JP3488531B2 - 多結晶棒の吊り具 - Google Patents
多結晶棒の吊り具Info
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- polycrystalline rod
- rod
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
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- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
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- Y10T117/1072—Seed pulling including details of means providing product movement [e.g., shaft guides, servo means]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、原料多結晶棒の吊り具
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の基板には主として高純度の
単結晶シリコンが用いられているが、この単結晶シリコ
ンの製造方法の一つとして、るつぼ内の原料融液から円
柱状の単結晶を引き上げるチョクラルスキー法（以下Ｃ
Ｚ法という）が知られている。ＣＺ法においては、るつ
ぼ内に原料多結晶を充填し、前記るつぼの外周を取り巻
くヒータによって原料を加熱溶解した上、シードチャッ
クに取り付けた種結晶を融液に浸漬し、シードチャック
およびるつぼを同方向または逆方向に回転しつつシード
チャックを引き上げて、単結晶を成長させる。
単結晶シリコンが用いられているが、この単結晶シリコ
ンの製造方法の一つとして、るつぼ内の原料融液から円
柱状の単結晶を引き上げるチョクラルスキー法（以下Ｃ
Ｚ法という）が知られている。ＣＺ法においては、るつ
ぼ内に原料多結晶を充填し、前記るつぼの外周を取り巻
くヒータによって原料を加熱溶解した上、シードチャッ
クに取り付けた種結晶を融液に浸漬し、シードチャック
およびるつぼを同方向または逆方向に回転しつつシード
チャックを引き上げて、単結晶を成長させる。
【０００３】近年は、半導体ウェーハの直径が大型化
し、６インチを超える大径ウェーハが要求されるように
なり、単結晶の直径も６インチ以上のものが主流になり
つつある。このため単結晶製造装置も大型化し、１サイ
クル当たりの処理量も増大する傾向にある。しかし、単
結晶製造装置の大型化に伴って単結晶成長工程における
所要時間が長くなるとともに、その前後工程、たとえば
原料多結晶の溶解所要時間や、成長した単結晶を炉外に
取り出した後、るつぼ、ヒータ等が清掃可能な温度に下
がるまでの冷却所要時間等も従来に比べて長くなってい
る。これらは単結晶の生産性を低下させる要因となって
いる。
し、６インチを超える大径ウェーハが要求されるように
なり、単結晶の直径も６インチ以上のものが主流になり
つつある。このため単結晶製造装置も大型化し、１サイ
クル当たりの処理量も増大する傾向にある。しかし、単
結晶製造装置の大型化に伴って単結晶成長工程における
所要時間が長くなるとともに、その前後工程、たとえば
原料多結晶の溶解所要時間や、成長した単結晶を炉外に
取り出した後、るつぼ、ヒータ等が清掃可能な温度に下
がるまでの冷却所要時間等も従来に比べて長くなってい
る。これらは単結晶の生産性を低下させる要因となって
いる。
【０００４】単結晶の生産性低下を解決する手段の一つ
として、リチャージ法が用いられている。これは、融液
から単結晶を引き上げた後、原料多結晶を再度チャージ
して溶解し、単結晶を成長させる工程を数回繰り返す方
法である。リチャージ法により、炉内部品の冷却時間や
チャンバ清掃時間等を数バッチ分省略することができる
とともに、通常は単結晶１本分の引き上げごとに１個必
要とする石英るつぼも、数本の単結晶に対して１個の割
合となるので、製造コストが低減する。また、大径で長
尺の単結晶を引き上げるため、初期原料の溶解完了後、
単結晶引き上げ開始前に融液に原料多結晶を追加して融
液を増量する追チャージ法を用いることもある。
として、リチャージ法が用いられている。これは、融液
から単結晶を引き上げた後、原料多結晶を再度チャージ
して溶解し、単結晶を成長させる工程を数回繰り返す方
法である。リチャージ法により、炉内部品の冷却時間や
チャンバ清掃時間等を数バッチ分省略することができる
とともに、通常は単結晶１本分の引き上げごとに１個必
要とする石英るつぼも、数本の単結晶に対して１個の割
合となるので、製造コストが低減する。また、大径で長
尺の単結晶を引き上げるため、初期原料の溶解完了後、
単結晶引き上げ開始前に融液に原料多結晶を追加して融
液を増量する追チャージ法を用いることもある。
【０００５】リチャージ法あるいは追チャージ法による
原料の供給において、棒状の原料多結晶（以下原料多結
晶棒という）を用いる場合、従来は図８に示すように原
料多結晶棒２の頂部に外周に沿う溝２ｂと切り欠き溝２
ｃを加工し、図９に示すように溝２ｂに締結したタンタ
ルなどのワイヤ３を切り欠き溝２ｃを通してループ状に
し、炉内に設置した吊り具４のアーム４ａに吊り下げて
いた。前記吊り具４を徐々に下降させることにより、１
本ないし複数本の原料多結晶棒２はるつぼの外周を取り
巻くメインヒータまたはるつぼの上方に設置されたサブ
ヒータとメインヒータとによって溶解され、るつぼ内に
融液として供給される。
原料の供給において、棒状の原料多結晶（以下原料多結
晶棒という）を用いる場合、従来は図８に示すように原
料多結晶棒２の頂部に外周に沿う溝２ｂと切り欠き溝２
ｃを加工し、図９に示すように溝２ｂに締結したタンタ
ルなどのワイヤ３を切り欠き溝２ｃを通してループ状に
し、炉内に設置した吊り具４のアーム４ａに吊り下げて
いた。前記吊り具４を徐々に下降させることにより、１
本ないし複数本の原料多結晶棒２はるつぼの外周を取り
巻くメインヒータまたはるつぼの上方に設置されたサブ
ヒータとメインヒータとによって溶解され、るつぼ内に
融液として供給される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の原料多結晶
棒の釣支方法には次のような問題点がある。 （１）原料多結晶棒に数箇所の溝加工を施さなければな
らないため、単結晶製造コストが上昇する。 （２）原料多結晶棒の吊り下げにタンタルなどのワイヤ
を使用するため、単結晶製造コストが上昇する。 （３）原料多結晶棒に対するワイヤ締結に時間がかか
る。 （４）ワイヤ締結の際に原料多結晶棒を汚染することが
ある。 （５）原料多結晶棒に対するワイヤの締結不良あるいは
ワイヤの損耗切断により、原料多結晶棒がるつぼ内に落
下することがある。
棒の釣支方法には次のような問題点がある。 （１）原料多結晶棒に数箇所の溝加工を施さなければな
らないため、単結晶製造コストが上昇する。 （２）原料多結晶棒の吊り下げにタンタルなどのワイヤ
を使用するため、単結晶製造コストが上昇する。 （３）原料多結晶棒に対するワイヤ締結に時間がかか
る。 （４）ワイヤ締結の際に原料多結晶棒を汚染することが
ある。 （５）原料多結晶棒に対するワイヤの締結不良あるいは
ワイヤの損耗切断により、原料多結晶棒がるつぼ内に落
下することがある。
【０００７】本発明はこれらの問題点に着目してなされ
たもので、リチャージ法または追チャージ法により原料
多結晶棒を溶解する場合、原料多結晶棒に簡単な加工を
施すだけで確実かつ容易に炉内に吊り下げることができ
る原料多結晶棒の吊り具を提供することを目的としてい
る。
たもので、リチャージ法または追チャージ法により原料
多結晶棒を溶解する場合、原料多結晶棒に簡単な加工を
施すだけで確実かつ容易に炉内に吊り下げることができ
る原料多結晶棒の吊り具を提供することを目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本出願に係る第１の発明は、多結晶棒の吊り具であ
って、平板に切り欠き部を設け、前記切り欠き部は多結
晶棒に形成された溝または突起にそれぞれ係合すべく設
けられていることを特徴とする多結晶棒の吊り具であ
る。また、本出願に係る第２の発明は、切り欠き部の先
端両側に上方に突出する凸部を設けたことを特徴とする
上記第１の発明に記載の多結晶棒の吊り具である。更
に、本出願に係る第３の発明は、前記切り欠き部の両側
部分の上面を、上方に膨らむ円弧状に形成したことを特
徴とする上記第１の発明に記載の多結晶棒の吊り具であ
る。
め、本出願に係る第１の発明は、多結晶棒の吊り具であ
って、平板に切り欠き部を設け、前記切り欠き部は多結
晶棒に形成された溝または突起にそれぞれ係合すべく設
けられていることを特徴とする多結晶棒の吊り具であ
る。また、本出願に係る第２の発明は、切り欠き部の先
端両側に上方に突出する凸部を設けたことを特徴とする
上記第１の発明に記載の多結晶棒の吊り具である。更
に、本出願に係る第３の発明は、前記切り欠き部の両側
部分の上面を、上方に膨らむ円弧状に形成したことを特
徴とする上記第１の発明に記載の多結晶棒の吊り具であ
る。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、板状の吊り具に複数の切り
欠き部を設け、原料多結晶棒の頂部に溝または突起を形
成したので、吊り具の切り欠き部にそれぞれ前記原料多
結晶棒の溝または突起を係合することによって原料多結
晶棒を垂直に掛止することができる。従って、従来のよ
うに原料多結晶棒をワイヤにより締結する必要がなく、
リチャージ法または追チャージ法における原料溶解に際
して原料多結晶棒を確実かつ容易に炉内に吊り下げるこ
とができる。また、吊り具の切り欠き部先端に上方に向
かって突出する凸部を設けたので、吊り具が傾いても原
料多結晶棒が吊り具から滑り落ちることがない。更に、
前記吊り具の切り欠き部の両側部分上面を上方に膨らむ
円弧状に形成した場合は、この面が原料多結晶棒の頂部
に設けた溝または突起の下面と線接触するので、吊り具
の多少の傾きにかかわらず原料多結晶棒を絶えず垂直に
保持することができる。
欠き部を設け、原料多結晶棒の頂部に溝または突起を形
成したので、吊り具の切り欠き部にそれぞれ前記原料多
結晶棒の溝または突起を係合することによって原料多結
晶棒を垂直に掛止することができる。従って、従来のよ
うに原料多結晶棒をワイヤにより締結する必要がなく、
リチャージ法または追チャージ法における原料溶解に際
して原料多結晶棒を確実かつ容易に炉内に吊り下げるこ
とができる。また、吊り具の切り欠き部先端に上方に向
かって突出する凸部を設けたので、吊り具が傾いても原
料多結晶棒が吊り具から滑り落ちることがない。更に、
前記吊り具の切り欠き部の両側部分上面を上方に膨らむ
円弧状に形成した場合は、この面が原料多結晶棒の頂部
に設けた溝または突起の下面と線接触するので、吊り具
の多少の傾きにかかわらず原料多結晶棒を絶えず垂直に
保持することができる。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明に係る原料多結晶棒の吊り具
の実施例について、図面を参照して説明する。図１は本
発明の第１実施例に基づく吊り具の斜視図で、この吊り
具には２本の原料多結晶棒を掛止することができる。吊
り具１は、たとえばモリブデン製またはＳｉＣを被覆し
た黒鉛からなる長方形の平板の中央に平板に対して直角
にロッド１ａを取着したもので、前記平板の２箇所に設
けた切り欠き部１ｂにより平面形状はＨ字状になってい
る。そして、各アーム１ｃの先端には滑り止めとして凸
部１ｄが設けられている。吊り具１は、前記ロッド１ａ
により炉内に釣支される。
の実施例について、図面を参照して説明する。図１は本
発明の第１実施例に基づく吊り具の斜視図で、この吊り
具には２本の原料多結晶棒を掛止することができる。吊
り具１は、たとえばモリブデン製またはＳｉＣを被覆し
た黒鉛からなる長方形の平板の中央に平板に対して直角
にロッド１ａを取着したもので、前記平板の２箇所に設
けた切り欠き部１ｂにより平面形状はＨ字状になってい
る。そして、各アーム１ｃの先端には滑り止めとして凸
部１ｄが設けられている。吊り具１は、前記ロッド１ａ
により炉内に釣支される。
【００１１】図２は原料多結晶棒の頂部の斜視図で、図
２（ａ）は原料多結晶棒２の軸心の両側に互いに平行な
平面の溝２ａを設けた場合、図２（ｂ）は原料多結晶棒
２の外周に沿って環状の溝２ｂを設けた場合を示してい
る。図２（ａ）における溝部の二面幅、図２（ｂ）にお
ける溝部の直径が図１に示す吊り具１のアーム１ｃの内
幅以下であれば、原料多結晶棒２の直径の大小にかかわ
らず掛止可能である。
２（ａ）は原料多結晶棒２の軸心の両側に互いに平行な
平面の溝２ａを設けた場合、図２（ｂ）は原料多結晶棒
２の外周に沿って環状の溝２ｂを設けた場合を示してい
る。図２（ａ）における溝部の二面幅、図２（ｂ）にお
ける溝部の直径が図１に示す吊り具１のアーム１ｃの内
幅以下であれば、原料多結晶棒２の直径の大小にかかわ
らず掛止可能である。
【００１２】図３は上記吊り具１に原料多結晶棒２を掛
止した状態を示す。原料多結晶棒２の軸心は垂直に保持
され、なんらかの理由で吊り具１が傾いた場合でも、凸
部１ｄにより原料多結晶棒２が滑り落ちることを防止す
る。
止した状態を示す。原料多結晶棒２の軸心は垂直に保持
され、なんらかの理由で吊り具１が傾いた場合でも、凸
部１ｄにより原料多結晶棒２が滑り落ちることを防止す
る。
【００１３】図４は本発明の第２実施例に基づく吊り具
に原料多結晶棒を掛止した状態を示す。この吊り具１
は、図１に示した吊り具の切り欠き部両側すなわちアー
ム１ｃの上面を円弧状に膨らませたもので、その他の形
状は図１と同様である。原料多結晶棒２の頂部に形成さ
れた溝２ｂ（または２ａ）の下面は前記アーム１ｃの上
面と線接触し、吊り具１が傾いた場合はそれに応じて前
記線接触部が移動するので、原料多結晶棒２の軸心は常
に垂直状態を維持する。アーム１ｃの先端には凸部１ｄ
が設けられているので、吊り具１からの原料多結晶棒の
脱落が防止される。吊り具１をロッド１ａの下端に揺動
自在に取着してもよい。
に原料多結晶棒を掛止した状態を示す。この吊り具１
は、図１に示した吊り具の切り欠き部両側すなわちアー
ム１ｃの上面を円弧状に膨らませたもので、その他の形
状は図１と同様である。原料多結晶棒２の頂部に形成さ
れた溝２ｂ（または２ａ）の下面は前記アーム１ｃの上
面と線接触し、吊り具１が傾いた場合はそれに応じて前
記線接触部が移動するので、原料多結晶棒２の軸心は常
に垂直状態を維持する。アーム１ｃの先端には凸部１ｄ
が設けられているので、吊り具１からの原料多結晶棒の
脱落が防止される。吊り具１をロッド１ａの下端に揺動
自在に取着してもよい。
【００１４】図５は本発明の第３実施例に基づく吊り具
の平面図である。吊り具１の切り欠き部１ｂを図５に示
した台形状にすると、原料多結晶棒の溝部の寸法にバラ
ツキがあっても対応することができる。また、図６は本
発明の第４実施例に基づく吊り具の平面図で、この図に
示すようにアーム１ｃの先端に滑り止めとして凸部を設
ける代わりに開閉自在のロック１ｅを取着し、原料多結
晶棒を掛止した後ロック１ｅを閉鎖すれば、吊り具１か
らの原料多結晶棒の脱落を完全に防止することができ
る。
の平面図である。吊り具１の切り欠き部１ｂを図５に示
した台形状にすると、原料多結晶棒の溝部の寸法にバラ
ツキがあっても対応することができる。また、図６は本
発明の第４実施例に基づく吊り具の平面図で、この図に
示すようにアーム１ｃの先端に滑り止めとして凸部を設
ける代わりに開閉自在のロック１ｅを取着し、原料多結
晶棒を掛止した後ロック１ｅを閉鎖すれば、吊り具１か
らの原料多結晶棒の脱落を完全に防止することができ
る。
【００１５】図７は本発明の第５実施例に基づく吊り具
の平面図で、図７（ａ）は円形の平板に、図７（ｂ）は
方形の平板にそれぞれ原料多結晶棒を掛止する切り欠き
部１ｂを放射状に設けたものである。これらの吊り具を
用いると、最大４本の原料多結晶棒を掛止することがで
きる。前記吊り具には滑り止めとして凸部１ｄを設けて
いるが、図６に示したロックを用いてもよい。なお、図
１、図５、図７における凸部１ｄの形状は一例を示すも
ので、これらの形状に限定されるものではない。また、
原料多結晶棒の頂部に、図２に示した溝２ａまたは２ｂ
に代えて軸心と直角の方向に突出する突起を設けてもよ
い。
の平面図で、図７（ａ）は円形の平板に、図７（ｂ）は
方形の平板にそれぞれ原料多結晶棒を掛止する切り欠き
部１ｂを放射状に設けたものである。これらの吊り具を
用いると、最大４本の原料多結晶棒を掛止することがで
きる。前記吊り具には滑り止めとして凸部１ｄを設けて
いるが、図６に示したロックを用いてもよい。なお、図
１、図５、図７における凸部１ｄの形状は一例を示すも
ので、これらの形状に限定されるものではない。また、
原料多結晶棒の頂部に、図２に示した溝２ａまたは２ｂ
に代えて軸心と直角の方向に突出する突起を設けてもよ
い。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、板
状の吊り具に複数の切り欠き部を設け、この切り欠き部
に原料多結晶棒の頂部に形成した溝または突起を掛止さ
せて原料多結晶棒を垂直に吊り下げることにしたので、
下記の効果が得られる。 （１）原料多結晶棒に簡単な溝または突起を形成するだ
けでよく、加工時間、加工費用を低減させることができ
る。 （２）原料多結晶棒の吊り下げにタンタルなどのワイヤ
を必要としないので、単結晶製造コストが低減される。 （３）原料多結晶棒の吊り具への取り付けが極めて容易
で、１サイクル当りの時間を短縮できかつ、原料多結晶
棒を汚染しない。 （４）吊り具に原料多結晶棒の落下防止手段を設けたの
で、原料多結晶棒がるつぼ内に落下することがなく、安
全性を確保することができる。
状の吊り具に複数の切り欠き部を設け、この切り欠き部
に原料多結晶棒の頂部に形成した溝または突起を掛止さ
せて原料多結晶棒を垂直に吊り下げることにしたので、
下記の効果が得られる。 （１）原料多結晶棒に簡単な溝または突起を形成するだ
けでよく、加工時間、加工費用を低減させることができ
る。 （２）原料多結晶棒の吊り下げにタンタルなどのワイヤ
を必要としないので、単結晶製造コストが低減される。 （３）原料多結晶棒の吊り具への取り付けが極めて容易
で、１サイクル当りの時間を短縮できかつ、原料多結晶
棒を汚染しない。 （４）吊り具に原料多結晶棒の落下防止手段を設けたの
で、原料多結晶棒がるつぼ内に落下することがなく、安
全性を確保することができる。
【図１】本発明の第１実施例に基づく原料多結晶棒の吊
り具の斜視図である。
り具の斜視図である。
【図２】原料多結晶棒の頂部の斜視図で、図２（ａ）は
原料多結晶棒の軸心の両側に互いに平行な平面の溝を設
けた場合、図２（ｂ）は原料多結晶棒の外周に沿って溝
を設けた場合を示す。
原料多結晶棒の軸心の両側に互いに平行な平面の溝を設
けた場合、図２（ｂ）は原料多結晶棒の外周に沿って溝
を設けた場合を示す。
【図３】図１の吊り具に原料多結晶棒を掛止した状態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図４】本発明の第２実施例に基づく吊り具に原料多結
晶棒を掛止した状態を示す側面図である。
晶棒を掛止した状態を示す側面図である。
【図５】本発明の第３実施例に基づく吊り具の平面図で
ある。
ある。
【図６】本発明の第４実施例に基づく吊り具の平面図で
ある。
ある。
【図７】本発明の第５実施例に基づく吊り具の平面図
で、図７（ａ）は円形の平板、図７（ｂ）は方形の平板
を用いた場合を示す。
で、図７（ａ）は円形の平板、図７（ｂ）は方形の平板
を用いた場合を示す。
【図８】原料多結晶棒を吊り下げるために従来から行っ
ていた原料多結晶棒頂部の加工形状を示す斜視図であ
る。
ていた原料多結晶棒頂部の加工形状を示す斜視図であ
る。
【図９】従来の技術による原料多結晶棒の釣支方法を示
す説明図である。
す説明図である。
１，４ 吊り具 ２ 原料多結晶
棒 １ｂ 切り欠き部 ２ａ，２ｂ
溝。１ｄ 凸部
棒 １ｂ 切り欠き部 ２ａ，２ｂ
溝。１ｄ 凸部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 黒木 英俊
神奈川県平塚市四之宮2612 コマツ電子
金属株式会社内
(56)参考文献 特開 平７−33584（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−97864（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C30B 1/00 - 35/00
Claims (3)
- 【請求項１】 多結晶棒の吊り具であって、平板に切り
欠き部を設け、前記切り欠き部は多結晶棒に形成された
溝または突起にそれぞれ係合すべく設けられていること
を特徴とする多結晶棒の吊り具。 - 【請求項２】 切り欠き部の先端両側に上方に突出する
凸部を設けたことを特徴とする請求項１の多結晶棒の吊
り具。 - 【請求項３】 前記切り欠き部の両側部分の上面を、上
方に膨らむ円弧状に形成したことを特徴とする請求項１
の多結晶棒の吊り具。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33443694A JP3488531B2 (ja) | 1994-12-19 | 1994-12-19 | 多結晶棒の吊り具 |
| TW84113189A TW400593B (en) | 1994-12-19 | 1995-12-11 | Hanger of the raw material polycrystalline rod |
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