JP3460207B2 - 樹脂モールド半導体装置 - Google Patents

樹脂モールド半導体装置

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    • H01L2924/181Encapsulation

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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレームに
搭載された半導体素子を樹脂モールドして成る樹脂モー
ルド半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】樹脂モールド半導体装置の樹脂モールド
方法として、トランスファモールド法が広く知られてい
る。該モールド法は予めリードフレームに半導体素子を
組み込んでおき、これを金型に入れて、粉末状またはタ
ブレット状のエポキシ樹脂などの樹脂を温度と圧力をか
けて溶融させ、粘度の低い状態にして前記金型内に注入
し、硬化させてモールドするものである。
【0003】図3には、半導体素子2がリードフレーム
1のダイステージ1aにダイボンディングされ、樹脂3
でフラット型に樹脂モールドされた半導体装置4の断面
を示している。図3に示すように、半導体装置4は、ダ
イステージ1aにダイボンディングされ、インナーリー
ド1bにワイヤ5にてワイヤボンデングされた半導体素
子2が樹脂3内で浮いた位置にあり、後述するようにア
ウターリード1cとともにダイステージ吊りリード(以
下、吊りリードという。)が樹脂3の下面に沿って露出
するようにモールドされている。
【0004】図2(A)にはリードフレームの平面を、
図2(C)には従来の吊りリードのAーA’断面を示し
ている。なお、図2(B)は後述する本発明のリードフ
レームの吊りリードの断面を示している。以下、リード
フレームを図3をも参照しながら説明する。リードフレ
ーム1は、半導体素子2がダイボンディングされるダイ
ステージ1a、吊りリード1e、インナーリード1b、
アウターリード1cを備え、折り曲げ加工によって段差
部1dを形成してインナーリード1bとアウターリード
1cが段差を有して連なっている。また、吊りリード1
eにも段差部1gが形成されてダイステージ1aと吊り
リード1eも段差を有して吊りリード端部1fに連なっ
ている。
【0005】図2(A)において点線枠3b内が樹脂モ
ールド領域を示しており、さらに図2(C)の縦点線の
内側が樹脂モールド領域で、樹脂モールド領域外のリー
ドフレーム部分は樹脂モールド後に切断されて完成した
半導体装置となる。したがって、図3は完成した半導体
装置の断面を示している。
【0006】図4には前記従来の吊りリード1eを備え
たリードフレーム1に半導体素子2を搭載した半導体装
置4の吊りリード1eの断面を示している。図4に示す
ように、吊りリード1eの下面部分1hは、アウターリ
ード1c(図3)とともに樹脂3の下面に沿って露出し
て樹脂モールドされている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】前記吊りリード1eは
ダイステージ1aと一体に形成されているため、電気的
にダイステージ1aと同電位となっている。したがっ
て、半導体装置4を基板などへの実装時に下面部分1h
が基板配線と接触すると、吊りリード1eを通してダイ
ステージ1aにダイボンディングされた半導体素子2に
不要の電圧が供給される危険があり、これによって半導
体素子を破壊したり、素子の電気的特性に影響を与え
る。前記影響を避けるために実装基板上の配線パターン
を吊りリード1eの下面1hを避けて形成せざるを得
ず、それだけ配線パターンの形成領域が制約され、基板
の小型化に繋がらなくなる。本発明は、前記問題点に鑑
みなされたもので、基板実装時に吊りリードを通して半
導体素子に電気的影響を与えることのない樹脂モールド
半導体装置を提案するものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】ダイステージと、ダイス
テージ吊りリードと、インナーリードと、該インナーリ
ードと段差を有して連なるアウターリードとを備えたリ
ードフレームの前記ダイステージに半導体素子を搭載
し、前記アウターリードがモールド樹脂の下面に沿って
露出するように樹脂モールドして成る樹脂モールド半導
体装置の前記ダイステージ吊りリードが前記モールド樹
脂の下面に沿って露出しないように樹脂モールドする。
ダイステージ吊りリードが電気的に絶縁されているた
め、基板への実装時に半導体素子に電気的影響を与えな
い。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明のリードフレームを
図2(B)及び図2(A)を参照しながら説明する。な
お、吊りリードの構成を除き他の構成については図2
(A)と変わるところはないので図2(A)をも参照す
ることとする。リードフレーム1は、半導体素子2がダ
イボンディングされるダイステージ1a、吊りリード1
e’、インナーリード1b、アウターリード1cを備
え、折り曲げ加工によって段差部1d及び1iがを形成
されて、インナーリード1bとアウターリード1c、ダ
イステージ1aと吊りリード1e’は段差を有して連な
っている。さらに、本発明の特徴であるところの吊りリ
ード1e’の下面部分1kが吊りリード端部1jと段差
を有するように薄く形成されている。
【0010】以下、前記吊りリードを備えたリードフレ
ームのダイステージに半導体素子を搭載した半導体装置
を図1を参照しながら説明する。図1は前記吊りリード
を含む半導体装置4の断面を示している。図1に示すよ
うに、フラット型に樹脂モールドされた半導体装置4
は、ダイステージ1aにダイボンディングされた半導体
素子2は、樹脂3内で浮いた位置にあり、吊りリード1
e’は樹脂3の下面から露出しないようにモールドされ
ている。
【0011】これは、図2(B)に示す吊りリード1
e’を備えたリードフレームのダイステージ1aに半導
体素子を搭載して樹脂モールドすると、樹脂モールド装
置のキャビティ表面と吊りリード1e’を薄く形成して
設けた下面部分1k間に隙間ができて該隙間にも樹脂が
充填されて、図1に示すように吊りリード1e’の下面
にも樹脂3aがモールドされ、吊りリード1e’の下面
部分1kがモールド樹脂3の下面から露出しない半導体
装置が得られる。
【0012】図2(B)の一対の縦点線の外側領域、つ
まり吊りリード1e’の樹脂モールドされない吊りリー
ド端部1jは後に切断されてその先端がモールド樹脂の
側面から露出するが、この部分は実装時に配線パターン
に接触することがないので塞ぐ必要はないが、封止を完
全にするために樹脂を塗布する等して封止しても良い。
【0013】
【発明の効果】本発明の半導体装置は、半導体素子を搭
載するリードフレームのダイステージ吊りリードの下面
も樹脂でモールドされているので、基板への実装時に吊
りリード下面が配線パターンに接触することがなくな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明リードフレームを用いた半導体装置の断
面図である。
【図2】本発明及び従来のリードフレームの平面図及び
吊りリードの断面図である。
【図3】従来のリードフレームに半導体素子を搭載して
樹脂モールドした半導体装置の断面図である。
【図4】従来のリードフレームに半導体素子を搭載して
樹脂モールドした際の問題点を説明する断面図である。
【符号の説明】
1・・リードフレーム 1b・・インナーリード 1c
・・アウターリード 3・・モールド樹脂 1e’・・吊りリード 1j・・
吊りリード端部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/50,23/12

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ダイステージと、ダイステージ吊りリード
    と、インナーリードと、該インナーリードと連なるアウ
    ターリードとを備えたリードフレームの前記ダイステー
    ジに半導体素子を搭載し、前記アウターリードがモール
    ド樹脂の下面に沿って露出するように樹脂モールドし、
    前記ダイステージ吊りリードが前記モールド樹脂の下面
    に沿って露出しないように樹脂モールドして成る樹脂モ
    ールド半導体装置であって、 前記ダイステージ吊りリードの樹脂モールド部分を薄く
    形成してなることを特徴とする樹脂モールド半導体装
    置。
  2. 【請求項2】前記インナーリードと前記アウターリー
    ド、前記ダイステージと前記ダイステージ吊りリードと
    が段差を有して連なることを特徴とする請求項1の樹脂
    モールド半導体装置。
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