JP3503294B2 - 空気調和装置 - Google Patents
空気調和装置Info
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- JP3503294B2 JP3503294B2 JP23762295A JP23762295A JP3503294B2 JP 3503294 B2 JP3503294 B2 JP 3503294B2 JP 23762295 A JP23762295 A JP 23762295A JP 23762295 A JP23762295 A JP 23762295A JP 3503294 B2 JP3503294 B2 JP 3503294B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気調和装置に係
り、特にクリーンルームに適用される空気調和装置に関
する。
り、特にクリーンルームに適用される空気調和装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルーム用の空気調和装置
に装備されるプレフィルタ、中性能フィルタ及び高性能
フィルタの濾材は、ガラス繊維で構成されている。
に装備されるプレフィルタ、中性能フィルタ及び高性能
フィルタの濾材は、ガラス繊維で構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、クリーンル
ームに供給する空調エアは、クリーンルーム内で発生す
る熱を除去するために低温にされるとともに、クリーン
ルーム内の湿度を維持するために高湿度に調整される。
一方、ガラス繊維は、繊維径が太く、バラツキが大きい
上に親水性があるため、フィルタ表面で結露が生じ易
く、フィルタ表面に水滴が付着し易い性質を有してい
る。このため、濾材がガラス繊維で構成されたエアフィ
ルタは、結露した水滴が付着することにより、通気抵抗
が増加したり、吹出口側に微小なミストが送り込まれた
りするため、湿度の安定した空調エアの供給ができない
という欠点がある。
ームに供給する空調エアは、クリーンルーム内で発生す
る熱を除去するために低温にされるとともに、クリーン
ルーム内の湿度を維持するために高湿度に調整される。
一方、ガラス繊維は、繊維径が太く、バラツキが大きい
上に親水性があるため、フィルタ表面で結露が生じ易
く、フィルタ表面に水滴が付着し易い性質を有してい
る。このため、濾材がガラス繊維で構成されたエアフィ
ルタは、結露した水滴が付着することにより、通気抵抗
が増加したり、吹出口側に微小なミストが送り込まれた
りするため、湿度の安定した空調エアの供給ができない
という欠点がある。
【０００４】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、湿度の安定した空調エアを安定した風量で供給
する空気調和装置を提供することを目的とする。
もので、湿度の安定した空調エアを安定した風量で供給
する空気調和装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る空気調和装
置は、前記目的を達成するために、上流側に冷却コイル
と再熱コイルと加湿器を備えるとともに、前記加湿器の
下流側に設置された除塵用フィルタの濾材を高分子樹脂
製の繊維で形成したことを特徴とする。上記の発明にお
いて高分子樹脂材としては特にポリテトラフルオロエチ
レンが好ましい。
置は、前記目的を達成するために、上流側に冷却コイル
と再熱コイルと加湿器を備えるとともに、前記加湿器の
下流側に設置された除塵用フィルタの濾材を高分子樹脂
製の繊維で形成したことを特徴とする。上記の発明にお
いて高分子樹脂材としては特にポリテトラフルオロエチ
レンが好ましい。
【０００６】本発明によれば、高分子樹脂製の繊維は、
繊維径が細く、バラツキも少なく且つ撥水性を有するた
め、水滴が付着しにくい性質を有する。このため、高分
子樹脂製の繊維で構成した濾材は、ガラス繊維で形成さ
れた濾材のように、結露した水滴が付着して通気抵抗が
増加したり、吹出口側に微小なミストが送り込まれたり
することがない。したがって、安定した空調エアの供給
を行うことができる。
繊維径が細く、バラツキも少なく且つ撥水性を有するた
め、水滴が付着しにくい性質を有する。このため、高分
子樹脂製の繊維で構成した濾材は、ガラス繊維で形成さ
れた濾材のように、結露した水滴が付着して通気抵抗が
増加したり、吹出口側に微小なミストが送り込まれたり
することがない。したがって、安定した空調エアの供給
を行うことができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る空気調和装置の好ましい実施の形態について詳説す
る。図１は、本発明に係る空気調和装置の実施の形態の
構成図であり、空調エアをクリーンルームに供給する場
合である。同図に示すように、空気調和装置１０のケー
シング１２は、図中左側端部に外気の吸込口１４が形成
され、図中右側端部に空調エアの吹出口１６が形成され
ている。吹出口１６には、後述するクリーンルーム１８
に連通する給気ダクト２０が連結され、この給気ダクト
２０を介してケーシング１２内で生成した空調エアがク
リーンルーム１８内に供給される。
る空気調和装置の好ましい実施の形態について詳説す
る。図１は、本発明に係る空気調和装置の実施の形態の
構成図であり、空調エアをクリーンルームに供給する場
合である。同図に示すように、空気調和装置１０のケー
シング１２は、図中左側端部に外気の吸込口１４が形成
され、図中右側端部に空調エアの吹出口１６が形成され
ている。吹出口１６には、後述するクリーンルーム１８
に連通する給気ダクト２０が連結され、この給気ダクト
２０を介してケーシング１２内で生成した空調エアがク
リーンルーム１８内に供給される。
【０００８】前記ケーシング１２内には、中央近傍にフ
ァン２２が設置されており、このファン２２を駆動する
ことにより、前記吸込口１４から外気がケーシング１２
内に導入される。前記ファン２２の上流部には、吸込口
１４側から順にプレフィルタ２４、２４、２４、冷却コ
イル２６、再熱コイル２８及び加湿器３０が所定の間隔
で設置されている。そして、吸込口１４から導入された
外気は、プレフィルタ２４、２４、２４を通過すること
により含有する粗塵が除去され、冷却コイル２６を通過
することにより露点１０℃前後まで冷却除湿される。そ
して、再熱コイル２８を通過することにより任意の温度
まで加温され、加湿器３０を通過することにより任意の
湿度まで蒸気加湿される。
ァン２２が設置されており、このファン２２を駆動する
ことにより、前記吸込口１４から外気がケーシング１２
内に導入される。前記ファン２２の上流部には、吸込口
１４側から順にプレフィルタ２４、２４、２４、冷却コ
イル２６、再熱コイル２８及び加湿器３０が所定の間隔
で設置されている。そして、吸込口１４から導入された
外気は、プレフィルタ２４、２４、２４を通過すること
により含有する粗塵が除去され、冷却コイル２６を通過
することにより露点１０℃前後まで冷却除湿される。そ
して、再熱コイル２８を通過することにより任意の温度
まで加温され、加湿器３０を通過することにより任意の
湿度まで蒸気加湿される。
【０００９】一方、前記ファン２２の下流部には、中性
能エアフィルタ３２、３２、３２及び高性能エアフィル
タ３４、３４、３４が設置され、前記加湿器３０を通過
した外気は、この中性能エアフィルタ３２、３２、３２
及び高性能エアフィルタ３４、３４、３４を通過するこ
とにより、極めて清浄な空気に調整される。前記高性能
エアフィルタ３４、３４、３４を通過した空調エアは、
吹出口１６から給気ダクト２０を介して、クリーンルー
ム１８の天井部に形成された天井チャンバ３６に供給さ
れる。
能エアフィルタ３２、３２、３２及び高性能エアフィル
タ３４、３４、３４が設置され、前記加湿器３０を通過
した外気は、この中性能エアフィルタ３２、３２、３２
及び高性能エアフィルタ３４、３４、３４を通過するこ
とにより、極めて清浄な空気に調整される。前記高性能
エアフィルタ３４、３４、３４を通過した空調エアは、
吹出口１６から給気ダクト２０を介して、クリーンルー
ム１８の天井部に形成された天井チャンバ３６に供給さ
れる。
【００１０】前記天井チャンバ３６には、ファン３８と
ＨＥＰＡフィルタ４０とから構成されるファンフィルタ
ユニット４２、４２が設置され、このファンフィルタユ
ニット４２、４２を介して天井チャンバ３６に供給され
た空調エアがクリーンルーム１８内に供給される。前記
クリーンルーム１８の床面は、グレーチング床４４で形
成されており、クリーンルーム１８内に供給された空調
エアは、このグレーチング床４４を介して床下に形成さ
れた床下チャンバ４６に導かれる。
ＨＥＰＡフィルタ４０とから構成されるファンフィルタ
ユニット４２、４２が設置され、このファンフィルタユ
ニット４２、４２を介して天井チャンバ３６に供給され
た空調エアがクリーンルーム１８内に供給される。前記
クリーンルーム１８の床面は、グレーチング床４４で形
成されており、クリーンルーム１８内に供給された空調
エアは、このグレーチング床４４を介して床下に形成さ
れた床下チャンバ４６に導かれる。
【００１１】床下チャンバ４６に導かれた空調エアは、
一部が壁部に形成された風路４８を介して天井チャンバ
３６に戻され、残りが換気ダクト５０を介して空気調和
装置１０に戻される。床下チャンバ４６から天井チャン
バ３６に戻された空調エアは、空気調和装置１０から供
給された空調エアとミキシングされたのち、再びファン
フィルタユニット４２、４２によって浄化されて、クリ
ーンルーム１８内に供給される。一方、床下チャンバ４
６から空気調和装置１０に戻された空調エアは、プレフ
ィルタ２４、２４、２４を通過した外気とミキシングさ
れたのち、冷却コイル２６→再熱コイル２８→加湿器３
０→中性能エアフィルタ３２、３２、３２→高性能エア
フィルタ３４、３４、３４を通過することにより所望の
温湿度に空調されて再びクリーンルーム１８内に供給さ
れる。
一部が壁部に形成された風路４８を介して天井チャンバ
３６に戻され、残りが換気ダクト５０を介して空気調和
装置１０に戻される。床下チャンバ４６から天井チャン
バ３６に戻された空調エアは、空気調和装置１０から供
給された空調エアとミキシングされたのち、再びファン
フィルタユニット４２、４２によって浄化されて、クリ
ーンルーム１８内に供給される。一方、床下チャンバ４
６から空気調和装置１０に戻された空調エアは、プレフ
ィルタ２４、２４、２４を通過した外気とミキシングさ
れたのち、冷却コイル２６→再熱コイル２８→加湿器３
０→中性能エアフィルタ３２、３２、３２→高性能エア
フィルタ３４、３４、３４を通過することにより所望の
温湿度に空調されて再びクリーンルーム１８内に供給さ
れる。
【００１２】ところで、従来、前記空気調和装置１０に
おけるプレフィルタ２４、中性能エアフィルタ３２、高
性能エアフィルタ３４、及びファンフィルタユニット４
２におけるＨＥＰＡフィルタ４０の濾材はガラス繊維で
構成されていた。これらのエアフィルタの濾材は、外気
に近いほど繊維径が太く、密度が低いものが用いられ
る。ところが、ガラス繊維表面は親水性があるため、エ
ア中の水分がフィルタ表面で結露することによりフィル
タ表面に水滴が付着し、フィルタの通気抵抗が増加す
る。
おけるプレフィルタ２４、中性能エアフィルタ３２、高
性能エアフィルタ３４、及びファンフィルタユニット４
２におけるＨＥＰＡフィルタ４０の濾材はガラス繊維で
構成されていた。これらのエアフィルタの濾材は、外気
に近いほど繊維径が太く、密度が低いものが用いられ
る。ところが、ガラス繊維表面は親水性があるため、エ
ア中の水分がフィルタ表面で結露することによりフィル
タ表面に水滴が付着し、フィルタの通気抵抗が増加す
る。
【００１３】このことに鑑みて、本実施の形態では、加
湿器３０の下流側に設置され、結露による水滴の付着の
影響を最も受けやすい高性能エアフィルタ３４の濾材を
高分子樹脂製の繊維で構成した。高分子樹脂材として
は、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレンが好
ましく、特に、ポリテトラフルオロエチレンは、繊維径
がガラス繊維の約１／１０であるとともに、バラツキも
少ない。また、高分子樹脂材はガラスと異なり、撥水性
を有するため、水滴が付着することがない。
湿器３０の下流側に設置され、結露による水滴の付着の
影響を最も受けやすい高性能エアフィルタ３４の濾材を
高分子樹脂製の繊維で構成した。高分子樹脂材として
は、ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレンが好
ましく、特に、ポリテトラフルオロエチレンは、繊維径
がガラス繊維の約１／１０であるとともに、バラツキも
少ない。また、高分子樹脂材はガラスと異なり、撥水性
を有するため、水滴が付着することがない。
【００１４】前記の如く構成された本発明に係る空気調
和装置の実施の形態の作用は次の通りである。ファン２
２により吸込口１４からケーシング１２内に導入された
外気は、プレフィルタ２４、２４、２４→冷却コイル２
６→再熱コイル２８→加湿器３０→中性能エアフィルタ
３２、３２、３２→高性能エアフィルタ３４、３４、３
４を通過することにより、所望の温湿度に空調され、給
気ダクト２０を介して、クリーンルーム１８内に導かれ
る。
和装置の実施の形態の作用は次の通りである。ファン２
２により吸込口１４からケーシング１２内に導入された
外気は、プレフィルタ２４、２４、２４→冷却コイル２
６→再熱コイル２８→加湿器３０→中性能エアフィルタ
３２、３２、３２→高性能エアフィルタ３４、３４、３
４を通過することにより、所望の温湿度に空調され、給
気ダクト２０を介して、クリーンルーム１８内に導かれ
る。
【００１５】ここで、クリーンルーム１８に供給する空
調エアは、クリーンルーム１８内で発生する熱を除去す
るために低温にされるとともに、クリーンルーム１８内
の湿度を維持するために高湿度にされる。このため、従
来のようにガラス繊維で構成された濾材を使用したエア
フィルタは、結露により水滴が付着し、通気抵抗が増加
する。この影響を最も受けやすいのが加湿器３０の下流
側に設置された高性能エアフィルタ３４である。
調エアは、クリーンルーム１８内で発生する熱を除去す
るために低温にされるとともに、クリーンルーム１８内
の湿度を維持するために高湿度にされる。このため、従
来のようにガラス繊維で構成された濾材を使用したエア
フィルタは、結露により水滴が付着し、通気抵抗が増加
する。この影響を最も受けやすいのが加湿器３０の下流
側に設置された高性能エアフィルタ３４である。
【００１６】しかしながら、本実施の形態の空気調和装
置１０は、高性能エアフィルタ３４の濾材を高分子樹脂
製の繊維で構成している。この高分子樹脂製の繊維で構
成された濾材は、繊維径が細く、バラツキも少なく且つ
撥水性を有するため、低温高湿度の空調エアが通過して
も、水滴が付着しない。このため、濾材をガラス繊維で
構成した高性能エアフィルタのように、結露した水滴が
付着して通気抵抗が増加したり、吹出口側に微小なミス
トが送り込まれたりすることがない。したがって、湿度
の安定した空調エアを安定した風量で供給することがで
きる。
置１０は、高性能エアフィルタ３４の濾材を高分子樹脂
製の繊維で構成している。この高分子樹脂製の繊維で構
成された濾材は、繊維径が細く、バラツキも少なく且つ
撥水性を有するため、低温高湿度の空調エアが通過して
も、水滴が付着しない。このため、濾材をガラス繊維で
構成した高性能エアフィルタのように、結露した水滴が
付着して通気抵抗が増加したり、吹出口側に微小なミス
トが送り込まれたりすることがない。したがって、湿度
の安定した空調エアを安定した風量で供給することがで
きる。
【００１７】このように、本実施の形態の空気調和装置
によれば、加湿器３０の下流側に設置された高性能フィ
ルタの濾材を、水滴が付着しにくい高分子樹脂製の繊維
で構成することにより、通気抵抗が増加したり、吹出口
側に微少なミストが送り込まれたりすることのない、湿
度の安定した空調エアの供給を行うことができる。特
に、高分子樹脂材としてポリテトラフルオロエチレンを
用いた場合には、繊維径をガラス繊維の約１／１０にで
き、バラツキも少ないので有効である。
によれば、加湿器３０の下流側に設置された高性能フィ
ルタの濾材を、水滴が付着しにくい高分子樹脂製の繊維
で構成することにより、通気抵抗が増加したり、吹出口
側に微少なミストが送り込まれたりすることのない、湿
度の安定した空調エアの供給を行うことができる。特
に、高分子樹脂材としてポリテトラフルオロエチレンを
用いた場合には、繊維径をガラス繊維の約１／１０にで
き、バラツキも少ないので有効である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高分子樹脂製の繊維で構成された濾材は、撥水性を有す
るので除塵フィルタの表面に水滴が付着しにくい。この
ため、従来のガラス繊維で構成された濾材のように、結
露した水滴が付着して通気抵抗が増加したり、吹出口側
に微小なミストが送り込まれたりすることがない。した
がって、湿度の安定した空調エアを安定した風量で供給
することができる。
高分子樹脂製の繊維で構成された濾材は、撥水性を有す
るので除塵フィルタの表面に水滴が付着しにくい。この
ため、従来のガラス繊維で構成された濾材のように、結
露した水滴が付着して通気抵抗が増加したり、吹出口側
に微小なミストが送り込まれたりすることがない。した
がって、湿度の安定した空調エアを安定した風量で供給
することができる。
【図１】本発明に係る空気調和装置の実施の形態の構成
図
図
１０…空気調和装置
２４…プレフィルタ
３２…中性能エアフィルタ
３４…高性能エアフィルタ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 河西 正隆
東京都千代田区内神田１丁目１番14号
日立プラント建設株式会社内
(56)参考文献 特開 平７−60049（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−284956（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−189443（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F24F 7/04 - 7/06
Claims (2)
- 【請求項１】 上流側に冷却コイルと再熱コイルと加湿
器を備えるとともに、前記加湿器の下流側に設置された
除塵用フィルタの濾材を高分子樹脂製の繊維で形成した
ことを特徴とする空気調和装置。 - 【請求項２】 前記高分子樹脂材がポリテトラフルオロ
エチレンであることを特徴とする請求項１に記載の空気
調和装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23762295A JP3503294B2 (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | 空気調和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23762295A JP3503294B2 (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | 空気調和装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0960936A JPH0960936A (ja) | 1997-03-04 |
| JP3503294B2 true JP3503294B2 (ja) | 2004-03-02 |
Family
ID=17018053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23762295A Expired - Fee Related JP3503294B2 (ja) | 1995-08-23 | 1995-08-23 | 空気調和装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3503294B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103316545A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-25 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于mocvd设备的多级颗粒过滤器 |
-
1995
- 1995-08-23 JP JP23762295A patent/JP3503294B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103316545A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-25 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于mocvd设备的多级颗粒过滤器 |
| CN103316545B (zh) * | 2013-05-20 | 2015-07-01 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于mocvd设备的多级颗粒过滤器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0960936A (ja) | 1997-03-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20031201 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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