光ビームB1〜B3を感
光体ドラム25上での主走査速度を等速に補正(歪曲収
差補正)機能を有している。シリンドリカルレンズ16
は前記シリンドリカルレンズ11と同様に副走査方向に
のみパワーを有し、二つのレンズ11,16が協働して
ポリゴンミラーの面倒れ誤差を補正する。
【0017】感光体ドラム25は矢印c方向に一定速度
で回転駆動され、ポリゴンミラー12及びfθレンズ1
3,14,15による矢印b方向への主走査と、感光体
ドラム25の矢印c方向への副走査によって感光体ドラ
ム25上に画像(静電潜像)が書き込まれる。
【0018】次に、光源ユニット1の構造の第1例につ
いて図2を参照して説明する。なお、以下の説明でx方
向とはビームスプリッタ6から出射される光軸Bに対し
て平行な方向、y方向とはx方向に対して水平面上で直
交する方向、z方向とは、x,y方向に直交する方向を
いう。さらに、同一部品及び同一部分には同じ符号を付
した。
【0019】この光源ユニット1は、ベース台31、第
1ビームスプリッタ5を保持する第1可動保持台32、
第2ビームスプリッタ6を保持する第2可動保持台3
3、第1レーザダイオード2を保持する第1光源ホルダ
35、第2レーザダイオード3を保持する第2光源ホル
ダ36、第3レーザダイオード4を保持する第3光源ホ
ルダ37、コリメータレンズ7を保持する鏡胴38とで
構成されている。
【0020】第1ないし第3レーザダイオード2〜4は
同一の性能のものであり、各レーザダイオード2〜4か
ら放射される光ビームB1〜B3の波長と光量は略等し
い。また、レーザダイオード2〜4は、第2ビームスプ
リッタ6から出射した光ビームB1〜B3のそれぞれの偏
光方向が同じ方向になるように、かつ、光ビームB1
3がビームスプリッタ5,6の入射面に対して縦波と
なるように配置されている。
【0021】第1ビームスプリッタ5のフィルタミラー
膜5aは、入射ビームの約50%を透過させ、約50%
を反射させる。第2ビームスプリッタ6のフィルタミラ
ー膜6aは、入射ビームの約67%を透過させ、約33
%を反射させる。フィルタミラー膜5a,6aの透過と
反射の特性をこのように設定することにより、第2ビー
ムスプリッタ6から出射した光ビームB1〜B3のそれぞ
れの光量を均一にすることができる。ビームスプリッタ
5,6は相互に平行な状態で光路に沿ってレーザダイオ
ード2〜4とコリメータレンズ7の間に配置され、フィ
ルタミラー膜5a,6aは光ビームB1〜B3の進行方向
に対して45度傾斜している。なお、各ビームスプリッ
タ5,6において、コリメータレンズ7側に進行しなか
った光ビームは、ビームスプリッタ5,6の底面に設け
られている遮光板5b,6bによって遮光される。
【0022】ベース台31は、ねじや接着剤等によって
ハウジング(図示せず)の水平基準面(底面)上に固定
される。第1及び第2可動保持台32,33と鏡胴38
は、このベース台31の光軸Bに対して平行な面31a
上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられて
いる。すなわち、第1及び第2ビームスプリッタ5,6
とコリメータレンズ7は、第1及び第2ビームスプリッ
タ5,6によって重ね合わされた光ビームB1〜B3の進
行方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0023】第1光源ホルダ35はベース台31の光軸
Bに対して垂直な面31b上にy,z方向に位置調整可
能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第
1レーザダイオード2は、この第1レーザダイオード2
の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調
整可能に設置されている。第2及び第3光源ホルダ3
6,37は、それぞれ第1及び第2可動保持台32,3
3の光軸Bに対して平行な面32a,33a上に、x,
y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられて
いる。すなわち、第2及び第3レーザダイオード3,4
は、それぞれ第2及び第3レーザダイオード3,4の光
ビームB2,B3の放射方向と直交する面内での位置を調
整可能に設置されている。
【0024】ここで、以上の構成からなる第1例の光源
ユニット1の各部の位置調整について説明する。以下の
調整作業は専用の調整治具上で行われ、第1〜第3レー
ザダイオード2〜4から放射された光ビームB1〜B3
調整治具の像面上に照射される。まず、第1レーザダイ
オード2から光ビームB1を放射させ、第1光源ホルダ
35をy,z方向に2次元的に移動させ、第1レーザダ
イオード2の光ビーム放射位置を決める。さらに、鏡胴
38をx方向に1次元的に移動させ、光ビームB 1のピ
ント合わせを行って、コリメータレンズ7の位置を決め
る。
【0025】次に、第2レーザダイオード3から光ビー
ムB2を放射させ、第2光源ホルダ36をx,y方向に
2次元的に移動させ、第2レーザダイオード3の光ビー
ム放射位置を決める。この後、第1可動保持台32をx
方向に1次元的に移動させ、光ビームB2のピント合わ
せを行う。このとき、第2レーザダイオード3は第1ビ
ームスプリッタ5と共にx方向に移動するため、調整治
具の像面上での光ビームB2の照射位置は変化しない。
ところが、仮に、第1ビームスプリッタ5を第2レーザ
ダイオード3とは独立にx方向に移動させてピント合わ
せを行うと、ピント状態が変わると同時に像面上での光
ビームB2の照射位置も変わるという不具合が生じる。
【0026】さらに、第2レーザダイオード3のピント
合わせ作業は、第1レーザダイオード2のピント状態や
像面上での光ビームB1の照射位置には殆ど影響を与え
ない。なぜならば、第1レーザダイオード2から放射さ
れる光ビームB1に対して、第1ビームスプリッタ5は
平行平板であり、x方向に移動してその位置を変えても
光学的には等価だからである。
【0027】次に、第3レーザダイオード4から光ビー
ムB3を放射させ、第3光源ホルダ37をx,y方向に
2次元的に移動させ、第3レーザダイオード4の光ビー
ム放射位置を決める。この後、第2可動保持台33をx
方向に1次元的に移動させ、光ビームB3のピント合わ
せを行う。このとき、第3レーザダイオード4は第2ビ
ームスプリッタ6と共にx方向に移動するため、調整治
具の像面上での光ビームB3の照射位置は変化しない。
さらに、第3レーザダイオード4のピント合わせ作業
も、第1及び第2レーザダイオード2,3のピント状態
等には殆ど影響を与えない。なぜならば、第1及び第2
レーザダイオード2,3から放射される光ビームB1
2に対して、第2ビームスプリッタ6は平行平板であ
り、x方向に移動してその位置を変えても光学的には等
価だからである。
【0028】次に、第2及び第3光源ホルダ36,37
をx,y方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオ
ード2から放射された光ビームB1の像面上での照射位
置を基準にして、第2及び第3レーザダイオード3,4
から放射された光ビームB2,B3の像面上での照射位置
を調整し、第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビ
ーム放射位置を微調整する。このときの第2及び第3レ
ーザダイオード3,4の移動量は僅かであり、ピント状
態が崩れる心配はない。このように、ピント合わせの前
にレーザダイオードの光ビーム放射位置を決めているに
も関わらず、再び微調整する必要があるのは、複数ビー
ムで同時に書き込む場合、光ビーム間の相対位置が高精
度でなければならないからである。
【0029】なお、第1例においては、第2レーザダイ
オード3の光ビーム放射位置及びピント合わせを、第3
レーザダイオード4の光ビーム放射位置及びピント合わ
せより先に行っているが、第3レーザダイオード4の光
ビーム放射位置及びピント合わせを先に行ってもよい。
【0030】以上の構成からなる光源ユニット1は、第
1及び第2可動保持部材32,33を移動させて第2及
び第3レーザダイオード3,4から放射される光ビーム
2,B3のピント合わせをしても、その第1及び第2可
動保持部材32,33に固定された第1及び第2ビーム
スプリッタ5,6を通過する光ビームB1,B2,B 3
像面上でのピント状態や照射位置には殆ど影響を与えな
い。従って、適当な順序で第1〜第3レーザダイオード
2〜4のピント合わせや放射位置を決めることにより、
各レーザダイオード2〜4を独立して調整することがで
きる。
【0031】次に、光源ユニット1の構造の第2例につ
いて図3を参照して説明する。この光源ユニット1は、
ベース台41、第1ビームスプリッタ5’を保持する第
1可動保持台42、第2ビームスプリッタ6’を保持す
る第2可動保持台43、第1レーザダイオード2を保持
する第1光源ホルダ45、第2レーザダイオード3を保
持する第2光源ホルダ46、第3レーザダイオード4を
保持する第3光源ホルダ47、コリメータレンズ7を保
持する鏡胴48とで構成されている。
【0032】第1ビームスプリッタ5’のフィルタミラ
ー膜5a’は、入射ビームの約33%を透過させ、約6
7%を反射させる。第2ビームスプリッタ6’のフィル
タミラー膜6a’は、入射ビームの約50%を透過さ
せ、約50%を反射させる。図3中において5b’,6
b’は遮光板である。
【0033】ベース台41は、ねじや接着剤等によって
ハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。第1
可動保持台42と鏡胴48は、このベース台41の光軸
Bに対して平行な面41a上に、x方向に位置調整可能
にねじ等で取り付けられている。すなわち、第1ビーム
スプリッタ5’とコリメータレンズ7は、第1及び第2
ビームスプリッタ5’,6’によって重ね合わされた光
ビームB1〜B3の進行方向と平行な方向に位置調整可能
に設置されている。
【0034】第2可動保持台43は、第1可動保持台4
2の光軸Bに対して垂直な面42b上に、z方向に位置
調整可能にねじ等で取り付けられている。すなわち、第
2ビームスプリッタ6’は、第2ビームスプリッタ6’
によって重ね合わされた光ビームB2,B3の進行方向と
平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0035】第1光源ホルダ45はベース台41の光軸
Bに対して垂直な面41b上にy,z方向に位置調整可
能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第
1レーザダイオード2は、この第1レーザダイオード2
の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調
整可能に設置されている。第2光源ホルダ46は、第1
可動保持台42の光軸Bに対して平行な面42a上に、
x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けら
れている。第3光源ホルダ47は、第2可動保持台43
の光軸Bに対して垂直な面43a上に、y,z方向に位
置調整可能にねじ等によって取り付けられている。すな
わち、第2及び第3レーザダイオード3,4は、それぞ
れ第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビーム
2,B3の放射方向と直交する面内での位置を調整可能
に設置されている。
【0036】ここで、以上の構成からなる第2例の光源
ユニット1の各部の位置調整について説明する。まず、
第1レーザダイオード2から光ビームB1を放射させ、
第1光源ホルダ45をy,z方向に2次元的に移動さ
せ、第1レーザダイオード2の光ビーム放射位置を決め
る。さらに、鏡胴48をx方向に1次元的に移動させ、
光ビームB 1のピント合わせを行って、コリメータレン
ズ7の位置を決める。
【0037】次に、第2レーザダイオード3から光ビー
ムB2を放射させ、第2光源ホルダ46をx,y方向に
2次元的に移動させ、第2レーザダイオード3の光ビー
ム放射位置を決める。この後、第1可動保持台42をx
方向に1次元的に移動させ、光ビームB2のピント合わ
せを行う。このとき、第2レーザダイオード3は第1ビ
ームスプリッタ5’と共にx方向に移動するため、調整
治具の像面上での光ビームB2の照射位置は変化しな
い。さらに、第2レーザダイオード3のピント合わせ作
業は、第1レーザダイオード2のピント状態や像面上で
の光ビームB1の照射位置には殆ど影響を与えない。
【0038】次に、第3レーザダイオード4から光ビー
ムB3を放射させ、第3光源ホルダ47をz,y方向に
2次元的に移動させ、第3レーザダイオード4の光ビー
ム放射位置を決める。この後、第2可動保持台43をz
方向に1次元的に移動させ、光ビームB3のピント合わ
せを行う。このとき、第3レーザダイオード4は第2ビ
ームスプリッタ6’と共にx方向に移動するため、調整
治具の像面上での光ビームB3の照射位置は変化しな
い。さらに、第3レーザダイオード4のピント合わせ作
業も、第1及び第2レーザダイオード2,3のピント状
態等には殆ど影響を与えない。
【0039】次に、第2光源ホルダ46をx,y方向に
2次元的に移動させると共に、第3光源ホルダ47を
y,z方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオー
ド2から放射された光ビームB1の像面上での照射位置
を基準にして、第2及び第3レーザダイオード3,4か
ら放射された光ビームB2,B3の像面上での照射位置を
調整し、第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビー
ム放射位置を微調整する。このときの第2及び第3レー
ザダイオード3,4の移動量は僅かであり、ピント状態
が崩れる心配はない。以上の構成からなる第2例の光源
ユニット1は、前記第1例の光源ユニットと同様の作用
効果を奏する。
【0040】次に、光源ユニット1の構造の第3例につ
いて図4を参照して説明する。この光源ユニット1はレ
ーザダイオードを2個備えたものである。光源ユニット
1は、ベース台51、第1ビームスプリッタ5を保持す
る第1可動保持台52、第1レーザダイオード2を保持
する第1光源ホルダ55、第2レーザダイオード3を保
持する第2光源ホルダ56、コリメータレンズ7を保持
する鏡胴58とで構成されている。
【0041】ベース台51は、ねじや接着剤等によって
ハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。第1
可動保持台52は、このベース台51の光軸Bに対して
平行な面51a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で
取り付けられている。鏡胴58は、第1可動保持台52
の光軸Bに対して平行な面52a上に、x方向に位置調
整可能にねじ等で取り付けられている。すなわち、第1
ビームスプリッタ5とコリメータレンズ7は、第1ビー
ムスプリッタ5によって重ね合わされた光ビームB1
2の進行方向と平行な方向に位置調整可能に設置され
ている。
【0042】第1光源ホルダ55はベース台51の光軸
Bに対して垂直な面51b上にy,z方向に位置調整可
能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第
1レーザダイオード2は、この第1レーザダイオード2
の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調
整可能に設置されている。第2光源ホルダ56は、第1
可動保持台52の光軸Bに対して平行な面52b上に、
x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けら
れている。すなわち、第2レーザダイオード3は、第2
レーザダイオード3の光ビームB2の放射方向と直交す
る面内での位置を調整可能に設置されている。
【0043】ここで、以上の構成からなる第3例の光源
ユニット1の各部の位置調整について説明する。まず、
第2レーザダイオード3から光ビームB2を放射させ、
第2光源ホルダ56をx,y方向に2次元的に移動さ
せ、第2レーザダイオード3の光ビーム放射位置を決め
る。さらに、鏡胴58をx方向に1次元的に移動させ、
光ビームB 2のピント合わせを行って、コリメータレン
ズ7の第1可動保持台52に対する位置を決める。
【0044】次に、第1レーザダイオード2から光ビー
ムB1を放射させ、第1光源ホルダ55をy,z方向に
2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2の光ビー
ム放射位置を決める。この後、第1可動保持台52をx
方向に1次元的に移動させ、光ビームB1のピント合わ
せを行う。このとき、調整治具の像面上での光ビームB
1の照射位置は変化しない。さらに、第1レーザダイオ
ード2のピント合わせ作業は、第2レーザダイオード3
のピント状態や像面上での光ビームB2の照射位置には
殆ど影響を与えない。この位置調整では、第1レーザダ
イオード2から放射された光ビームB1と第2レーザダ
イオード3から放射された光ビームB2の像面上での照
射位置関係を高精度で調整できるので、この後に第1及
び第2レーザダイオード2,3の光ビーム放射位置を必
ずしも微調整する必要がない。
【0045】次に、光源ユニット1の構造の第4例につ
いて図5を参照して説明する。この第4例は、基本的に
は第3例と同様のタイプのものであり、レーザダイオー
ドを3個備えている。この光源ユニット1は、ベース台
61、第1ビームスプリッタ5を保持する第1可動保持
台62、第2ビームスプリッタ6を保持する第2可動保
持台63、第1レーザダイオード2を保持する第1光源
ホルダ65、第2レーザダイオード3を保持する第2光
源ホルダ66、第3レーザダイオード4を保持する第3
光源ホルダ67、コリメータレンズ7を保持する鏡胴6
8とで構成されている。
【0046】ベース台61は、ねじや接着剤等によって
ハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。第1
可動保持台62は、このベース台61の光軸Bに対して
平行な面61a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で
取り付けられている。第2可動保持台63は第1可動保
持台62の光軸Bに対して平行な面62a上に、x方向
に位置調整可能にねじ等で取り付けられている。鏡胴6
8は第2可動保持台63の光軸Bに対して平行な面63
a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けられ
ている。すなわち、第1及び第2ビームスプリッタ5,
6とコリメータレンズ7は、第1及び第2ビームスプリ
ッタ5,6によって重ね合わされた光ビームB1〜B3
進行方向と平行な方向に位置調整可能に設置されてい
る。
【0047】第1光源ホルダ65はベース台61の光軸
Bに対して垂直な面61b上にy,z方向に位置調整可
能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第
1レーザダイオード2は、この第1レーザダイオード2
の光ビームB1の放射方向と直交する面内での位置を調
整可能に設置されている。第2及び第3光源ホルダ6
6,67は、それぞれ第1及び第2可動保持台62,6
3の光軸Bに対して平行な面62b,63b上に、x,
y方向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられて
いる。すなわち、第2及び第3レーザダイオード3,4
は、それぞれ第2及び第3レーザダイオード3,4の光
ビームB2,B3の放射方向と直交する面内での位置を調
整可能に設置されている。
【0048】ここで、以上の構成からなる第4例の光源
ユニット1の各部の位置調整について説明する。まず、
第3レーザダイオード4から光ビームB3を放射させ、
第3光源ホルダ67をy,z方向に2次元的に移動さ
せ、第3レーザダイオード4の光ビーム放射位置を決め
る。さらに、鏡胴68をx方向に1次元的に移動させ、
光ビームB 3のピント合わせを行って、コリメータレン
ズ7の位置を決める。
【0049】次に、第2レーザダイオード3から光ビー
ムB2を放射させ、第2光源ホルダ66をx,y方向に
2次元的に移動させ、第2レーザダイオード3の光ビー
ム放射位置を決める。この後、第2可動保持台63をx
方向に1次元的に移動させ、光ビームB2のピント合わ
せを行う。このとき、調整治具の像面上での光ビームB
2の照射位置は変化しない。さらに、第2レーザダイオ
ード3のピント合わせ作業は、第3レーザダイオード4
のピント状態や像面上での光ビームB3の照射位置には
殆ど影響を与えない。
【0050】次に、第1レーザダイオード2から光ビー
ムB1を放射させ、第1光源ホルダ65をx,y方向に
2次元的に移動させ、第1レーザダイオード2の光ビー
ム放射位置を決める。この後、第1可動保持台62をx
方向に1次元的に移動させ、光ビームB1のピント合わ
せを行う。このとき、調整治具の像面上での光ビームB
1の照射位置は変化しない。さらに、第1レーザダイオ
ード2のピント合わせ作業も、第2及び第3レーザダイ
オード3,4のピント状態等には殆ど影響を与えない。
【0051】次に、第2及び第3光源ホルダ66,67
をx,y方向に2次元的に移動させ、第1レーザダイオ
ード2から放射された光ビームB1の像面上での照射位
置を基準にして、第2及び第3レーザダイオード3,4
から放射された光ビームB2,B3の像面上での照射位置
を調整し、第2及び第3レーザダイオード3,4の光ビ
ーム放射位置を微調整する。このときの第2及び第3レ
ーザダイオード3,4の移動量は僅かであり、ピント状
態が崩れる心配はない。以上の構成からなる第4例の光
源ユニット1は、前記第1例の光源ユニットと同様の作
用効果を奏する。
【0052】次に、光源ユニット1の構造の第5例につ
いて図6を参照して説明する。この光源ユニット1は、
第1及び第2ビームスプリッタ5,6を保持したベース
台71、三つの板ばね72,73,74、第1レーザダ
イオード2を保持する第1光源ホルダ76、第2レーザ
ダイオード3を保持する第2光源ホルダ77、第3レー
ザダイオード4を保持する第3光源ホルダ78、コリメ
ータレンズ7を保持する鏡胴79とで構成されている。
【0053】ベース台71は、ねじや接着剤等によって
ハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。鏡胴
79は、このベース台71の光軸Bに対して平行な面7
1a上にねじ又は接着剤等で固定されている。
【0054】板ばね72は略U字形をしており、二つの
腕部のうち一方の腕部がベース台71の光軸Bに対して
垂直な面71b上に接着剤等で固定されている。他方の
腕部には調整用ねじ75が取り付けられており、この調
整用ねじ75をベース台71に螺着させて板ばね72を
締めたり緩めたりすることにより、板ばね72を撓ませ
て他方の腕部をx方向に位置調整することができる。同
様に、板ばね73,74も略U字形をしており、それぞ
れ二つの腕部のうち一方の腕部がベース台71の光軸B
に対して平行な面71c,71d上に接着剤等で固定さ
れている。他方の腕部には調整用ねじ75が取り付けら
れており、この調整用ねじ75をベース台71に螺着さ
せて板ばね73,74を締めたり緩めたりすることによ
り、板ばね73,74を撓ませて他方の腕部をz方向に
位置調整することができる。このような簡素な構造の板
ばねを72〜74を用いることにより、第1〜第3レー
ザダイオード2〜4の調整機構の複雑化を避けることが
でき、調整作業を容易化することができる。
【0055】第1光源ホルダ76は板ばね72の光軸B
に対して垂直な面72a上にy,z方向に位置調整可能
にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第1
レーザダイオード2は、第1光源ホルダ76によってこ
の第1レーザダイオード2の光ビームB1の放射方向と
直交する面内での位置を調整可能に、かつ、板ばね72
によって光ビームB1の放射方向と平行な方向に位置調
節可能に設置されている。
【0056】第2及び第3光源ホルダ77,78は、そ
れぞれ板ばね73,74の光軸Bに対して平行な面73
a,74a上に、x,y方向に位置調整可能にねじ等に
よって取り付けられている。すなわち、第2及び第3レ
ーザダイオード3,4は、それぞれ第2及び第3光源ホ
ルダ77,78によって第2及び第3レーザダイオード
3,4の光ビームB2,B3の放射方向と直交する面内で
の位置を調整可能に、かつ、板ばね73,74によって
光ビームB2,B3の放射方向と平行な方向に位置調整可
能に設置されている。
【0057】ここで、以上の構成からなる第5例の光源
ユニット1の各部の位置調整について説明する。第5例
の光源ユニット1の場合、第1〜第3レーザダイオード
2〜4の位置調整はそれぞれ独立して行うことができ、
任意の順番で調整することができる。例えば、第3レー
ザダイオード4から光ビームB3を放射させ、第3光源
ホルダ78をx,y方向に2次元的に移動させ、第3レ
ーザダイオード4の光ビーム放射位置を決める。さら
に、調整用ねじ75を回して前進又は後退させることに
より、板ばね74の第3光源ホルダ78が取り付けられ
た腕をz方向に1次元的に移動させ、光ビームB3のピ
ント合わせを行う。
【0058】以下、同様にして第1及び第2レーザダイ
オード2,3のそれぞれの位置調整を行う。それぞれの
レーザダイオードの位置調整作業は他のレーザダイオー
ドのピント状態等には殆ど影響を与えない。なぜなら、
第1及び第2ビームスプリッタ5,6とコリメータレン
ズ7の位置は固定されており、一のレーザダイオードを
移動させて第1及び第2ビームスプリッタ5,6とコリ
メータレンズ7との位置関係を変えても、他のレーザダ
イオードとこれらの部品5〜7との位置関係は変わらな
いからである。
【0059】次に、光源ユニット1の構造の第6例につ
いて図7を参照して説明する。この光源ユニット1は、
第1及び第2ビームスプリッタ5,6を保持したベース
台81、ベース台81と一体的に設けられた二つの板ば
ね82,83、第1レーザダイオード2を保持する第1
光源ホルダ84、第2レーザダイオード3を保持する第
2光源ホルダ85、第3レーザダイオード4を保持する
第3光源ホルダ86、コリメータレンズ7を保持する鏡
胴88とで構成されている。
【0060】ベース台81は、ねじや接着剤等によって
ハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。鏡胴
88は、このベース台81の光軸Bに対して平行な面8
1a上に、x方向に位置調整可能にねじ等で取り付けら
れている。
【0061】板ばね82は略L字形をしており、ベース
台81の光軸Bに対して垂直な面81bから延在し、面
81bに対して略平行な面82aを有している。板ばね
82の先端部には調整用ねじ87が取り付けられてお
り、この調整用ねじ87をベース台81に螺着させて板
ばね82を締めたり緩めたりすることによって、板ばね
82を撓ませて面82aをx方向に1次元的に位置調整
することができる。同様に、板ばね83も略L字形をし
ており、ベース台81の光軸に対して平行な面81cか
ら延在し、面81cに対して略平行な面83aを有して
いる。板ばね83の先端部には調整用ねじ87が取り付
けられており、この調整用ねじ87をベース台81に螺
着させて板ばね83を撓ませて面83aをz方向に位置
調整することができる。
【0062】第1光源ホルダ84は板ばね82の光軸B
に対して垂直な面82a上にy,z方向に位置調整可能
にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第1
レーザダイオード2は、第1光源ホルダ84によってこ
の第1レーザダイオード2の光ビームB1の放射方向と
直交する面内での位置を調整可能に、かつ、板ばね82
によって光ビームB1の放射方向と平行な方向に位置調
節可能に設置されている。第2光源ホルダ85は、板ば
ね83の光軸Bに対して平行な面83a上に、x,y方
向に位置調整可能にねじ等によって取り付けられてい
る。すなわち、第2レーザダイオード3は、第2光源ホ
ルダ85によって第2レーザダイオード3の光ビームB
2の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に、か
つ、板ばね83によって光ビームB2の放射方向と平行
な方向に位置調整可能に設置されている。第3光源ホル
ダ86は、ベース台81の光軸Bに対して平行な面81
d上に、x,y方向に位置調整可能にねじ等によって取
り付けられている。すなわち、第3レーザダイオード4
は、その光ビームB3の放射方向と直交する面内での位
置を調整可能に設置されている。
【0063】ここで、以上の構成からなる第6例の光源
ユニット1の各部の位置調整について説明する。まず、
第3レーザダイオード4から光ビームB3を放射させ、
第3光源ホルダ86をy,z方向に2次元的に移動さ
せ、第3レーザダイオード4の光ビーム放射位置を決め
る。さらに、鏡胴88をx方向に1次元的に移動させ、
光ビームB 3のピント合わせを行って、コリメータレン
ズ7の位置を決める。
【0064】次に、第1レーザダイオード2又は第2レ
ーザダイオード3のいずれか一方の調整を行う。例え
ば、第1レーザダイオード2から光ビームB1を放射さ
せ、第1光源ホルダ84をy,z方向に2次元的に移動
させ、第1レーザダイオード2の光ビーム放射位置を決
める。さらに、調整用ねじ87によって板ばね82の面
82aをx方向に1次元的に移動させ、光ビームB1
ピント合わせを行う。同様にして第2レーザダイオード
3の位置調整を行う。
【0065】次に、光源ユニット1の構造の第7例につ
いて図8を参照して説明する。この光源ユニット1は、
第1及び第2ビームスプリッタ5,6を保持したベース
台91、第1、第2及び第3可動保持台92,93,9
4、第1レーザダイオード2を保持する第1光源ホルダ
95、第2レーザダイオード3を保持する第2光源ホル
ダ96、第3レーザダイオード4を保持する第3光源ホ
ルダ97、コリメータレンズ7を保持する鏡胴98とで
構成されている。第1〜第3可動保持台92〜94の形
状は同一形状とされ、部品管理の容易化と量産化による
部品コスト低減を図ることができる。
【0066】ベース台91は、ねじや接着剤等によって
ハウジングの水平基準面(底面)上に固定される。鏡胴
98は、このベース台91の光軸Bに対して平行な面9
1a上にねじ又は接着剤等で固定されている。第1可動
保持台92は、ベース台91の光軸Bに対して垂直な面
91b上に、y,z方向に位置調整可能にねじ等で取り
付けられている。同様に、第2及び第3可動保持台9
3,94は、それぞれベース台91の光軸Bに対して平
行な面91c,91d上に、x,y方向に2次元的に位
置調整可能にねじ等で取り付けられている。
【0067】第1光源ホルダ95は第1可動保持台92
の光軸Bに対して平行な面92a上にx方向に1次元的
に位置調整可能にねじ等によって取り付けられている。
すなわち、第1レーザダイオード2は、第1可動保持台
92によってこの第1レーザダイオード2の光ビームB
1の放射方向と直交する面内での位置を調整可能に、か
つ、第1光源ホルダ95によって光ビームB1の放射方
向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。
【0068】第2及び第3光源ホルダ96,97は、そ
れぞれ第2及び第3可動保持台93,94の光軸Bに対
して垂直な面93a,94a上に、z方向に位置調整可
能にねじ等によって取り付けられている。すなわち、第
2及び第3レーザダイオード3,4は、それぞれ第2及
び第3可動保持台93,94によって第2及び第3レー
ザダイオード3,4の光ビームB2,B3の放射方向と直
交する面内での位置を調整可能に、かつ、第2及び第3
光源ホルダ96,97によって光ビームB2,B3の放射
方向と平行な方向に位置調整可能に設置されている。第
7例の光源ユニット1の場合、第1〜第3レーザダイオ
ード2〜4の位置調整はそれぞれ独立して行うことがで
き、任意の順番で調整することができる。
【0069】なお、本発明に係る光源装置及び光ビーム
走査光学装置は前記実施形態に限定するものではなく、
その要旨の範囲内で種々に変更することができる。例え
ば、レーザダイオード2〜4の光ビームを結合する素子
としては、二つの三角プリズムを組み合わせたキューブ
型ビームスプリッタ5,6の他に、無偏光ハーフミラー
面を有する平板、偏光特性を有するフィルタミラー面を
有する平板、あるいは、波長選択性を有するフィルタミ
ラー面を有する平板等であってもよい。また、ベース部
材は、必ずしもハウジングと別体にする必要はなく、ハ
ウジングを延在させたものであってもよい。
【0070】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、可動保持部材を移動させて一の光源から放射さ
れる光ビームのピント合わせを行う場合、その可動保持
部材に固定された重ね合わせ手段を通過する他の光源の
光ビームはピント状態も像面上での照射位置も影響を受
けない。従って、適当な順序で光源を調整することによ
り、各光源は独立してピント合わせや像面上での照射位
置が調整される。この結果、光ビームの重ね合わせを集
光レンズに入射する前に行い、しかも各光源の位置調整
を簡素な機構で独立して行うことができる光源装置及び
光ビーム走査光学装置を得ることができる。
【0071】また、重ね合わせ手段や集光レンズをベー
ス部材に固定すると共に、弾性部材や可動保持部材によ
って光源を3次元的に位置調整可能にベース部材に取り
付けることにより、重ね合わせ手段や集光レンズに対し
て、各光源は他の光源とは独立して三次元的に位置調整
され、光源の調整順序を考慮することなくピント合わせ
や像面上での照射位置調整を個々の光源毎に独立して行
なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光ビーム走査光学装置の一実施形
態を示す概略構成図。
【図2】本発明に係る光源装置の第1例を示す概略構成
図。
【図3】本発明に係る光源装置の第2例を示す概略構成
図。
【図4】本発明に係る光源装置の第3例を示す概略構成
図。
【図5】本発明に係る光源装置の第4例を示す概略構成
図。
【図6】本発明に係る光源装置の第5例を示す概略構成
図。
【図7】本発明に係る光源装置の第6例を示す概略構成
図。
【図8】本発明に係る光源装置の第7例を示す概略構成
図。
【符号の説明】
1…光源ユニット 2,3,4…レーザダイオード 5,6,5’,6’…ビームスプリッタ 7…コリメータレンズ 12…ポリゴンミラー 13,14,15…走査レンズ 31,41,51,61,71,81,91…ベース台 32,33,42,43,52,62,63,92,9
3,94…可動保持台 35〜37,45〜47,55,56,65〜67,7
6〜78,84〜86,95〜97…光源ホルダ 72〜74,82,83…板ばね B1,B2,B3…光ビーム

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 k個(k≧2)の光源と、 前記k個の光源からそれぞれ放射された光ビームを重ね
    合わせて同一方向に進行させるk−1個の重ね合わせ手
    段と、 前記k個の光源のうち第1の光源がこの第1の光源の光
    ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に
    設置されたベース部材と、 前記k個の光源のうち第i(2≦i≦k)の光源がこの
    第iの光源の光ビーム放射方向と直交する面内での位置
    を調整可能に設置され、かつ、前記k−1個の重ね合わ
    せ手段のうち第j(1≦j≦k−1)の重ね合わせ手段
    が固定された第jの可動保持部材と、 前記ベース部材又は前記可動保持部材のいずれか一つ
    に、光軸と平行な方向に位置調整可能に設置された、前
    記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビームをそれ
    ぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集光レン
    ズとを備え、 k−1個の前記可動保持部材のうち第jの可動保持部材
    が、前記ベース部材又は前記第1から前記第j−1まで
    の可動保持部材のいずれか一つに、前記第jの重ね合わ
    せ手段によって重ね合わされた光ビームの進行方向と平
    行な方向に位置調整可能に設置されていること、 を特徴とする光源装置。
  2. 【請求項2】 k個(k≧2)の光源と、 前記k個の光源からそれぞれ放射された光ビームを重ね
    合わせて同一方向に進行させるk−1個の重ね合わせ手
    段と、 前記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビームをそ
    れぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集光レ
    ンズと、 前記k個の光源がそれぞれ各光源の光ビームの放射方向
    と直交する面内での位置を調整可能に設置されたk個の
    弾性部材と、 前記k個の弾性部材が各弾性部材に設置された前記光源
    の光ビームの放射方向と平行な方向に弾性を有すると共
    にこの光ビームの放射方向と平行な方向に前記光源の位
    置を調整可能に設置され、かつ、前記k−1個の重ね合
    わせ手段と集光レンズとが固定されたベース部材と、 を備えたことを特徴とする光源装置。
  3. 【請求項3】 k個(k≧2)の光源と、 前記k個の光源からそれぞれ放射された光ビームを重ね
    合わせて同一方向に進行させるk−1個の重ね合わせ手
    段と、 前記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビームをそ
    れぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集光レ
    ンズと、 前記k個の光源のうちk−1個の光源がそれぞれ各光源
    の光ビームの放射方向と直交する面内での位置を調整可
    能に設置されたk−1個の弾性部材と、 前記k−1個の弾性部材が各弾性部材に設置された前記
    光源の光ビームの放射方向と平行な方向に弾性を有する
    と共にこの光ビームの放射方向と平行な方向に前記光源
    の位置を調整可能に設置され、前記k個の光源のうち残
    る1個の光源がこの光源の光ビームの放射方向と直交す
    る面内での位置を調整可能に設置され、前記集光レンズ
    が光軸と平行な方向に位置調整可能に設置され、かつ、
    前記k−1個の重ね合わせ手段が固定されたベース部材
    と、 を備えたことを特徴とする光源装置。
  4. 【請求項4】 k個(k≧2)の光源と、 前記k個の光源からそれぞれ放射された光ビームを重ね
    合わせて同一方向に進行させるk−1個の重ね合わせ手
    段と、 前記重ね合わせ手段により重ね合わされた光ビームをそ
    れぞれ略平行光又は収束光のいずれかに整形する集光レ
    ンズと、 前記k−1個の重ね合わせ手段と前記集光レンズとが固
    定されたベース部材と、 前記k個の光源のうち第i(1≦i≦k)の光源が、こ
    の第iの光源の光ビームの放射方向と直交する面内での
    位置又はこの第iの光源の光ビームの放射方向と平行な
    方向の位置のいずれか一方の位置を調整可能に設置され
    た第iの可動保持部材とを備え、 k個の前記可動保持部材のうち、光源がこの光源の光ビ
    ームの放射方向と直交する面内での位置を調整可能に設
    置された可動保持部材を、前記ベース部材に前記光源の
    光ビームの放射方向と平行な方向に位置調整可能に設置
    し、かつ、光源がこの光源の光ビームの放射方向と平行
    な方向の位置調整可能に設置された可動保持部材を、前
    記ベース部材に前記光源の光ビームの放射方向と直交す
    る面内での位置を調整可能に設置したこと、 を特徴とする光源装置。
  5. 【請求項5】 請求項1、請求項2、請求項3又は請求
    項4記載のいずれか一つの光源装置と、 前記光源装置から放射された光ビームを偏向する光偏向
    器と、 前記偏向器から出射した光ビームを被走査面上にライン
    状に走査する走査光学素子と、 を備えたことを特徴とする光ビーム走査光学装置。
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