JP3538513B2 - 疎水性透過膜の透過性能回復方法 - Google Patents
疎水性透過膜の透過性能回復方法Info
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- JP3538513B2 JP3538513B2 JP01066797A JP1066797A JP3538513B2 JP 3538513 B2 JP3538513 B2 JP 3538513B2 JP 01066797 A JP01066797 A JP 01066797A JP 1066797 A JP1066797 A JP 1066797A JP 3538513 B2 JP3538513 B2 JP 3538513B2
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- Japan
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- gas
- carbon dioxide
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超純水の比抵抗調
整装置における疎水性透過膜の透過性能を回復する方法
に関する。
整装置における疎水性透過膜の透過性能を回復する方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】超純水は、半導体の製造工程において基
板の洗浄に使用されるが、超純水の比抵抗値が高い場合
には基板に静電気が発生して、基板に絶縁破壊が生じた
り、微粒子が付着する等の不都合が生じる。このため、
基板の洗浄水として使用される超純水は、その使用に先
だって比抵抗調整装置により処理して、その比抵抗値を
所定の範囲に調整することが好ましい。超純水の比抵抗
調整装置の一形式としては、特公平５−２１８４１号公
報に示されている比抵抗調整装置がある。
板の洗浄に使用されるが、超純水の比抵抗値が高い場合
には基板に静電気が発生して、基板に絶縁破壊が生じた
り、微粒子が付着する等の不都合が生じる。このため、
基板の洗浄水として使用される超純水は、その使用に先
だって比抵抗調整装置により処理して、その比抵抗値を
所定の範囲に調整することが好ましい。超純水の比抵抗
調整装置の一形式としては、特公平５−２１８４１号公
報に示されている比抵抗調整装置がある。
【０００３】当該比抵抗調整装置は、超純水を供給する
入口および流出させる出口を有する処理室と、炭酸ガス
を供給する入口および流出させる出口を有し前記処理室
内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水性透
過膜にて形成された流通路を備え、同流通路を流通する
炭酸ガスの一部を前記疎水性透過膜を透過させて前記処
理室内を流通する超純水に溶解させることにより、超純
水の比抵抗値を調整するように構成されている。
入口および流出させる出口を有する処理室と、炭酸ガス
を供給する入口および流出させる出口を有し前記処理室
内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水性透
過膜にて形成された流通路を備え、同流通路を流通する
炭酸ガスの一部を前記疎水性透過膜を透過させて前記処
理室内を流通する超純水に溶解させることにより、超純
水の比抵抗値を調整するように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、当該比抵抗
調整装置においては、流通路を流通する炭酸ガスが疎水
性透過膜を透過して処理室内の超純水に侵入して溶解す
ることにより、超純水の比抵抗値が調整されるものであ
るが、処理室内の超純水の圧力が流通路内の炭酸ガスの
圧力に比較して高いため、超純水が水蒸気の状態で疎水
性透過膜内に侵入して付着し、流通路内の炭酸ガスの処
理室側への透過を規制することになる。かかる現象は、
比抵抗調整装置を長時間運転した場合、流通路内へ供給
する炭酸ガスの圧力を低くして運転した場合、超純水を
処理室内に滞留した状態で運転を停止した場合等に著し
く発生する。
調整装置においては、流通路を流通する炭酸ガスが疎水
性透過膜を透過して処理室内の超純水に侵入して溶解す
ることにより、超純水の比抵抗値が調整されるものであ
るが、処理室内の超純水の圧力が流通路内の炭酸ガスの
圧力に比較して高いため、超純水が水蒸気の状態で疎水
性透過膜内に侵入して付着し、流通路内の炭酸ガスの処
理室側への透過を規制することになる。かかる現象は、
比抵抗調整装置を長時間運転した場合、流通路内へ供給
する炭酸ガスの圧力を低くして運転した場合、超純水を
処理室内に滞留した状態で運転を停止した場合等に著し
く発生する。
【０００５】これに対処するためには、比抵抗調整装置
を運転停止した場合に、流通路の入口および出口を大気
に開放して疎水性透過膜を乾燥する方法が考えられる
が、かかる方法では疎水性透過膜の入口側の近傍、出口
側の近傍は乾燥されるが、疎水性透過膜の全体を乾燥さ
せるには長時間を要し、疎水性透過膜の透過性能を確実
に回復させることは実質的には不可能である。
を運転停止した場合に、流通路の入口および出口を大気
に開放して疎水性透過膜を乾燥する方法が考えられる
が、かかる方法では疎水性透過膜の入口側の近傍、出口
側の近傍は乾燥されるが、疎水性透過膜の全体を乾燥さ
せるには長時間を要し、疎水性透過膜の透過性能を確実
に回復させることは実質的には不可能である。
【０００６】従って、本発明の目的は、上記した形式の
超純水の比抵抗調整装置における疎水性透過膜の透過性
能を、比抵抗調整装置の運転後に効果的に回復させるこ
とにある。
超純水の比抵抗調整装置における疎水性透過膜の透過性
能を、比抵抗調整装置の運転後に効果的に回復させるこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、超純水を供給
する入口および流出させる出口を有する処理室と、炭酸
ガスを供給する入口および流出させる出口を有し前記処
理室内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水
性透過膜にて形成された流通路を備え、同流通路を流通
する炭酸ガスの一部を前記疎水性透過膜を透過させて前
記処理室内を流通する超純水に溶解させることにより、
超純水の比抵抗値を調整する比抵抗調整装置における疎
水性透過膜の透過性能を回復する方法であり、当該比抵
抗調整装置の運転終了後に前記流通路に乾燥状態のガス
を連続的または間欠的に流通させることを特徴とするも
のである。
する入口および流出させる出口を有する処理室と、炭酸
ガスを供給する入口および流出させる出口を有し前記処
理室内に配設された疎水性で炭酸ガスを透過させる疎水
性透過膜にて形成された流通路を備え、同流通路を流通
する炭酸ガスの一部を前記疎水性透過膜を透過させて前
記処理室内を流通する超純水に溶解させることにより、
超純水の比抵抗値を調整する比抵抗調整装置における疎
水性透過膜の透過性能を回復する方法であり、当該比抵
抗調整装置の運転終了後に前記流通路に乾燥状態のガス
を連続的または間欠的に流通させることを特徴とするも
のである。
【０００８】本発明に係る透過性能回復方法において
は、前記乾燥状態のガスとして、炭酸ガス、窒素ガス、
アルゴンガス、または露点が大気温度以下のドライエア
を採用することが好ましい。
は、前記乾燥状態のガスとして、炭酸ガス、窒素ガス、
アルゴンガス、または露点が大気温度以下のドライエア
を採用することが好ましい。
【０００９】
【発明の作用・効果】本発明に係る疎水性透過膜の透過
性能回復方法によれば、比抵抗調整装置を運転終了後
に、当該比抵抗調整装置を構成する流通路に乾燥状態の
ガスを連続的または間欠的に流通させるようにしている
ため、当該ガスにより疎水性透過膜に侵入している水蒸
気を積極的に排出して、当該比抵抗調整装置の運転後の
再開時には、疎水性透過膜の透過性能を確実に回復させ
ることができる。
性能回復方法によれば、比抵抗調整装置を運転終了後
に、当該比抵抗調整装置を構成する流通路に乾燥状態の
ガスを連続的または間欠的に流通させるようにしている
ため、当該ガスにより疎水性透過膜に侵入している水蒸
気を積極的に排出して、当該比抵抗調整装置の運転後の
再開時には、疎水性透過膜の透過性能を確実に回復させ
ることができる。
【００１０】本発明に係る疎水性透過膜の透過性能回復
方法において、特に、乾燥状態のガスとして炭酸ガスを
採用する場合には、比抵抗調整装置の運転停止後、およ
び運転再開に当たっても、炭酸ガスと他のガスとの切り
替えが不要であって極めて都合がよい。
方法において、特に、乾燥状態のガスとして炭酸ガスを
採用する場合には、比抵抗調整装置の運転停止後、およ
び運転再開に当たっても、炭酸ガスと他のガスとの切り
替えが不要であって極めて都合がよい。
【００１１】
（比抵抗調整装置）図１には、本発明に係る透過性能回
復方法が適用される比抵抗調整装置の一例が示されてい
る。当該比抵抗調整装置は、処理槽１１、および処理槽
１１内に配設された疎水性透過膜にて形成された筒体１
２を備えている。処理槽１１は本発明の処理室を構成
し、かつ筒体１２は本発明の疎水性膜にて形成された流
通路を構成しているもので、処理槽１１には、その入口
に超純水の供給管路１３ａが接続されているとともに、
その出口に流出管路１３ｂが接続されており、また筒体
１２には、その入口に炭酸ガスの供給管路１４ａが接続
されているとともに、その出口に流出管路１４ｂが接続
されている。
復方法が適用される比抵抗調整装置の一例が示されてい
る。当該比抵抗調整装置は、処理槽１１、および処理槽
１１内に配設された疎水性透過膜にて形成された筒体１
２を備えている。処理槽１１は本発明の処理室を構成
し、かつ筒体１２は本発明の疎水性膜にて形成された流
通路を構成しているもので、処理槽１１には、その入口
に超純水の供給管路１３ａが接続されているとともに、
その出口に流出管路１３ｂが接続されており、また筒体
１２には、その入口に炭酸ガスの供給管路１４ａが接続
されているとともに、その出口に流出管路１４ｂが接続
されている。
【００１２】当該比抵抗処理装置においては、炭酸ガス
の供給管路１４ａにガス流量調整機構２０が介装されて
おり、また超純水の流出管路１３ｂには比抵抗値を検出
するための比抵抗値センサー３１が介装されている。ガ
ス流量調整機構２０は、互いに並列する４本の流路２１
ａ〜２１ｄを備え、各流路２１ａ〜２１ｄにはそれぞれ
電磁バルブ２２ａ〜２２ｄと、ガスフィルター２３ａ〜
２３ｄとが介装されている。各電磁バルブ２２ａ〜２２
ｄは電磁式の開閉バルブであり、また各ガスフィルター
２３ａ〜２３ｄはガス透過量をそれぞれ異にするもの
で、例えば第１ガスフィルター２３ａの透過量を１とし
た場合に、第２ガスフィルター２３ｂの透過量は１／２
に、第３ガスフィルター２３ｃの透過量は１／４に、第
４ガスフィルター２３ｄの透過量は１／８にそれぞれ設
定されている。
の供給管路１４ａにガス流量調整機構２０が介装されて
おり、また超純水の流出管路１３ｂには比抵抗値を検出
するための比抵抗値センサー３１が介装されている。ガ
ス流量調整機構２０は、互いに並列する４本の流路２１
ａ〜２１ｄを備え、各流路２１ａ〜２１ｄにはそれぞれ
電磁バルブ２２ａ〜２２ｄと、ガスフィルター２３ａ〜
２３ｄとが介装されている。各電磁バルブ２２ａ〜２２
ｄは電磁式の開閉バルブであり、また各ガスフィルター
２３ａ〜２３ｄはガス透過量をそれぞれ異にするもの
で、例えば第１ガスフィルター２３ａの透過量を１とし
た場合に、第２ガスフィルター２３ｂの透過量は１／２
に、第３ガスフィルター２３ｃの透過量は１／４に、第
４ガスフィルター２３ｄの透過量は１／８にそれぞれ設
定されている。
【００１３】ガス流量調整機構２０においては、コント
ローラ３２からの動作信号に基づいて各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄの開閉動作が制御されて、筒体１２内への炭
酸ガスの流量が制御されるもので、コントローラ３２は
比抵抗値センサー３１からの検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号を出力する。
ローラ３２からの動作信号に基づいて各電磁バルブ２２
ａ〜２２ｄの開閉動作が制御されて、筒体１２内への炭
酸ガスの流量が制御されるもので、コントローラ３２は
比抵抗値センサー３１からの検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号を出力する。
【００１４】（比抵抗調整方法）当該比抵抗調整装置を
使用して超純水の比抵抗値を調整するには、被処理水で
ある一定の温度の超純水を供給管路１３ａを通して一定
の圧力、一定の流量で処理槽１１内に供給するととも
に、流出管路１３ｂを通して流出させ、かつ筒体１２内
へは炭酸ガスをガス流量調整機構２０を通して供給する
とともに、ガス流出管路１４ｂを通して流出させる。
使用して超純水の比抵抗値を調整するには、被処理水で
ある一定の温度の超純水を供給管路１３ａを通して一定
の圧力、一定の流量で処理槽１１内に供給するととも
に、流出管路１３ｂを通して流出させ、かつ筒体１２内
へは炭酸ガスをガス流量調整機構２０を通して供給する
とともに、ガス流出管路１４ｂを通して流出させる。
【００１５】この間、筒体１２内を流通する炭酸ガスの
一部が疎水性透過膜を透過して処理槽１１内に侵入して
超純水に溶解し、超純水の比抵抗値を所定の値に低下さ
せる。また、この間、処理槽１１から流出する超純水の
比抵抗値は比抵抗値センサー３１により常時検出され、
コントローラ３２では、この検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号が出力されて、
筒体１２内への炭酸ガスの供給量が適正に制御され、超
純水の比抵抗値が設定された所定の範囲に調整される。
一部が疎水性透過膜を透過して処理槽１１内に侵入して
超純水に溶解し、超純水の比抵抗値を所定の値に低下さ
せる。また、この間、処理槽１１から流出する超純水の
比抵抗値は比抵抗値センサー３１により常時検出され、
コントローラ３２では、この検出信号に基づいて各電磁
バルブ２２ａ〜２２ｄに対して動作信号が出力されて、
筒体１２内への炭酸ガスの供給量が適正に制御され、超
純水の比抵抗値が設定された所定の範囲に調整される。
【００１６】（疎水性透過膜の透過性能回復方法）当該
比抵抗調整装置において、超純水の比抵抗値の調整運転
終了した時点での筒体１２、または運転終了後炭酸ガス
を流通させることなく超純水が滞留した処理槽１１に保
持された筒体１２においては、超純水の水蒸気が筒体１
２を形成する疎水性透過膜内に侵入して同疎水性透過膜
の透過性能を低下させる。
比抵抗調整装置において、超純水の比抵抗値の調整運転
終了した時点での筒体１２、または運転終了後炭酸ガス
を流通させることなく超純水が滞留した処理槽１１に保
持された筒体１２においては、超純水の水蒸気が筒体１
２を形成する疎水性透過膜内に侵入して同疎水性透過膜
の透過性能を低下させる。
【００１７】このため、当該比抵抗調整装置の運転再開
に当たって、筒体１２内に、乾燥状態のガスを連続的ま
たは間欠的に所定時間流通させる。この場合、超純水の
比抵抗値の調整に使用した炭酸ガスを採用することがで
きるが、当該比抵抗調整装置において、ガス供給管路１
４ａにおけるガス流量調整機構２０と筒体１２の入口と
の間にガス供給管路を接続して、筒体１２内ヘの窒素ガ
ス、アルゴンガス、ドライエアの供給を可能に構成すれ
ば、筒体１２内へはこれらのガスを供給することができ
る。
に当たって、筒体１２内に、乾燥状態のガスを連続的ま
たは間欠的に所定時間流通させる。この場合、超純水の
比抵抗値の調整に使用した炭酸ガスを採用することがで
きるが、当該比抵抗調整装置において、ガス供給管路１
４ａにおけるガス流量調整機構２０と筒体１２の入口と
の間にガス供給管路を接続して、筒体１２内ヘの窒素ガ
ス、アルゴンガス、ドライエアの供給を可能に構成すれ
ば、筒体１２内へはこれらのガスを供給することができ
る。
【００１８】なお、当該比抵抗調整装置においては、処
理槽１１内の水を除去するとともに、ガス流出管路１４
ｂを閉塞した状態で、筒体１２内に乾燥状態のガスを供
給し、水供給管路１３ａ、水流出管路１３ｂ側へ流出さ
せるようにしてもよい。
理槽１１内の水を除去するとともに、ガス流出管路１４
ｂを閉塞した状態で、筒体１２内に乾燥状態のガスを供
給し、水供給管路１３ａ、水流出管路１３ｂ側へ流出さ
せるようにしてもよい。
【００１９】疎水性透過膜の透過性能回復方法におい
て、炭酸ガスまたはドライエアを間欠的に供給する場合
には、ガス圧０ｋｇ／ｃｍ2〜２ｋｇ／ｃｍ2の範囲で、
間隔は５ｍｉｎ〜１０ｈｒ毎として、間欠的に供給する
ことが好ましい。また、炭酸ガスまたはドライエアを連
続的に供給する場合には、ガス圧０ｋｇ／ｃｍ2〜２ｋ
ｇ／ｃｍ2の範囲で、連続的に供給することが好まし
い。
て、炭酸ガスまたはドライエアを間欠的に供給する場合
には、ガス圧０ｋｇ／ｃｍ2〜２ｋｇ／ｃｍ2の範囲で、
間隔は５ｍｉｎ〜１０ｈｒ毎として、間欠的に供給する
ことが好ましい。また、炭酸ガスまたはドライエアを連
続的に供給する場合には、ガス圧０ｋｇ／ｃｍ2〜２ｋ
ｇ／ｃｍ2の範囲で、連続的に供給することが好まし
い。
【００２０】このように、当該透過膜の透過性能回復方
法によれば、比抵抗調整装置の運転終了後に、疎水性透
過膜にて形成された流通路を構成する筒体１２内に、乾
燥状態のガスを間欠的または連続的に流通させるように
しているため、かかるガスの流通により、疎水性透過膜
に侵入して付着している水蒸気を積極的に排出すること
ができ、疎水性透過膜を乾燥状態に再生してその透過性
能を回復させることができる。
法によれば、比抵抗調整装置の運転終了後に、疎水性透
過膜にて形成された流通路を構成する筒体１２内に、乾
燥状態のガスを間欠的または連続的に流通させるように
しているため、かかるガスの流通により、疎水性透過膜
に侵入して付着している水蒸気を積極的に排出すること
ができ、疎水性透過膜を乾燥状態に再生してその透過性
能を回復させることができる。
【００２１】当該透過性能回復方法において、特に、透
過性能の回復に炭酸ガスを採用すれば、当該抵抗調整装
置の運転終了時点および運転再開に当たっても、炭酸ガ
スと他のガスとの切り替えが不要であって、極めて都合
がよい。
過性能の回復に炭酸ガスを採用すれば、当該抵抗調整装
置の運転終了時点および運転再開に当たっても、炭酸ガ
スと他のガスとの切り替えが不要であって、極めて都合
がよい。
【００２２】（実験）本実験では、図１に示す比抵抗調
整装置を使用し、かつ筒体１２としてポリプロピレン製
の疎水性透過膜にて形成されて異なる条件下におかれた
各筒体１２を使用して、筒体１２内への炭酸ガスの供給
圧力を変化させて、超純水の比抵抗値を調整する実験を
試みた。
整装置を使用し、かつ筒体１２としてポリプロピレン製
の疎水性透過膜にて形成されて異なる条件下におかれた
各筒体１２を使用して、筒体１２内への炭酸ガスの供給
圧力を変化させて、超純水の比抵抗値を調整する実験を
試みた。
【００２３】本実験においては、超純水を水温２０℃に
設定して、水圧３ｋｇ／ｃｍ2で流量２ｌ／ｍｉｎで処
理槽１１内に供給するとともに流出させた。この間、筒
体１２内には各圧力の炭酸ガスを供給して、流出される
超純水の比抵抗値が一定になるように調整した。但し、
比抵抗値センサー３１は流出管路１３ｂにおける処理槽
１１側の接続部から３００ｍｍ下流側に設置されている
もので、得られた結果を表１に示す。なお、比抵抗値は
処理開始から５秒〜１０秒後のものである。
設定して、水圧３ｋｇ／ｃｍ2で流量２ｌ／ｍｉｎで処
理槽１１内に供給するとともに流出させた。この間、筒
体１２内には各圧力の炭酸ガスを供給して、流出される
超純水の比抵抗値が一定になるように調整した。但し、
比抵抗値センサー３１は流出管路１３ｂにおける処理槽
１１側の接続部から３００ｍｍ下流側に設置されている
もので、得られた結果を表１に示す。なお、比抵抗値は
処理開始から５秒〜１０秒後のものである。
【００２４】但し、表１の各実験ＮＯは、それぞれ異な
る条件下におかれた筒体１２を使用した実験を意味し、
実験ＮＯ．１は各実験の初期性能を示している。
る条件下におかれた筒体１２を使用した実験を意味し、
実験ＮＯ．１は各実験の初期性能を示している。
【００２５】実験ＮＯ．２では、実験ＮＯ．１に使用す
る筒体を処理槽１１内に設置して炭酸ガスを流通させる
ことなく水圧３ｋｇ／ｃｍ2の超純水の下で１５時間放
置した後の筒体、実験ＮＯ．３では、実験ＮＯ．２に使
用する筒体の実験終了後に炭酸ガスを２５０ｃｃ／ｍｉ
ｎで１０秒間流した筒体、実験ＮＯ．４では、実験Ｎ
Ｏ．２で使用する筒体の実験終了後に炭酸ガスを１０秒
間に１回、２秒間７ｃｃ／ｍｉｎで流した筒体をそれぞ
れ使用している。
る筒体を処理槽１１内に設置して炭酸ガスを流通させる
ことなく水圧３ｋｇ／ｃｍ2の超純水の下で１５時間放
置した後の筒体、実験ＮＯ．３では、実験ＮＯ．２に使
用する筒体の実験終了後に炭酸ガスを２５０ｃｃ／ｍｉ
ｎで１０秒間流した筒体、実験ＮＯ．４では、実験Ｎ
Ｏ．２で使用する筒体の実験終了後に炭酸ガスを１０秒
間に１回、２秒間７ｃｃ／ｍｉｎで流した筒体をそれぞ
れ使用している。
【００２６】また、実験ＮＯ．５では、実験ＮＯ．１に
使用する筒体を処理槽１１内で超純水の下で１５０時間
放置した後の筒体、実験ＮＯ．６では、実験ＮＯ．４に
使用する筒体の実験終了後に炭酸ガスを２５０ｃｃ／ｍ
ｉｎで１０分間流した筒体、実験ＮＯ．７では、実験Ｎ
Ｏ．６に使用する筒体の実験終了後に処理槽１１内の水
を排出して、炭酸ガスを１ｋｇ／ｃｍ2で１０分、ガス
流出管路１４ｂ側から供給して各管路１３ａ，１３ｂ側
へ流出させた後の筒体らそれぞれ使用している。
使用する筒体を処理槽１１内で超純水の下で１５０時間
放置した後の筒体、実験ＮＯ．６では、実験ＮＯ．４に
使用する筒体の実験終了後に炭酸ガスを２５０ｃｃ／ｍ
ｉｎで１０分間流した筒体、実験ＮＯ．７では、実験Ｎ
Ｏ．６に使用する筒体の実験終了後に処理槽１１内の水
を排出して、炭酸ガスを１ｋｇ／ｃｍ2で１０分、ガス
流出管路１４ｂ側から供給して各管路１３ａ，１３ｂ側
へ流出させた後の筒体らそれぞれ使用している。
【００２７】
【表１】
【００２８】（考察）表１に示す結果を参照すると、筒
体１２を水圧３ｋｇ／ｃｍ2の超純水下で炭酸ガスを流
通させずに長時間放置すると、筒体１２は炭酸ガスの透
過性能を著しく低下させていることが明かである。ま
た、透過性能の低下した筒体１２に高圧力で炭酸ガスを
連続的または間欠的に流通した場合には、透過性能はほ
ぼ完全に回復することがわかる。
体１２を水圧３ｋｇ／ｃｍ2の超純水下で炭酸ガスを流
通させずに長時間放置すると、筒体１２は炭酸ガスの透
過性能を著しく低下させていることが明かである。ま
た、透過性能の低下した筒体１２に高圧力で炭酸ガスを
連続的または間欠的に流通した場合には、透過性能はほ
ぼ完全に回復することがわかる。
【００２９】従って、比抵抗調整装置を運転終了後に、
筒体１２内に炭酸ガスを連続的または間欠的に流通させ
れば、筒体１２を構成する疎水性透過膜の透過性能をほ
ぼ完全に回復されることができる。
筒体１２内に炭酸ガスを連続的または間欠的に流通させ
れば、筒体１２を構成する疎水性透過膜の透過性能をほ
ぼ完全に回復されることができる。
【図１】本発明の透過性能維持方法を実施するに適した
超純水の比抵抗調整装置を示す概略構成図である。
超純水の比抵抗調整装置を示す概略構成図である。
１１…処理槽、１２…筒体、１３ａ…水供給管路、１３
ｂ…水流出管路、１４ａ…ガス供給管路、１４ｂ…ガス
流出管路、２０…ガス流量調整機構、２１ａ〜２１ｄ…
流路、２２ａ〜２２ｄ…電磁バルブ、２３ａ〜２３ｄ…
ガスフィルター、３１…比抵抗値センサー、３２…コン
トローラ。
ｂ…水流出管路、１４ａ…ガス供給管路、１４ｂ…ガス
流出管路、２０…ガス流量調整機構、２１ａ〜２１ｄ…
流路、２２ａ〜２２ｄ…電磁バルブ、２３ａ〜２３ｄ…
ガスフィルター、３１…比抵抗値センサー、３２…コン
トローラ。
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−57157（ＪＰ，Ａ)
特公 平５−21841（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01D 65/02
C02F 1/44
Claims (2)
- 【請求項１】超純水を供給する入口および流出させる出
口を有する処理室と、炭酸ガスを供給する入口および流
出させる出口を有し前記処理室内に配設された疎水性で
炭酸ガスを透過させる疎水性透過膜にて形成された流通
路を備え、同流通路を流通する炭酸ガスの一部を前記疎
水性透過膜を透過させて前記処理室内を流通する超純水
に溶解させることにより、超純水の比抵抗値を調整する
比抵抗調整装置における疎水性透過膜の透過性能を回復
する方法であり、当該比抵抗調整装置の運転終了後に前
記流通路に乾燥状態のガスを連続的または間欠的に流通
させることを特徴とする超純水の比抵抗調整装置におけ
る疎水性透過膜の透過性能回復方法。 - 【請求項２】請求項１に記載の透過性能回復方法におい
て、前記乾燥状態のガスが炭酸ガス、窒素ガス、アルゴ
ンガス、または露点が大気温度以下のドライエアである
ことを特徴とする超純水の比抵抗調整装置における疎水
性透過膜の透過性能回復方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01066797A JP3538513B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 疎水性透過膜の透過性能回復方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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