JP3515162B2 - 観察装置 - Google Patents
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- JP3515162B2 JP3515162B2 JP05816294A JP5816294A JP3515162B2 JP 3515162 B2 JP3515162 B2 JP 3515162B2 JP 05816294 A JP05816294 A JP 05816294A JP 5816294 A JP5816294 A JP 5816294A JP 3515162 B2 JP3515162 B2 JP 3515162B2
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/245—Devices for focusing using auxiliary sources, detectors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/02—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
- G02B26/04—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light by periodically varying the intensity of light, e.g. using choppers
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、顕微鏡の観察装置に係
り、さらに詳しく述べると観察等の際に使用されるオー
トフォーカスに関する。
り、さらに詳しく述べると観察等の際に使用されるオー
トフォーカスに関する。
【０００２】
【従来の技術】光を利用したオートフォーカスとして
は、次の２つの方法が知られている。
は、次の２つの方法が知られている。
【０００３】一つは対象物に模様がある場合に用いられ
るパッシブ・オートフォーカスといわれるものであり、
太陽光等の自然照明や顕微鏡の観察光源等による照明で
得られる対象物に対して、光検出器によりコントラスト
が最大とする点を探す、あるいは三角測距する方法であ
る。
るパッシブ・オートフォーカスといわれるものであり、
太陽光等の自然照明や顕微鏡の観察光源等による照明で
得られる対象物に対して、光検出器によりコントラスト
が最大とする点を探す、あるいは三角測距する方法であ
る。
【０００４】もう一つは対象物に模様がない、例えば鏡
のようなものの場合に用いられるアクティブ・オートフ
ォーカスといわれるものであり、対象物に対して模様を
投影したり、あるいは測定光を投射して、その反射光を
光検出器により検出する方法である。
のようなものの場合に用いられるアクティブ・オートフ
ォーカスといわれるものであり、対象物に対して模様を
投影したり、あるいは測定光を投射して、その反射光を
光検出器により検出する方法である。
【０００５】従来、この後者のアクティブ・オートフォ
ーカスを顕微鏡等に採用する場合には、自然照明光や照
明光とオートフォーカス用の光との分離を容易にするた
め、あるいは投影された模様が観察者に認知される不都
合を避けるため、対象物に投射する光束としては近赤外
光等の不可視光が使用されていた。
ーカスを顕微鏡等に採用する場合には、自然照明光や照
明光とオートフォーカス用の光との分離を容易にするた
め、あるいは投影された模様が観察者に認知される不都
合を避けるため、対象物に投射する光束としては近赤外
光等の不可視光が使用されていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように不可視光を投射光として利用する方式の場合、一
般の汎用品の装置は可視領域の波長を対象にして光学設
計されているため、これらの装置にオートフォーカス機
能を付加しようとするときは、オートフォーカス光源の
波長に合わせて光学系の大幅な改造が必要であり、改造
コストが高くなるという問題があった。
ように不可視光を投射光として利用する方式の場合、一
般の汎用品の装置は可視領域の波長を対象にして光学設
計されているため、これらの装置にオートフォーカス機
能を付加しようとするときは、オートフォーカス光源の
波長に合わせて光学系の大幅な改造が必要であり、改造
コストが高くなるという問題があった。
【０００７】また、改造コストを抑えようとすると、装
置が本来有する光学性能を損なう恐れがあるという問題
もあった。
置が本来有する光学性能を損なう恐れがあるという問題
もあった。
【０００８】本発明は上記従来技術の欠点に鑑み案出さ
れたものであり、本発明の目的は、装置が有する光学性
能を損なうことなく、顕微鏡等の既成光学製品の光学部
材に変更を加えることなく、正確にオートフォーカスで
きる観察装置を提供することにある。
れたものであり、本発明の目的は、装置が有する光学性
能を損なうことなく、顕微鏡等の既成光学製品の光学部
材に変更を加えることなく、正確にオートフォーカスで
きる観察装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は次のような構成を持つことを特徴とする。
に本発明は次のような構成を持つことを特徴とする。
【０００９】（１） 観察対象物を可視光にて照明する
照明光学系と、該照明光学系による照明視野にある対象
物を観察する観察光学系とを具備した観察装置におい
て、前記照明光学系の照明光束の波長と少なくても一部
を共通にする波長の投影光束を持ちフォーカス指標を投
影する指標投影光学系と、該指標投影光学系による指標
の投影を検査者の残像が生じない時間断続的に行う指標
光束制限手段と、前記照明光学系による照明を指標投影
が行われない時間断続的に行い、かつ照明が行われない
時間が検査者に認知されない時間に制限する照明光束制
限手段と、前記対象物に投影されたフォーカス指標の像
を検出する検出手段と、該検出手段による検出結果に基
づいてフォーカス指標に対する前記対象物との相対的距
離を変える距離変更手段と、を有することを特徴とす
る。
照明光学系と、該照明光学系による照明視野にある対象
物を観察する観察光学系とを具備した観察装置におい
て、前記照明光学系の照明光束の波長と少なくても一部
を共通にする波長の投影光束を持ちフォーカス指標を投
影する指標投影光学系と、該指標投影光学系による指標
の投影を検査者の残像が生じない時間断続的に行う指標
光束制限手段と、前記照明光学系による照明を指標投影
が行われない時間断続的に行い、かつ照明が行われない
時間が検査者に認知されない時間に制限する照明光束制
限手段と、前記対象物に投影されたフォーカス指標の像
を検出する検出手段と、該検出手段による検出結果に基
づいてフォーカス指標に対する前記対象物との相対的距
離を変える距離変更手段と、を有することを特徴とす
る。
【００１０】（２） （１）の指標光束制限手段は指標
板の対象物側に配置されたシャッタを有することを特徴
とする。
板の対象物側に配置されたシャッタを有することを特徴
とする。
【００１１】（３） （１）の指標光束制限手段は指標
光源を点滅制御する制御手段を有することを特徴とす
る。
光源を点滅制御する制御手段を有することを特徴とす
る。
【００１２】（４） （１）の指標投影光学系の中心光
束は前記検出手段の検出光軸に対して所定の角度を有
し、前記検出手段はフォーカス指標の位置を検出するこ
とを特徴とする。
束は前記検出手段の検出光軸に対して所定の角度を有
し、前記検出手段はフォーカス指標の位置を検出するこ
とを特徴とする。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を一般顕微鏡に適用した一実施
例を図面に基づいて説明する。
例を図面に基づいて説明する。
【００１３】［光学系］図１は実施例の装置の光学配置
略図であり、フォーカス検出系、照明系、観察系に分け
て説明する。
略図であり、フォーカス検出系、照明系、観察系に分け
て説明する。
【００１４】（フォーカス検出系）１は白色光を発する
ハロゲンランプ等の有フィラメントの指標投影用光源で
あり、光源１からの光束はコンデンサレンズ２、凹レン
ズ３を介してスリット４を照明する。コンデンサレンズ
２の光軸Ｌ１は、凹レンズ３の光軸Ｌ２に対し所定の角
度に傾けられている。スリット４の光束が後述する受光
素子面上に入射しやすいように、傾き角度を小さくする
ためのものである。
ハロゲンランプ等の有フィラメントの指標投影用光源で
あり、光源１からの光束はコンデンサレンズ２、凹レン
ズ３を介してスリット４を照明する。コンデンサレンズ
２の光軸Ｌ１は、凹レンズ３の光軸Ｌ２に対し所定の角
度に傾けられている。スリット４の光束が後述する受光
素子面上に入射しやすいように、傾き角度を小さくする
ためのものである。
【００１５】５は指標光束を断続的に遮蔽する円盤状の
シャッタであり、モータ６により駆動される。シャッタ
５は、図２に示すように同一円周上に４つの開口部５ａ
を持っている。５ｂは開口部の位置検出のためのインデ
ックス用永久磁石を示しており、開口部５ａの各位置に
対応するようにシャッタ５の周上に埋設されている。７
は磁気ヘッドであり、シャッタ５の回転によりインデッ
クス用永久磁石５ｂが所定位置に来たことを検出する。
シャッタであり、モータ６により駆動される。シャッタ
５は、図２に示すように同一円周上に４つの開口部５ａ
を持っている。５ｂは開口部の位置検出のためのインデ
ックス用永久磁石を示しており、開口部５ａの各位置に
対応するようにシャッタ５の周上に埋設されている。７
は磁気ヘッドであり、シャッタ５の回転によりインデッ
クス用永久磁石５ｂが所定位置に来たことを検出する。
【００１６】シャッタ５の開口部を通過したスリット光
束は第１ハーフミラ８で反射され、後述する観察系のプ
リズム９、第２ハーフミラー１０を介し、対物レンズ１
１上に光源像を作った後、観察対象物１２にスリット像
を形成する。
束は第１ハーフミラ８で反射され、後述する観察系のプ
リズム９、第２ハーフミラー１０を介し、対物レンズ１
１上に光源像を作った後、観察対象物１２にスリット像
を形成する。
【００１７】スリット光束は対物レンズ１１により、第
２ハーフミラー１０、プリズム９及び第１ハーフミラー
８を介して、スリット４と共役な位置に配置される半導
体位置検出素子（以下ＰＳＤという）１３上にスリット
像を結像する。ＰＳＤ１３上のスリット像は、光軸Ｌ１
が光軸Ｌ２に対し傾けられているので、観察対象物１２
の距離により図３に示すようにその位置が変化する。Ｐ
ＳＤ１３はこのスリット像の光の重心位置により、図３
上の出力１側と出力２側での電圧差を得て、観察対象物
１２のフォーカス距離と方向を検出する。
２ハーフミラー１０、プリズム９及び第１ハーフミラー
８を介して、スリット４と共役な位置に配置される半導
体位置検出素子（以下ＰＳＤという）１３上にスリット
像を結像する。ＰＳＤ１３上のスリット像は、光軸Ｌ１
が光軸Ｌ２に対し傾けられているので、観察対象物１２
の距離により図３に示すようにその位置が変化する。Ｐ
ＳＤ１３はこのスリット像の光の重心位置により、図３
上の出力１側と出力２側での電圧差を得て、観察対象物
１２のフォーカス距離と方向を検出する。
【００１８】（照明系）２０は光源１と同様のハロゲン
ランプ等の観察用光源であり、２１はコンデンサレン
ズ、２２は開口絞りである。２３はシャッタ５と開口部
の大きさが異なるシャッタであり、シャッタ２３はモー
タ２４により回転されて照明光を断続的に遮断する。シ
ャッタ２３には図４に示すように４つの開口部２３ａ
と、位置検出のためのインデックス用永久磁石２３ｂが
ある。
ランプ等の観察用光源であり、２１はコンデンサレン
ズ、２２は開口絞りである。２３はシャッタ５と開口部
の大きさが異なるシャッタであり、シャッタ２３はモー
タ２４により回転されて照明光を断続的に遮断する。シ
ャッタ２３には図４に示すように４つの開口部２３ａ
と、位置検出のためのインデックス用永久磁石２３ｂが
ある。
【００１９】２５はシャッタ２３のインデックス用永久
磁石２３ｂを検知する磁気ヘッドである。シャッタ２３
の開口部２３ａを通過した照明光束は第２ハーフミラー
１０で反射され、対物レンズ１１を介して観察対象物１
２を照明する。
磁石２３ｂを検知する磁気ヘッドである。シャッタ２３
の開口部２３ａを通過した照明光束は第２ハーフミラー
１０で反射され、対物レンズ１１を介して観察対象物１
２を照明する。
【００２０】（観察系）３０は接眼レンズであり、プリ
ズム９及び対物レンズ１１とともに顕微鏡の観察系を構
成し、観察眼３１は接眼レンズ３０を介して照明系によ
り照明された観察対象物１２を観察する。
ズム９及び対物レンズ１１とともに顕微鏡の観察系を構
成し、観察眼３１は接眼レンズ３０を介して照明系によ
り照明された観察対象物１２を観察する。
【００２１】［制御系］図５は上記光学系の要部電気系
ブロック図であり、シャッタ５とシャッタ２３の回転を
制御するためのフェイズドロックドループ回路系（以
下、ＰＬＬ回路という）と指標検出処理系に分けて説明
する。
ブロック図であり、シャッタ５とシャッタ２３の回転を
制御するためのフェイズドロックドループ回路系（以
下、ＰＬＬ回路という）と指標検出処理系に分けて説明
する。
【００２２】（フェイズドロックドループ回路系）磁気
ヘッド７はインデックス用永久磁石５ｂが所定位置にく
ると、微分波形上のパルス信号を発生する。パルス信号
は波形整形回路４０ａで波形整形された後位相比較４１
ａに送られる。
ヘッド７はインデックス用永久磁石５ｂが所定位置にく
ると、微分波形上のパルス信号を発生する。パルス信号
は波形整形回路４０ａで波形整形された後位相比較４１
ａに送られる。
【００２３】位相比較４１ａは、このパルス信号と基準
周波数を発生する発振器４２の出力信号を比較し、差が
あればその差の負号と幅をチャージポンプ４３ａに与え
る。チャージポンプ４３ａは与えられた差の符号付きパ
ルスを積分し、モータ６の速度制御信号としてドライバ
４４ａに信号を送る。
周波数を発生する発振器４２の出力信号を比較し、差が
あればその差の負号と幅をチャージポンプ４３ａに与え
る。チャージポンプ４３ａは与えられた差の符号付きパ
ルスを積分し、モータ６の速度制御信号としてドライバ
４４ａに信号を送る。
【００２４】同様に、磁気ヘッド２５からのパルス信号
は、波形整形回路４０ｂで波形整形された後、位相比較
４１ｂで発振器４２の基準周波数と比較される。比較結
果に基づいてチャージポンプ４３ａはモータ２４の速度
制御信号をドライバ４４ｂに送る。
は、波形整形回路４０ｂで波形整形された後、位相比較
４１ｂで発振器４２の基準周波数と比較される。比較結
果に基づいてチャージポンプ４３ａはモータ２４の速度
制御信号をドライバ４４ｂに送る。
【００２５】４５は各シャッタを通過する光束の通過期
間Ｔ1 〜Ｔ4 （図６参照）を作るカウンタであり、各シ
ャッタを通過する光束のタイミングを指標検出系に伝
え、受光処理するタイミングを与える回路である。
間Ｔ1 〜Ｔ4 （図６参照）を作るカウンタであり、各シ
ャッタを通過する光束のタイミングを指標検出系に伝
え、受光処理するタイミングを与える回路である。
【００２６】（指標検出処理系）４６はＰＳＤ１３の出
力１と出力２からの電圧信号を検出処理する位置検出ア
ンプである。４７はカウンタ４５により付与されるＴ1
のタイミングで位置検出アンプ４６の出力をサンプリン
グするサンプルホールド回路であり、４８はサンプルホ
ールド回路４７でサンプリングされた結果に基づいて観
察対象物１２を光軸方向のフォーカス位置に移動させる
オートフォーカスサーボ機構である。
力１と出力２からの電圧信号を検出処理する位置検出ア
ンプである。４７はカウンタ４５により付与されるＴ1
のタイミングで位置検出アンプ４６の出力をサンプリン
グするサンプルホールド回路であり、４８はサンプルホ
ールド回路４７でサンプリングされた結果に基づいて観
察対象物１２を光軸方向のフォーカス位置に移動させる
オートフォーカスサーボ機構である。
【００２７】［動作］以上のような構成の装置におい
て、その動作をオートフォーカスに関係する部分を中心
に説明する。
て、その動作をオートフォーカスに関係する部分を中心
に説明する。
【００２８】観察者は観察対象物１２を不図示の載置台
に載せ、観察用光源２０を点灯させ目的部位を観察視野
内に移動する。次に、不図示の操作スイッチを押してオ
ートフォーカス機構を作動させる、指標投影用光源１と
モータ６及びモータ２４を駆動する。
に載せ、観察用光源２０を点灯させ目的部位を観察視野
内に移動する。次に、不図示の操作スイッチを押してオ
ートフォーカス機構を作動させる、指標投影用光源１と
モータ６及びモータ２４を駆動する。
【００２９】磁気ヘッド７，２５はインデックス用永久
磁石５ｂ，２３ｂを検出し、検出信号は位相比較４１
ａ，４１ｂにより発振器４２の基準信号と比較され、比
較信号に基づいてモータ６とモータ２４の回転速度が制
御され、両者は同期して回転する。
磁石５ｂ，２３ｂを検出し、検出信号は位相比較４１
ａ，４１ｂにより発振器４２の基準信号と比較され、比
較信号に基づいてモータ６とモータ２４の回転速度が制
御され、両者は同期して回転する。
【００３０】指標投影用光源１及び観察用光源２０から
の光束は、シャッタ５及びシャッタ２３により断続的に
遮られる。波形整形回路４０ａ，４０ｂにより図６の
（ａ）の波形整形信号が得られたとすると、指標投影用
光源１からの光束がシャッタ５を通過するタイミング信
号は（ｂ）、観察用光源からの光束がシャッタ２３を通
過するタイミング信号は（ｃ）とそれぞれ表される。第
２ハーフミラー１０により合成され測定対象物１２に照
射されるときの両光束の合成信号は（ｄ）となる。Ｔ1
はシャッタ５を指標光束が通過する時間、Ｔ2 はシャッ
タ２３を通過する時間、Ｔ3 は指標光束が遮断されてか
ら観察光束が通過を始めるまでの時間、Ｔ4 は観察光束
が遮断されてから指標光束が通過を始めるまでの時間
を、それぞれ示している。指標光束のシャッタ５を通過
する時間（Ｔ1 ）は、観察用光束のシャッタ２３を通過
する時間（Ｔ2 ）に対し、人眼による残像が無視できる
程度に十分短く設定され、観察眼３１にはスリット像は
認識されない。Ｔ1 〜Ｔ4 の時間は、モータ６（及びモ
ータ２４）の回転速度，シャッタの開口部５ａ，２３ａ
の大きさ、及びインデックス用永久磁石５ｂ，２３ｂの
位置から決定される。なお、実施例では、ＰＳＤ１３の
処理速度が遅いことや、サンプルホールド４７のアクイ
ジションタイムを考慮してＴ3 を設け、ＰＳＤ１３のデ
ィスチャージを行うためにＴ4 を設けているが、各々の
素子の応答時間によってはＴ3 、Ｔ4 の時間は容易に変
更できる。
の光束は、シャッタ５及びシャッタ２３により断続的に
遮られる。波形整形回路４０ａ，４０ｂにより図６の
（ａ）の波形整形信号が得られたとすると、指標投影用
光源１からの光束がシャッタ５を通過するタイミング信
号は（ｂ）、観察用光源からの光束がシャッタ２３を通
過するタイミング信号は（ｃ）とそれぞれ表される。第
２ハーフミラー１０により合成され測定対象物１２に照
射されるときの両光束の合成信号は（ｄ）となる。Ｔ1
はシャッタ５を指標光束が通過する時間、Ｔ2 はシャッ
タ２３を通過する時間、Ｔ3 は指標光束が遮断されてか
ら観察光束が通過を始めるまでの時間、Ｔ4 は観察光束
が遮断されてから指標光束が通過を始めるまでの時間
を、それぞれ示している。指標光束のシャッタ５を通過
する時間（Ｔ1 ）は、観察用光束のシャッタ２３を通過
する時間（Ｔ2 ）に対し、人眼による残像が無視できる
程度に十分短く設定され、観察眼３１にはスリット像は
認識されない。Ｔ1 〜Ｔ4 の時間は、モータ６（及びモ
ータ２４）の回転速度，シャッタの開口部５ａ，２３ａ
の大きさ、及びインデックス用永久磁石５ｂ，２３ｂの
位置から決定される。なお、実施例では、ＰＳＤ１３の
処理速度が遅いことや、サンプルホールド４７のアクイ
ジションタイムを考慮してＴ3 を設け、ＰＳＤ１３のデ
ィスチャージを行うためにＴ4 を設けているが、各々の
素子の応答時間によってはＴ3 、Ｔ4 の時間は容易に変
更できる。
【００３１】ＰＳＤ１３の検出素子面上に入射した光束
に重心の偏りがある場合、出力１側と出力２側での電圧
差が生じ、位置検出アンプ４６により出力１と出力２の
電圧差が検出処理される。カウンタ４５はＴ1 〜Ｔ4 の
タイミングをサンプルホールド回路４７に送り、サンプ
ルホールド回路４７はＴ1 の期間のタイミングで位置検
出アンプ４６の出力信号をサンプルし、Ｔ2 及びＴ3 の
期間出力信号をホールドする。サンプリングされた信号
からフォ−カス点までの距離と方向を得て、この情報に
基づいてオ−トフォーカスサーボ機構４８を作動させ
る。オ−トフォーカスサーボ機構４８は載置台をフォー
カス点まで光軸方向に移動させる。
に重心の偏りがある場合、出力１側と出力２側での電圧
差が生じ、位置検出アンプ４６により出力１と出力２の
電圧差が検出処理される。カウンタ４５はＴ1 〜Ｔ4 の
タイミングをサンプルホールド回路４７に送り、サンプ
ルホールド回路４７はＴ1 の期間のタイミングで位置検
出アンプ４６の出力信号をサンプルし、Ｔ2 及びＴ3 の
期間出力信号をホールドする。サンプリングされた信号
からフォ−カス点までの距離と方向を得て、この情報に
基づいてオ−トフォーカスサーボ機構４８を作動させ
る。オ−トフォーカスサーボ機構４８は載置台をフォー
カス点まで光軸方向に移動させる。
【００３２】なお、本実施例では、指標投影用光源とし
てハロゲンランプを採用しているが、ＬＥＤやレーザ光
等に置き換えても差し支えない。この場合は、シャッタ
５とシャッタ５を制御する回路は不要となり、Ｔ1 の間
だけＬＥＤやレーザ光等が投光されるように制御すれば
良い。シャッタ５は液晶で構成し、光束の透過と遮断を
電気的に行っても良い。
てハロゲンランプを採用しているが、ＬＥＤやレーザ光
等に置き換えても差し支えない。この場合は、シャッタ
５とシャッタ５を制御する回路は不要となり、Ｔ1 の間
だけＬＥＤやレーザ光等が投光されるように制御すれば
良い。シャッタ５は液晶で構成し、光束の透過と遮断を
電気的に行っても良い。
【００３３】また、受光素子もＰＳＤに限られるもので
なく、例えば、ＣＣＤラインセンサ等への変容も可能で
ある。ＣＣＤラインセンサを採用する場合には、ＣＣＤ
ラインセンサの光蓄積期間を図６のＴ1 の間とし、位置
読みだしをＴ1 以外の間とすれば良い。以上のように本
実施例は、種々の変容が可能であり、技術思想を同一に
する範囲でこれらも本発明に含まれる。
なく、例えば、ＣＣＤラインセンサ等への変容も可能で
ある。ＣＣＤラインセンサを採用する場合には、ＣＣＤ
ラインセンサの光蓄積期間を図６のＴ1 の間とし、位置
読みだしをＴ1 以外の間とすれば良い。以上のように本
実施例は、種々の変容が可能であり、技術思想を同一に
する範囲でこれらも本発明に含まれる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
既存の顕微鏡等の光学装置に対しても大幅の改造を加え
る必要がなく、オートフォーカス機構を付加することが
できる。また、この場合光学装置の光学性能の劣化が生
ずることがない。
既存の顕微鏡等の光学装置に対しても大幅の改造を加え
る必要がなく、オートフォーカス機構を付加することが
できる。また、この場合光学装置の光学性能の劣化が生
ずることがない。
【図１】実施例の装置の光学配置略図である。
【図２】シャッタ５を示した図である。
【図３】ＰＳＤ上のスリット像を示した図である。
【図４】シャッタ２３を示した図である。
【図５】実施例の装置の要部電気系ブロック図である。
【図６】指標光束および観察光束のタイミング信号を表
した図である。
した図である。
１ 指標投影用光源
４ スリット
５ シャッタ
１２ 観察対象物
１３ ＰＳＤ
２０ 観察用光源
２３ シャッタ
４８ オートフォーカスサーボ機構
Claims (4)
- 【請求項１】 観察対象物を可視光にて照明する照明光
学系と、該照明光学系による照明視野にある対象物を観
察する観察光学系とを具備した観察装置において、前記
照明光学系の照明光束の波長と少なくても一部を共通に
する波長の投影光束を持ちフォーカス指標を投影する指
標投影光学系と、該指標投影光学系による指標の投影を
検査者の残像が生じない時間断続的に行う指標光束制限
手段と、前記照明光学系による照明を指標投影が行われ
ない時間断続的に行い、かつ照明が行われない時間が検
査者に認知されない時間に制限する照明光束制限手段
と、前記対象物に投影されたフォーカス指標の像を検出
する検出手段と、該検出手段による検出結果に基づいて
フォーカス指標に対する前記対象物との相対的距離を変
える距離変更手段と、を有することを特徴とする観察装
置。 - 【請求項２】 請求項１の指標光束制限手段は指標板の
対象物側に配置されたシャッタを有することを特徴とす
る観察装置。 - 【請求項３】 請求項１の指標光束制限手段は指標光源
を点滅制御する制御手段を有することを特徴とする観察
装置。 - 【請求項４】 請求項１の指標投影光学系の中心光束は
前記検出手段の検出光軸に対して所定の角度を有し、前
記検出手段はフォーカス指標の位置を検出することを特
徴とする観察装置。
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