JP3509905B2 - 超薄型物体の収容と移送のシステム及びそのポータブルラック - Google Patents
超薄型物体の収容と移送のシステム及びそのポータブルラックInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、偏平な物体を製造し
又はそれを処理する間、又はその中に収容された物品を
製造又は処理する間、その物体を貯蔵し、移送すること
に関する。この発明は、より詳しくいえば、シリコンウ
エーハを超清浄な雰囲気の中で収容する超薄型の箱につ
いて適用される。これらのシリコンウエーハは、エレク
トロニクス、又はマイクロエレクトロニクスの分野にお
いて、集積回路を製造するために用いられる。しかしな
がら、この発明は任意の偏平な物体に用いることができ
る。
又はそれを処理する間、又はその中に収容された物品を
製造又は処理する間、その物体を貯蔵し、移送すること
に関する。この発明は、より詳しくいえば、シリコンウ
エーハを超清浄な雰囲気の中で収容する超薄型の箱につ
いて適用される。これらのシリコンウエーハは、エレク
トロニクス、又はマイクロエレクトロニクスの分野にお
いて、集積回路を製造するために用いられる。しかしな
がら、この発明は任意の偏平な物体に用いることができ
る。
【０００２】
【従来の技術とその課題】偏平なシリコンウエーハの上
に電気回路を形成するときには、作業ステーションにお
いて、超清浄な雰囲気の下で種々の作業が行われる。シ
リコンウエーハはそれぞれの場合において取り扱われ、
個々の密閉箱の中に貯蔵され、移送される。これらの箱
はそれぞれの作業ステーションに到達したときに開か
れ、ここで箱の中に収容されていた物体の受渡しがなさ
れ、それぞれの個々の箱は作業ステーションの導入部に
残留する。従って、電気回路を満足のいくように製造す
るためには、上記超薄型の箱を規則正しい方法で収容し
制御し移送できることが必要である。従って、この発明
の目的は、多数の超薄型の箱のような偏平な物体を制御
しつつ移送し収容することができるようなシステムを提
案することである。
に電気回路を形成するときには、作業ステーションにお
いて、超清浄な雰囲気の下で種々の作業が行われる。シ
リコンウエーハはそれぞれの場合において取り扱われ、
個々の密閉箱の中に貯蔵され、移送される。これらの箱
はそれぞれの作業ステーションに到達したときに開か
れ、ここで箱の中に収容されていた物体の受渡しがなさ
れ、それぞれの個々の箱は作業ステーションの導入部に
残留する。従って、電気回路を満足のいくように製造す
るためには、上記超薄型の箱を規則正しい方法で収容し
制御し移送できることが必要である。従って、この発明
の目的は、多数の超薄型の箱のような偏平な物体を制御
しつつ移送し収容することができるようなシステムを提
案することである。
【０００３】
【課題を解決するための手段とその作用】この発明は、
従って、１又はそれ以上の作業ステーションに物体を供
給するために、超薄型の箱のような偏平な物体を収容
し、移送するためのシステムに関し、上記物体は個別に
移送され、上記システムは、偏平な物体をグループに分
けて収容するための手段と、互いに反対の２つの方向に
動く２つの通路を有する２方向型コンベアを構成し、上
記収容手段に収容された偏平な物体を個々に移送するた
めの手段と、この移送手段によって移送された偏平物体
を分配するための手段とを有する。
従って、１又はそれ以上の作業ステーションに物体を供
給するために、超薄型の箱のような偏平な物体を収容
し、移送するためのシステムに関し、上記物体は個別に
移送され、上記システムは、偏平な物体をグループに分
けて収容するための手段と、互いに反対の２つの方向に
動く２つの通路を有する２方向型コンベアを構成し、上
記収容手段に収容された偏平な物体を個々に移送するた
めの手段と、この移送手段によって移送された偏平物体
を分配するための手段とを有する。
【０００４】この発明によれば、上記移送手段はそれぞ
れの通路の要素となる部分を有する移動モジュールであ
り、上記分配手段は分配モジュールであり、上記収容手
段は偏平な物体を収容する収容モジュールであり、それ
ぞれが、収容されるべき物体を枠構造体の中に受容する
ための水平な棚を有するポータブルラックと、固定され
た構造体と、固定構造体の中で可動な２つの平行でＵ字
状の直立部によって構成されるシャーシと、シャーシと
一体の中空のピストンの中で動き摺動することができ、
その頂部にポータブルラックが配置されたピストンとか
ら構成され、上記直立部には、モーターによって駆動さ
れる少なくとも２つの搬送ローラが頂上に設けられて、
ラックの底部に収容された偏平物体を引出し、隣接する
モジュールの通路に供給するようになっている。
れの通路の要素となる部分を有する移動モジュールであ
り、上記分配手段は分配モジュールであり、上記収容手
段は偏平な物体を収容する収容モジュールであり、それ
ぞれが、収容されるべき物体を枠構造体の中に受容する
ための水平な棚を有するポータブルラックと、固定され
た構造体と、固定構造体の中で可動な２つの平行でＵ字
状の直立部によって構成されるシャーシと、シャーシと
一体の中空のピストンの中で動き摺動することができ、
その頂部にポータブルラックが配置されたピストンとか
ら構成され、上記直立部には、モーターによって駆動さ
れる少なくとも２つの搬送ローラが頂上に設けられて、
ラックの底部に収容された偏平物体を引出し、隣接する
モジュールの通路に供給するようになっている。
【０００５】移動モジュールの好ましい構成において
は、それぞれの移動モジュールには、１つの通路当たり
に少なくとも２つの移送又は搬送ローラと、ローラを回
転するためのモーターが設けられている。この構成にお
いては、運搬のための構造と、それぞれが通路と同じレ
ベルに置かれた２つの固定Ｈ型シャーシと、Ｈ型シャー
シの枝の間に配置されたそれぞれの通路のための２組の
２つの移動ローラとを有し、これらのローラは、モータ
ーによって駆動されるベルトを受ける駆動輪によって、
端部が枝部の外側に突出する回転軸の回りを回転するよ
うになっている。好ましくは、２つの固定シャーシとモ
ーターの構造が２つの通路部分を水平面内で揺動させる
ために、垂直軸回りで回転するように搭載されている。
好ましい分配モジュールの構成においては、物体を２つ
の通路の上にサンプリングするためのエレベータを有
し、これは静止しているときは、２つの通路を構成す
る。
は、それぞれの移動モジュールには、１つの通路当たり
に少なくとも２つの移送又は搬送ローラと、ローラを回
転するためのモーターが設けられている。この構成にお
いては、運搬のための構造と、それぞれが通路と同じレ
ベルに置かれた２つの固定Ｈ型シャーシと、Ｈ型シャー
シの枝の間に配置されたそれぞれの通路のための２組の
２つの移動ローラとを有し、これらのローラは、モータ
ーによって駆動されるベルトを受ける駆動輪によって、
端部が枝部の外側に突出する回転軸の回りを回転するよ
うになっている。好ましくは、２つの固定シャーシとモ
ーターの構造が２つの通路部分を水平面内で揺動させる
ために、垂直軸回りで回転するように搭載されている。
好ましい分配モジュールの構成においては、物体を２つ
の通路の上にサンプリングするためのエレベータを有
し、これは静止しているときは、２つの通路を構成す
る。
【０００６】このエレベータは、２組の水平ローラの搬
送用の基部と一体の中空のピストンに摺動可能に搭載さ
れた垂直ピストンに固定された分配用プラットフォーム
によって構成され、この中空ピストンは、シリンダーの
中に垂直方向に摺動し、それによってこの基部を２つの
通路と同じレベルに配置することができ、また、プラッ
トフォームを分配高さに搭載することができる。その下
側部分において、ポータブルラックは、ピストンの頂部
に一時的に固定するための手段を有し、その上側部分に
おいて、ポータブルラックをピストンの頂部に固定する
ための手段の係止又は係止の解除を制御するための手段
を有する操作ハンドルが設けられていることを特徴とす
るシステム。このラックもまた、この発明の他の主要部
を構成する。
送用の基部と一体の中空のピストンに摺動可能に搭載さ
れた垂直ピストンに固定された分配用プラットフォーム
によって構成され、この中空ピストンは、シリンダーの
中に垂直方向に摺動し、それによってこの基部を２つの
通路と同じレベルに配置することができ、また、プラッ
トフォームを分配高さに搭載することができる。その下
側部分において、ポータブルラックは、ピストンの頂部
に一時的に固定するための手段を有し、その上側部分に
おいて、ポータブルラックをピストンの頂部に固定する
ための手段の係止又は係止の解除を制御するための手段
を有する操作ハンドルが設けられていることを特徴とす
るシステム。このラックもまた、この発明の他の主要部
を構成する。
【０００７】
【実施例】図１において、この発明のシステムが、超清
浄な環境の中に封じ込められた機械から構成された少な
くとも１つの作業ステーション６へ供給を行うために用
いられる場合が示されている。この発明のシステムは、
超薄型の箱のような偏平物体１を収容し移送する。これ
らの偏平な物体は直列に収容されており、作業ステーシ
ョン６に対して連続的に送り込めるように移送され搬送
される。この発明のシステムの好ましい応用は、上記偏
平物体が、シリコンウエーハを収容する超薄型の箱であ
る場合である。このシリコンウエーハは、密封された作
業ステーション６の中で取り扱われ、つまり、シリコン
ウエーハは特別の雰囲気の中に閉じ込められている。こ
の雰囲気を維持するために、超薄型の箱は緊密に構成さ
れている。このように、この発明のシステムは、箱のた
めの収容手段、移送手段及び分配手段を有している。
浄な環境の中に封じ込められた機械から構成された少な
くとも１つの作業ステーション６へ供給を行うために用
いられる場合が示されている。この発明のシステムは、
超薄型の箱のような偏平物体１を収容し移送する。これ
らの偏平な物体は直列に収容されており、作業ステーシ
ョン６に対して連続的に送り込めるように移送され搬送
される。この発明のシステムの好ましい応用は、上記偏
平物体が、シリコンウエーハを収容する超薄型の箱であ
る場合である。このシリコンウエーハは、密封された作
業ステーション６の中で取り扱われ、つまり、シリコン
ウエーハは特別の雰囲気の中に閉じ込められている。こ
の雰囲気を維持するために、超薄型の箱は緊密に構成さ
れている。このように、この発明のシステムは、箱のた
めの収容手段、移送手段及び分配手段を有している。
【０００８】この発明においては、移送又は搬送手段は
複数の移動モジュール４によって構成されている。この
分配手段は、対象として存在する作業ステーション６と
同じ数の分配モジュール５から構成されている。収容手
段は、箱１を収容するポータブルラック２０を受け入れ
ることができるような収容モジュールから構成されてい
る。これらの全ての要素が２方向型の、つまり、箱１を
２つの互いに反対な方向に運ぶことができる搬送器を構
成する。この目的のために、これらの異なる構成要素は
互いに連続した鎖を形成し、それぞれの素子がその鎖の
輪を形成している。そして、これらの素子のそれぞれが
２つの異なる平面に配置された搬送用又は移送用のロー
ラ７を有し、これらの平面は２つの連続する回転のため
の通路を構成するように互いに平行になっている。それ
ぞれのローラ７の間の隔たりは、搬送される箱１の長さ
又は幅よりも小さくなっている。このように、それぞれ
の箱１は、連続する通路に沿って１つのモジュールから
次のモジュールへ移動することができる。図１の右側に
あるモジュール４ａによって示されるように、もし、隣
接するモジュールが反対側でない面に置かれている場合
には、この連鎖するチェーンは方向の変換をすることが
できる。
複数の移動モジュール４によって構成されている。この
分配手段は、対象として存在する作業ステーション６と
同じ数の分配モジュール５から構成されている。収容手
段は、箱１を収容するポータブルラック２０を受け入れ
ることができるような収容モジュールから構成されてい
る。これらの全ての要素が２方向型の、つまり、箱１を
２つの互いに反対な方向に運ぶことができる搬送器を構
成する。この目的のために、これらの異なる構成要素は
互いに連続した鎖を形成し、それぞれの素子がその鎖の
輪を形成している。そして、これらの素子のそれぞれが
２つの異なる平面に配置された搬送用又は移送用のロー
ラ７を有し、これらの平面は２つの連続する回転のため
の通路を構成するように互いに平行になっている。それ
ぞれのローラ７の間の隔たりは、搬送される箱１の長さ
又は幅よりも小さくなっている。このように、それぞれ
の箱１は、連続する通路に沿って１つのモジュールから
次のモジュールへ移動することができる。図１の右側に
あるモジュール４ａによって示されるように、もし、隣
接するモジュールが反対側でない面に置かれている場合
には、この連鎖するチェーンは方向の変換をすることが
できる。
【０００９】図２を参照すると、図１の収容手段を構成
する収容モジュール２は以下のように構築される。図２
においては、収容モジュールの構造体の外被は取り除か
れている。図２では、所定の数の偏平な箱１を往復動が
できるような平行な棚２０によって保持するためのポー
タブルラック２２が見える。このポータブルラック２０
はシステムの一部を構成するが、同時に、それをシステ
ムの外に移動し、そこで使用できるという意味で独立の
素子を構成する。それはガントリー(架台)型の構造体２
１を形成しており、棚２２はポータブルラック２０の上
記構造体２１の垂直な直立部に配置されている。操作ハ
ンドル２４は、構造体２１の上部２９の上に設けられて
いる。
する収容モジュール２は以下のように構築される。図２
においては、収容モジュールの構造体の外被は取り除か
れている。図２では、所定の数の偏平な箱１を往復動が
できるような平行な棚２０によって保持するためのポー
タブルラック２２が見える。このポータブルラック２０
はシステムの一部を構成するが、同時に、それをシステ
ムの外に移動し、そこで使用できるという意味で独立の
素子を構成する。それはガントリー(架台)型の構造体２
１を形成しており、棚２２はポータブルラック２０の上
記構造体２１の垂直な直立部に配置されている。操作ハ
ンドル２４は、構造体２１の上部２９の上に設けられて
いる。
【００１０】構造体２１の基部２３は、この基部２３の
端部よりも幅狭の中央部分２８を有している。基部２３
の上述した中央幅狭部２８によって与えられた凹所によ
って、上記収容モジュールのローラ７が垂直方向に並進
できるような空間が形成されている。このように、それ
ぞれの収容モジュールは、箱１を水平方向に移動するこ
とを可能とするローラ７を有することが必要であるの
で、正面から見ても、側面から見てもＵ字状となるシャ
ーシが設けられている。言葉を変えれば、シャーシ３０
は、その上に４つの垂直直立部３２が対になって固定さ
れている平坦な基部３１を有している。これらは、２つ
の直立部３２の間に第１の方向に沿って平行にローラ７
を装入することができるように互いに隔てられている。
これらのローラ７は水平であり、そして、２つの直立部
３２の間で回転する。直交する方向において、２つの直
立部３２は互いに隙間３３によって隔てられており、そ
の幅は、ポータブルラック２０の基部２３の中央部分２
８の幅よりも大きくなっている。従って、空間３３を貫
通するような基部２３を持ったシャーシ３０の中で、ポ
ータブルラック２０が垂直方向下向きに並進運動するこ
とによって、ローラをラック２０の任意の棚２２と同じ
レベルに配置することができる。このように、棚２２の
上に置かれたどの偏平な箱１も、ローラ７の到達できる
範囲内にあり、下に箱がなくなると箱は直ちにローラ７
によって上昇させられる。２つのローラ７の回転は、対
応する直立部３２の上に配置されたモーター３４によ
り、駆動ベルト３５によって駆動輪３６をローラ７と一
体に回転駆動することにより行われる。
端部よりも幅狭の中央部分２８を有している。基部２３
の上述した中央幅狭部２８によって与えられた凹所によ
って、上記収容モジュールのローラ７が垂直方向に並進
できるような空間が形成されている。このように、それ
ぞれの収容モジュールは、箱１を水平方向に移動するこ
とを可能とするローラ７を有することが必要であるの
で、正面から見ても、側面から見てもＵ字状となるシャ
ーシが設けられている。言葉を変えれば、シャーシ３０
は、その上に４つの垂直直立部３２が対になって固定さ
れている平坦な基部３１を有している。これらは、２つ
の直立部３２の間に第１の方向に沿って平行にローラ７
を装入することができるように互いに隔てられている。
これらのローラ７は水平であり、そして、２つの直立部
３２の間で回転する。直交する方向において、２つの直
立部３２は互いに隙間３３によって隔てられており、そ
の幅は、ポータブルラック２０の基部２３の中央部分２
８の幅よりも大きくなっている。従って、空間３３を貫
通するような基部２３を持ったシャーシ３０の中で、ポ
ータブルラック２０が垂直方向下向きに並進運動するこ
とによって、ローラをラック２０の任意の棚２２と同じ
レベルに配置することができる。このように、棚２２の
上に置かれたどの偏平な箱１も、ローラ７の到達できる
範囲内にあり、下に箱がなくなると箱は直ちにローラ７
によって上昇させられる。２つのローラ７の回転は、対
応する直立部３２の上に配置されたモーター３４によ
り、駆動ベルト３５によって駆動輪３６をローラ７と一
体に回転駆動することにより行われる。
【００１１】従って、ポータブルラック２０は操作ハン
ドル２４によって持ち運び可能であり、そして収容モジ
ュールの残りの部分から取り外すことができる。同様
に、ポータブルラック２０は、ピストン２５の頂部２５
Ａの上に配置された板２５Ｂによって構成される収容モ
ジュールの残りの部分の上に置くこともできる。ピスト
ン２５は、シャーシ３０の基部３１と一体となった中空
で垂直なピストン２６の中を摺動する。ポータブルラッ
ク２０は、固定手段によってピストン２５の板２５Ｂの
上に係止することができる。これは機械的な捕獲システ
ム２５Ｃであってもよい。このように、操作ハンドル２
４には、このようなピストン２５に対してラック２０を
固定するための手段の係止とその解除を制御するための
手段２４Ａを設けてもよい。
ドル２４によって持ち運び可能であり、そして収容モジ
ュールの残りの部分から取り外すことができる。同様
に、ポータブルラック２０は、ピストン２５の頂部２５
Ａの上に配置された板２５Ｂによって構成される収容モ
ジュールの残りの部分の上に置くこともできる。ピスト
ン２５は、シャーシ３０の基部３１と一体となった中空
で垂直なピストン２６の中を摺動する。ポータブルラッ
ク２０は、固定手段によってピストン２５の板２５Ｂの
上に係止することができる。これは機械的な捕獲システ
ム２５Ｃであってもよい。このように、操作ハンドル２
４には、このようなピストン２５に対してラック２０を
固定するための手段の係止とその解除を制御するための
手段２４Ａを設けてもよい。
【００１２】さらに、中空のピストン２６が、シリンダ
ー２７の中に摺動自在に搭載され、このシリンダーは、
収容モジュール構造体の中に固定されている。このよう
に、ポータブルラック２０とシャーシの双方が、互いに
対して並進することができ、また、それらが置かれてい
る収容モジュールに対して動くこともできる。従って、
ローラ７を２つの隣接するモジュールの２つの通路のロ
ーラと同じ高さにして、２つの隣接するモジュールの間
に１つの通路を形成するための中間ローラを形成するこ
ともできる。同様に、ポータブルラック２０の棚２２の
中に置かれた偏平な箱１は、２つの通路と同じ高さに置
かれた時に、全てローラ７の上に下げることができる。
言葉を変えていえば、ポータブルラック２０の棚２２の
中の最も低い偏平な箱１でも、ローラ７の上に置かれて
２つの重なった通路の内の一方に送り込まれることがで
きる。
ー２７の中に摺動自在に搭載され、このシリンダーは、
収容モジュール構造体の中に固定されている。このよう
に、ポータブルラック２０とシャーシの双方が、互いに
対して並進することができ、また、それらが置かれてい
る収容モジュールに対して動くこともできる。従って、
ローラ７を２つの隣接するモジュールの２つの通路のロ
ーラと同じ高さにして、２つの隣接するモジュールの間
に１つの通路を形成するための中間ローラを形成するこ
ともできる。同様に、ポータブルラック２０の棚２２の
中に置かれた偏平な箱１は、２つの通路と同じ高さに置
かれた時に、全てローラ７の上に下げることができる。
言葉を変えていえば、ポータブルラック２０の棚２２の
中の最も低い偏平な箱１でも、ローラ７の上に置かれて
２つの重なった通路の内の一方に送り込まれることがで
きる。
【００１３】それぞれのステージにあって、棚２２に面
するようなポータブルラック２０の構造体２１に、対応
する棚の中に収容された物体を係止し、係止を解除する
手段６０を設けるのは効果的である。これらの異なる係
止及び係止解除手段６０は、構造体２１の外側に配置
し、そして重ねて配置することができる。それらは、電
子機械的、電磁気的タイプのものであってよい。それら
は、接続部６１を介して、例えば、ポータブルラック２
０の基部２８の上に置かれ、その中央制御システムの対
応する接続部に接続できるような、システムの中央制御
手段によって制御することができる。従って、ポータブ
ルラック２０の棚の上に収容された物体の１つを解放又
は係止を制御することができる。
するようなポータブルラック２０の構造体２１に、対応
する棚の中に収容された物体を係止し、係止を解除する
手段６０を設けるのは効果的である。これらの異なる係
止及び係止解除手段６０は、構造体２１の外側に配置
し、そして重ねて配置することができる。それらは、電
子機械的、電磁気的タイプのものであってよい。それら
は、接続部６１を介して、例えば、ポータブルラック２
０の基部２８の上に置かれ、その中央制御システムの対
応する接続部に接続できるような、システムの中央制御
手段によって制御することができる。従って、ポータブ
ルラック２０の棚の上に収容された物体の１つを解放又
は係止を制御することができる。
【００１４】図３を参照すると、移動モジュール４，４
Ａは以下のような方法で作成することが好ましい。主要
部である平行六面体の構造体４０は上記移動モジュール
の操作用部品を含んでいる。２つの通路と同じ高さに、
移動モジュールは主要部として、水平なＨ型プラットフ
ォーム４２の枝部４１の間において水平軸の回りで回転
する２組の平行なローラ７を有する。２つの互いに重ね
合わせられた通路があるという点から、２つの平行な水
平プラットフォーム４２が設けられており、これらは垂
直な直立部４３によって互いに一体となっている。これ
により、上記移動モジュール、上記収容モジュール、及
び上記分配モジュールによって構築されたコンベアの２
つの通路のレベルに対応するローラ７の２つのステージ
へと導かれる。
Ａは以下のような方法で作成することが好ましい。主要
部である平行六面体の構造体４０は上記移動モジュール
の操作用部品を含んでいる。２つの通路と同じ高さに、
移動モジュールは主要部として、水平なＨ型プラットフ
ォーム４２の枝部４１の間において水平軸の回りで回転
する２組の平行なローラ７を有する。２つの互いに重ね
合わせられた通路があるという点から、２つの平行な水
平プラットフォーム４２が設けられており、これらは垂
直な直立部４３によって互いに一体となっている。これ
により、上記移動モジュール、上記収容モジュール、及
び上記分配モジュールによって構築されたコンベアの２
つの通路のレベルに対応するローラ７の２つのステージ
へと導かれる。
【００１５】１つのステージのローラ７は、トランスミ
ッションベルト４５及びそれぞれのシャフト４７の端部
に配置された駆動輪４６を介して、モーター４４によっ
て駆動され、このシャフト４７の回りにはローラ７が回
転可能に搭載されている。モーター４４は駆動輪４６の
いずれか一つを駆動するか、又は駆動ベルト４５を直接
駆動する。２つのモーター４４が示されており、１つの
モーターはそれぞれの移動モジュールのために設けられ
ている。図１の右手部分には、２つのコンベア通路のた
めに９０度方向変換を起こさせるような移動モジュール
４Ａが示されている。この場合、それぞれの移動モジュ
ールが直立部４３とプラットフォーム４２によって構成
されたＨ型構造体と一体で、かつ移動モジュールの構造
体４０の中で回転するように搭載された垂直な回転シャ
フト４８を有する。このように、２つのレベルのローラ
７は、いずれの方向にも配置することができ、特に、方
向を９０度変化させるために互いに直交する方向に配置
することができる。
ッションベルト４５及びそれぞれのシャフト４７の端部
に配置された駆動輪４６を介して、モーター４４によっ
て駆動され、このシャフト４７の回りにはローラ７が回
転可能に搭載されている。モーター４４は駆動輪４６の
いずれか一つを駆動するか、又は駆動ベルト４５を直接
駆動する。２つのモーター４４が示されており、１つの
モーターはそれぞれの移動モジュールのために設けられ
ている。図１の右手部分には、２つのコンベア通路のた
めに９０度方向変換を起こさせるような移動モジュール
４Ａが示されている。この場合、それぞれの移動モジュ
ールが直立部４３とプラットフォーム４２によって構成
されたＨ型構造体と一体で、かつ移動モジュールの構造
体４０の中で回転するように搭載された垂直な回転シャ
フト４８を有する。このように、２つのレベルのローラ
７は、いずれの方向にも配置することができ、特に、方
向を９０度変化させるために互いに直交する方向に配置
することができる。
【００１６】図４は、この発明のシステムの分配モジュ
ールを断面で示し、これはまた、２つのコンベア通路と
同じレベルに配置することができるローラ７のステージ
を有する。このような分配モジュールは、その中に２組
の一対のローラ７を支持するＨ型の基部５２が垂直方向
に可動に装入された外部構造体５０を有する。このロー
ラのセットは、Ｈ型基部５２の枝部５３の間に、水平方
向に回転するように搭載されている。この組立は、それ
ぞれローラ７と一体に回転するように軸の端部に配置さ
れたベルト５４Ａと駆動輪５６から構成される構造部を
回転するモーター５４によって完了する。この組立物
は、図示されていない中空のピストンによって垂直方向
に可動に搭載され、このピストンもシリンダー５７の中
で摺動する。このシリンダー５７の中には、ピストン５
５が摺動可能に装着され、このピストン５５の端部５５
Ａには、分配用プラットフォーム５１が固定されてい
る。このように、分配用プラットフォーム５１と基部５
２は、収容モジュールのポータブルラック２０とシャー
シ３０の関係と同様に並進状態で動くことができるよう
に搭載されている。ピストン５５とプラットフォーム５
１は、偏平な物体のためのエレベータを形成している。
ールを断面で示し、これはまた、２つのコンベア通路と
同じレベルに配置することができるローラ７のステージ
を有する。このような分配モジュールは、その中に２組
の一対のローラ７を支持するＨ型の基部５２が垂直方向
に可動に装入された外部構造体５０を有する。このロー
ラのセットは、Ｈ型基部５２の枝部５３の間に、水平方
向に回転するように搭載されている。この組立は、それ
ぞれローラ７と一体に回転するように軸の端部に配置さ
れたベルト５４Ａと駆動輪５６から構成される構造部を
回転するモーター５４によって完了する。この組立物
は、図示されていない中空のピストンによって垂直方向
に可動に搭載され、このピストンもシリンダー５７の中
で摺動する。このシリンダー５７の中には、ピストン５
５が摺動可能に装着され、このピストン５５の端部５５
Ａには、分配用プラットフォーム５１が固定されてい
る。このように、分配用プラットフォーム５１と基部５
２は、収容モジュールのポータブルラック２０とシャー
シ３０の関係と同様に並進状態で動くことができるよう
に搭載されている。ピストン５５とプラットフォーム５
１は、偏平な物体のためのエレベータを形成している。
【００１７】従って、コンベアの２つの通路と同じレベ
ルにローラ７を置くことが可能であり、この分配プラッ
トフォーム５１は基部５２に対して係合している。この
関係においては、分配プラットフォーム５１は薄く、そ
れによって基部５２に対して係合したときにローラ７に
対して突出することがないようになっていることが指摘
できる。このようにして、ローラ７は２つのコンベアと
ラックの連続性を確保することができる。しかしなが
ら、作業ステーション６の導入部へ偏平な箱１を供給す
るという問題に関しては、分配プラットフォーム５１
は、外部の部材によってそれが引き渡される場所で、対
象となる箱を持上げてレベルＨまで上昇させることによ
り装入がなされる。
ルにローラ７を置くことが可能であり、この分配プラッ
トフォーム５１は基部５２に対して係合している。この
関係においては、分配プラットフォーム５１は薄く、そ
れによって基部５２に対して係合したときにローラ７に
対して突出することがないようになっていることが指摘
できる。このようにして、ローラ７は２つのコンベアと
ラックの連続性を確保することができる。しかしなが
ら、作業ステーション６の導入部へ偏平な箱１を供給す
るという問題に関しては、分配プラットフォーム５１
は、外部の部材によってそれが引き渡される場所で、対
象となる箱を持上げてレベルＨまで上昇させることによ
り装入がなされる。
【００１８】モーターとピストンは、偏平な箱の収容、
移送及び分配の制御手段によって制御される。従って、
発明のシステムによって、多数の偏平な箱１を収容し、
異なる作業ステーション６へ分配するように制御するこ
とが可能となる。任意の収容モジュール２を移動モジュ
ール４と分配モジュール５の間に配置して、２つの箱の
取扱と移送のステージの間の干渉用貯留部を形成するこ
とができる。従って、作業場において異なる作業ステー
ション６の間の任意の搬送経路を形成することができ
る。
移送及び分配の制御手段によって制御される。従って、
発明のシステムによって、多数の偏平な箱１を収容し、
異なる作業ステーション６へ分配するように制御するこ
とが可能となる。任意の収容モジュール２を移動モジュ
ール４と分配モジュール５の間に配置して、２つの箱の
取扱と移送のステージの間の干渉用貯留部を形成するこ
とができる。従って、作業場において異なる作業ステー
ション６の間の任意の搬送経路を形成することができ
る。
【００１９】この発明のシステムを偏平な箱に関連して
説明してきた。それぞれの場合に応じて、これらの偏平
な箱はシリコンウエーハを収容し、このシリコンウエー
ハの上には、厳しい作業と、清浄な環境の下で集積回路
が形成されることを指摘する必要がある。もし、ポータ
ブルラックの棚とローラの空間がそれらの関数として設
定されれば、任意の偏平な物体についての他の用途も可
能である。
説明してきた。それぞれの場合に応じて、これらの偏平
な箱はシリコンウエーハを収容し、このシリコンウエー
ハの上には、厳しい作業と、清浄な環境の下で集積回路
が形成されることを指摘する必要がある。もし、ポータ
ブルラックの棚とローラの空間がそれらの関数として設
定されれば、任意の偏平な物体についての他の用途も可
能である。
【図１】この発明のシステムを、制御雰囲気下における
作業ステーションについて用いた場合を示す。
作業ステーションについて用いた場合を示す。
【図２】この発明のシステムに用いられる収容手段を示
す。
す。
【図３】この発明のシステムに用いられる分配手段を断
面で示す。
面で示す。
【図４】この発明のシステムに用いられる移送又は搬送
手段を示す。
手段を示す。
１ 偏平物体
２ 収容モジュール
４，４Ａ 移動モジュール
５ 分配モジュール
６ 作業ステーション
７ ローラ
２０ ポータブルラック
２１ 枠構造体
２２ 棚
２７ 固定構造体
３０ シャーシ
３２ 直立部
３４ モーター
３５ ベルト
３６ 駆動輪
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B65G 1/06
B65G 49/07
H01L 21/68
Claims (8)
- 【請求項１】 １又はそれ以上の場所(６)に物体(１)を
供給するために、偏平な物体(１)を収容し、移送するた
めのシステムであって、 上記物体は個別に移送され、 上記システムは、偏平な物体(１)をグループに分けて収
容するための手段と、互いに反対の２つの方向に動く２
つの通路を有する２方向型コンベアを構成し、上記収容
手段に収容された偏平な物体(１)を個々に移送するため
の手段と、この移送手段によって移送された偏平物体
(１)を分配するための手段とを有し、 上記移送手段はそれぞれの通路の要素となる部分を有す
る移動モジュール(４)であり、 上記分配手段は分配モジュール(５)であり、 上記偏平な物体(１)をまとめて収容する手段は物体(１)
を収容するモジュール(２)であり、この収容モジュール(２)が 、偏平な物体(１)を受容する
ための水平な棚(２２)を有する枠構造体(２１)の形態の
ポータブルラック(２０)と、固定された構造体(２７)
と、少なくとも２つのローラ(７)が頂上に設けられた２
つの平行でＵ字状の直立部(３２)によって構成されるシ
ャーシ(３０)と、シャーシ(３０)と一体の中空のピスト
ン(２６)の中で可動かつ摺動可能な、ポータブルラック
(２０)を受けるためのピストン(２５)とから構成され、 上記２つのローラ(７)は、直立部(３２)の外側に突出す
るとともに、対応する直立部(３２)の上に配置されたモ
ーター(３４)により、ベルト(３５)によって駆動輪(３
６)と一体に回転駆動され、上記シャーシ(３０)は固定
構造体(２７)の中で垂直方向に可動であり、上記モジュ
ール(２，４，４Ａ，５)の全てが２つの通路を形成する
ために併置されていることを特徴とするシステム。 - 【請求項２】 請求項１に記載のシステムであって、そ
れぞれの移動モジュール(４)には、１つの通路当たりに
少なくとも２つの搬送ローラ(７)と、ローラ(７)を回転
するためのモーター(４４)が設けられていることを特徴
とするシステム。 - 【請求項３】 請求項２に記載のシステムであって、移
動モジュール(４)は搬送用構造体(４０)と、垂直方向に
併置して固定された２つのＨ型シャーシ(４２)と、該Ｈ
型シャーシ(４２)の枝(４１)の間に配置されたそれぞれ
の通路のための２組の２つのローラ(７)とを有し、上記
シャーシ(４２)は、それぞれが通路と同じレベルに配置
され、上記ローラ(７)は、ベルト(４５)及びそれぞれの
シャフト(４７)の端部に配置された駆動輪(４６)を介し
て、モーター(４４)によって駆動され、このシャフト
(４７)の回りにはローラ(７)が回転可能に搭載されてい
ることを特徴とするシステム。 - 【請求項４】 請求項３に記載のシステムであって、２
つのシャーシ(４２)の構造部が２つの通路部分を水平面
内で揺動させるために、垂直軸回りで回転することを特
徴とするシステム。 - 【請求項５】 請求項１に記載のシステムであって、分
配モジュールは偏平な物体(１)を２つの通路の上にサン
プリングするためのエレベータを有することを特徴とす
るシステム。 - 【請求項６】 請求項５に記載のシステムであって、エ
レベータは２組の水平ローラ(７)の搬送用の基部(５２)
と一体の中空のピストンに摺動可能に搭載された垂直ピ
ストン(５５)に固定された分配用プラットフォーム(５
１)によって構成され、この中空ピストンは、シリンダ
ー(５７)の中に垂直方向に摺動し、それによってこの基
部(５２)が２つの通路と同じレベルに配置されることが
でき、また、プラットフォーム(５１)が分配高さＨに配
置されるように搭載されることができることを特徴とす
るシステム。 - 【請求項７】 請求項１に記載のシステムであって、ポ
ータブルラック(２０)はその下側部分において、ピスト
ンの頂部(２５Ａ)に一時的に固定するための手段を有
し、その上部において、ポータブルラック(２０)をピス
トンの頂部(２５Ａ)に固定するための手段の係止又は係
止の解除を制御するための手段(２４Ａ)を有する操作ハ
ンドル(２４)が設けられていることを特徴とするシステ
ム。 - 【請求項８】 偏平な物体(１)を搬送し、作業ステーシ
ョン(６)に対して上記偏平な物体(１)を供給する収容及
び分配システムにおいて使用するためのポータブルラッ
ク(２０)であって、その末端に基部(２３)を有する枠構
造体(２ １)を有し、この基部は狭い中央部分(２８)と、
上部(２９)と、上記構造体(２１)の中に配置されて偏平
な物体(１)を受容するための棚(２２)とハンドル(２４)
を有し、さらに、 収容及び分配システムの板(２５Ｂ)に接する捕獲システ
ム(２５Ｃ)と、上部(２９)の上に配置されたハンドル
(２４)の上に配置されて捕獲システム(２５Ｃ)の係止と
係止の解除を制御するための手段(２４Ａ)を有する こと
を特徴とするポータブルラック。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9212424 | 1992-10-16 | ||
| FR9212424A FR2697004B1 (fr) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | Système de stockage et de transport d'objets plats tels que des boîtes extra-plates et son ratelier portatif. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06263211A JPH06263211A (ja) | 1994-09-20 |
| JP3509905B2 true JP3509905B2 (ja) | 2004-03-22 |
Family
ID=9434624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25866093A Expired - Fee Related JP3509905B2 (ja) | 1992-10-16 | 1993-10-15 | 超薄型物体の収容と移送のシステム及びそのポータブルラック |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5501564A (ja) |
| EP (1) | EP0593367B1 (ja) |
| JP (1) | JP3509905B2 (ja) |
| KR (1) | KR100304071B1 (ja) |
| DE (1) | DE69322922T2 (ja) |
| FR (1) | FR2697004B1 (ja) |
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| US5588791A (en) * | 1995-08-10 | 1996-12-31 | Intelmatec Corporation | Apparatus for sequentially delivering articles contained in cassettes |
| FR2747112B1 (fr) * | 1996-04-03 | 1998-05-07 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de transport d'objets plats et procede de transfert de ces objets entre ledit dispositif et une machine de traitement |
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- 1992-10-16 FR FR9212424A patent/FR2697004B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-10-01 US US08/131,211 patent/US5501564A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-14 EP EP93402534A patent/EP0593367B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-14 DE DE69322922T patent/DE69322922T2/de not_active Expired - Fee Related
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- 1993-10-15 JP JP25866093A patent/JP3509905B2/ja not_active Expired - Fee Related
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