JP3467365B2 - 磁気ヘッドスライダ及びそれを用いた磁気ディスク装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク装置に
適用される磁気ヘッドに関わり、特に磁気ディスク装置
の高記録密度化を実現するのに最適なヘッドの構造に関
する。

【０００２】

【従来の技術】現在、磁気ディスク装置に適用される磁
気ヘッドは、一般にスライダと呼ばれる部位に形成さ
れ、磁気ディスク装置は、磁気ディスク上に記録されて
いるサ−ボ情報を利用し、スライダ上に形成された磁気
ヘッドを磁気ディスク上の任意の位置に位置付ける制御
を行う。

【０００３】上記のように用いられる磁気ヘッドは、小
型化が進み、薄膜で形成されているものもある。薄膜で
形成された磁気ヘッドは、大きく二つのタイプがあり、
記録及び再生兼用の素子からなる磁気ヘッドと、記録素
子と再生素子が独立して形成された複合型磁気ヘッドが
ある。これらの薄膜磁気ヘッドは、通常、基材となり、
かつ、ヘッド支持機構に保持されるスライダ本体に形成
されている。

【０００４】磁気ヘッドを搭載するスライダは、磁気デ
ィスク装置内に設けられたアクチュエ−タにヘッド支持
機構を介し固定され、そのアクチュエ−タを制御するこ
とによって、磁気ディスク上の任意の位置に位置付けら
れており、将来の高記録密度化に対し、磁気ヘッドの高
精度な位置決め技術について種々の提案がなされてい
る。

【０００５】日本応用磁気学会誌第１８巻４号（１９９
４）、８６７頁、Ｆｉｇ．８には、ヘッドスライダが固
定されるヘッド支持機構がアクチュエ−タに対して揺動
する構造が記載されている。この論文では、記録密度を
上げるために、磁気ディスク装置のトラック密度の向上
に対して着目しており、Ｆｉｇ．８ではヘッドスライダ
が固定されているヘッド支持機構のアクチュエ−タとの
固定部であるヘッドマウントブロックの回転中心をはさ
んで一対のプレ−ナ−型ピエゾ素子を組み込み、それら
を差動させることによりヘッド支持機構を微小に揺動さ
せ、ヘッド支持機構の先端に固定されたヘッドスライダ
及びヘッド素子を微小変位させることができるようにし
たものである。

【０００６】この論文ではアクチュエ−タの位置決めと
ヘッド支持機構の微小な揺動によるヘッドスライダ及び
ヘッド素子の微小な位置決めを連動して行うことによ
り、ヘッド素子のトラック方向の位置決め精度が向上
し、トラック密度を高くできると記載されている。同様
に、ヘッド素子の微小な位置決めを行う他の手段を設
け、やはり、アクチュエ−タと連動して位置決めするこ
とによりヘッド素子のトラック方向の位置決め精度が向
上し、トラック密度を高くできた例が数件記載されてい
る。

【０００７】また、Ｊｏｕｎａｌ ｏｆ Ｔｈｅ Ｍａ
ｇｎｅｔｉｃ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ Ｖ
ｏｌ．１８，Ｓｕｐｐｌｅｍｅｎｔ，Ｎｏ．Ｓ１（１９
９４），３６頁、Ｆｉｇｕｒｅ５には、ヘッドスライダ
とヘッド支持機構の間にピギ−バックと呼ばれるヘッド
スライダがヘッド支持機構に対して揺動する構造が記載
されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記文献では、磁気デ
ィスク装置のアクチェ−タに対し、記録及び再生素子を
搭載するスライダが揺動運動を行うが、その角度は第一
の公知例においてはヘッドマウントブロックの大きさは
一般に５ｍｍ角で、ヘッドの変位ストロ−クが８倍に拡
大されて４．６μｍなので、揺動角度は１度にも満たな
い。第２の公知例においても長さ２ｍｍのスライダの位
置決めのストロ−クが２００マイクロインチなので、や
はり揺動角度は１度にも満たない。

【０００９】ところで、ヘッドスライダの長手方向とヘ
ッドスライダを支持機構およびそれを固定するアクチュ
エ−タのヘッドア−ムの長手方向が一致し、その軸線上
のある点を中心に揺動運動を行うインラインタイプのロ
−タリ−アクチュエ−タを具備した磁気ディスク装置に
おいては、ヘッドスライダの円板上の半径位置によっ
て、円板に同心円状に設けられているトラックとヘッド
スライダとのなす角度が異なってしまう。トラックとヘ
ッドスライダとのなす角度をヨ−角という。一般的にヨ
−角の範囲は２０度程度である。

【００１０】上記のヨ−角により様々な問題点が発生す
る。

【００１１】第１の問題点は実効的なトラック幅の幾何
学的な減少である。円板上のある位置において、記録素
子位置におけるヨ−角をθとする。記録素子の幅をｗと
すると、その円板上の位置で円板の径方向に記録される
トラック幅は、ｗ・ｃｏｓθとなり記録素子の幅ｗより
小さくなり、再生出力が小さくなるという問題点であ
る。例えば、ヨー角が２０度ついた場合、実効的なトラ
ック幅はヨー角がつかない場合の９４％になってしま
う。

【００１２】第２の問題点は円板の磁化の方向と素子と
に角度が付くことである。一般に円板は円周方向に磁化
されるよう配向されていることが多い。第１の問題点と
同じ角度θについて考えると、記録時は記録素子からの
磁束のｃｏｓθ分の磁束で円板が磁化され、再生時は円
板からの磁束のｃｏｓθ分の磁束を再生素子で検出する
ことになり、円板の磁化の方向と素子とに角度が付くこ
とにより再生出力が小さくなるという問題点である。

【００１３】例えば、ヨー角が２０度ついた場合、ヨー
角がつかない場合に比べ、実効的なトラック幅が９４％
になってしまうのに加え、記録時の効率が９４％、さら
に再生時の効率が９４％になってしまい、総合的には効
率が８３％になってしまう。

【００１４】第１、第２の問題点は記録及び再生兼用の
素子からなる磁気ヘッドと、記録素子と再生素子が独立
して形成された複合型磁気ヘッドの両方における問題点
であるが、第３の問題点は複合型磁気ヘッドに関わるも
のである。記録素子と再生素子が独立して形成された複
合型磁気ヘッドの場合、ヨ−角により、記録素子と再生
素子のディスク上の半径位置が微小にずれて位置決めさ
れてしまう。そのため、再生素子を用いて読みだしたサ
−ボ情報を使用して位置決めを行う際、記録時は目標位
置を再生時とずらす必要が生じる。

【００１５】例えば、ヘッド支持機構に沿った同一直線
上に記録素子と再生素子が３μｍの距離をもって配され
たスライダでヨー角が２０度ついた場合、記録素子と再
生素子の円板の径方向の位置ずれ距離は１μｍにもなっ
てしまう。１μｍという数値は２５ｋＴＰＩの磁気ディ
スク装置の場合の１トラック分に匹敵する。この場合、
記録時と再生時に異なったトラックにヘッドを位置決め
しなければいけないことを意味し、記録時には記録した
いトラックに隣接するトラックのサーボ情報を用いヘッ
ドの位置決めを行うため、位置決め制御の方式が複雑に
なるばかりか、通常の位置決め誤差に隣接トラック間距
離の誤差が加わり、ヘッドの位置決め精度が著しく劣化
する。

【００１６】

【課題を解決するための手段】ヘッドスライダの記録及
び再生素子を保持する部位をヘッドスライダのヘッド支
持機構に保持される部位に対して揺動運動させる手段を
設け、素子の円板上での位置に関わらず、記録及び再生
素子の幅方向と円板の径方向がほぼ一致するようにヘッ
ドスライダの記録及び再生素子を保持する部位の角度を
決定する。

【００１７】また更に、ヘッドスライダの記録及び再生
素子を保持する部位を記録及び再生素子の幅方向に微動
させる手段を設け、ヘッドスライダがヘッド支持機構を
介し固定されている磁気ディスク装置のアクチュエ−タ
の位置決め動作と連動して記録及び再生素子の位置を決
定する。

【００１８】以上のような手段を採用することにより、
本発明は次のような機能を達成することができる。

【００１９】記録及び再生素子の円板上での位置に関わ
らず、素子の幅方向と円板の径方向がほぼ一致するの
で、ヨ−角によって発生する前述の、実効的なトラック
幅の減少、円板の磁化方向と素子のなす角度の問題点、
複合型磁気ヘッドの記録素子と再生素子のトラック方向
の位置ずれ等の問題点が発生しない。

【００２０】また更に、記録及び再生素子の素子幅方向
の微小な位置決めが磁気ディスク装置のアクチュエ−タ
の位置決め動作と連動して行われるので、第一の公知例
に記載のごとくヘッド素子のトラック方向の位置決め精
度が向上し、トラック密度を高くできる。

【００２１】また、前記記録素子と前記再生素子を各々
独立して設置したスライダである場合、ヨー角の大小に
関わらず磁気ディスクの情報記録領域全域に亘って、前
記記録素子と再生素子が同一円周上に位置決めされるよ
うに制御できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。

【００２３】ここにおいて、１はスライダ、２はスライ
ダ本体、３は記録及び再生素子、４は素子部、５は形状
記憶アクチュエ−タ、６は中心部、７はＭＰＵ、８は目
標速度、９は円板、１０はサ−ボ情報、１１は変換器、
１２はヘッド速度、１３は目標速度とヘッド速度の差、
１４はＶＣＭ制御器、１５はアンプ、１６は磁気ディス
ク装置のアクチュエ−タ、１７はＶＣＭ、１８は形状記
憶アクチュエ−タの制御信号、１９は揺動アクチュエ−
タの制御器、２０はアンプ、２１はプレ−ト、２２は微
動アクチュエ−タ、２３は電極、２４は積層型ピエゾ圧
電素子、２５はスライダ本体と素子部との結合部、２６
は上部電極、２７は下部電極、２８は平行平板型静電ア
クチュエ−タ、２９は支点、３０は縦櫛歯型静電アクチ
ュエ−タ、３１は上部櫛歯、３２は下部櫛歯、３３は回
転子、３４は電極、３５は回転ピンである。

【００２４】図１は本発明を実施形態を示したスライダ
１の斜視図、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。

【００２５】スライダ１はヘッド支持機構に保持される
スライダ本体２と記録及び再生素子３を保持する素子部
４とにより構成され、素子部４はスライダ１の幅方向の
両端でスパッタや電子ビ−ム蒸着により形成することの
できるＴｉＮｉベ−スの薄膜合金による形状記憶アクチ
ュエ−タ５により保持されていると同時にスライダ１の
幅方向の中心部６で支持されている。

【００２６】形状記憶アクチュエ−タ５は、加熱により
スライダ本体２に沿って平坦になるよう形状が記憶され
ている。図２において素子部４を右回りに回転させる場
合、形状記憶アクチュエ−タ５ｂを加熱する。そうする
と、形状記憶アクチュエ−タ５ｂは平坦になろうと動作
し、素子部４の右端に下向きの力が加わる。形状記憶合
金は、加熱され形状が回復したときの剛性が加熱されず
変形させられているときの剛性に比べ大きいため、形状
記憶アクチュエ−タ５ａは引っ張って伸ばされる。

【００２７】その結果、素子部４は右回りに回転し、形
状記憶アクチュエ−タ５ｂの引っ張る力と５ｂの力と形
状記憶アクチュエ−タ５ａが引っ張られて発生するばね
力の釣り合う位置に位置決めされる。素子部４を左回り
に回転させる場合は形状記憶アクチュエ−タ５ａ、５ｂ
の役割が逆になる。加熱の方法としては形状記憶アクチ
ュエ−タ５に直接電流を流せばよい。また、形状記憶ア
クチュエ−タ５の付近にヒ−タを設け、形状記憶アクチ
ュエ−タ５を加熱してもよい。

【００２８】また、前述の動作説明では２つの形状記憶
アクチュエ−タ５の片方の形状回復力と、片方のばね力
とにより素子部４の位置決めを行っていたが、両方の形
状回復力の差によって位置決めを行ってもよい。すなわ
ち、図２において素子部４を右方向に回転させたい場
合、形状記憶アクチュエ−タ５ａ、５ｂとも加熱する
が、形状記憶アクチュエ−タ５ｂの回復力を形状記憶ア
クチュエ−タ５ａの回復力より大きくすればよい。

【００２９】加熱の方法として形状記憶アクチュエ−タ
５に直接電流を流す場合、形状記憶アクチュエ−タ５ｂ
の回復力を形状記憶アクチュエ−タ５ａの回復力より大
きくするためには、形状記憶アクチュエ−タ５ｂに流す
電流を形状記憶アクチュエ−タ５ａに流す電流より大き
くするほか、形状記憶アクチュエ−タ５ａ、５ｂともに
同じ大きさの電流を形状記憶アクチュエ−タ５が機械的
に追従できる周波数以上の周波数で断続的に流し、その
デュ−ティ−比により制御してもよい。

【００３０】本実施形態では形状記憶アクチュエ−タ５
により素子部４を駆動しているが、本実施形態と同じ構
成で形状記憶アクチュエ−タ５の代わりにバイメタル型
の熱アクチュエ−タを用いても同じ動作を行うことがで
きる。また、バイモルフ又はユニモルフ型の圧電アクチ
ュエ−タを使用してもよい。圧電アクチュエ−タを用い
る場合は熱の代わりに電圧によりアクチュエ−タが動作
するので、電圧の制御を行う。

【００３１】図３は本実施形態のスライダ１の磁気ディ
スク装置内での制御方法を示したブロック図の一例であ
る。磁気ディスク装置のヘッド位置決め制御は例えば小
野他著「記憶と記録」オ−ム社（１９９５）、６３頁、
図３１記載の様に、記録及び再生素子３がトラックから
トラックに移動する時に適用されるアクセス系と１つの
トラックに追従する位置決め追従系があるが、図３はア
クセス系について説明したものである。形状記憶アクチ
ュエ−タ５ａ、５ｂの両方に電流を流し、双方の形状回
復力の差によって回転運動が発生し位置決めが行われる
場合について説明する。

【００３２】記録及び再生素子３があるトラックから他
のトラックに移動する時、ＭＰＵ７は形状記憶アクチュ
エ−タ５によってなされる回転運動により発生する記録
及び再生素子３のトッラク方向の変位速度を考慮に入れ
た目標速度８を出力する。記録及び再生素子３は円板９
上のサ−ボ情報１０を読み取り、変換器１１によりヘッ
ド速度１２が求まる。目標速度８とヘッド速度１２の差
１３はＶＣＭ制御器１４に入力され、目標速度８とヘッ
ド速度１２の差１３が０になるよう制御されるＶＣＭ制
御器１４の出力電流はアンプ１５を介し、磁気ディスク
装置のアクチュエ−タ１６の駆動源であるＶＣＭ１７に
入力される。記録素子と再生素子を別々に具備する複合
型ヘッドの場合、サ−ボ情報１０は再生素子によって読
み取られる。

【００３３】ＭＰＵ７は目標速度８を出力すると同時
に、記録及び再生素子３の幅方向が円板９の径方向が目
標トッラクで一致するよう、形状記憶アクチュエ−タ５
ａ、５ｂの制御信号１８を出力する。形状記憶アクチュ
エ−タ５ａ、５ｂの制御信号１８は円板９上スライダ１
の位置により、スライダ本体２とトッラクのなす角が定
まるため、目標トラックヘの移動前及び移動後のスライ
ダ本体２に対する素子部４の角度が一意的に求まるた
め、制御量を計算、または、あらかじめ計算して作成し
ておいたテ−ブルを参照することにより求め、出力され
る。

【００３４】制御信号１８は揺動アクチュエ−タの制御
器１９に入力され、揺動アクチュエ−タの制御器１９の
出力電流はアンプ２０を介し形状記憶アクチュエ−タ５
ａ、５ｂに入力され、形状記憶アクチュエ−タ５ａ、５
ｂが動作し記録及び再生素子３の幅方向が円板９の径方
向が目標トッラクで一致する。

【００３５】記録及び再生素子３がトラックに追従する
位置決め系においては、磁気ディスク装置のアクチュエ
−タ１６の制御は前記小野他著「記憶と記録」の図３１
の通りであるので省略するが、形状記憶アクチュエ−タ
５ａ、５ｂの制御は図３においてそのトラックにおける
記録及び再生素子３の幅方向が円板９の径方向が目標ト
ッラクで一致するよう、形状記憶アクチュエ−タ５ａ、
５ｂの制御信号１８がＭＰＵ７より出力され制御され
る。

【００３６】本実施形態によれば、記録及び再生素子３
の円板９上での位置に関わらず、記録及び再生素子３の
幅方向と円板９の径方向がほぼ一致するので、ヨ−角に
よって発生する前述の、実効的なトラック幅の減少、円
板９の磁化方向と記録及び再生素子３のなす角度の問題
点が発生せず、円板９の周方向の記録密度を高くするこ
とができるという効果がある。

【００３７】さらに、本実施形態を複合型磁気ヘッドに
適用した場合、記録素子と再生素子のトラック方向の位
置ずれの問題点が発生しないため、トラックの幅を小さ
くし、トラック方向の記録密度を高くすることができる
という効果もある。

【００３８】第２の実施形態を図面を用いて説明する。
図４は本発明の第２の実施形態を示したスライダ１の斜
視図である。先の実施形態の素子部４の代わりにプレ−
ト２１を設け、プレ−ト２１の上に記録及び再生素子３
の幅方向に水平運動をする微動アクチュエ−タ２２、そ
の上に記録及び再生素子３を保持する素子部４を設けた
ものである。

【００３９】微動アクチュエ−タ２２には櫛歯型静電ア
クチュエ−タを用いている。素子部４を電気的グランド
に落しておき、微動アクチュエ−タ２２の右側の電極２
３ａに電圧を印加すると素子部４との間に静電力が働
き、素子部４は右側に動く。逆に、微動アクチュエ−タ
２２の右側の電極２３ｂに電圧を印加すると素子部４と
の間に静電力が働き、素子部４は左側に動く。

【００４０】前記微動アクチュエ−タ２２と磁気ディス
ク装置のアクチュエ−タ１６とにより２段アクチュエ−
タを構成することができる。２段アクチュエ−タを構成
することにより第１の公知例の文献に記載されているよ
うトッラクの高密度化を図ることができる。加えて、第
１の実施形態と同様の効果もある。本実施形態によれ
ば、微動アクチュエータ２２により微細なトラッキング
制御が可能であり、形状記憶アクチュエータ５によりヨ
ー角制御が可能となるのである。

【００４１】第３の実施形態を図面を用いて説明する。
図５は本発明の第３の実施形態を示したスライダ１の斜
視図である。第１の実施形態の形状記憶アクチュエ−タ
５の代わりに積層型ピエゾ圧電素子２４を素子部４の両
端に配したものである。一般に縦型歪効果を用いるピエ
ゾ圧電素子は積層型に限らずに大きな変位を得るために
は圧電素子の長さを長くする必要があるが、本実施形態
ではスライダ本体２の一部をくりぬき積層型ピエゾ圧電
素子２４を埋め込むことにより長さを確保している。本
実施形態においても第１の実施形態と同様の効果があ
る。

【００４２】さらに、一般に縦型歪効果を用いるピエゾ
圧電素子は形状記憶効果、バメタル効果、モルフ型のピ
エゾ圧電素子などに比べ応答速度が速いので、第１の実
施形態に比べ速い応答速度を得ることができる。本実施
形態における積層型ピエゾ圧電素子２４の代りにプレ−
ナ型のピエゾ圧電素子を用いても同様の効果を得ること
ができる。さらに、前記圧電素子２４を素子部４の中心
部に寄せて配置することにより、前記圧電素子の小さな
変位でも大きな揺動角を得ることができる。

【００４３】第４の実施形態を図面を用いて説明する。
図６は本発明の第４の実施形態を示したスライダ１の素
子部４付近の斜視図である。スライダ本体２と素子部４
との結合部２５がスライダ１の幅方向の片端にに配さ
れ、記録及び再生素子３との間に積層型ピエゾ圧電素子
２４が配されている。第３の実施形態と同様に、スライ
ダ本体２の一部をくりぬき積層型ピエゾ圧電素子２４を
埋め込むことにより積層型ピエゾ圧電素子２４の長さを
確保している。

【００４４】本実施形態においても第３の実施形態と同
様の効果がある。さらに支点となるスライダ本体２と素
子部４との結合部２５と動作点になる記録及び再生素子
３の間に作用点である積層型ピエゾ圧電素子２４が配さ
れているので、第３の実施形態に比べ積層型ピエゾ圧電
素子２４の変位が小さくて済み、積層型ピエゾ圧電素子
２４を短くできる。

【００４５】さらに積層型ピエゾ圧電素子２４の個数が
１個なので、配線が容易であり、スライダ本体２の溝加
工も１ヶ所でよく、積層型ピエゾ圧電素子２４の材料費
も半分で済むので、第３の実施形態と同様の効果を安価
に実現できる。以上の効果は、第３の実施形態と同様に
積層型ピエゾ圧電素子２４の代りにプレ−ナ型のピエゾ
圧電素子を用いても得ることができる。さらに、前記圧
電素子２４に代えて渦巻型の形状記憶素子を用いること
もできる。

【００４６】第５の実施形態を図面を用いて説明する。
図７は本発明の第５の実施形態を示したスライダ１の素
子部４付近の斜視図である。図７には駆動電源も模式的
に記してある。スライダ本体２の幅方向の片端に、わず
かなすきまを保った平行な上部電極２６と下部電極２７
とにより構成される平行平板型静電アクチュエ−タ２８
を配している。図中で破線で示した下部電極２７はスラ
イダ本体２に固定されており、上部電極２６は支点２９
を介し素子部４と結合している。支点２９の下面の１ヶ
所以上は、少なくとも平行平板型静電アクチュエ−タ２
８に電圧が加えられている間はスライダ本体２と接して
いる構造となっている。

【００４７】平行平板型静電アクチュエ−タ２８に電圧
を加えると、上部電極２６は下部電極２７に静電気力に
より引き付けられる。その結果、支点２９を中心にして
素子部４は左回りに回転する。上部電極２６の変位は加
える電圧によって制御でき、素子部４を揺動運動させる
ことができる。本実施形態によると、第１の実施形態と
同様の効果がある。

【００４８】第６の実施形態を図面を用いて説明する。
図８は本発明の第６の実施形態を示したスライダ１の素
子部４付近の斜視図である。図８には駆動電源も模式的
に記してある。スライダ本体２と素子部４との結合部２
５がスライダ１の幅方向の片端にに配され、もう一方の
端に縦櫛歯型静電アクチュエ−タ３０が配され、その間
に記録及び再生素子３が配されている。縦櫛歯型静電ア
クチュエ−タ３０は第２の実施形態の微動アクチュエ−
タ２２に用いた櫛歯型静電アクチュエ−タと動作原理は
同じで、縦方向に動作するものである。

【００４９】すなわち、素子部４に固定され図中で破線
で示した上部櫛歯３１とスライダ本体２に固定された下
部櫛歯３２の間に電圧を印加すると上部櫛歯３１が下部
櫛歯３２に引き付けられる。スライダ本体２と素子部４
との結合部２５はヒンジ構造となってい、上部櫛歯３１
が下部櫛歯３２に引き付けられるとスライダ本体２と素
子部４との結合部２５を中心に素子部４は右回りに回転
運動をする。上部櫛歯３１の変位は加える電圧によって
制御でき、素子部４を揺動運動させることができる。

【００５０】本実施形態によると第１、第５の実施形態
と同様の効果を得ることができる。さらに、作用点であ
る縦櫛歯型静電アクチュエ−タ３０と動作点である記録
及び再生素子３は支点であるスライダ本体２と素子部４
との結合部２５を支点に対して同一側にあるので、縦櫛
歯型静電アクチュエ−タ３０と記録及び再生素子３は同
相の回転運動を行う。そのため、回転に伴う力によって
支点であるスライダ本体２と素子部４との結合部２５が
スライダ本体２に対して並進力を受けても、その影響は
記録及び再生素子３の角度の位置決めには影響を与え
ず、第５の実施形態に比べ高精度な角度の位置決めを行
うことができるという効果もある。

【００５１】第７の実施形態を図面を用いて説明する。
図９は本発明の第７の実施形態を示したスライダ１の斜
視図である。図１０は図９のＡ−Ａ断面図である。図９
には駆動電源も模式的に記してある。記録及び再生素子
３は回転子３３、電極３４からなる静電ワブルモ−タの
回転子３３に端面を設け、配されている。回転子３３は
回転ピン３５で保持されており、回転ピン３５は少なく
とも一端がスライダ本体２に保持されている。

【００５２】一般に静電ワブルモ−タは回転子３３を電
気的グランドに落し、複数の電極３４に順次電圧を加え
ることにより、回転子３３が電極３４に静電引力で吸い
つけられ回転していく。または、回転子３３を電気的グ
ランドに落とす代わりに回転子３３と電極３４の間に電
圧を加え、電圧を加える電極３４を順次切り替えていく
方式がとられる。本実施形態においては電圧を加える電
極３４を切り替えるのではなく、電極３４の各電極の電
圧を制御することにより、静電引力が釣合う位置に回転
子３３の角度を位置決めする。従って、記録及び再生素
子３を揺動運動させることができる。

【００５３】本実施形態によると第１、第５の実施形態
と同様の効果がある。さらに、第１から第６の実施形態
にくらべ、大きな揺動角度を得ることができるという効
果もある。

【００５４】また、上述した第３から第７の実施形態に
おいて、素子部４または回転子３３に微動アクチュエ−
タ２２を設け、その上に記録及び再生素子３を配し、微
動アクチュエ−タ２２と磁気ディスク装置のアクチュエ
−タ１６とにより２段アクチュエ−タを構成することに
より、第２の実施形態と同様の効果を得ることもでき
る。

【００５５】なお、以上の全ての実施形態において回転
をするアクチュエータの揺動範囲を３０度程度に設計す
ることが可能である。インライン型ロータリータイプの
磁気ディスク装置のヨー角の範囲は一般に２０度程度で
あるので、前述の実施形態の効果は磁気ディスク装置の
記録領域全域においてカバーするものである。

【００５６】

【発明の効果】本発明によると、記録及び再生素子３の
幅方向と円板９の径方向を一致させることができるの
で、ヨ−角による実効的なトラック幅の幾何学的減少、
円板９の磁化の向きと記録及び再生素子３のなす角度に
よる問題点、複合型ヘッドにおける記録素子と再生素子
のトラック方向のずれが解決でき、磁気ディスク装置の
記録密度を向上できるという効果がある。

【００５７】さらに、磁気ディスク装置のアクチュエ−
タ１６と微動アクチュエ−タ２２により２段アクチュエ
−タを構成できるので、記録及び再生素子3のトッラク
方向の位置決め精度が向上し、磁気ディスク装置のトッ
ラク方向の記録密度をより一層向上できるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示したスライダの斜視図
である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】スライダの磁気ディスク装置内における制御方
法を示したブロック図の一例である。

【図４】本発明の第２の実施形態を示したスライダの斜
視図である。

【図５】本発明の第３の実施形態を示したスライダの斜
視図である

【図６】本発明の第４の実施形態を示したスライダの素
子部付近の斜視図である。

【図７】本発明の第５の実施形態を示したスライダの素
子部付近の斜視図である。

【図８】本発明の第６の実施形態を示したスライダの素
子部付近の斜視図である。

【図９】本発明の第７の実施形態を示したスライダの斜
視図である。

【図１０】図９のＡ−Ａ断面図である。

【符号の説明】

１ スライダ ２ スライダ本体 ３ 記録及び再生素子 ４ 素子部 ５ 形状記憶アクチュエ−タ ６ 中心部 ７ ＭＰＵ ８ 目標速度 ９ 円板 １０ サ−ボ情報 １１ 変換器 １２ ヘッド速度 １３ 目標速度とヘッド速度の差 １４ ＶＣＭ制御器 １５ アンプ １６ 磁気ディスク装置のアクチュエ−タ １７ ＶＣＭ １８ 形状記憶アクチュエ−タの制御信号 １９ 揺動アクチュエ−タの制御器 ２０ アンプ ２１ プレ−ト ２２ 微動アクチュエ−タ ２３ 電極 ２４ 積層型ピエゾ圧電素子 ２５ スライダ本体と素子部との結合部 ２６ 上部電極 ２７ 下部電極 ２８ 平行平板型静電アクチュエ−タ ２９ 支点 ３０ 縦櫛歯型静電アクチュエ−タ ３１ 上部櫛歯 ３２ 下部櫛歯 ３３ 回転子 ３４ 電極 ３５ 回転ピン

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−189732（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−58685（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−81796（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−187624（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−97174（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−314479（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−134873（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 5/56 - 5/60 G11B 21/16 - 21/26 G11B 21/10

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録及び再生素子を有する素子部とスラ
   イダ本体とからなるスライダと、前記スライダを保持す
   るヘッド支持機構と、前記ヘッド支持機構を駆動制御し
   て第１の揺動をさせるインライン型のロータリーアクチ
   ュエータと、を含む磁気ディスク装置であって、 前記素子部は、前記スライダ本体に対して変位し、 前記変位は、磁気ディスクの情報記録領域全域に亘っ
   て、前記記録及び再生素子の幅方向と磁気ディスクの径
   方向とが略一致するように、第２の揺動をしてヨー角制
   御を行うとともに、更に、 前記素子部を前記記録及び再生素子の幅方向に水
   平移動して微細なトラッキング制御を行うことを特徴と
   する磁気ディスク装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記記録及び再生素子を前記素子部の中央部に配置し、
   前記素子部の両側に形状記憶アクチュエータ又はピエゾ
   圧電素子を設けて、前記素子部に前記第２の揺動をさせ
   ることを特徴とする磁気ディスク装置。
3. 【請求項３】 請求項１において、前記水平移動は、 前記スライダ本体に対する水平移動の
   ための微動アクチュエータにより為され、前記微動アク
   チュエータ上に前記素子部を配置することを特徴とする
   磁気ディスク装置。
4. 【請求項４】 請求項３において、 前記微動アクチュエータは櫛歯型静電アクチュエータで
   あることを特徴とする磁気ディスク装置。
5. 【請求項５】 請求項１において、 前記素子部の端部を前記スライダ本体に対して回動自在
   に結合させ、前記素子部と前記スライダ本体の間に形状
   記憶アクチュエータ又はピエゾ圧電素子を設けて、前記
   素子部に前記第２の揺動をさせることを特徴とする磁気
   ディスク装置。
6. 【請求項６】 請求項１において、 前記スライダ本体に固定された下部電極と、前記素子部
   と支点を介して結合された上部電極と、からなる平行平
   板型静電アクチュエータを設け、前記上部電極の変位に
   よって前記素子部に前記第２の揺動をさせることを特徴
   とする磁気ディスク装置。
7. 【請求項７】 請求項１において、 前記素子部の一端部を前記スライダ本体に対して回動自
   在に結合させ、 前記素子部の他端部に固定された上部櫛歯と前記スライ
   ダ本体に固定された下部櫛歯とからなる縦櫛歯型静電ア
   クチュエータを設け、前記上部電極の変位によって前記
   素子部に前記第２の揺動をさせることを特徴とする磁気
   ディスク装置。
8. 【請求項８】 請求項１において、 静電ワブルモータの固定子電極を前記スライド本体に設
   け、前記素子部を静電ワブルモータの回転子に設けて、
   前記素子部に前記第２の揺動をさせることを特徴とする
   磁気ディスク装置。
9. 【請求項９】 請求項２において、 前記形状記憶アクチュエータは、その付近に設けたヒー
   タの加熱によって前記素子部に前記第２の揺動をさせる
   ことを特徴とする磁気ディスク装置。
10. 【請求項１０】 請求項２において、 前記形状記憶アクチュエータに直接、電流を流して加熱
    する場合に、前記形状記憶アクチュエータが機械的に追
    従できる周波数以上の周波数の電流を断続的に流すこと
    を特徴とする磁気ディスク装置。