JP3498040B2 - 電気的接続装置 - Google Patents

電気的接続装置

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JP3498040B2
JP3498040B2 JP2000146706A JP2000146706A JP3498040B2 JP 3498040 B2 JP3498040 B2 JP 3498040B2 JP 2000146706 A JP2000146706 A JP 2000146706A JP 2000146706 A JP2000146706 A JP 2000146706A JP 3498040 B2 JP3498040 B2 JP 3498040B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路のような
被検査体に備えられた第1の電極部と配線基板に備えら
れた第2の電極部とを電気的に接続する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路の電極部と配線基板の電極部と
を電気的に接続する装置の1つとして、弧状、J字状、
S又はZ字状をした接触子を用いるものがある(例え
ば、特開平11−162605号公報、特開平10−1
77886号公報、特開平10−116670号公報、
特開平6−54695号公報)。
【0003】
【解決しようとする課題】しかし、これらいずれの従来
技術も、接触子及び弾性体の少なくとも一方が複雑な形
状しているから、接触子の配置密度を高くすることがで
きず、ボール・グリッド・アレイ(BGA)、チップ・
スケール(サイズ)・パッケージ(CSP)のように多
数の電極を高密度に配置したデバイスの検査に適用する
ことができない。また、いずれの従来技術も、接触子又
は弾性体の製作が難しく、また接触子又は弾性体の配置
作業が煩雑である。
【0004】それゆえに、第1及び第2の電極部を電気
的に接続する装置においては、接触子の配置密度を高く
し、接触子及び弾性体の製作及び配置作業を容易にする
ことが重要である。
【0005】
【解決手段、作用及び効果】本発明に係る電気的接続装
置は、板状のハウジングであって該ハウジングの厚さ方
向に貫通する穴を有するハウジングと、前記穴を横切る
状態に前記ハウジングに配置された弾性体と、前記ハウ
ジングの厚さ方向へ伸びる状態に前記穴に配置された棒
状の接触子とを含む。前記接触子は、前記穴を横切る方
向へ伸びかつ前記弾性体の少なくとも一部を受け入れて
いる凹所と、第1の電極部に接触可能に前記接触子の一
端部に形成された第1の接触部と、前記第1の電極部か
ら間隔をおいた第2の電極部に接触可能に前記接触子の
他端部に形成された第2の接触部とを有する。
【0006】棒状の接触子は、これが穴に配置されて、
穴を横切る弾性体の少なくとも一部を凹所に受け入れて
いることにより、弾性体及びハウジングに支持される。
第1及び第2の接触部は、それぞれ、第1及び第2の電
極部に押圧されることにより、第1及び第2の電極部を
電気的に接続する。
【0007】弾性体の少なくとも一部を受け入れる凹所
を有しかつ棒状をした接触子は、弧状、J字状、S又は
Z字状の接触子に比べ、配置密度を高くすることができ
る。また、棒状の接触子は、弧状、J字状、S又はZ字
状の接触子に比べ、形状が単純であり、容易に製作する
ことができる。さらに、穴を横切る状態にハウジングに
配置される弾性体は、その形状が単純になり、容易に製
作することができる。
【0008】上記のように、ハウジングの穴を横切る弾
性体と、その弾性体の少なくとも一部を受け入れる凹所
を有しかつ棒状をした接触子とを用いると、接触子の配
置密度を高くすることができるにもかかわらず、接触子
及び弾性体の製作及び配置作業が容易になる。
【0009】前記第1の接触部は、前記接触子の軸線に
対し90度以外の角度を有する平面領域を含むことがで
きる。これによれば、第1の電極部が半球状電極のよう
な突起電極である場合に、平面領域は、突起電極の頂部
の周りの側部に押圧され、突起電極の頂部を押し潰すお
それがない。また、第1及び第2の接触部がそれぞれ第
1及び第2の電極部に押圧されると、接触子を穴の軸線
に対して傾ける傾斜力が接触子に確実に作用するから、
第1及び第2の接触部がそれぞれ第1及び第2の電極部
に確実に接触する。さらに、前記傾斜力が解除される
と、接触子が弾性体の復元力により元の状態に戻され
る。
【0010】前記接触子は、さらに、前記第1の接触部
の側に開放する窪みを前記第1の接触部側の端部中央に
有することができる。これによれば、第1の電極部が突
起電極である場合に、窪みが突起電極の頂部の逃げ部と
して作用するから、突起電極の頂部が押し潰されるおそ
れがない。
【0011】前記平面領域は前記接触子の軸線に対し9
0度以外の角度を有する境界を共有する一対の面部分で
あって互いにへ字状に連続する面部分を含むことができ
る。これによっても、突起電極の頂部を押し潰すおそれ
がなく、前記した傾斜力が接触子に作用し、第1及び第
2の接触部がそれぞれ第1及び第2の電極部に確実に接
触し、前記傾斜力が解除されることにより接触子が元の
状態に戻り、接触子が常にハウジングに安定に維持され
る。
【0012】前記接触子は、前記第1及び第2の接触部
を除く前記接触子の外側の一部を前記弾性体により前記
穴の内面に当接させることができる。これによれば、接
触子が第1及び第2の電極部のいずれにも接触していな
い状態においても、接触子の位置及び姿勢が安定に維持
される。
【0013】前記穴の軸線は、前記ハウジングに垂直の
軸線に対し角度を有することができる。これによれば、
その穴に配置された接触子も同様に傾けられており、し
たがって、前記した傾斜力が接触子に確実に作用し、第
1及び第2の接触部がそれぞれ第1及び第2の電極部に
確実に接触する。
【0014】前記凹所は前記一端部及び前記他端部を除
く前記接触子の外側の部位に開口しており、前記平面領
域は前記接触子の軸線に対し前記凹所が開口する側及び
それと反対の側のいずれか一方に傾けられていてもよ
い。これによれば、前記した傾斜力が接触子に確実に作
用し、第1及び第2の接触部がそれぞれ第1及び第2の
電極部に確実に接触する。
【0015】前記接触子は、さらに、前記平面領域から
前記第2の接触部の側に後退した段部を前記一端部に有
することができる。これによれば、第1の電極部が突起
電極である場合に、段部が突起電極の頂部の逃げ部とし
て作用するから、突起電極の頂部が押し潰されるおそれ
がない。
【0016】前記接触子は、さらに、その軸線に対し9
0度の角度を有する端面を前記他端部に有することがで
きる。これによれば、接触子の他端に特殊な加工を行う
必要がなく、接触子の製作がより容易になる。
【0017】前記接触子は、さらに、その軸線に対し9
0度以外の角度を有する平坦な外面部であって前記他端
部から前記一端部に向けて伸びる外面部を有し、前記第
2の接触部は前記外面部と前記端面との境界とすること
ができる。
【0018】本発明に係る電気的接続装置は、前記ハウ
ジングは第1の方向に間隔をおいた複数の前記穴を少な
くとも一列に有しており、前記弾性体は前記穴を横切っ
て伸びる長尺体とし、前記凹所は前記ハウジングの厚さ
方向と前記弾性体の長手方向とに交差する方向における
前記接触子の外側の部位に開口する溝とすることができ
る。これにより、電気的接続装置を容易に組み立てるこ
とができ、また接触子が第1及び第2の電極部のいずれ
にも接触していない状態においても、接触子の位置及び
姿勢が安定に維持される。
【0019】好ましい実施例においては、ハウジングは
複数の前記穴を少なくとも一列に有し、前記弾性体は前
記穴を横切って前記穴の配列方向へ伸びている。また、
ハウジングは複数の前記穴を複数列に有し、前記弾性体
は前記穴の列毎に備えられており、また前記穴を横切っ
て前記穴の配列方向へ伸びている。
【0020】前記弾性体の長手方向へ伸びる仮想線に対
して一方側に位置する列の前記穴の軸線は前記ハウジン
グに垂直な仮想面に対して一方側に傾けられており、前
記仮想線に対して他方側に位置する列の前記穴の軸線は
前記仮想面に対して他方側に傾けられいることができ
る。これによれば、第1及び第2の接触部がそれぞれ第
1及び第2の電極部に押圧されたときに、ハウジングを
第2の電極部に対してハウジングと平行の方向へ変位さ
せる力が一方の穴列の接触子と他方の穴列の接触子とで
逆向きになるから、ハウジングが第2の電極部に対して
移動するおそれがない。
【0021】好ましい実施例においては、前記ハウジン
グは前記第2の電極部を有する基板に組みつけられてい
る。また、電気的接続装置は、さらに、前記ハウジング
の前記第1の接触部の側に配置されたガイドブロックを
含み、該ガイドブロックは前記第1の電極部を有する被
検査体を受け入れる開口を前記接触子の配置領域に対応
する箇所に有する。
【0022】
【発明の実施の形態】図1から図6を参照するに、電気
的接続装置10は、平板状の被検査体12に設けられた
複数の突起電極(第1の電極部)14と、配線基板16
の一方の面に備えられた複数の電極ランド(第2の電極
部)18とを、一対一の形に電気的に接続する装置に用
いられる。被検査体12は、図示の例では、BGA、C
PSのように複数の第1の電極部14をマトリックス状
に高密度に配置した集積回路であり、したがって第1の
電極部14は半田のように低融点の導電性金属材料から
半球状に形成されている。
【0023】電気的接続装置10は、図示の例では、配
線基板16の一方の面に組み付けられて、被検査体12
の通電試験に用いるソケットに適用されている。突起電
極14は、半球状の形状をしており、またマトリックス
状に配置されている。電極ランド18は、配線基板16
に形成された配線の一部であり、また突起電極14と対
称的な位置となるようにマトリックス状に配置されてい
る。
【0024】電気接続装置10は、板状のハウジング2
0と、ハウジング20に配置された複数の弾性体22
と、ハウジング20にこれの厚さ方向へ伸びる状態に配
置された棒状の接触子24と、ハウジング20の一方の
面側に配置されたガイドブロック26とを含む。
【0025】ハウジング20は、これの厚さ方向に貫通
する複数の穴28を矩形の範囲内に互いに直行する第1
及び第2の方向にマトリックス状に、すなわち突起電極
14及び電極ランド18に対応するマトリックス状に備
えている。穴28は、同じ方向(第2の方向)に長い長
円形の平面形状を有しており、またハウジング20と平
行な面に対し前記長円形の長手方向(第2の方向)に傾
けられている。
【0026】穴28は、穴28の傾斜方向(第2の方
向)における中心を経て傾斜方向と直行する方向(第1
の方向)へ伸びる仮想的な線30に対して一方側に位置
する穴列の穴28の軸線はハウジング20に垂直な仮想
的な面に対して一方側に傾けられており、仮想線30に
対して他方側に位置する穴列の穴28の軸線は前記仮想
面に対して他方側に傾けられいる。
【0027】弾性体22は、シリコーンゴムのような材
料から円形の横断面形状を有する棒状に製作されて、第
1の方向に整列する穴28の列毎に備えられている。各
弾性体22は、対応する列の穴28を第1の方向に横切
って伸びる状態に、ハウジング20に配置されており、
またハウジング20の隣り合う穴28間の壁に形成され
て配線基板16の側に開放するU字状の切欠き32に嵌
合されている。このため、弾性体22を切欠き32に嵌
めこむことにより、弾性体22をハウジング20に組み
付けることができ、ハウジング20への弾性体22の組
み付け作業が容易になる。
【0028】弾性体22は、切欠き32に締り嵌めの状
態に嵌合させるか、端部をハウジング20に形成された
穴に挿入するか、又は、少なくとも端部においてハウジ
ング20に接着することにより、ハウジング20に維持
させることができる。
【0029】各接触子24は、これを直径方向へ伸びる
凹所34と、軸線方向における一端部に形成された第1
の接触部36と、軸線方向における他端部に形成された
第2の接触部38とを有している。各接触子24は、図
示の例では、円形の横断面形状を有している。各接触子
24は、また、第1及び第2の接触部36及び38がそ
れぞれガイドブロック26側及び配線基板28側となる
状態に穴28に配置されている。
【0030】接触子24の第1の接触部36側の端面
は、接触子24の軸線に対して傾斜する平面領域の第1
の接触部36とされている。これに対し、接触子24の
第2の接触部38側の端面は、接触子24の軸線に対し
ほぼ直角の平坦面40とされている。このため、接触子
24の一端及び他端に特殊な加工を行う必要がなく、接
触子24を容易に製作することができる。
【0031】第2の接触部38は、平坦面40と、接触
子24の軸線に対し90度より小さい角度で平坦面40
から凹所34の開口に向けて伸びる平坦な外面部42と
の境界を形成する角部とされている。
【0032】接触子24が上記のような外面部42を第
2の接触部38側の端部に有していると、接触子24を
ハウジング20の上方から弾性体22の力に抗して穴2
8の内面と弾性体22との間に挿入することにより、接
触子24をハウジング20に容易に組み付けることがで
き、したがってハウジング20への接触子の組み付け作
業が容易になる。
【0033】凹所34は、弾性体22の横断面形状に対
応するU字状の横断面形状を有する溝であり、また接触
子24の直径方向における外方に開放されている。この
ため、弾性体22の一部が凹所34内に受け入れられる
まで接触子24をハウジング20の上方から弾性体22
の力に抗して穴28の内面と弾性体22との間に挿入す
ることにより、接触子24をハウジング20に組み付け
ることができ、ハウジング20への接触子の組み付け作
業がより容易になる。
【0034】接触子24は、その外周面の一部(凹所3
4の開口側と反対側の部位)を穴28の内面に当接させ
ている。このため、弾性体22の一部が凹所34に受け
入れられていることとあいまって、接触子24が電極部
14,18のいずれにも接触していない状態において
も、ハウジング20に対する接触子24の位置及び姿勢
が安定に維持される。この場合、接触子24を弾性体2
2により穴28の内面に押圧するならば、接触子24の
位置及び姿勢がより安定に維持される。
【0035】ガイドブロック26は、被検査体12を受
け入れる矩形の平面形状を有する開口44を接触子24
の配置領域に対応する箇所に有する。開口44の上部
は、中心側ほど狭くなる傾斜面46とされている。ガイ
ドブロック26は、ハウジング20の上に重ねられ、そ
の状態でハウジング20と共に、ガイドブロック26及
びハウジング20を貫通して配線基板16に螺合された
複数のねじ部材48により、配線基板16に組み付けら
れている。
【0036】ハウジング20及びガイドブロック26が
配線基板16に組み付けられた状態において、接触子2
4の第1の接触部36は穴22から突出されているが、
第2の接触部38はほぼハウジング20の下面の位置と
されている。しかし、第2の接触部38は第2の電極部
18に当接していてもよいし、第2の電極部18からわ
ずかに離れていてもよい。
【0037】ハウジング20及びガイドブロック26の
相対的な位置決めは、ハウジング20及びガイドブロッ
ク26のいずれか一方に設けられた複数のガイドピン5
0がハウジング20及びガイドブロック26の他方に形
成されたガイド穴に受け入れられることにより、行われ
る。
【0038】被検査体12は、図2に示すようにガイド
ブロック26の開口44に配置され、第1の電極部14
を接触子24の第1の接触部36に押圧される。これに
より、接触子24は、弾性体34の力に抗して配線基板
16の側に移動させる力を受けて、図3(A)に示すよ
うに第2の接触部38を第2の電極部18に押圧され
る。これにより、第1及び第2の電極部14及び18は
接触子24により一対一の形に電気的に接続される。ま
た、第2の接触部が平坦面40と外面部42との境界で
あるから、第2の接触部38が第2の電極部18に確実
に接触する。
【0039】電気的接続装置10においては、第1の接
触部36が接触子24の軸線に対し傾斜した平面領域で
あること、穴28が配線基板16に垂直の軸線に対し角
度を有すること等から、第1の電極部14が第1の接触
部36に押圧されると、図3(B)に示すように接触子
24をハウジング20に垂直な軸線及び穴28の軸線に
対し弾性体22の側に傾ける傾斜力が接触子24に作用
する。
【0040】この傾斜力により、第1及び第2の接触部
36及び38はそれぞれ第1及び第2の電極部14及び
18に確実に接触し、またこの傾斜力が解除されると、
接触部36,38が弾性体22の復元力により元の状態
に戻り、接触子24はハウジング20に安定に維持され
る。
【0041】また、第1の電極部14への第1の接触部
36の接触領域が接触子24の軸線に対し傾斜した平面
領域であると、第1の電極部14が半球状電極のような
突起電極である場合に、平面領域は、第1の電極部14
の頂部の周りの側部に押圧され、第1の電極部14の頂
部を押し潰すおそれがない。
【0042】上記のように、棒状の接触子24は、弧
状、J字状、S又はZ字状の接触子に比べ、配置密度を
高くすることができるし、形状が単純であり、容易に製
作することができる。また、穴を横切る状態にハウジン
グに配置される弾性体は、その形状が単純になり、容易
に製作することができる。
【0043】それらの結果、ハウジング20の穴28を
横切る弾性体22と、その弾性体22の少なくとも一部
を受け入れる凹所34を有しかつ棒状をした接触子24
とを用いる電気的接続装置10によれば、接触子24の
配置密度を高くすることができるにもかかわらず、接触
子24及び弾性体22の製作及び配置作業が容易にな
る。
【0044】また、仮想線30に対して一方側に位置す
る穴列の穴28及び接触子24の軸線と他方側に位置す
る穴列の穴28及び接触子24の軸線とを逆にすると、
接触部36,38が電極部14,18に押圧されたとき
に、ハウジング20を第2の電極部38に対してハウジ
ング20と平行の方向へ変位させる力が、一方の穴列の
接触子と他方の穴列の接触子とで逆向きになるから、ハ
ウジング20が第2の電極部18に対して移動するおそ
れがない。
【0045】図7に示す接触子60は、第1の接触部3
6を凹所34側の半円形の平面領域とし、また第1の接
触部36から第2の接触部38の側に後退した段部62
を第1の接触部36側の端部にあって凹所34と反対の
側に有している。図7に示す実施例では、穴28の軸線
がハウジング20に対し垂直であるが、穴28をハウジ
ング20に対し傾斜させてもよい。
【0046】接触子60において、第1の接触部36の
平面領域は、接触子60の軸線に対し角度を有する。こ
のため、第1の電極部14が突起電極であっても、前記
した接触子24と同様の作用・効果を生じる。また、段
部62は、第1の電極部14が突起電極である場合に、
第1の電極部14の頂部の逃げ部として作用し、第1の
電極部14の頂部を押し潰すおそれがない。
【0047】図8に示す接触子64は、第1の接触部3
6を扇形状の平面領域とした点を除いて、図7に示す接
触子60と同様に形成されている。このため、この接触
子64によっても、接触子60と同様の作用・効果を生
じる。
【0048】図9に示す接触子66は、第1の接触部3
6を半円形の平面領域とし、上方に開放する半球状の窪
み68をその平面領域に形成した点を除いて、図7に示
す接触子60と同様に形成されている。窪み68は、第
2の接触部36が第1の電極部14に押圧されたとき、
電極部14の頂部の逃げ部として作用する。このため、
この接触子66によっても、接触子60と同様の作用・
効果を生じる。
【0049】図10に示す接触子70は、第1の接触部
36を構成する平面領域をへ字状に連続する一対の面部
分36a,36aとした点を除いて、図7に示す接触子
60と同様に形成されている。両面部分36aの境界は
接触子70の軸線に対し角度を有する稜線である。この
ため、この接触子70によっても、接触子60と同様の
作用・効果を生じる。
【0050】図11に示す接触子72は、第1の接触部
36を凹所34と反対側にあって接触子72の軸線に対
し角度を有する半円形の平面領域とし、外面部42を凹
所34と反対側に形成し、第1の接触部36から第2の
接触部38の側に後退した段部62を第1の接触部36
側の端部にあって凹所34の側に有している。
【0051】この接触子72は、第1及び第2の接触部
36,38が第1及び第2の電極部14,18に押圧さ
れたとき、上記した接触子24,60,64,66,7
0と逆の方向に傾くことを除いて、接触子24,60,
64,66,70と同様の作用・効果を生じる。
【0052】 上記の実施例では、弾性体及び接触子の
横断面形状が円形であるが、弾性体及び接触子の横断面
形状は、多角形のように、円以外の横断面形状を有して
いてもよい。また、1つの弾性体を1つの穴列に配置す
る代わりに、1以上の穴にわたる複数の弾性体、例えば
ブロック状の弾性体を各穴列に配置してもよい。
【0053】本発明は、半球状の突起電極を備えた被検
査体のみならず、他の形状の突起電極、平坦な電極等、
他の形状の電極を備えた被検査体の通電試験に用いる装
置にも適用することができる。また、本発明は、第1の
電極部をマトリックス状に有する被検査体のみならず、
四角形の各辺又は1以上の辺若しくは中央に複数の第1
の電極部を列状に有する被検査体等、他の被検査体の通
電試験に用いる装置にも適用することができる。
【0054】本発明は、上記実施例に限定されない。本
発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す
平面図
【図2】図1における2-2銭に沿って得た断面図
【図3】接触子の動作を示す図であって、(A)は接触
部を電極部に押圧する寸前の状態を示す図、(B)は接
触部を電極部に押圧した状態を示す図
【図4】図3(A)の平面図
【図5】図3(A)の底面図
【図6】接触子の一実施例を示す斜視図
【図7】接触子の第2の実施例を示す図であって、
(A)は接触子の斜視図、(B)は接触部を電極部に押
圧する寸前の状態を示す図、(C)は接触部を電極部に
押圧した状態を示す図
【図8】接触子の第3の実施例を示す図であって、
(A)は斜視図、(B)は平面図、(C)は正面図
【図9】接触子の第4の実施例を示す図であって、
(A)は斜視図、(B)は平面図、(C)は正面図
【図10】接触子の第5の実施例を示す図であって、
(A)は斜視図、(B)は平面図、(C)は正面図
【図11】接触子の第6の実施例を示す図であって、
(A)は接触子の斜視図、(B)は接触部を電極部に押
圧する寸前の状態を示す図、(C)は接触部を電極部に
押圧した状態を示す図
【符号の説明】
10 電気的接続装置 12 被検査体 14 第1の電極部 16 配線基板 18 第2の電極部 20 ハウジング 22 弾性体 24,60,64,66,70,72 接触子 26 ガイドブロック 28 穴 30 仮想線 32 切欠き 34 凹所 36 第1の接触部 38 第2の接触部 40 端面 42 外面部 44 開口 62 段部 68 窪み 36a 面部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−177886(JP,A) 特開 平9−148016(JP,A) 特開 平10−326653(JP,A) 特開 平11−329647(JP,A) 特開 平10−41036(JP,A) 特開 平10−144438(JP,A) 特開 平10−214649(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01R 33/76 H01R 13/11 G01R 1/073 G01R 31/26

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いに間隔をおいた第1及び第2の電極
    部を電気的に接続する装置であって、 板状のハウジングであって該ハウジングの厚さ方向に貫
    通して第1の方向に間隔をおいた複数の穴を少なくとも
    1列に有すると共に、隣り合う穴の間の壁に形成されて
    当該ハウジングの厚さ方向における一方側に開放するU
    字状の切り欠きを有するハウジングと、前記穴を横切る
    状態に前記切り欠きに嵌合されて前記第1の方向へ伸び
    る、円形の横断面形状を有する長尺の弾性体と、前記ハ
    ウジングの厚さ方向へ伸びる状態に前記穴に配置され
    た、円形の横断面形状を有する棒状の複数の接触子とを
    含み、 各接触子は、前記穴を横切る方向へ伸びる凹所であって
    前記ハウジングの厚さ方向と前記第1の方向とに交差す
    る第2の方向における当該接触子の外側の部位に開口し
    て前記弾性体の少なくとも一部を受け入れている、U字
    状の凹所と、前記第1の電極部に接触可能に前記接触子
    の一端部に形成された第1の接触部と、前記第2の電極
    部に接触可能に前記接触子の他端部に形成された第2の
    接触部とを有し、また前記第1及び第2の接触部を除く
    前記接触子の外側の一部を前記穴の内面に当接させてい
    る、電気的接続装置。
  2. 【請求項2】 前記第1の接触部は、前記接触子の軸線
    に対し90度以外の角度を有する平面領域を含む、請求
    項1に記載の電気的接続装置。
  3. 【請求項3】 前記接触子は、さらに、前記第1の接触
    部の側に開放する窪みを前記第1の接触部側の端部中央
    に有する、請求項1又は2に記載の電気的接続装置。
  4. 【請求項4】 前記平面領域は前記接触子の軸線に対し
    90度以外の角度を有する境界を共有する一対の面部分
    であって互いにへ字状に連続する面部分を含む、請求項
    2又は3に載の電気的接続装置。
  5. 【請求項5】 前記穴の軸線は、前記ハウジングに垂直
    の軸線に対し角度を有する、請求項1から4のいずれか
    1項に記載の電気的接続装置。
  6. 【請求項6】 前記凹所は前記一端部及び前記他端部を
    除く前記接触子の外側の部位に開口しており、前記平面
    領域は前記接触子の軸線に対し前記凹所が開口する側及
    びそれと反対の側のいずれか一方に傾けられている、請
    求項2から5のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
  7. 【請求項7】 前記接触子は、さらに、前記平面領域か
    ら前記第2の接触部の側に後退した段部を前記一端部に
    有する、請求項2から6のいずれか1項に記載の電気的
    接続装置。
  8. 【請求項8】 前記接触子は、さらに、その軸線に対し
    90度の角度を有する端面を前記他端部に有する、請求
    項1から7のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
  9. 【請求項9】 前記接触子は、さらに、その軸線に対し
    90度以外の角度を有する平坦な外面部であって前記端
    面から前記一端部に向けて伸びる外面部を有し、前記第
    2の接触部は前記外面部と前記端面との境界である、請
    求項8に記載の電気的接続装置。
  10. 【請求項10】 前記ハウジングは複数の前記穴を複数
    列に有し、前記弾性体は前記穴の列毎に備えられてお
    り、また前記穴を横切って前記穴の配列方向へ伸びてい
    る、請求項1から9のいずれか1項に記載の電気的接続
    装置。
  11. 【請求項11】 前記弾性体の長手方向へ伸びる仮想線
    に対して一方側に位置する列の前記穴の軸線は前記ハウ
    ジングに垂直な仮想面に対して一方側に傾けられてお
    り、前記仮想線に対して他方側に位置する列の前記穴の
    軸線は前記仮想面に対して他方側に傾けられている、請
    求項10に記載の電気的接続装置。
  12. 【請求項12】 前記ハウジングは前記第2の電極部を
    有する基板に組みつけられている、請求項1から11の
    いずれか1項に記載の電気的接続装置。
  13. 【請求項13】 さらに、前記ハウジングの前記第1の
    接触部の側に配置されたガイドブロックを含み、該ガイ
    ドブロックは前記第1の電極部を有する被検査体を受け
    入れる開口を前記接触子の配置領域に対応する箇所に有
    する、請求項1から12のいずれか1項に記載の電気的
    接続装置。
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