JP3502021B2 - 薄膜磁気ヘッド用セラミックバー固定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドを構成
する磁気−電気変換素子等が複数配列されたセラミック
バー等の被加工物を加工するための磁気ヘッド製造装置
に関し、特にセラミックバーにおける特定面に対して露
光処理を行う際に用いられる保持治具に対して当該セラ
ミックバーを高精度に接着する際に用いられる固定装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】ハードディスク等を用いる磁気記録装置
においては、記録媒体である磁気ディスクに対しての情
報の記録、あるいは当該ディスクに記録された情報の読
み出しは、情報の記録面と対向する位置に配置される磁
気ヘッドと呼ばれる部材によって行われる。

【０００３】この磁気ヘッドは、誘導型磁気変換素子あ
るいは磁気抵抗素子等からなる多数個の素子部が表面上
に一列に形成された棒状のセラミック（以下セラミック
バーと述べる。）を加工して得られる部品より構成され
ている。これら素子部は、半導体製造技術に代表される
薄膜の形成および加工技術を用いて多数個同時にウエハ
状のセラミック基板上に作り込まれ、このセラミック基
板を所定方向に棒状（直方体状）に切断することで、上
述のセラミックバーが得られる。

【０００４】素子部形成後のセラミックバーに対して
は、記録媒体に対する記録、再生特性に関連する磁気ヘ
ッドの形状上のパラメータとして、各素子部におけるス
ロートハイトあるいはＭＲハイト等を適切な値とする研
磨等の加工が施される。セラミックバーは、その研磨等
の加工後、各素子毎に切断され、磁気ヘッドとして装置
に組み込まれる。

【０００５】なお、磁気ヘッドは、磁気ディスクに対す
る情報の記録時等において、ディスクの高速回転に伴っ
て生じる空気流によってディスク表面から微少間隔浮上
することを要する。その際、記録再生特性を安定させる
ために浮上高さおよび姿勢が安定することも要してい
る。この浮上高さ等の安定性を得るために、セラミック
バー切断後の、いわゆるスライダにおける磁気ディスク
との対向面には凸面部あるいは溝部等を形成することが
望ましい。このため、一般に、セラミックバー切断前
に、スロ−トハイト等を所定とするための研磨を行った
面に対して、Ｒ加工、溝加工等が施される。

【０００６】なお、近年は、磁気ヘッド浮上時における
素子端部と記録媒体表面との距離を極力小さくすると同
時に磁気ヘッドの浮上高さを安定させるため、スライダ
ーに対する溝加工が行われている。この溝加工を被加工
面に対して行う場合、加工精度、製造コスト、及び製造
に要する時間を勘案し、一般的には、例えば特開平６−
２３６５０８に開示されるように、複数のセラミックバ
ーに対して同時に溝パターンの露光、エッチング等の加
工処理が為される。具体的には、複数のセラミックバー
を保持治具における所定位置に各々固定し、保持状態の
ままで上記加工処理を行うこととしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】所定のスロートハイト
得るために研磨される面すなわち溝パターンが加工され
る被加工面は、ダイシングソーによる切断工程によって
形成された面である。切断によって除去される部分のセ
ラミック基板に対する位置的な精度は、ダイシングソー
のぶれ等の影響もあって、スロートハイト等に要求され
る精度に対して大きく劣っている。このため、切断、研
磨等の各工程を経たセラミックバーの被加工面とその反
対面との距離、すなわち厚みは、セラミックバーに応じ
て各々異なる。

【０００８】従って、被加工面を上面に向けた状態で、
単純に保持治具に対して固定保持しようとしても、保持
治具表面から見た場合の被加工面の高さはセラミックバ
ー各々によって異なる場合が生じ得た。この場合には、
そのまま露光処理を行うと、焦点からはずれて露光され
るセラミックバーが発生し、形成された溝幅等が他のセ
ラミックバー上の溝幅等と異なってしまうという問題が
あった。また、この問題は、磁気記録の高記録密度化に
伴って、磁気ヘッド各々の浮上高さに求められる精度が
高くなるにつれて顕著になっている。

【０００９】この問題の解決手段として、セラミックバ
ーの被加工面各々の高さを、保持治具等の基準面に対し
て均一なものとするセラミックバーの固定方法が特開平
８−３１５３４１に開示されている。具体的には、当該
方法においては、被加工面をガラス板に対面させて複数
のセラミックバーを配置し、その状態で溶融状態の低融
点金属をセラミックバー各々の周囲に流し込むことによ
って各々のセラミックバーを一体とし、これらを保持し
ている。この一体化工程を鋳型内で行うことによって、
ガラス板と平行な基準面を低融点金属により得、この基
準面と各セラミックバーの被加工面との距離の均一化を
図っている。

【００１０】しかしながら、当該方法においては、ガラ
ス板に対して各セラミックバーを精度良く配置すること
は困難であり、仮に満足な位置精度が得られたとして
も、低融点金属の流し込み時にセラミックバーがずれて
しまう恐れもあった。この場合、セラミックバーは所定
の露光位置からずれて位置することとなり、溝形状ある
いはその形成位置が各セラミックバーごとに不均一とな
る問題が生じる。さらに、低融点金属の完全な除去が難
しく、残留した低融点金属が存在する場合には、次の切
断工程において、切断用のダイシングソーに対してこれ
らが付着してダイシングソーの寿命を縮めるという問題
も生じ得た。

【００１１】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、低融点金属等の固定材を各セラミック
バー間に満たすことなく、保持治具に対してセラミック
バーを精度良く配置するとともに、保持治具上の基準面
とセラミックバー各々の被加工面との距離を均一とする
ことを可能とする装置を提供することを目的とするもの
である。また、上記従来技術においては、対象とするセ
ラミックバーの長さは均一であったが、近年のセラミッ
ク基板の大径化と、製造コスト削減の要求により、基板
外周近傍より長さの異なるセラミックバーも切り出して
基板をより有効に活用することが行われつつある。本発
明は、この状況に鑑み、長さの異なるセラミックバーに
対しても対応可能な装置を提供するものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る装置は、電気−磁気変換素子および磁
気−電気変換素子の少なくとも一方からなる素子が所定
面上に長さ方向に複数個形成された直方体状の被加工物
を、所定面とのなす角が略９０゜となる第一の面におい
て、保持治具に対して複数個接着固定する装置であっ
て、基準面において複数個の被加工物における第一の面
とは反対の第二の面を密着状態で吸着保持可能な吸着プ
レートと、第一の吸着面で被加工物を吸着保持し、被加
工物の第二の面を吸着プレートの基準面に対して接近さ
せかつ第二の面において被加工物が吸着プレートに保持
されるように被加工物を前記吸着プレートに対して移載
する吸着ヘッドと、被加工物を吸着プレートに移載する
際に被加工物上の所定位置に形成された素子を撮像する
カメラと、吸着ヘッドから吸着プレートに対して被加工
物を移載する際に撮像の結果に基づいて吸着ヘッドを駆
動しかつ吸着ヘッドによって吸着保持された被加工物の
吸着プレート上の移載位置を制御する位置制御系と、保
持治具の表面に対して接着剤を塗布するとディスペンサ
と、保持治具を支持し、ディスペンサによる接着剤塗布
位置から、吸着プレートの基準面に対して相対する位置
に移動させる保持治具支持機構とを有し、表面上に接着
剤が塗布された保持治具を移動し、接着剤を吸着プレー
トに吸着保持された複数の被加工物の第一の面に対して
接触させ、複数の被加工物の基準面への吸着保持状態を
維持したまま、接着剤を介して保持治具に対して同時に
接着固定することを特徴としている。

【００１３】さらに、本発明に係る装置は、カメラによ
る素子の撮像は、吸着プレートの基準面からその反対の
面に貫通する穴を介して、反対の面側からなされること
が好ましい。また、この場合、カメラは、離間した位置
に形成された少なくとも二つの素子の撮像を行い、貫通
する穴は被加工物上の少なくとも二つの素子に応じた位
置に形成されることが好ましい。

【００１４】

【実施の形態】本発明に係る装置は、吸着プレートと、
各セラミックバーの被研磨面を当該吸着プレートの表面
に密着させるセラミックバーの吸着固定部と、吸着プレ
ート上のセラミックバーを保持治具（露光治具）の表面
上に移し替える接着固定部と、画像処理装置とから構成
される。図１Ａに吸着固定部の概略側面図、図１Ｂにそ
の要部拡大図を、図２Ａに吸着プレートの平面図、図２
Ｂにその断面図を、図３に接着固定部の概略側面図、図
４にその概略平面図を示し、以下これらの図面を用いて
本発明に係る装置について詳述する。

【００１５】図１において、矢印Ｘにより装置上のＸ方
向を、矢印Ｚにより装置上のＺ方向（実際上の略鉛直上
下方向）を示し、Ｘ方向、Ｚ方向それぞれに対して垂直
となる紙面方向をＹ方向とする。吸着固定部２０は、実
際にセラミックバー１を吸着支持する吸着ヘッド２１
と、吸着ヘッド２１をＸＹ平面上に回転可能に支持する
回転テーブル２７と、回転テーブル２７をＸ方向に駆動
可能に支持するＸテーブル２５と、Ｘテーブル２５をＹ
方向に駆動可能に支持するＹテーブル２６と、Ｙテーブ
ル２６をＺ方向に支持するスライダ３０及び当該スライ
ダ３０をＺ方向に駆動するＺ軸モータ３１とからなる。

【００１６】回転テーブル２７、Ｘテーブル２５、Ｙテ
ーブル２６は各々不図示の、例えばステッピングモータ
等の駆動装置によって駆動制御される。また、吸着ヘッ
ド２１上の吸着面２１ｂには、Ｙ方向に複数の吸着口２
１ａが同一平面上に略均等間隔で並設されている。当該
吸着口２１ａには吸着ヘッド２１内部に形成された吸着
ライン２３を介して、不図示の排気管、バルブ装置、及
び排気装置が接続されており、当該バルブ装置の開閉操
作によって吸着口２１ａによるセラミックバー１の吸着
保持及びその解除とを行う。

【００１７】セラミックバー１は、Ｘ方向に延在し、か
つ被加工面１ａとは反対側となる面１ｂ（第一の面）を
当該吸着面２１ｂと接触させた状態で、Ｚ方向上方に向
かって吸着面２１ｂ上に保持される。なお、セラミック
バー１の吸着ヘッド２１に対する載置は載置専用の装置
が用いられるが、当該装置は本発明に係る装置とは直接
の関係はないため、本明細書における説明は省略する。

【００１８】図２Ａにその平面および２Ｂにその２Ｂ−
２Ｂにおける断面を示す吸着プレート４０は、図１に示
すようにセラミックバー１の被加工面１ａと当該吸着プ
レート４０の吸着面４０ａが相対するように、すなわち
Ｘ方向下方に吸着面４０ａを向けて、Ｙ軸モータ３５に
よってＹ方向に駆動可能な吸着プレート支持台４１によ
り支持される。図２ＡおよびＢに示すように、吸着プレ
ート４０には、吸着面４０ａ（プレート表面）からプレ
ート裏面に貫通するＸ方向に延在する長穴４２が２つ、
互いに平行に形成されており、当該長穴４２はプレート
裏面に近づくにつれてその開口を大きくするように傾斜
面４２ａが形成されている。

【００１９】この長穴４２における中心線間の距離は、
後述する一対の画像処理用カメラ１０の焦点間の距離に
等しく、かつ吸着プレート４０に保持されるセラミック
バー１の最も短いものの長さより小さい値となってい
る。また、上述の傾斜面４２ａの傾斜角度は、画像処理
用カメラ１０のレンズ外周と当該レンズの許容錯乱円と
を結んだ外挿線と当該レンズの光軸とのなす角より大き
く設定されている。

【００２０】さらに、本実施の形態においては、一対の
長穴４２を挟むように一対の吸着ポート４４が形成され
ており、セラミックバー１はＹ方向に延在するように、
この一対の吸着ポート４４により吸着プレート４０上で
吸着保持される。この一対となる吸着ポート４４は、複
数のセラミックバー１を、長穴４２の延在方向に並べて
各々所定位置で吸着保持することが可能となるように、
吸着すべきセラミックバー１の長さに応じ、複数対が長
穴４２の延在方向に並設される。なお、吸着ポート４４
各々は、吸着プレート４０内部に形成された吸着ライン
４３を介して独立した排気ポート４５に接続されてい
る。さらに、この排気ポート４５各々には、不図示の排
気管、バルブ装置、及び排気装置が接続されており、当
該バルブ装置の開閉操作によって個々の吸着ポート４４
によるセラミックバー１の吸着保持及びその解除を行
う。

【００２１】次に、実際に、セラミックバー１を吸着ヘ
ッド２１から吸着プレート４０に移し替える際の工程
を、順を追って説明する。吸着ヘッド２１は、セラミッ
クバー１の被加工面とは反対の面１ｂを吸着面２１ｂ上
で吸着保持し、Ｚ軸モータ３１によるスライダ３０の上
方向への駆動により吸着プレート４０の吸着面４０ａに
近づけられる。なお、セラミックバー１の被加工面１ａ
と吸着プレート４０の吸着面４０ａとを直接接触させた
場合には、接触時に各々の面にかかる圧力によるセラミ
ックバー１の破損あるいは吸着位置の滑り等を生ずる恐
れがあり、これらを防止する措置を施すことを要する。

【００２２】具体的には、この接触時の圧力を充分に小
さくすることが考えられるが、一般的にこのような接触
状態を得るためには、非常に精密な駆動機構を要し、装
置構成が複雑となる恐れがある。本実施の形態において
は、Ｚ軸モータ３１によるスライダ３０の駆動は、吸着
ヘッド２１により保持されるセラミックバー１の被研磨
面１ａが吸着プレート４０の吸着面４０ａに対しておよ
そ５〜１０μｍの距離となったところで停止され、この
間隔を空けた状態でその後のセラミックバー１の移載が
行われることとしている。

【００２３】なお、上述のスライダ３０の駆動に際して
は、吸着ヘッド２１は、セラミックバー１が吸着プレー
ト４０上の所定の吸着ポート４４に対応して配置される
ように、Ｘテーブル２５を予め所定量駆動させている。
セラミックバー１が吸着ポート４４に近接後、さらに
Ｘ、Ｙ、回転の各テーブル２５、２６、２７を駆動して
吸着ポート２１とセラミックバー１との位置関係を精密
に制御する。

【００２４】その際、画像処理用カメラ１０によって、
吸着プレート４０上に設けられた２つの長穴４２を介し
て、セラミックバー１の側面上の所定位置に形成された
素子部を撮影する。得られた映像と、セラミックバー１
を所定位置まで駆動した場合の素子の仮想映像との位置
関係の相違を、不図示の画像処理開路により数値的に処
理することにより、セラミックバー１の所定位置に対す
るずれを求める。さらに、各テーブルの駆動量を制御す
る位置制御系にその結果をフィードバックし、吸着ヘッ
ド２１およびセラミックバー１の移載位置の制御を行
う。

【００２５】画像処理によって、吸着プレート４０に対
するセラミックバー１および吸着ヘッド２１の位置が決
定され、各テーブルの駆動が終了した後、吸着プレート
４０上の所定の吸着ポート４４に連通するバルブを解放
し、その後、若しくは同時に吸着ヘッド２１上の吸着口
２１ａに連通するバルブを閉鎖する。この操作により、
セラミックバー１は吸着ヘッド２１から解放され、被研
磨面１ａにおいて吸着プレート４０上の所定位置に吸着
保持される。

【００２６】このため、本実施例においては、セラミッ
クバー１は吸着ポート４０に吸い寄せられて、セラミッ
クバー１の被加工面１ａと吸着プレート４０の吸着面４
０ａとの直接の接触をさけるために形成された５〜１０
μｍの間隔を瞬間的に移動することになる。この場合、
セラミックバー１が所定位置に対してずれることが懸念
されるが、この移動に伴う位置ずれはほとんど生じてい
ないことが確認されている。また、本実施例において
は、画像処理用カメラ１０を用いることによりこの位置
ずれを確認し、位置ずれが生じていた場合には、一旦セ
ラミックバー１を吸着ヘッド２１上に戻し、再度移動を
行うことも可能である。さらに、セラミックバー１が曲
がり等を有しているために、吸着プレート４０上に正し
く移動し得ない場合も考えられるが、この場合には吸着
ヘッド２１によりセラミックバー１を交換することも可
能である。

【００２７】以上の、吸着プレート４０に対してのセラ
ミックバー１の吸着保持操作を、セラミックバーごとに
所定の本数のセラミックバー全てに対して行う。なお、
吸着プレート４０上におけるセラミックバーを保持すべ
き予定位置は、セラミックバー１の移載が行われるごと
に順次変わってゆく。そのため、画像処理用カメラ１０
には、予定位置の変化に応じてその撮像位置が順次移動
可能となるように、不図示の駆動機構が備えられてい
る。全てのセラミックバー１が吸着保持された後、吸着
ヘッド２１はＺ軸モータ３１によりスライダ３０ごと降
下されて吸着プレート４０下方から外される。その後、
接着固定部５０において接着剤が塗布された保持治具７
０が、セラミックバー１を保持した吸着プレート４０の
下方に搬送され、保持治具７０の上昇によって吸着プレ
ート４０から保持治具７０へのセラミックバー１の移し
替えが行われる。

【００２８】次に、接着固定部５０について、その概略
側面を示す図３、および概略平面を示す図４とを用いて
詳述する。接着固定部５０においては、まず図４におい
て破線で示される保持治具７０の表面に対する接着剤の
塗布が行われる。接着剤はモータ駆動型直動タイプのデ
ィスペンサ５３を介して、接着剤供給ノズル５４先端よ
り保持治具７０上に塗布される。接着剤塗布時における
ノズル５４と保持治具７０表面との接近、および塗布後
の離間は、保持治具７０をＺ方向（鉛直上下方向）およ
びＸ方向に駆動可能に支持する支持機構５１によって為
される。

【００２９】なお、本実施例においては、接着剤の特性
等により接近時の距離の微調整を要する場合のために、
ノズル高さの調整つまみ５７が設けられている。また、
ノズル５４は、保持治具７０上に接着剤を短時間で効率
良く塗布するために、公知のＸ軸駆動機構５５およびＹ
軸駆動機構５６とにより、ＸＹ方向への駆動が可能とな
っている。さらに、接着剤塗布時における接着剤表面等
の大気への暴露を防止し、塗布後等の接着剤の急激な硬
化を防止するために、接着税表面等を窒素によりパージ
する窒素パージ装置６０が付加されている。

【００３０】保持治具７０は、所定の、例えば図４に示
すパターン形状７１に接着剤を塗布した後、支持機構５
１によってＺ方向下方への駆動がなされる。さらに支持
機構５１によって複数のセラミックバー１を保持した吸
着プレート４０の下方（Ｘ方向）に移動される。次に、
保持治具７０が再度上方に駆動され、接着剤のみがセラ
ミックバー１各々の第一の面１ｂと接触する位置でその
駆動が停止される。

【００３１】硬化前の接着剤は、各々のセラミックバー
１の被加工面（第二の面）とその反対の面１ｂ（第一の
面）との距離（厚さ）と関係なく、吸着プレート４０の
基準面と保持治具７０表面との距離が一定となるように
変形し、その後硬化する。この結果、吸着プレート４０
から各セラミックバー１の第二の面１ａまでの距離、す
なわち被加工面までの距離が、一定の誤差範囲内に保た
れる。

【００３２】なお、イオンミリング等のセラミックバー
１の加工が為される際、保持治具７０の表面は基本的に
はフォトリソグラフに用いられる有機系の被膜に覆われ
ており、保持治具７０の表面が接着剤あるいはセラミッ
クバ１ーに覆われていなくとも何ら問題とはならないは
ずである。しかし、イオンミリングの条件によっては、
保持治具７０の表面部の有機系被膜の一部が除去されて
しまい、保持治具７０自体がミリングされる、あるいは
そのミリングされた一部がセラミックバー１に再度付着
する等の問題も生じうる。

【００３３】このため、保持治具７０表面上に予め有機
系被膜を形成しておくことが望ましい。また、当該保持
治具７０は、セラミックバー１の加工に複数回用いられ
ることが望ましく、従って、フォトリソグラフ工程で用
いられるアセトン等の有機溶剤に難溶性のものであるこ
とが望ましい。本実施の形態においては、保持治具７０
をセラミックスから形成することとし、その表面にポリ
イミド等からなる被膜が予め形成されている。

【００３４】上述の如く、本発明の実施により、複数の
セラミックバーの被加工面各々とセラミックバーを保持
する保持治具７０（露光治具）表面との距離を一定に保
ちながら、複数のセラミックバーを単一の保持治具７０
上に固定することが可能となる。従って、複数のセラミ
ックバーに対して一括で露光を行うことが可能となり、
かつイオンミリングあるいは研削等の加工についても同
様に一括で行うことが可能となる。さらにこれら固定を
種々の接着剤を用いて行うことが可能となり、複数のセ
ラミックバーに対して一括で露光および加工等の処理を
行った後、これらセラミックバーを保持治具７０から容
易に分離することが可能となり、工程数の削減、工程管
理の容易化等が可能となる。

【００３５】なお、本実施の形態においては、吸着ヘッ
ド２１に対して一列に吸着口２１ａを設けることとして
いるが、本発明はこれに限定されず、複数列とするある
いは単一の吸着口２１ａとする等の変形が可能である。
また、セラミックバー１の保持形式は真空吸着に限られ
ず、例えば、メカニカルなクランプによる、あるいは静
電吸着によるもの等としても良い。また、吸着ヘッド２
１の駆動は、Ｘ、Ｙ、回転の各テーブル２５、２６、２
７の駆動によってなされ、本実施の形態においてはこれ
らテーブルの駆動方式は特に規定していない。しかし、
本発明に係る固定装置の駆動時間を短縮させるために、
当該駆動方式は、通常駆動時は高速で駆動し、セラミッ
クバー移載時の精密駆動時は低速で駆動する多段階の駆
動方式とすることが望ましい。

【００３６】画像処理に関しても、画像処理用カメラ１
０を２機用い、所定位置の素子を撮像することとしてい
るが、画像処置用カメラ１０の数はこれに限定されず、
撮影対象も同様に素子に限定されない。例えば、前工程
において所定のパターンをセラミックバー１に付加し、
実際のパターンとセラミックバー１が所定位置に位置す
る際のパターンの仮想映像とのずれを単一のカメラによ
り求め、吸着ヘッド２１の位置制御を行うこととしても
良い。あるいは、単一のカメラ１０を用いて前記パター
ンとパターンの仮想映像とのずれを求め、さらに前工程
における研磨面が撮影画面に示す直線と当該線の仮想映
像との傾きとを求め、これら結果に基づいて制御するこ
ととしても良い。

【００３７】また、Ｙ軸モータ３５による吸着プレート
４０の位置決め精度が例えば±１μｍ以内であれば、吸
着プレート４０とは異なった位置で画像処理用カメラ１
０による吸着ヘッド２１上のセラミックバー１の保持位
置（姿勢）の修正を行い、その後吸着プレート４０への
移載を行っても良い。この場合、長穴４２を設ける必要
はなくなり、かつ画像処理用カメラ１０によるセラミッ
クバー１全体の撮像も可能となる。吸着プレート４０に
設けられた長穴４２に関しても、上記の如き画像処理カ
メラ１０の構成の変更に応じ、穴形状を変更することが
可能である。さらに、セラミックバー１の吸着ヘッド２
１に対する載置の位置精度が高く、かつ吸着ヘッド２１
が予め所定位置に駆動される際の位置精度も高い場合に
は、上記長穴４２を独立した個々の穴とすることも可能
である。

【００３８】また、本実施の形態においては、吸着プレ
ート４０上の一対の長穴４２の両外側の適当な位置に吸
着ポート４４をそれぞれ配置することにより、セラミッ
クバー１の幅、長さ等の形状の相違に影響されることな
く、種々のセラミックバーを単一の吸着プレート４０に
保持することを可能としている。しかし、上述の如く、
長穴４２の形状あるいは個数が変更された場合には、吸
着ポート４４の位置は穴の両側部に限定されない。ま
た、長穴４２の傾斜角度は画像処理用カメラ４０の解像
度あるいは許容錯乱円に応じて変更されることが望まし
い。

【００３９】また、吸着ヘッド２１の吸着面２１ｂの平
坦度は、セラミックバー１上の被加工面１ａが吸着プレ
ート４０における吸着面４０ａに密着するように、±１
μｍに維持されていることが望ましい。吸着ヘッド２１
から吸着プレート４０への移載時におけるセラミックバ
ー１の被加工面１ａ（第一の面）と吸着プレート表面４
０ａとの距離は、５〜１０μｍとしているが、移載時の
位置精度が確保しうる条件であれば、この間隔は当該範
囲に限定されない。

【００４０】さらに、本実施の形態においては、低粘度
の瞬間接着剤の使用を可能とするために、モータ駆動型
直動タイプのディスペンサを用いている。しかしなが
ら、本発明はこれに限定されるものではなく、接着剤の
特性、例えば粘度等に応じたディスペンサ５３が適宜選
択されることが望ましい。また、接着剤は図４に示され
るパターン７１に塗布されるが、例えば保持治具の表面
全面に塗布する等、接着剤あるいはセラミックバーの長
さ等に応じて塗布様式も適宜変更されることが望まし
い。

【００４１】さらに、本実施の形態においては、保持治
具７０は接着固定部５０でＺ方向において上下駆動する
だけであり、吸着プレート４０のみがＹ方向において吸
着固定部２０から接着固定部５０に駆動される構成とし
ている。しかし、装置自体の大きさあるいはメンテナン
ス等を考慮して、たとえば、接着固定部５０のＹ方向で
の駆動を可能としても良く、吸着プレー４０をＺ方向に
上下駆動可能としても良い。

【００４２】

【本発明の効果】本発明に係る装置により、低融点金属
等の固定材を各セラミックバー間に満たすことなく、保
持治具に対してセラミックバーを精度良く配置するとと
もに、保持治具上の基準面とセラミックバー各々の被加
工面との距離を均一とすることが可能となる。また、基
板外周より切り出された長さの異なるセラミックバーに
対しても、これらを同一保持治具上において精度良く保
持することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１Ａ】 本発明に係る装置における吸着固定部の概
略側面を示す図である。

【図１Ｂ】 図１Ａに示す側面図の要部拡大図である。

【図２】 （Ａ）本発明に係る吸着プレートの平面図で
ある。（Ｂ）図２Ａにおける線２Ｂ−２Ｂにおける断面
を示す図である。

【図３】 本発明に係る装置における接着固定部の概略
側面を示す図である。

【図４】 本発明に係る装置における接着固定部の概略
平面を示す図である。

【符号の説明】

１： セラミックバー １ａ： 被加工面（第二の面） １ｂ： 第一の面 １０： 画像処理用カメラ ２０： 吸着固定部 ２１： 吸着ヘッド ２１ａ： 吸着口 ２１ｂ： 吸着面 ２５： Ｘテーブル ２６： Ｙテーブル ２７： 回転テーブル ３０： スライダ ３１： Ｚ軸モータ ３５： Ｙ軸モータ ４０： 吸着プレート ４０ａ： 吸着面 ４１： 吸着プレート支持台 ４２： 長穴 ４２ａ： 傾斜面 ４３： 吸着ライン ４４： 吸着ポート ４５： 排気ポート ５０： 接着固定部 ５１： 支持機構 ５３： ディスペンサ ５４： 接着剤供給ノズル ５５： Ｘ軸駆動機構 ５６： Ｙ軸駆動機構 ５７： ノズル高さ調整つまみ ６０： 窒素パージ装置 ７０： 保持治具（露光治具） ７１： 接着剤塗布パターン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 啓己 東京都中央区日本橋一丁目13番１号 テ ィーディーケイ株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 5/31 G03F 7/20 501

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気−磁気変換素子および磁気−電気変
   換素子の少なくとも一方からなる素子が所定面上に長さ
   方向に複数個形成された直方体状の被加工物を、前記所
   定面とのなす角が略９０゜となる第一の面において、保
   持治具に対して複数個接着固定する装置であって、 基準面において、複数個の前記被加工物における前記第
   一の面とは反対の第二の面を密着状態で吸着保持可能な
   吸着プレートと、前記第一の面にて 前記被加工物を吸着保持し、前記被加
   工物の第二の面を前記吸着プレートの基準面に対して接
   近させ、かつ前記第二の面において前記被加工物が前記
   吸着プレートに保持されるように、前記被加工物を前記
   吸着プレートに対して移載する吸着ヘッドと、 前記被加工物を前記吸着プレートに移載する際に前記被
   加工物上の所定位置に形成された前記素子を撮像するカ
   メラと、 前記吸着ヘッドから前記吸着プレートに対して前記被加
   工物を移載する際に、前記撮像の結果に基づいて前記吸
   着ヘッドを駆動し、前記吸着ヘッドによって吸着保持さ
   れた前記被加工物の、前記吸着プレート上の移載位置を
   制御する位置制御系と、 前記保持治具の表面に対して接着剤を塗布するとディス
   ペンサと前記保持治具を支持し、前記ディスペンサによ
   る接着剤塗布位置から、前記吸着プレートの基準面に対
   して相対する位置に移動させる保持治具支持機構とを有
   し、 表面上に接着剤が塗布された前記保持治具を移動し、前
   記接着剤を前記吸着プレートに吸着保持された複数の被
   加工物の前記第一の面に対して接触させ、前記複数の被
   加工物の前記基準面への吸着保持状態を維持したまま、
   前記接着剤を介して前記保持治具に対して同時に接着固
   定する装置。
2. 【請求項２】 前記カメラによる前記素子の撮像は、前
   記吸着プレートの前記基準面からその反対の面に貫通す
   る穴を介して、前記反対の面側からなされることを特徴
   とする請求項１記載の装置。
3. 【請求項３】 前記カメラは、離間した位置に形成され
   た少なくとも二つの素子の撮像を行い、前記貫通する穴
   は前記被加工物上の前記少なくとも二つの素子に応じた
   位置に形成されたことを特徴とする請求項２記載の装
   置。