JP3497992B2 - リードフレームの製造方法、製造装置 - Google Patents

リードフレームの製造方法、製造装置

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JP3497992B2
JP3497992B2 JP19826098A JP19826098A JP3497992B2 JP 3497992 B2 JP3497992 B2 JP 3497992B2 JP 19826098 A JP19826098 A JP 19826098A JP 19826098 A JP19826098 A JP 19826098A JP 3497992 B2 JP3497992 B2 JP 3497992B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はリードフレームの
造方法、製造装置に関し、更に詳細には、ステージサポ
ートバーの一部を曲折して傾斜片部を形成し、ステージ
部をリード形成面より所要高さ低くしたリードフレー
製造方法、製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】リードフレームの、半導体チップが搭載
されるステージ部は、インナーリードなどのリード部が
形成されたリード形成面より一段低くなるようにして、
搭載された半導体チップの電極形成面とリードのワイヤ
ボンディング平面とがほぼ同一面となるように形成され
る。これにより、ボンディングワイヤを短くでき、かつ
信頼性高くボンディングを行える。上記リードフレーム
を得るには、従来、ステージサポートバーの一部をプレ
スにより曲折して傾斜片部を形成し、これによりステー
ジ部が所要高さリード形成面より低くなるようにしてい
る(ディプレス加工)。図10は、そのディプレス加工
の金型を示す。50はポンチ(上型)、52はダイ(下
型)である。ダイ52上にリードフレーム10(図1
1)が載置され、ポンチ50を下動することにより、ス
テージサポートバー15の一部(2個所、QFPタイプ
のリードフレームでは4個所)を、ダイ52の凹部の斜
面52a、52bとポンチ50の突部の斜面50a、5
0bとでプレスして潰し、曲折して傾斜片部16、16
を形成することによりステージ部14をリード形成面よ
り低くなるようにしている(図12)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
上記ディプレス加工方法では次のような課題がある。す
なわち、図10に示すように、ポンチ50とダイ52と
が僅かに中心をずれて取り付けられた場合にあっても、
斜面50aと斜面52aとの間隔、斜面50bと斜面5
2bとの間隔には大きな差がでてしまう。そのため、プ
レスした場合に、一方の傾斜片部16の伸びと他方の傾
斜片部16との伸びに差が生じ、その結果ステージ部1
4が反って必要な平坦度が得にくいという課題がある。
また、ディプレス加工は、複数のリードフレームを複数
の金型で同時に行うようになされる。その際、各金型の
ダイ52やポンチ50の取り付け高さに僅かにずれがあ
る場合にも、各金型でのプレスによる押圧力に差が生
じ、傾斜片部16の伸びに差がでて、やはりステージ部
14が反ってしまうという課題がある。
【0004】極めて精度のよい金型を製作すればよい
が、金型の精度を向上させれば、その製作コストが高く
つく。特に金型の斜面部は、高精度の寸法計測が難し
く、加工精度をあげるにも限界がある。また精度の高い
金型を製作しても、その取り付けを正確に行うことは必
ずしも容易でなく、上記のように僅かな位置ずれでも正
確な加工が行えなくなるのである。
【0005】そこで、本発明は上記課題を解決すべくな
されたものであり、その目的とするところは、リード面
とステージ面とに所要段差が精度よく形成されたリード
フレーム、および金型自体の精度をそれ程高めることを
要せず、精度の高いリードフレームを提供できるリード
フレームの製造方法、製造装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は次の構成を備える。 すなわち、本発明に
係るリードフレームの製造方法は、リードフレームのス
テージ部に連結されたステージサポートバーに傾斜片部
を形成して、リード部が形成されたリード形成面とステ
ージ部の表面とに段差を形成させるリードフレームの製
造方法において、前記ステージサポートバーに形成しよ
うとする傾斜片部に隣接する一方の部位と、該一方の部
位に対して傾斜片部を挟んで反対側の、ステージ部全体
を含む他方の部位とを各々第1の挾持手段と第2の挾持
手段とで挾持し、これらの両挾持手段をリード形成面に
直交する方向に相対的に移動させて、両挾持手段の間の
ステージサポートバーを引っ張りによって延伸させるの
みにより前記傾斜片部を形成することを特徴としてい
る。第1の挾持手段と第2の挾持手段の相対的な移動ス
トロークを制御することにより、引っ張りによって均一
に伸ばされた傾斜片部を形成でき、したがって反りのな
い、リード形成面と所要段差を有するステージ部をもつ
リードフレームの製造が行える。
【0007】 の場合に、前記両挾持手段をリード
形成面に直交する方向に相対的に複数回移動させて前記
傾斜片部を形成するようにすると、破断させずに、無理
なく傾斜片部を形成でき好適である。
【0008】 また本発明に係るリードフレームの製造
装置は、リードフレームのステージ部に連結されたステ
ージサポートバーに傾斜片部を形成して、リード部が形
成されたリード形成面とステージ部の表面とに段差を形
成させるリードフレームの製造装置において、前記ステ
ージサポートバーに形成しようとする傾斜片部に隣接す
る一方の部位と、該一方の部位に対して傾斜片部を挟ん
で反対側の、ステージ部全体を含む他方の部位とを各々
挾持する第1の挾持手段および第2の挾持手段と、前記
両挾持手段をリード形成面に直交する方向に相対的に移
動させる駆動手段とを具備し、前記一方の部位と前記他
方の部位とを各々第1の挾持手段と第2の挾持手段とで
挾持し、これらの両挾持手段をリード形成面に直交する
方向に相対的に移動させて、両挾持手段の間のステージ
サポートバーを引っ張りによって延伸させるのみにより
前記傾斜片部を形成することを特徴としている。第1の
挾持手段と第2の挾持手段の相対的な移動ストロークを
制御することにより、引っ張り加工により均一に伸ばさ
れた傾斜片部を形成でき、したがって反りのない、リー
ド形成面と所要段差を有するステージ部をもつリードフ
レームの製造が行える。この場合に、前記傾斜片部を形
成するに際し、前記両挾持手段をリード形成面に直交す
る方向に相対的に複数回移動させるよう前記駆動手段を
制御する制御手段を設けると好適である。
【0009】 さらに本発明に係るリードフレームの製
造装置では、リードフレームのステージ部に連結された
ステージサポートバーに傾斜片部を形成して、リード部
が形成されたリード形成面とステージ部の表面とに段差
を形成させるリードフレームの製造装置において、下型
ダイセットに固定された下型ダイと、該下型ダイを貫通
して上下動可能に設けられた下型ポンチと、該下型ポン
チを上下動させる第1の駆動手段と、前記下型ダイセッ
トの上方に下型ダイセットと対向して上下動可能に設け
られた上型ダイセットと、該上型ダイセットを上下動さ
せる第2の駆動手段と、前記上型ダイセットに、前記下
型ダイと対向して、スプリングに弾床されて取り付けら
れ、前記上型ダイセットが下動した際に、前記下型ダイ
との間で前記ステージサポートバーに形成しようとする
傾斜片部に隣接する一方の部位を挾持する押さえ部材
と、前記上型ダイセットに、前記下型ポンチと対向する
と共に、前記押さえ部材を貫通可能に固定され、前記一
方の部位が挾持された後、なおも上型ダイセットが下動
した際に、前記下型ポンチとの間で、前記ステージサポ
ートバーに形成しようとする傾斜片部に隣接し、ステー
ジ部全体を含む他方の部位を挾持する上型ポンチとを具
備し、 前記押さえ部材と前記下型ダイとで前記一方の
部位を挾持し、前記下型ポンチと前記上型ポンチとで前
記他方の部位を挾持した状態で、前記第1の駆動手段と
前記第2の駆動手段とを同期して駆動して、前記下型ポ
ンチと上型ポンチとをリード形成面に直交する方向に移
動し、前記一方の部位と他方の部位との間のステージサ
ポートバーに引っ張りによって延伸させるのみにより、
前記傾斜片部を形成することを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる好適な実施
の形態を添付図面と共に詳細に説明する。図1はリード
フレーム10の一例を示す平面図である。12はインナ
ーリード、13はアウターリード、14はステージ部、
18は位置合わせ用のガイドホールなどが形成されてい
るフレーム部である。ステージ部14は2本のステージ
サポートバー15によりフレーム部18に連結され、支
持されている。ステージサポートバー15の中途部には
傾斜片部16が形成され、これによりステージ部14は
リード形成面より所要高さ低くなるように設定されてい
る。なお、リードフレーム10はQFPタイプ(図示せ
ず)、その他のものもある。QFPタイプのものは4本
のステージサポートバーによりステージ部がフレーム部
に連結、支持される。リードフレーム10の形状は特に
限定されるものではない。本実施の形態のリードフレー
ム10は、傾斜片部16が、潰しでなく、ステージサポ
ートバー15の一部が引っ張り加工によって延伸されて
形成されていることを特徴としている。
【0011】図2〜図8により、リードフレーム10の
製造方法と製造装置の一例を示す。図2において、20
は下型ダイ(以下単にダイという)、21は押さえ部材
であり、これにより第1の挾持手段22を構成する。ダ
イ20の上面には凹部23が形成され、この凹部23の
内底面に、凹部23よりも小径の貫通孔24が開口して
いる。貫通孔24には下型ポンチ(以下単にノックアウ
トという)25が上下動自在に配置されている。押さえ
部材21の中央部には凹部23と同径の貫通孔27が設
けられている。貫通孔27には上型ポンチ(以下単にポ
ンチという)28が上下動自在に配置されている。ポン
チ28の下端面には、ノックアウト25と同形状の突部
29が突設されている。ノックアウト25とポンチ28
とで第2の挾持手段30を構成する。
【0012】ダイ20は適宜部材に固定されている。そ
して、押さえ部材21、ノックアウト25、ポンチ28
は適宜なサーボモータ等の駆動手段(図示せず)によ
り、上下方向に駆動可能となっている。リードフレーム
10は、押さえ部材21、ポンチ28からなる上型と、
ダイ20、ノックアウト25からなる下型との間に挿入
される(図2)。そしてまず、押さえ部材21が下動さ
れ、ダイ20との間でリードフレーム10を挾持する
(図3)。この第1の挾持手段22では、ステージサポ
ートバー15に形成しようとする傾斜片部16に隣接す
る一方の部位13a(図示の例では傾斜片部16より外
側の部位。インナーリードなどを含んでもよい。)を挾
持する。
【0013】次いでノックアウト25を上動させ、ポン
チ28を下動させて、一方の部位13aとは反対側の、
形成しようとする傾斜片部16に隣接する他方の部位1
3b(図示の例では傾斜片部16より内側の部位。ステ
ージ部を含んでもよい。)を挾持する(図4)。このよ
うに上下から挾持されることによりリードフレーム10
は拘束される。次いで、図5に示すように、両挾持手段
22、30により上記一方の部位13aおよび他方の部
位13bを挾持したまま、ポンチ28およびノックアウ
ト25(第2の挾持手段)を若干下動させる(リード形
成面に直交する方向に移動させる)。これにより両挾持
手段22、30で挾持されている部位の間のステージサ
ポートバー15は引っ張り加工により伸ばされることが
理解される。
【0014】次に図6に示すように、ポンチ28、ノッ
クアウト25を前記部位を挾持したまま若干上昇させ
る。そして図7に示すように、再度、ポンチ28、ノッ
クアウト25を前記部位を挾持したまま、図5に示す位
置よりもさらに下方の所定位置まで下動させる。これに
より両挾持部位間のステージサポートバー15はさらに
引っ張り加工により延伸される。上記のように所要複数
回ポンチ28およびノックアウト25を上記部位を挾持
したまま上下方向に駆動し、次第に両挾持部間のステー
ジサポートバー15を引き延ばし、所要の傾斜片部16
に形成するのである(図8)。第2の挾持手段30を複
数回上下動させるに際し、最初のストロークは小さく、
徐々にストロークを大きくしていくようにすると、延伸
部分にかかる負担が少なくなり好適である。
【0015】図5〜図7で了解されるように、上記の加
工動作中、傾斜片部16となる部位のステージサポート
バーの部分は、凹部23のコーナー部、および突部29
のコーナー部で形成される空間A(図5)内に位置し、
金型とは接触せず、金型からの潰しの作用は働かない
で、もっぱら引っ張り力が加わる。
【0016】図8は上型を開放した状態の図面である。
上記のように金型を開放し、金型内から取り出すことに
より所要のリードフレーム10を得る。上記のように、
他方の部位13bを挾持したまま第2の挾持手段30を
所要複数回上下させることにより、両挾持部の間のステ
ージサポートバー15を無理なく(破断等させることな
く)引き伸ばせる。またステージサポートバー15の当
該部位を複数回伸ばしながら屈曲させることになり、当
該部位が塑性変形し、スプリングバックが生じることが
なく、したがって所要位置までステージ部14をリード
形成面に対して低くすることができる。
【0017】上記では所要部位を挾持した後、第2の挾
持手段30を上下動させたが、第1の挾持手段22を上
下動させても、あるいは第1、第2の挾持手段22、3
0の双方を相対的に上下動(リード形成面に直交する方
向)させてもよいことはもちろんである。また、銅等の
柔らかい素材の場合、あるいはステージサポートバー1
5の幅や形状、押し下げ量等によっては、複数回でな
く、挾持手段の1回の動作で所要傾斜片部を形成するこ
とも可能である。なお、ノックアウト25の角部、突部
29の角部、ダイ20の凹部の角部、押さえ部材21の
角部を面取り、あるいはアールに形成して、上記屈曲工
程の際、ステージサポートバー15に応力集中しないよ
うにして破断を防止すると効果的である。
【0018】図9は、上記製造装置をさらに具体化した
例を示す。32は上型ダイセットであり、これの下面に
貫通孔27が形成された押さえ部材21がスプリング3
3を介在させて取り付けられている(スプリング33に
弾床されている)。上型ダイセット32下面中央部には
上型ポンチ28が固定される。ポンチ28は貫通孔27
よりも小径に形成されており、貫通孔27に進入可能で
ある。35は下型ダイセットであり、基台36上に固定
され、この下型ダイセット35の上面には、貫通孔24
が形成された下型ダイ20が固定されている。下型ダイ
セット35の貫通孔、およびダイ20の貫通孔24内に
ノックアウト(下型ポンチ)25が上下動自在に配置さ
れている。
【0019】貫通孔24は上記貫通孔27と同径に形成
され、またポンチ28とノックアウト25とは同径に形
成されている。すなわち、ノックアウト25は貫通孔2
4よりも小径である。上型ダイセット32は第2のサー
ボモータ(第2の駆動手段)40により上下方向に駆動
される。ノックアウト25は第1のサーボモータ(第1
の駆動手段)42により上下方向に駆動される。両サー
ボモータ40、42は図示しない制御手段により駆動が
制御される。
【0020】リードフレーム10はダイ20と押さえ部
材21との間の空間に供給される。サーボモータ40に
より上型ダイセット32が下動される。これにより押さ
え部材21も下動し、ダイ20との間でリードフレーム
10を挾持するに至る。スプリング33が圧縮され、こ
のスプリング33による押圧力が作用することになる。
スプリング33が圧縮されることによりポンチ28がさ
らに下動し、ノックアウト25との間でリードフレーム
10を挾持する。押さえ部材21とダイ20との間での
リードフレーム10の挾持位置、ポンチ28とノックア
ウト25とによるリードフレーム10の挾持位置は、図
4で説明した位置(一方の部位13a、他方の部位13
b)と同じである。
【0021】次いでポンチ28とノックアウト25とで
上記所定位置を挾持したまま、サーボモータ40とサー
ボモータ42とが同期して駆動され、図5〜図7で説明
したように、ポンチ28とノックアウト25とが上下方
向に所要回数上下動され、傾斜片部16が形成されるの
である。この間押さえ部材21とダイ20との間でリー
ドフレーム10を挾持している。上記加工終了後、上型
ダイセット32が待機位置まで上動し、リードフレーム
10を取り出して加工を終了する。
【0022】本実施の形態では、ステージ部14のリー
ド形成面からの高さの精度は、ポンチ28とノックアウ
ト25とのストロークの精度で決まる。このストローク
の制御は、制御手段によるサーボモータ40、42の制
御によって正確に行えるから、極めて精度よくステージ
部14を所要位置まで低くする加工が行える。また傾斜
片部16は従来のように潰しでなく、両端を保持したま
まの引っ張り加工によって均一に伸ばされた状態で形成
されるから、ステージ部14に反りが発生するのを防止
できる。複数のリードフレームを同時に加工する場合に
も、各サーボモータのストローク制御さえ正確に行えば
よいから、容易に精度のよいリードフレームの同時加工
が行える。金型の精度自体はそれ程要求されない。
【0023】以上本発明につき好適な実施例を挙げて種
々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を
施し得るのはもちろんである。
【0024】
【発明の効果】本発明によれば、ステージサポートバー
に形成しようとする傾斜片部を挾む両側の部位(傾斜片
部に隣接する一方の部位およびステージ部全体を含む
方の部位)を各々第1の挾持手段と第2の挾持手段とで
挾持し、両挾持手段をリード形成面に直交する方向に相
対的に移動させることで、両挾持手段の間のステージサ
ポートバーを引っ張りによって延伸させるのみにより
記傾斜片部を形成するので、第1の挾持手段と第2の挾
持手段の相対的な移動ストロークを制御することによ
り、引っ張りによって均一に伸ばされた傾斜片部を形成
でき、したがって反りのない、リード形成面と所要段差
を有するステージ部をもつリードフレームを提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】リードフレームの一例を示す平面図である。
【図2】リードフレームを金型内にセットした状態の説
明図である。
【図3】第1の挾持手段でリードフレームを挾持した状
態の説明図である。
【図4】第2の挾持手段でリードフレームを挾持した状
態の説明図である。
【図5】第2の挾持手段を下動した状態の説明図であ
る。
【図6】第2の挾持手段を上動した状態の説明図であ
る。
【図7】第2の挾持手段を図5に示す位置よりさらに下
動した状態の説明図である。
【図8】型開きした状態の説明図である。
【図9】製造装置のさらに具体例を示す説明図である。
【図10】従来の製造金型の一例を示す説明図である。
【図11】ディプレス前のリードフレームの断面説明図
である。
【図12】ディプレス後のリードフレームの断面説明図
である。
【符号の説明】
10 リードフレーム 12 インナーリード 14 ステージ部 15 ステージサポートバー 16 傾斜片部 18 フレーム部 20 下型ダイ(ダイ) 21 押さえ部材 22 第1の挾持手段 25 下型ポンチ(ノックアウト) 28 上型ポンチ(ポンチ) 30 第2の挾持手段 32 上型ダイセット 33 スプリング 35 下型ダイセット 40 第2のサーボモータ(駆動手段) 42 第1のサーボモータ(駆動手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 峰村 哲夫 長野県長野市大字栗田字舎利田711番地 新光電気工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平7−297335(JP,A) 特開 平7−115159(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/50

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リードフレームのステージ部に連結され
    たステージサポートバーに傾斜片部を形成して、リード
    部が形成されたリード形成面とステージ部の表面とに段
    差を形成させるリードフレームの製造方法において、 前記ステージサポートバーに形成しようとする傾斜片部
    に隣接する一方の部位と、該一方の部位に対して傾斜片
    部を挟んで反対側の、ステージ部全体を含む他方の部位
    とを各々第1の挾持手段と第2の挾持手段とで挾持し、
    これらの両挾持手段をリード形成面に直交する方向に相
    対的に移動させて、両挾持手段の間のステージサポート
    バーを引っ張りによって延伸させるのみにより前記傾斜
    片部を形成することを特徴とするリードフレームの製造
    方法。
  2. 【請求項2】 前記両挾持手段を、リード形成面に直交
    する方向に相対的に複数回移動させて前記傾斜片部を形
    成することを特徴とする請求項記載のリードフレーム
    の製造方法。
  3. 【請求項3】 リードフレームのステージ部に連結され
    たステージサポートバーに傾斜片部を形成して、リード
    部が形成されたリード形成面とステージ部の表面とに段
    差を形成させるリードフレームの製造装置において、 前記ステージサポートバーに形成しようとする傾斜片部
    に隣接する一方の部位と、該一方の部位に対して傾斜片
    部を挟んで反対側の、ステージ部全体を含む他方の部位
    とを各々挾持する第1の挾持手段および第2の挾持手段
    と、 前記両挾持手段をリード形成面に直交する方向に相対的
    に移動させる駆動手段とを具備し、 前記一方の部位と前記他方の部位とを各々第1の挾持手
    段と第2の挾持手段とで挾持し、これらの両挾持手段を
    リード形成面に直交する方向に相対的に移動させて、両
    挾持手段の間のステージサポートバーを引っ張りによっ
    て延伸させるのみにより前記傾斜片部を形成することを
    特徴とするリードフレームの製造装置。
  4. 【請求項4】 前記傾斜片部を形成するに際し、前記両
    挾持手段をリード形成面に直交する方向に相対的に複数
    回移動させるよう前記駆動手段を制御する制御手段を具
    備することを特徴とする請求項記載のリードフレーム
    の製造装置。
  5. 【請求項5】 リードフレームのステージ部に連結され
    たステージサポートバーに傾斜片部を形成して、リード
    部が形成されたリード形成面とステージ部の表面とに段
    差を形成させるリードフレームの製造装置において、 下型ダイセットに固定された下型ダイと、 該下型ダイを貫通して上下動可能に設けられた下型ポン
    チと、 該下型ポンチを上下動させる第1の駆動手段と、 前記下型ダイセットの上方に下型ダイセットと対向して
    上下動可能に設けられた上型ダイセットと、 該上型ダイセットを上下動させる第2の駆動手段と、 前記上型ダイセットに、前記下型ダイと対向して、スプ
    リングに弾床されて取り付けられ、前記上型ダイセット
    が下動した際に、前記下型ダイとの間で前記ステージサ
    ポートバーに形成しようとする傾斜片部に隣接する一方
    の部位を挾持する押さえ部材と、 前記上型ダイセットに、前記下型ポンチと対向すると共
    に、前記押さえ部材を貫通可能に固定され、前記一方の
    部位が挾持された後、なおも上型ダイセットが下動した
    際に、前記下型ポンチとの間で、前記ステージサポート
    バーに形成しようとする傾斜片部に隣接し、ステージ部
    全体を含む他方の部位を挾持する上型ポンチとを具備
    し、 前記押さえ部材と前記下型ダイとで前記一方の部位を挾
    持し、前記下型ポンチと前記上型ポンチとで前記他方の
    部位を挾持した状態で、前記第1の駆動手段と前記第2
    の駆動手段とを同期して駆動して、前記下型ポンチと上
    型ポンチとをリード形成面に直交する方向に移動し、前
    記一方の部位と他方の部位との間のステージサポートバ
    ーに引っ張りによって延伸させるのみにより、前記傾斜
    片部を形成することを特徴とするリードフレームの製造
    装置。
JP19826098A 1998-07-14 1998-07-14 リードフレームの製造方法、製造装置 Expired - Lifetime JP3497992B2 (ja)

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