JP3534678B2 - シリンダ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、メインシリンダ
から排出される戻り流体によりサブシリンダを作動させ
るようにしたシリンダ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、産業界においては、あるシリン
ダのピストンの移動に同期して別のシリンダのピストン
を移動させたい場合がある。このような要望を満足させ
るため、本発明者は特公平７−４２９６５号公報におい
て、ピストンによって２つの室に仕切られたシリンダ室
を内部に有するメインシリンダと、該メインシリンダの
２つの室にそれぞれ接続され、これら２つの室に流体を
給排する一対の給排通路と、メインシリンダのピストン
に設けられ、該ピストンが一方のストロークエンドに向
かって移動して該一方のストロークエンド近傍に到達し
たとき、流体が押し出されている一方の室と低圧側であ
る一方の給排通路とを遮断する遮断部材と、ピストンに
よって２つの室に仕切られたシリンダ室を内部に有する
サブシリンダと、このサブシリンダのいずれかの室と前
記メインシリンダの一方の室とを常時接続し、遮断部材
により遮断されて圧力が上昇したメインシリンダの一方
の室の流体をサブシリンダの前記室に導き該サブシリン
ダのピストンを移動させる接続通路と、前記接続通路の
途中と前記低圧側である一方の給排通路とを接続し、該
接続通路内の流体を低圧側の一方の給排通路に逃がす逃
がし通路と、逃がし通路の途中に設けられ、該逃がされ
る流体の量を調整する流量制御弁と、を備えたシリンダ
装置を提案した。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなシリンダ装置にあっては、メインシリンダに、一対
の給排通路に加えて、圧力の上昇した流体を取り出す接
続通路を接続する必要があるため、メインシリンダの周
囲における配管の配置が複雑となってしまうという問題
点がある。しかも、メインシリンダには遮断部材が必要
であるため、汎用シリンダをメインシリンダとしてその
まま使用することができないという問題点もあった。

【０００４】この発明は、メインシリンダの周囲におけ
る配管の配置が簡単で、かつ、メインシリンダとして汎
用シリンダを使用することができるシリンダ装置を提供
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このような目的は、第１
に、ピストンによって２つの室に仕切られたシリンダ室
を有するメインシリンダと、切換弁とメインシリンダの
２つの室とを接続し、これら２つの室に流体を給排する
一対の給排通路と、ピストンによって２つの室に仕切ら
れたシリンダ室を有するサブシリンダと、一端がサブシ
リンダの一方の室に、他端が一方の給排通路に接続され
た第１分岐通路と、一端がサブシリンダの他方の室に、
他端が第１分岐通路より切換弁側の一方の給排通路に接
続された第２分岐通路と、前記第１または第２分岐通路
に設けられ、サブシリンダのシリンダ室への流体給排量
を制御する流量制御弁とを備えたシリンダ装置により、

【０００６】第２に、ピストンによって２つの室に仕切
られたシリンダ室を有するメインシリンダと、切換弁と
メインシリンダの２つの室とを接続し、これら２つの室
に流体を給排する一対の給排通路と、ピストンによって
２つの室に仕切られたシリンダ室を有するサブシリンダ
と、一端がサブシリンダの一方の室に、他端が一方の給
排通路に接続された第１分岐通路と、一端がサブシリン
ダの他方の室に、他端が第１分岐通路より切換弁側の一
方の給排通路に接続された第２分岐通路と、前記第１分
岐通路の他端と第２分岐通路の他端との間の一方の給排
通路に設けられた流量制御弁とを備え、該流量制御弁の
開度を調節することによりサブシリンダのシリンダ室へ
の流体給排量を制御し、メインシリンダのピストンの移
動速度に対するサブシリンダのピストンの移動速度を決
定するようにしたシリンダ装置により達成することがで
きる。

【０００７】まず、請求項１に係る発明について説明す
る。今、切換弁が切り換えられて、高圧側の給排通路、
ここでは他方の給排通路から高圧流体がメインシリンダ
の室、ここでは他方の室に供給され始め、該メインシリ
ンダのピストンが一方のストロークエンドに向かって移
動を開始したとする。このとき、メインシリンダの残り
の室、ここでは一方の室内から戻り流体が一方の給排通
路を通じて流出を開始するが、この一方の給排通路には
第１分岐通路が接続されているので、前記戻り流体の一
部は該第１分岐通路内を流れ、サブシリンダの一方の室
に流入する。

【０００８】このようにサブシリンダの一方の室に流体
が流入すると、サブシリンダのピストンは前記メインシ
リンダのピストンに同期して他方のストロークエンドに
向かって移動を開始し、他方の室から流体を第２分岐通
路に押し出す。このようにして第２分岐通路に押し出さ
れた流体は、第１分岐通路より切換弁側の一方の給排通
路に流出して前述の戻り流体と合流した後、排出され
る。

【０００９】ここで、前記サブシリンダに接続されてい
る第１分岐通路または第２分岐通路に、サブシリンダの
シリンダ室への流体給排量を制御する流量制御弁が設け
られているため、この流量制御弁の開度を調節してやれ
ば、メインシリンダのピストンの移動速度に対するサブ
シリンダのピストンの移動速度を容易に決定することが
できる。

【００１０】このようにメインシリンダに直接接続され
ているのは、通常のシリンダ装置と同様の一対の給排通
路だけであるため、メインシリンダの周囲の配管の配置
が簡単となる。しかも、メインシリンダに特別な遮断部
材等は不要であるため、該メインシリンダとして汎用シ
リンダを使用することができる。

【００１１】また、請求項６に係る発明の場合も前記請
求項１に係る発明の作動とほぼ同様であるが、流量制御
弁を第１分岐通路の他端と第２分岐通路の他端との間の
一方の給排通路に設けているため、該一方の給排通路を
流れる戻り流体のかなりの部分あるいは大部分をサブシ
リンダに供給することができる。このようなことから、
請求項６に係る発明はメインシリンダとサブシリンダと
の容量が近似しているときに有効である。

【００１２】また、請求項２に記載のように構成すれ
ば、サブシリンダが小型のときにも、同調シリンダのピ
ストンの移動を制御することで、該サブシリンダのピス
トンの移動を正確かつ容易に制御することができる。ま
た、長時間の運転により温度が変化する給排通路内の流
体を同調シリンダで遮断することができるため、サブシ
リンダが温度変化の影響を受ける事態を抑制することが
できる。しかも、流量制御弁による流量変化に対する同
調シリンダのピストンの移動量変化が大きいため、高精
度でサブシリンダを制御することができる。

【００１３】さらに、請求項３に記載のように構成すれ
ば、サブシリンダのピストンが他方のストロークエンド
に到達した後もサブシリンダに流体が供給されたとき、
この余分な流体を一方の給排通路に戻すことができる。
また、請求項４に記載のように構成すれば、同調シリン
ダのヘッド側室における流体不足を防止することができ
る。さらに、請求項５に記載のように構成すれば、サブ
シリンダのピストンを正確かつ高速で移動させることが
できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の第１実施形態を
図面に基づいて説明する。図１において、11はダイカス
トマシンの型締め等に用いられる大型のメインシリンダ
であり、このメインシリンダ11は内部にシリンダ室12が
形成されたシリンダケース13を有する。16はシリンダ室
12内に摺動可能に挿入されたピストンであり、このピス
トン16は大径のピストン部17と、このピストン部17に基
端部が固定されたロッド部18とを有し、また、前記ピス
トン部17はシリンダ室12をロッド側室20とヘッド側室21
とに仕切る。

【００１５】24は圧力流体を吐出するポンプ、25はタン
クであり、これらポンプ24およびタンク25と切換弁26と
は吐出通路27および排出通路28を介してそれぞれ接続さ
れている。また前記切換弁26とメインシリンダ11のロッ
ド側室20、ヘッド側室21とはそれぞれ一対の給排通路3
1、32を介して接続されており、この結果、切換弁26が
切り換えられると、給排通路31、32のいずれか一方が高
圧側と、残り他方が低圧側となり、これにより、ロッド
側室20またはヘッド側室21のいずれかに高圧流体が供給
され、残りのロッド側室20またはヘッド側室21から戻り
流体が排出される。

【００１６】36、37は前記メインシリンダ11から遠く離
れた位置、例えば操作盤に設置された小型のサブシリン
ダであり、これらサブシリンダ36、37の内部にはそれぞ
れシリンダ室38、39が形成されている。これらサブシリ
ンダ36、37のシリンダ室38、39内にはピストン40、41が
摺動可能に挿入され、これらピストン40、41はそれぞれ
大径のピストン部42、43と、これらピストン部42、43に
基端部が固定されたロッド部44、45とを有している。そ
して、前記ピストン部42、43はシリンダ室38、39をロッ
ド側室46、47とヘッド側室48、49とに仕切る。

【００１７】前記ロッド部44、45の先端には先端側に向
かって末広がりの円錐台状をした係止片51、52が固定さ
れて、これらの係止片51、52はロッド部44、45の側方に
設置されたマイクロスイッチ53、54に係合することがで
きる。そして、サブシリンダ36、37のロッド部44、45が
引っ込んで係止片51、52がマイクロスイッチ53、54に係
合すると、マイクロスイッチ53、54はオフからオンに切
り換わり、制御板に設けられた表示器に表示するととも
に、切換弁26を流れ位置から中立位置に切り換える。ま
た、前記マイクロスイッチ53、54はロッド部44、45の軸
方向に設置位置を変更することができ、これにより、マ
イクロスイッチ53、54の切り換わりタイミングを容易に
調節することができる。

【００１８】57は一端がサブシリンダ36の一方の室、こ
こではロッド側室46に接続された第１分岐通路であり、
この第１分岐通路57の他端は一方の給排通路、ここでは
切換弁26の近傍の給排通路32に接続されている。58は一
端がサブシリンダ36の他方の室、ここではヘッド側室48
に接続された第２分岐通路であり、この第２分岐通路58
の他端は第１分岐通路57の他端より切換弁26側の一方の
給排通路（給排通路32）に接続されている。59は一端が
サブシリンダ37の一方の室、ここではロッド側室47に接
続された別の第１分岐通路であり、この第１分岐通路59
の他端は他方の給排通路、ここでは切換弁26の近傍の給
排通路31に接続されている。60は一端がサブシリンダ37
の他方の室、ここではヘッド側室49に接続された別の第
２分岐通路であり、この第２分岐通路60の他端は第１分
岐通路59の他端より切換弁26側の他方の給排通路（給排
通路31）に接続されている。そして、第１、第２分岐通
路57、59、58、60が前述のように接続されていると、サ
ブシリンダ36とサブシリンダ37との作動は後述のように
逆となる。

【００１９】前記第１分岐通路57、59には給排通路32、
31からサブシリンダ36、37のシリンダ室38、39に供給さ
れる流体量を制御する流量制御弁63、64が設けられ、こ
れら流量制御弁63、64は、メインシリンダ11のピストン
16が移動することでヘッド側室21またはロッド側室20か
ら押し出された流体のサブシリンダ36、37への流入量を
規定する。そして、これら流量制御弁63、64の開度（流
体通過量）は図示していないデジタル制御手段によって
制御される。65、66は前記流量制御弁63、64に並列に接
続されたチェック弁であり、これらのチェック弁65、66
はサブシリンダ36、37から給排通路32、31への流体の流
れのみを許容する。

【００２０】69、70はサブシリンダ36、37より多少大型
の同調シリンダであり、これら同調シリンダ69、70内に
形成されたシリンダ室71、72は、該シリンダ室71、72に
摺動可能に挿入されたピストン73、74によりロッド側室
75、76とヘッド側室77、78とに仕切られている。そし
て、これらの同調シリンダ69、70は流量制御弁63、64と
サブシリンダ36、37との間の第１分岐通路57、59にそれ
ぞれ設けられるとともに、ロッド側室75、76が流量制御
弁63、64側の第１分岐通路57、59に、ヘッド側室77、78
がサブシリンダ36、37側の第１分岐通路57、59にそれぞ
れ接続されている。

【００２１】81、82は第１、第２分岐通路57、58同士お
よび第１、第２分岐通路59、60同士をそれぞれ接続する
接続通路であり、これらの接続通路81、82の途中には、
第１分岐通路57、59内がリリーフ圧まで上昇したとき、
該第１分岐通路57、59内の流体を第２分岐通路58、60に
リリーフさせるリリーフ弁83、84がそれぞれ介装されて
いる。85、86は同調シリンダ69、70とサブシリンダ36、
37との間の第１分岐通路57、59と、第２分岐通路58、60
とを接続する補給通路であり、これら補給通路85、86の
途中には第２分岐通路58、60から第１分岐通路57、59へ
の流体の流れのみを許容するチェック弁87、88がそれぞ
れ介装されている。

【００２２】次に、この発明の第１実施形態の作用につ
いて説明する。今、切換弁26が切り換えられ、ポンプ24
から吐出された高圧の流体が高圧側の給排通路、例えば
給排通路31を通じてメインシリンダ11のロッド側室20に
供給され始めたとする。このとき、給排通路31を流れる
高圧流体の一部は第２分岐通路60を通じてサブシリンダ
37のヘッド側室49に流入し、サブシリンダ37のピストン
41を突出側ストロークエンドに向かって移動させる。こ
のとき、サブシリンダ37のロッド側室47から流出した流
体は同調シリンダ70のヘッド側室78に流入してピストン
74を突出側ストロークエンドに向かって移動させる。

【００２３】この結果、同調シリンダ70のロッド側室76
から流体が第１分岐通路59に押し出されるが、この流体
はチェック弁66を押し開きながら給排通路31に流出し、
該給排通路31内を流れる流体に合流する。なお、このと
き、流体の漏れ、リリーフ弁84のリリーフ動作等により
前記ヘッド側室78に流入する流体が不足していると、チ
ェック弁88が押し開かれて第２分岐通路60から第１分岐
通路59に流体が補給される。

【００２４】一方、前述のようにメインシリンダ11のロ
ッド側室20に高圧流体が供給され始めると、ピストン16
が引っ込み側ストロークエンドに向かって移動を開始
し、メインシリンダ11のヘッド側室21から低圧の戻り流
体が給排通路32に流出され始める。このとき、前記給排
通路32には第１分岐通路57が接続されているため、前記
戻り流体の一部は第１分岐通路57を流れて同調シリンダ
69のロッド側室75に流入し、該同調シリンダ69のピスト
ン73を引っ込み側ストロークエンドに向かって移動させ
る。これにより、ヘッド側室77内の流体が同調シリンダ
69から押し出されてサブシリンダ36のロッド側室46に流
入する。

【００２５】このようにサブシリンダ36のロッド側室46
に流体が流入すると、サブシリンダ36のピストン40は前
記メインシリンダ11のピストン16に同期して引っ込み側
ストロークエンドに向かって移動を開始し、ヘッド側室
48から流体を第２分岐通路58に押し出す。このようにし
て第２分岐通路58に押し出された流体は、給排通路32に
流出して前述の戻り流体と合流した後、切換弁26を通じ
てタンク25に排出される。

【００２６】ここで、前記サブシリンダ36に接続されて
いる第１分岐通路57には該サブシリンダ36のシリンダ室
38への流体給排量を制御する流量制御弁63が設けられて
いるため、この流量制御弁63の開度を調節してやれば、
メインシリンダ11のピストン16の移動速度に対するサブ
シリンダ36のピストン40の移動速度を容易に決定するこ
とができる。この実施形態においては、該流量制御弁63
の開度をデジタル制御手段により制御することで、メイ
ンシリンダ11のピストン16が引っ込み側ストロークエン
ドに到達したとき、サブシリンダ36のピストン40も引っ
込み側ストロークエンドに到達するよう制御している。
これにより、メインシリンダ11のピストン16の移動位置
とサブシリンダ36のピストン40の移動位置との対応関係
が明確となって制御が容易となる。

【００２７】そして、前記サブシリンダ36のピストン40
が引っ込み側ストロークエンドに到達したとき、係止片
51がマイクロスイッチ53に係合して該マイクロスイッチ
53をオンとする。これにより、マイクロスイッチ53はメ
インシリンダ11のピストン16が引っ込み側ストロークエ
ンドに到達したことを検出し、その旨を前記表示器に表
示するとともに、切換弁26に信号を出力して該切換弁26
を流れ位置から中立位置に切換え、メインシリンダ11の
作動を停止させる。

【００２８】ここで、メインシリンダ11のピストン16の
位置を間接的に検出するマイクロスイッチ53は、メイン
シリンダ11からの排出流体により遠隔操作されるサブシ
リンダ36によってオン、オフされるため、該マイクロス
イッチ53が故障して修理を行う場合にも、メインシリン
ダ11の近傍で作業を行う必要はなく（メインシリンダ11
が不測の事態によって作動すると、該メインシリンダ11
の近傍は極めて危険となる）、この結果、安全性が向上
する。しかも、前述のようにメインシリンダ11に直接接
続されているのは、通常のシリンダ装置と同様の一対の
給排通路31、32だけであるため、メインシリンダ11の周
囲の配管の配置が簡単となる。しかも、メインシリンダ
11に特別な遮断部材等は不要であるため、該メインシリ
ンダ11として汎用シリンダを使用することもできる。

【００２９】また、前述したように流量制御弁63とサブ
シリンダ36との間に同調シリンダ69を介装すれば、サブ
シリンダ36が前述のように小型であっても、同調シリン
ダ69のピストン73の移動を制御することで、該サブシリ
ンダ36のピストン40の移動を正確かつ容易に制御するこ
とができる。また、長時間運転を行うと、給排通路31、
32内の流体温度が変化（上昇）するが、このように温度
が変化した流体は同調シリンダ69で遮断され、サブシリ
ンダ36に流入することはないため、該サブシリンダ36が
温度変化の影響を受ける事態は抑制される。しかも、前
述のようにロッド側室75、76を流量制御弁63、64側の第
１分岐通路57、59に、ヘッド側室77、78をサブシリンダ
36、37側の第１分岐通路57、59にそれぞれ接続すれば、
逆にヘッド側室77を流量制御弁63側の第１分岐通路57
に、ロッド側室75をサブシリンダ36側の第１分岐通路57
に接続した場合に比較して、流量制御弁63による流量変
化に対する同調シリンダ69のピストン73の移動量変化を
大きくすることができ、これにより、サブシリンダ36の
ピストン40の移動を高精度で制御することができる。

【００３０】なお、サブシリンダ36のピストン40が引っ
込み側ストロークエンドに到達した後にも第１分岐通路
57を通じてサブシリンダ36に流体が供給されると、第１
分岐通路57内の圧力が上昇するが、このときにはリリー
フ弁83が開となり余分な流体が第２分岐通路58を通じて
給排通路32に戻される。

【００３１】次に、切換弁26が切り換えられてポンプ24
からの高圧流体が給排通路32に供給されるようになる
と、メインシリンダ11のピストン16は突出側ストローク
エンドに向かって移動し、一方、サブシリンダ36のピス
トン40は第２分岐通路58を通じて供給された流体により
突出側ストロークエンドに向かって移動する。このと
き、係止片51がマイクロスイッチ53から離隔するため、
該マイクロスイッチ53はオフとなり、また、サブシリン
ダ36のロッド側室46から押し出された流体により同調シ
リンダ69のピストン73は突出側ストロークエンドに向か
って移動する。

【００３２】一方、前記メインシリンダ11のピストン16
の移動によりロッド側室20から押し出された低圧の戻り
流体は給排通路31を通じてタンク25に排出されるが、こ
のとき、その一部が第１分岐通路59、同調シリンダ70を
通じてサブシリンダ37のロッド側室47に流入しピストン
41を引っ込み側ストロークエンドに向かって移動させ
る。このときのロッド側室47への流体の供給量は流量制
御弁64によって調節されており、これにより、メインシ
リンダ11のピストン16が突出側ストロークエンドに到達
したとき、サブシリンダ37のピストン41が引っ込み側ス
トロークエンドに到達し、係止片52によりマイクロスイ
ッチ54がオンとなる。なお、その他の作動は前述と同様
である。

【００３３】なお、メインシリンダ11におけるピストン
16のストロークはマイクロスイッチ53、54の設置位置を
変更することで、あるいは、流量制御弁63、64の開度を
変更することで調節することができる。

【００３４】図２はこの発明の第２実施形態を示す図で
ある。この実施形態においては、サブシリンダ36のシリ
ンダ室38への流体供給量を制御する流量制御弁95を、第
１、第２分岐通路57、58ではなく、第１分岐通路57の他
端と第２分岐通路58の他端との間の給排通路32に設けて
いる。このような位置に流量制御弁95を設けると、給排
通路32を流れる戻り流体のかなりの部分あるいは大部分
をサブシリンダ36に供給することができ、このようなこ
とからメインシリンダ11とサブシリンダ36との容量が近
似しているとき、例えば、溶湯の凝固直前に巣のでき易
い箇所を押し潰す小型のスクイーズシリンダがメインシ
リンダであるときに有効である。なお、他の構成、作用
は前記第１実施形態と同様である。

【００３５】なお、前述の第１実施形態においては第１
分岐通路57、59に流量制御弁63、64を設けたが、この発
明においては第２分岐通路に流量制御弁を設けるように
してもよい。この場合にも流量制御弁に並列にチェック
弁を接続するが、このチェック弁は給排通路からサブシ
リンダに向かう流体の流れのみを許容するものである。
また、前述の実施形態においては、流量制御弁63、64と
サブシリンダ36、37との間に同調シリンダ69、70を介装
したが、これら同調シリンダと第１分岐通路との接続を
逆に、即ち、同調シリンダのヘッド側室を流量制御弁側
の第１分岐通路に、ロッド側室をサブシリンダ側の第１
分岐通路に接続してもよく、あるいは、前記流量制御
弁、同調シリンダの代わりに分流弁を介装するようにし
てもよい。さらに、この発明においては、同調シリンダ
の代わりにアキュムレータを設けるようにしてもよい。
そして、このようにすれば、サブシリンダのピストンを
正確かつ高速で移動させることができる。

【００３６】また、前述の実施形態においては、サブシ
リンダ36、37によってメインシリンダ11のピストン16の
位置検出を行い、該メインシリンダ11のストローク調整
を行うようにしたが、この発明においては、サブシリン
ダによってメインシリンダとは別の作業、例えば型締め
された型同士を固定する固定ピンを移動させたり、ある
いは、全く別の作業、例えば送り作業をさせたりするよ
うにしてもよい。また、前述の実施例においてはマイク
ロスイッチ53、54を用いたが、この発明においては、近
接スイッチ等を用いてもよい。さらに、この発明におい
ては、サブシリンダ36、37のいずれかを省略し、サブシ
リンダを１つとしてもよい。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、メインシリンダの周囲における配管の配置を簡単に
することができるとともに、メインシリンダとして汎用
シリンダを使用することもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施形態を示す回路図である。

【図２】この発明の第２実施形態を示す部分回路図であ
る。

【符号の説明】

11…メインシリンダ 12…シリンダ室 16…ピストン 20、21…室 26…切換弁 31、32…給排通路 36…サブシリンダ 38…シリンダ室 40…ピストン 46、48…室 57…第１分岐通路 58…第２分岐通路 63…流量制御弁 69…同調シリンダ 81…接続通路 83…リリーフ弁 85…補給通路 87…チェック弁 95…流量制御弁

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−50304（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−312204（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−248005（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−37073（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−82403（ＪＰ，Ｕ) 英国特許出願公開1357956（ＧＢ，Ａ) 仏国特許出願公開2372115（ＦＲ，Ａ １) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F15B 11/22

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ピストンによって２つの室に仕切られたシ
   リンダ室を有するメインシリンダと、切換弁とメインシ
   リンダの２つの室とを接続し、これら２つの室に流体を
   給排する一対の給排通路と、ピストンによって２つの室
   に仕切られたシリンダ室を有するサブシリンダと、一端
   がサブシリンダの一方の室に、他端が一方の給排通路に
   接続された第１分岐通路と、一端がサブシリンダの他方
   の室に、他端が第１分岐通路より切換弁側の一方の給排
   通路に接続された第２分岐通路と、前記第１または第２
   分岐通路に設けられ、サブシリンダのシリンダ室への流
   体給排量を制御する流量制御弁とを備えたことを特徴と
   するシリンダ装置。
2. 【請求項２】前記流量制御弁が第１分岐通路に設けられ
   ているとき、該流量制御弁とサブシリンダとの間に、ロ
   ッド側室が流量制御弁側の第１分岐通路に、ヘッド側室
   がサブシリンダ側の第１分岐通路に接続されている同調
   シリンダを介装した請求項１記載のシリンダ装置。
3. 【請求項３】前記第１、第２分岐通路同士を接続する接
   続通路を設けるとともに、該接続通路の途中に、第１分
   岐通路内がリリーフ圧まで上昇したとき、第１分岐通路
   から第２分岐通路へ流体をリリーフさせるリリーフ弁を
   介装した請求項１記載のシリンダ装置。
4. 【請求項４】同調シリンダとサブシリンダとの間の第１
   分岐通路と第２分岐通路とを補給通路によって接続する
   とともに、該補給通路の途中に第２分岐通路から第１分
   岐通路への流体の流れのみを許容するチェック弁を介装
   した請求項２記載のシリンダ装置。
5. 【請求項５】前記流量制御弁が第１分岐通路に設けられ
   ているとき、該流量制御弁とサブシリンダとの間の第１
   分岐通路にアキュムレータを介装した請求項１記載のシ
   リンダ装置。
6. 【請求項６】ピストンによって２つの室に仕切られたシ
   リンダ室を有するメインシリンダと、切換弁とメインシ
   リンダの２つの室とを接続し、これら２つの室に流体を
   給排する一対の給排通路と、ピストンによって２つの室
   に仕切られたシリンダ室を有するサブシリンダと、一端
   がサブシリンダの一方の室に、他端が一方の給排通路に
   接続された第１分岐通路と、一端がサブシリンダの他方
   の室に、他端が第１分岐通路より切換弁側の一方の給排
   通路に接続された第２分岐通路と、前記第１分岐通路の
   他端と第２分岐通路の他端との間の一方の給排通路に設
   けられた流量制御弁とを備え、該流量制御弁の開度を調
   節することによりサブシリンダのシリンダ室への流体給
   排量を制御し、メインシリンダのピストンの移動速度に
   対するサブシリンダのピストンの移動速度を決定するよ
   うにしたことを特徴とするシリンダ装置。