JPH07142530A - ボンデイング座標のティーチング方法及びティーチング手段 - Google Patents
ボンデイング座標のティーチング方法及びティーチング手段Info
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- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
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- H01L2924/01074—Tungsten [W]
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- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01082—Lead [Pb]
Abstract
(57)【要約】
【目的】作業時間の短縮及び位置合わせ精度の向上を図
る。 【構成】カメラ１１で撮像した画像を処理して中心ずれ
量を算出する演算制御部２４と、手動入力手段４５によ
ってカメラ１１をパッドの真上に移動させて第１番目及
び第２番目のパッドの座標を入力することにより、第１
番目及び第２番目のパッドは、前記入力した座標を補正
して新たなボンデイング座標とし、第３番目以降のパッ
ドは、該パッドの前とその前の２つの新たなボンデイン
グ座標の差だけカメラ１１を移動させ、前記移動させた
カメラ１１の座標を補正して新たなボンデイング座標と
する演算制御部３５と、前記新たなボンデイング座標を
記憶するボンデイング座標メモリ３６とを備えている。
る。 【構成】カメラ１１で撮像した画像を処理して中心ずれ
量を算出する演算制御部２４と、手動入力手段４５によ
ってカメラ１１をパッドの真上に移動させて第１番目及
び第２番目のパッドの座標を入力することにより、第１
番目及び第２番目のパッドは、前記入力した座標を補正
して新たなボンデイング座標とし、第３番目以降のパッ
ドは、該パッドの前とその前の２つの新たなボンデイン
グ座標の差だけカメラ１１を移動させ、前記移動させた
カメラ１１の座標を補正して新たなボンデイング座標と
する演算制御部３５と、前記新たなボンデイング座標を
記憶するボンデイング座標メモリ３６とを備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボンデイング座標のティ
ーチング方法及びティーチング手段に関する。
ーチング方法及びティーチング手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５に示すように、リードフレーム１に
半導体チップ２が付着された試料３は、図６に示すワイ
ヤボンデイング装置１０により半導体チップ２のパッド
Ｐ1 、Ｐ2 ・・・とリードフレーム１のリード部Ｌ1 、
Ｌ2 ・・・にワイヤ４をワイヤボンデイングにより接続
する。かかるワイヤボンデイング方法においては、一般
に、まずカメラ１１によって半導体チップ２上の少なく
とも２つの定点、及びリードフレーム１上の少なくとも
２つの定点の正規の位置からのずれを検出して、この検
出値に基づいて予め記憶されたボンデイング座標を演算
部で修正する。このカメラ１１による検出の場合は、カ
メラ１１の中心軸１１ａが測定点の真上に位置するよう
にＸ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３が駆動される。前
記したようにボンデイング座標が修正された後、キャピ
ラリ１５がＸＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させられ、キ
ャピラリ１５に挿通されたワイヤ４をワイヤボンデイン
グする。この場合、カメラ１１の中心軸１１ａとキャピ
ラリ１５の中心軸１５ａとは距離Ｗだけオフセットされ
ているので、Ｘ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３によっ
てＸＹテーブル１６がオフセット量Ｗだけ移動させら
れ、キャピラリ１５が試料３の第１ボンド点の上方に位
置させられる。その後、Ｘ軸モータ１２及びＹ軸モータ
１３によるＸＹテーブル１６のＸＹ軸方向の移動と、Ｚ
軸モータ１４によるキャピラリアーム１７の上下動（又
は揺動）によるキャピラリ１５のＺ軸方向の移動によ
り、前記修正されたボンデイング座標にワイヤ４がワイ
ヤボンデイングされる。ここで、前記オフセット量Ｗ
は、Ｘ軸成分をＸｗ、Ｙ軸成分をＹｗとすると、数１で
表される。
半導体チップ２が付着された試料３は、図６に示すワイ
ヤボンデイング装置１０により半導体チップ２のパッド
Ｐ1 、Ｐ2 ・・・とリードフレーム１のリード部Ｌ1 、
Ｌ2 ・・・にワイヤ４をワイヤボンデイングにより接続
する。かかるワイヤボンデイング方法においては、一般
に、まずカメラ１１によって半導体チップ２上の少なく
とも２つの定点、及びリードフレーム１上の少なくとも
２つの定点の正規の位置からのずれを検出して、この検
出値に基づいて予め記憶されたボンデイング座標を演算
部で修正する。このカメラ１１による検出の場合は、カ
メラ１１の中心軸１１ａが測定点の真上に位置するよう
にＸ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３が駆動される。前
記したようにボンデイング座標が修正された後、キャピ
ラリ１５がＸＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させられ、キ
ャピラリ１５に挿通されたワイヤ４をワイヤボンデイン
グする。この場合、カメラ１１の中心軸１１ａとキャピ
ラリ１５の中心軸１５ａとは距離Ｗだけオフセットされ
ているので、Ｘ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３によっ
てＸＹテーブル１６がオフセット量Ｗだけ移動させら
れ、キャピラリ１５が試料３の第１ボンド点の上方に位
置させられる。その後、Ｘ軸モータ１２及びＹ軸モータ
１３によるＸＹテーブル１６のＸＹ軸方向の移動と、Ｚ
軸モータ１４によるキャピラリアーム１７の上下動（又
は揺動）によるキャピラリ１５のＺ軸方向の移動によ
り、前記修正されたボンデイング座標にワイヤ４がワイ
ヤボンデイングされる。ここで、前記オフセット量Ｗ
は、Ｘ軸成分をＸｗ、Ｙ軸成分をＹｗとすると、数１で
表される。
【数１】Ｗ＝（Ｘｗ2 ＋Ｙｗ2 ）1 /2
【０００３】ところで、かかるワイヤボンデイング方法
においては、前記ワイヤボンデイング動作に先立ち、ま
た試料３の品種変更の場合には、各ボンデイング座標を
ボンデイング装置の記憶部に入力する必要がある。この
ボンデイング装置の入力方法は、一般にティーチング方
法で行っている。
においては、前記ワイヤボンデイング動作に先立ち、ま
た試料３の品種変更の場合には、各ボンデイング座標を
ボンデイング装置の記憶部に入力する必要がある。この
ボンデイング装置の入力方法は、一般にティーチング方
法で行っている。
【０００４】従来、パッドＰ1 、Ｐ2 ・・・の各ボンデ
イング座標のティーチング方法は次のようにして行って
いる。Ｘ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３を駆動させる
テンキー又はチェスマン等の手動入力手段を作業者が手
動操作して第１番目のパッドＰ1 の座標Ｐ1 （ｘ1 ，ｙ
1 ）を入力し、テレビモニタに映し出す。次に作業者が
テレビモニタを見ながら手動入力手段を操作してパッド
Ｐ1 の中心と思われる位置をテレビモニタ中心に描かれ
たクロスラインマークに合わせ、その座標位置を記憶部
に記憶させる。この操作を全てのパッドＰ1 、Ｐ2 ・・
・において行う。
イング座標のティーチング方法は次のようにして行って
いる。Ｘ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３を駆動させる
テンキー又はチェスマン等の手動入力手段を作業者が手
動操作して第１番目のパッドＰ1 の座標Ｐ1 （ｘ1 ，ｙ
1 ）を入力し、テレビモニタに映し出す。次に作業者が
テレビモニタを見ながら手動入力手段を操作してパッド
Ｐ1 の中心と思われる位置をテレビモニタ中心に描かれ
たクロスラインマークに合わせ、その座標位置を記憶部
に記憶させる。この操作を全てのパッドＰ1 、Ｐ2 ・・
・において行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ボン
デイング座標を作業者が決められた順番に手動入力手段
を操作してティーチングしていくので、記憶させるボン
デイング座標数だけ位置合わせ込みを繰り返さなければ
ならない。このため多大の時間がかかると共に、作業者
のミスや個人差などによる位置合わせの誤差が生じると
いう問題があった。また手動入力方法では、対象画像の
分解能がテレビモニタの分解能で決まってしまうため、
これより細かい位置が判断できなく、位置精度はピクセ
ル（画素）単位であった。
デイング座標を作業者が決められた順番に手動入力手段
を操作してティーチングしていくので、記憶させるボン
デイング座標数だけ位置合わせ込みを繰り返さなければ
ならない。このため多大の時間がかかると共に、作業者
のミスや個人差などによる位置合わせの誤差が生じると
いう問題があった。また手動入力方法では、対象画像の
分解能がテレビモニタの分解能で決まってしまうため、
これより細かい位置が判断できなく、位置精度はピクセ
ル（画素）単位であった。
【０００６】本発明の目的は、作業時間の短縮及び位置
合わせ精度の向上が図れるボンデイング座標のティーチ
ング方法及びティーチング手段を提供することにある。
合わせ精度の向上が図れるボンデイング座標のティーチ
ング方法及びティーチング手段を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の方法は、リードフレームに半導体チップが付
着された試料にワイヤボンデイングするキャピラリと、
このキャピラリとオフセットして配設されたカメラと、
キャピラリ及びカメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹ
テーブルとを備えたワイヤボンデイング装置におけるボ
ンデイング座標のティーチング方法において、第１番目
及び第２番目のパッドのティーチングは、手動入力手段
によってボンデイング座標を入力してカメラをパッドの
真上に移動させ、カメラで撮像した第１番目及び第２番
目のパッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算制御
部で算出し、前記手動入力した第１番目及び第２番目の
ボンデイング座標を装置駆動部の演算制御部で前記中心
ずれ量分補正して新たなボンデイング座標としてボンデ
イング座標メモリに記憶し、第３番目以降のパッドのテ
ィーチングは、検出するパッドの前とその前の２つの新
たなボンデイング座標の差を装置駆動部の演算制御部が
算出してカメラをその差だけの座標に移動させ、カメラ
で撮像した該パッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の
演算制御部で算出し、前記カメラが移動させられた座標
を装置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ量分補正して
新たなボンデイング座標としてボンデイング座標メモリ
に記憶することを特徴とする。
の本発明の方法は、リードフレームに半導体チップが付
着された試料にワイヤボンデイングするキャピラリと、
このキャピラリとオフセットして配設されたカメラと、
キャピラリ及びカメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹ
テーブルとを備えたワイヤボンデイング装置におけるボ
ンデイング座標のティーチング方法において、第１番目
及び第２番目のパッドのティーチングは、手動入力手段
によってボンデイング座標を入力してカメラをパッドの
真上に移動させ、カメラで撮像した第１番目及び第２番
目のパッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算制御
部で算出し、前記手動入力した第１番目及び第２番目の
ボンデイング座標を装置駆動部の演算制御部で前記中心
ずれ量分補正して新たなボンデイング座標としてボンデ
イング座標メモリに記憶し、第３番目以降のパッドのテ
ィーチングは、検出するパッドの前とその前の２つの新
たなボンデイング座標の差を装置駆動部の演算制御部が
算出してカメラをその差だけの座標に移動させ、カメラ
で撮像した該パッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の
演算制御部で算出し、前記カメラが移動させられた座標
を装置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ量分補正して
新たなボンデイング座標としてボンデイング座標メモリ
に記憶することを特徴とする。
【０００８】上記目的を達成するための本発明の装置
は、リードフレームに半導体チップが付着された試料に
ワイヤボンデイングするキャピラリと、このキャピラリ
とオフセットして配設されたカメラと、キャピラリ及び
カメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹテーブルとを備
えたワイヤボンデイング装置において、前記カメラで撮
像した画像を処理して該画像の中心ずれ量を算出する画
像処理部の演算制御部と、手動入力手段によってカメラ
をパッドの真上に移動させて第１番目及び第２番目のパ
ッドのボンデイング座標を入力することにより、第１番
目及び第２番目のパッドは、画像処理部の演算制御部で
算出された中心ずれ量によって前記入力したボンデイン
グ座標を補正して新たなボンデイング座標とし、第３番
目以降のパッドは、該パッドの前とその前の２つの新た
なボンデイング座標の差を算出してカメラをその差分移
動させ、画像処理部の演算制御部で算出した中心ずれ量
によって、前記移動させたカメラの座標を補正して新た
なボンデイング座標とする装置駆動部の演算制御部と、
前記新たなボンデイング座標を記憶するボンデイング座
標メモリとを備えたことを特徴とする。
は、リードフレームに半導体チップが付着された試料に
ワイヤボンデイングするキャピラリと、このキャピラリ
とオフセットして配設されたカメラと、キャピラリ及び
カメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹテーブルとを備
えたワイヤボンデイング装置において、前記カメラで撮
像した画像を処理して該画像の中心ずれ量を算出する画
像処理部の演算制御部と、手動入力手段によってカメラ
をパッドの真上に移動させて第１番目及び第２番目のパ
ッドのボンデイング座標を入力することにより、第１番
目及び第２番目のパッドは、画像処理部の演算制御部で
算出された中心ずれ量によって前記入力したボンデイン
グ座標を補正して新たなボンデイング座標とし、第３番
目以降のパッドは、該パッドの前とその前の２つの新た
なボンデイング座標の差を算出してカメラをその差分移
動させ、画像処理部の演算制御部で算出した中心ずれ量
によって、前記移動させたカメラの座標を補正して新た
なボンデイング座標とする装置駆動部の演算制御部と、
前記新たなボンデイング座標を記憶するボンデイング座
標メモリとを備えたことを特徴とする。
【０００９】
【作用】第１番目及び第２番目のパッドは、手動入力手
段を用いてカメラをパッドの真上に移動させ、その座標
を入力する。これにより、第１番目及び第２番目のパッ
ドの中心ずれ量は、画像処理部の演算制御部で算出され
る。装置駆動部の演算制御部は、前記中心ずれ量により
前記手動入力した座標を補正し、第１番目及び第２番目
のパッドのそれぞれの新たなボンデイング座標としてボ
ンデイング座標メモリに記憶させる。第３番目以降のパ
ッドについては、手動入力する必要はなく、検出するパ
ッドの前とその前の２つの新たなボンデイング座標を用
いて装置駆動部の演算制御部が自動的に処理する。即
ち、前記２つの新たなボンデイング座標の差だけパッド
を移動させ、該パッドの中心ずれ量を画像処理部の演算
制御部が算出すると、この中心ずれ量によって前記カメ
ラが移動した座標を補正して新たなボンデイング座標と
してボンデイング座標メモリに記憶させる。
段を用いてカメラをパッドの真上に移動させ、その座標
を入力する。これにより、第１番目及び第２番目のパッ
ドの中心ずれ量は、画像処理部の演算制御部で算出され
る。装置駆動部の演算制御部は、前記中心ずれ量により
前記手動入力した座標を補正し、第１番目及び第２番目
のパッドのそれぞれの新たなボンデイング座標としてボ
ンデイング座標メモリに記憶させる。第３番目以降のパ
ッドについては、手動入力する必要はなく、検出するパ
ッドの前とその前の２つの新たなボンデイング座標を用
いて装置駆動部の演算制御部が自動的に処理する。即
ち、前記２つの新たなボンデイング座標の差だけパッド
を移動させ、該パッドの中心ずれ量を画像処理部の演算
制御部が算出すると、この中心ずれ量によって前記カメ
ラが移動した座標を補正して新たなボンデイング座標と
してボンデイング座標メモリに記憶させる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図６によ
り説明する。図１に示すように、制御回路部は、主とし
てカメラ１１の映像を画像処理する画像処理部２０と、
図６に示すワイヤボンデイング装置１０を駆動する装置
駆動部３０と、座標等のデータを装置駆動部３０に手動
で入力する手動入力手段４５とからなっている。
り説明する。図１に示すように、制御回路部は、主とし
てカメラ１１の映像を画像処理する画像処理部２０と、
図６に示すワイヤボンデイング装置１０を駆動する装置
駆動部３０と、座標等のデータを装置駆動部３０に手動
で入力する手動入力手段４５とからなっている。
【００１１】画像処理部２０は、カメラ１１より画像入
力手段２１を介して入力された映像の画像形状を記憶す
る画像メモリ２２と、この画像メモリ２２の画像処理手
順が記憶された制御メモリ２３と、この制御メモリ２３
の手順に従って画像メモリ２２の画像を処理して画像の
中心ずれ量を演算する演算制御部２４とからなってい
る。また前記画像メモリ２２の画像はテレビモニタ２５
に写し出される。
力手段２１を介して入力された映像の画像形状を記憶す
る画像メモリ２２と、この画像メモリ２２の画像処理手
順が記憶された制御メモリ２３と、この制御メモリ２３
の手順に従って画像メモリ２２の画像を処理して画像の
中心ずれ量を演算する演算制御部２４とからなってい
る。また前記画像メモリ２２の画像はテレビモニタ２５
に写し出される。
【００１２】装置駆動部３０は、Ｘ軸モータ１２、Ｙ軸
モータ１３、Ｚ軸モータ１４を制御するＸ軸モータ制御
部３１、Ｙ軸モータ制御部３２、Ｚ軸モータ制御部３３
と、このＸ軸モータ制御部３１、Ｙ軸モータ制御部３
２、Ｚ軸モータ制御部３３の制御手順及びボンデイング
座標の算出手順が記憶された制御メモリ３４と、Ｘ軸モ
ータ制御部３１、Ｙ軸モータ制御部３２、Ｚ軸モータ制
御部３３及び制御メモリ３４を制御すると共に、前記演
算制御部２４によって算出された中心ずれ量と手動入力
手段４５により入力されたボンデイング座標データによ
り実際のボンデイング座標を算出する演算制御部３５
と、この演算制御部３５で算出されたボンデイング座標
を記憶するボンデイング座標メモリ３６と、このボンデ
イング座標メモリ３６と同じデータを記憶するバッテリ
ーバックアップ３７されたボンデイング座標メモリ３８
とからなっている。ここで、ボンデイング座標メモリ３
６、３８には、従来の技術の項で説明した数１のオフセ
ット量Ｗが記憶されている。また前記手動入力手段４５
は、テンキー４６及びチェスマン４７よりなり、座標は
そのいずれかを使用して装置駆動部３０に入力する。
モータ１３、Ｚ軸モータ１４を制御するＸ軸モータ制御
部３１、Ｙ軸モータ制御部３２、Ｚ軸モータ制御部３３
と、このＸ軸モータ制御部３１、Ｙ軸モータ制御部３
２、Ｚ軸モータ制御部３３の制御手順及びボンデイング
座標の算出手順が記憶された制御メモリ３４と、Ｘ軸モ
ータ制御部３１、Ｙ軸モータ制御部３２、Ｚ軸モータ制
御部３３及び制御メモリ３４を制御すると共に、前記演
算制御部２４によって算出された中心ずれ量と手動入力
手段４５により入力されたボンデイング座標データによ
り実際のボンデイング座標を算出する演算制御部３５
と、この演算制御部３５で算出されたボンデイング座標
を記憶するボンデイング座標メモリ３６と、このボンデ
イング座標メモリ３６と同じデータを記憶するバッテリ
ーバックアップ３７されたボンデイング座標メモリ３８
とからなっている。ここで、ボンデイング座標メモリ３
６、３８には、従来の技術の項で説明した数１のオフセ
ット量Ｗが記憶されている。また前記手動入力手段４５
は、テンキー４６及びチェスマン４７よりなり、座標は
そのいずれかを使用して装置駆動部３０に入力する。
【００１３】次にボンデイング座標のティーチング方法
について説明する。本実施例は、図４に示すように、同
一方向に連続して並んでいるパッドＰ1 〜Ｐ4 、Ｐ5 〜
Ｐ8、Ｐ9 〜Ｐ12、Ｐ13〜Ｐ16をそれぞれグループ別に
一括処理するようになっている。
について説明する。本実施例は、図４に示すように、同
一方向に連続して並んでいるパッドＰ1 〜Ｐ4 、Ｐ5 〜
Ｐ8、Ｐ9 〜Ｐ12、Ｐ13〜Ｐ16をそれぞれグループ別に
一括処理するようになっている。
【００１４】まず、パッドＰ1 〜Ｐ4 のティーチング方
法を図２を参照しながら説明する。パッドＰ1 〜Ｐ4 の
数、即ち４を入力する。次に手動入力手段４５によって
ＸＹテーブル１６を移動させ、カメラ１１を第１番目の
パッドＰ1 の真上に位置させ、その座標Ｐ1 （ｘ1 ，ｙ
1 ）を演算制御部３５に入力する。これにより、カメラ
１１によってパッドＰ1 が撮像される。この撮像された
映像は、画像入力手段２１によってデジタル信号に変換
されて画像メモリ２２に記憶される。この画像メモリ２
２に記憶された画像形状は、演算制御部２４によって画
像処理され、パッドＰ1 の中心ずれ量を算出する。
法を図２を参照しながら説明する。パッドＰ1 〜Ｐ4 の
数、即ち４を入力する。次に手動入力手段４５によって
ＸＹテーブル１６を移動させ、カメラ１１を第１番目の
パッドＰ1 の真上に位置させ、その座標Ｐ1 （ｘ1 ，ｙ
1 ）を演算制御部３５に入力する。これにより、カメラ
１１によってパッドＰ1 が撮像される。この撮像された
映像は、画像入力手段２１によってデジタル信号に変換
されて画像メモリ２２に記憶される。この画像メモリ２
２に記憶された画像形状は、演算制御部２４によって画
像処理され、パッドＰ1 の中心ずれ量を算出する。
【００１５】図３はパッドＰ1 がテレビモニタ２５に映
っている撮像画像例を示す。この画像からパッドＰ1 の
Ｘ軸方向のエッジ位置ｅ1 ，ｅ2 、Ｙ軸方向のエッジ位
置ｅ3 ，ｅ4 は、演算制御部２４によって算出される。
このエッジ位置ｅ1 乃至ｅ4の算出方法は公知である。
またこの時、算出される位置座標はサブピクセル（副画
素）精度をもって検出できる。サブピクセル演算につい
ては、多値化（階調付画像）相関処理に加え、ＨｉＬＬ
−ＣＬｉｍｂ技法及び補間法演算などを用いることによ
り、副画素精度で最大の相関値を持つ点を見つけ出せる
ことが知られている。
っている撮像画像例を示す。この画像からパッドＰ1 の
Ｘ軸方向のエッジ位置ｅ1 ，ｅ2 、Ｙ軸方向のエッジ位
置ｅ3 ，ｅ4 は、演算制御部２４によって算出される。
このエッジ位置ｅ1 乃至ｅ4の算出方法は公知である。
またこの時、算出される位置座標はサブピクセル（副画
素）精度をもって検出できる。サブピクセル演算につい
ては、多値化（階調付画像）相関処理に加え、ＨｉＬＬ
−ＣＬｉｍｂ技法及び補間法演算などを用いることによ
り、副画素精度で最大の相関値を持つ点を見つけ出せる
ことが知られている。
【００１６】演算制御部２４は、ｅ1 乃至ｅ4 を算出
し、カメラ１１の中心軸１１ａ（画像中心）、即ち手動
入力した座標Ｐ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）からパッドＰ1 の中心
までのずれ量Δｘ1 ，Δｙ1 を数２で算出する。
し、カメラ１１の中心軸１１ａ（画像中心）、即ち手動
入力した座標Ｐ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）からパッドＰ1 の中心
までのずれ量Δｘ1 ，Δｙ1 を数２で算出する。
【数２】 Δｘ1 ＝ｘ1 −（ｅ2 −ｅ1 ）／２ Δｙ1 ＝ｙ1 −（ｅ4 −ｅ3 ）／２ このずれ量Δｘ1 ，Δｙ1 は画像メモリ２２のピクセル
数として求まるが、カメラ１１の倍率により、１ピクセ
ル当たりの実寸法（ＸＹテーブル１６の移動量）は装置
の固有値であるので、ＸＹテーブル１６の移動量に換算
することができ、この換算の係数をｋｘ，ｋｙとする
と、実寸法ずれ量ｄｘ1 ，ｄｙ1 は数３で算出され、数
４によりパッドＰ1 の中心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）が算
出される。このｄｘ1 ，ｄｙ1 及び中心座標Ｐ
1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）は演算制御部３５によって算出し、中
心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）はパッドＰ1 のボンデイング
座標としてボンデイング座標メモリ３６に記憶される。
数として求まるが、カメラ１１の倍率により、１ピクセ
ル当たりの実寸法（ＸＹテーブル１６の移動量）は装置
の固有値であるので、ＸＹテーブル１６の移動量に換算
することができ、この換算の係数をｋｘ，ｋｙとする
と、実寸法ずれ量ｄｘ1 ，ｄｙ1 は数３で算出され、数
４によりパッドＰ1 の中心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）が算
出される。このｄｘ1 ，ｄｙ1 及び中心座標Ｐ
1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）は演算制御部３５によって算出し、中
心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）はパッドＰ1 のボンデイング
座標としてボンデイング座標メモリ３６に記憶される。
【数３】 ｄｘ1 ＝ｋｘ・Δｘ1 ｄｙ1 ＝ｋｙ・Δｙ1
【数４】 Ｘ1 ＝ｘ1 ＋ｄｘ1 Ｙ1 ＝ｙ1 ＋ｄｙ1
【００１７】次に手動入力手段４５によってＸＹテーブ
ル１６を移動させ、カメラ１１を第２番目のパッドＰ2
の真上に位置させ、その座標Ｐ2 （ｘ2 ，ｙ2 ）を演算
制御部３５に入力すると、前記パッドＰ1 の場合と同様
に画像処理して座標Ｐ2 （ｘ2 ，ｙ2 ）の実寸法ずれ量
ｄｘ2 ，ｄｙ2 及び中心座標Ｐ2 （Ｘ2 ，Ｙ2 ）が求ま
り、ボンデイング座標メモリ３６に記憶される。
ル１６を移動させ、カメラ１１を第２番目のパッドＰ2
の真上に位置させ、その座標Ｐ2 （ｘ2 ，ｙ2 ）を演算
制御部３５に入力すると、前記パッドＰ1 の場合と同様
に画像処理して座標Ｐ2 （ｘ2 ，ｙ2 ）の実寸法ずれ量
ｄｘ2 ，ｄｙ2 及び中心座標Ｐ2 （Ｘ2 ，Ｙ2 ）が求ま
り、ボンデイング座標メモリ３６に記憶される。
【００１８】次にパッドＰ3 ，Ｐ4 の中心座標Ｐ3 （Ｘ
3 ，Ｙ3 ）、中心座標Ｐ4 （Ｘ4 ，Ｙ4 ）の算出を行う
が、このパッドＰ3 以降の座標は入力しないでも自動的
に算出される。一般に、パッドＰ1 からＰ2 、Ｐ2 から
Ｐ3 、Ｐ3 からＰ4 の間隔は、大きく変化していない。
即ち、Ｐ2 からＰ3 までの距離は、（Ｘ2 −Ｘ1 ），
（Ｙ2 −Ｙ1 ）だけカメラ１１を中心座標Ｐ2 （Ｘ2 ，
Ｙ2 ）より移動させた時に、カメラ１１でパッドＰ3 を
撮像できる範囲の距離であればよい。またカメラ１１を
Ｐ3 に移動させる方向は、パッドＰ1 からＰ2 に向かう
方向であると演算制御部３５は判断して実行する。そこ
で、前記算出された中心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）、中心
座標Ｐ2 （Ｘ2 ，Ｙ2 ）により、数５によって座標Ｐ3
（ｘ3 ，ｙ3 ）を演算制御部３５が演算してＸ軸モータ
１２及びＹ軸モータ１３を駆動し、カメラ１１の中心軸
１１ａは座標Ｐ3 （ｘ3 ，ｙ3 ）に移動させられる。
3 ，Ｙ3 ）、中心座標Ｐ4 （Ｘ4 ，Ｙ4 ）の算出を行う
が、このパッドＰ3 以降の座標は入力しないでも自動的
に算出される。一般に、パッドＰ1 からＰ2 、Ｐ2 から
Ｐ3 、Ｐ3 からＰ4 の間隔は、大きく変化していない。
即ち、Ｐ2 からＰ3 までの距離は、（Ｘ2 −Ｘ1 ），
（Ｙ2 −Ｙ1 ）だけカメラ１１を中心座標Ｐ2 （Ｘ2 ，
Ｙ2 ）より移動させた時に、カメラ１１でパッドＰ3 を
撮像できる範囲の距離であればよい。またカメラ１１を
Ｐ3 に移動させる方向は、パッドＰ1 からＰ2 に向かう
方向であると演算制御部３５は判断して実行する。そこ
で、前記算出された中心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）、中心
座標Ｐ2 （Ｘ2 ，Ｙ2 ）により、数５によって座標Ｐ3
（ｘ3 ，ｙ3 ）を演算制御部３５が演算してＸ軸モータ
１２及びＹ軸モータ１３を駆動し、カメラ１１の中心軸
１１ａは座標Ｐ3 （ｘ3 ，ｙ3 ）に移動させられる。
【数５】 ｘ3 ＝Ｘ2 ＋（Ｘ2 −Ｘ1 ） ｙ3 ＝Ｙ2 ＋（Ｙ2 −Ｙ1 ） 次に前記と同様に画像処理してパッドＰ3 の実寸法ずれ
量ｄｘ3 ，ｄｙ3 及び中心座標Ｐ3 （Ｘ3 ，Ｙ3 ）が求
まり、ボンデイング座標メモリ３６に記憶される。次の
パッドＰ4 も前記パッドＰ3 と同様に処理されるので、
その説明は省略する。
量ｄｘ3 ，ｄｙ3 及び中心座標Ｐ3 （Ｘ3 ，Ｙ3 ）が求
まり、ボンデイング座標メモリ３６に記憶される。次の
パッドＰ4 も前記パッドＰ3 と同様に処理されるので、
その説明は省略する。
【００１９】一般化したｎ番目に進んでいく座標Ｐｎ
（ｘｎ，ｙｎ）は数６で表され、またｎ番目のずれ量を
Δｘｎ，Δｙｎとすると、実寸法ずれ量ｄｘｎ，ｄｙｎ
及びパッドＰｎの中心座標（Ｘｎ，Ｙｎ）は数７及び数
８で表される。
（ｘｎ，ｙｎ）は数６で表され、またｎ番目のずれ量を
Δｘｎ，Δｙｎとすると、実寸法ずれ量ｄｘｎ，ｄｙｎ
及びパッドＰｎの中心座標（Ｘｎ，Ｙｎ）は数７及び数
８で表される。
【数６】 ｘｎ＝Ｘｎー1 ＋（Ｘｎー1 −Ｘｎー2 ） ｙｎ＝Ｙｎー1 ＋（Ｙｎー1 −Ｙｎー2 ）
【数７】 ｄｘｎ＝ｋｘ・Δｘｎ ｄｙｎ＝ｋｙ・Δｙｎ
【数８】 Ｘｎ＝ｘｎ＋ｄｘｎ Ｙｎ＝ｙｎ＋ｄｙｎ
【００２０】次にパッドＰ5 〜Ｐ8 のティーチング方法
について説明する。この場合は、前記したパッドＰ1 〜
Ｐ4 のティーチング方法と同様に、パッドＰ5 とＰ6 の
座標Ｐ5 （ｘ5 ，ｙ5 ）、Ｐ6 （ｘ6 ，ｙ6 ）とパッド
Ｐ5 〜Ｐ8 の数を入力することにより、前記したパッド
Ｐ1 〜Ｐ4 の場合と同様に処理される。パッドＰ9 〜Ｐ
12、Ｐ13〜Ｐ16も同様であるので、その説明は省略す
る。
について説明する。この場合は、前記したパッドＰ1 〜
Ｐ4 のティーチング方法と同様に、パッドＰ5 とＰ6 の
座標Ｐ5 （ｘ5 ，ｙ5 ）、Ｐ6 （ｘ6 ，ｙ6 ）とパッド
Ｐ5 〜Ｐ8 の数を入力することにより、前記したパッド
Ｐ1 〜Ｐ4 の場合と同様に処理される。パッドＰ9 〜Ｐ
12、Ｐ13〜Ｐ16も同様であるので、その説明は省略す
る。
【００２１】このように、連続して並んだパッドは、第
１番目と第２番目のパッドをカメラ１１で撮像させてそ
の第１番目と第２番目のパッド座標を入力すれば、自動
的に各パッド中心が画像処理部２０で算出され、装置駆
動部３０でボンデイング座標が算出される。即ち、入力
する座標の数が少なくてよく、また画像のクロスライン
にパッド中心に合わせ込む操作を必要としないので、作
業時間が大幅に短縮されると共に、作業者のミスや個人
差などによる位置合わせ誤差がなく、ボンデイング座標
の位置精度が向上する。またテレビモニタ２５の分解能
は６μｍ／ピクセルであり、手動で位置合わせする場合
は、これより細かい位置の判断ができない。本実施例に
おいては、サブピクセル演算が可能であるので、１／３
２ピクセルの検出精度があり、外乱の要因を含めても１
／４ピクセル、即ち１．５μｍの精度が得られる。
１番目と第２番目のパッドをカメラ１１で撮像させてそ
の第１番目と第２番目のパッド座標を入力すれば、自動
的に各パッド中心が画像処理部２０で算出され、装置駆
動部３０でボンデイング座標が算出される。即ち、入力
する座標の数が少なくてよく、また画像のクロスライン
にパッド中心に合わせ込む操作を必要としないので、作
業時間が大幅に短縮されると共に、作業者のミスや個人
差などによる位置合わせ誤差がなく、ボンデイング座標
の位置精度が向上する。またテレビモニタ２５の分解能
は６μｍ／ピクセルであり、手動で位置合わせする場合
は、これより細かい位置の判断ができない。本実施例に
おいては、サブピクセル演算が可能であるので、１／３
２ピクセルの検出精度があり、外乱の要因を含めても１
／４ピクセル、即ち１．５μｍの精度が得られる。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、第１番目と第２番目の
パッドのパッド座標を入力すれば、自動的に各パッド中
心が画像処理部で算出され、装置駆動部でボンデイング
座標が算出されるので、作業時間の短縮及び位置合わせ
精度の向上が図れる。
パッドのパッド座標を入力すれば、自動的に各パッド中
心が画像処理部で算出され、装置駆動部でボンデイング
座標が算出されるので、作業時間の短縮及び位置合わせ
精度の向上が図れる。
【図１】本発明になるティーチング方法に用いる制御回
路部の一実施例を示すブロック図である。
路部の一実施例を示すブロック図である。
【図２】本発明になるティーチング方法の一実施例を示
すフローチャート図である。
すフローチャート図である。
【図３】テレビモニタの画像の１例を示す図である。
【図４】図５に示す半導体チップの拡大平面図である。
【図５】試料の１例を示す平面図である。
【図６】ワイヤボンデイング装置の１例を示す斜視図で
ある。
ある。
１ リードフレーム ２ 半導体チップ ３ 試料 １０ ワイヤボンデイング装置 １１ カメラ １５ キャピラリ １６ ＸＹテーブル ２０ 画像処理部 ２４ 演算制御部 ３０ 装置駆動部 ３５ 演算制御部 ３６ ボンデイング座標メモリ ４５ 手動入力手段 Ｐ1 乃至Ｐ16 パッド
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１１月２５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の方法は、リードフレームに半導体チップが付
着された試料にワイヤボンデイングするキャピラリと、
このキャピラリとオフセットして配設されたカメラと、
キャピラリ及びカメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹ
テーブルとを備えたワイヤボンデイング装置におけるボ
ンデイング座標のティーチング方法において、第１番目
及び第２番目のパッドのティーチングは、手動入力手段
によってカメラをパッドの真上に移動させて第１番目及
び第２番目のパッドのボンデイング座標位置を入力する
ことにより、カメラで撮像した第１番目及び第２番目の
パッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算制御部で
算出し、前記手動入力した第１番目及び第２番目のボン
デイング座標を装置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ
量分補正して新たなボンデイング座標としてボンデイン
グ座標メモリに記憶し、第３番目以降のパッドのティー
チングは、検出するパッドの前とその前の２つの新たな
ボンデイング座標の差を装置駆動部の演算制御部が算出
してカメラをその差だけの座標に移動させ、カメラで撮
像した該パッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算
制御部で算出し、前記カメラが移動させられた座標を装
置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ量分補正して新た
なボンデイング座標としてボンデイング座標メモリに記
憶することを特徴とする。
の本発明の方法は、リードフレームに半導体チップが付
着された試料にワイヤボンデイングするキャピラリと、
このキャピラリとオフセットして配設されたカメラと、
キャピラリ及びカメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹ
テーブルとを備えたワイヤボンデイング装置におけるボ
ンデイング座標のティーチング方法において、第１番目
及び第２番目のパッドのティーチングは、手動入力手段
によってカメラをパッドの真上に移動させて第１番目及
び第２番目のパッドのボンデイング座標位置を入力する
ことにより、カメラで撮像した第１番目及び第２番目の
パッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算制御部で
算出し、前記手動入力した第１番目及び第２番目のボン
デイング座標を装置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ
量分補正して新たなボンデイング座標としてボンデイン
グ座標メモリに記憶し、第３番目以降のパッドのティー
チングは、検出するパッドの前とその前の２つの新たな
ボンデイング座標の差を装置駆動部の演算制御部が算出
してカメラをその差だけの座標に移動させ、カメラで撮
像した該パッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算
制御部で算出し、前記カメラが移動させられた座標を装
置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ量分補正して新た
なボンデイング座標としてボンデイング座標メモリに記
憶することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】上記目的を達成するための本発明の装置
は、リードフレームに半導体チップが付着された試料に
ワイヤボンデイングするキャピラリと、このキャピラリ
とオフセットして配設されたカメラと、キャピラリ及び
カメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹテーブルとを備
えたワイヤボンデイング装置において、前記カメラで撮
像した画像を処理して該画像の中心ずれ量を算出する画
像処理部の演算制御部と、手動入力手段によってカメラ
をパッドの真上に移動させて第１番目及び第２番目のパ
ッドのボンデイング座標位置を入力することにより、第
１番目及び第２番目のパッドは、画像処理部の演算制御
部で算出された中心ずれ量によって前記入力したボンデ
イング座標を補正して新たなボンデイング座標とし、第
３番目以降のパッドは、該パッドの前とその前の２つの
新たなボンデイング座標の差を算出してカメラをその差
分移動させ、画像処理部の演算制御部で算出した中心ず
れ量によって、前記移動させたカメラの座標を補正して
新たなボンデイング座標とする装置駆動部の演算制御部
と、前記新たなボンデイング座標を記憶するボンデイン
グ座標メモリとを備えたことを特徴とする。
は、リードフレームに半導体チップが付着された試料に
ワイヤボンデイングするキャピラリと、このキャピラリ
とオフセットして配設されたカメラと、キャピラリ及び
カメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹテーブルとを備
えたワイヤボンデイング装置において、前記カメラで撮
像した画像を処理して該画像の中心ずれ量を算出する画
像処理部の演算制御部と、手動入力手段によってカメラ
をパッドの真上に移動させて第１番目及び第２番目のパ
ッドのボンデイング座標位置を入力することにより、第
１番目及び第２番目のパッドは、画像処理部の演算制御
部で算出された中心ずれ量によって前記入力したボンデ
イング座標を補正して新たなボンデイング座標とし、第
３番目以降のパッドは、該パッドの前とその前の２つの
新たなボンデイング座標の差を算出してカメラをその差
分移動させ、画像処理部の演算制御部で算出した中心ず
れ量によって、前記移動させたカメラの座標を補正して
新たなボンデイング座標とする装置駆動部の演算制御部
と、前記新たなボンデイング座標を記憶するボンデイン
グ座標メモリとを備えたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【作用】第１番目及び第２番目のパッドは、手動入力手
段を用いてカメラをパッドの真上に移動させ、その座標
を入力する。これにより、第１番目及び第２番目のパッ
ドの中心ずれ量は、画像処理部の演算制御部で算出され
る。装置駆動部の演算制御部は、前記中心ずれ量により
前記手動入力した座標を補正し、第１番目及び第２番目
のパッドのそれぞれの新たなボンデイング座標としてボ
ンデイング座標メモリに記憶させる。第３番目以降のパ
ッドについては、手動入力する必要はなく、検出するパ
ッドの前とその前の２つの新たなボンデイング座標を用
いて装置駆動部の演算制御部が自動的に処理する。即
ち、前記２つの新たなボンデイング座標の差だけカメラ
を移動させ、該パッドの中心ずれ量を画像処理部の演算
制御部が算出すると、この中心ずれ量によって前記カメ
ラが移動した座標を補正して新たなボンデイング座標と
してボンデイング座標メモリに記憶させる。
段を用いてカメラをパッドの真上に移動させ、その座標
を入力する。これにより、第１番目及び第２番目のパッ
ドの中心ずれ量は、画像処理部の演算制御部で算出され
る。装置駆動部の演算制御部は、前記中心ずれ量により
前記手動入力した座標を補正し、第１番目及び第２番目
のパッドのそれぞれの新たなボンデイング座標としてボ
ンデイング座標メモリに記憶させる。第３番目以降のパ
ッドについては、手動入力する必要はなく、検出するパ
ッドの前とその前の２つの新たなボンデイング座標を用
いて装置駆動部の演算制御部が自動的に処理する。即
ち、前記２つの新たなボンデイング座標の差だけカメラ
を移動させ、該パッドの中心ずれ量を画像処理部の演算
制御部が算出すると、この中心ずれ量によって前記カメ
ラが移動した座標を補正して新たなボンデイング座標と
してボンデイング座標メモリに記憶させる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】まず、パッドＰ1 〜Ｐ4 のティーチング方
法を図２を参照しながら説明する。パッドＰ1 〜Ｐ4 の
数、即ち４を手動入力手段４５によって演算制御部３５
に入力する。次に手動入力手段４５によってＸＹテーブ
ル１６を移動させ、カメラ１１を第１番目のパッドＰ1
の真上に位置させ、その座標Ｐ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）を演算
制御部３５に入力する。これにより、カメラ１１によっ
てパッドＰ1 が撮像される。この撮像された映像は、画
像入力手段２１によってデジタル信号に変換されて画像
メモリ２２に記憶される。この画像メモリ２２に記憶さ
れた画像形状は、演算制御部２４によって画像処理さ
れ、パッドＰ1 の中心ずれ量を算出する。
法を図２を参照しながら説明する。パッドＰ1 〜Ｐ4 の
数、即ち４を手動入力手段４５によって演算制御部３５
に入力する。次に手動入力手段４５によってＸＹテーブ
ル１６を移動させ、カメラ１１を第１番目のパッドＰ1
の真上に位置させ、その座標Ｐ1 （ｘ1 ，ｙ1 ）を演算
制御部３５に入力する。これにより、カメラ１１によっ
てパッドＰ1 が撮像される。この撮像された映像は、画
像入力手段２１によってデジタル信号に変換されて画像
メモリ２２に記憶される。この画像メモリ２２に記憶さ
れた画像形状は、演算制御部２４によって画像処理さ
れ、パッドＰ1 の中心ずれ量を算出する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】図３において、カメラ１１の中心軸１１
ａ、即ち手動入力した座標Ｐ1 （ｘ1，ｙ1 ）と画像の
中心が一致しているものとし、画像の中心を原点（０，
０）とした時、演算制御部２４はｅ1 乃至ｅ4 を算出
し、パッドＰ1 の中心までのずれ量Δｘ1 ，Δｙ1 を数
２で算出する。
ａ、即ち手動入力した座標Ｐ1 （ｘ1，ｙ1 ）と画像の
中心が一致しているものとし、画像の中心を原点（０，
０）とした時、演算制御部２４はｅ1 乃至ｅ4 を算出
し、パッドＰ1 の中心までのずれ量Δｘ1 ，Δｙ1 を数
２で算出する。
【数２】Δｘ1 ＝（ｅ1 ＋ｅ2 ）／２ Δｙ1 ＝（ｅ3 ＋ｅ4 ）／２ このずれ量Δｘ1 ，Δｙ1 は画像メモリ２２のピクセル
数として求まるが、カメラ１１の倍率により、１ピクセ
ル当たりの実寸法（ＸＹテーブル１６の移動量）は装置
の固有値（カメラ１１、画像処理部２０、画像入力手段
２１によって決まる）であるので、ＸＹテーブル１６の
移動量に換算することができ、この換算の係数をｋｘ，
ｋｙとすると、実寸法ずれ量ｄｘ1 ，ｄｙ1 は数３で算
出され、数４によりパッドＰ1 の中心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，
Ｙ1 ）が算出される。このｄｘ1，ｄｙ1 及び中心座標
Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）は演算制御部３５によって算出し、
中心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）はパッドＰ1 のボンデイン
グ座標としてボンデイング座標メモリ３６に記憶され
る。
数として求まるが、カメラ１１の倍率により、１ピクセ
ル当たりの実寸法（ＸＹテーブル１６の移動量）は装置
の固有値（カメラ１１、画像処理部２０、画像入力手段
２１によって決まる）であるので、ＸＹテーブル１６の
移動量に換算することができ、この換算の係数をｋｘ，
ｋｙとすると、実寸法ずれ量ｄｘ1 ，ｄｙ1 は数３で算
出され、数４によりパッドＰ1 の中心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，
Ｙ1 ）が算出される。このｄｘ1，ｄｙ1 及び中心座標
Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）は演算制御部３５によって算出し、
中心座標Ｐ1 （Ｘ1 ，Ｙ1 ）はパッドＰ1 のボンデイン
グ座標としてボンデイング座標メモリ３６に記憶され
る。
【数３】 ｄｘ1 ＝ｋｘ・Δｘ1 ｄｙ1 ＝ｋｙ・Δｙ1
【数４】 Ｘ1 ＝ｘ1 ＋ｄｘ1 Ｙ1 ＝ｙ1 ＋ｄｙ1
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
Claims (2)
- 【請求項１】 リードフレームに半導体チップが付着さ
れた試料にワイヤボンデイングするキャピラリと、この
キャピラリとオフセットして配設されたカメラと、キャ
ピラリ及びカメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹテー
ブルとを備えたワイヤボンデイング装置におけるボンデ
イング座標のティーチング方法において、第１番目及び
第２番目のパッドのティーチングは、手動入力手段によ
ってボンデイング座標を入力してカメラをパッドの真上
に移動させ、カメラで撮像した第１番目及び第２番目の
パッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算制御部で
算出し、前記手動入力した第１番目及び第２番目のボン
デイング座標を装置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ
量分補正して新たなボンデイング座標としてボンデイン
グ座標メモリに記憶し、第３番目以降のパッドのティー
チングは、検出するパッドの前とその前の２つの新たな
ボンデイング座標の差を装置駆動部の演算制御部が算出
してカメラをその差だけの座標に移動させ、カメラで撮
像した該パッドの画像の中心ずれ量を画像処理部の演算
制御部で算出し、前記カメラが移動させられた座標を装
置駆動部の演算制御部で前記中心ずれ量分補正して新た
なボンデイング座標としてボンデイング座標メモリに記
憶することを特徴とするボンデイング座標のティーチン
グ方法。 - 【請求項２】 リードフレームに半導体チップが付着さ
れた試料にワイヤボンデイングするキャピラリと、この
キャピラリとオフセットして配設されたカメラと、キャ
ピラリ及びカメラを共にＸＹ軸方向に駆動するＸＹテー
ブルとを備えたワイヤボンデイング装置において、前記
カメラで撮像した画像を処理して該画像の中心ずれ量を
算出する画像処理部の演算制御部と、手動入力手段によ
ってカメラをパッドの真上に移動させて第１番目及び第
２番目のパッドのボンデイング座標を入力することによ
り、第１番目及び第２番目のパッドは、画像処理部の演
算制御部で算出された中心ずれ量によって前記入力した
ボンデイング座標を補正して新たなボンデイング座標と
し、第３番目以降のパッドは、該パッドの前とその前の
２つの新たなボンデイング座標の差を算出してカメラを
その差分移動させ、画像処理部の演算制御部で算出した
中心ずれ量によって、前記移動させたカメラの座標を補
正して新たなボンデイング座標とする装置駆動部の演算
制御部と、前記新たなボンデイング座標を記憶するボン
デイング座標メモリとを備えたことを特徴とするボンデ
イング座標のティーチング手段。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5311027A JP3020191B2 (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | ボンデイング座標のティーチング方法及びティーチング手段 |
| KR1019940028984A KR0148285B1 (ko) | 1993-11-18 | 1994-11-05 | 본딩좌표의 티이칭방법 및 티이칭수단 |
| US08/342,426 US5583756A (en) | 1993-11-18 | 1994-11-18 | Teaching method and teaching system for a bonding coordinate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5311027A JP3020191B2 (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | ボンデイング座標のティーチング方法及びティーチング手段 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07142530A true JPH07142530A (ja) | 1995-06-02 |
| JP3020191B2 JP3020191B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=18012235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5311027A Expired - Fee Related JP3020191B2 (ja) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | ボンデイング座標のティーチング方法及びティーチング手段 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5583756A (ja) |
| JP (1) | JP3020191B2 (ja) |
| KR (1) | KR0148285B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100321173B1 (ko) * | 1999-10-25 | 2002-03-18 | 박종섭 | 와이어 본딩장치의 본딩 좌표 예측 및 그 자동 훈련방법 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11191568A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Shinkawa Ltd | ワイヤボンディング方法及び装置 |
| JP2982000B1 (ja) * | 1998-07-03 | 1999-11-22 | 株式会社新川 | ボンディング方法及びその装置 |
| JP2002221404A (ja) * | 2001-01-26 | 2002-08-09 | Shinkawa Ltd | 画像処理方法および装置 |
| JP4247299B1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-04-02 | 株式会社新川 | ボンディング装置及びボンディング方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS533165A (en) * | 1976-06-30 | 1978-01-12 | Toshiba Corp | Wire bonding apparatus |
| US4253111A (en) * | 1978-09-25 | 1981-02-24 | Gca Corporation | Apparatus for bonding leads to semiconductor chips |
| US4669866A (en) * | 1985-01-28 | 1987-06-02 | Phillips Edward H | Step-and-repeat alignment and exposure system and method therefore |
| JPH0793400B2 (ja) * | 1990-03-06 | 1995-10-09 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
| US5113565A (en) * | 1990-07-06 | 1992-05-19 | International Business Machines Corp. | Apparatus and method for inspection and alignment of semiconductor chips and conductive lead frames |
| JP2896222B2 (ja) * | 1990-11-13 | 1999-05-31 | 株式会社東芝 | ワイヤボンディング方法および同装置 |
| JP2598192B2 (ja) * | 1991-12-06 | 1997-04-09 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置 |
| JP2914850B2 (ja) * | 1993-07-16 | 1999-07-05 | 株式会社カイジョー | ワイヤボンディング装置及びその方法 |
| JP2992427B2 (ja) * | 1993-07-16 | 1999-12-20 | 株式会社カイジョー | ワイヤボンディング装置及びその方法 |
-
1993
- 1993-11-18 JP JP5311027A patent/JP3020191B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-11-05 KR KR1019940028984A patent/KR0148285B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-11-18 US US08/342,426 patent/US5583756A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100321173B1 (ko) * | 1999-10-25 | 2002-03-18 | 박종섭 | 와이어 본딩장치의 본딩 좌표 예측 및 그 자동 훈련방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR950015678A (ko) | 1995-06-17 |
| JP3020191B2 (ja) | 2000-03-15 |
| US5583756A (en) | 1996-12-10 |
| KR0148285B1 (ko) | 1998-12-01 |
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