JP3498908B2 - 交流信号の振幅サンプリング方法及び振幅検出回路 - Google Patents

交流信号の振幅サンプリング方法及び振幅検出回路

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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03DDEMODULATION OR TRANSFERENCE OF MODULATION FROM ONE CARRIER TO ANOTHER
    • H03D1/00Demodulation of amplitude-modulated oscillations
    • H03D1/22Homodyne or synchrodyne circuits
    • H03D1/2245Homodyne or synchrodyne circuits using two quadrature channels
    • GPHYSICS
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    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/04Measuring peak values or amplitude or envelope of ac or of pulses

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、圧電素子により
駆動されるタッチ信号プローブや静電容量式ギャップセ
ンサ等の各種計測用センサの検出信号のように周期に揺
らぎがある交流信号の振幅値抽出に適用して有用な交流
信号の振幅サンプリング方法及び振幅検出回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】機械的構造体の形状測定等に利用される
計測用センサとして、例えば図6に示すような圧電素子
により駆動されるタッチ信号プローブがある。スタイラ
ス71は、先端に球状の接触子73が、後端にバランサ
74がそれぞれ取り付けられて、スタイラスホルダ72
により軸方向の略中央部が保持されている。スタイラス
71の略中央部には、スタイラスに振動を与える圧電素
子75が取り付けられている。この圧電素子75の加振
電極75aに駆動回路78から駆動信号が与えられ、検
出電極75bに得られる機械−電気変換信号が検出回路
76により検出される。検出回路76の出力は駆動回路
78に正帰還され、この帰還制御により圧電素子75は
所定の周波数の共振状態で励振されるようになってい
る。
【0003】検出電極75bに得られる検出信号は、搬
送波(加振信号)を振幅変調した形の正弦波状交流信号
であって、接触子73が被測定物に接触することにより
その検出信号の振幅や周波数が変化する。信号処理回路
77は、例えば検出回路76に得られる検出信号の振幅
を検出することにより、接触を検出する。
【0004】この様なタッチ信号プローブの検出信号
は、圧電素子の非線形性、単純でない構造に起因する多
くの振動モードの干渉、外乱等の影響により、振幅はも
ちろん、周期にも揺らぎが含まれる。即ち、検出信号の
周波数は、加振正弦波信号の周波数の近傍にはあるが、
加振周波数の前後のある範囲で変動する。このことは、
検出信号の振幅を高速で、即ち時間遅れがない状態で高
精度に検出しようとする際に問題になる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】例えば、上述したタッ
チ信号プローブの検出信号の振幅抽出に、よく知られた
固定時間間隔サンプリング方式を用いたとする。固定時
間間隔サンプリング方式では、検出信号の周期が一定で
ある場合は高精度検出が可能であるが、周期が一定でな
いと検出信号の周期変動に応じて振幅値検出に誤差(一
般には、加振周波数の周期をもって検出値が変動する)
が発生する。
【0006】また、振幅変調信号の振幅値抽出のために
しばしば用いられるのは、検出信号を全波整流し、低域
フィルタによりリップル除去を行う方法である。しかし
この方法では、低域フィルタの時定数のために、振幅抽
出に大きな時間遅れを伴う。従って、時々刻々変化する
振幅値をリアルタイムで定値制御するようなフィードバ
ック制御系には用いることができない。
【0007】更に最近は、全ての検出情報を高速サンプ
リングしてA/D変換し、得られた大量のディジタルデ
ータを大容量メモリに記憶して、しかる後FFT解析や
フィルタリング処理を行うディジタル処理システムが注
目される。このような処理システムによれば、検出信号
の周期成分毎の振幅値を高精度に検出することも可能で
ある。しかしこの様なディジタル処理システムは複雑且
つ高価である。しかも大量のディジタルデータのFFT
処理には、長時間を要する。従って、検出データの後処
理でよいような、情報伝達が一方向のオーディオシステ
ムや計測システムには有効であるが、前述のように時々
刻々変化する振幅値をフィードバック制御するリアルタ
イムな処理を必須とする自動制御系にはそのまま適用で
きない。
【0008】この発明は、上記事情を考慮してなされた
もので、周期及び振幅に揺らぎがある交流信号の振幅を
高精度に且つ僅かの時間遅れで検出することを可能とし
た振幅サンプリング方及び振幅検出回路を提供するこ
とを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明は、周期が所定
の周期の近傍で変動し且つ、振幅値も変動する測定用の
正弦波状交流信号の振幅値を求めるサンプリング方法に
おいて、前記正弦波状交流信号を、周波数が増加するに
従ってそれぞれ信号伝達の位相遅れが単調に増加し、且
つ前記周期の変動範囲を含む所定の周波数範囲における
各周波数での前記信号伝達の位相遅れの差異が90°に
なるようにした第1及び第2のオールパスフィルタを通
して取り出し、前記第1及び第2のオールパスフィルタ
の出力のうち位相遅れが少ない方の正弦波状出力交流信
号の振幅を、位相遅れが大きい方の正弦波状出力交流信
号の振幅がゼロとなるタイミングでサンプリングするこ
とを特徴とする。
【0010】この発明によると、振幅検出すべき交流信
号を二つのオールパスフィルタを通すことにより、位相
差が高精度に90°である二つの位相補正信号を得るこ
とができ、この位相補正信号の一方の位相が所定値のタ
イミングで他方をサンプリングすることにより、原交流
信号の周期の揺らぎや位相に殆ど左右されることなく、
僅かの時間遅れで振幅値を検出することが可能になる。
【0011】この発明において好ましくは、第1及び第
2のオールパスフィルタをそれぞれ、360°をn等分
(nは正の整数)した位相角度ずつ位相がずれた出力交
流信号が得られるようにn個ずつ用意し、第1及び第2
のオールパスフィルタの一方のn個の出力交流信号の振
幅を、それぞれ対応する他方のn個の出力交流信号の位
相が所定値をとるタイミングでサンプリングする。
【0012】
【発明の実施の形態】実施の形態の説明に先立ち、この
発明による振幅検出原理を説明する。振幅抽出すべき交
流信号Sを、振幅A、周期T、位相Pとして、下記数1
で表す。
【0013】
【数1】S=Asin(2πt/T+P)
【0014】数1の交流信号Sを移相の中心周波数が異
なる二つのオールパスフィルタを通すことにより、位相
差が90°である次の二つの位相補正信号S1,S2を
作ることができる。
【0015】
【数2】S1=Asin(2πt/T+P−ε(T)) S2=Asin(2πt/T+P−ε(T)−π/2)
【0016】ここで、位相補正信号S1の位相遅れが、
ε(T)であり、位相補正信号S2の位相遅れが、ε
(T)+π/2である。公知の一次のオールパスフィル
タを用いることにより、原信号の周期Tが10%程度変
動する場合であっても、二つの信号S1,S2の位相差
を高精度に90°に維持することが可能である。
【0017】この発明は、数2のように得られる位相補
正信号S1,S2について、例えば信号S2の位相;2
πt/T+P−ε(T)−π/2が所定の値例えば、m
π+a(m;正の整数)の値をとるタイミングでは、信
号S1,S2は周期T及び位相Pに左右されることな
く、下記数3となることを利用する。
【0018】
【数3】S1=Asin(π/2+a) S2=Asin(a)
【0019】即ち、信号S2が上述の位相のタイミング
で信号S1をサンプリングすると、そのサンプリング値
は、数3の信号S1のようになり、このサンプリング値
から、aの値が既知であれば、直ちに振幅Aが求められ
ることになる。このとき得られる振幅値の値は、周期T
や位相Pに依存しない。
【0020】特に、a=0とすれば、サンプリング点
は、信号S2=0のゼロクロス点となる。従って、信号
S2のゼロクロス検出を行ってパルスを発生し、これを
信号S1のサンプリングパルスとしてサンプリングを行
うことにより、周期変動の影響を受けない振幅検出が可
能になる。
【0021】図1は、この発明の実施の形態による振幅
検出回路の構成である。振幅検出すべき交流信号Sは例
えば、タッチ信号プローブ等の計測センサの検出信号で
あり、周期及び振幅に揺らぎがある。この交流信号Sを
二つのオールパスフィルタ11,12を用いた位相補正
手段1を通して、数2に示したような、互いに90°位
相がずれた二つの位相補正信号S1,S2を生成する。
【0022】オールパスフィルタ11,12は、図2に
示すような公知の一次のオールパスフィルタであり、そ
れぞれ抵抗Rx1,Rx2とコンデンサCx1,Cx2
の設定により、所定の中心周波数で90°位相遅れとな
る移相回路を構成している。その移相特性を図3に示
す。これらのオールパスフィルタ11,12では、通過
波形は全周波数範囲にわたって振幅が変化せず、位相だ
けが周波数に応じて単調な遅れを示す。
【0023】即ち、交流信号Sの基本周期Tとして、周
波数2π/Tにおいて、信号S1,S2の位相遅れはそ
れぞれ、ε(T)、ε(T)+π/2である。この位相
遅れの差π/2は、交流信号Sの周期の揺らぎの範囲T
v〜Tuを含む周波数範囲w=2π/Tv〜2π/Tu
において、一定である。即ち、この周波数範囲で、位相
が90°ずれた二つの位相補正信号S1,S2が得られ
ることになる。
【0024】そして、図1に示すように、二つの位相補
正信号S1,S2について、その一方例えばS2が所定
の位相値を示すタイミングで、他方の信号S1をサンプ
リングするサンプリング手段2を設ける。具体的にサン
プリング手段2は、この例では、信号S2についてその
ゼロクロス点を検出してパルスSpを発生するパルス発
生器22と、信号S1を全波整流する全波整流器21
と、この全波整流器21の出力|S1|をパルスSpに
よりサンプリングするサンプリング回路23とから構成
してる。
【0025】図4は、図1の各部の信号波形を示してい
る。信号S2のゼロクロスのタイミングtm(m=1,
2,3…)で矢印で示すようにサンプリングパルスSp
が得られ、各サンプリングパルスSpにより、全波整流
出力|S1|の振幅値A(tm)が抽出される。これら
の振幅値A(tm)は、数3における信号S1の振幅A
をa=0の点で抽出したことになる。
【0026】なお、交流信号Sは可変周期、可変振幅で
あるので、図4のように縦軸に振幅、横軸に時間をとっ
て波形を示すと、オールパスフィルタ11,12を通っ
た信号S1,S2は、原交流信号Sとは似ているもの、
単に平行移動したものではなく、実際には歪んでいる。
しかし、図3の関係を満たしている。また図4に示す位
相遅れ量ε(T),ε(T)+π/2は、時間軸に換算
した値である。
【0027】以上のようにこの実施の形態によれば、周
期に揺らぎがある交流信号の時々刻々変化する振幅を、
簡単な回路処理により検出することができる。振幅検出
の時間遅れは、図4から明らかなように、わずかであ
る。従って、振幅値をリアルタイムでフィードバック制
御する制御系にも問題なく適用できる。
【0028】図5は、図1の実施の形態を発展させた実
施の形態である。これは、図1に示す振幅検出回路構成
を一つの振幅検出ユニットとして、複数個の振幅検出ユ
ニットU1,U2,…,Un(nは正の整数)を併設し
たものである。これらの振幅検出ユニットの関係は、各
振幅検出ユニットのオールパスフィルタ11により得ら
れる位相補正信号S1の位相が順次2π/nずつずれた
ものとなり、同様に、オールパスフィルタ12により得
られる位相補正信号S2が順次2π/nずつずれたもの
となるように設計される。
【0029】これにより、各振幅検出ユニットU1,U
2,…,Unからは、原交流信号Sの1周期内でn個の
振幅値A1,A2,…,Anがサンプリングされること
になる。従って、一つの振幅検出ユニットのみを用いた
場合に比べて、1/nのサンプリング間隔で振幅値が検
出されることになり、リアルタイムのフィードバック制
御系に適用したときに高速且つ高精度の振幅制御が可能
になる。
【0030】なお図1及び図5の回路構成は、アナログ
回路として簡単に実現できるだけでなく、ディジタル回
路としても容易に実現できる。即ち振幅検出すべき交流
信号SをA/D変換してディジタルデータとし、オール
パスフィルタ及び後続の回路処理にDSPを用いて、振
幅値A(tm)をディジタル値として出力するようにし
てもよい。
【0031】またこの発明は、前述した超音波駆動のタ
ッチ信号プローブの他、同様の振幅変調信号が取り出さ
れる小孔計測プローブ、静電容量式ギャップセンサ等の
各種計測センサの他、レーザ光源の波長制御等、周期が
揺動する交流的搬送波の変動する振幅値を抽出する必要
がある用途に広く適用することが可能である。
【0032】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明によれば、振
幅検出すべき交流信号を二つのオールパスフィルタを通
して、位相差が高精度に90°である二つの位相補正信
号を得、この位相補正信号の一方の位相が所定値のタイ
ミングで他方をサンプリングすることにより、原交流信
号の周期の揺らぎや位相に殆ど左右されることなく、振
幅値を検出することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態による振幅検出回路の
構成を示す図である。
【図2】 同実施の形態のオールパスフィルタの構成を
示す図である。
【図3】 同オールパスフィルタの移相特性を示す図で
ある。
【図4】 図1の振幅検出回路の動作波形を示す図であ
る。
【図5】 他の実施の形態による振幅検出回路の構成を
示す図である。
【図6】 タッチ信号プローブの構成を示す図である。
【符号の説明】
1…位相補正手段、2…サンプリング手段、11,12
…オールパスフィルタ、21…全波整流器、22…パル
ス発生器、23…サンプリング回路、U1,U2,…,
Un…振幅検出ユニット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−9848(JP,A) 特開 平1−311286(JP,A) 特開 昭61−266963(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 19/00 - 19/32 H04L 27/00 - 27/30

Claims (7)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 周期が所定の周期の近傍で変動し且つ、
    振幅値も変動する測定用の正弦波状交流信号の振幅値を
    求めるサンプリング方法において、 前記正弦波状交流信号を、周波数が増加するに従ってそ
    れぞれ信号伝達の位相遅れが単調に増加し、且つ前記周
    期の変動範囲を含む所定の周波数範囲における各周波数
    での前記信号伝達の位相遅れの差異が90°になるよう
    にした第1及び第2のオールパスフィルタを通して取り
    出し、 前記第1及び第2のオールパスフィルタの出力のうち位
    相遅れが少ない方の正弦波状出力交流信号の振幅を、
    相遅れが大きい方の正弦波状出力交流信号の振幅がゼロ
    となるタイミングでサンプリングすることを特徴とする
    交流信号の振幅サンプリング方法。
  2. 【請求項2】 前記第1及び第2のオールパスフィルタ
    をそれぞれ、360°をn等分(nは正の整数)した位
    相角度ずつ位相がずれた正弦波状出力交流信号が得られ
    るようにn個ずつ用意し、 前記第1及び第2のオールパスフィルタのうち位相遅れ
    が少ない方のn個の正弦波状出力交流信号の振幅を、そ
    れぞれ対応する他方のn個の正弦波状出力交流信号の
    幅がゼロとなるタイミングでサンプリングすることを特
    徴とする請求項1記載の交流信号の振幅サンプリング方
    法。
  3. 【請求項3】 周期に揺らぎがある測定用の正弦波状交
    流信号を、周波数が増加するに従ってそれぞれ信号伝達
    の位相遅れが単調に増加し、且つ前記周期の揺らぎの範
    囲を含む所定の周波数範囲における各周波数での前記信
    号伝達の位相遅れの差異が90°になるようにした二つ
    のオールパスフィルタを通すことにより、前記周期の揺
    らぎの範囲を含む周波数範囲で互いに90°位相がずれ
    た第1及び第2の位相補正信号を生成する位相補正手段
    と、 前記第1及び第2の位相補正信号のうち位相遅れが小さ
    方の位相補正信号を位相遅れが大きい方の位相補正
    信号の振幅がゼロになるタイミングでサンプリングする
    ことにより前記正弦波状交流信号の振幅値を出力するサ
    ンプリング手段とを有することを特徴とする振幅検出回
    路。
  4. 【請求項4】 前記位相補正手段と前記サンプリング手
    段とを含んで一つの振幅検出ユニットが構成され、それ
    ぞれの振幅検出ユニットにおける第1及び第2の位相補
    正信号の位相が360°をn等分(nは正の整数)した
    位相角度ずつずれるようにしたn個の振幅検出ユニット
    が併設されていることを特徴とする請求項4記載の振幅
    検出回路。
  5. 【請求項5】 前記サンプリング手段は、前記第1及び
    第2の位相補正信号のうち位相遅れが大きい方のゼロク
    ロス点を検出して各ゼロクロス点でパルスを発生するパ
    ルス発生回路と、 このパルス発生回路から出力されたパルスにより、前記
    第1及び第2の位相補正信号のうち位相遅れが小さい
    をサンプリングするサンプリング回路とを有することを
    特徴とする請求項又は記載の振幅検出回路。
  6. 【請求項6】 前記サンプリング手段は、 前記第1及び第2の位相補正信号のうち位相遅れが大き
    方のゼロクロス点を検出して各ゼロクロス点でパルス
    を発生するパルス発生回路と、 前記第1及び第2の位相補正信号のうち位相遅れが小さ
    方を全波整流する全波整流器と、前記パルス発生回路
    から出力されたパルスにより、前記全波整流器の出力信
    号をサンプリングするサンプリング回路とを有すること
    を特徴とする請求項又は記載の振幅検出回路。
  7. 【請求項7】 前記正弦波状交流信号は、計測用センサ
    の検出信号であることを特徴とする請求項又は記載
    の振幅検出回路。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2402222B (en) * 2003-05-30 2007-04-25 Abb Ltd Phase measurement in measuring device
KR100858313B1 (ko) 2007-01-05 2008-09-11 (주)위더스비젼 제로 크로스 검출기 및 오디오 장치의 뮤트 신호 발생기
KR101250243B1 (ko) 2008-09-05 2013-04-04 엘지전자 주식회사 배관 거리 감지 장치 및 감지 방법
JP5228744B2 (ja) * 2008-09-25 2013-07-03 富士通株式会社 音声信号処理装置及び音声信号処理方法
JP6418803B2 (ja) * 2014-06-18 2018-11-07 株式会社ミツトヨ センサ信号検知回路
JP2021131329A (ja) * 2020-02-20 2021-09-09 日立金属株式会社 多芯ケーブルの検査方法および多芯ケーブルの検査装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1546191A (en) * 1975-08-25 1979-05-16 Hewlett Packard Co Peak detector
JPS54123978A (en) * 1978-03-17 1979-09-26 Mitsubishi Electric Corp Selection measuring apparatus
US4262257A (en) * 1979-06-29 1981-04-14 Datapoint Corporation Peak detector
GB2066969A (en) * 1980-01-09 1981-07-15 Deemstop Ltd Measurement of power in A.C. circuits
AU551633B2 (en) * 1980-11-27 1986-05-08 Sony Corporation Signal level detecting circuit
US4675614A (en) * 1982-10-20 1987-06-23 Rockwell International Corporation Phase difference measurement system
JPH0830722B2 (ja) 1985-05-21 1996-03-27 株式会社堀場製作所 分析計からの低周波交流信号整流回路
US4695792A (en) * 1985-12-16 1987-09-22 Ecole Polytechnique Method and system for measuring the amplitude and phase angle of harmonics in a periodic signal
JPH01311286A (ja) 1988-06-08 1989-12-15 Fuji Electric Co Ltd 交流電圧計測方法
US5289166A (en) * 1991-10-04 1994-02-22 Lambda Electronics Inc. Voltage detector
JP3338159B2 (ja) * 1994-02-10 2002-10-28 三菱電機株式会社 振幅・位相検出装置
JP3336196B2 (ja) 1996-06-25 2002-10-21 株式会社ミツトヨ 振幅抽出装置
JP2889196B2 (ja) * 1996-10-08 1999-05-10 株式会社ミツトヨ センサ信号の直流レベル変化検知回路
WO1998021553A1 (fr) * 1996-11-11 1998-05-22 Fanuc Ltd. Circuit d'interpolation de codeur

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