JP3539078B2 - プラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＤＣ（直流）方式
プラズマディスプレイパネルの背面基板の製造方法、及
びこのプラズマディスプレイパネルの背面基板の製造に
用いられる未焼成のＤＣ方式放電セル型シートに関す
る。
プラズマディスプレイパネルの背面基板の製造方法、及
びこのプラズマディスプレイパネルの背面基板の製造に
用いられる未焼成のＤＣ方式放電セル型シートに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】プラズマディスプレイパネルは、大画面
が実現でき、薄くて軽量、且つ、視野角が大きく、鮮明
な表示が可能であるという優れた性能を有しており、近
年注目を集めている。
が実現でき、薄くて軽量、且つ、視野角が大きく、鮮明
な表示が可能であるという優れた性能を有しており、近
年注目を集めている。
【０００３】ＤＣ方式プラズマディスプレイパネルの基
本構造は、前面ガラス基板と背面ガラス基板とを一定の
空間を隔てて対向させ、基板上に多数のカソードと多数
のアノードをそれぞれ配し、両電極の間隔を一定とし、
且つ、光のクロストークを防ぐために格子状のガラス隔
壁が設けられ、この隔壁により表示用セルと種火用セル
（補助セル）が仕切られて形成されているものである。
表示用セルには蛍光体が塗布されており、両基板間には
Ｎｅ／Ｘｅ等の放電ガスが封入され、両者は気密に封止
される。アノードとカソードの間に直流電圧を印加し、
種火用セルにおける種火用セルにおける種火放電で生じ
た荷電粒子により表示用セル内部に放電を起こして紫外
線を発生させ、蛍光体を発光させる。
本構造は、前面ガラス基板と背面ガラス基板とを一定の
空間を隔てて対向させ、基板上に多数のカソードと多数
のアノードをそれぞれ配し、両電極の間隔を一定とし、
且つ、光のクロストークを防ぐために格子状のガラス隔
壁が設けられ、この隔壁により表示用セルと種火用セル
（補助セル）が仕切られて形成されているものである。
表示用セルには蛍光体が塗布されており、両基板間には
Ｎｅ／Ｘｅ等の放電ガスが封入され、両者は気密に封止
される。アノードとカソードの間に直流電圧を印加し、
種火用セルにおける種火用セルにおける種火放電で生じ
た荷電粒子により表示用セル内部に放電を起こして紫外
線を発生させ、蛍光体を発光させる。
【０００４】代表的なＤＣ方式プラズマディスプレイパ
ネルの例を、図５に示す。図５（ａ）、（ｂ）におい
て、背面ガラス基板１０上にはアノードバス２１と、こ
れに接する抵抗体２２と、これら少なくとも一部を覆う
絶縁体層１１、及び抵抗体２２と接するアノード２３が
形成されている。アノード２３を囲むようにように表示
用セル１６と種火用セル１７がガラス隔壁１２により仕
切られて形成され、表示用セル１６内には蛍光体２４が
アノード２３を露出させるように印刷、焼成されてい
る。
ネルの例を、図５に示す。図５（ａ）、（ｂ）におい
て、背面ガラス基板１０上にはアノードバス２１と、こ
れに接する抵抗体２２と、これら少なくとも一部を覆う
絶縁体層１１、及び抵抗体２２と接するアノード２３が
形成されている。アノード２３を囲むようにように表示
用セル１６と種火用セル１７がガラス隔壁１２により仕
切られて形成され、表示用セル１６内には蛍光体２４が
アノード２３を露出させるように印刷、焼成されてい
る。
【０００５】対向する表示面側の前面ガラス基板２５に
はカソード２６が形成され、又、背面ガラス基板１０上
のガラス隔壁１２の位置に対応して、セル同士を完全に
分離するようにガラス隔壁１２′が形成されている。但
し、種火用セル１７と表示用セル１６とを隔てている隔
壁１２の一部には両者を繋ぐための間隙２７が設けられ
ている。
はカソード２６が形成され、又、背面ガラス基板１０上
のガラス隔壁１２の位置に対応して、セル同士を完全に
分離するようにガラス隔壁１２′が形成されている。但
し、種火用セル１７と表示用セル１６とを隔てている隔
壁１２の一部には両者を繋ぐための間隙２７が設けられ
ている。
【０００６】このような構造のプラズマディスプレイパ
ネルでは、セル毎に青色、赤色、緑色の３種類の蛍光体
を適宜塗り分けることにより、フルカラー表示を行うこ
とができる。単色又は２色表示の場合は単一又は２色の
蛍光体が用いられる。ガラス隔壁は、放電空間を確保
し、且つ、放電及び発光のクロストークを防ぐため、又
特にフルカラーの場合には、隣接表示セル間の混色を防
ぐために設けられ、隔壁の高さ及び間隔を適切に調整す
ることにより、微細で鮮明な画像が得られる。通常隔壁
を形成するには印刷法、アディティブ法、サンドブラス
ト法、感光性ペースト法などが用いられ、現在では例え
ば幅５０ミクロン、高さ１５０ミクロン程度の大きさの
ものが、１５０ミクロン程度のピッチで形成されてい
る。以下にそれぞれの方法の概略と問題点を示す。
ネルでは、セル毎に青色、赤色、緑色の３種類の蛍光体
を適宜塗り分けることにより、フルカラー表示を行うこ
とができる。単色又は２色表示の場合は単一又は２色の
蛍光体が用いられる。ガラス隔壁は、放電空間を確保
し、且つ、放電及び発光のクロストークを防ぐため、又
特にフルカラーの場合には、隣接表示セル間の混色を防
ぐために設けられ、隔壁の高さ及び間隔を適切に調整す
ることにより、微細で鮮明な画像が得られる。通常隔壁
を形成するには印刷法、アディティブ法、サンドブラス
ト法、感光性ペースト法などが用いられ、現在では例え
ば幅５０ミクロン、高さ１５０ミクロン程度の大きさの
ものが、１５０ミクロン程度のピッチで形成されてい
る。以下にそれぞれの方法の概略と問題点を示す。
【０００７】印刷法：ガラスペーストを基板上にスクリ
ーン印刷し、焼成する方法。１回の印刷膜厚が薄いので
前述のような高さの隔壁を形成するためには多層印刷が
必要で、スクリーンの位置合わせを１０回以上も繰返さ
なくてはならず、高精度のパターンが得られないばかり
でなく、均一な高さの隔壁が得られにくい。又、隔壁の
幅やピッチの微小化にも限界がある。
ーン印刷し、焼成する方法。１回の印刷膜厚が薄いので
前述のような高さの隔壁を形成するためには多層印刷が
必要で、スクリーンの位置合わせを１０回以上も繰返さ
なくてはならず、高精度のパターンが得られないばかり
でなく、均一な高さの隔壁が得られにくい。又、隔壁の
幅やピッチの微小化にも限界がある。
【０００８】アディティブ法：基板上にフォトレジスト
でネガパターンを形成し、凹部にガラスペーストを埋込
んで焼成する方法。精度は高いが、感光性フィルムを使
用するのでコストが高く、量産にも不向きである。 サンドブラスト法：基板上にガラス層を全面に塗布形成
し、この上に感光性フィルムを用いて隔壁のパターンの
フォトレジスト層を形成し、これをマスクにしてサンド
ブラスト処理することによりガラス層を選択的に除去し
た後、焼成する。この方法も感光性フィルムの使用によ
りコストが高く、又サンドブラスト処理するため適切な
形状の隔壁を製造するのが困難である。更にガラス材料
の３／４ほどが除去されるので、材料の歩留まりが悪
い。 感光性ペースト法：感光性のガラスペーストを用い、マ
スクを通して露光、現像し、次いで焼成する。隔壁の高
さを出すためには繰返し印刷が必要で、工程数が多く、
又膜厚精度がとりにくいため隔壁高さを均一にするのが
難しい。
でネガパターンを形成し、凹部にガラスペーストを埋込
んで焼成する方法。精度は高いが、感光性フィルムを使
用するのでコストが高く、量産にも不向きである。 サンドブラスト法：基板上にガラス層を全面に塗布形成
し、この上に感光性フィルムを用いて隔壁のパターンの
フォトレジスト層を形成し、これをマスクにしてサンド
ブラスト処理することによりガラス層を選択的に除去し
た後、焼成する。この方法も感光性フィルムの使用によ
りコストが高く、又サンドブラスト処理するため適切な
形状の隔壁を製造するのが困難である。更にガラス材料
の３／４ほどが除去されるので、材料の歩留まりが悪
い。 感光性ペースト法：感光性のガラスペーストを用い、マ
スクを通して露光、現像し、次いで焼成する。隔壁の高
さを出すためには繰返し印刷が必要で、工程数が多く、
又膜厚精度がとりにくいため隔壁高さを均一にするのが
難しい。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】これまでのプラズマデ
ィスプレイパネル技術は解像度が現行放送対応のレベル
であるが、より大型・高精細のハイビジョンＴＶの実現
のためには、画素数を増やし、画素ピッチを上げること
が必要であり、このため隔壁をより精細に、微小ピッチ
で形成することが要求される。又隔壁の高さを均一に形
成することは必須である。しかし、特にＤＣ方式プラズ
マディスプレイパネルは複雑なセル構造を有するため、
従来の方法では高精度化は困難であった。
ィスプレイパネル技術は解像度が現行放送対応のレベル
であるが、より大型・高精細のハイビジョンＴＶの実現
のためには、画素数を増やし、画素ピッチを上げること
が必要であり、このため隔壁をより精細に、微小ピッチ
で形成することが要求される。又隔壁の高さを均一に形
成することは必須である。しかし、特にＤＣ方式プラズ
マディスプレイパネルは複雑なセル構造を有するため、
従来の方法では高精度化は困難であった。
【００１０】本発明は、解像度の高いプラズマディスプ
レイパネルの量産に適した製造方法を提供するものであ
り、特に隔壁を均一な高さ、形状で高精度に、且つ、微
小ピッチで形成すると共に、工程簡素化により量産性を
上げることを目的とするものである。
レイパネルの量産に適した製造方法を提供するものであ
り、特に隔壁を均一な高さ、形状で高精度に、且つ、微
小ピッチで形成すると共に、工程簡素化により量産性を
上げることを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、隔壁の形成に
グリーンシート法を用いることを特徴とする。即ち本発
明は、下記（Ａ）〜（Ｆ）の工程からなるプラズマディ
スプレイパネル用背面基板の製造方法を要旨とするもの
である。 （Ａ）隔壁用ガラスグリーンシート、蛍光体グリーンシ
ート及び焼成により消失する物質からなるスペーサ用シ
ートをそれぞれ複数枚作製する工程。
グリーンシート法を用いることを特徴とする。即ち本発
明は、下記（Ａ）〜（Ｆ）の工程からなるプラズマディ
スプレイパネル用背面基板の製造方法を要旨とするもの
である。 （Ａ）隔壁用ガラスグリーンシート、蛍光体グリーンシ
ート及び焼成により消失する物質からなるスペーサ用シ
ートをそれぞれ複数枚作製する工程。
【００１２】（Ｂ）隔壁用ガラスグリーンシートと、蛍
光体グリーンシートと、所望によりスペーサ用シートと
を所定の順序で交互に積重ね、グリーンシート積層体を
作製する工程。 （Ｃ）（Ｂ）のグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に薄くスライスし、ガラス層と蛍光体層と所望によ
り積層されたスペーサ用シートがストライプ状に交互に
並んだガラス−蛍光体ストライプシートを作製する工
程。
光体グリーンシートと、所望によりスペーサ用シートと
を所定の順序で交互に積重ね、グリーンシート積層体を
作製する工程。 （Ｃ）（Ｂ）のグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に薄くスライスし、ガラス層と蛍光体層と所望によ
り積層されたスペーサ用シートがストライプ状に交互に
並んだガラス−蛍光体ストライプシートを作製する工
程。
【００１３】（Ｄ）ガラス−蛍光体ストライプシート
と、隔壁用ガラスグリーンシートと、スペーサ用シート
とを、所定の順序で交互に積重ね、グリーンシート積層
体を作製する工程。 （Ｅ）（Ｄ）のグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に、且つ、ストライプシートのストライプ方向に垂
直に薄くスライスし、ＤＣ方式放電セルの構造配列を有
するＤＣ方式放電セル型シートを作製する工程。
と、隔壁用ガラスグリーンシートと、スペーサ用シート
とを、所定の順序で交互に積重ね、グリーンシート積層
体を作製する工程。 （Ｅ）（Ｄ）のグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に、且つ、ストライプシートのストライプ方向に垂
直に薄くスライスし、ＤＣ方式放電セルの構造配列を有
するＤＣ方式放電セル型シートを作製する工程。
【００１４】（Ｆ）電極及び必要により抵抗体、絶縁体
層を形成したガラス基板上に該ＤＣ方式放電セル型シー
トを載置し、焼成して基板上にガラス隔壁と蛍光体とを
同時に形成する工程。又、本発明は、下記（Ａ）〜
（Ｆ）の工程からなるプラズマディスプレイパネル用背
面基板のガラス隔壁の製造方法を要旨とするものであ
る。
層を形成したガラス基板上に該ＤＣ方式放電セル型シー
トを載置し、焼成して基板上にガラス隔壁と蛍光体とを
同時に形成する工程。又、本発明は、下記（Ａ）〜
（Ｆ）の工程からなるプラズマディスプレイパネル用背
面基板のガラス隔壁の製造方法を要旨とするものであ
る。
【００１５】（Ａ）隔壁用ガラスグリーンシートと、焼
成により消失する物質からなるスペーサ用シートをそれ
ぞれ複数枚作製する工程。 （Ｂ）隔壁用ガラスグリーンシートとスペーサ用シート
を交互に積重ね、積層体を作製する工程。 （Ｃ）（Ｂ）の積層体を積層面に対して垂直に薄くスラ
イスし、ガラス層とスペーサ用シート層とがストライプ
状に交互に並んだガラス−スペーサストライプシートを
作製する工程。
成により消失する物質からなるスペーサ用シートをそれ
ぞれ複数枚作製する工程。 （Ｂ）隔壁用ガラスグリーンシートとスペーサ用シート
を交互に積重ね、積層体を作製する工程。 （Ｃ）（Ｂ）の積層体を積層面に対して垂直に薄くスラ
イスし、ガラス層とスペーサ用シート層とがストライプ
状に交互に並んだガラス−スペーサストライプシートを
作製する工程。
【００１６】（Ｄ）ガラス−スペーサストライプシート
と隔壁用ガラスグリーンシートとスペーサ用シートと
を、所定の順序で交互に積重ね、グリーンシート積層体
を作製する工程。 （Ｅ）（Ｄ）のグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に、且つ、前記ストライプシートのストライプ方向
に垂直に薄くスライスし、ＤＣ方式放電セルの構造配列
を有するＤＣ方式放電セル型隔壁形成用シートを作製す
る工程。 （Ｆ）電極及び必要により抵抗体、絶縁体層を形成した
ガラス基板上に該ＤＣ方式放電セル型隔壁形成用シート
を載置し、焼成してスペーサ用シート層を消失させ、基
板上に所定の構造のガラス隔壁を形成する工程。
と隔壁用ガラスグリーンシートとスペーサ用シートと
を、所定の順序で交互に積重ね、グリーンシート積層体
を作製する工程。 （Ｅ）（Ｄ）のグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に、且つ、前記ストライプシートのストライプ方向
に垂直に薄くスライスし、ＤＣ方式放電セルの構造配列
を有するＤＣ方式放電セル型隔壁形成用シートを作製す
る工程。 （Ｆ）電極及び必要により抵抗体、絶縁体層を形成した
ガラス基板上に該ＤＣ方式放電セル型隔壁形成用シート
を載置し、焼成してスペーサ用シート層を消失させ、基
板上に所定の構造のガラス隔壁を形成する工程。
【００１７】
【発明の実施の形態】ガラスグリーンシートは、ガラス
粉末、又はガラス粉末とセラミックス粉末の混合物と、
樹脂及び溶剤、可塑剤などからなるスラリーをドクター
ブレード法等公知の方法でシート成形し、乾燥させたも
のが用いられる。蛍光体グリーンシートとしては、例え
ば（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3 ：Ｅｕ、Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ：Ｍｎ、
ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕなど、紫外線照射により種々
の色の蛍光を発する蛍光体粉末を、樹脂及び溶剤、可塑
剤などと混合し、同様にしてシート状に成形したものを
使用する。蛍光体グリーンシートは、焼成後、蛍光体が
隔壁及び基板上に付着し、基板と隔壁で囲まれた表示用
セル内に放電空間を形成するように、無機成分含有量を
コントロールしておくことが望ましい。
粉末、又はガラス粉末とセラミックス粉末の混合物と、
樹脂及び溶剤、可塑剤などからなるスラリーをドクター
ブレード法等公知の方法でシート成形し、乾燥させたも
のが用いられる。蛍光体グリーンシートとしては、例え
ば（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3 ：Ｅｕ、Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ：Ｍｎ、
ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕなど、紫外線照射により種々
の色の蛍光を発する蛍光体粉末を、樹脂及び溶剤、可塑
剤などと混合し、同様にしてシート状に成形したものを
使用する。蛍光体グリーンシートは、焼成後、蛍光体が
隔壁及び基板上に付着し、基板と隔壁で囲まれた表示用
セル内に放電空間を形成するように、無機成分含有量を
コントロールしておくことが望ましい。
【００１８】スペーサ用シートはガラスグリーンシート
と焼成により消失する物質、又は焼成により消失する物
質と焼成により焼結しないフィラー物質からなり、焼成
後除去されて種火用セル又は表示用セルとなる空間を形
成する。焼成により消失する物質としては、例えば各種
の樹脂やステアリン酸類等の熱分解可能な物質や、ナフ
タレン、安息香酸等の昇華性の固体物質などで、シート
成形の可能なものが使用される。焼成により焼結しない
フィラー物質は、スペーサ用シート層の形状保持性を高
めるために配合することが望ましく、アルミナ、シリ
カ、酸化バリウム、酸化カルシウム等、引続くガラス隔
壁の焼成温度では焼結しない無機固体物質粉末が用いら
れる。これらの粉末は、焼成後空気吹付けや、水などの
不活性液体の吹付け、超音波などによって洗浄すること
により容易に基板から除去される。グリーンシートのス
ライス方法としては、鋭利な刃を用いて押切りする方
法、切断機の回転刃による切断あるいはワイヤーソーに
よる切断等従来普通に知られる方法が採用される。
と焼成により消失する物質、又は焼成により消失する物
質と焼成により焼結しないフィラー物質からなり、焼成
後除去されて種火用セル又は表示用セルとなる空間を形
成する。焼成により消失する物質としては、例えば各種
の樹脂やステアリン酸類等の熱分解可能な物質や、ナフ
タレン、安息香酸等の昇華性の固体物質などで、シート
成形の可能なものが使用される。焼成により焼結しない
フィラー物質は、スペーサ用シート層の形状保持性を高
めるために配合することが望ましく、アルミナ、シリ
カ、酸化バリウム、酸化カルシウム等、引続くガラス隔
壁の焼成温度では焼結しない無機固体物質粉末が用いら
れる。これらの粉末は、焼成後空気吹付けや、水などの
不活性液体の吹付け、超音波などによって洗浄すること
により容易に基板から除去される。グリーンシートのス
ライス方法としては、鋭利な刃を用いて押切りする方
法、切断機の回転刃による切断あるいはワイヤーソーに
よる切断等従来普通に知られる方法が採用される。
【００１９】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を図面に沿って
より具体的に説明する。 実施例１ 図１において、１はガラスグリーンシート、２、３、４
はそれぞれ緑色、赤色、青色の蛍光体グリーンシートを
示す。図１（ａ）に示すように隔壁となるガラスグリー
ンシート１と、蛍光体層となる蛍光体グリーンシート
２、３を、１・２・１・３の順で積重ね、これを１セッ
トとして所望の回数だけ繰返し、グリーンシート積層体
５を作る（図１（ｂ））。次いで、このグリーンシート
積層体５を図１（ｃ）のように積層面に対して垂直に、
隔壁の高さによって決まる所定の厚さにスライスし、ガ
ラス層と蛍光体層とがストライプ状に交互に並んだガラ
ス−蛍光体ストライプシート６を作製する。
より具体的に説明する。 実施例１ 図１において、１はガラスグリーンシート、２、３、４
はそれぞれ緑色、赤色、青色の蛍光体グリーンシートを
示す。図１（ａ）に示すように隔壁となるガラスグリー
ンシート１と、蛍光体層となる蛍光体グリーンシート
２、３を、１・２・１・３の順で積重ね、これを１セッ
トとして所望の回数だけ繰返し、グリーンシート積層体
５を作る（図１（ｂ））。次いで、このグリーンシート
積層体５を図１（ｃ）のように積層面に対して垂直に、
隔壁の高さによって決まる所定の厚さにスライスし、ガ
ラス層と蛍光体層とがストライプ状に交互に並んだガラ
ス−蛍光体ストライプシート６を作製する。
【００２０】同様に、図１（ｄ）に示すようにガラスグ
リーンシート１と、蛍光体グリーンシート２、４を、１
・２・１・４の順で積重ねてグリーンシート積層体５′
を作り（図１（ｅ））、これを図１（ｆ）のように積層
面に対して垂直にスライスし、ガラス層と蛍光体層とが
ストライプ状に交互に並んだガラスー蛍光体ストライプ
シート６′を作製する。
リーンシート１と、蛍光体グリーンシート２、４を、１
・２・１・４の順で積重ねてグリーンシート積層体５′
を作り（図１（ｅ））、これを図１（ｆ）のように積層
面に対して垂直にスライスし、ガラス層と蛍光体層とが
ストライプ状に交互に並んだガラスー蛍光体ストライプ
シート６′を作製する。
【００２１】次に、図２（ｇ）に示すようにガラス−蛍
光体ストライプシート６，６′、ガラスグリーンシート
１及びスペーサ用シート７を１・７・１・６・１・６′
の順で積重ね、これを１セットとして所望の回数だけ繰
返し、図２（ｈ）のようなグリーンシート積層体８を作
る。次いで、このグリーンシート積層体８を図２（ｉ）
のように積層面に対して垂直に、且つ、ストライプシー
トのストライプ方向に垂直に、所定の厚さにスライス
し、ＤＣ方式放電セルの構造配列を有するＤＣ方式放電
セル型シート９を作製する。
光体ストライプシート６，６′、ガラスグリーンシート
１及びスペーサ用シート７を１・７・１・６・１・６′
の順で積重ね、これを１セットとして所望の回数だけ繰
返し、図２（ｈ）のようなグリーンシート積層体８を作
る。次いで、このグリーンシート積層体８を図２（ｉ）
のように積層面に対して垂直に、且つ、ストライプシー
トのストライプ方向に垂直に、所定の厚さにスライス
し、ＤＣ方式放電セルの構造配列を有するＤＣ方式放電
セル型シート９を作製する。
【００２２】この後、予め各表示用セル及び種火用セル
を形成すべき位置にアノードパス電極、抵抗体、アノー
ド電極及び絶縁体層１１を形成しておいた背面ガラス基
板１０上に、ＤＣ方式放電セル型シート９を図２（ｊ）
のように置き、熱圧着する。図２（ｊ′）は（ｊ）の一
部を模式的に拡大したものである。次いで基板を高温で
焼成して、ＤＣ方式放電セル型シート９中の樹脂等の有
機成分を焼却除去し、ガラスを焼結させてガラス隔壁１
２を形成し、同時に蛍光体層１３、１４、１５を隔壁１
２と、絶縁体層１１を介して背面ガラス基板１０上に付
着させ、表示用セル１６を形成する。スペーサ用シート
層は焼成により消失して種火用セル１７を形成する。
（図２（ｋ）） この後蛍光体の一部をブラスト処理してアノードを露出
させる。
を形成すべき位置にアノードパス電極、抵抗体、アノー
ド電極及び絶縁体層１１を形成しておいた背面ガラス基
板１０上に、ＤＣ方式放電セル型シート９を図２（ｊ）
のように置き、熱圧着する。図２（ｊ′）は（ｊ）の一
部を模式的に拡大したものである。次いで基板を高温で
焼成して、ＤＣ方式放電セル型シート９中の樹脂等の有
機成分を焼却除去し、ガラスを焼結させてガラス隔壁１
２を形成し、同時に蛍光体層１３、１４、１５を隔壁１
２と、絶縁体層１１を介して背面ガラス基板１０上に付
着させ、表示用セル１６を形成する。スペーサ用シート
層は焼成により消失して種火用セル１７を形成する。
（図２（ｋ）） この後蛍光体の一部をブラスト処理してアノードを露出
させる。
【００２３】尚、この例では、フルカラー表示を行うた
めに３色の蛍光体グリーンシートを使用したが、１色又
は２色を用いることにより単色又はマルチカラーのディ
スプレイを本方法で製造することができる。又、本実施
例においては緑色２色と、赤色、青色各１色ずつ計４個
の表示用セルを１組とした繰返し単位で構成したが、蛍
光体の配置は求められる色調等により任意である。又、
例えばグリーンシート積層体５′の蛍光体グリーンシー
ト２（緑色）をスペーサ用シートに代えることにより、
４個のセルのうち１個をブランクとすることもできる。
めに３色の蛍光体グリーンシートを使用したが、１色又
は２色を用いることにより単色又はマルチカラーのディ
スプレイを本方法で製造することができる。又、本実施
例においては緑色２色と、赤色、青色各１色ずつ計４個
の表示用セルを１組とした繰返し単位で構成したが、蛍
光体の配置は求められる色調等により任意である。又、
例えばグリーンシート積層体５′の蛍光体グリーンシー
ト２（緑色）をスペーサ用シートに代えることにより、
４個のセルのうち１個をブランクとすることもできる。
【００２４】実施例２
図３に示すように、ガラス−蛍光体ストライプシートを
作製する代わりに、ガラスグリーンシート１と、スペー
サ用シート２とを交互に積重ねたグリーンシート積層体
５″を薄くスライスしてガラス−スペーサストライプシ
ート１８を作製し、このガラス−スペーサストライプシ
ート１８を隔壁用ガラスグリーンシート１及びスペーサ
用シート７と、所定の順序で交互に積重ねた積層体１９
を再びスライスして得たＤＣ方式放電セル型隔壁形成用
シート２０を、同様にガラス基板上に圧着し（図４
（ａ））、次いで高温で焼成して、スペーサ用シート層
を消失させるか又は除去することにより、基板上にガラ
ス隔壁だけを精度良く形成することができる（図４
（ｃ））。この後従来の方法により表示用セル内に蛍光
体を塗布、焼成することにより背面基板を完成する。
作製する代わりに、ガラスグリーンシート１と、スペー
サ用シート２とを交互に積重ねたグリーンシート積層体
５″を薄くスライスしてガラス−スペーサストライプシ
ート１８を作製し、このガラス−スペーサストライプシ
ート１８を隔壁用ガラスグリーンシート１及びスペーサ
用シート７と、所定の順序で交互に積重ねた積層体１９
を再びスライスして得たＤＣ方式放電セル型隔壁形成用
シート２０を、同様にガラス基板上に圧着し（図４
（ａ））、次いで高温で焼成して、スペーサ用シート層
を消失させるか又は除去することにより、基板上にガラ
ス隔壁だけを精度良く形成することができる（図４
（ｃ））。この後従来の方法により表示用セル内に蛍光
体を塗布、焼成することにより背面基板を完成する。
【００２５】
【発明の効果】本発明の方法によれば、ガラスと蛍光体
及び／又は焼成後除去可能な物質のグリーンシート積層
体をスライスすることで大量のストライプシートが作製
できるので、量産化に適しており、グリーンシートの厚
み、積層体のスライス厚さ、基板への接合時の圧力等に
より隔壁の幅、高さ、間隔のコントロールが容易であ
り、従って均一な高さの微小な隔壁をファインピッチで
形成でき、従来の厚膜ペーストを用いる方法等に比べて
精度も極めて高い。
及び／又は焼成後除去可能な物質のグリーンシート積層
体をスライスすることで大量のストライプシートが作製
できるので、量産化に適しており、グリーンシートの厚
み、積層体のスライス厚さ、基板への接合時の圧力等に
より隔壁の幅、高さ、間隔のコントロールが容易であ
り、従って均一な高さの微小な隔壁をファインピッチで
形成でき、従来の厚膜ペーストを用いる方法等に比べて
精度も極めて高い。
【００２６】グリーンシートは可塑剤の添加等によりス
ライスカットに適した可塑性を持たせることが自由にで
きるので、加工性の改善が簡単にでき、又グリーンシー
トの無機成分と樹脂成分の混合比を調整することによ
り、焼成後の隔壁の形状及び蛍光体形状のコントロール
も容易である。又感光性フィルム等を必要とせず、工程
も簡単なため安価である。更に、蛍光体層の形成に蛍光
体グリーンシートを用いる場合は、隔壁と蛍光体層を同
時に形成できるので、工程が簡略化でき、歩留が向上す
るという優れた効果を有する。
ライスカットに適した可塑性を持たせることが自由にで
きるので、加工性の改善が簡単にでき、又グリーンシー
トの無機成分と樹脂成分の混合比を調整することによ
り、焼成後の隔壁の形状及び蛍光体形状のコントロール
も容易である。又感光性フィルム等を必要とせず、工程
も簡単なため安価である。更に、蛍光体層の形成に蛍光
体グリーンシートを用いる場合は、隔壁と蛍光体層を同
時に形成できるので、工程が簡略化でき、歩留が向上す
るという優れた効果を有する。
【図１】本発明の一実施態様であるプラズマディスプレ
イパネル用背面基板の製造工程の一部分を示す説明図で
ある。
イパネル用背面基板の製造工程の一部分を示す説明図で
ある。
【図２】本発明の一実施態様であるプラズマディスプレ
イパネル用背面基板の製造工程の一部分を示す説明図で
ある。
イパネル用背面基板の製造工程の一部分を示す説明図で
ある。
【図３】本発明の一実施態様であるプラズマディスプレ
イパネル用背面基板のガラス隔壁の製造工程の一部分を
示す説明図である。
イパネル用背面基板のガラス隔壁の製造工程の一部分を
示す説明図である。
【図４】本発明の一実施態様であるプラズマディスプレ
イパネル用背面基板のガラス隔壁の製造工程の一部分を
示す説明図である。
イパネル用背面基板のガラス隔壁の製造工程の一部分を
示す説明図である。
【図５】ＤＣ方式プラズマディスプレイパネルの基本構
造を示す説明図である。
造を示す説明図である。
１ ガラスグリーンシート
２ 緑色の蛍光体グリーンシート
３ 赤色の蛍光体グリーンシート
４ 青色の蛍光体グリーンシート
５ グリーンシート積層体
６ ガラス蛍光体ストライプシート
７ スペーサ用シート
８ グリーンシート積層体
９ ＤＣ方式放電セル型シート
１０ 背面ガラス基板
１１ 絶縁体層
１２ ガラス隔壁
１３ 緑色の蛍光体層
１４ 赤色の蛍光体層
１５ 青色の蛍光体層
１６ 表示用セル
１７ 種火用セル
１８ ガラス−スペーサストライプシート
１９ 積層体
２０ ＤＣ放電セル型隔壁形成用シート
２１ アノードバス
２２ 抵抗体
２３ アノード
２４ 蛍光体
２５ 前面ガラス基板
２６ カソード
２７ 間隙
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平９−245630（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−126235（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−314898（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−133031（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−128969（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 9/02
G09F 9/30 343
H01J 11/02
Claims (6)
- 【請求項１】 下記（Ａ）〜（Ｆ）の工程からなるプラ
ズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法。 （Ａ）隔壁用ガラスグリーンシート、蛍光体グリーンシ
ート及び焼成により消失する物質からなるスペーサ用シ
ートをそれぞれ複数枚作製する工程。 （Ｂ）隔壁用ガラスグリーンシートと、蛍光体グリーン
シートと、所望によりスペーサ用シートとを所定の順序
で交互に積重ね、グリーンシート積層体を作製する工
程。 （Ｃ）（Ｂ）のグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に薄くスライスし、ガラス層と蛍光体層と所望によ
り積層されたスペーサ用シートがストライプ状に交互に
並んだシート（以下ガラス−蛍光体ストライプシートと
いう。）を作製する工程。 （Ｄ）ガラス−蛍光体ストライプシートと、隔壁用ガラ
スグリーンシートと、スペーサ用シートとを、所定の順
序で交互に積重ね、グリーンシート積層体を作製する工
程。 （Ｅ）（Ｄ）のグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に、且つ、ストライプシートのストライプ方向に垂
直に薄くスライスし、ＤＣ方式放電セルの構造配列を有
するシート（以下ＤＣ方式放電セル型シートという。）
を作製する工程。 （Ｆ）電極及び必要により抵抗体、絶縁体層を形成した
ガラス基板上に該ＤＣ方式放電セル型シートを載置し、
焼成して基板上にガラス隔壁と蛍光体とを同時に形成す
る工程。 - 【請求項２】 スペーサ用シート中に更に焼成により焼
結しないフィラー物質を含み、且つ、（Ｆ）工程におい
て焼成により消失する物質を消失させた後、焼成により
焼結しないフィラー物質を除去する工程を含む、請求項
１に記載されたプラズマディスプレイパネル用背面基板
の製造方法。 - 【請求項３】 下記（Ａ）〜（Ｆ）の工程からなるプラ
ズマディスプレイパネル用背面基板のガラス隔壁の製造
方法。 （Ａ）隔壁用ガラスグリーンシートと、焼成により消失
する物質からなるスペーサ用シートをそれぞれ複数枚作
製する工程。 （Ｂ）隔壁用ガラスグリーンシートとスペーサ用シート
を交互に積重ね、積層体を作製する工程。 （Ｃ）（Ｂ）の積層体を積層面に対して垂直に薄くスラ
イスし、ガラス層とスペーサ用シート層とがストライプ
状に交互に並んだシート（以下ガラス−スペーサストラ
イプシートという。）を作製する工程。 （Ｄ）ガラス−スペーサストライプシートと隔壁用ガラ
スグリーンシートとスペーサ用シートとを、所定の順序
で交互に積重ね、グリーンシート積層体を作製する工
程。 （Ｅ）（Ｄ）のグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に、且つ、前記ストライプシートのストライプ方向
に垂直に薄くスライスし、ＤＣ方式放電セルの構造配列
を有する隔壁形成用シート（以下ＤＣ方式放電セル型隔
壁形成用シートという。）を作製する工程。 （Ｆ）電極及び必要により抵抗体、絶縁体層を形成した
ガラス基板上に該ＤＣ方式放電セル型隔壁形成用シート
を載置し、焼成してスペーサ用シート層を消失させ、基
板上に所定の構造のガラス隔壁を形成する工程。 - 【請求項４】 スペーサ用シート中に更に焼成により焼
結しないフィラー物質を含み、且つ（Ｆ）工程において
焼成により消失する物質を消失させた後、焼成により焼
結しないフィラー物質を除去する工程を含む、請求項３
に記載されたプラズマディスプレイパネル用背面基板の
ガラス隔壁の製造方法。 - 【請求項５】 （ａ）隔壁用ガラスグリーンシートと、
蛍光体グリーンシートと、所望により、焼成により消失
する物質、又はこれと焼成により焼結しないフィラー物
質の混合物からなるスペーサ用シートとを交互に積重ね
たグリーンシート積層体を積層面に対して垂直に薄くス
ライスしてなるガラス−蛍光体ストライプシートと、
（ｂ）隔壁用ガラスグリーンシートと、（ｃ）スペーサ
用シートとを、所定の順序で交互に積重ねたグリーンシ
ート積層体を積層面に対して垂直に、且つ、前記ストラ
イプシートのストライプ方向に垂直に薄くスライスして
なる、プラズマディスプレイパネル用背面基板の隔壁及
び蛍光体形成用ＤＣ方式放電セル型シート。 - 【請求項６】 （ａ）隔壁用ガラスグリーンシートと、
焼成により消失する物質又はこれと焼成により焼結しな
いフィラー物質の混合物からなるスペーサ用シートとを
交互に積重ねたグリーンシート積層体を積層面に対して
垂直に薄くスライスしてなるガラス−スペーサストライ
プシートと、（ｂ）隔壁用ガラスグリーンシートと、
（ｃ）スペーサ用シートとを、所定の順序で交互に積重
ねたグリーンシート積層体を積層面に対して垂直に、且
つ前記ストライプシートのストライプ方向に垂直に薄く
スライスしてなる、プラズマディスプレイパネル用背面
基板のＤＣ方式放電セル型隔壁形成用シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17071296A JP3539078B2 (ja) | 1996-06-11 | 1996-06-11 | プラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17071296A JP3539078B2 (ja) | 1996-06-11 | 1996-06-11 | プラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09330044A JPH09330044A (ja) | 1997-12-22 |
| JP3539078B2 true JP3539078B2 (ja) | 2004-06-14 |
Family
ID=15910005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17071296A Expired - Fee Related JP3539078B2 (ja) | 1996-06-11 | 1996-06-11 | プラズマディスプレイパネル用背面基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3539078B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1389342B1 (en) | 2001-01-29 | 2009-04-08 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Fibers or ribbons for use in the manufacture of structures in flat panel display |
-
1996
- 1996-06-11 JP JP17071296A patent/JP3539078B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09330044A (ja) | 1997-12-22 |
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