JPH06162464A - ヘッドチップ接着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チップの欠損を発生させることなく、安定し
た搬送が可能なチップ搬送手段を備えたヘッドチップ接
着装置を提供する。 【構成】 チップトレー１３上の凹部１３ａ内に収納さ
れているヘッドチップ３０を吸着ノズル１５Ａで吸着保
持してチップ保持台７，８，９上の所定位置へ搬送する
チップ搬送手段を備えたものであって、前記チップ搬送
手段に、前記吸着ノズル１５Ａの前記チップ吸着時に前
記チップ３０の位置ズレを修正するための一方向位置決
め機構を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばＶＴＲ（ビデオ
テープレコーダ）のヘッドベースに磁気ヘッドチップ等
を接着するのに適したヘッドチップ接着装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＶＴＲのヘッドチップをヘッドベ
ースに接着して組み立てるヘッドチップ接着装置は、例
えば特開昭６１−１８７１１５号公報等で知られてい
る。

【０００３】この特開昭６１−１８７１１５号公報に開
示されているヘッドチップ接着装置において、ベース固
定ユニット上に位置決めされているヘッドベースにヘッ
ドチップを装着する場合は、次のようにして行われてい
る。まず、チップがストックされているチップチップト
レーの真上に吸着ピンを移動させて配置し、続いて下降
させ、吸着ピンの下端面をチップ上に当接させ、さらに
チップを真空吸着し、このまま吸着ピンを上昇させる。
また、上昇後は、吸着ピンをチップと共に、ベース固定
ユニット上のヘッドベースの真上に移動させ、続いてヘ
ッドベース上にチップが当接するまで吸着ピンを下降さ
せ、その吸着を解いて装着させる構造がとられている。

【０００４】したがって、このヘッドチップ接着装置で
は、チップをチップトレーより取り出すとき、及びヘッ
ドベース上に装着するとき、吸着ピンはチップを介して
チップトレーまたはヘッドベースに直接当接されること
になる。また、この装置では、吸着ピンに一方向位置決
め機構も設けていない。

【０００５】さらに、この種のヘツドチップの材質は一
般にフェライト材が使用がされており、この材質は堅脆
な性質を持つ。また、厚みも０．２ｍｍ程度である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】したがって、上述した
従来のヘッドチップ接着装置に見られるように、ヘッド
チップ搬送手段を、チップをチップトレーより取り出す
とき、及びヘッドベース上に装着するときに、吸着ピン
がチップを介してチップトレーまたはヘッドベースに直
接当接されるようにした構造では、吸着ピンのストロー
クの寸法管理が十分でないと吸着ピンがチップに強く当
接し、チップに対して慣性質量が大きく働いて欠損し易
い等の問題点があった。

【０００７】また、この欠損を防止するのに、例えばバ
ネを介して当接させ、その当接力をバネで吸収して重量
バランスを取る構造等も考えられるが、こうした場合で
は、案内部の摩擦力が影響して動作の均一性が損なわれ
たりする問題点があった。

【０００８】さらに、欠損を防止するのに、吸着ピンの
下降速度を遅くしてチップに加わる衝撃力を緩和させる
方法もあるが、この方法ではタクトタイムが増加し、生
産性の面で不利になる問題点があった。

【０００９】また、上述した従来のヘッドチップ接着装
置では、吸着ピンに一方向位置決め機構を設けていない
ので、チップの吸着すべき面は、捲線用の穴、両側の捲
線用溝、及びチップ加工工程におけるガラス融着溝等の
影響で吸着時に予期しない方向にズレが発生したりする
場合が多い。このため、精密位置決めの際の、目標位置
への移動量が大きくなり、結果として位置決めに要する
時間が延びたり、ばらつく等の問題点があった。

【００１０】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的はチップの欠損を発生させることな
く、安定した搬送が可能なチップ搬送手段を備えたヘッ
ドチップ接着装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、チップトレー上の凹部内に収納されているヘ
ッドチップを吸着ノズルで吸着保持してチップ保持台上
の所定位置へ搬送するチップ搬送手段を備えたヘッドチ
ップ接着装置において、前記吸着ノズルの前記チップ吸
着時に前記チップの位置ズレを修正するための一方向位
置決め機構を前記チップ搬送手段に設けたものである。
また、前記吸着ノズルのチップ吸着面の形状を前記チッ
プトレーの前記凹部輪郭寸法よりも大きく形成するとと
もに、前記凹部の深さが前記チップの厚み寸法に対して
僅かに深い形状で形成してなる前記チップトレーを使用
することもできる。さらに、前記チップの寸法に対して
僅かに大きな平行面を有する前記吸着ノズルと、前記吸
着ノズルの平行面に対して線または面接触可能な位置決
めチャックを有するチップ一方向位置決め機構とを設け
ることもできる。

【００１２】

【作用】この構成によれば、チップ搬送手段に一方向位
置決め機構を設けているので、チップトレー上でのチッ
プにおける姿勢のバラツキが搬送途上で矯正される。こ
れにより、精密位置決め工程におけるチップ位置決め部
での移動量が軽減され、タクトタイムが減少する。

【００１３】また、前記吸着ノズルのチップ吸着面の形
状を前記チップトレーの前記凹部輪郭寸法よりも大きく
形成するとともに、前記凹部の深さが前記チップの厚み
寸法に対して僅かに深い形状とした前記チップトレーを
使用した場合では、チップを吸着、離脱する際に、吸着
ノズルはチップと直接当接せずに、吸着ノズルの吸着面
の一部がチップトレーの凹部の、しかもチップを収納し
ている正にその場所の周囲の段付部表面と当接すること
になる。これにより、吸着ノズルとチップの表面とのク
リアランスのバラツキは凹部の深さのバラツキとほぼ一
致し、吸着ノズルとチップの表面のクリアランスを常に
一定に保つことができ、チップの欠損を発生させること
なく、安定した吸着が可能になる。

【００１４】さらに、前記チップの寸法に対して僅かに
大きな平行面を有する前記吸着ノズルと、前記吸着ノズ
ルの平行面に対して線または面接触可能な位置決めチャ
ックを設けたチップ一方向位置決め機構とを設けた場合
では、チップを吸着する際に位置ズレが発生したとして
も、位置決めチャックによりチップの姿勢を修正するこ
とができる。また、一方向位置決めの一連の動作は、吸
着ノズルがチップを吸着し、上昇した後、チップ保持台
へ搬送する時間を利用して行うことができるため、時間
的なロスはなく、タクトタイムの短縮が図れる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
詳細に説明する。図１は本発明に係るヘッドチップ接着
装置の一実施例を示す斜視図で、図２はその上面図であ
る。

【００１６】図１及び図２において、ヘッドチップ接着
装置１は、基台２上に回転テーブル３が回転自在に設け
られている。

【００１７】また、回転テーブル３上には、チップ接着
位置のベース基準面を規制するとともに、このベース基
準面を定位置に位置決め保持するための３つのベース保
持具（以下、これをベース保持台と呼ぶ）４，５，６
と、このベース保持台４，５，６の中間にそれぞれ位置
されてチップ３０（図１１及び図１２参照）の厚み方向
を各々支持する３つのチップ保持台７，８，９とが設け
られている。

【００１８】なお、上記チップ３０は、例えば図１１に
示す外形をしたものや、図１２に示す外形をしたもの等
が使用されるが、その形状並びに構造自体は、図１１及
び図１２に示したチップ３０と大きく異なるものでなけ
れば、どのような形状及び構造のものであっても差し支
えないものである。

【００１９】さらに、上記３つのベース保持台４，５，
６、及び上記３つのチップ保持台７，８，９は、それぞ
れ交互に配設されている。また、ベース保持台４，５，
６、及びチップ保持台７，８，９は、回転テーブル３上
で互いに同一円周上に配置された状態にして設けられて
いるとともに、各ベース保持台４，５，６の距離は少な
くとも工程の異なるユニットが同時に作業した際に互い
に支障を来すことのない範囲分だけ離して設けられてい
る。

【００２０】加えて、基台２上には、正面顕微鏡１０Ａ
とＣＣＤカメラ１０Ｂでなる高倍率処理部１０と、低倍
率カメラ１１Ａを有するチップ位置決め部１１、及びベ
ース基準面上に装着されたチップ３０の硬化を確認する
ための硬化確認部１２が、それぞれ回転テーブル３を囲
む位置に設けられているとともに、一側にはチップ搬送
手段が配設されている。

【００２１】上記チップ搬送手段は、チップ３０を搭載
した樹脂製のチップトレー１３と、このチップトレー１
３を保持したトレーテーブル１４と、チップトレー１３
上のチップ３０を回転テーブル３のチップ保持台７，
８，９上に搬送するチップ搬送部１５等によって構成さ
れている。

【００２２】また、基台２には、チップ搬送手段と交差
する一側に沿って、ベース１６を供排するストッカ１７
Ａ，１７Ｂが設けられており、このストッカ１７Ａ，１
７Ｂ上のマガジン１８Ａ，１８Ｂの単位でベース１６
が、図示せぬベース供排部によって供給される構造にな
っている。

【００２３】さらに説明すると、上記チップ搬送手段
は、チップトレー１３上にストックされたチップ３０
を、回転テーブル３に配置されたチップ保持台７，８，
９上に１つづつ搬送するためのもので、チップトレー１
３に対して一方向（図１中に示すＹ軸方向）に対して任
意の位置に位置決めする機能と、チップトレー１３より
チップ３０を吸着し、チップ保持台７，８，９の所定位
置まで移動する機能を合わせ持つようにして構成されて
いる。また、このチップ搬送手段は、図３に詳細に示す
ように、案内部１９と、ボールネジ２０、及びサーボモ
ータまたはステッピングモータ等のモータ２１とを備え
て成る一方向位置決め機構を有している。

【００２４】一方、チップトレー１３上には、チップ３
０をストックするための凹部１３ａが、１つのチップト
レー１３に対して縦「１０」，横「１０」の合計１００
個、マトリックス状に配列されて形成されている。ま
た、このチップトレー１３は、第１チップトレー部１３
Ａ，第２チップトレー部１３Ｂ，第３チップトレー部１
３Ｃ，第４チップトレー部１３Ｄ，第５チップトレー部
１３Ｅに分かれている。

【００２５】各凹部１３ａは、図５にチップ３０との関
係を平面的に示すように、チップ３０の縦方向の寸法を
ａ、横方向の寸法をｂとすると、チップ３０の外形寸法
に対して縦寸法Ａ，横寸法Ｂ共、０．３〜０．５ｍｍ程
の余裕を持たせて若干大きめに形成されており、この凹
部１３ａ内の平面上でチップ３０の姿勢が逆転しない程
度にチップ３０の位置及び姿勢が緩やかに規制された状
態で、トレーテーブル１４がチップトレー１３上にスト
ックされる。

【００２６】さらに、上記チップトレー１３は、工程間
のストック手段として使用されることもあり、この場合
はチップトレー１３をチップ収納状態で積み重ねて保管
される。したがって、チップ収納状態でチップトレー１
３が積み重ねて配置された際に、チップ３０上に上側の
チップトレー１３が直接載せられて外力がかからないよ
うにするのに、図６に示すように、凹部１３ａの深さＤ
はチップ３０の１枚分の厚みｄに対して例えば０．１ｍ
ｍの余裕を取った深さに設定している。

【００２７】チップ搬送部１５は、一方向（図１中に示
すＸ軸方向）に対して任意の位置に位置決め可能なトレ
ーテーブル１４上に、チップ３０を離脱自在にして保持
する吸着ノズル１５Ａが設けられている。

【００２８】吸着ノズル１５Ａは、図３に示すように、
上記一方向位置決め機構における移動部２２上に設けら
れており、移動部２２に固定された直動ガイド２３を案
内として上下方向、すなわち図１中のＺ軸方向に往復動
作可能で、トレーテーブル１４またはチップ搬送部１５
が移動中はロータリーアクチュエータ２７により上方に
退避された状態に保持される。さらに、吸着ノズル１５
Ａの先端には吸着ノズル１５Ａの内部を通って図示せぬ
真空発生装置へ通じている吸引孔１５ａ（図７参照）が
設けられている。また、吸着ノズル１５Ａの先端面にお
ける横方向の寸法Ｗは、図５に示したチップ３０の縦幅
寸法ｂ及び凹部１３ａの上面開口縦幅寸法Ｂよりも大き
く形成されている（図７及び図８参照）。

【００２９】そして、チップ３０を取り上げて再び置く
場合には、図７に示すように、吸着ノズル１５Ａがチッ
プ３０に対応してチップトレー１３上に移動された後、
この吸着ノズル１５Ａが下降され、下降端で吸着ノズル
１５Ａの先端面がチップトレー１３の表面（凹部１３ａ
以外の枠部、すなわち凹部輪郭部分）１３ｂと当接して
静止する。図６及び図８はこの当接状態を示している。

【００３０】続いて、この状態で図示せぬ真空発生装置
によつて吸着ノズル１５Ａの先端に吸引力を発生させる
と、チップ３０が凹部１３ａの深さ方向の余裕分（Ｄ−
ｄ）だけ上方に吸引されて吸着ノズル１５Ａに吸着保持
される。また、これとは逆に、チップ３０を吸着保持し
ている状態で吸引力をカットするとチップ３０の離脱を
行わせることができる。

【００３１】次に、図３に示すように、直動ガイド２３
と吸着ノズル１５Ａを連結している連結板２４の一端に
は、支持軸を介してカムフロア２５が回転自在に取り付
けられている。このカムフロア２５は、吸着ノズル１５
Ａを含む上下可動部分の質量により回動カム２６に当接
している。

【００３２】また、吸着ノズル１５Ａは、トレーテーブ
ル１４とチップ搬送部１５の図１中に示すＸ−Ｙ軸方向
への位置決め機能によって、トレーテーブル１４上のチ
ップトレー１３上の凹部１３ａのすべての位置に対して
位置決め可能であるとともに、チップ搬送部１５のＸ軸
方向への移動によつて、回転テーブル３上のチップ保持
台７，８，９上へのチップ搬送、あるいはチップ保持台
７，８，９からトレーテーブル６上へのチップ搬送を行
うことも可能に構成されている。

【００３３】回動カム２６は、定角度揺動するロータリ
ーアクチュエータ２７の回転軸に対して軸受ハウジング
２８を介して回転方向のみ自由度を持たせて支持され
る。そして、吸着ノズル１５Ａは回動カム２６の偏心量
に応じて上下方向に一定量のストロークで駆動される。

【００３４】図４は、一方向位置決め機構を詳細に示し
た図である。そこで、この一方向位置決め機構の構造
を、図４を用いてさらに説明する。この一方向位置決め
機構は、一対の位置決めチャック３１Ａ，３１Ｂを備え
ている。各位置決めチャック３１Ａ，３１Ｂは、チップ
３０の側面に平行な面を有する先端形状を成し、吸着ノ
ズル１５Ａの一方向位置決め用の移動部２２に固定され
た直動ガイド３２Ａ，３２Ｂを案内としてチップ３０の
横方向に移動可能に設けられている。また、直動ガイド
３２Ａ，３２Ｂと位置決めチャック３１Ａ，３１Ｂを連
結してる連結板３３Ａ，３３Ｂの一端にはカムフォロア
３６Ａ，３６Ｂの支軸が固定され、これらカムフォロア
３６Ａ，３６Ｂが互いに対向した状態で位置決めチャッ
ク開閉用の回動カム３５に図示せぬバネの力で圧接され
て取り付けられている。

【００３５】一方、回動カム３５は、定角度揺動するロ
ータリーアクチュエータ３９の回転軸に対して、軸受ハ
ウジング３７を介して回転自在に取り付けられている。
また、位置決めチャック３１Ａ，３１Ｂは、回動カム３
５の偏心量に応じて、それぞれが反対方向に一定のスト
ロークで駆動される。

【００３６】そして、チップ吸着動作の際、位置決めチ
ャック３１Ａ，３１Ｂは、吸着ノズル１５Ａの上下動に
機械的な干渉がない位置まで開き方向に回避させる。ま
た、チップ３０を一方向に位置決めする際は、回動カム
３５の回動により閉じ方向に駆動される。

【００３７】この場合、位置決めチャック３１Ａ，３１
Ｂは、閉じた際に吸着１５Ａの側面を停止端として、線
あるいは面接触した状態で静止するように、閉じ側のス
トロークには余裕を持たせてある。

【００３８】さらに、位置決めチャック３１Ａ，３１Ｂ
の上下方向の厚みは、チップ３０の厚みに対して十分大
きく取り、吸着ノズル１５Ａがチップ３０を吸着した状
態で、例えば上半分は位置決めチャック３１Ｂに当接
し、下半分はチップ３０の一方向規制の役割を成すよう
にして、位置決めチャック３１Ａ，３１Ｂの厚み方向の
中心線が吸着ノズル１５Ａのチップ吸着面と一致するよ
うな位置関係に設定される（図９及び図１０参照）。

【００３９】これにより、吸着されたチップ３０は、チ
ップトレー１３からの搬送中に空中で外力を加えること
なく一方向に規制される。また、搬送しようとするチッ
プ３０の外形寸法が異なる場合は、吸着ノズル１５Ａの
先端部を着脱構造としておき、交換することで位置決め
チャック３１Ａとチップ３０の位置決め方向、すなわち
チップ３０の横幅に対する余裕代は、常に一定に保たれ
る。

【００４０】一方、チップ３０の離脱動作時には、吸着
ノズル１５Ａの下降端は上下案内部に設けたストッパー
３８によって規制される。回転テーブル３上のチップ保
持台７，８，９は、予め同一高さに調整した後、固定さ
れており、チップ３０を吸着した状態で吸着ノズル１５
Ａが下降端位置まで下降し静止すると、チップ保持台
７，８，９とチップ３０の下面とのクリアランスが一定
（例えば２０μｍ）の状態でチップ保持台７，８，９の
吸引孔によりチップ３０の吸着を開始し、吸着ノズル１
５Ａの吸着力を切ることでチップ３０を離脱させ、チッ
プ保持台７，８，９上への置き換えが完了する。

【００４１】したがって、本実施例のヘツドチップ接着
装置によれば、 チップ搬送手段に一方向位置決め機構
を設けているので、チップトレー１３上でのチップ３０
における姿勢のバラツキが搬送途上で矯正される。これ
により、精密位置決め工程におけるチップ位置決め部で
の移動量が軽減され、タクトタイムを減少させて生産性
を向上させることができる。

【００４２】また、チップ３０を吸着、離脱する際に、
吸着ノズル１５Ａはチップ３０と直接当接せずに、吸着
ノズル１５Ａの吸着面の一部がチップトレー１３の凹部
１３ａの、しかもチップ３０を収納している正にその場
所の周囲の段付部表面１３ｂと当接する。これにより、
吸着ノズル１５Ａとチップ３０の表面とのクリアランス
のバラツキは凹部１３ａの深さのバラツキとほぼ一致
し、また凹部１３ａの深さの個々のバラツキは成形品で
あっても微小レベルである。よって、吸着ノズル１５Ａ
とチップ３０の表面のクリアランスは常に一定に保つこ
とができ、チップ３０の欠損を発生させることなく、安
定した吸着が可能になる。

【００４３】さらに、吸着ノズル１５Ａに一方向位置決
め機構を持たせているので、チップ３０を吸着する際に
位置ズレが発生したとしても、位置決めチャック３１
Ａ，３１Ｂによりチップ３０の姿勢を修正することがで
きる。また、位置決めチャック３１Ａ，３１Ｂは、吸着
ノズル１５Ａの側面をストッパーとし、かつ吸着ノズル
１５Ａの規制方向の幅寸法Ｗはチップ３０の縦幅寸法ｂ
及び凹部１３ａの縦幅寸法Ｂに対して僅かに大きくして
あるので、吸着チップ１５Ａはチップ３０に直接には当
接位置決めされない。よって、チップ３０にかかる外力
は吸着ノズル１５Ａの吸着面の摩擦係数と吸引力により
生ずる摩擦力のみとなる。また、慣性力もチップ単体質
量だけであり、欠損に至る程影響はない。さらに、一方
向位置決めの一連の動作は、吸着ノズル１５Ａがチップ
３０を吸着し、上昇した後、チップ保持台７，８，９，
へ搬送する時間を利用して行うことができるため、時間
的なロスはなく、タクトタイムの短縮が図れ、生産性を
向上させることができる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係るヘツ
ドチップ接着装置によれば、チップ搬送手段に一方向位
置決め機構を設けているので、チップトレー上でのチッ
プにおける姿勢のバラツキが搬送途上で矯正される。こ
れにより、精密位置決め工程におけるチップ位置決め部
での移動量が軽減され、タクトタイムが減少し、生産性
が向上する。

【００４５】また、前記吸着ノズルのチップ吸着面の形
状を前記チップトレーの前記凹部輪郭寸法よりも大きく
形成するとともに、前記凹部の深さが前記チップの厚み
寸法に対して僅かに深い形状とした前記チップトレーを
使用した場合では、チップを吸着、離脱する際に、吸着
ノズルはチップと直接当接せずに、吸着ノズルの吸着面
の一部がチップトレーの凹部の、しかもチップを収納し
ている正にその場所の周囲の段付部表面と当接すること
になる。これにより、吸着ノズルとチップの表面とのク
リアランスのバラツキは凹部の深さのバラツキとほぼ一
致し、吸着ノズルとチップの表面のクリアランスを常に
一定に保つことができ、チップの欠損を発生させること
なく、安定した吸着が可能になる。

【００４６】さらに、前記チップの寸法に対して僅かに
大きな平行面を有する前記吸着ノズルと、前記吸着ノズ
ルの平行面に対して線または面接触可能な位置決めチャ
ックを設けたチップ一方向位置決め機構とを設けた場合
では、チップを吸着する際に位置ズレが発生したとして
も、位置決めチャックによりチップの姿勢を修正するこ
とができる。また、一方向位置決めの一連の動作は、吸
着ノズルがチップを吸着し、上昇した後、チップ保持台
へ搬送する時間を利用して行うことができるため、時間
的なロスはなく、タクトタイムの短縮が図れ、生産性が
向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るヘッドチップ接着装置の一実施例
を示す斜視図である。

【図２】本実施例装置の上面図である。

【図３】本実施例装置におけるチップ搬送手段の要部構
成図である。

【図４】本実施例装置における一方向位置決め機構の要
部構成図である。

【図５】本実施例装置におけるチップトレーの凹部とチ
ップとの関係を示す図である。

【図６】本実施例装置におけるチップトレーの凹部とチ
ップ及び吸着ノズルとの関係を示す図である。

【図７】本実施例装置におけるチップトレーの凹部と吸
着ノズルとの関係を示す図である。

【図８】本実施例装置におけるチップトレーの凹部と吸
着ノズルとの関係を示す図である。

【図９】本実施例装置における一方向位置決め機構の動
作説明図である。

【図１０】本実施例装置における一方向位置決め機構の
動作説明図である。

【図１１】ヘッドチップの一例を示す図である。

【図１２】ヘッドチップの他の一例を示す図である。

【符号の説明】

１ ヘッドチップ装着装置 ２ 基台 ３ 回転テーブル ７ チップ保持台 ８ チップ保持台 ９ チップ保持台 １３ チップトレー １５ チップ搬送部 １５Ａ 吸着ノズル ３０ チップ ３１Ａ 位置決めチャック ３１Ｂ 位置決めチャック

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 チップトレー上の凹部内に収納されてい
   るヘッドチップを吸着ノズルで吸着保持してチップ保持
   台上の所定位置へ搬送するチップ搬送手段を備えたヘッ
   ドチップ接着装置において、 前記吸着ノズルの前記チップ吸着時に前記チップの位置
   ズレを修正するための一方向位置決め機構を、前記チッ
   プ搬送手段に設けたことを特徴とするヘッドチップ接着
   装置。
2. 【請求項２】 前記吸着ノズルのチップ吸着面の形状を
   前記チップトレーの前記凹部輪郭寸法よりも大きく形成
   するとともに、前記凹部の深さが前記チップの厚み寸法
   に対して僅かに深い形状で形成してなる前記チップトレ
   ーを使用した請求項１に記載のヘッドチップ接着装置。
3. 【請求項３】 前記チップの寸法に対して僅かに大きな
   平行面を有する吸着ノズルと、この吸着ノズルの平行面
   に対して線または面接触可能な位置決めチャックを有す
   るチップ一方向位置決め機構とを設けた請求項１に記載
   のヘッドチップ接着装置。