JP3490228B2 - 硬磁性合金圧密体およびその製造方法 - Google Patents
硬磁性合金圧密体およびその製造方法Info
- Publication number
- JP3490228B2 JP3490228B2 JP24838196A JP24838196A JP3490228B2 JP 3490228 B2 JP3490228 B2 JP 3490228B2 JP 24838196 A JP24838196 A JP 24838196A JP 24838196 A JP24838196 A JP 24838196A JP 3490228 B2 JP3490228 B2 JP 3490228B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase
- compact
- alloy
- temperature
- hard magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/032—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials
- H01F1/04—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/047—Alloys characterised by their composition
- H01F1/053—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals
- H01F1/055—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5
- H01F1/057—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B
- H01F1/0571—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B in the form of particles, e.g. rapid quenched powders or ribbon flakes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y25/00—Nanomagnetism, e.g. magnetoimpedance, anisotropic magnetoresistance, giant magnetoresistance or tunneling magnetoresistance
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/032—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials
- H01F1/04—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/047—Alloys characterised by their composition
- H01F1/053—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals
- H01F1/055—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5
- H01F1/057—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B
- H01F1/0571—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B in the form of particles, e.g. rapid quenched powders or ribbon flakes
- H01F1/0575—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B in the form of particles, e.g. rapid quenched powders or ribbon flakes pressed, sintered or bonded together
- H01F1/0576—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B in the form of particles, e.g. rapid quenched powders or ribbon flakes pressed, sintered or bonded together pressed, e.g. hot working
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/032—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials
- H01F1/04—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/047—Alloys characterised by their composition
- H01F1/053—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals
- H01F1/055—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5
- H01F1/057—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B
- H01F1/0579—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B with exchange spin coupling between hard and soft nanophases, e.g. nanocomposite spring magnets
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/0253—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing permanent magnets
- H01F41/0266—Moulding; Pressing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/832—Nanostructure having specified property, e.g. lattice-constant, thermal expansion coefficient
- Y10S977/838—Magnetic property of nanomaterial
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Hard Magnetic Materials (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
エータ、スピーカーなどに使用できる磁気性能に優れた
硬磁性合金圧密体およびその製造方法に関する。
能を有する磁石材料としては、Fe−Nd−B焼結磁
石、Fe−Nd−B急冷磁石などが知られており、また
さらに高い性能を目指してFe−Sm−N系磁石などの
新しい合金磁石の研究も数多くなされている。
の磁石材料においては、10原子%以上のNd、または
8原子%以上のSmが必要であり、高価な希土類元素の
使用量が多いことからフェライト磁石よりも製造コスト
が高くなってしまうという欠点があった。またフェライ
ト磁石は、これらの希土類磁石に比べてコストは低い
が、磁気的特性が不十分であった。このため、低コスト
でフェライト磁石以上の硬磁性を示すような磁石材料の
出現が望まれていた。
で優れた硬磁性の特性を備えた硬磁性材料について研究
し、特願平8−68822号明細書に記載されているよ
うに、Fe,Co,Niのうち1種以上の元素を主成分
とし、希土類元素のうちの1種または2種以上からなる
元素Rと、Zr,Nb,Ta,Hfのうち1種または2
種以上からなる元素Mと、ホウ素Bとを含み、組織のう
ちの60%以上が平均結晶粒径100nm以下の微細結
晶相であり、残部が非晶質相であり、前記微細結晶相は
bcc−Feと、Fe−B化合物および/またはFe14
R2B1を主体とすることを特徴とする硬磁性材料を発明
した。
ドラムに溶湯を吹き付けて急冷して薄帯状に形成する製
造方法、または溶湯を冷却用気体中に噴出して液滴状態
で急冷して粉末状に形成する製造方法などによって製造
されるものであるので、薄帯状もしくは粉末の形態で得
られ、このままでは例えばモーター、アクチュエータ、
スピーカーなどに使用し得る形状の磁石を得ることがで
きなかった。
ては、磁性体粉末をゴムやプラスチックの結合材と混合
して圧縮成形または射出成形により成形する方法が行わ
れ、これらの方法により製造された磁石は「ボンド磁
石」として知られ、形状の自由度が高いために電子部品
などとして広く用いられている。しかし、これらのボン
ド磁石は、結合材が介在するために磁性体密度が相対的
に低下し、焼結磁石などに比べ磁気特性が低いという問
題があった。
されたものであって、従ってその目的は、磁気性能に優
れた硬磁性合金の圧密体およびその製造方法を提供する
ことにある。
めに本発明は、請求項1において、組成が、以下の式T
100−a−b−cRaMbBc(式中、Tは、Fe単
独あるいはFeに加えてCoとNiの少なくとも一方を
含む元素、Rは、希土類元素のうちの1種以上の元素、
Mは、Zr,Hf,Nb,Taのうちの1種以上の元
素、Bは、ホウ素を表し、aは、4≦a≦7であり、b
は、0 . 5≦b≦3であり、かつcは、3≦c≦7であ
る)で表され、非晶質相を50重量%以上含み、結晶化
したときに硬磁性を発現する合金の粉末に圧力を加える
とともに昇温して結晶化反応時に起こる軟化現象を利用
し、軟化現象を起こす温度領域であって、bcc - Fe
結晶相が形成される500〜600℃の温度にて焼結し
圧密化することを特徴とする硬磁性合金圧密体の製造方
法を提供するものである。
記載の製造方法において、式中のRが、少なくともPr
またはNdであることを特徴とする硬磁性合金圧密体の
製造方法を提供するものである。
2のいずれかに記載の製造方法において、組成が、式、
Fe88Pr7B5、Fe86Pr7Nb2B5、Fe
86Nd7Zr2B5、Fe86Nd9B5、Fe84
Pr11B5、Fe88Pr5Nb2B5、Fe88N
d5Nb2B5、Fe86Nd7Nb2B5、Fe89
Pr4Nb2B5 のうちの1以上で表される合金を用
いることを特徴とする硬磁性合金圧密体の製造方法を提
供するものである。
3のいずれかに記載の製造方法により製造された成形体
を熱処理して結晶質相を析出させることを特徴とする硬
磁性合金圧密体の製造方法を提供するものである。
4のいずれか1項に記載の製造方法において、成形体の
60重量%以上を平均結晶粒径が100nm以下の微細
結晶相とし、残部を非晶質相とし、かつ前記の微細結晶
相に少なくともbcc(体心立方構造)−Fe相とFe
14R2B相(式中、Rは、希土類元素のうちの1種以
上の元素を表す)とを生成させることを特徴とする硬磁
性合金圧密体の製造方法を提供するものである。
本発明に係る硬磁性合金圧密体(以下、単に「圧密体」
という)は、基本的には、非晶質相を含み、結晶化した
ときに硬磁性を発現する合金(以下、「非晶質合金」と
いう)の粉末または薄帯を、この非晶質相が結晶化する
際に発現する軟化現象を利用して固化成形することによ
り製造されるものである。
温度、またはその付近に加熱する際に顕著に発現するこ
とがわかった。軟化現象が起こると、非晶質合金の粒子
が加圧下に互いに圧着し一体化する。従って本発明の圧
密体は、非晶質合金を結晶化温度付近まで加熱し、かつ
型の中などで加圧することによって製造することができ
る。また、非晶質合金を結晶化温度にもたらし、非晶質
合金が結晶化を開始するときに、同時に加圧するなどに
より固化成形することもできる。圧熱により固化成形す
るに際しては、非晶質相を50重量%以上含む合金を用
いることによって強固な結合が得られ、しかも強力な硬
磁性を有する永久磁石が得られることがわかった。
に硬磁性を発現する合金を溶融し、その溶湯を急冷する
ことにより得られた非晶質合金の薄帯または粉体を粉砕
し、例えば粒径50μm〜150μmの粉末とし、この
粉末を、好ましくは金型に充填し、例えばホットプレス
中で加圧しながら非晶質合金の結晶化温度またはその付
近の温度に加熱し、所定時間熱圧を加えることによって
固化成形すると同時に、または引き続いて結晶化させ
る。これによって、本発明の、成形された硬磁性合金圧
密体が得られる。
るに際しては、圧力、温度、成形時間などを調節するこ
とにより、圧密体の相対密度が90%以上となるように
することが好ましい。これにより、得られた圧密体は、
きわめて緻密な組織構造を有する強固な焼結体となり、
物性的に堅固であってしかも小型で強力な硬磁性を有す
る永久磁石となる。
いて熱処理により成形体中に結晶質相を析出させる。こ
れによって、硬磁性の磁気特性が発現する。特に、平均
結晶粒径が100nm以下である微細結晶相が成形体の
60重量%以上であり残部が非晶質相となるように条件
を選び、しかも前記の微細結晶相中にbcc−Fe相と
Fe14R2 B相(式中、Rは、希土類元素のうちの1種
以上の元素を表す)とが生成するようにすれば、きわめ
て高い硬磁性特性を有する圧密体が得られる。
磁化が100emu/g以上であり、また、飽和磁化
(Is)に対する残留磁化(Ir)の比率(角形比、I
r/Is)が0.7以上である強力な永久磁石成形体と
することができる。
ができる非晶質合金について詳しく説明する。この非晶
質合金は、基本的には、結晶化反応時に軟化現象を起こ
し、かつ結晶化処理後に硬磁性の磁気特性を発現するも
のであれば、いかなる組成のものであってもよい。
合金素材について研究の結果、組成が、次に示す式1、 T100-a-b-cRa Mb Bc …式1 (式中、Tは、Fe,Co,Niのうちの1種以上の元
素、Rは、希土類元素のうちの1種以上の元素、Mは、
Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Mo,Wのうちの
1種以上の元素、Bは、ホウ素を表し、aは、4≦a≦
20であり、bは、0≦b≦10であり、かつcは、2
≦c≦20である)で表される合金が上記の条件に適合
する優れた素材であることを見いだした。ここで、Rの
希土類元素とは、Sc、Y、La、Ce、Pr、Nd、
Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、T
m、Yb、およびLuを含む総称である。
うち1種以上の元素を表わす。これらの元素は、この非
晶質合金の主成分であり、磁性を担う元素である。非晶
質合金中のTの組成比(100−a−b−c)を増加さ
せると、それに伴って得られた硬磁性圧密体の飽和磁化
Isが増加する。100emu/g以上の高い残留磁化
(Ir)を実現するためには、Tの組成比は50原子%
以上が必要であり、更に高い飽和磁化を実現するために
は、83原子%以上とすることが好ましい。
Y、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、G
d、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、およびL
u)のうちの1種以上の元素を表わす。希土類金属R
は、非晶質相を形成し易い元素である。合金中に50重
量%以上の十分な非晶質相を形成し、これを結晶化する
ことによって十分量の微細結晶相を生成させ、また良好
な硬磁性特性を実現させるためには、希土類金属Rの組
成比aを4原子%以上とする必要がある。
加させるに伴って、得られた圧密体の飽和磁化(Is)
が減少する傾向を示す。高い残留磁化(Ir)を得るた
めには、Rの組成比aを20原子%以下とする必要があ
る。特に、希土類金属Rの組成比aは7原子%以下とす
ることが好ましい。このとき、希土類金属Rの一部また
は全部をNdおよび/またはPrで構成すると、さらに
高い硬磁性特性が得られることがわかった。
V,Nb,Ta,Mo,Wのうちの1種以上の元素を表
す。これらの元素は、非晶質相の形成能が高いので、こ
の元素Mを添加することにより、高価な希土類元素Rの
組成比を小さくしても十分な非晶質相を生成させること
ができる。ただし、元素Mの組成比b(原子%)をFe
置換で増加させると、それに伴って、得られた圧密体の
飽和磁化(Is)は減少する。この観点から、元素Mの
組成比bは、0原子%〜10原子%の範囲内である必要
があるが、特に、0.5原子%〜3原子%の範囲内とす
ることが好ましい。
いる。Bも非晶質相を形成し易い元素である。また、例
えばFeとBとを含む非晶質相は、600℃〜900℃
の範囲内の適切な温度に加熱するとき、化合物Fe−B
を析出する。合金に十分量の非晶質相を形成し、これを
結晶化することによって十分量の微細結晶相を得るため
には、ホウ素Bの組成比cは、2原子%以上が必要であ
り、特に3原子%以上とすることが好ましい。ただし、
Bの組成比c(原子%)を増加させすぎると、それに伴
って、得られた圧密体の飽和磁化(Is)、残留磁化
(Ir)、および保磁力(iHc)が減少する傾向を示
すので、良好な硬磁性特性を得るためには、Bの組成比
cは20原子%以下であることが必要であり、この範囲
内でも特に7原子%以下とすることが好ましい。
合金組成は、元素Tの少なくとも一部としてFeを含
み、加熱処理などにより生成する微細結晶相中に、少な
くともbcc−Fe相と化合物Fe14R2 B相とが形成
されるものである。
好ましい非晶質合金の例としては、例えば、Fe88Pr
7B5、Fe86Pr7Nb2B5、Fe86Nd7Zr2B5、F
e86Nd9B5、Fe84Pr11B5、Fe88Pr5Nb
2B5、Fe88Nd5Nb2B5、Fe86Nd7Nb2B5、F
e89Pr4Nb2B5 を挙げることができる。これらの合
金を用いれば、熱圧処理によって強固な圧密体が形成さ
れるとともに、生成した微細結晶相中にbcc−Fe相
とFe14R2 B相とが形成され、硬磁性特性に優れた永
久磁石を得ることができる。
質合金は、一般的には、この合金の組成物を溶融し、急
冷することによって調製することができる。急冷方法と
しては、例えば回転ドラムに合金組成物の溶湯を吹き付
けて急冷し、薄帯状に形成する方法、または溶湯を冷却
用気体中に噴出して液滴状態として急冷し、粉末状に形
成する方法などが知られている。本発明に用いる非晶質
合金は、これらのいずれの方法により調製されたもので
あってもよい。
質合金を以下の方法で調製した。まず、アーク溶解法に
よりそれぞれの組成を有する合金のインゴットを作製
し、Ar雰囲気中において回転しているCuロール上へ
この合金の溶湯を吹きつけることにより約20μmの厚
さの急冷薄帯を得た。得られた急冷薄帯をロータースピ
ードミルを用いて粉砕し、粒径50μm〜150μmの
非晶質合金粉末とした。
金粉末について、X線回折により結晶化温度TX (℃)
を測定した。次にこの粉末を型に充填し、焼結圧力を6
00MPa、焼結時間を8分として焼結温度TS (℃)
を変化させて圧密体を成形した。
度(%)、および圧密体の磁気特性として残留磁化Ir
(T)、角形比(Ir/Is)、および保磁力Hc(k
A/m)を測定した。ここで、相対密度(%)は、真密
度(7.5g/cm3 )に対応する値であり、残留磁化
Ir(T)は、下式、 Ir(T)=4π×7.5×相対密度×Ir(emu/
g)/10000 により表される値であり、また保磁力Hc(kA/m)
は、下式、 Hc(kA/m)=80Hc(Oe) により表される値である。各非晶質合金の組成、結晶化
温度TX (℃)、焼結温度TS (℃)、相対密度
(%)、残留磁化Ir(T)、角形比Ir/Isおよび
保磁力Hc(kA/m)の測定結果を表1に示す。
を用い、本発明の方法で固化成形するとき、いずれも緻
密で優れた硬磁性特性を有する圧密体が得られたことが
わかる。
差走査熱量測定)曲線とTMA(Thermo Mechanical An
alysis)曲線の一例を示す。図1は、Fe88Nd5Zr2
B5 の組成を有する非晶質合金の試料について、昇温速
度0.17℃/秒でDSC曲線(A)とTMA曲線
(B)とを測定したものである。図1のDSC曲線
(A)において、約527℃付近に発熱ピークが認めら
れる。これはbcc−Feの結晶化反応が起こったこと
を示している。そして、TMA曲線(B)を見ると、結
晶化反応が起こる温度より約100℃低い427℃付近
の温度領域から、温度の上昇とともに試料の伸びが増大
している。これは、結晶化温度付近において合金の軟化
現象が起こっていることを示している。
度領域で加圧されると、軟化した粉末粒子どうしが密に
圧着して結合し、ポア(空洞)の少ない緻密な圧密体を
形成する。図2に、焼結圧力を600MPa、焼結時間
を80分とし、温度を種々に変化させて焼結したときの
圧密体試料の組織の顕微鏡写真を示す。図2(a)は、
焼結温度400℃、図2(b)は、焼結温度450℃、
図2(c)は、焼結温度500℃、図2(d)は、焼結
温度600℃、の場合の組織写真である。この写真か
ら、焼結温度の上昇に伴い、ポアの少ない緻密な圧密体
が得られ、温度500℃以上の場合に十分に緻密な圧密
体が得られていることがわかる。
と、非晶質相の少なくとも一部が結晶化する。図3に、
焼結圧力を600MPa、焼結時間を8分に固定し、温
度を種々に変化させて焼結した直後の圧密体試料のX線
回折によって得られたパターンを示す。図3において、
パターン(a)は、焼結温度400℃、パターン(b)
は、焼結温度450℃、パターン(c)は、焼結温度5
00℃、パターン(d)は、焼結温度600℃、の場合
を示している。これらのパターンにおいて、2θ=4
4.5゜付近に現れたハローパターンXは、bcc−F
e結晶相の存在を示している。
す450℃以下の焼結温度では、bcc−Feの結晶が
ほとんど生成せず、非晶質相のハローパターンである
が、パターン(c),(d)に示す500℃〜600℃
の焼結温度では、明らかにbcc−Fe結晶相が生成
し、硬磁性体としての特性を示すようになったことがわ
かる。
間を8分とし、焼結温度を変化させた場合の、圧密体の
密度(A)および相対密度(B)を示す。この図から、
焼結温度の上昇に伴って密度が上昇し、500℃以上の
温度で95%以上の相対密度が得られていることがわか
る。
ンと照合すると、非晶質状態が保たれている450℃以
下の温度では、固化成形した圧密体に十分に高い相対密
度が得られていない。一方、500℃以上の、bcc−
Fe結晶相が形成される温度領域においては、圧密体に
95%以上の十分に高い相対密度が得られている。この
ことから、結晶化反応時に起こる軟化現象を利用して固
化成形すると、一度の熱圧によって結晶化と圧着とが同
時に起こり、十分に緻密に焼結し、物理特性と硬磁性特
性とが共に優れた圧密体が得られることがわかる。
600℃に加熱して結晶化した後、1時間を要して焼き
鈍した試料を用意し、この粉末試料を、実施例の場合と
同様に、焼結圧力を600MPa、焼結時間を8分とし
て550℃〜600℃の温度で固化成形した試料につい
て測定した密度(C)と相対密度(D)とを示した。粉
末状態で一旦結晶化させた後に実施例と同じ条件で固化
成形した比較例の試料においては、相対密度が85%以
下となっており、一旦結晶化が起こった後で成形固化し
ても十分に緻密な組織の圧密体は得られないことがわか
る。
ら成形するので各種の形状に成形することができ、しか
も緻密で硬く、優れた硬磁性特性を有するものであるの
で、モーター、アクチュエータ、スピーカーなどの永久
磁石部材として有利に使用できる。
好適な例として、Fe-Nd-Nb-B系合金を用い、プ
ラズマ焼結法にて圧密体を製造した例と得られた圧密体
の磁気特性の測定結果について述べる。
めに好適に用いられるプラズマ燒結装置の一例の要部を
示すものである。この例のプラズマ燒結装置は、筒型の
ダイ1と、このダイ1の内部に挿入される上パンチ2お
よび下パンチ3と、下パンチ3を支え、後述するパルス
電流を流す際の一方の電極ともなる基台4と、上パンチ
2を下側に押圧し、パルス電流を流す他方の電極となる
基台5と、上下のパンチ2、3に挟まれた粉末原料6の
温度を測定する熱電対7を主体として構成されている。
を示す。図7に示すプラズマ燒結装置Aは、住友石炭鉱
業株式会社製のモデルSPSー2050と称される放電
プラズマ燒結機の一種であり、図5に示す構造を要部と
するものである。図7に示す装置においては、上部基盤
11と下部基盤12を有し、上部の基盤11に接してチ
ャンバ13が設けられ、このチャンバ13の内部に図5
に示す構造の大部分が収納されて構成され、このチャン
バ13は図示略の真空排気装置および雰囲気ガスの供給
装置に接続されていて、上下のパンチ2、3の間に充填
される原料粉末6を不活性ガス雰囲気などの所望の雰囲
気下に保持できるように構成されている。なお、図5と
図7では通電装置が省略されているが、上下のパンチ
2、3および基台4、5には別途設けた通電装置が接続
されていてこの通電装置から図6に示すようなパルス電
流をパンチ2、3および基台4、5を介して通電できる
ように構成されている。このような装置を用いたプラズ
マ燒結法においては、通電電流により原料粉末を所定の
速度で素早く昇温することができ、また、通電電流の値
に応じて原料粉末の温度を厳格に管理できるので、ヒー
タによる加熱などよりも遥かに正確に温度管理ができ、
これにより予め設計した通りの理想に近い条件で燒結が
できる。
5Nb2B5およびFe86Nd7Nb2B5なる組成の非晶質
合金を以下の方法で調製した。まず、アーク溶解法によ
りそれぞれの組成を有する合金のインゴットを作製し、
スリット径0.3×14mmの石英ノズルを用いて、A
r雰囲気中において回転しているCuロール上へこの合
金の溶湯を吹きつけることにより約20μmの厚さの急
冷薄帯を得た。溶湯急冷条件は次の通りとした。 投入インゴット質量 15〜20g 到達真空度 6×103Pa以下 Ar雰囲気圧 15cmHg 吹き出し圧 0.4kgf/cm3 ロール回転速度 4000rpm 吹き出し温度 1450℃ 得られた急冷合金は、良好な薄帯形状を形成しなかった
が、次工程で粉砕を行うので問題はない。
ータースピードミルで粉砕し、分級を行った。各粒径の
粉末の重量割合を調べた結果を、図8(Fe86Nd7N
b2B5)および図9(Fe88Nd5Nb2B5)に示す。
これらの結果より、いずれの薄帯でも主に粒径35〜1
05μm程度の粉末に好ましく粉砕されていることが認
められる。またFe86Nd7Nb2B5では粒径35〜5
3μmの粉末が最も多く、Fe88Nd5Nb2B5では、
53〜105μmの粉末が最も多いことがわかる。この
ことから、Nd濃度が高い組成の合金は、Nd濃度が低
いものに比べて脆く、均一に粉砕し易いと考えられる。
e-(Nb,Zr)-B系非晶質合金薄帯を同様にして作
製し、粉砕したところ、粒径53〜105μmの粉末の
収量は10%以下であった。このことから、Fe-Nd-
Nb-B系非晶質合金は、Fe-(Nb,Zr)-B系非
晶質合金に比べて粉砕が容易であることがわかる。
粉砕して得られた各粒径のFe88Nd5Nb2B5粉末
(図10)およびFe86Nd7Nb2B5粉末(図11)
のX線回折結果を示すものである。いずれの粒径の粉末
においても、2θ=50゜付近にブロードな回折ピーク
が見られ、いずれの粉末も非晶質相を形成していること
がわかる。比較例として、希土類を含まないFe84Nb
7B9なる組成の非晶質合金薄帯を同様に粉砕して得られ
た粉末についてX線回折を行ったところ、粒径25〜5
3μmの粉末において結晶質相の回折線が見られた。こ
の原因としては粉砕時における結晶化や粉砕機からの混
入が考えられる。これらのことから、Fe-Nd-Nb-
B系非晶質合金は、非晶質相を維持したまま容易に細か
く粉砕できるという利点を有していることが認められ
る。
Fe86Nd7Nb2B5粉末およびFe88Nd5Nb2B5粉
末をそれぞれ型に充填し、プラズマ焼結を行って圧密体
を成形した。焼結条件は、圧力を663MPa、昇温速
度を16.7℃/秒、焼結温度を550℃、保持時間を
480秒間(8分間)とした。図12(Fe86Nd7N
b2B5)および図13(Fe88Nd5Nb2B5)は焼結
時の時間経過に伴う試料の温度変化と圧縮量変化を示し
たものである。これらのグラフにおいて−●−は温度変
化を示し、−○−は圧縮量変化を示す。圧縮量は、この
値が大きいほど試料の体積が小さくなっていることを意
味する。
いても、約500秒で焼結温度に達している。また圧縮
量は、各試料とも昇温と同時に減少しはじめ(領域
I)、試料温度が327〜427℃付近となるときに一
旦上昇した後(領域II)、再び減少する(領域III)傾
向が見られる。領域Iおよび領域IIIで圧縮量が減少す
るのは、すなわち試料体積が増すのは、試料と燃料ダイ
スの熱膨張に起因すると考えられる。また領域IIで圧縮
量が増加していることから、この試料温度領域で、試料
が軟化し、焼結していると考えられる。図14は、試料
温度と圧縮量との関係を示したものである。圧縮量が増
加するのは、Fe86Nd7Nb2B5(−●−で示す)で
は試料温度が約427〜527℃の領域であり、Fe88
Nd5Nb2B5(−■−で示す)では試料温度が327
〜527℃の領域である。このことから、いずれの組成
の試料も327〜527℃付近で軟化、焼結しており、
特にFe88Nd5Nb2B5なる組成の合金の方がFe86
Nd7Nb2B5なる組成の合金よりも低温で軟化、焼結
していることがわかる。得られた圧密体の密度は7.5
〜7.6g/cm3であり、ほぼ真密度の圧密体であっ
た。
る組成の非晶質合金薄帯と、Fe88Nb2Nd5B5合金
薄帯のDSC(示差走査熱量測定)曲線である。昇温速
度は40℃/秒とした。各組成とも2〜3段階の結晶化
反応による発熱ピークが見られる。Fe-Nd-Nb-B
系合金における各相の析出順序は明らかにされていない
が、Fe-Pr-Nb-B系合金と同様と考えると、Fe3
B、bcc-Fe、Fe14Nd2Bの順番で析出している
と予想される。この図においてFe86Nd7Nb2B5合
金の結晶化は650℃付近で、Fe88Nb2Nd5B5合
金の結晶化は約610℃付近で起こっており、前記図1
4における軟化温度の範囲より高い温度である。このこ
とから、結晶化が始まるより低温から軟化していると考
えられる。予め熱処理して、ナノ結晶構造にした粉末を
焼結した場合には、図14に見られた圧縮量の増加は見
られず、密度も6.6g/cm3と低いものであった。こ
こで、図16はFe88Nb2Nd5B5およびFe86Nb2
Nd7B5の非晶質粉末と、比較例として、Fe88Nb2
Nd5B5合金を熱処理し、結晶化した粉末を焼結し、時
間(秒)と各資料の温度および膨張量(ダイス変位量)
を測定した結果を示す図である。図より明らかなよう
に、Fe88Nb2Nd5B5、Fe86Nb2Nd7B5の非晶
質合金粉末を焼結したものは、350℃、240秒付近
を境に膨張が止まり、もしくは、逆に収縮していること
がわかる。これは、試料が350℃、240秒付近で軟
化し、焼結していることを意味する。これに対し、Fe
86Nb2Nd7B5結晶化合金は、600℃、425秒で
軟化し、焼結している。この結果から、非晶質状態で焼
結した方がより低い温度、短い時間で焼結できることが
わかる。
結により得られたFe86Nd7Nb2B5圧密体およびF
e88Nd5Nb 2B5圧密体を、リング状に加工した後、
熱処理した。熱処理は、真空中で、熱処理温度750
℃、処理時間180秒、昇温速度36℃/秒で行った。
図17は、Fe86Nd7Nb2B5圧密体およびFe88N
d5Nb2B5圧密体の、焼結直後および熱処理後におけ
るX線回折結果をそれぞれ示すものである。各圧密体と
も、焼結直後および熱処理後においてはbcc−Feに
よる回折ピーク(図中、○で示す)、Fe3Bによる回
折ピーク(図中、●で示す)、およびFe14Nd2Bに
よる回折ピーク(図中、△で示す)が見られ、これらの
混相が形成されていることがわかる。このことから、こ
れらバルク合金は、bcc相、Fe14Nd2B相の複相
構造であることがわかる。
B5圧密体およびFe88Nd5Nb2B5圧密体の磁化曲線
を示す。図18において実線はFe88Nd5Nb2B5の
磁化曲線を示し、破線はFe86Nd7Nb2B5の磁化曲
線を示す。いずれの圧密体も、単一相からなる磁性材料
と同様に、ステップの見られない磁化曲線が得られてい
る。このことから、得られた圧密体では、微細なソフト
磁性相とハード磁性相とが磁気的に結合して、一相のハ
ード磁性相のみからなる硬磁性材料のような磁化曲線を
示す特性、すなわち交換スプリング特性が得られている
ことがわかる。さらに、Fe86Nd7Nb2B5圧密体お
よびFe88Nd5Nb2B5圧密体について、圧密体の磁
気特性として残留磁化Ir(T)、角形比(Ir/I
s)、保磁力iHc(kA/m)、および最大磁気エネ
ルギー積(BH)max(kJ/m3)を測定した。その結
果を下記表2に示す。また、比較のために、上記圧密体
と同じ合金組成の非晶質合金薄帯を熱処理した後の磁気
特性を測定した結果を表2にあわせて示す。熱処理温度
は、最も良好な硬磁気特性が得られる750℃とした。
も、薄帯とほぼ同等の保磁力iHcが得られている。ま
た圧密体の最大磁気エネルギー積(BH)maxは薄帯よ
り劣っているが、これは角形比が減少していることに起
因していると思われる。
は、式、T 100−a−b−c R a M b B c (式中、T
はFe単独あるいはFeに加えてCoとNiの少なくと
も一方を含む元素、Rは希土類元素の1種以上、MはZ
r,Hf,Nb,Taの1種以上、Bはホウ素を表し、
aが4≦a≦7であり、bが0 . 5≦b≦3であり、c
が3≦c≦7である)で表され、非晶質相を50重量%
以上含み、結晶化したときに硬磁性を発現する合金の粉
末に圧力を加えるとともに昇温して結晶化反応時に起こ
る軟化現象を利用し、軟化現象を起こす温度領域であっ
て、bcc - Fe結晶相が形成される500〜600℃
の温度にて焼結し圧密化するので、結合材を必要とせ
ず、優れた硬磁性特性を有し、しかも各種の形状に成形
し得る硬磁性合金圧密体が得られる。
れば、結合材を必要とせず、相対密度が高く緻密かつ堅
牢であり、優れた硬磁性特性を有し、各種の形状に成形
し得る硬磁性合金圧密体が得られる。
たときに硬磁性を発現する非晶質相を50重量%以上含
む合金を、結晶化と同時に固化成形するので、結晶化し
た後に焼結する場合に比べて相対密度が高く緻密な硬磁
性合金圧密体が得られる。
もPrまたはNdであれば、きわめて強力な硬磁性特性
を有する永久磁石が得られる。
均結晶粒径100nm以下の微細結晶相とし、残部を非
晶質相とし、前記の微細結晶相に少なくともbcc−F
e相とFe 14 R 2 B相とを生成させるので、微細なソ
フト磁性相とハード磁性相とが磁気的に結合して、一相
のハード磁性相のみからなる硬磁性材料のような磁化曲
線を示す特性、すなわち交換スプリング特性が得られ
る。
SC曲線(A)とTMA曲線(B)とを測定した結果を
示すグラフである。
結温度を(a),(b),(c),(d)の順に高く変
化させたときに得られた圧密体試料の組織の顕微鏡写真
である。
結温度を(a),(b),(c),(d)の順に高く変
化させたときに得られた圧密体試料のX線回折によるパ
ターンを示すグラフである。
(B)、および比較例の圧密体の密度(C)、相対密度
(D)を示すグラフである。
面図である。
加するパルス電流波形の一例を示す図である。
図である。
すグラフである。
すグラフである。
果を示すグラフ。
果を示すグラフ。
と圧縮量変化を示すグラフである。
と圧縮量変化を示すグラフである。
縮量との関係を示すグラフである。
測定結果を示すグラフである。
d7B5の非晶質粉末とFe88Nb2Nd5B5合金を熱処
理し、結晶化した粉末を焼結し、時間(秒)と各資料の
温度および膨張量(ダイス変位量)を測定した結果を示
す図である。
グラフである。
示すグラフである。
Claims (5)
- 【請求項1】 組成が、以下の式 T100−a−b−cRaMbBc (式中、Tは、Fe単独あるいはFeに加えてCoとN
iの少なくとも一方を含む元素、Rは、希土類元素のう
ちの1種以上の元素、Mは、Zr,Hf,Nb,Taの
うちの1種以上の元素、Bは、ホウ素を表し、aは、4
≦a≦7であり、bは、0 . 5≦b≦3であり、かつc
は、3≦c≦7である)で表され、非晶質相を50重量
%以上含み、結晶化したときに硬磁性を発現する合金の
粉末に圧力を加えるとともに昇温して結晶化反応時に起
こる軟化現象を利用し、該軟化現象を起こす温度領域で
あって、bcc - Fe結晶相が形成される500〜60
0℃の温度にて焼結し圧密化することを特徴とする硬磁
性合金圧密体の製造方法。 - 【請求項2】 請求項1に記載の製造方法において、前
記式中のRが、少なくともPrまたはNdであることを
特徴とする硬磁性合金圧密体の製造方法。 - 【請求項3】 請求項1〜2のいずれかに記載の製造方
法において、組成が、式、Fe88Pr7B5、Fe
86Pr7Nb2B5、Fe86Nd7Zr2B5、F
e86Nd9B5、Fe84Pr11B5、Fe88P
r5Nb2B5、Fe88Nd5Nb2B5、Fe86
Nd7Nb2B5、Fe89Pr4Nb2B5 のうち
の1以上で表される合金を用いることを特徴とする硬磁
性合金圧密体の製造方法。 - 【請求項4】 請求項1〜3のいずれかに記載の製造方
法により製造された成形体を熱処理して結晶質相を析出
させることを特徴とする硬磁性合金圧密体の製造方法。 - 【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1項に記載の製
造方法において、成形体の60重量%以上を平均結晶粒
径が100nm以下の微細結晶相とし、残部を非晶質相
とし、かつ前記の微細結晶相に少なくともbcc(体心
立方構造)−Fe相とFe14R2B相(式中、Rは、
希土類元素のうちの1種以上の元素を表す)とを生成さ
せることを特徴とする硬磁性合金圧密体の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24838196A JP3490228B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-09-19 | 硬磁性合金圧密体およびその製造方法 |
US08/827,322 US6001193A (en) | 1996-03-25 | 1997-03-25 | Hard magnetic alloy compact and method of producing the same |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6882096 | 1996-03-25 | ||
JP8-68820 | 1996-03-25 | ||
JP24838196A JP3490228B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-09-19 | 硬磁性合金圧密体およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09316565A JPH09316565A (ja) | 1997-12-09 |
JP3490228B2 true JP3490228B2 (ja) | 2004-01-26 |
Family
ID=26410009
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24838196A Expired - Fee Related JP3490228B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-09-19 | 硬磁性合金圧密体およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6001193A (ja) |
JP (1) | JP3490228B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6425961B1 (en) | 1998-05-15 | 2002-07-30 | Alps Electric Co., Ltd. | Composite hard magnetic material and method for producing the same |
AU1242000A (en) * | 1998-11-30 | 2000-06-19 | Penn State Research Foundation, The | Exoflash consolidation technology to produce fully dense nanostructured materials |
JP2001196211A (ja) * | 2000-01-06 | 2001-07-19 | Seiko Epson Corp | 磁石粉末および等方性ボンド磁石 |
JP2001196210A (ja) * | 2000-01-06 | 2001-07-19 | Seiko Epson Corp | 磁石粉末および等方性ボンド磁石 |
US7090733B2 (en) * | 2003-06-17 | 2006-08-15 | The Regents Of The University Of California | Metallic glasses with crystalline dispersions formed by electric currents |
US20050133963A1 (en) * | 2003-12-18 | 2005-06-23 | The Regents Of The University Of California, A California Corporation | Silicon carbide whisker-reinforced ceramics with low rate of grain size increase upon densification |
JP6863589B2 (ja) * | 2015-06-22 | 2021-04-21 | 国立大学法人東北大学 | 成形材料の製造方法、成形材料、波面制御素子および回折格子 |
DE102015012412A1 (de) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | Wilo Se | Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung ringförmiger Permanentmagnete |
JP2021528557A (ja) * | 2018-07-27 | 2021-10-21 | ネオ・パフォーマンス・マテリアルズ(シンガポール)プライヴェト・リミテッドNeo Performance Materials (Singapore) Pte. Ltd. | 合金、磁性材料、ボンド磁石、及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0257662A (ja) * | 1988-08-23 | 1990-02-27 | M G:Kk | ボンド磁石用急冷薄帯合金 |
US4966633A (en) * | 1989-06-26 | 1990-10-30 | General Motors Corporation | Coercivity in hot worked iron-neodymium boron type permanent magnets |
WO1992015995A1 (de) * | 1991-03-08 | 1992-09-17 | Basf Aktiengesellschaft | Eine neue kategorie magnetischer materialien, deren herstellung und anwendung |
US5211766A (en) * | 1992-01-21 | 1993-05-18 | General Motors Corporation | Anisotropic neodymium-iron-boron permanent magnets formed at reduced hot working temperatures |
DE69423305T2 (de) * | 1993-12-10 | 2000-11-30 | Sumitomo Spec Metals | Dauermagnet-Legierungspulver auf Eisenbasis für harzgebundene Magneten und daraus hergestellte Magneten |
US5486240A (en) * | 1994-04-25 | 1996-01-23 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Carbide/nitride grain refined rare earth-iron-boron permanent magnet and method of making |
-
1996
- 1996-09-19 JP JP24838196A patent/JP3490228B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-03-25 US US08/827,322 patent/US6001193A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6001193A (en) | 1999-12-14 |
JPH09316565A (ja) | 1997-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4591633B2 (ja) | ナノコンポジットバルク磁石およびその製造方法 | |
KR100320249B1 (ko) | 과냉각액체영역을가지는경자성합금및그소결체,주조물및그들을사용한스테핑모터및스피커 | |
US5930582A (en) | Rare earth-iron-boron permanent magnet and method for the preparation thereof | |
KR100299863B1 (ko) | 경자성합금과경자성합금압밀체및그들의제조방법 | |
JP2005527989A (ja) | ナノ結晶性希土類永久磁石材料、ナノコンポジット希土類永久磁石材料、およびこれら磁石材料の製造法 | |
JP3490228B2 (ja) | 硬磁性合金圧密体およびその製造方法 | |
JPH0447024B2 (ja) | ||
Ishihara et al. | Consolidation of Fe-Co-Nd-Dy-B glassy powders by spark-plasma sintering and magnetic properties of the consolidated alloys | |
JP2000348919A (ja) | ナノコンポジット結晶質焼結磁石およびその製造方法 | |
Shen et al. | Preparation of Fe65Co10Ga5P12C4B4 bulk glassy alloy with good soft magnetic properties by spark-plasma sintering of glassy powder | |
JPH11323509A (ja) | 硬磁性合金圧密成形体およびその製造方法 | |
US6235129B1 (en) | Hard magnetic material | |
JPH1171646A (ja) | スピーカ | |
EP0306599A2 (en) | Method and apparatus for producing magnetically anisotropic Nd-Fe-B magnet material | |
JPH09263913A (ja) | 硬磁性合金圧密体およびその製造方法 | |
JPH10324958A (ja) | 硬磁性合金圧密体およびその製造方法と薄型硬磁性合金圧密体 | |
CN115699232A (zh) | 用于制造各向异性稀土体材料磁体的方法和由此制造的各向异性稀土体材料磁体 | |
JPH1171645A (ja) | 硬磁性合金焼結体とその製造方法 | |
JP3488354B2 (ja) | 微細結晶永久磁石合金及び等方性永久磁石粉末の製造方法 | |
JPH0831386B2 (ja) | 異方性希土類永久磁石の製造方法 | |
JP5715362B2 (ja) | 磁性材料の製造方法 | |
JP3534218B2 (ja) | Fe基軟磁性金属ガラス焼結体の製造方法 | |
JPH10172850A (ja) | 異方性永久磁石の製造方法 | |
CN100514512C (zh) | 含钛、碳的Re-Fe-B基高性能纳米复合永磁材料 | |
JPH08337839A (ja) | 軟磁性合金圧密体およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031021 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071107 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081107 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091107 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101107 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101107 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131107 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |