JP3474404B2 - シーム溶接装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、半導体素子、水晶
振動子等のチップを収納したパッケージの開口部を蓋
（リッド）で気密に封止する際に、リッドをパッケージ
にスポット溶接によって仮止めするようにしたシーム溶
接装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】半導体素子、水晶振動子等のチップをパ
ッケージに気密に封止する方法としては、通電時に発生
するジュール熱を利用したマイクロパラレルシーム接合
法が広く用いられている（例：特公平１−３８３７３号
公報）。このシーム接合法は、図５および図６（ａ）、
（ｂ）に示すようにセラミック基板１上に金属製のシー
リングフレーム２をろう付けしたセラミック製（もしく
は全体が金属製）のパッケージ３の内部に水晶振動子、
半導体素子等のチップ４を収納し、このチップ４とリー
ド６をワイヤ５で電気的に接続した後、コバール、４２
アロイ等からなる金属製のリッド７でパッケージ３の開
口部を覆う（図５）。次に、図６（ａ）に示すように溶
接ヘッドを構成する一対のテーパ付きローラ電極８ａ，
８ｂを下降させてリッド７の対向する例えば長辺側２辺
の一端縁部イに一定の加圧条件下で接触させ、パッケー
ジ３を矢印Ａ方向に移動させると同時にローラ電極８
ａ，８ｂにパルセーション通電（例：８Ｖ，１４０〜１
８０Ａ）を行ない、この時発生するジュール熱により長
辺を溶融しパッケージ３とリッド７をシーム接合する。
長辺側のシーム接合が終了すると、ローラ電極８ａ，８
ｂを一旦上昇させ移動させることにより電極間隔を調整
するとともにパッケージ３を図６（ｂ）に示すように水
平面内で９０°回転させた後、再びローラ電極８ａ，８
ｂを下降させて他の対向する２辺、すなわち短辺を同様
にシーム接合し、もってパッケージ３を気密に封止す
る。このようなシーム接合は、大気中でも可能ではある
が、通常はパッケージ３の内部部品の酸化を防止するた
めに窒素雰囲気中で行なう。なお、９はパッケージ３が
設置されるキャリアボードである。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】このように従来のシー
ム溶接装置は、通電により接合部に発生するジュール熱
を利用してパッケージ３とリッド７をシーム接合するも
のであるが、リッド７をパッケージ３上に載置して一対
のローラ電極８ａ，８ｂをリッド７の対向側縁に沿って
転動させると、リッド７が位置ずれを起こし易いという
欠点があった。 【０００４】そこで、従来はシーム溶接する前工程とし
て、リッド７をパッケージ３上に載置して位置決めし、
仮止め用溶接ヘッドの電極でリッド７とパッケージ３を
スポット溶接した後、このリッドが仮止めされたパッケ
ージをシームエリアに搬送して上記した手順でシーム溶
接を行っている（特開平９−６４２２０号公報）。 【０００５】上記特開平９−６４２２０号公報に記載さ
れたシーム溶接装置による仮止め動作を図７に基づいて
説明する。このシーム溶接装置は、リッド７のＸ，Ｙ方
向の位置決めを行うリッド位置決め部１０とリッド仮溶
接部１１との間を駆動モータ１２によって往復移動する
リッド搬送アーム１３と、この搬送アーム１３の先端部
に設けられリッド７を吸引保持するリッド保持手段１４
および一対の電極からなる溶接ヘッド１５を備えてい
る。リッド７の仮止めに際して、パッケージ３をリッド
仮溶接部１１に搬送する。また、リッド７をリッド位置
決め部１０に搬送してＸ，Ｙ方向の位置決めを行う。リ
ッド７が位置決めされると、リッド搬送アーム１３がリ
ッド位置決め部１０に移動してリッド保持手段１４が位
置決めされたリッド７を吸引保持する。次に、搬送アー
ム１３をリッド仮溶接部１１に移動させてリッド保持手
段１４によって保持しているリッド７をパッケージ３上
に載置する。しかる後、溶接ヘッド１５を下降させて一
対の電極をリッド７の両側縁適宜箇所に押し付けて通電
すると、その部分をパッケージ３にスポット溶接するこ
とができる。そして、この仮止めが終了すると、パッケ
ージ３はリッド７とともにベルト等の適宜な搬送手段に
よって図示しないシームエリアのワークテーブル上に搬
送され、図６に示した手順でシーム接合が施されること
により気密に封止される。なお、１６はリッド搬送アー
ム１３のレールである。 【０００６】しかしながら、上記した従来のシーム溶接
装置においては、一つの溶接ヘッド１５しか備えていな
いので、仮止めに要する時間が長くなり、生産性が低い
という問題があった。 【０００７】本発明はこのような従来の問題を解決する
ためになされたもので、その目的とするところは、単位
時間当たりの仮止め回数を増加させることにより仮止め
の高速化を達成し、生産性を向上させるようにしたシー
ム溶接装置を提供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、チップを収納したパッケージの開口部に金
属製のリッドを載置し、このリッドを溶接ヘッドによっ
て前記パッケージに仮止めするシーム溶接装置におい
て、９０°の角度で離間することにより十字状に交差し
た４つのアーム部を有し、９０°の角度範囲で往復回動
される回動部材を備え、前記４つのアーム部の全てに前
記リッドを保持するリッド保持手段をそれぞれ設け、隣
り合う任意の２つのアーム部には前記溶接ヘッドをそれ
ぞれ設け、前記回動部材の軸心を中心とする同一円周上
に互いに９０°離間して位置するリッド供給部と、パッ
ケージが供給されるリッド仮溶接部と２つのリッド位置
決め部とを前記４つのアーム部に対応して設け、前記回
動部材を９０°の角度で往復回動させることにより、溶
接ヘッドを備えない２つのアーム部のリッド保持手段が
前記リッド供給部のリッドを前記２つのリッド位置決め
部に交互に搬送し、溶接ヘッドを備えた他の２つのアー
ム部のリッド保持手段が前記２つのリッド位置決め部に
搬送されたリッドを前記リッド仮溶接部に交互に搬送
し、前記他の２つのアーム部の溶接ヘッドが前記リッド
仮溶接部に供給されたリッドをパッケージに交互に仮止
めするように構成したことを特徴とする。本発明におい
ては、２つの溶接ヘッドを備えているので、回動部材が
１回往復回動する度に２個のパッケージに対してリッド
を順次仮止めすることができ、仮止めに要する時間を１
／２に短縮することができる。また、リッド供給部は１
つでよいので、装置の簡素化を図ることができる。 【０００９】 【００１０】 【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１はシーム溶接装置
の参考例を示す概略平面図、図２は回動部材、リッド仮
溶接部、リッド位置決め部およびリッド供給部の位置関
係を示す平面図である。なお、従来技術の欄で示した構
成部材等と同一のものについては同一符号をもって示
し、その説明を適宜省略する。これらの図において、シ
ーム溶接装置２０は、パッケージ３内の部品の酸化を防
ぐために内部が窒素で満たされるかまたは所定の真空度
に保持されたチャンバ２１を備えている。このチャンバ
２１はパッケージ３の搬送方向に長く形成され、内部が
３つのエリア、すなわち図１において左からパッケージ
供給エリアＡ、リッド仮止めエリアＢおよびシームエリ
アＣを形成している。 【００１１】前記パッケージ供給エリアＡは、リッド７
が仮止めされていないパッケージ３を前記リッド仮止め
エリアＢに供給するための領域で、前記パッケージ３を
キャリアボード９とともに収容するローダー２２と、こ
のローダー２２をチャンバ２１の外部に設けた引込み部
２４から引き込むローダー引込みユニット２３を備えて
いる。また、前記引込み部２４の内側には、チャンバー
内部と引込み部２４との連通を通常遮断するシャッタ２
５が設けられている。 【００１２】前記リッド仮止めエリアＢは本発明を特徴
付けるもので、垂直な軸３０に取付けられ、所定の角度
範囲で往復回動される回動部材３１と、リッド７が供給
される第１、第２のリッド供給部３２Ａ，３２Ｂと、こ
れらのリッド供給部３２Ａ，３２Ｂから供給されるリッ
ド７を位置決めする第１、第２のリッド位置決め部１０
Ａ、１０Ｂと、前記パッケージ供給エリアＡのローダー
２２からパッケージ３がベルト等の搬送機構３５によっ
て搬送されるとともに、前記第１、第２のリッド位置決
め部１０Ａ，１０Ｂからリッド７が前記回動部材３１に
よって交互に供給されるリッド仮溶接部１１とを備えて
いる。 【００１３】前記回動部材３１は、所定角度で交差する
水平な第１、第２のアーム部３１Ａ，３１Ｂを一体に備
え、その先端部にはリッド７を吸引保持するリッド保持
手段としての吸引パッド１４Ａ、１４Ｂと、溶接ヘッド
１５Ａ，１５Ｂがそれぞれ設けられている。このような
回動部材３１は、図示しない駆動モータによって第１、
第２のアーム部３１Ａ，３１Ｂの交差角度θと同一角度
で往復回動されるように構成されている。ここで、本実
施の形態においては、第１、第２のアーム部３１Ａ，３
１Ｂの交差角度θを９０°とした場合を示したが、これ
に限らず９０°以外の適宜な角度であってもよいことは
勿論である。 【００１４】前記第１、第２のリッド位置決め部１０
Ａ，１０Ｂとリッド仮溶接部１１は、前記軸３０の中心
から前記回動部材３１の腕の長さを半径とする同一円周
上に、各アーム部３１Ａ，３１Ｂの停止位置に対応する
ようにそれぞれ配置されるもので、第１、第２のリッド
位置決め部１０Ａ，１０Ｂが１８０°離間した位置に配
置され、リッド仮溶接部１１が第１、第２のリッド位置
決め部１０Ａ，１０Ｂに対して９０°離間した位置に配
置されている。この場合、前記回動部材３１は９０°の
角度範囲で往復回動すると、第１のアーム部３１Ａが第
１のリッド位置決め部１０Ａとリッド仮溶接部１１との
間を往復回動し、第２のアーム部３１Ｂが第２のリッド
位置決め部１０Ｂとリッド仮溶接部１１との間を往復回
動する。また、第１のリッド供給部３２Ａと第１のリッ
ド位置決め部１０Ａとの間および第２のリッド供給部３
２Ｂと第２のリッド位置決め部１０Ｂとの間には、供給
部３２Ａ，３２Ｂのリッド７を保持して位置決め部１０
Ａ，１０Ｂにそれぞれ搬送し、Ｘ，Ｙ方向の位置決めを
行うセンタリング機構３６Ａ，３６Ｂがそれぞれ設けら
れている。 【００１５】前記シームエリアＣには、前記リッド仮止
めエリアＢにおいて、仮止めされたパッケージ３とリッ
ド７をシーム溶接するＹシーム溶接ヘッド４１を備えた
Ｙステーション４０と、Ｘシーム溶接ヘッド４３を備え
たＸステーション４２がパッケージ３の搬送方向に並設
されている、Ｙステーション４０においては、Ｙシーム
溶接ヘッド４１がリッド７の搬送方向と直交する両側縁
をシーム溶接し、Ｘステーション４２においては、Ｘシ
ーム溶接ヘッド４３がリッド７の搬送方向と平行な両側
縁をシーム溶接する。 【００１６】前記チャンバー２１の右側には、シーム溶
接されたパッケージ３を搬送する排出用搬送手段５０
と、シーム溶接の良否を判定し選別する選別機構５１
と、この選別機構５１によって選別された良品のパッケ
ージ３を収納するアンローダ５２と、不良品のパッケー
ジ３を収納する不良品箱５３等が配設されている。 【００１７】次に、上記構造からなるシーム溶接装置の
動作について説明する。パッケージ３をローダ２２に供
給し、リッド７を第１、第２のリッド供給部３２Ａ，３
２Ｂにそれぞれ供給し、装置を溶接可能な状態にセット
する。次に、装置の電源を投入すると、搬送機構３５が
動作してローダ２２内のパッケージ７をリッド仮溶接部
１１に所定の間隔をおいて順次供給する。また、第１、
第２のセンタリング機構３６Ａ，３６Ｂが動作して第
１、第２のリッド供給部３２Ａ，３２Ｂ内のリッド７を
保持すると第１、第２のリッド位置決め部１０Ａ，１０
Ｂにそれぞれ搬送しＸ，Ｙ方向の位置決めを行う。この
位置決めは、カメラによる画像認識によって自動的に行
う。また、カメラによって撮影された画像をモニタに表
示する。 【００１８】第１、第２のセンタリング機構３６Ａ，３
６Ｂによるリッド７の位置決めが終了すると、続いて回
動部材３１が９０°の角度範囲で往復回動し、第１、第
２のリッド位置決め部１０Ａ，１０Ｂのリッド７をリッ
ド仮溶接部１１に交互に搬送する。すなわち、第１のア
ーム部３１Ａがリッド仮溶接部１１の上方に位置し、第
２のアーム部３１Ｂが第２のリッド位置決め部１０Ｂの
上方に位置している初期状態において、回動部材３１が
図２において時計方向回りに往動作して第１のアーム部
３１Ａをリッド仮溶接部１１から第１のリッド位置決め
部１０Ａの上方へ移動させて停止すると、吸引パッド１
４Ａが下降して第１のリッド位置決め部１０Ａのリッド
７を吸引保持した後再び上昇する。 【００１９】一方、第２のアーム部３１Ｂは第２のリッ
ド位置決め部１０Ｂからリッド仮溶接部１１の上方へ移
動して停止する。この移動に先立ち、第２のアーム部３
１Ｂの吸引パッド１４Ｂは下降して第２のリッド位置決
め部１０Ｂのリッド７を吸引保持した後再び上昇し、回
動アーム３１が時計方向に回動することによりリッド仮
溶接部１１に搬送する。また、リッド仮溶接部１１には
ローダ２２からパッケージ３が搬送されているので、前
記吸引パッド１４Ｂが下降して保持しているリッド７を
パッケージ３の上に載置する。このとき溶接ヘッド１５
Ｂも下降してパッケージ３上に載置されたリッド７とパ
ッケージ３を電極によってスポット溶接し、リッド７を
仮止めする。 【００２０】このリッド７の仮止めが終了すると、リッ
ド仮溶接部１１上のパッケージ３は搬送機構３５によっ
てシームエリアＣに搬送され、次のリッドが仮止めされ
ていないパッケージ３がリッド仮溶接部１１に供給され
る。 【００２１】また、リッド７の仮止めが終了すると回動
部材３１は復動作、すなわち図２において反時計方向回
りに９０°回動して停止し、第１のアーム部３１Ａを第
１のリッド位置決め部１０Ａからリッド仮溶接部１１の
上方に、第２のアーム部３１Ｂをリッド仮溶接部１１か
ら第２のリッド置決め部１０Ｂの上方へそれぞれ移動さ
せる。回動部材３１が回動して停止すると、第１のアー
ム部３１Ａの吸引パッド１４Ａは、下降して保持してい
るリッド７をリッド仮溶接部１１上のパッケージ３の上
に載置する。このとき溶接ヘッド１５Ａも下降して一対
の電極がリッド７とパッケージ３をスポット溶接しリッ
ド７を仮止めする。溶接ヘッド１５Ａによるリッド７の
仮止めが終了すると、リッド仮溶接部１１上のパッケー
ジ３は搬送機構３５によってシームエリアＣに搬送さ
れ、次のパッケージ３がローダ２２からリッド仮溶接部
１１に搬送される。一方、第２のアーム部３１Ｂの吸引
パッド１４Ｂは下降して第２のリッド位置決め部１０Ｂ
上のリッド７を吸引保持した後上昇する。以下、上記動
作を繰り返すことによりリッド７をパッケージ３に対し
て自動的に仮止めすることができる。 【００２２】このようなシーム溶接装置においては、回
動部材３１を往復回動させて第１、第２のアーム部３１
Ａ，３１Ｂをリッド仮溶接部１１に交互に移動させるこ
とにより、回動部材３１が１往復回動する毎に２個のパ
ッケージ３に対してリッド７を順次仮止めするものであ
る。したがって、１往復につき１個のパッケージにリッ
ドを仮止めする図７に示した従来装置に比べて仮止め速
度が２倍となり、高速化を達成することができる。 【００２３】一方、シームエリアＣにおいては、リッド
７が仮止めされたパッケージ３がリッド仮止めエリアＢ
から搬送されてくると、Ｙステーション４０においてＹ
シーム溶接ヘッド４１がリッド７の搬送方向と直交する
両側縁をシーム溶接し、次いでＸステーション４２にお
いてＸシーム溶接ヘッド４３がリッド７の搬送方向と平
行な両側縁をシーム溶接し、パッケージ３を気密に封止
する。このようにしてパッケージ３とリッド７のシーム
溶接が終了すると、パッケージ３はチャンバー２１の外
部に排出され、選別機構５１によってシーム溶接の良否
を判別し、良品をアンローダ５２に収納し、不良品を不
良品箱５３に収納する。 【００２４】なお、搬送機構３５によるパッケージ３の
搬送、第１、第２のセンタリング機構３６Ａ，３６Ｂに
よるリッド７のピックアップおよび位置決め、回動部材
３１の往復回動、吸引パッド１４Ａ，１４Ｂによるリッ
ド７の吸引保持ならびにパッケージ３への供給、溶接ヘ
ッド１５Ａ，１５Ｂによるパッケージ３とリッド７のス
ポット溶接、Ｙ，Ｘシーム溶接ヘッド４１，４３による
シーム溶接等の一連の動作は、コンピュータによりシー
ケンス制御される。 【００２５】図３は本発明の一実施の形態における回動
部材、リッド仮溶接部、リッド位置決め部およびリッド
供給部の位置関係を示す平面図、図４（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）は回動部材の動作を示す図である。この実施の形
態においては、９０°の角度で往復回動する回動部材３
１に９０°の角度で十字状に交差した４つのアーム部３
１Ａ〜３１Ｄを設けるとともに、これらのアーム部３１
Ａ〜３１Ｄに対応してリッド仮溶接部１１と、第１、第
２の位置決め部１０Ａ，１０Ｂと、リッド供給部３２と
を、回動部材３１の軸心を中心とする同一円周上に９０
°間隔で設けている。リッド仮溶接部１１とリッド供給
部３２は、互いに対向し、第１のリッド位置決め部１０
Ａと第２のリッド位置決め部１０Ｂは互いに対向してい
る。リッド仮溶接部１１にはパッケージ３がローダ２２
（図１）から供給され、リッド供給部３２にはリッド７
が供給される。 【００２６】回動アーム３１の４つのアーム部３１Ａ〜
３１Ｄは、リッド７を吸引保持する吸引パッド１４Ａ〜
１４Ｄをそれぞれ備え、さらに２つのアーム部３１Ｃ，
３１Ｄは溶接ヘッド１５Ａ，１５Ｂをそれぞれ備えてい
る。 【００２７】このような構造において、回動部材３１が
図４（ａ）に示す初期状態より反時計および時計方向に
９０°の角度範囲で往復回動すると、アーム部３１Ａ
は、リッド供給部３２と第２のリッド位置決め部１０Ｂ
間を往復回動し、反時計方向回りの往動作時に吸引パッ
ド１４Ａがリッド供給部３２のリッド７を吸引保持して
第２の位置決め部１０Ｂに搬送し（図４（ｂ））、時計
方向回りの復動時に図４（ｃ）に示すように元の位置に
戻り、リッド供給部３２のリッド７を吸引保持する。ア
ーム部３１Ｂは、第１のリッド位置決め部１０Ａとリッ
ド供給部３２間を往復回動し、反時計方向回りの往動作
時にリッド供給部３２に移動すると吸引パッド１４Ｂが
リッド供給部３２のリッド７を吸引保持し（図４
（ｂ））、復動作時に吸引保持したリッド７を第１の位
置決め部１０Ａに搬送する（図４（ｃ））。アーム部３
１Ｃはリッド仮溶接部１１と第１の位置決め部１０Ａ間
を往復回動し、反時計方向回りの往動作時に第１のリッ
ド位置決め部１０Ａに移動すると、吸引パッド１４Ｃが
第１のパッド位置決め部１０Ａのリッド７を吸引保持し
（図４（ｂ））、時計方向回りの復動作時に吸引保持し
たリッド７をリッド仮溶接部１１に搬送してパッケージ
３上に載置する。このとき、溶接ヘッド１５Ａも動作し
てパッケージ３上に載置されたリッド７をパッケージ３
にスポット溶接する（図４（ｃ））。アーム部３１Ｄは
リッド仮溶接部１１と第２の位置決め部１０Ｂ間を往復
回動し、反時計方向回りに往動作時に第２のリッド位置
決め部１０Ｂ上のリッド７を吸引保持してリッド仮溶接
部１１に搬送してパッケージ３上に載置する。このと
き、溶接ヘッド１５Ｂも動作してパッケージ３上に載置
されたリッド７をパッケージ３にスポット溶接する（図
４（ｂ））。 【００２８】したがって、本発明に係るシーム溶接装置
によれば回動部材３１が１回往復回動する毎に、２つの
パッケージ３に対してリッド７を順次仮止めすることが
できる。また、本実施の形態においては、図１および図
２に示した参考例に比べてリッド供給部３２を１つ設け
るだけでよいので、構造を簡素化することができる。 【００２９】 【発明の効果】以上説明したように本発明に係るシーム
溶接装置によれば、９０°の角度範囲で往復回動する回
動部材に十字状に交差する４つのアーム部を設け、その
うち２つのアーム部に溶接ヘッドをそれぞれ設け、これ
ら溶接ヘッドでリッドを仮止めするように構成したの
で、回動部材の１往復回動で２つのパッケージにリッド
を順次仮止めすることができ、仮止めの高速化を達成で
きる。また、本発明においては、上記発明に比べてリッ
ド供給部を１つ少なくすることができ、装置の簡素化を
図ることができる。 【００３０】

【図面の簡単な説明】 【図１】 シーム溶接装置の参考例を示す概略平面図で
ある。 【図２】 回動アーム、リッド仮溶接部、リッド位置決
め部およびリッド供給部の位置関係を示す図である。 【図３】 本発明に係るシーム溶接装置の一実施の形態
における回動部材、リッド仮溶接部、リッド位置決め部
およびリッド供給部の位置関係を示す図である。 【図４】 （ａ）、（ｂ）、（ｃ）は回動部材の動作を
示す図である。 【図５】 半導体パッケージの断面図である。 【図６】 （ａ）、（ｂ）はシーム接合法を説明するた
めの図である。 【図７】 シーム溶接装置の従来例を示す図である。 【符号の説明】 ３…パッケージ、７…リッド、１０，１０Ａ，１０Ｂ…
リッド位置決め部、１１…リッド仮溶接部、１４，１４
Ａ〜１４Ｄ…吸着パッド、１５，１５Ａ，１５Ｂ…溶接
ヘッド、３０…軸、３１…回動部材、３１Ａ〜３１Ｄ…
アーム部、３２，３２Ａ，３２Ｂ…リッド供給部。

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 23/02 B23K 9/235 B23K 11/06 540

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 チップを収納したパッケージの開口部に
   金属製のリッドを載置し、このリッドを溶接ヘッドによ
   って前記パッケージに仮止めするシーム溶接装置におい
   て、９０°の角度で離間することにより十字状に交差した４
   つの アーム部を有し、９０°の角度範囲で往復回動され
   る回動部材を備え、前記４つのアーム部の全てに前記リ
   ッドを保持するリッド保持手段をそれぞれ設け、隣り合
   う任意の２つのアーム部には前記溶接ヘッドをそれぞれ
   設け、前記回動部材の軸心を中心とする同一円周上に互
   いに９０°離間して位置するリッド供給部と、パッケー
   ジが供給されるリッド仮溶接部と２つのリッド位置決め
   部とを前記４つのアーム部に対応して設け、前記回動部
   材を９０°の角度で往復回動させることにより、溶接ヘ
   ッドを備えない２つのアーム部のリッド保持手段が前記
   リッド供給部のリッドを前記２つのリッド位置決め部に
   交互に搬送し、溶接ヘッドを備えた他の２つのアーム部
   のリッド保持手段が前記２つのリッド位置決め部に搬送
   されたリッドを前記リッド仮溶接部に交互に搬送し、前
   記他の２つのアーム部の溶接ヘッドが前記リッド仮溶接
   部に供給されたリッドをパッケージに交互に仮止めする
   ように構成したことを特徴とするシーム溶接装置。