JP3519568B2 - 半導体ペレットのアライメント方法とマウント方法 - Google Patents
半導体ペレットのアライメント方法とマウント方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置のアセ
ンブリ工程において半導体ペレットをペレットマウント
装置のステージ上でアライメント調整する方法、アライ
メント調整後のペレットをピックアップして半導体装置
の一部をなすペレットマウント部にマウントする方法に
関する。
ンブリ工程において半導体ペレットをペレットマウント
装置のステージ上でアライメント調整する方法、アライ
メント調整後のペレットをピックアップして半導体装置
の一部をなすペレットマウント部にマウントする方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置のアセンブリ工程に際して、
半導体ペレットをピックアップしてペレットマウント部
にマウントするための装置（例えばダイボンディング装
置）は、従来、次に述べるような機能を有する。
半導体ペレットをピックアップしてペレットマウント部
にマウントするための装置（例えばダイボンディング装
置）は、従来、次に述べるような機能を有する。
【０００３】（１）素子形成後の半導体ウェハをシート
に貼った状態で個々のペレットに分割し、シートを引き
伸ばした状態のウェハ（以下、ペレットアレイと記す。
図８中、８１参照）をペレットマウント装置のＸＹステ
ージ上に取り付ける。
に貼った状態で個々のペレットに分割し、シートを引き
伸ばした状態のウェハ（以下、ペレットアレイと記す。
図８中、８１参照）をペレットマウント装置のＸＹステ
ージ上に取り付ける。
【０００４】（２）この後、ペレットアレイのペレット
を照明光の下でテレビジョンカメラにより撮像して得ら
れたペレット画像信号を濃淡を表わすデジタル信号に変
換し、このデジタル信号によるペレット画像について認
識処理を行うことにより、各ペレット毎にＸＹ位置の検
出・ＸＹ位置の補正、良否マークの判別を自動的に行
う。この際、特許第１８５０８３０号の「パターン検出
装置」、特許第１９８７８１８号の「ダイボンダ等にお
けるペレット認識方法」に開示されているような技術を
採用することが可能である。
を照明光の下でテレビジョンカメラにより撮像して得ら
れたペレット画像信号を濃淡を表わすデジタル信号に変
換し、このデジタル信号によるペレット画像について認
識処理を行うことにより、各ペレット毎にＸＹ位置の検
出・ＸＹ位置の補正、良否マークの判別を自動的に行
う。この際、特許第１８５０８３０号の「パターン検出
装置」、特許第１９８７８１８号の「ダイボンダ等にお
けるペレット認識方法」に開示されているような技術を
採用することが可能である。
【０００５】（３）そして、良品のペレットに対して
は、上下駆動可能なダイボンディングヘッドの先端に取
り付けられたペレット吸着用コレットを降下させてペレ
ットを真空吸引により吸着（ピックアップ）し、図８中
に示すようにダイボンディング位置に搬送されてきたリ
ードフレーム８２の接着剤が塗布された状態のアイラン
ド部（ペレットマウント部）上にコレットを降下させて
ダイボンディングするこの際、ピックアップしたペレッ
ト８３をダイボンディング位置に正確な向きでマウント
するための準備として、常温環境下のゲージ機構部８４
で機械的にペレットの向き（回転角度）を調整した後に
例えばＨガス、Ｎガス雰囲気中のダイボンディング位置
に移動させている。
は、上下駆動可能なダイボンディングヘッドの先端に取
り付けられたペレット吸着用コレットを降下させてペレ
ットを真空吸引により吸着（ピックアップ）し、図８中
に示すようにダイボンディング位置に搬送されてきたリ
ードフレーム８２の接着剤が塗布された状態のアイラン
ド部（ペレットマウント部）上にコレットを降下させて
ダイボンディングするこの際、ピックアップしたペレッ
ト８３をダイボンディング位置に正確な向きでマウント
するための準備として、常温環境下のゲージ機構部８４
で機械的にペレットの向き（回転角度）を調整した後に
例えばＨガス、Ｎガス雰囲気中のダイボンディング位置
に移動させている。
【０００６】ところで、前記したペレットアレイ８１の
傾き角度や各ペレット８３の位置は曖昧であり、コレッ
トがペレット８３を的確にピックアップすることができ
ず、ダイボンディング不良が発生するおそれがあった。
傾き角度や各ペレット８３の位置は曖昧であり、コレッ
トがペレット８３を的確にピックアップすることができ
ず、ダイボンディング不良が発生するおそれがあった。
【０００７】特に、３ｍｍ□以上の大きいペレットが貼
られているシートの場合には、それを引き伸ばした状態
でＸＹステージ上に取り付けると、各ペレットの蛇行が
無視できなくなり、大きいペレットをテレビジョンカメ
ラにより撮像して得られたペレット画像信号は解像度が
低下し、認識されたペレット画像に基づいてペレットの
ＸＹ位置の補正精度が著しく劣化し、コレットによるペ
レットのピックアップの誤りが発生する。
られているシートの場合には、それを引き伸ばした状態
でＸＹステージ上に取り付けると、各ペレットの蛇行が
無視できなくなり、大きいペレットをテレビジョンカメ
ラにより撮像して得られたペレット画像信号は解像度が
低下し、認識されたペレット画像に基づいてペレットの
ＸＹ位置の補正精度が著しく劣化し、コレットによるペ
レットのピックアップの誤りが発生する。
【０００８】そこで、ペレットのピックアップ誤りの発
生を防止し、ペレットのピックアップ時の能率を向上さ
せ、ダイボンディング不良の発生を防止するために、ウ
ェハの傾きを一定状態に調整する必要がある。
生を防止し、ペレットのピックアップ時の能率を向上さ
せ、ダイボンディング不良の発生を防止するために、ウ
ェハの傾きを一定状態に調整する必要がある。
【０００９】しかし、従来は、前記したようにペレット
アレイをペレットマウント装置のＸＹステージ上に取り
付ける際に、オペレータの手作業によりウェハの傾きを
調整しているので、アライメント調整時間が長くなって
いる。
アレイをペレットマウント装置のＸＹステージ上に取り
付ける際に、オペレータの手作業によりウェハの傾きを
調整しているので、アライメント調整時間が長くなって
いる。
【００１０】一方、最近は、前記したようにペレットア
レイをオートシートチェンジャーを使用してＸＹステー
ジ上に自動的に取り付ける方式が採用されつつあり、こ
れに対応してオペレータの手作業によるウェハの傾きの
調整を自動化することが望まれている。
レイをオートシートチェンジャーを使用してＸＹステー
ジ上に自動的に取り付ける方式が採用されつつあり、こ
れに対応してオペレータの手作業によるウェハの傾きの
調整を自動化することが望まれている。
【００１１】また、従来は、ピックアップしたペレット
をダイボンディング位置に移動させる際にゲージ機構部
８４を経由させている。つまり、ピックアップ、ゲージ
ング、マウントの３段階の動作を伴う一連の処理に際し
て、ゲージ機構部８４を経由させるペレット移動および
ゲージ機構部８４によるペレット回転調整のための時間
を必要とするので、処理速度が必ずしも高速ではなく、
しかも、ゲージ機構部８４の構成が複雑であるので、ダ
イボンディング工程のコストアップをまねいていた。
をダイボンディング位置に移動させる際にゲージ機構部
８４を経由させている。つまり、ピックアップ、ゲージ
ング、マウントの３段階の動作を伴う一連の処理に際し
て、ゲージ機構部８４を経由させるペレット移動および
ゲージ機構部８４によるペレット回転調整のための時間
を必要とするので、処理速度が必ずしも高速ではなく、
しかも、ゲージ機構部８４の構成が複雑であるので、ダ
イボンディング工程のコストアップをまねいていた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
半導体ウェハのアライメント方法は、調整時間が長くな
るという問題があった。また、従来の半導体ペレットの
ダイボンディング方法は、処理速度が必ずしも高速では
なく、コストアップをまねくという問題があった。
半導体ウェハのアライメント方法は、調整時間が長くな
るという問題があった。また、従来の半導体ペレットの
ダイボンディング方法は、処理速度が必ずしも高速では
なく、コストアップをまねくという問題があった。
【００１３】本発明は上記の問題点を解決すべくなされ
たもので、ステージ上に取り付けられたシートに貼られ
ているウェハからペレットをピックアップする前に、自
動的に各ペレット毎に基準位置からのＸＹ位置ずれ量の
検出・傾き角度の算出を行い、自動的にペレットの傾き
（θ）の補正およびそれを見込んだＸＹ補正を行うこと
により、マウント前のペレットの位置決めを高い精度で
行い、大きいペレットでもコレットによる確実なピック
アップを可能とし、ピックアップしたペレットを直接に
ペレットマウント部にマウントすることを可能とし得る
半導体ペレットのアライメント方法を提供することを目
的とする。
たもので、ステージ上に取り付けられたシートに貼られ
ているウェハからペレットをピックアップする前に、自
動的に各ペレット毎に基準位置からのＸＹ位置ずれ量の
検出・傾き角度の算出を行い、自動的にペレットの傾き
（θ）の補正およびそれを見込んだＸＹ補正を行うこと
により、マウント前のペレットの位置決めを高い精度で
行い、大きいペレットでもコレットによる確実なピック
アップを可能とし、ピックアップしたペレットを直接に
ペレットマウント部にマウントすることを可能とし得る
半導体ペレットのアライメント方法を提供することを目
的とする。
【００１４】また、本発明は、ステージ上に取り付けら
れたシートに貼られているウェハからペレットをピック
アップしてマウントする際に、ピックアップ前に各ペレ
ット毎に基準位置からのＸＹ位置ずれ量の検出・傾き角
度を算出して自動的にペレットの傾き（θ）の補正およ
びそれを見込んだＸＹ補正を行うことにより、ピックア
ップしたペレットをゲージ機構部を経由することなくペ
レットマウント部に移動させることができ、ピックアッ
プ用コレットとして平コレット、角錐コレットのいずれ
も使用可能になり、ペレットマウントの能率の向上、ダ
イボンディング工程の精度の向上、生産工程の品質の向
上を図り得る半導体ペレットのマウント方法を提供する
ことを目的とする。
れたシートに貼られているウェハからペレットをピック
アップしてマウントする際に、ピックアップ前に各ペレ
ット毎に基準位置からのＸＹ位置ずれ量の検出・傾き角
度を算出して自動的にペレットの傾き（θ）の補正およ
びそれを見込んだＸＹ補正を行うことにより、ピックア
ップしたペレットをゲージ機構部を経由することなくペ
レットマウント部に移動させることができ、ピックアッ
プ用コレットとして平コレット、角錐コレットのいずれ
も使用可能になり、ペレットマウントの能率の向上、ダ
イボンディング工程の精度の向上、生産工程の品質の向
上を図り得る半導体ペレットのマウント方法を提供する
ことを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体ペレット
のアライメント方法は、水平（Ｘ）、垂直（Ｙ）、回転
（θ）方向にそれぞれ移動可能なステージ上に、半導体
素子形成後の１枚の半導体ウェハが個々のペレットに分
割されて二次元に配列されたペレット群が上面に貼られ
た状態のシートを取り付ける第１ステップと、前記ステ
ージ上の半導体ウェハのアライメント調整の対象である
特定のペレットを含む領域を撮影装置により撮影して得
たアナログ画像信号を濃淡を表わすデジタル画像信号に
変換し、前記特定のペレットに対応するペレット画像を
認識処理して画像メモリに格納する第２ステップと、前
記第２ステップにより得られた前記特定のペレットに対
応するペレット画像の二点の座標を検出して前記ステー
ジ上の基準位置からの前記特定のペレットのＸＹ位置ず
れ量の検出・傾き角度を自動的に算出し、前記特定のペ
レットの傾き角度を補正するように前記ステージを回転
させた場合の前記特定のペレットのＸＹ位置ずれを算出
し、算出結果に基づいて前記ステージを駆動して前記特
定のペレットのＸＹ位置・傾きを補正するアライメント
調整を自動的に行う第３のステップとを具備することを
特徴とする。
のアライメント方法は、水平（Ｘ）、垂直（Ｙ）、回転
（θ）方向にそれぞれ移動可能なステージ上に、半導体
素子形成後の１枚の半導体ウェハが個々のペレットに分
割されて二次元に配列されたペレット群が上面に貼られ
た状態のシートを取り付ける第１ステップと、前記ステ
ージ上の半導体ウェハのアライメント調整の対象である
特定のペレットを含む領域を撮影装置により撮影して得
たアナログ画像信号を濃淡を表わすデジタル画像信号に
変換し、前記特定のペレットに対応するペレット画像を
認識処理して画像メモリに格納する第２ステップと、前
記第２ステップにより得られた前記特定のペレットに対
応するペレット画像の二点の座標を検出して前記ステー
ジ上の基準位置からの前記特定のペレットのＸＹ位置ず
れ量の検出・傾き角度を自動的に算出し、前記特定のペ
レットの傾き角度を補正するように前記ステージを回転
させた場合の前記特定のペレットのＸＹ位置ずれを算出
し、算出結果に基づいて前記ステージを駆動して前記特
定のペレットのＸＹ位置・傾きを補正するアライメント
調整を自動的に行う第３のステップとを具備することを
特徴とする。
【００１６】また、本発明の半導体ペレットのマウント
方法は、本発明の半導体ペレットのアライメント方法に
おける前記第１〜第３のステップと、前記第３ステップ
による前記特定ペレットのアライメント調整終了毎に前
記特定ペレットの外面の良否マークを自動的に判定し、
良品のペレットであればピックアップする第４のステッ
プと、前記第４ステップによりピックアップした良品の
ペレットを半導体装置の一部をなすペレットマウント部
にマウントする第５のステップとを具備し、前記第３〜
第５ステップを前記半導体ウェハの各ペレットに対して
順次進めることを特徴とする。
方法は、本発明の半導体ペレットのアライメント方法に
おける前記第１〜第３のステップと、前記第３ステップ
による前記特定ペレットのアライメント調整終了毎に前
記特定ペレットの外面の良否マークを自動的に判定し、
良品のペレットであればピックアップする第４のステッ
プと、前記第４ステップによりピックアップした良品の
ペレットを半導体装置の一部をなすペレットマウント部
にマウントする第５のステップとを具備し、前記第３〜
第５ステップを前記半導体ウェハの各ペレットに対して
順次進めることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は、半導体装置のアセ
ンブリ工程に際して使用されるペレットマウント装置の
一例を概略的に示す斜視図である。
施の形態を詳細に説明する。図１は、半導体装置のアセ
ンブリ工程に際して使用されるペレットマウント装置の
一例を概略的に示す斜視図である。
【００１８】このペレットマウント装置において、１０
は半導体素子形成後の１枚の半導体ウェハが個々のペレ
ットに分割されることにより二次元に配列されたペレッ
ト群がシート上面に貼られた状態のペレットアレイであ
る。この場合、半導体ウェハがシート上面に貼られた状
態で個々のペレットに分割されている。
は半導体素子形成後の１枚の半導体ウェハが個々のペレ
ットに分割されることにより二次元に配列されたペレッ
ト群がシート上面に貼られた状態のペレットアレイであ
る。この場合、半導体ウェハがシート上面に貼られた状
態で個々のペレットに分割されている。
【００１９】１１は水平面内のＸ、Ｙ、θ方向にそれぞ
れ移動可能なステージであり、その上面に、前記ペレッ
トアレイのシートが引き伸ばされた状態で取り付けられ
る。具体例としては、ＸＹ方向に移動可能なＸＹステー
ジ上でθ方向に回転可能なθステージが配設され、この
θステージの上面に前記シートが取り付けられる。
れ移動可能なステージであり、その上面に、前記ペレッ
トアレイのシートが引き伸ばされた状態で取り付けられ
る。具体例としては、ＸＹ方向に移動可能なＸＹステー
ジ上でθ方向に回転可能なθステージが配設され、この
θステージの上面に前記シートが取り付けられる。
【００２０】１２は前記ステージ１１をＸ方向に駆動す
るためのパルスモータ、１３は前記ステージ１１をＹ方
向に駆動するためのパルスモータ、１４は前記ステージ
１１をθ方向に駆動するためのパルスモータ、１５は上
記各パルスモータを駆動するためのモータ駆動回路であ
る。
るためのパルスモータ、１３は前記ステージ１１をＹ方
向に駆動するためのパルスモータ、１４は前記ステージ
１１をθ方向に駆動するためのパルスモータ、１５は上
記各パルスモータを駆動するためのモータ駆動回路であ
る。
【００２１】１６は前記ペレットアレイ１０の中心部上
方に設置され、ウェハの複数のペレットとその周辺部を
撮像するための撮像装置（例えば撮像素子として電荷結
合素子ＣＣＤを用いた工業用テレビジョンカメラ）であ
り、通常は前記ペレットアレイ１０を光源により照明し
た状態で撮像する。１７は前記ＣＣＤカメラ１６を制御
するためのカメラ制御装置である。
方に設置され、ウェハの複数のペレットとその周辺部を
撮像するための撮像装置（例えば撮像素子として電荷結
合素子ＣＣＤを用いた工業用テレビジョンカメラ）であ
り、通常は前記ペレットアレイ１０を光源により照明し
た状態で撮像する。１７は前記ＣＣＤカメラ１６を制御
するためのカメラ制御装置である。
【００２２】１８は前記ＣＣＤカメラ１６により撮像し
て得られた画像のアナログ画像信号をデジタル信号に変
換するＡ／Ｄ変換器、１９は前記Ａ／Ｄ変換器１８の出
力信号を画像メモリに記憶し、この記憶データに対して
ペレット認識処理を行うための画像処理装置（ペレット
認識処理装置）である。２０は上記ペレット認識処理装
置から供給される画像をモニタするための画像モニター
装置である。
て得られた画像のアナログ画像信号をデジタル信号に変
換するＡ／Ｄ変換器、１９は前記Ａ／Ｄ変換器１８の出
力信号を画像メモリに記憶し、この記憶データに対して
ペレット認識処理を行うための画像処理装置（ペレット
認識処理装置）である。２０は上記ペレット認識処理装
置から供給される画像をモニタするための画像モニター
装置である。
【００２３】２１は前記ステージ１１上のペレットアレ
イ１０のアライメントが行われた後に、良品のペレット
群を所定の順序でピックアップしてリードフレーム上な
どにマウントするためのペレットピックアップ装置であ
る。２２は前記画像処理装置１９の動作タイミングおよ
びペレットピックアップ装置２１によるピックアップ動
作やダイボンディング動作を制御するためのダイボンデ
ィング制御装置である。
イ１０のアライメントが行われた後に、良品のペレット
群を所定の順序でピックアップしてリードフレーム上な
どにマウントするためのペレットピックアップ装置であ
る。２２は前記画像処理装置１９の動作タイミングおよ
びペレットピックアップ装置２１によるピックアップ動
作やダイボンディング動作を制御するためのダイボンデ
ィング制御装置である。
【００２４】前記ペレット認識処理装置１９は、コンピ
ュータシステムを含み、以下に述べるような手段を有す
る。 （１）前記ステージ１１上の基準位置を表わすレティク
ル画像を表示するためのデジタル画像信号を画像メモリ
（図示せず）に予め記憶させておく手段。
ュータシステムを含み、以下に述べるような手段を有す
る。 （１）前記ステージ１１上の基準位置を表わすレティク
ル画像を表示するためのデジタル画像信号を画像メモリ
（図示せず）に予め記憶させておく手段。
【００２５】（２）ペレットアレイ１０をＣＣＤカメラ
１６により撮像して得られたアナログ画像信号を濃淡を
表わすデジタル信号に変換したペレット画像を前記画像
メモリに記憶させる手段。
１６により撮像して得られたアナログ画像信号を濃淡を
表わすデジタル信号に変換したペレット画像を前記画像
メモリに記憶させる手段。
【００２６】（３）画像メモリに記憶された基準画像お
よびペレット画像をモニタ画面に表示させる手段。 （４）アライメント調整の対象である特定のペレットに
対応するペレット画像のデジタル画像信号を基準画像の
デジタル画像信号を基準としてデータ処理し、特定のペ
レットのＸＹ位置の検出、傾き角度の算出を行い、その
結果に基づいて前記モータ駆動回路１４を制御してステ
ージ１１を水平面内で所定の位置に制御する手段。
よびペレット画像をモニタ画面に表示させる手段。 （４）アライメント調整の対象である特定のペレットに
対応するペレット画像のデジタル画像信号を基準画像の
デジタル画像信号を基準としてデータ処理し、特定のペ
レットのＸＹ位置の検出、傾き角度の算出を行い、その
結果に基づいて前記モータ駆動回路１４を制御してステ
ージ１１を水平面内で所定の位置に制御する手段。
【００２７】図２は、図１の装置を使用した本発明の半
導体ペレットのアライメント方法およびマウント方法
（例えばダイボンディング方法）の一例における処理の
流れを示すフローチャートである。
導体ペレットのアライメント方法およびマウント方法
（例えばダイボンディング方法）の一例における処理の
流れを示すフローチャートである。
【００２８】図３乃至図６は、図２中の第２ステップに
おけるペレット認識処理の各段階におけるモニタ画面上
の表示画像あるいは処理内容を説明するために示す図で
ある。即ち、本発明の半導体ペレットのアライメント方
法は、（１）Ｘ、Ｙ、θ方向にそれぞれ移動可能なステ
ージ上に、半導体素子形成後の１枚の半導体ウェハが個
々のペレットに分割されることにより二次元に配列され
たペレット群が上面に貼られた状態のシートを引き伸ば
した状態のペレットアレイを取り付ける第１ステップ
と、（２）上記ステージ上の半導体ウェハのアライメン
ト調整の対象である特定のペレットを含む領域をテレビ
ジョンカメラにより撮影して得たアナログ画像信号を濃
淡を表わすデジタル画像信号に変換し、前記特定のペレ
ットに対応するペレット画像を認識処理して画像メモリ
に格納する第２ステップと、（３）前記第２ステップに
より得られた前記特定のペレットに対応するペレット画
像の二点（例えば一対の対角部の二点）の座標位置を検
出して前記ステージの基準位置からの特定のペレットの
ＸＹ位置ずれ量の検出・傾き角度を自動的に算出し、前
記特定のペレットの傾き角度を補正するように前記ステ
ージを回転させた場合の前記特定のペレットのＸＹ位置
ずれを算出し、算出結果に基づいて前記ステージを駆動
して前記特定のペレットのＸＹ位置・傾きを補正するア
ライメント調整を自動的に行う第３のステップとを具備
することを特徴とする。
おけるペレット認識処理の各段階におけるモニタ画面上
の表示画像あるいは処理内容を説明するために示す図で
ある。即ち、本発明の半導体ペレットのアライメント方
法は、（１）Ｘ、Ｙ、θ方向にそれぞれ移動可能なステ
ージ上に、半導体素子形成後の１枚の半導体ウェハが個
々のペレットに分割されることにより二次元に配列され
たペレット群が上面に貼られた状態のシートを引き伸ば
した状態のペレットアレイを取り付ける第１ステップ
と、（２）上記ステージ上の半導体ウェハのアライメン
ト調整の対象である特定のペレットを含む領域をテレビ
ジョンカメラにより撮影して得たアナログ画像信号を濃
淡を表わすデジタル画像信号に変換し、前記特定のペレ
ットに対応するペレット画像を認識処理して画像メモリ
に格納する第２ステップと、（３）前記第２ステップに
より得られた前記特定のペレットに対応するペレット画
像の二点（例えば一対の対角部の二点）の座標位置を検
出して前記ステージの基準位置からの特定のペレットの
ＸＹ位置ずれ量の検出・傾き角度を自動的に算出し、前
記特定のペレットの傾き角度を補正するように前記ステ
ージを回転させた場合の前記特定のペレットのＸＹ位置
ずれを算出し、算出結果に基づいて前記ステージを駆動
して前記特定のペレットのＸＹ位置・傾きを補正するア
ライメント調整を自動的に行う第３のステップとを具備
することを特徴とする。
【００２９】また、本発明の半導体ペレットのマウント
方法は、前記半導体ペレットのアライメント方法におけ
る前記（１）〜（３）のような第１〜第３のステップ
と、（４）前記第３ステップによる前記特定ペレットの
アライメント調整終了毎に前記特定ペレットの外面の良
否マークを自動的に判定し、良品のペレットであればピ
ックアップする第４のステップと、（５）前記第４ステ
ップによりピックアップした良品のペレットを半導体装
置の一部をなすペレットマウント部にマウントする第５
のステップとを具備し、前記第３〜第５ステップを前記
半導体ウェハの各ペレットに対して順次進めることを特
徴とする。
方法は、前記半導体ペレットのアライメント方法におけ
る前記（１）〜（３）のような第１〜第３のステップ
と、（４）前記第３ステップによる前記特定ペレットの
アライメント調整終了毎に前記特定ペレットの外面の良
否マークを自動的に判定し、良品のペレットであればピ
ックアップする第４のステップと、（５）前記第４ステ
ップによりピックアップした良品のペレットを半導体装
置の一部をなすペレットマウント部にマウントする第５
のステップとを具備し、前記第３〜第５ステップを前記
半導体ウェハの各ペレットに対して順次進めることを特
徴とする。
【００３０】前記アライメント方法において、第２のス
テップにおいては、複数のペレットを含む領域（例えば
図３に示すように９個のペレットを含む領域）を撮影
し、複数のペレットに対応する複数のペレット画像を認
識処理して画像メモリに格納し、第３ステップにおいて
は、前記第２ステップにより格納された複数のペレット
画像に対して順にアライメント調整を行うようにすれ
ば、１個のペレットを撮影する毎にペレット画像を認識
処理して格納する場合に比べて効率的である。
テップにおいては、複数のペレットを含む領域（例えば
図３に示すように９個のペレットを含む領域）を撮影
し、複数のペレットに対応する複数のペレット画像を認
識処理して画像メモリに格納し、第３ステップにおいて
は、前記第２ステップにより格納された複数のペレット
画像に対して順にアライメント調整を行うようにすれ
ば、１個のペレットを撮影する毎にペレット画像を認識
処理して格納する場合に比べて効率的である。
【００３１】なお、上記ペレット画像の認識処理用の基
準画像として、例えば図４に示すように４個の位置検出
用レティクル４１〜４４を使用する。この場合、第１の
位置検出用レティクル４１は、ペレット画像を囲む大き
さを有する四角形であり、ペレット画像の粗っぽい位置
を検出するためのものである。
準画像として、例えば図４に示すように４個の位置検出
用レティクル４１〜４４を使用する。この場合、第１の
位置検出用レティクル４１は、ペレット画像を囲む大き
さを有する四角形であり、ペレット画像の粗っぽい位置
を検出するためのものである。
【００３２】第２の位置検出用レティクル４２および第
３の位置検出用レティクル４３は、それぞれ対応してペ
レット画像の二点（例えば一対の対角部の各角部）を囲
む大きさを有する四角形であり、ペレット画像のＸＹ位
置・傾きを精密に検出するためのものである。
３の位置検出用レティクル４３は、それぞれ対応してペ
レット画像の二点（例えば一対の対角部の各角部）を囲
む大きさを有する四角形であり、ペレット画像のＸＹ位
置・傾きを精密に検出するためのものである。
【００３３】第４の位置検出用レティクル４４は、ペレ
ット画像の中央部を囲む大きさを有する四角形であり、
ペレット外面中央部に付与されている良否マーク（通常
は不良の場合を表わす不良マーク）を検出するためのも
のである。
ット画像の中央部を囲む大きさを有する四角形であり、
ペレット外面中央部に付与されている良否マーク（通常
は不良の場合を表わす不良マーク）を検出するためのも
のである。
【００３４】前記ペレット画像を認識処理する際には、
例えば前記特許第１８５０８３０号の「パターン検出装
置」に開示されているように、入力データと予め用意さ
れた基準データとの相関係数を計算し、この計算出力か
ら基準データと最もパターンが一致する入力データを判
定する。即ち、濃淡を有する二次元のパターン入力デー
タの一部分を切り出し、この切り出された部分データと
予め用意されて格納されている部分基準データとから相
関係数を計算し、この計算結果から前記部分基準データ
と最もパターンが一致する入力データを判定することを
特徴とする。
例えば前記特許第１８５０８３０号の「パターン検出装
置」に開示されているように、入力データと予め用意さ
れた基準データとの相関係数を計算し、この計算出力か
ら基準データと最もパターンが一致する入力データを判
定する。即ち、濃淡を有する二次元のパターン入力デー
タの一部分を切り出し、この切り出された部分データと
予め用意されて格納されている部分基準データとから相
関係数を計算し、この計算結果から前記部分基準データ
と最もパターンが一致する入力データを判定することを
特徴とする。
【００３５】この場合、入力データの平均値を求めて入
力データを縮小し、この縮小されたデータの一部分を切
出し、この切出された縮小部分データと予め用意されて
格納されている縮小基準データとの相関係数を計算し、
この計算結果に応じて前記縮小されたデータの切出し位
置を制御するようにしてもよい。
力データを縮小し、この縮小されたデータの一部分を切
出し、この切出された縮小部分データと予め用意されて
格納されている縮小基準データとの相関係数を計算し、
この計算結果に応じて前記縮小されたデータの切出し位
置を制御するようにしてもよい。
【００３６】次に、図１乃至図７を参照しながら、半導
体ペレットのアライメント方法およびピックアップ・ダ
イボンディング方法の一例について概要を説明する。ス
テップＳ１では、ペレットアレイ１０のシートを引き伸
ばした状態で半導体ペレットマウント装置のＸＹθステ
ージ１１上に取り付ける。この場合、各ペレットはＸ方
向およびＹ方向へ曖昧な状態で配列されている。
体ペレットのアライメント方法およびピックアップ・ダ
イボンディング方法の一例について概要を説明する。ス
テップＳ１では、ペレットアレイ１０のシートを引き伸
ばした状態で半導体ペレットマウント装置のＸＹθステ
ージ１１上に取り付ける。この場合、各ペレットはＸ方
向およびＹ方向へ曖昧な状態で配列されている。
【００３７】ステップＳ２では、ＸＹθステージ１０上
の複数のペレットを斜光照明の下でＣＣＤカメラ１６に
より撮像して得られた画像のアナログ信号を濃淡を表わ
すデジタル信号に変換し、このデジタル信号からなるペ
レット画像を認識処理して画像メモリに格納する。
の複数のペレットを斜光照明の下でＣＣＤカメラ１６に
より撮像して得られた画像のアナログ信号を濃淡を表わ
すデジタル信号に変換し、このデジタル信号からなるペ
レット画像を認識処理して画像メモリに格納する。
【００３８】ステップＳ３では、前記画像メモリに予め
格納されたＸＹθステージ１０上の基準位置を表わす基
準画像およびペレット画像をモニタ画面に表示させ、図
４に示すように、４つの位置検出用レティクル４１〜４
４を用いてペレット画像の位置を算出し、算出結果に基
づいて前記ステージ１１を駆動して特定のペレットのＸ
Ｙ位置を補正する。
格納されたＸＹθステージ１０上の基準位置を表わす基
準画像およびペレット画像をモニタ画面に表示させ、図
４に示すように、４つの位置検出用レティクル４１〜４
４を用いてペレット画像の位置を算出し、算出結果に基
づいて前記ステージ１１を駆動して特定のペレットのＸ
Ｙ位置を補正する。
【００３９】この際、まず、ペレット画像の中心と第１
の位置検出用レティクル４１の中心とが一致するように
レティクル４１の位置（ＸＹθステージ１０上の基準位
置）を粗調整し、特定ペレットの基準位置からの大まか
なＸＹ位置ずれ量を検出する。この場合、前記特許第１
９８７８１８号の「ダイボンダ等におけるペレット認識
方法」に開示されているような方法を用い、次式のよう
に正規化相関を計算する。
の位置検出用レティクル４１の中心とが一致するように
レティクル４１の位置（ＸＹθステージ１０上の基準位
置）を粗調整し、特定ペレットの基準位置からの大まか
なＸＹ位置ずれ量を検出する。この場合、前記特許第１
９８７８１８号の「ダイボンダ等におけるペレット認識
方法」に開示されているような方法を用い、次式のよう
に正規化相関を計算する。
【００４０】
ΦRP＝｛１／ｍｎδR δP ｝ΣΣ｛Ｒ(i,j) −Ｒ´｝｛Ｐ(i,j) −Ｐ´｝
…（１）
ここで、Ｒ(i,j) はレティクルの座標位置、Ｐ(i,j) は
ペレット画像の座標位置、δR はＲ(i,j) の標準偏差、
δp はＰ(i,j) の標準偏差、Ｒ´はＲ(i,j) の平均値、
Ｐ´はＰ(i,j) の平均値である。
ペレット画像の座標位置、δR はＲ(i,j) の標準偏差、
δp はＰ(i,j) の標準偏差、Ｒ´はＲ(i,j) の平均値、
Ｐ´はＰ(i,j) の平均値である。
【００４１】そして、前記ＸＹ位置ずれ量を検出した結
果、基準位置からのずれが許容値以上であれば前記ステ
ージ１１を駆動して特定のペレットのＸＹ位置を粗調整
する。
果、基準位置からのずれが許容値以上であれば前記ステ
ージ１１を駆動して特定のペレットのＸＹ位置を粗調整
する。
【００４２】次に、第２の位置検出用レティクル４２お
よび第３の位置検出用レティクル４３を用いて、ペレッ
ト画像のＸＹ位置・傾きを検出し、基準位置からのずれ
が許容値未満であればアライメント調整を終了したもの
として次のステップＳ４に移るが、基準位置からのずれ
が許容値以上であればペレット画像のＸＹ位置・傾きを
補正する。そして、再びＸＹ位置・傾きを検出し、基準
位置からのずれが許容値未満であればアライメント調整
を終了し、基準位置からのずれが許容値以上であれば再
びペレット画像のＸＹ位置・傾きを補正する処理を繰り
返し、アライメント調整終了後に次のステップＳ４に移
る。
よび第３の位置検出用レティクル４３を用いて、ペレッ
ト画像のＸＹ位置・傾きを検出し、基準位置からのずれ
が許容値未満であればアライメント調整を終了したもの
として次のステップＳ４に移るが、基準位置からのずれ
が許容値以上であればペレット画像のＸＹ位置・傾きを
補正する。そして、再びＸＹ位置・傾きを検出し、基準
位置からのずれが許容値未満であればアライメント調整
を終了し、基準位置からのずれが許容値以上であれば再
びペレット画像のＸＹ位置・傾きを補正する処理を繰り
返し、アライメント調整終了後に次のステップＳ４に移
る。
【００４３】ステップＳ４では、前記ステップＳ３によ
る前記特定ペレットのアライメント調整終了毎に、前記
第４の位置検出用レティクル４４を用いて特定ペレット
の外面の良否マークを自動的に判定する。この場合、次
式に示すように正規化差分を計算し、不良マークの有無
を判定し、良品のペレットであればピックアップする。
る前記特定ペレットのアライメント調整終了毎に、前記
第４の位置検出用レティクル４４を用いて特定ペレット
の外面の良否マークを自動的に判定する。この場合、次
式に示すように正規化差分を計算し、不良マークの有無
を判定し、良品のペレットであればピックアップする。
【００４４】
Ｅ＝Ｐ”−Ｒ” …（２）
Ｐ”＝（Ｐ−Ｐ´）／δP
Ｒ”＝（Ｒ−Ｒ´）／δＰ
ステップＳ５では、前記ステップＳ４によりピックアッ
プした良品のペレットを半導体装置の一部をなすペレッ
トマウント部にマウントする。
プした良品のペレットを半導体装置の一部をなすペレッ
トマウント部にマウントする。
【００４５】そして、前記ステップＳ３〜Ｓ５を前記ペ
レットアレイの各ペレットに対して順次進める。この
際、例えば前記特許第１９８７８１８号の「ダイボンダ
等におけるペレット認識方法」に開示されているような
優先順位テーブルを参照して、ペレット配列方向の例え
ばＸ方向へ１ペレットピッチ分（予め記憶させておく）
だけ移動させるように制御し、１ペレットピッチ分だけ
移動後の位置で前記ステップＳ３に戻る。
レットアレイの各ペレットに対して順次進める。この
際、例えば前記特許第１９８７８１８号の「ダイボンダ
等におけるペレット認識方法」に開示されているような
優先順位テーブルを参照して、ペレット配列方向の例え
ばＸ方向へ１ペレットピッチ分（予め記憶させておく）
だけ移動させるように制御し、１ペレットピッチ分だけ
移動後の位置で前記ステップＳ３に戻る。
【００４６】次に、前記ステップＳ２において第２の位
置検出用レティクル４２および第３の位置検出用レティ
クル４３を用いてペレット画像のＸＹ位置・傾きを検出
する処理について、図５および図６を参照しながら詳細
に説明する。
置検出用レティクル４２および第３の位置検出用レティ
クル４３を用いてペレット画像のＸＹ位置・傾きを検出
する処理について、図５および図６を参照しながら詳細
に説明する。
【００４７】図５に示すように、モニタ画面上における
レティクルの一対の対角部のうちで第１の角部Ｐ１の座
標位置を（ｘ１，ｙ２）、第２の角部Ｐ２の座標位置を
（ｘ２，ｙ２）で表わし、ペレット画像の一対の対角部
のうちで第１の角部Ｐ１´の座標位置を（ｘ１´，ｙ１
´）、第２の角部Ｐ２´の座標位置を（ｘ２´，ｙ２
´）で表わすと、ペレット画像の２点Ｐ１´、Ｐ２´の
位置ずれ量（Ｘ位置の補正量ΔＸ、Ｙ位置の補正量Δ
Ｙ）は、 ΔＸ＝（Δｘ１＋Δｘ２）／２ …（３） ここで、Δｘ１＝ｘ１´−ｘ１ Δｘ２＝ｘ２´−ｘ２ ΔＹ＝（Δｙ１＋Δｙ２）／２ …（４） ここで、Δｙ１＝ｙ１´−ｙ１ Δｙ２＝ｙ２´−ｙ２ である。
レティクルの一対の対角部のうちで第１の角部Ｐ１の座
標位置を（ｘ１，ｙ２）、第２の角部Ｐ２の座標位置を
（ｘ２，ｙ２）で表わし、ペレット画像の一対の対角部
のうちで第１の角部Ｐ１´の座標位置を（ｘ１´，ｙ１
´）、第２の角部Ｐ２´の座標位置を（ｘ２´，ｙ２
´）で表わすと、ペレット画像の２点Ｐ１´、Ｐ２´の
位置ずれ量（Ｘ位置の補正量ΔＸ、Ｙ位置の補正量Δ
Ｙ）は、 ΔＸ＝（Δｘ１＋Δｘ２）／２ …（３） ここで、Δｘ１＝ｘ１´−ｘ１ Δｘ２＝ｘ２´−ｘ２ ΔＹ＝（Δｙ１＋Δｙ２）／２ …（４） ここで、Δｙ１＝ｙ１´−ｙ１ Δｙ２＝ｙ２´−ｙ２ である。
【００４８】レティクルのＸ方向の距離をＡ、Ｙ方向の
距離をＢで表わすと、レティクルの２点Ｐ１、Ｐ２間の
距離は（Ａ２ ＋Ｂ2 ）0.5である。
距離をＢで表わすと、レティクルの２点Ｐ１、Ｐ２間の
距離は（Ａ２ ＋Ｂ2 ）0.5である。
【００４９】ここで、α＝ｘ２´−ｘ１´、β＝ｙ２´
−ｙ１´とし、前記ＸＹ位置ずれ量の検出結果に基づい
て特定のペレットの傾き角度をθで表わすと、 θ＝ｔａｎ-1｛（α2 ＋β2 ）0.5 ／レティクルの距離｝ …（５） であり、その符号はβと同じである。
−ｙ１´とし、前記ＸＹ位置ずれ量の検出結果に基づい
て特定のペレットの傾き角度をθで表わすと、 θ＝ｔａｎ-1｛（α2 ＋β2 ）0.5 ／レティクルの距離｝ …（５） であり、その符号はβと同じである。
【００５０】また、
ｃｏｓθ
＝［Ａ（Ａ＋Δｘ１−Δｘ２）＋Ｂ（Ｂ＋Δｙ１−Δｙ２）］／（Ａ2 ＋Ｂ2 ）
…（６）
ｓｉｎθ
＝［Ａ（Ｂ＋Δｙ２−Δｙ１）−Ｂ（Ａ＋Δｘ２−Δｘ１）］／（Ａ2 ＋Ｂ2 ）
…（７）
に基づいてθを算出することができる。
【００５１】なお、図６に示すように、モニタ画面上に
おけるレティクルの一対の対角部のうちで第１の角部Ｒ
１の座標位置を（ｘr1，ｙr1）、第２の角部Ｒ２の座標
位置を（ｘr2，ｙr2）で表わし、ペレット画像の一対の
対角部のうちで第１の角部Ｄ１の座標位置を（ｘd1，ｙ
d1）、第２の角部Ｄ２の座標位置を（ｘd2，ｙd2）、レ
ティクルのＸ方向の距離をｘｒ、Ｙ方向の距離をｙｒ、
ペレット画像のＸ方向の距離をｘｄ、Ｙ方向の距離をｙ
ｄで表わすと、 ｘｒ＝ｘr2−ｘr1 ｙｒ＝ｙr2−ｙr1 ｘｄ＝ｘd2−ｘd1 ｙｄ＝ｙd2−ｙd1 である。ペレット画像の傾き角度をθで表わすと、 ｃｏｓθ＝（ｘｒ・ｘｄ＋ｙｒ・ｙｄ）／（ｘｒ2 ＋ｙｒ2 ） …（８） ｓｉｎθ＝（ｘｒ・ｙｄ−ｙｒ・ｘｄ）／（ｘｒ2 ＋ｙｒ2 ） …（９） である。
おけるレティクルの一対の対角部のうちで第１の角部Ｒ
１の座標位置を（ｘr1，ｙr1）、第２の角部Ｒ２の座標
位置を（ｘr2，ｙr2）で表わし、ペレット画像の一対の
対角部のうちで第１の角部Ｄ１の座標位置を（ｘd1，ｙ
d1）、第２の角部Ｄ２の座標位置を（ｘd2，ｙd2）、レ
ティクルのＸ方向の距離をｘｒ、Ｙ方向の距離をｙｒ、
ペレット画像のＸ方向の距離をｘｄ、Ｙ方向の距離をｙ
ｄで表わすと、 ｘｒ＝ｘr2−ｘr1 ｙｒ＝ｙr2−ｙr1 ｘｄ＝ｘd2−ｘd1 ｙｄ＝ｙd2−ｙd1 である。ペレット画像の傾き角度をθで表わすと、 ｃｏｓθ＝（ｘｒ・ｘｄ＋ｙｒ・ｙｄ）／（ｘｒ2 ＋ｙｒ2 ） …（８） ｓｉｎθ＝（ｘｒ・ｙｄ−ｙｒ・ｘｄ）／（ｘｒ2 ＋ｙｒ2 ） …（９） である。
【００５２】ところで、図７に示すように、ペレットを
ステージの回転中心位置を中心にして角度θだけ回転補
正した場合、中心点を基準とするＰ点の回転補正前の座
標を（Ｘ，Ｙ）、回転補正後（移動後）の新しい座標を
（Ｘ´，Ｙ´）で表わすと、
ステージの回転中心位置を中心にして角度θだけ回転補
正した場合、中心点を基準とするＰ点の回転補正前の座
標を（Ｘ，Ｙ）、回転補正後（移動後）の新しい座標を
（Ｘ´，Ｙ´）で表わすと、
【００５３】
【数２】
【００５４】の関係式が成り立つ。そこで、前記特定の
ペレットの傾き角度θを補正するように前記ステージ
（およびシート）を回転させた場合のＸＹ位置ずれ量を
見込んで前記Ｘ、Ｙ位置の補正量ΔＸ、ΔＹを（Ｘ−Ｘ
´）、（Ｙ−Ｙ´）のように修正する。
ペレットの傾き角度θを補正するように前記ステージ
（およびシート）を回転させた場合のＸＹ位置ずれ量を
見込んで前記Ｘ、Ｙ位置の補正量ΔＸ、ΔＹを（Ｘ−Ｘ
´）、（Ｙ−Ｙ´）のように修正する。
【００５５】上記したように修正されたＸＹ位置ずれ量
（Ｘ−Ｘ´）、（Ｙ−Ｙ´）に基づいて前記ステージ１
１を駆動することにより特定のペレットのＸＹθ補正を
一挙に行う。
（Ｘ−Ｘ´）、（Ｙ−Ｙ´）に基づいて前記ステージ１
１を駆動することにより特定のペレットのＸＹθ補正を
一挙に行う。
【００５６】上述したようなペレットアレイのアライメ
ント方法によれば、ステージ上に取り付けられたシート
に貼られているウェハからペレットをピックアップする
前に、自動的に各ペレット毎に基準位置からのＸＹ位置
ずれ量の検出・傾き角度の算出を行い、自動的にペレッ
トの傾き（θ）の補正およびそれを見込んだＸＹ補正を
行うことができる。これにより、マウント前のペレット
の位置決めを高い精度で行い、大きいペレットでもコレ
ットによる確実なピックアップを可能とし、ピックアッ
プしたペレットを直接にペレットマウント部にマウント
することができる。
ント方法によれば、ステージ上に取り付けられたシート
に貼られているウェハからペレットをピックアップする
前に、自動的に各ペレット毎に基準位置からのＸＹ位置
ずれ量の検出・傾き角度の算出を行い、自動的にペレッ
トの傾き（θ）の補正およびそれを見込んだＸＹ補正を
行うことができる。これにより、マウント前のペレット
の位置決めを高い精度で行い、大きいペレットでもコレ
ットによる確実なピックアップを可能とし、ピックアッ
プしたペレットを直接にペレットマウント部にマウント
することができる。
【００５７】即ち、ペレットアレイ内のアライメント調
整の対象である特定ペレットのアライメント調整の効率
化を図ることができ、ステージ上にウェハを順次自動的
にローディングする機構（複数ウェハの自動ローディン
グ機構）を有する半導体ペレットマウント装置の連続運
転が可能になる。
整の対象である特定ペレットのアライメント調整の効率
化を図ることができ、ステージ上にウェハを順次自動的
にローディングする機構（複数ウェハの自動ローディン
グ機構）を有する半導体ペレットマウント装置の連続運
転が可能になる。
【００５８】また、上述したようなペレットアレイのピ
ックアップ・ダイボンディング方法によれば、ステージ
上に取り付けられたシートに貼られているウェハからペ
レットをピックアップしてマウントする際に、ピックア
ップ前に各ペレット毎に基準位置からのＸＹ位置ずれ量
の検出・傾き角度を算出して自動的にペレットの傾き
（θ）の補正およびそれを見込んだＸＹ補正を行うこと
ができる。これにより、ピックアップしたペレットをゲ
ージ機構部を経由することなくペレットマウント部に移
動させることができ、ピックアップ用コレットとして平
コレット（コレット先端面が平面状のもの）、角錐コレ
ット（コレット先端面に四角錐状の凹部を有するもの）
のいずれも使用可能になり、ペレットマウントの能率の
向上、ダイボンディング工程の精度の向上、生産工程の
品質の向上を図ることができる。
ックアップ・ダイボンディング方法によれば、ステージ
上に取り付けられたシートに貼られているウェハからペ
レットをピックアップしてマウントする際に、ピックア
ップ前に各ペレット毎に基準位置からのＸＹ位置ずれ量
の検出・傾き角度を算出して自動的にペレットの傾き
（θ）の補正およびそれを見込んだＸＹ補正を行うこと
ができる。これにより、ピックアップしたペレットをゲ
ージ機構部を経由することなくペレットマウント部に移
動させることができ、ピックアップ用コレットとして平
コレット（コレット先端面が平面状のもの）、角錐コレ
ット（コレット先端面に四角錐状の凹部を有するもの）
のいずれも使用可能になり、ペレットマウントの能率の
向上、ダイボンディング工程の精度の向上、生産工程の
品質の向上を図ることができる。
【００５９】
【発明の効果】上述したように本発明の半導体ペレット
のアライメント方法によれば、ステージ上に取り付けら
れたシートに貼られているウェハからペレットをピック
アップする前に、自動的に各ペレット毎に傾き角度θの
補正を見込んだＸＹ位置の補正を行うことにより、ペレ
ットのマウント前の位置決めを高い精度で行うことが可
能となる。
のアライメント方法によれば、ステージ上に取り付けら
れたシートに貼られているウェハからペレットをピック
アップする前に、自動的に各ペレット毎に傾き角度θの
補正を見込んだＸＹ位置の補正を行うことにより、ペレ
ットのマウント前の位置決めを高い精度で行うことが可
能となる。
【００６０】従って、大きいペレットでもコレットによ
る確実なピックアップを可能となり、ピックアップした
ペレットを直接にペレットマウント部にマウントするこ
とが可能となる。また、オペレータの手作業によるウェ
ハの傾き調整を省略し、ペレットがペレット撮像用カメ
ラの視野から外れることを防止することができる。
る確実なピックアップを可能となり、ピックアップした
ペレットを直接にペレットマウント部にマウントするこ
とが可能となる。また、オペレータの手作業によるウェ
ハの傾き調整を省略し、ペレットがペレット撮像用カメ
ラの視野から外れることを防止することができる。
【００６１】また、本発明の半導体ペレットのマウント
方法は、ステージ上に取り付けられたシートに貼られて
いるウェハからペレットをピックアップしてマウントす
る際に、ピックアップ前に各ペレット毎に傾き角度θの
補正を見込んだＸＹ位置の補正を行うことにより、ピッ
クアップしたペレットをゲージ機構部を経由することな
くペレットマウント部に移動させることができる。
方法は、ステージ上に取り付けられたシートに貼られて
いるウェハからペレットをピックアップしてマウントす
る際に、ピックアップ前に各ペレット毎に傾き角度θの
補正を見込んだＸＹ位置の補正を行うことにより、ピッ
クアップしたペレットをゲージ機構部を経由することな
くペレットマウント部に移動させることができる。
【００６２】従って、ピックアップ用コレットとして平
コレット、角錐コレットのいずれも使用可能になり、ペ
レットマウントの能率の向上、ダイボンディング工程の
精度の向上、生産工程の品質の向上を図ることができ
る。
コレット、角錐コレットのいずれも使用可能になり、ペ
レットマウントの能率の向上、ダイボンディング工程の
精度の向上、生産工程の品質の向上を図ることができ
る。
【図１】本発明の半導体ペレットのアライメント方法お
よびマウント方法を実施するために使用されるペレット
マウント装置の一例を概略的に示す斜視図。
よびマウント方法を実施するために使用されるペレット
マウント装置の一例を概略的に示す斜視図。
【図２】図１の装置を使用した本発明の方法の第１の実
施の形態における処理の流れを示すフローチャート。
施の形態における処理の流れを示すフローチャート。
【図３】図２中の第２のステップにおいて複数のペレッ
トを含む領域を撮影して認識処理したペレット画像を画
像メモリに格納した後にモニタ画面上に表示した画像の
一例を示す図。
トを含む領域を撮影して認識処理したペレット画像を画
像メモリに格納した後にモニタ画面上に表示した画像の
一例を示す図。
【図４】図２中の第２のステップにおいて認識処理した
ペレット画像のＸＹ位置・傾きを第３のステップにおい
て検出するための基準画像として４個の位置検出用レテ
ィクルを使用する様子を説明するために示す図。
ペレット画像のＸＹ位置・傾きを第３のステップにおい
て検出するための基準画像として４個の位置検出用レテ
ィクルを使用する様子を説明するために示す図。
【図５】図２中の第２のステップにおいて認識処理した
ペレット画像のＸＹ位置・傾きを第３のステップにおい
て検出する処理の一例について説明するために示す図。
ペレット画像のＸＹ位置・傾きを第３のステップにおい
て検出する処理の一例について説明するために示す図。
【図６】図２中の第２のステップにおいて認識処理した
ペレット画像のＸＹ位置・傾きを第３のステップにおい
て検出する処理の他の例について説明するために示す
図。
ペレット画像のＸＹ位置・傾きを第３のステップにおい
て検出する処理の他の例について説明するために示す
図。
【図７】図２中の第３のステップにおいて検出したペレ
ットの傾きをステージの回転中心点を基準として回転補
正した場合における回転補正前の座標と回転補正後の新
しい座標との関係を説明するために示す図。
ットの傾きをステージの回転中心点を基準として回転補
正した場合における回転補正前の座標と回転補正後の新
しい座標との関係を説明するために示す図。
【図８】従来の半導体ペレットのダイボンディング方法
においてピックアップしたペレットをゲージ機構部で機
械的にペレットの向きを調整した後にダイボンディング
位置に移動させる様子を説明するために示す図。
においてピックアップしたペレットをゲージ機構部で機
械的にペレットの向きを調整した後にダイボンディング
位置に移動させる様子を説明するために示す図。
１０…ペレットアレイ、
１１…ＸＹθステージ、
１２、１３、１４…パルスモータ、
１５…モータ駆動回路、
１６…ＣＣＤカメラ、
１７…カメラ制御装置、
１８…Ａ／Ｄ変換器、
１９…画像処理装置（ペレット認識処理装置）、
２０…画像モニター装置、
２１…ペレットピックアップ装置、
２２…ダイボンディング制御装置。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−142554（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−220481（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−181118（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−64981（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−36203（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−221164（ＪＰ，Ａ)
特公 平５−52987（ＪＰ，Ｂ２)
特公 平７−22166（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
G05D 3/00
H01L 21/52
Claims (8)
- 【請求項１】 水平（Ｘ）、垂直（Ｙ）、回転（θ）方
向にそれぞれ移動可能なステージ上に、半導体素子形成
後の１枚の半導体ウェハが個々のペレットに分割されて
二次元に配列されたペレット群が上面に貼られた状態の
シートを取り付ける第１ステップと、 前記ステージ上の半導体ウェハのアライメント調整の対
象である特定のペレットを含む領域を撮影装置により撮
影して得たアナログ画像信号を濃淡を表わすデジタル画
像信号に変換し、前記特定のペレットに対応するペレッ
ト画像を認識処理して画像メモリに格納する第２ステッ
プと、 前記第２ステップにより得られた前記特定のペレットに
対応するペレット画像の二点の座標を検出して前記ステ
ージの基準位置からの前記特定のペレットのＸＹ位置ず
れ量の検出・傾き角度を自動的に算出し、前記特定のペ
レットの傾き角度を補正するように前記ステージを回転
させた場合の前記特定のペレットのＸＹ位置ずれを修正
し、修正した結果に基づいて前記ステージを駆動して前
記特定のペレットのＸＹ位置・傾きを補正するアライメ
ント調整を自動的に行う第３のステップとを具備するこ
とを特徴とする半導体ペレットのアライメント方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の半導体ペレットのアライ
メント方法において、前記第３のステップにおいて検出
する二点の座標は、前記ペレット画像の一対の対角部の
各角部の座標であることを特徴とする半導体ペレットの
アライメント方法。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の半導体ペレット
のアライメント方法において、前記第３のステップにお
いて前記特定のペレットの傾き角度θを算出する処理
は、 前記ペレット画像の二点のＸ方向の位置ずれ量をｘ１、
ｘ２、Ｙ方向の位置ずれ量をｙ１、ｙ２、２点のＸ方向
の補正量をｘ＝（ｘ１＋ｘ２）／２、Ｙ方向の補正量を
ｙ＝（ｙ１＋ｙ２）／２とし、基準位置を示すレティク
ル画像のＸ方向の距離をＡ、Ｙ方向の距離をＢ、前記レ
ティクル画像の二点間の距離を（Ａ2 ＋Ｂ2 ）0.5 で表
わし、ΔＸ＝ｘ２−ｘ１、ΔＹ＝ｙ２−ｙ１とし、前記
特定のペレットの傾き角度θをθ＝ｔａｎ-1｛（ΔＸ2
＋ΔＹ2 ）0.5 ／レティクルの距離｝により算出するこ
とを特徴とする半導体ペレットのアライメント方法。 - 【請求項４】 請求項１または２記載の半導体ペレット
のアライメント方法において、前記第３のステップにお
いて前記特定のペレットの傾き角度θを算出する処理
は、 基準位置を示すレティクル画像の二点の座標位置を（ｘ
r1，ｙr1）、（ｘr2，ｙr2）で表わし、前記ペレット画
像の二点の座標位置を（ｘd1，ｙd1）、（ｘd2，ｙd
2）、前記レティクル画像のＸ方向の距離をｘｒ＝ｘr2
−ｘr1、Ｙ方向の距離をｙｒ＝ｙr2−ｙr1、前記ペレッ
ト画像のＸ方向の距離をｘｄ＝ｘd2−ｘd1、Ｙ方向の距
離をｙｄ＝ｙd2−ｙd1で表わすと、 ｃｏｓθ＝（ｘｒ・ｘｄ＋ｙｒ・ｙｄ）／（ｘｒ2 ＋ｙ
ｒ2 ） ｓｉｎθ＝（ｘｒ・ｙｄ−ｙｒ・ｘｄ）／（ｘｒ2 ＋ｙ
ｒ2 ） に基づいてθを算出することを特徴とする半導体ペレッ
トのアライメント方法。 - 【請求項５】 請求項１または２記載の半導体ペレット
のアライメント方法において、前記第３のステップにお
いて前記特定のペレットの傾き角度θを算出する処理
は、 ペレット画像の二点のＸ方向の位置ずれ量をｘ１、ｘ
２、Ｙ方向の位置ずれ量をｙ１、ｙ２、２点のＸ方向の
補正量をΔＸ＝（ｘ１＋ｘ２）／２、Ｙ方向の補正量を
ΔＹ＝（ｙ２＋ｙ２）／２とし、レティクルのＸ方向の
距離をＡ、Ｙ方向の距離をＢで表わし、 ｃｏｓθ ＝［Ａ（Ａ＋ｘ１−ｘ２）＋Ｂ（Ｂ＋ｙ１−ｙ２）］／
（Ａ2 ＋Ｂ2 ） ｓｉｎθ ＝［Ａ（Ｂ＋ｙ２−ｙ１）−Ｂ（Ａ＋ｘ２−ｘ１）］／
（Ａ2 ＋Ｂ2 ）に基づいてθを算出することを特徴とす
る半導体ペレットのアライメント方法。 - 【請求項６】 請求項２乃至５のいずれか１項に記載の
半導体ペレットのアライメント方法において、 前記特定のペレットの傾き角度θを補正するように前記
ステージを回転させた場合の前記特定のペレットのＸＹ
位置ずれを修正する処理は、 前記特定のペレットを前記ステージの回転中心位置を中
心にして角度θだけ回転補正した場合、回転中心点を基
準とする回転補正前の座標を（Ｘ，Ｙ）、回転補正後の
新しい座標を（Ｘ´，Ｙ´）で表わすと、 【数１】 の関係式から、前記Ｘ、Ｙ位置の補正量ΔＸ、ΔＹを、
ΔＸ＝（Ｘ−Ｘ´）、ΔＹ＝（Ｙ−Ｙ´）のように修正
することを特徴とする半導体ペレットのアライメント方
法。 - 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の
半導体ペレットのアライメント方法において、 前記第２ステップは、複数のペレットを含む領域を撮影
し、複数のペレットに対応する複数のペレット画像を認
識処理して画像メモリに格納し、 前記第３ステップは、前記第２ステップにより格納され
た複数のペレット画像に対して順にアライメント調整を
行うことを特徴とする半導体ペレットのアライメント方
法。 - 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の
半導体ペレットのアライメント方法における前記第１〜
第３ステップと、 前記第３ステップによる前記特定ペレットのアライメン
ト調整終了毎に前記特定ペレットの外面の良否マークを
自動的に判定し、良品のペレットであればピックアップ
する第４のステップと、 前記第４ステップによりピックアップした良品のペレッ
トを半導体装置の一部をなすペレットマウント部にマウ
ントする第５のステップとを具備し、前記第３〜第５ス
テップを前記半導体ウェハの各ペレットに対して順次進
めることを特徴とする半導体ペレットのマウント方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8384297A JP3519568B2 (ja) | 1997-04-02 | 1997-04-02 | 半導体ペレットのアライメント方法とマウント方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8384297A JP3519568B2 (ja) | 1997-04-02 | 1997-04-02 | 半導体ペレットのアライメント方法とマウント方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10284579A JPH10284579A (ja) | 1998-10-23 |
| JP3519568B2 true JP3519568B2 (ja) | 2004-04-19 |
Family
ID=13813972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8384297A Expired - Fee Related JP3519568B2 (ja) | 1997-04-02 | 1997-04-02 | 半導体ペレットのアライメント方法とマウント方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3519568B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101237056B1 (ko) | 2010-05-04 | 2013-02-25 | 한미반도체 주식회사 | 반도체 패키지 집합체 정렬방법 |
| CN116577070B (zh) * | 2023-04-04 | 2024-01-26 | 河北圣昊光电科技有限公司 | 一种soa芯片光放大检测方法及检测设备 |
-
1997
- 1997-04-02 JP JP8384297A patent/JP3519568B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10284579A (ja) | 1998-10-23 |
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