JP3476731B2 - 速度可変機構付き複合アクチュエータ - Google Patents

速度可変機構付き複合アクチュエータ

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    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/02Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member
    • F15B15/06Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member for mechanically converting rectilinear movement into non- rectilinear movement
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F15B15/06Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member for mechanically converting rectilinear movement into non- rectilinear movement
    • F15B15/063Actuator having both linear and rotary output, i.e. dual action actuator

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送及び組立作業
等において使用される流体圧駆動の直動と揺動とを複合
した複合アクチュエータに関するものであり、さらに具
体的には、直動や揺動の速度を可変にした速度可変機構
付き複合アクチュエータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、流体圧駆動の揺動と直動の運動を
複合して出力する複合アクチュエータは、通常、揺動回
転軸を駆動する揺動アクチュエータと、直動軸を駆動す
る直動シリンダを組み合わせることにより構成した基本
構造を有しているが、この構造は、直動及び揺動アクチ
ュエータを単に結合したに過ぎないため、アクチュエー
タの小型化、流体圧駆動制御回路の簡素化、製造コスト
の削減等の障害となっている。また、上記構成では、両
アクチュエータを駆動制御する流体圧切換電磁弁も2台
以上が必要であり、電気的エネルギ及び流体圧エネルギ
の省エネ化の障害になっている。
【0003】このような問題に対処し、本発明者らは、
特願平11−33316号において一つの流体圧駆動系
により揺動と直動の2運動を行わせるようにした複合ア
クチュエータを提案している。しかしながら、この複合
アクチュエータでは、一つの流体圧駆動系(シリンダ)
を用いるという点では上記従来例に比して優れている
が、流体圧駆動系が一つであるために、アクチュエータ
の揺動速度が上記流体圧駆動系による直動速度によって
拘束され、従って、揺動速度と直動速度を個別的に任意
に調整したいという要求には対応できないという問題が
あった。また、揺動速度と直動速度とを、個別のアクチ
ュエータにより任意に調整可能にしようとすると、各々
の運動終端で衝撃が発生して、搬送、組立作業の障害と
なるため、それを避ける配慮を行う必要もあった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
問題を解消するためになされたもので、その技術的課題
は、一つの流体圧駆動系で直動及び揺動の駆動制御を簡
易に低コストで行えるようにした複合アクチュエータに
おいて、直動及び揺動の駆動速度を個別的に調整可能に
することにある。本発明の他の技術的課題は、直動運動
と揺動運動との間の接続を少ない衝撃で実現できるよう
にした速度制御機構を有する速度可変機構付き複合アク
チュエータを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の速度可変機構付き複合アクチュエータは、流
体圧駆動の直動と揺動の運動を複合した複合アクチュエ
ータであって、流体圧駆動の直動シリンダの回転を規制
したピストンロッドに、直動推進力を回転トルクに変換
する変換機構を介して、直進運動と揺動回転の連接態様
に応じたカム溝とカムフォロアを備えた動作設定手段に
より所要の複合運動を行う出力軸を、上記ピストンロッ
ドと同心軸上に配置して、それらを連設し、上記直動シ
リンダに、ピストン位置に応じた流体給排路の変更によ
り上記直進運動と揺動回転の部分でのピストン駆動速度
を変える速度変更手段を設けたことを特徴とするもので
ある。
【0006】上記速度可変機構付き複合アクチュエータ
においては、ピストンロッドの直動推進力を回転トルク
に変換する変換機構を、ピストンロッドと出力軸との間
に設けた螺旋溝とそれに沿って螺動する螺動部材によっ
て構成し、また、直動シリンダに設けたピストン駆動速
度を変える速度変更手段を、ピストンまたはそれに連接
したバルブリングによる圧縮側圧力室の流体排出流路の
閉鎖により、該圧力室の流体の排出を絞りのある流路に
切り換え、それによってピストンの駆動速度を減速させ
るものとし、さらに、この速度変更手段における絞りの
開度を調整可能にすることができる。
【0007】上記構成を有する速度可変機構付き複合ア
クチュエータにおいては、直動シリンダに流体圧を供給
して、回転が規制されたピストンロッドを直動させる
と、螺旋溝とそれに沿って螺動する螺動部材によって構
成した変換機構を介して出力軸が駆動されるが、該出力
軸は、カム溝の形状に応じてカムフォロアによりその直
動及び揺動の動作が規制され、直動時にはピストンロッ
ドの運動が直接的に出力軸に伝達され、揺動時には上記
変換機構によりピストンロッドの直動が回転に変換され
て出力軸に伝達される。その結果、出力軸にはカム溝の
形状に応じた直動及び揺動の複合運動が伝達される。
【0008】このような複合アクチュエータは、基本的
に、直動シリンダのピストンロッドに、直動推進力を回
転トルクに変換する変換機構を介して出力軸を同心軸で
連設したものであるため、従来の複合アクチュエータに
比してその構造を簡素化し、部品点数を少なくすると共
に、より小型化することができて、製造コストの低廉化
を図ることができ、また、単に直動シリンダを駆動する
だけで所要の複合動作を行わせることができるため、一
つの流体圧駆動系で直動及び揺動の駆動制御を簡易に低
コストで行うことが可能になる。
【0009】そして、上記直動シリンダには、ピストン
またはそれに連接したバルブリングによる圧縮側圧力室
の流体排出流路の閉鎖により、ピストン位置に応じて流
体給排路を変更し、該圧力室の流体の排出を絞りのある
流路に切り換え、直進運動と揺動回転の部分でのピスト
ン駆動速度を変えるようにしているので、これによって
直動及び揺動の駆動速度を個別的に調整することがで
き、しかも、このピストンの駆動速度の変更は、急速で
はあるが連続的に行われるので、直動運動と揺動運動と
の間を少ない衝撃で接続することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】図1ないし図3は、本発明に係る
速度可変機構付き複合アクチュエータの実施例を示して
いる。この複合アクチュエータは、流体圧駆動で直動と
揺動の両運動を連接した複合動作を得ようとするもので
あって、全体的には、流体圧駆動の直動シリンダ10
と、その直動推進力を回転トルクに変換する変換機構3
1や、直進運動と揺動回転の連接態様に応じたカム溝と
カムフォロアを備えた動作設定機構32を含む直進−揺
動変換部30とを、同心状に連結することにより構成し
ている。
【0011】 上記流体圧駆動の直動シリンダ10は、
シリンダチューブ11の両端に、それぞれヘッドカバー
12とロッドカバー13とを有し、そのシリンダチュー
ブ11内にはピストンパッキン15を有するピストン1
4を収容し、該ピストン14の両側に圧力室16,17
を区画形成している。ピストン14に連結したピストン
ロッド18は、六角状等の異形断面を有し、ロッドカバ
ー12に設けたそのピストンロッド18と同断面の軸受
穴を有する回り止めブッシュ19により回転を規制し
て、該ロッドカバー13から直進−揺動変換部30の
挿入されている。なお、ピストンロッド18または
ピストン14に対してその他の適宜回り止め機構を適用
することもできる。上記圧力室16,17はそれぞれシ
リンダチューブ11の外側に開口する圧縮空気の給排用
ポート21,22に連通させているが、直進運動と揺動
回転の部分においてピストン14の速度を変えるための
速度可変機構を含む流体圧給配系については、図3ない
し図5によって後述する。
【0012】上記直進−揺動変換部30の外チューブ3
5内に導入された上記ピストンロッド18の先端には、
直動推進力を回転トルクに変換するための変換機構31
を構成する螺旋溝38をもった螺旋溝部材37が一体的
に連結されている。また、上記ピストンロッド18と同
一軸線上に配置して、エンドカバー36から外部に回転
及び摺動自在に突出させている出力軸40の内端には、
上記螺旋溝部材37の周囲に外嵌して、内側に突出させ
たピン42を上記螺旋溝38に嵌入させた円筒状の螺動
部材41を設けている。上記変換機構31は、この螺旋
溝38を有する螺旋溝部材37とピン42を有する螺動
部材41とによって構成され、螺旋溝38としてはリー
ド角の大きい多重ねじが用いられる。従って、ピストン
ロッド18に直動推進力が作用すると、螺動部材41に
は回転トルクが発生することになる。なお、上記変換機
構31は、螺動部材41を螺旋溝38と螺合するナット
状に形成したり、螺動部材41に螺旋溝を設けて螺旋溝
部材37側にその螺旋溝に嵌入するピンを設けるなど、
ピストンロッド18の直動推進力を揺動回転力に変換で
きるものであればよい。
【0013】また、上記直進−揺動変換部30には、動
作設定機構32として、外チューブ35内に嵌装したカ
ムスリーブ45に、出力軸40に与えようとする直進運
動と揺動回転の連接態様に応じたカム溝46を設けると
共に、上記出力軸40の基部に、上記カム溝46に嵌挿
する小ローラ状のカムフォロア47を設けている。図示
の実施例では、このカム溝46として、図1中に点線で
示すように、カムスリーブ45のロッドカバー13側か
ら直線的に伸び、エンドカバー36側においてほぼL字
状に屈曲したものを示しているが、かかる形状に限るも
のではない。
【0014】前述のように、ピストンロッド18と出力
軸40との間には直動推進力を回転トルクに変換するた
めの変換機構31を設け、ピストンロッド18に直動推
進力が作用すると、出力軸40には回転トルクが発生す
るようにしているが、出力軸40に設けたカムフォロア
47をカムスリーブ45のカム溝46に嵌入しているの
で、該出力軸40の回転動作は上記カム溝46によって
規制され、上記回転トルクがカム溝46の回転方向に湾
曲している部分のみにおいて、出力軸40が揺動回転す
ることになる。また、上記カムスリーブ45には、カム
溝46と同様のアジャスト溝48を設け、出力軸40に
はこの溝48に嵌入するストッパピン49を取り付け、
外チューブ35には、アジャスト溝48内に突出して該
出力軸40の停止位置を設定するアジャストボルト50
を螺着している。なお、図1において、52は、バック
ラッシュをとるためのバネである。
【0015】 次に、図3及び図4を参照し、出力軸4
0の直進運動と揺動回転の部分の間においてピストン1
4の速度を変えるための速度可変機構を含む流体圧給配
系について説明する。先ず、上記直進運動と揺動回転の
部分の間においてピストン14の速度を変えるため、図
3に示すように、ピストン14には、そのロッドカバー
13側におけるピストンロッド18の周囲に、先端部が
テーパ状に縮径されたバルブリング55を嵌着し、一
方、ロッドカバー13には、上記バルブリング55が嵌
入する凹部56を形設し、該凹部56の口部に、上記バ
ルブリング55の周囲に接して凹部56側から圧力室1
7側への空気の流れは許容するがその反対方向の流れ
阻止するパッキング57を配設している。上記バルブリ
ング55は、出力軸40に設けたカムフォロア47がカ
ム溝46において直進運動部分から揺動回転部分に移行
する段階で、その先端がパッキング57に接するように
関係付けられている。そして、上記給排用ポート21は
シリンダチューブ11内の圧力室16に直接的に連通さ
せているが、給排用ポート22は、上述した凹部56内
に開口させている。なお、ここでは、バルブリング55
が凹部56の口部に配したパッキング57に嵌入して、
圧力室17と給排用ポート22との直接的な連通を遮断
するように構成した場合を示したが、上記凹部56を設
けることなく、ピストン14におけるピストンパッキン
15が給排用ポート22に通じる開口を乗り越えること
によって当該開口を封鎖するように構成することもでき
る。
【0016】図4は、上記直動シリンダ10の流体圧給
排系を模式的に示すものであり、直動シリンダ10にお
けるヘッド側及びロッド側の給排用ポート21,22
は、それぞれスピードコントローラ(以下、スピコンと
いう。)60,61を介して共通の圧縮空気源65に接
続される。上記スピコン60,61は、チェック弁63
と可変絞り64とを並列に接続し、その2組をチェック
弁を逆方向向きにして流路に直列に配設したものであ
る。また、上記給排用ポート22からの分岐路66は、
可変絞り67及び圧力室16への流入のみを許容するチ
ェック弁68を介して該圧力室16に開口させている。
この開口は、バルブリング55が凹部56のパッキング
57を離れるときに、ピストンパッキン15がその上を
通過するような位置に設けられる。一方、上記凹部56
は可変絞り69を介して圧力室17に連通させている。
【0017】 上記構成を有する複合アクチュエータ
は、図1においてピストンがシリンダチューブ11の左
端に位置する状態において、給排用ポート22側を大気
に開放すると共に給排用ポート21を通して圧力室16
に圧縮空気を送給し、直動シリンダ10におけるピスト
ン14を駆動すると、回転が規制されたピストンロッド
18が直線的に駆動される。そして、該ピストンロッド
18に連結した螺旋溝部材37及び螺動部材41からな
る変換機構31を介して出力軸40が上記ピストンロッ
ド18と同方向に駆動されるが、該出力軸40は、カム
溝46の形状に応じてカムフォロア47によりその直動
及び揺動の動作が規制され、カム溝46が出力軸40の
軸線方向に向いた該出力軸40の直動時には、ピストン
ロッド18の直動が直接的に出力軸40に伝達され、カ
ム溝46が出力軸40の円周方向に向いた該出力軸40
の揺動時には、上記変換機構31によりピストンロッド
18の直動が回転に変換されて出力軸40に伝達され、
図1の状態になる。
【0018】 図1の状態から、上記とは逆に、給排用
ポート21を大気に開放すると共に給排用ポート22
圧縮空気を送給してピストン14を駆動すると、上記と
全く逆の動作によってピストン14が図1の左端に位置
するのは当然である。
【0019】このような複合アクチュエータの直動シリ
ンダ10では、ピストン14が図1の左端から移動を開
始してそれに連接したバルブリング55が凹部56に嵌
入するまでの間は、前記スピコン60,61における可
変絞り64の開度によってピストン14の速度が設定さ
れ、そして、バルブリング55が凹部56に嵌入し、圧
縮側圧力室17から直接的に凹部56を経て給排用ポー
ト22に至る流体排出流路が閉鎖されると、圧力室17
の圧縮空気の主たる排出路が可変絞り69を介して凹部
56から給排用ポート22に至る流路に切り換えられ、
圧力室17の圧力の低下が上記絞り69によって制限さ
れるので、ピストン14はその絞り69によって決まる
速度に減速される。その結果、出力軸40の揺動回転の
駆動速度が絞り69によって決まる速度に減速される。
【0020】図1の状態からピストン14が左方に移動
する場合には、給排用ポート22から送給された圧縮空
気が凹部56から方向性のあるパッキング57を経て圧
力室17に流入し、ピストン14を駆動するが、ピスト
ンパッキン15が分岐路66の開口を乗り越えるまで
は、該分岐路66を通して給排用ポート22からの圧縮
空気が可変絞り67で制限されながらも圧力室16に流
入し、それが背圧となってピストン14の駆動速度は制
限される。ピストンパッキン15が上記開口を乗り越え
ると、ピストン14はスピコン60,61において設定
された速度で移動することになる。
【0021】上記複合アクチュエータにおいては、この
ようにして直進運動と揺動回転の部分でのピストン14
の駆動速度を変えるようにしているので、各可変絞りの
調整によって直動及び揺動の駆動速度を個別的に調整す
ることができる。しかも、このピストン14の駆動速度
の変更は、急速ではあるが連続的に行われるので、直動
運動と揺動運動との間を少ない衝撃で接続することがで
きる。
【0022】図5に示す実施例は、図4における方向性
あるパッキング57に代えて、方向性のないパッキング
57Aを用い、分岐路66を圧力室17への流入のみを
許容するチェック弁70を介して該圧力室17に開口さ
せている。なお、この実施例のその他の構成及び作用は
図4の場合と格別相違するところがないので、図中に図
4と同一の符号を付してそれらの説明を省略する。
【0023】
【発明の効果】以上に詳述した本発明によれば、一つの
流体圧駆動系で直動及び揺動の駆動制御を簡易に低コス
トで行えるようにした複合アクチュエータにおいて、直
動及び揺動の駆動速度を個別的に調整可能にすることが
でき、しかも、直動運動と揺動運動との間の接続を少な
い衝撃で実現できるようにした速度制御機構を有する速
度可変機構付き複合アクチュエータを提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る複合アクチュエータの実施例を示
す断面図である。
【図2】図1におけるA−A位置での断面図である。
【図3】同実施例の要部拡大断面図である。
【図4】上記複合アクチュエータにおける流体圧給配系
の構成図である。
【図5】上記複合アクチュエータにおける他の流体圧給
配系の構成図である。
【符号の説明】
10 直動シリンダ 18 ピストンロッド 31 変換機構 46 カム溝 47 カムフォロア 40 出力軸 38 螺旋溝 41 螺動部材 55 バルブリング 16,17 圧力室 64,67,69 可変絞り
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭50−66671(JP,A) 実開 平4−78310(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F15B 15/00 - 15/28

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】流体圧駆動の直動と揺動の運動を複合した
    複合アクチュエータであって、 流体圧駆動の直動シリンダの回転を規制したピストンロ
    ッドに、直動推進力を回転トルクに変換する変換機構を
    介して、直進運動と揺動回転の連接態様に応じたカム溝
    とカムフォロアを備えた動作設定手段により所要の複合
    運動を行う出力軸を、上記ピストンロッドと同心軸上に
    配置して、それらを連設し、 上記直動シリンダに、ピストン位置に応じた流体給排路
    の変更により上記直進運動と揺動回転の部分でのピスト
    ン駆動速度を変える速度変更手段を設けた、ことを特徴
    とする速度可変機構付き複合アクチュエータ。
  2. 【請求項2】ピストンロッドの直動推進力を回転トルク
    に変換する変換機構を、ピストンロッドと出力軸との間
    に設けた螺旋溝とそれに沿って螺動する螺動部材によっ
    て構成したことを特徴とする請求項1に記載の速度可変
    機構付き複合アクチュエータ。
  3. 【請求項3】直動シリンダに設けたピストン駆動速度を
    変える速度変更手段を、ピストンまたはそれに連接した
    バルブリングによる圧縮側圧力室の流体排出流路の閉鎖
    により、該圧力室の流体の排出を絞りのある流路に切り
    換え、それによってピストンの駆動速度を減速させるも
    のとしたことを特徴とする請求項1または2に記載の速
    度可変機構付き複合アクチュエータ。
  4. 【請求項4】速度変更手段において流体の流路に設ける
    絞りの開度を調整可能にし、それによってピストンの駆
    動速度を調整可能にしたことを特徴とする請求項3に記
    載の速度可変機構付き複合アクチュエータ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102004005039B4 (de) * 2004-02-02 2007-06-28 Bosch Rexroth Teknik Ab Pneumatikzylinder mit in einem Enddeckel angeordneten Dämpfungsmitteln
JP4735099B2 (ja) * 2005-07-25 2011-07-27 Smc株式会社 絞り弁付き流体圧シリンダ装置
CN102322457B (zh) * 2011-09-01 2015-12-16 无锡市长江液压缸厂 一种伸缩旋转式液压缸
CN102444641B (zh) * 2011-12-12 2014-10-15 武汉工程大学 液压马达缸
KR101433918B1 (ko) * 2012-05-14 2014-08-29 (주)선린 속도 가변형 실린더
CN103671338A (zh) * 2013-12-16 2014-03-26 江苏百协精锻机床有限公司 等速柱塞油缸
CN107663502A (zh) * 2016-07-28 2018-02-06 成都赛安普飞科技有限公司 一种细胞截留装置
KR102441546B1 (ko) * 2020-10-30 2022-09-07 주식회사 제이피에스 에어의 선택적 스위칭을 통한 코일 포장 콘트롤 시스템
CN113153860B (zh) * 2021-05-08 2022-07-08 潍坊力创电子科技有限公司 一种伸缩式往复运动机构

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2191095A1 (en) * 1994-05-27 1995-12-07 Paul Anthony Richter Rotary/linear converter
US5806402A (en) * 1995-09-06 1998-09-15 Henry; Michael F. Regulated speed linear actuator
US5802949A (en) * 1996-08-12 1998-09-08 General Motors Corporation Closed center power steering gear
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