JP3506581B2 - 挟持具 - Google Patents
挟持具Info
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- JP3506581B2 JP3506581B2 JP04085897A JP4085897A JP3506581B2 JP 3506581 B2 JP3506581 B2 JP 3506581B2 JP 04085897 A JP04085897 A JP 04085897A JP 4085897 A JP4085897 A JP 4085897A JP 3506581 B2 JP3506581 B2 JP 3506581B2
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- volume resistivity
- tip member
- ceramics
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Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、例えば、半導体装
置等の部品を取り扱う際に使用するセラミック材で構成
したピンセットの如き狭持具に関するものである。
置等の部品を取り扱う際に使用するセラミック材で構成
したピンセットの如き狭持具に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば、半導体装置等の部品を取
り扱う挟持具は、金属製例えばステンレス鋼や、合成樹
脂製例えば塩化ビニールで一体的に形成された物であっ
た。しかし、金属製の挟持具は導電性を有する為に導通
短絡による取り扱い事故不良や金属打痕による異物混入
不良等の問題があり、合成樹脂製の挟持具では、耐熱
性、耐食性等が低く、静電気を逃がしにくいという問題
があった。
り扱う挟持具は、金属製例えばステンレス鋼や、合成樹
脂製例えば塩化ビニールで一体的に形成された物であっ
た。しかし、金属製の挟持具は導電性を有する為に導通
短絡による取り扱い事故不良や金属打痕による異物混入
不良等の問題があり、合成樹脂製の挟持具では、耐熱
性、耐食性等が低く、静電気を逃がしにくいという問題
があった。
【０００３】これらに対し、耐熱性、耐食性、絶縁性等
を高めるために、本件出願人は、ジルコニア等のセラミ
ックスを用いた挟持具を提案し（特公平４−４５３００
号公報）、近年、広く使用されつつある。
を高めるために、本件出願人は、ジルコニア等のセラミ
ックスを用いた挟持具を提案し（特公平４−４５３００
号公報）、近年、広く使用されつつある。
【０００４】ところで、このようなセラミックス製の挟
持具では、体積固有抵抗が高いために導通短絡を防止で
きる反面、発生した静電気を逃がしにくいという課題が
ある。
持具では、体積固有抵抗が高いために導通短絡を防止で
きる反面、発生した静電気を逃がしにくいという課題が
ある。
【０００５】そこで、本件出願人は、静電気が容易に除
去されるように、体積固有抵抗が１０2 〜１０6 Ω・ｃ
ｍと低いセラミックスで挟持部を形成した挟持具を提案
した（実公平５−２３０３号公報参照）。また、同様の
目的で、静電気の除去を容易にするために、体積固有抵
抗の低いカーボン合成材を使用した挟持具も使用されて
いる。
去されるように、体積固有抵抗が１０2 〜１０6 Ω・ｃ
ｍと低いセラミックスで挟持部を形成した挟持具を提案
した（実公平５−２３０３号公報参照）。また、同様の
目的で、静電気の除去を容易にするために、体積固有抵
抗の低いカーボン合成材を使用した挟持具も使用されて
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、挟持部
を体積固有抵抗の低いセラミックスで形成した挟持具
や、カーボン合成材を用いた挟持具では、静電気を一気
に除去してしまうことにより不都合が生じる場合がある
ことがわかった。
を体積固有抵抗の低いセラミックスで形成した挟持具
や、カーボン合成材を用いた挟持具では、静電気を一気
に除去してしまうことにより不都合が生じる場合がある
ことがわかった。
【０００７】即ち、静電気の性質として、一気に除去す
ると大気摩擦で超高電圧の放電作用を起こすことがあ
り、その結果、挟持した電子部品等に悪影響を及ぼす恐
れが生じるのである。
ると大気摩擦で超高電圧の放電作用を起こすことがあ
り、その結果、挟持した電子部品等に悪影響を及ぼす恐
れが生じるのである。
【０００８】しかも、カーボン合成材を用いた挟持具で
は、カーボン粉が異物として被挟持物に付着したり、混
入するという問題もあった。
は、カーボン粉が異物として被挟持物に付着したり、混
入するという問題もあった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、被挟持
物体を支持する先端部材を、ジルコニア（ＺｒＯ２）を
主成分とし、導電性付与剤として、Ｆｅ２Ｏ３にＣａ，
Ｋ、Ｎａ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｓｃなどの安定化剤を添加して
なる酸化鉄系導電性付与剤を全体に対して１５〜３５重
量％の範囲で、またはＴｉＣにＴｉＯ２やＡｌ２Ｏ３等
の安定化剤を添加してなる炭化チタン系導電性付与剤を
全体に対して１０〜２５重量％の範囲で、それぞれ添加
してなり、体積固有抵抗１０３〜１０９Ω・ｃｍの導電
性ジルコニアセラミックスから形成するとともに、この
先端部材を支持し、かつ把持操作する支持部材が１０
１１〜１０１６Ω・ｃｍの体積固有抵抗をもった材質で
構成したことを特徴とする。
物体を支持する先端部材を、ジルコニア（ＺｒＯ２）を
主成分とし、導電性付与剤として、Ｆｅ２Ｏ３にＣａ，
Ｋ、Ｎａ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｓｃなどの安定化剤を添加して
なる酸化鉄系導電性付与剤を全体に対して１５〜３５重
量％の範囲で、またはＴｉＣにＴｉＯ２やＡｌ２Ｏ３等
の安定化剤を添加してなる炭化チタン系導電性付与剤を
全体に対して１０〜２５重量％の範囲で、それぞれ添加
してなり、体積固有抵抗１０３〜１０９Ω・ｃｍの導電
性ジルコニアセラミックスから形成するとともに、この
先端部材を支持し、かつ把持操作する支持部材が１０
１１〜１０１６Ω・ｃｍの体積固有抵抗をもった材質で
構成したことを特徴とする。
【００１０】即ち、体積固有抵抗１０3 〜１０9 Ω・ｃ
ｍのセラミックスからなる先端部材が静電気を誘導し除
去する作用を引き起こし、体積固有抵抗１０11〜１０16
Ω・ｃｍの支持部材が短絡防止作用とともに、静電気を
徐々に逃がす作用を引き起こすのである。その結果、静
電気が一気に除去されることによる超高圧の放電を防止
することができる。
ｍのセラミックスからなる先端部材が静電気を誘導し除
去する作用を引き起こし、体積固有抵抗１０11〜１０16
Ω・ｃｍの支持部材が短絡防止作用とともに、静電気を
徐々に逃がす作用を引き起こすのである。その結果、静
電気が一気に除去されることによる超高圧の放電を防止
することができる。
【００１１】また本発明では、上記先端部材を、遊離炭
素の含有量０．５重量％以下であり、曲げ強度３００Ｍ
Ｐａ以上のセラミックスで形成したことを特徴とする。
素の含有量０．５重量％以下であり、曲げ強度３００Ｍ
Ｐａ以上のセラミックスで形成したことを特徴とする。
【００１２】即ち、遊離炭素の含有量０．５重量％以下
とすることによってカーボン粉の異物混入を防止すると
ともに、曲げ強度３００ＭＰａ以上あれば通常の使用時
において先端部材の破損を防止することができる。
とすることによってカーボン粉の異物混入を防止すると
ともに、曲げ強度３００ＭＰａ以上あれば通常の使用時
において先端部材の破損を防止することができる。
【００１３】
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図によ
って説明する。
って説明する。
【００１５】図１に示す挟持具は、一対の先端部材１を
体積固有抵抗１０3 〜１０9 Ω・ｃｍのセラミックスで
形成し、この先端部材１の後端を体積固有抵抗１０11〜
１０16Ω・ｃｍの支持部材２に接着剤等で接合し、この
支持部材２の後端を弾性係合体３で支持したものであ
り、手で把持操作することによって、弾性係合体３が弾
性変形して先端の先端部材１、１間で物体を挟持するこ
とができる。
体積固有抵抗１０3 〜１０9 Ω・ｃｍのセラミックスで
形成し、この先端部材１の後端を体積固有抵抗１０11〜
１０16Ω・ｃｍの支持部材２に接着剤等で接合し、この
支持部材２の後端を弾性係合体３で支持したものであ
り、手で把持操作することによって、弾性係合体３が弾
性変形して先端の先端部材１、１間で物体を挟持するこ
とができる。
【００１６】また、図２に示す挟持具は、一対の先端部
材１を体積固有抵抗１０3 〜１０9Ω・ｃｍのセラミッ
クスで形成し、この先端部材１の後端を体積固有抵抗１
０１１〜１０１６Ω・ｃｍの支持部材２にビス４で固定
したものであり、支持部材２自体が、Ｖ字状体に一体形
成されている。そのため、この挟持具を手で手で把持操
作すると、支持部材２自体が弾性変形して、先端の先端
部材１、１間で物体を挟持することができる。
材１を体積固有抵抗１０3 〜１０9Ω・ｃｍのセラミッ
クスで形成し、この先端部材１の後端を体積固有抵抗１
０１１〜１０１６Ω・ｃｍの支持部材２にビス４で固定
したものであり、支持部材２自体が、Ｖ字状体に一体形
成されている。そのため、この挟持具を手で手で把持操
作すると、支持部材２自体が弾性変形して、先端の先端
部材１、１間で物体を挟持することができる。
【００１７】いずれの挟持具においても、先端部材１が
体積固有抵抗の低いセラミックスからなるため、静電気
を誘導し除去する作用を成すことができ、しかも体積固
有抵抗の高い支持部材２を備えていることによって、短
絡を防止するとともに、静電気を徐々に逃がして、大気
との摩擦による超高圧の放電を防止することができる。
体積固有抵抗の低いセラミックスからなるため、静電気
を誘導し除去する作用を成すことができ、しかも体積固
有抵抗の高い支持部材２を備えていることによって、短
絡を防止するとともに、静電気を徐々に逃がして、大気
との摩擦による超高圧の放電を防止することができる。
【００１８】ここで、上記先端部材１の体積固有抵抗を
１０3 〜１０9 Ω・ｃｍとしたのは、１０3 Ω・ｃｍ未
満であると短絡を防止する効果が乏しくなり、一方１０
9 Ω・ｃｍを超えると静電気を除去する効果が乏しくな
るためである。
１０3 〜１０9 Ω・ｃｍとしたのは、１０3 Ω・ｃｍ未
満であると短絡を防止する効果が乏しくなり、一方１０
9 Ω・ｃｍを超えると静電気を除去する効果が乏しくな
るためである。
【００１９】また、この先端部材１を成すセラミックス
は、曲げ強度３００ＭＰａ以上で、遊離炭素含有量０．
１重量％以下のものが好ましい。これは、曲げ強度が３
００ＭＰａ未満では、使用時に先端部材１が破損しやす
くなるためであり、また遊離炭素含有量が０．１重量％
を超えると、カーボン粉末が異物として被挟持物体に付
着するなどの問題が生じるためである。
は、曲げ強度３００ＭＰａ以上で、遊離炭素含有量０．
１重量％以下のものが好ましい。これは、曲げ強度が３
００ＭＰａ未満では、使用時に先端部材１が破損しやす
くなるためであり、また遊離炭素含有量が０．１重量％
を超えると、カーボン粉末が異物として被挟持物体に付
着するなどの問題が生じるためである。
【００２０】このような先端部材１を成すセラミックス
としては、導電性ジルコニアセラミックスを用いる。
としては、導電性ジルコニアセラミックスを用いる。
【００２１】
【００２２】
【００２３】さらに導電性ジルコニアセラミックスは、
ジルコニア（ＺｒＯ2 ）を主成分とし、導電性付与剤及
び安定化剤を添加してなる焼結体である。具体的な導電
性付与剤としては、Ｆｅ2 Ｏ3 にＣａ，Ｋ、Ｎａ、Ｍ
ｇ、Ｚｎ、Ｓｃなどの安定化剤を添加してなる酸化鉄系
導電性付与剤や、ＴｉＣにＴｉＯ2 やＡｌ2 Ｏ3 等の安
定化剤を添加してなる炭化チタン系導電性付与剤を用
い、酸化鉄系導電性付与剤の場合は全体に対して１５〜
３５重量％の範囲で、炭化チタン系導電性付与剤の場合
は全体に対して１０〜２５重量％の範囲で、それぞれ添
加すれば上記の体積固有抵抗値の範囲とすることができ
る。そして、上記組成比となるように原料粉末を調合
し、プレス成形や射出成形等の公知の方法で所定形状に
成形した後、大気雰囲気中、１１００〜１４００℃で焼
成し、その後必要に応じて研削、研磨することによって
得ることができる。
ジルコニア（ＺｒＯ2 ）を主成分とし、導電性付与剤及
び安定化剤を添加してなる焼結体である。具体的な導電
性付与剤としては、Ｆｅ2 Ｏ3 にＣａ，Ｋ、Ｎａ、Ｍ
ｇ、Ｚｎ、Ｓｃなどの安定化剤を添加してなる酸化鉄系
導電性付与剤や、ＴｉＣにＴｉＯ2 やＡｌ2 Ｏ3 等の安
定化剤を添加してなる炭化チタン系導電性付与剤を用
い、酸化鉄系導電性付与剤の場合は全体に対して１５〜
３５重量％の範囲で、炭化チタン系導電性付与剤の場合
は全体に対して１０〜２５重量％の範囲で、それぞれ添
加すれば上記の体積固有抵抗値の範囲とすることができ
る。そして、上記組成比となるように原料粉末を調合
し、プレス成形や射出成形等の公知の方法で所定形状に
成形した後、大気雰囲気中、１１００〜１４００℃で焼
成し、その後必要に応じて研削、研磨することによって
得ることができる。
【００２４】また、これらのセラミックスは炭素を含ま
ないことから、遊離炭素の含有量を０．５重量％以下と
でき、カーボン粉末の異物混入を防止できる。
ないことから、遊離炭素の含有量を０．５重量％以下と
でき、カーボン粉末の異物混入を防止できる。
【００２５】
【００２６】なお、本発明において、先端部材１が体積
固有抵抗値１０3 〜１０9 Ω・ｃｍのセラミックスから
なるとは、少なくとも先端部材１の表面が上記範囲のセ
ラミックスからなることである。したがって、基体の表
面に上記体積固有抵抗値の範囲内のセラミックスをコー
ティングして先端部材１を構成することもできる。
固有抵抗値１０3 〜１０9 Ω・ｃｍのセラミックスから
なるとは、少なくとも先端部材１の表面が上記範囲のセ
ラミックスからなることである。したがって、基体の表
面に上記体積固有抵抗値の範囲内のセラミックスをコー
ティングして先端部材１を構成することもできる。
【００２７】一方、支持部材２は、体積固有抵抗が１０
11〜１０16Ω・ｃｍの材質を用いるが、これは１０11Ω
・ｃｍ未満では、短絡防止効果や静電気を徐々に逃がす
効果が乏しくなるためであり、一方１０16Ω・ｃｍより
も大きくすることは困難であるためである。
11〜１０16Ω・ｃｍの材質を用いるが、これは１０11Ω
・ｃｍ未満では、短絡防止効果や静電気を徐々に逃がす
効果が乏しくなるためであり、一方１０16Ω・ｃｍより
も大きくすることは困難であるためである。
【００２８】具体的な支持部材２の材質は、アルミナ、
ジルコニア、窒化珪素等のセラミックスや、各種合成樹
脂を用いれば良い。特に図２にような構造とする場合
は、弾性を有している必要があるため、ジルコニアセラ
ミックスまたは合成樹脂で形成する。この場合のジルコ
ニアセラミックスとは、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）を主成
分とし、Ｙ2 Ｏ3 、ＣｅＯ、Ｄｙ2 Ｏ3 、ＣａＯ、Ｍｇ
Ｏなどの安定化剤や周知の焼結助剤を添加してなる原料
粉末を所定形状に成形し、焼結させたものであり、正方
晶の結晶を主体とし、平均結晶粒径２μｍ以下の部分安
定化ジルコニアセラミックスのことである。さらに、合
成樹脂としては、塩化ビニール等さまざまなものを用い
ることができる。
ジルコニア、窒化珪素等のセラミックスや、各種合成樹
脂を用いれば良い。特に図２にような構造とする場合
は、弾性を有している必要があるため、ジルコニアセラ
ミックスまたは合成樹脂で形成する。この場合のジルコ
ニアセラミックスとは、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）を主成
分とし、Ｙ2 Ｏ3 、ＣｅＯ、Ｄｙ2 Ｏ3 、ＣａＯ、Ｍｇ
Ｏなどの安定化剤や周知の焼結助剤を添加してなる原料
粉末を所定形状に成形し、焼結させたものであり、正方
晶の結晶を主体とし、平均結晶粒径２μｍ以下の部分安
定化ジルコニアセラミックスのことである。さらに、合
成樹脂としては、塩化ビニール等さまざまなものを用い
ることができる。
【００２９】体積固有抵抗が１０３〜１０９Ω・ｃｍで
ある各種材質の物性を表１に示す。この表１より、先端
部材１としては、導電性ジルコニアセラミックスに特定
される。
ある各種材質の物性を表１に示す。この表１より、先端
部材１としては、導電性ジルコニアセラミックスに特定
される。
【００３０】また支持部材２としては、ジルコニアセラ
ミックス及び塩化ビニール等の合成樹脂が適しているこ
とが解る。
ミックス及び塩化ビニール等の合成樹脂が適しているこ
とが解る。
【００３１】なお、上記曲げ強度は、ＪＩＳ−Ｒ１６０
１に基づくものであり、実際の先端部材１より測定する
場合は、所定の形状に切断した試験片で３点曲げ試験に
より測定する。この時、ＪＩＳで規定する寸法の試験片
が得られない場合は、ワイブル係数と有効体積を加味し
た公知の手法によりＪＩＳに規定する試験片での曲げ強
度に換算すれば良い。
１に基づくものであり、実際の先端部材１より測定する
場合は、所定の形状に切断した試験片で３点曲げ試験に
より測定する。この時、ＪＩＳで規定する寸法の試験片
が得られない場合は、ワイブル係数と有効体積を加味し
た公知の手法によりＪＩＳに規定する試験片での曲げ強
度に換算すれば良い。
【００３２】また、体積固有抵抗値については、ＪＩＳ
−Ｃ２１４１に規定する超絶縁抵抗計で測定したもので
ある。
−Ｃ２１４１に規定する超絶縁抵抗計で測定したもので
ある。
【００３３】
【表１】
【００３４】なお、図１、２では手で把持操作するピン
セットについての実施形態を説明したが、本発明の挟持
具はピンセットに限るものではない。例えば、自動機等
において微小素子を挟持して取り扱うマニピュレータ等
として、本発明の挟持具を適用することもできる。この
場合、上述したように静電気を徐々に逃がして放電を防
止できるため、自動機側に悪影響が生じることも防止で
きる。
セットについての実施形態を説明したが、本発明の挟持
具はピンセットに限るものではない。例えば、自動機等
において微小素子を挟持して取り扱うマニピュレータ等
として、本発明の挟持具を適用することもできる。この
場合、上述したように静電気を徐々に逃がして放電を防
止できるため、自動機側に悪影響が生じることも防止で
きる。
【００３５】また、図示していないが、本発明の挟持具
に静電気を除去するための端子を備えておいて、この端
子をコード等で接地して使用することもできる。
に静電気を除去するための端子を備えておいて、この端
子をコード等で接地して使用することもできる。
【００３６】
【００３７】
【００３８】
【００３９】
【００４０】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、被
挟持物体と接する先端部材を体積固有抵抗１０3 〜１０
9 Ω・ｃｍのセラミックスで形成するとともに、この先
端部材を支持し、かつ把持操作する支持部材を１０11〜
１０16Ω・ｃｍの体積固有抵抗をもった材質で構成した
ことによって、耐熱性、耐食性に優れ、導通短絡を防止
するとともに、確実に静電気を除去することができ、し
かも静電気を徐々に逃がすことから、放電が生じる恐れ
をなくすことができる。
挟持物体と接する先端部材を体積固有抵抗１０3 〜１０
9 Ω・ｃｍのセラミックスで形成するとともに、この先
端部材を支持し、かつ把持操作する支持部材を１０11〜
１０16Ω・ｃｍの体積固有抵抗をもった材質で構成した
ことによって、耐熱性、耐食性に優れ、導通短絡を防止
するとともに、確実に静電気を除去することができ、し
かも静電気を徐々に逃がすことから、放電が生じる恐れ
をなくすことができる。
【００４１】また、上記先端部材として、曲げ強度３０
０ＭＰａ以上で遊離炭素含有量０．５重量％以下のセラ
ミックスを用いれば、使用時に破損する恐れがなく、カ
ーボン粉末の異物混入を防止できる。
０ＭＰａ以上で遊離炭素含有量０．５重量％以下のセラ
ミックスを用いれば、使用時に破損する恐れがなく、カ
ーボン粉末の異物混入を防止できる。
【００４２】したがって、本発明によれば、電子部品等
を挟持しても全く悪影響を及ぼすことのない高性能の挟
持具を提供できる。
を挟持しても全く悪影響を及ぼすことのない高性能の挟
持具を提供できる。
【図１】本発明による挟持具の実施形態を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】本発明による挟持具の実施形態を示す斜視図で
ある。
ある。
１．先端部材
２．支持部材
３．弾性系合体
４．ビス
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B25B 9/00
B25B 7/00
Claims (2)
- 【請求項１】被挟持物体を支持する先端部材を、ジルコ
ニア（ＺｒＯ ２ ）を主成分とし、導電性付与剤として、
Ｆｅ ２ Ｏ ３ にＣａ，Ｋ、Ｎａ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｓｃなどの
安定化剤を添加してなる酸化鉄系導電性付与剤を全体に
対して１５〜３５重量％の範囲で、またはＴｉＣにＴｉ
Ｏ ２ やＡｌ ２ Ｏ ３ 等の安定化剤を添加してなる炭化チタ
ン系導電性付与剤を全体に対して１０〜２５重量％の範
囲で、それぞれ添加してなり、体積固有抵抗１０ ３ 〜１
０ ９ Ω・ｃｍの導電性ジルコニアセラミックスから形成
するとともに、この先端部材を支持し、かつ把持操作す
る支持部材が１０１１〜１０１６Ω・ｃｍの体積固有抵
抗をもった材質で構成されてなる挟持具。 - 【請求項２】上記先端部材が、遊離炭素の含有量０．５
重量％以下であり、曲げ強度３００ＭＰａ以上のセラミ
ックスよりなることを特徴とする請求項１記載の挟持
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04085897A JP3506581B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 挟持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04085897A JP3506581B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 挟持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10235566A JPH10235566A (ja) | 1998-09-08 |
| JP3506581B2 true JP3506581B2 (ja) | 2004-03-15 |
Family
ID=12592258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04085897A Expired - Fee Related JP3506581B2 (ja) | 1997-02-25 | 1997-02-25 | 挟持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3506581B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4771234B2 (ja) * | 2008-07-07 | 2011-09-14 | 株式会社グリーンベル | 挟み具 |
| KR101600942B1 (ko) * | 2015-12-23 | 2016-03-09 | 주식회사 서진파워테크 | 점착성 패드 물품을 위한 핑거 기기 및 그의 제조 방법 |
| CN114630813B (zh) * | 2019-10-29 | 2023-11-21 | 京瓷株式会社 | 陶瓷结构体、吸嘴、刀具、镊子、磨损检测器、粉体除电装置、粉体制造装置、顶销、搬运手及纤维引导件 |
-
1997
- 1997-02-25 JP JP04085897A patent/JP3506581B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10235566A (ja) | 1998-09-08 |
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