JP3471140B2 - 水切り剤及び水切り方法 - Google Patents
水切り剤及び水切り方法Info
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Description
品、精密部品やガラス及びレンズ等の光学部品等をアル
コール系洗浄剤、炭化水素系洗浄剤、アルカリ、水ある
いは界面活性剤を含有した水系洗浄剤で洗浄し、水です
すぐ時や最終のすすぎにおいて使用することにより、部
品表面に付着した水の切れる時間を早くして、その付着
水量を減らして乾燥時間や乾燥機のエネルギーコストを
低減し、また外観状あるいは後工程で問題となるような
水じみの発生を抑え、鋼、銅、アルミニウム、ニッケル
等の金属部品では防錆効果があり、更に乾燥することに
より水切り剤の成分が揮発し部品表面に残留しにくい水
切り剤に関する。また、本発明は、この水切り剤を用い
た水切り方法に関する。
ロロトリフルオロエタン等のフロン系溶剤、トリクロル
エチレン、パークロルエチレン、トリクロルエタン、エ
チレンクロライド等の塩素系溶剤を主成分とする塩素系
洗浄剤が用いられていた。しかしながら、塩素系及びフ
ロン系溶剤は人体に対する毒性、水質や土壌等の環境汚
染あるいは地球温暖化やオゾン層破壊等の問題を有して
おり、これらの溶剤を使用した洗浄方法は次第に水系の
洗浄剤による洗浄方法に代替されつつある。この水系洗
浄の場合、1)溶剤洗浄に比較して乾燥工程における時
間とエネルギーコストがかかる、2)付着した水が凝集
することにより水シミが発生しやすくなる、3)金属部
品では錆や変色が起こることがある、という問題点が指
摘されている。
に、種々の方法が提案されている。例えば、乾燥機とし
ては熱風乾燥機が一般的であるが、これでは乾燥時間が
かかるため、高圧のエアーブローや真空乾燥と組み合わ
せて時間短縮を図っている。水切り剤としては、2−プ
ロパノール等の溶剤を使うもの、パーフルオロカーボン
等のフッ素系溶剤を使うもの、フッ素系の界面活性剤を
薄く部品表面に吸着させすすぎ水を弾くもの、ノニオン
活性剤を利用したものが挙げられる。
乾燥機は装置が大がかりになり、コストがかかる。ま
た、溶剤を使ったものでは防爆設備が必要になり取扱い
や管理が煩雑になる。フッ素系溶剤を使ったものではコ
ストが高くなる。フッ素系界面活性剤を使ったものでは
平板等では効果はあるが、複雑な形状をしたものでは水
滴が残留してあまり効果がない。また乾燥後も部品表面
にフッ素系界面活性剤が残留するため、塗装などの後工
程のあるものでは使用できない。ノニオン活性剤を使用
したものでは複雑な形状のものでも比較的効果はあるも
のの、残留した界面活性剤がシミとなる場合がある。
部品、金属部品、精密部品やガラス及びレンズ等の光学
部品等をアルコール系洗浄剤、炭化水素系洗浄剤、アル
カリあるいは界面活性剤を含有した水系洗浄剤で洗浄し
た後、水ですすぐ、すすぎ工程で添加され、使用される
水切り剤であって、上述したような従来の水切り剤の欠
点を改良した、安全性に優れ環境汚染がなく、水切り性
能に優れ、水じみの発生を抑え、金属部品では変色防止
効果があり、また、乾燥することにより、水切り剤の成
分が揮発し部品表面には残留しにくい水切り剤を提供す
ることにある。更に、本発明の目的は当該水切り剤を用
いた水切り方法を提供することにある。
を行った結果、分子中にアセタール構造、ケタール構造
又はカーボネート構造を有し、分子量が80〜600の
範囲にあり、かつ融点が60℃以下である化合物を1種
類以上含有する水切り剤が、前記の課題を解決しうるこ
とを見出し、本発明を完成した。
カーボネート構造を有し、分子量が80〜600の範囲
にあり、かつ融点が60℃以下である化合物の1種類以
上を70〜100重量%含有することを特徴とする水切
り剤、 (2) 分子中にアセタール構造、ケタール構造又は
カーボネート構造を有し、分子量が80〜600の範囲
にあり、かつ融点が60℃以下である化合物が、一般式
(1)、(2)または(3)
18の炭化水素基を示す。R2は炭素数1〜18の炭化
水素基を示す。R1とR2とで環を形成していてもよ
い。R3は水素原子、メチル基またはヒドロキシメチル
基を示す。)で表されるものである前記(1)記載の水
切り剤、 (3) 1気圧における沸点が100〜350℃であ
る化合物を50重量%以上含有する前記(1)又は
(2)記載の水切り剤、 (4) 洗浄後、水にてすすぎ、次いで水を切る方法
において、前記(1)〜(3)いずれか記載の水切り剤
がすすぎ水中0.01〜10重量%になるように該すす
ぎ水に添加することを特徴とする水切り方法、に関する
ものである。
は分子中にアセタール構造、ケタール構造またはカーボ
ネート構造を有し、分子量が80〜600の範囲にあ
り、かつ融点が60℃以下のもの(以下、酸素含有化合
物という。)である。本発明における酸素含有化合物
は、公知の方法により製造することができる。アセター
ル構造やケタール構造を有する化合物は、例えばアルキ
ルアルデヒドやジアルキルケトンとアルキルアルコール
やポリオールとを、パラトルエンスルホン酸、メタンス
ルホン酸、硫酸、塩酸等の触媒を用いて脱水縮合するこ
とにより合成することができる。またカーボネート構造
を有する化合物は、例えばホスゲンを原料としてアルキ
ルアルコールと反応させることにより合成することがで
きる。
80〜600の範囲のものであるが、90〜350の範
囲のものがより好ましい。引火点の観点から分子量は8
0以上が好ましく、また高粘度化を抑え、取扱いを容易
にする観点から600以下が好ましい。また、酸素含有
化合物の融点は60℃以下であるが、20℃以下が好ま
しく、0℃以下が特に好ましい。酸素含有化合物の結晶
化や製品安定性の低下を抑える観点から、融点は60℃
以下が好ましい。
例えば次の一般式(1)、(2)または(3)で表され
る化合物が好ましい。
て、R1 は水素原子または炭素数1〜18の炭化水素基
であるが、水素原子又は炭素数1〜6の炭化水素基がよ
り好ましい。R1 の炭化水素基としては直鎖又は分岐鎖
のアルキル基、アルキルフェニル基等の芳香族炭化水素
基、シクロアルキル基等の脂環式炭化水素等が挙げられ
る。具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル
基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ヘキシ
ル基、ヘプチル基、オクチル基、2−エチルヘキシル
基、1−メチルプロピル基、1,3−ジメチルブチル
基、1−ペンチルヘキシル基、1−イソプロピル−2−
メチルプロピル基、1−イソブチル−3−メチルブチル
基、ラウリル基、オレイル基、ステアリル基、フェニル
基、ベンジル基、オクチルフェニル基、シクロヘキシル
基、4−メチルシクロヘキシル基、3−メルシクロヘキ
シル基、2−メチルシクロヘキシル基等が挙げられる。
であるが、炭素数1〜6の炭化水素基がより好ましい。
R2 の炭化水素基としては直鎖又は分岐鎖のアルキル
基、アルキルフェニル基等の芳香族炭化水素基、シクロ
アルキル基等の脂環式炭化水素等が挙げられる。具体例
としては、R1 で例示したものと同様のものが挙げられ
る。また、R1 とR2 は結合して環を形成していてもよ
い。さらに、R3 は水素原子、メチル基またはヒドロキ
シメチル基を示す。
具体例としては、例えば実施例で用いたもの等が挙げら
れるが、これらに限定されるものではない。
で使用される。これらのみでも良好な水切り性と水シミ
防止能を有するが、例えばさらに窒素原子数が1〜5で
分子量が50〜200の範囲のアミン系化合物や、分子
量が400以下のフッ素系のアルコール、カルボン酸、
若しくはエステル等を含有させてもよい。上記アミン系
化合物を含有させることにより、水切り性が向上し、金
属部品に対して防錆効果が付与される。また上記フッ素
系のアルコール、カルボン酸、若しくはエステル等を含
有させることにより、本発明の水切り剤の表面張力を低
下させることができる。したがって、本発明の水切り剤
中の、酸素含有化合物の総量は、その水切り剤中70〜
100重量%含有するものが好ましく、80〜98重量
%含有するものがより好ましく、90〜97重量%含有
するものが特に好ましい。
数が1〜5で分子量が50〜200の範囲の化合物が好
適に用いられるが、更に好ましくは窒素原子数が1〜3
で分子量が70〜150の範囲の化合物である。防錆効
果を発揮させる観点から分子量は50以上が好ましく、
乾燥時の揮発性の低下を抑える観点から分子量は200
以下が好ましい。このようなアミン系化合物は、好まし
くは本発明の水切り剤中1〜30重量%、より好ましく
は2〜20重量%、特に好ましくは3〜10重量%含有
させる。水切り性能の低下を抑える観点から水切り剤中
30重量%以下含有させることが好ましい。防錆効果を
充分得る観点から、水切り剤中1重量%以上含有させる
ことが好ましい。
モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタ
ノールアミン、ジメチルエタノールアミン、ジブチルエ
タノールアミン、アミノエチルエタノールアミン、メチ
ルエタノールアミン、メチルジエタノールアミン等のア
ミノアルコール類;3−(2−エチルヘキシルオキシ)
プロピルアミン、3−エトキシプロピルアミン、3−メ
トキシプロピルアミン等のアルコキシプロピルアミン
類;モルホリン、メチルモルホリン、エチルモルホリ
ン、3−アミノプロピルモルホリン等のモルホリン類;
ピペラジン、トリエチレンジアミン、ペンタメチルジエ
チレントリアミン、テトラメチルプロピレンジアミン等
が挙げられる。また、これらのアミン類にアルキレンオ
キシド(エチレンオキシド、プロピレンオキシド、ブチ
レンオキシド等)を付加した化合物や炭酸と反応させた
炭酸塩も含まれる。
ン酸もしくはエステル等は、その分子量が400以下の
ものが好ましい。乾燥時の揮発性の低下を抑える観点か
ら分子量は400以下が好ましい。このような化合物
は、好ましくは本発明の水切り剤中0.01〜5.0重
量%、より好ましくは0.1〜2.0重量%含有させ
る。表面張力の低下効果を発揮させる観点から、上記フ
ッ素系のアルコール、カルボン酸もしくはエステル等は
水切り剤中0.01重量%以上含有させることが好まし
く、高価な化合物であるとの観点から水切り剤中5.0
重量%以下含有させることが好ましい。これらの化合物
の具体例としては、例えば2−(パーフルオロヘキシ
ル)エタノール、1H,1H,5H−オクタフロオロペ
ンタノール、1H,1H,7H−ドデカフルオロヘプタ
ノール、パーフルオロヘプタン酸、7H−ドデカフルオ
ロヘプタン酸、ジフルオロ酢酸エチル、パーフルオロ酪
酸エチル等が挙げられる。
しては、市水、蒸留水、イオン交換水等、本発明の水切
り剤の性能を低下させないものが挙げられる。これらの
他の成分は、本発明の水切り剤中5〜15重量%含有さ
せることが好ましい。
成分を含有してなるが、沸点からみた場合、1気圧にお
ける沸点が100〜350℃である化合物を50重量%
以上含むことが好ましく、沸点が150〜300℃であ
る化合物を50重量%以上含むことがより好ましい。引
火性を低減させる観点から沸点は100℃以上が好まし
く、乾燥工程後の部品表面での残留量を減少させる観点
から350℃以下が好ましい。ここでいう沸点が100
〜350℃である化合物とは、酸素含有化合物のみであ
ってもよく、あるいは他の添加剤を含めたものであって
もよい。
ければ小さいほど好ましい水切り性を発揮する。より具
体的には、25℃、本発明の水切り剤の濃度が0.01
〜10重量%のときの表面張力が40dyn/cm以下
であれば好ましく、20〜35dyn/cmがより好ま
しく、20〜30dyn/cmが特に好ましい。
添加されて使用されるものであり、本発明の水切り方法
において好適に使用される。即ち、本発明の水切り方法
は、洗浄後、水にてすすぎ、次いで水をきる方法におい
て、上記水切り剤を、すすぎ水中0.01〜10.0重
量%、好ましくは0.1〜5.0重量%、特に好ましく
は0.3〜2.0重量%になるようにすすぎ水に添加す
ることを特徴とするものである。水切り性を発揮させる
観点から、本発明の水切り剤の濃度はすすぎ水中0.0
1重量%以上が好ましく、水に対する溶解性や乾燥時の
揮発性の低下を抑える観点から10.0重量%以下が好
ましい。
より、使用時のすすぎ水の表面張力は異なるので、最適
な表面張力、即ち、必要な水切り性と乾燥性の得られる
ように希釈する濃度を適宜調整すればより好ましい。本
発明の水切り剤は、輸送費用や貯蔵のためのスペースの
低減のため、通常、使用時に希釈して用いるが、予め上
記の濃度に調製しておいてもよい。
剤、炭化水素系洗浄剤、アルカリや界面活性剤等を含む
水系洗浄剤で行われ、水切り剤は、前記のようにその洗
浄後のすすぎ工程において使用される。使用に際して
は、水にて水切り剤濃度が上記の濃度になるよう希釈す
るが、このように希釈して使用することにより優れた水
切り性と揮発性が発現される。
限定されないが、例えば本発明の水切り剤の上記の濃度
の水溶液に浸漬し、あるいは超音波の併用、液中スプレ
ーあるいは気中スプレーによる方式等が挙げられる。
子部品、電気部品、金属工業部品、精密機械部品、樹脂
加工部品や光学部品等の水切りに優れた効果を有する
が、ここで電子部品とは、例えば電算機及びその周辺機
器、家電機器、通信機器、OA機器、その他電子応用機
器等に用いられるプリント配線基板;ICリードフレー
ム、抵抗器、コンデンサー、リレー等接点部材に用いら
れるフープ材;OA機器、時計、電算機器、玩具、家電
機器等に用いられる液晶表示器;映像・音声記録/再生
部品、その関連部品等に用いられる磁気記録部品;シリ
コンやセラミックスのウェハ等の半導体材料;水晶振動
子等の電歪部品;CD、PD、複写機器、光記録機器等
に用いられる光電変換部品等をいう。電機部品とは例え
ばブラシ、ロータ、ステータ、ハウジング等の電動機器
部品;販売機や各種機器に用いられる発券用部品;販売
機、キャッシュディスペンサ等に用いられる貨幣検査用
部品などをいう。金属工業部品とは輸送機器部品、家電
部品や金属加工部品をいう。精密機械部品とは、例えば
精密機動機器、ビデオレコーダー等に用いられるベアリ
ング;超硬チップ等の加工用部品等をいう。樹脂加工部
品とは、例えばカメラ、自動車等に用いられる精密樹脂
加工部品;靴底に使用するウレタンソール等の樹脂成型
品等をいう。さらに光学部品としては、カメラ、眼鏡、
光学機器等に用いられるガラスレンズやプラスチックレ
ンズがあり、また、その他部品としてメガネフレーム、
時計ケース、時計ベルト等が例示される。
発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定
されるものではない。なお、実施例及び比較例では表
1、表2中の化合物を用いた。
パナールにグリセリンを加え、石油エーテルを溶媒とし
て添加した。触媒としてp−トルエンスルホン酸をさら
に添加して加熱還流を21〜36時間行い、脱水縮合に
よりa−1のアセタールを合成した。また、ホスゲンに
2倍当量のエタノールを反応させることにより、d−2
のジエチルカーボネートを合成した。
した。各水切り剤組成物について、水切り性、防錆効
果、残留性を次のように評価した。
ガラスビーズ600個を金網の籠にいれ、表1の濃度の
水切り剤水溶液に1分間浸漬した。引き上げて30秒後
の重量を測定し、浸漬前の重量との差分(〔浸漬後の重
量(g)〕−〔浸漬前の重量(g)〕)から付着水量
(g)を算出した。
さ)の銅板に直径4mmの穴を6箇所あけたもの5枚用
意して、0.5mmのワッシャーを挟んで5枚重ねて各
銅板の2箇所の穴に長さ40mmのボルトを通してナッ
トで留めた。このテストピースを使用し、清浄に洗浄し
た後、表1の濃度の水切り剤水溶液に1分間浸漬した。
引き上げて30秒後の重量を測定し、浸漬前の重量との
差分(〔浸漬後の重量(g)〕−〔浸漬前の重量
(g)〕)から付着水量(g)を算出した。
25mL入れ、そこに40mm×30mm×1mm(厚
さ)の冷間圧延鋼板(JIS G3141)を四塩化炭
素にて脱脂した後、鋼板が水溶液に半分浸漬するように
した。それを60℃の恒温槽にて1時間保存し、錆の発
生具合を目視にて観察した。 防錆効果評価基準 ○:全く錆が発生しない。 △:一部錆が発生した。 ×:全面に錆が発生した。
量法と目視にて残留物と水じみ、変色を確認した。 残留性評価基準 ◎:残留物は0で水じみ、変色等がまったくない。 ○:残留物は0でわずかに変色は見られるが水じみがな
い。 △:残留物は0だが変色が見られ、水じみ発生。×:残
留物あり。
において水切り剤水溶液の表面張力は、所定の濃度に希
釈した水切り剤を25℃にてウィルヘルミー法により測
定した。
剤を使用した実施例1〜10では、水切り性、残留性が
いずれも優れており、水じみの発生もなく、変色もほと
んど見られなかった。とりわけ、成分中にアミン化合物
を含有するものは防錆効果についても優れたものであっ
た。これに対して、水のみでのすすぎを行った例である
比較例1、酸素含有化合物ではなくノニオン活性剤を用
いた例である比較例2、酸素含有化合物の分子量が所定
の範囲より大きく、融点の高い例である比較例3、すす
ぎ時の濃度の高すぎる例である比較例4では、いずれか
の効果が不十分であった。
精密部品やガラス及びレンズ等の光学部品等をアルコー
ル系洗浄剤、炭化水素系洗浄剤、アルカリあるいは界面
活性剤を含有した水系洗浄剤で洗浄し、水ですすぐ時や
最終のすすぎにおいて、部品表面に付着した水の切れる
時間を早くして、乾燥時間や乾燥機のエネルギーコスト
を低減することができる。また、水じみの発生を抑え、
金属部品ではアミン化合物の併用により防錆効果にも優
れ、更に乾燥することにより水切り剤の成分が揮発し部
品表面には残留しにくい。
Claims (4)
- 【請求項1】 分子中にアセタール構造、ケタール構造
又はカーボネート構造を有し、分子量が80〜600の
範囲にあり、かつ融点が60℃以下である化合物の1種
類以上を70〜100重量%含有することを特徴とする
水切り剤。 - 【請求項2】 分子中にアセタール構造、ケタール構造
又はカーボネート構造を有し、分子量が80〜600の
範囲にあり、かつ融点が60℃以下である化合物が、一
般式(1)、(2)または(3) 【化1】 (式中、R1は水素原子または炭素数1〜18の炭化水
素基を示す。R2は炭素数1〜18の炭化水素基を示
す。R1とR2とで環を形成していてもよい。R3は水
素原子、メチル基またはヒドロキシメチル基を示す。)
で表されるものである請求項1記載の水切り剤。 - 【請求項3】 1気圧における沸点が100〜350℃
である化合物を50重量%以上含有する請求項1又は2
記載の水切り剤。 - 【請求項4】 洗浄後、水にてすすぎ、次いで水を切る
方法において、請求項1〜3いずれか記載の水切り剤が
すすぎ水中0.01〜10重量%になるように該すすぎ
水に添加することを特徴とする水切り方法。
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---|---|---|---|
JP22591295A JP3471140B2 (ja) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | 水切り剤及び水切り方法 |
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JP22591295A JP3471140B2 (ja) | 1995-08-09 | 1995-08-09 | 水切り剤及び水切り方法 |
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JPH0947601A JPH0947601A (ja) | 1997-02-18 |
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JP2022164256A (ja) * | 2021-04-16 | 2022-10-27 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法、基板処理装置および乾燥処理液 |
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1995
- 1995-08-09 JP JP22591295A patent/JP3471140B2/ja not_active Expired - Fee Related
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