JP3502160B2 - 基板搬送装置に備える基板反り矯正装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はプリント基板に電子部品
等を実装するマウンタや実装基板の検査に使用するＸ−
Ｙ方式インサーキットテスタ等に設置する基板搬送装置
に備える基板反り矯正装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品等を
半田付けしたプリント基板はインサーキットテスタを用
いて検査し、基板の良否の判定を行っている。このよう
なインサーキットテスタには種々のものがあるが、例え
ばＸ−Ｙ方式では被検査基板を載せる測定台上にプロー
ブを備えたＸ−Ｙユニットを設置し、そのＸ−Ｙユニッ
トを制御することにより、そのプローブを基板の上方か
らＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向にそれぞれ適宜移動して、基板
の必要な測定点に適宜接触させ、各部品の電気的測定を
実施する。それ故、測定台として基板搬送装置を使用す
ると、Ｘ−Ｙユニットを設置した所定の場所に基板を次
々と素早く送りこみ、そこで搬送を停止して測定作業を
実施し、送り出せるため、基板の検査を高速化できる。
しかし、基板搬送装置を用いて基板を所定の場所に送り
こんでも、基板に反りが存在すると、正確な測定を行な
えない。そこで、その場所に図１２、１３に示すような
基板反り矯正装置を設置している。

【０００３】図１２の基板反り矯正装置は矢印で示す上
下動可能に支持された固定用の金具１０（１０ａ、１０
ｂ）と、エアシリンダ１２のピストンロッド１４の先端
に固着し、矢印で示す上下動可能に支持されたサポート
ピン１６とを備えている。そして、基板搬送装置のベル
ト１８（１８ａ、１８ｂ）に乗って搬送されてきた被検
査基板２０に対し、先ず固定金具１０にて基板２０の下
支えした相対する両縁部の付近をそれぞれ上からベルト
１８の上面に押し付けて固定する。次に、サポートピン
１６の先端を両ベルト１８の上面をつなぐ面（基準面）
２２の位置まで上方に移動させて、基板２０の下方向へ
の反りを押し上げることにより矯正する。なお、２４
（２４ａ、２４ｂ）は基板搬送装置のベルト１８を案内
するレールである。又、図１３に示す基板反り矯正装置
ではサポートピン１６に替わるバキュームパット２６を
備えている。それ故、バキュームパット２６を基準面２
２まで上動させ、被検査基板２０を吸いつけることで上
方向への反りを矯正できる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１２
に示す基板反り矯正装置では基板２０の上方向への反り
は矯正できない。又、図１３に示す基板反り矯正装置で
は穴の多い基板２０に対しては吸着力が減少するため、
良好に反りを矯正できない。

【０００５】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、基板の上方向、下方向への反り
に関係なく、それ等の反りを良好に矯正できる基板搬送
装置に備える基板反り矯正装置を提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では基板２８の相対する両縁部付近をそれぞ
れ下支え部材３２に乗せて基板２８を搬送する基板搬送
装置３０の基板２８に対する作業実施のために搬送を停
止する所定の場所に、基板反り矯正装置として、基板２
８の下支えした両縁部付近をそれぞれ上から押さえる固
定部材４２を備えて、それ等の各固定部材４２を上下動
可能に支持する基板両縁部固定装置と、その基板２８の
搬送方向に沿う前後縁部４４、４８の付近をそれぞれ自
在に固定し、解放する各矯正ユニット６２を備えた基板
前後縁部固定装置５０とを設置する。

【０００７】そして、それ等の各矯正ユニット６２を基
板２８の縁部４４又は４８の付近に下から当接する下支
え部材７２を備えて、その下支え部材７２を上下動可能
に支持する縁部下支え手段７４と、その下支えした縁部
４４又は４８の付近を上から押さえる固定部８０が一方
向に突出した部材８２を上下動且つ回転可能に支持する
縁部固定第１手段８４と、その縁部固定第１手段８４を
上下動可能に支持する縁部固定第２手段８８と、それ等
の縁部下支え手段７４と縁部固定第２手段８８とを据え
付ける台部７９とから構成する。

【０００８】又、一方の矯正ユニット６２ａを基板２８
の搬送方向と直角の方向に可動するアーム５６の上に据
え付け、他方の矯正ユニット６２ｂをそのアーム５６の
上を搬送方向に可動する支持部材６０に据え付けると好
ましくなる。

【０００９】

【作用】上記のように構成し、基板搬送装置３０の基板
２８に対する作業実施用の搬送停止場所で、相対する両
縁部付近をそれぞれ部材３２で下支えされて搬送されて
きた基板２８に対し、基板２８の搬送方向に沿う前後縁
部４４、４８の付近をそれぞれ固定するため、基板前後
縁部固定装置５０に備えられている両矯正ユニット６２
を使用する。その際、両矯正ユニット６２に備えた例え
ば各縁部固定第２手段８８で先ず縁部固定第１手段８４
をそれぞれ上動し、一方の縁部固定第１手段８４ａの上
端を基板２８の前縁部４４の付近の側方に達する高さま
で上げ、他方の縁部固定第１手段８４ｂの上端も基板２
８の後縁部４８の付近の側方に達する高さまで上げる。
次に、各縁部固定第１手段８４で各固定部材８０付き部
材８２をそれぞれ上動且つ回転しながら、一方の固定部
８０ａを基板２８の前縁部４４より少し高く上げ、その
固定部８０ａの少なくとも一部が前縁部４４の真上にく
るように回転する。又、他方の固定部８０ｂを基板２８
の後縁部４８より少し高く上げ、その固定部８０ｂの少
なくとも一部が後縁部４８の真上にくるように回転す
る。

【００１０】次に、各縁部下支え手段７４で各下支え部
材７２をそれぞれ上動し、一方の下支え部材７２ａの上
端を基板２８の前縁部４４の付近にある基準面の高さま
で上げ、他方の下支え部材７２ｂの上端を基板２８の後
縁部４８の付近にある基準面の高さまで上げる。次に、
各縁部固定第２手段８８で各縁部固定第１手段８４をそ
れぞれ下動し、一方の固定部８０ａを基板２８の前縁部
４４の付近に上から押し付け、その前縁部４４の付近を
下支え部材７２ａと挟持して固定する。又、他方の固定
部８０ｂを基板２８の後縁部４８の付近に上から押し付
け、その後縁部４８の付近を下支え部材７２ｂと挟持し
て固定する。すると、基板２８の搬送方向に沿う下方向
への反りは両下支え部材７２にて矯正し、上方向への反
りは両固定部８０付き部材８２にて矯正できる。

【００１１】更に、基板２８の搬送装置３０に備えた下
支え部材３２に乗る相対する両縁部（左右縁部）の付近
をそれぞれ固定するため、基板両縁部固定装置に備えら
れている両固定部材４２を使用する。その際には、基板
両縁部固定装置で各固定部材４２をそれぞれ下動し、そ
れ等の各固定部材４２で基板２８の相対する両縁部付近
をそれぞれ上から下支え部材３２の上面（基準面）に押
し付け、下支え部材３２と挟持して固定する。すると、
基板２８の相対する両縁部方向（左右方向）に沿う下方
向への反りは両下支え部材３２にて矯正し、上方向への
反りは両固定部４２にて矯正できる。

【００１２】又、一方の矯正ユニット６２ａを基板２８
の搬送方向と直角の方向に可動するアーム５６の上に据
え付け、他方の矯正ユニット６２ｂをそのアーム５６の
上を搬送方向に可動する支持部材６０に据え付けると、
基板２８の大きさが種々であっても、一方の矯正ユニッ
ト６２ａを基板２８の大きさに合わせて基板２８の搬送
方向と直角の方向に適宜移動し、基板２８の例えば前縁
部４４の中央付近を一方の縁部固定第１手段８４ａで支
持する部材８２ａの固定部８０ａと、対応する下支え手
段７４ａで支持する下支え部材７２ａとで挟持して固定
できる。そして、他方の矯正ユニット６２ｂを基板２８
の大きさに合わせて搬送方向に適宜移動し、基板２８の
後縁部４４の中央付近を同様に他方の縁部固定第１手段
８４ｂで支持する部材８２ｂの固定部８０ｂと、対応す
る下支え手段７４ｂで支持する下支え部材７２ｂとで挟
持して固定できる。

【００１３】

【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を説明する。図１は本発明を適用したＸ−Ｙ方式インサ
ーキットテスタ用の基板搬送装置に備える基板反り矯正
装置の前後縁部固定装置によって被検査基板を固定した
状態を示す左側面図、図２はその基板搬送装置とそこに
備えた基板反り矯正装置の両縁部固定装置の固定金具を
示す平面図、図３はその前後縁部固定装置の両矯正ユニ
ット待機時の状態を示す平面図である。図２中、２８は
方形状の被検査基板、３０はその基板２８を搬送する基
板搬送装置、３２（３２ａ、３２ｂ）はその基板２８の
相対する両縁部（左右縁部）の付近をそれぞれ乗せて走
行する下支え部材たる無端ベルト、３４（３４ａ、３４
ｂ）はそれ等の各ベルト３２をそれぞれ案内する平行に
並べて配設したベルト案内用のレール、３６（３６ａ、
３６ｂ）はそれ等の各ベルト案内用レール３４に据え付
けたベルト駆動用のモータ、３８（３８ａ、３８ｂ）は
両ベルト案内用レール３４の間隔を基板２８の大きさ
（Ｙ方向の幅）に合わせて調節するために右側ベルト案
内用レール３４ｂを移動するための右側レール移動用の
レール、４０（４０ａ、４０ｂ）は右側ベルト案内用レ
ール３４ｂを移動した後にそのレール３４ｂを固定する
右側レール固定用のレールである。

【００１４】又、４２（４２ａ、…４２ｄ）は基板２８
の下支えした両縁部付近をそれぞれ上から押さえる固定
部材たる金具である。これ等の固定金具４２はいずれも
断面コ状であり、その先端部が基板２８を上から押さえ
る固定部となり、基部が取付け部となる。そして、各固
定金具４２を基板搬送装置３０の基板２８に対する作業
実施のために搬送を停止する所定の場所に、２個ずつ各
ベルト案内用レール３４を被うように配設し、基板両縁
部固定装置たるエアシリンダのピストンロッド（図示な
し）の先端に取り付ける。すると、各固定金具４２を上
下動且つ回転可能に支持できる。これ等の固定金具４２
やそれを操作するエアシリンダ等は公知であり、基板反
り矯正装置の一部を構成する。なお、各固定金具４２は
待機状態では基板２８の搬送を妨げないように所定の高
さに上げておく。

【００１５】基板２８に対する電気的測定等の作業を実
施するため、基板搬送装置３０の後方（図の左側）から
基板２８の相対する両縁部付近をそれぞれベルト３２に
乗せて矢印方向に送り込む。すると、搬送されてきた基
板２８が所定の場所に達した時、その前縁部４４の左右
コーナ部がそれぞれストッパー４６（４６ａ、４６ｂ）
に当ると、両ベルト３２が停止するので、基板２８がそ
の場所で停止する。なお、これ等のストッパー４６も上
下動可能に支持されている。

【００１６】このような作業実施用の所定の場所には基
板２８の矢印で示す搬送方向に沿う前後縁部４４、４８
の付近をそれぞれ自在に固定し、解放する各矯正ユニッ
トを備えた基板前後縁部固定装置を設定し、図３に示す
ように両矯正ユニットを待機状態にしておく。図３中、
５０が基板前後縁部固定装置、５２がその固定装置５０
のベースとなる台板、５４がその台板５２の中央付近に
据え付けて基板２８の搬送方向（Ｘ方向）と直角の方向
（Ｙ方向）に配設したボールねじ、５６がそのボールね
じ５４に装着し、Ｙ方向に可動可能に支持されたＸ方向
に細長い長方形状のアーム板、５８がそのアーム板５６
の中央付近に据え付けてＸ方向に配設したボールねじ、
６０がそのボールねじ５８に装着し、Ｘ方向に可動可能
に支持されたＬ状のユニット支持部材、６２（６２ａ、
６２ｂ）がそれ等のアーム板５６の左コーナ部とユニッ
ト支持部材６０の上にそれぞれ据え付けた矯正ユニット
である。なお、６４（６４ａ、６４ｂ）がアーム板５６
の前後端部をそれぞれ乗せる案内レール、６６が後側矯
正ユニット６２ｂのユニット支持部材６０を乗せる案内
レール、６８がボールねじ５４を駆動するパルスモー
タ、７０がボールねじ５８を駆動するパルスモータであ
る。

【００１７】所定場所に停止した基板２８の反りを矯正
するため、先ずアーム板５６をＹ方向へ適宜移動し、前
側の矯正ユニット６２ａを基板２８の前縁部４４の中央
下方に配設する。又、ユニット支持部材６０をＸ方向へ
適宜移動し、後側の矯正ユニット６２ｂを基板２８の後
縁部４８の中央下方に配設する。このように、前側の矯
正ユニット６２ａをＹ方向に可動するアーム板５６の上
に据え付け、後側の矯正ユニット６２ｂをそのアーム板
５６の上をＸ方向に可動するユニット支持部材６０の上
に据え付けておくと、基板２８の大きさが種々であって
も対応できる。

【００１８】図４は被検査基板の大きさに合わせて移動
した後の両矯正ユニットを構成する各エアシリンダ等の
配置状態を示す左側面図、図５は平面図である。図中、
７２（７２ａ、７２ｂ）は下支え部材たるサポートピ
ン、７４（７４ａ、７４ｂ）はそれ等の各サポートピン
７２を上下動可能に支持する縁部下支え手段たるエアシ
リンダ、７６（７６ａ、７６ｂ）はそれ等の各エアシリ
ンダ７４のサポートピン７２を先端に取り付けるピスト
ンロッド、７８（７８ａ、７８ｂ）はそれ等の各エアシ
リンダ７６を図１に示す台板７９（７９ａ、７９ｂ）の
上に立設するシリンダ支持部材である。又、８０（８０
ａ、８０ｂ）は固定部となるホールドピン、８２（８２
ａ、８２ｂ）はそれ等の各ホールドピン８０を取り付け
て基板２８の基準面と平行な方向に突出させるピン支持
部材、８４（８４ａ、８４ｂ）はそれ等の各ホールドピ
ン８０を上下動且つ回転可能に支持する縁部固定第１手
段たるエアシリンダ、８６（８６ａ、８６ｂ）はそれ等
の各エアシリンダ８４のピン支持部材８２を先端に取り
付けるピストンロッドである。

【００１９】又、８８（８８ａ、８８ｂ）は各エアシリ
ンダ８４を上下動可能に支持する縁部固定第２手段たる
エアシリンダ、９０（９０ａ、９０ｂ）はそれ等の各ピ
ストンロッド、９２（９２ａ、９２ｂ）は各ピストンロ
ッド９０の先端に取り付けてエアシリンダ８４と連結す
る連結部材、９４（９４ａ、９４ｂ）は各エアシリンダ
８４の上下動を案内し、各ピストンロッド９０を補強す
る補強部材、９６（９６ａ、９６ｂ）は各エアシリンダ
８８を台板７９（７９ａ、７９ｂ）の上に立設するシリ
ンダ支持部材である。それ故、前後の矯正ユニット６２
はいずれもサポートピン７２を上下動可能に支持するエ
アシリンダ７４、ホールドピン８０を上下動且つ回転可
能に支持するエアシリンダ８４、そのエアシリンダ８４
を上下動可能に支持するエアシリンダ８８、それ等のエ
アシリンダ７４、８８を据え付ける台板７９等からな
る。但し、各シリンダ７４、８４、８８等の配置関係等
はほぼ前後対称にする。なお、各エアシリンダ８４に備
えるホールドピン８０は最初Ｙ方向の右側に向けて突出
させておく。

【００２０】これ等の両矯正ユニット６２による基板２
８の前後縁部４４、４８の固定に際し、先ず図６に示す
ように各エアシリンダ８８で各エアシリンダ８４をそれ
ぞれ上動し、エアシリンダ８４ａのピン支持部材８２ａ
を基板２８の前縁部４４の付近の側方に達する高さまで
上げ、エアシリンダ８４ｂのピン支持部材８２ｂを後縁
部４８の付近の側方に達する高さまで上げる。次に、各
エアシリンダ８４で各ホールドピン８０をそれぞれ上動
且つ回転しながら、図７に示すようにホールドピン８０
ａを基板２８の前縁部４４より少し高く上げ、そのホー
ルドピン８０ａがＸ方向の後側に向いて、その先端部が
前縁部４４の中央の真上に来るように９０°回転する。
又、ホールドピン８０ｂを後縁部４８より少し高く上
げ、そのホールドピン８０ｂがＸ方向の前側に向いて、
その先端部が後縁部４８の中央の真上に来るように９０
°回転する。すると、図８に示すようにホールドピン８
０ａの先端部がサポートピン７２の先端部の真上にき
て、ホールドピン８０ｂの先端部がサポートピン７２ｂ
の先端部の真上にもくる。

【００２１】次に、各エアシリンダ７４で各サポートピ
ン７２をそれぞれ上動し、図９に示すようにサポートピ
ン７２ａの先端を基板２８の前縁部４４の付近にある基
準面（ベルト３２の上面）の高さまで上げ、サポートピ
ン７２ｂの先端を後縁部４８の付近にある基準面の高さ
まで上げる。次に、各エアシリンダ８８で各エアシリン
ダ８４をそれぞれ下動し、図１０、１１に示すようにホ
ールドピン８０ａを基板２８の前縁部４４の中央付近に
上から押し付け、その前縁部４４の中央付近をサポート
ピン７２ａと挟持して固定する。又、ホールドピン８０
ｂを後縁部４８の中央付近に上から押し付け、その後縁
部４８の中央付近をサポートピン７２ｂと挟持して固定
する。すると、基板２８の搬送方向（Ｘ方向）に沿う下
方向への反りは両サポートピン７２にて矯正し、上方向
への反りは両ホールドピン８０にて矯正できる。なお、
各エアシリンダ８８の後退力を各エアシリンダ７４の突
出力より小さく設定すると、サポートピン７２の先端を
基準面の高さに維持できる。

【００２２】その後、基板２８の両ベルト３２に乗る相
対する両縁部（左右縁部）の付近をそれぞれ固定するた
め、固定金具４２をそれぞれ下動し、それ等の各固定金
具４２で基板２８の相対する両縁部の付近をそれぞれ上
から各ベルト３２の上面（基準面）に押し付け、ベルト
３２と挟持して固定する。すると、基板２８の相対する
両縁部方向（Ｙ方向）に沿う下方向への反りは両ベルト
３２にて矯正し、上方向への反りは両固定金具４２にて
矯正できる。

【００２３】このようにして、基板２８の反りを良好に
矯正した後、Ｘ−Ｙユニットを制御し、プローブを基板
２８の上方からＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向にそれぞれ適宜移
動して、基板２８の必要な測定点に適宜接触させ、基板
２８に実装した各部品の電気的測定を実施する。その
後、基板２８の相対する両縁部付近から各固定金具４２
を外し、更に各矯正ユニット６２の各エアシリンダ７
４、８４、８８を固定時と逆の順に動作させて、前後縁
部４４、４８からサポートピン７２とホールドピン８０
を外して、基板２８を解放する。そして、基板２８の前
縁部４４の左右コーナ部から両ストッパー４６を下動さ
せて外し、基板２８を両ベルト３２に乗せて矢印方向に
送り出す。

【００２４】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、請求項１
では基板の前後縁部付近を基板前後縁部固定装置に設置
した各矯正ユニットに備えられている下支え部材と固定
部付き部材とで挟持し、基準面の位置に保ってそれぞれ
固定できるため、基板の搬送方向に沿う下方向への反り
は両下支え部材にて矯正し、上方向への反りは両固定部
付き部材にて矯正できる。又、基板の相対する両縁部付
近を基板両縁部固定装置に備えられている固定部材と基
板搬送装置に備えられている基板の相対する両縁部付近
をそれぞれ乗せる下支え部材とで挟持し、基準面の位置
に保ってそれぞれ固定できるため、基板の搬送方向と直
角の方向に沿う下方向への反りは両下支え部材にて矯正
し、上方向への反りは両固定部材にて矯正できる。それ
故、基板の上方向、下方向への反りを良好に矯正でき
る。

【００２５】請求項２では基板の大きさに合わせて一方
の矯正ユニットを基板の搬送方向と直角の方向に適宜移
動して、基板の例えば前縁部の中央付近を下支え部材と
固定部付き部材とで挟持して固定し、他方の矯正ユニッ
トを基板の搬送方向に適宜移動して、基板の後縁部の中
央付近を下支え部材と固定部付き部材とで挟持して固定
できる。それ故、基板の大きさが種々であっても反りを
良好に矯正できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したＸ−Ｙ方式インサーキットテ
スタ用の基板搬送装置に備える基板反り矯正装置の前後
縁部固定装置によって被検査基板を固定した状態を示す
左側面図である。

【図２】同基板搬送装置とそこに備えた基板反り矯正装
置の両縁部固定装置の固定金具を示す平面図である。

【図３】同両縁部固定装置の両矯正ユニット待機時の状
態を示す平面図である。

【図４】被検査基板の大きさに合わせて移動した後の両
矯正ユニットを構成する各エアシリンダ等の配置状態を
示す左側面図である。

【図５】図４に対応する平面図である。

【図６】同両矯正ユニットの各ホールドピン付きエアシ
リンダを所定の高さまで上動させた状態を示す左側面図
である。

【図７】同両矯正ユニットの各ホールドピンを所定の高
さまで上動し、所定の位置まで回転させた状態を示す左
側面図である。

【図８】図７に対応する平面図である。

【図９】同両矯正ユニットの各サポートピンを所定の高
さまで上動させた状態を示す左側面図である。

【図１０】同両矯正ユニットの各ホールドピン付きエア
シリンダを下動させ、基板の前後縁部をサポートピンと
ホールドピンとで挟持して固定した状態を示す左側面図
である。

【図１１】図１０に対応する平面図である。

【図１２】従来のサポートピン付きエアシリンダを備え
た基板反り矯正装置の基板搬送装置への設置状態を示す
正面図である。

【図１３】従来のバキュームパット付きエアシリンダを
備えた基板反り矯正装置の基板搬送装置への設置状態を
示す正面図である。

【符号の説明】

３０…基板搬送装置 ３２…ベルト（下支え部材） ３
４…ベルト案内用レール ３６…ベルト駆動用モータ
３８…右側レール移動用レール １８…右側レール固定
用レール ４２…固定金具（固定部材） ４４、４８…
前後縁部 ４６…ストッパー ５０…前後縁部固定装置
５２…装置台板 ５４、５８…ボールねじ ５６…ア
ーム板 ６０…ユニット支持部材 ６２…矯正ユニット
６４…アーム板案内レール ６６…支持部材案内レー
ル ６８、７０…パルスモータ ７２…サポートピン（下支え部材） ７４…エアシリン
ダ（縁部下支え手段） ７６、８６、９０…ピストンロッド ７８、９６…シリ
ンダ支持部材 ７９…ユニット台板 ８０…ホールドピ
ン（固定部） ８２…ピン支持部材 ８４…エアシリン
ダ（縁部固定第１手段） ８８…エアシリンダ（縁部固
定第２手段） ９２…連結部材 ９４…補強部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 戸谷 博之 長野県上田市大字小泉字桜町81番地 日 置電機株式会社内 (72)発明者 松林 英雄 長野県上田市大字小泉字桜町81番地 日 置電機株式会社内 (56)参考文献 特開 平３−6474（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/26 - 31/3193

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の相対する両縁部付近をそれぞれ下
   支え部材に乗せて基板を搬送する基板搬送装置の基板に
   対する作業実施のために搬送を停止する所定の場所に、
   その基板の下支えした両縁部付近をそれぞれ上から押さ
   える固定部材を備えて、それ等の各固定部材を上下動可
   能に支持する基板両縁部固定装置と、その基板の搬送方
   向に沿う前後縁部付近をそれぞれ自在に固定し、開放す
   る各矯正ユニットを備えた基板前後縁部固定装置とを設
   置してなる基板搬送装置に備える基板反り矯正装置にお
   いて、上記各矯正ユニットを基板の縁部付近に下から当
   接する下支え部材を備えて、その下支え部材を上下動可
   能に支持する縁部下支え手段と、その下支えした縁部付
   近を上から押さえる固定部が一方向に突出した部材を上
   下動且つ回転可能に支持する縁部固定第１手段と、その
   縁部固定第１手段を上下動可能に支持する縁部固定第２
   手段と、それ等の縁部下支え手段と縁部固定第２手段と
   を据え付ける台部とから構成することを特徴とする基板
   搬送装置に備える基板反り矯正装置。
2. 【請求項２】 一方の矯正ユニットを基板の搬送方向と
   直角の方向に可動するアーム上に据え付け、他方の矯正
   ユニットをそのアーム上を搬送方向に可動する支持部材
   上に据え付けることを特徴とする請求項１記載の基板搬
   送装置に備える基板反り矯正装置。