JP3452897B2 - 不純物検出装置および不純物検出方法 - Google Patents
不純物検出装置および不純物検出方法Info
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- JP3452897B2 JP3452897B2 JP2000379454A JP2000379454A JP3452897B2 JP 3452897 B2 JP3452897 B2 JP 3452897B2 JP 2000379454 A JP2000379454 A JP 2000379454A JP 2000379454 A JP2000379454 A JP 2000379454A JP 3452897 B2 JP3452897 B2 JP 3452897B2
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- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は不純物検出装置およ
び不純物検出方法に関し、特に、純水または超純水中に
含まれる無機物、溶存酸素、有機化合物および過酸化物
などを検出する場合に適用して好適なものである。
び不純物検出方法に関し、特に、純水または超純水中に
含まれる無機物、溶存酸素、有機化合物および過酸化物
などを検出する場合に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造プロセスや液晶表示素
子製造プロセスなどに供給された純水（超純水）は、配
管を介してユースポイントと呼ばれる実際に純水や超純
水を使用する場所に供給される。このとき、純水（超純
水）は、ユースポイントを通りながら必要量だけ使用さ
れた後、余剰分は再び一次純水タンクと呼ばれるタンク
に戻ってくる。これは、（超）純水を供給する配管に常
に（超）純水が流れるようにして、バクテリアの発生や
純度の低下を防ぐためである。これを通常サークル配管
と呼んでいる。
子製造プロセスなどに供給された純水（超純水）は、配
管を介してユースポイントと呼ばれる実際に純水や超純
水を使用する場所に供給される。このとき、純水（超純
水）は、ユースポイントを通りながら必要量だけ使用さ
れた後、余剰分は再び一次純水タンクと呼ばれるタンク
に戻ってくる。これは、（超）純水を供給する配管に常
に（超）純水が流れるようにして、バクテリアの発生や
純度の低下を防ぐためである。これを通常サークル配管
と呼んでいる。
【０００３】この場合、ユースポイントでの純水や超純
水の使用状態によっては、サークル配管のリターン配管
にユースポイントで使用された薬品などが混入すること
がある。このため、超純水のサークル配管のリターン配
管において、リターンされる（超）純水に含まれる不純
物のモニタを行い、不純物を含んだ水が純水または超純
水の供給系に混入することを未然に防止することが行わ
れている。
水の使用状態によっては、サークル配管のリターン配管
にユースポイントで使用された薬品などが混入すること
がある。このため、超純水のサークル配管のリターン配
管において、リターンされる（超）純水に含まれる不純
物のモニタを行い、不純物を含んだ水が純水または超純
水の供給系に混入することを未然に防止することが行わ
れている。
【０００４】図４は、従来の超純水汚染のモニタ方法を
示すブロック図である。図４において、一次純水システ
ム３で製造された純水は一次純水タンク４に溜められ
る。そして、一次純水タンク４に溜められた純水は、ポ
ンプ５を介して超純水システム６に送られ、超純水が製
造される。超純水システム６で製造された超純水は、サ
ークル配管１を介してユースポイント７に供給される。
そして、ユースポイント７に供給された超純水のうち、
ユースポイント７で使用されなかった超純水は、サーク
ル配管１のリターン配管２を介して一次純水タンク４に
戻される。このとき、リターン配管２を介して一次純水
タンク４に戻される超純水の一部は、不純物検出装置１
４により採取される。
示すブロック図である。図４において、一次純水システ
ム３で製造された純水は一次純水タンク４に溜められ
る。そして、一次純水タンク４に溜められた純水は、ポ
ンプ５を介して超純水システム６に送られ、超純水が製
造される。超純水システム６で製造された超純水は、サ
ークル配管１を介してユースポイント７に供給される。
そして、ユースポイント７に供給された超純水のうち、
ユースポイント７で使用されなかった超純水は、サーク
ル配管１のリターン配管２を介して一次純水タンク４に
戻される。このとき、リターン配管２を介して一次純水
タンク４に戻される超純水の一部は、不純物検出装置１
４により採取される。
【０００５】不純物検出装置１４は、抵抗率計１２、溶
存酸素計１３、ＴＯＣ計１５およびＨ２Ｏ２モニタ１６
を備え、これらの測定器を用いることにより、純水また
は超純水中に含まれる無機物、溶存酸素、有機化合物お
よび過酸化物などの不純物を検出する。不純物検出装置
１４により不純物が検出されると、この検出結果に基づ
いてバルブ８、９の開閉を行うことにより、不純物を含
んだ水が純水または超純水が一次純水タンク４に戻され
ることを未然に防止する。
存酸素計１３、ＴＯＣ計１５およびＨ２Ｏ２モニタ１６
を備え、これらの測定器を用いることにより、純水また
は超純水中に含まれる無機物、溶存酸素、有機化合物お
よび過酸化物などの不純物を検出する。不純物検出装置
１４により不純物が検出されると、この検出結果に基づ
いてバルブ８、９の開閉を行うことにより、不純物を含
んだ水が純水または超純水が一次純水タンク４に戻され
ることを未然に防止する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
超純水汚染のモニタ方法では、純水または超純水中に含
まれる不純物をモニタするために、抵抗率計１２、溶存
酸素計１３、ＴＯＣ計１５およびＨ２Ｏ２モニタ１６を
設ける必要があり、多くの検出器を必要とするという問
題があった。
超純水汚染のモニタ方法では、純水または超純水中に含
まれる不純物をモニタするために、抵抗率計１２、溶存
酸素計１３、ＴＯＣ計１５およびＨ２Ｏ２モニタ１６を
設ける必要があり、多くの検出器を必要とするという問
題があった。
【０００７】さらに、ＴＯＣ計１５は測定に数分の時間
を要し、ＴＯＣ計１５で異常値を示したときは、すでに
一次純水タンク４を汚染していることがあり、汚染を未
然に防止することができない場合があった。
を要し、ＴＯＣ計１５で異常値を示したときは、すでに
一次純水タンク４を汚染していることがあり、汚染を未
然に防止することができない場合があった。
【０００８】そこで、本発明の目的は、不純物を検出す
る際の検出器の数を減らすことが可能であり、かつ、不
純物の検出を短時間で行うことが可能な不純物検出装置
および不純物検出方法を提供することである。
る際の検出器の数を減らすことが可能であり、かつ、不
純物の検出を短時間で行うことが可能な不純物検出装置
および不純物検出方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明によれば、有機物または過酸化物の少な
くともいずれか一方を含む水に紫外線を照射する紫外線
照射手段と、前記紫外線照射された水の導電率または抵
抗率を測定する電気伝導測定手段と、前記紫外線照射さ
れた水の溶存酸素を測定する溶存酸素測定手段とを備え
ることを特徴とする。
ために、本発明によれば、有機物または過酸化物の少な
くともいずれか一方を含む水に紫外線を照射する紫外線
照射手段と、前記紫外線照射された水の導電率または抵
抗率を測定する電気伝導測定手段と、前記紫外線照射さ
れた水の溶存酸素を測定する溶存酸素測定手段とを備え
ることを特徴とする。
【００１０】これにより、水に含まれる有機化合物は、
紫外線照射により有機酸イオンまたは炭酸ガスなどに分
解され、水の抵抗率が低下する。また、水に含まれる過
酸化物は、紫外線照射により水と酸素に分解され、溶存
酸素が増加する。
紫外線照射により有機酸イオンまたは炭酸ガスなどに分
解され、水の抵抗率が低下する。また、水に含まれる過
酸化物は、紫外線照射により水と酸素に分解され、溶存
酸素が増加する。
【００１１】このため、導電率計（または抵抗率計）お
よび溶存酸素計を用いるだけで、純水または超純水に混
入した無機物、溶存酸素、有機化合物および過酸化物な
どを検出することが可能となり、純水または超純水に混
入した不純物を検出する際の検出器の数を減らすことが
可能なる。
よび溶存酸素計を用いるだけで、純水または超純水に混
入した無機物、溶存酸素、有機化合物および過酸化物な
どを検出することが可能となり、純水または超純水に混
入した不純物を検出する際の検出器の数を減らすことが
可能なる。
【００１２】また、紫外線照射後に導電率計（または抵
抗率計）と溶存酸素計といった瞬時に測定値を検出表示
させる機器の構成によって不純物の検出時間を大幅に短
縮させることができる。
抗率計）と溶存酸素計といった瞬時に測定値を検出表示
させる機器の構成によって不純物の検出時間を大幅に短
縮させることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態に係わる
および不純物検出方法について図面を参照しながら説明
する。図１は、本発明の一実施形態に係わる不純物検出
システムの概略構成を示すブロック図である。なお、以
下の説明では、図４と同一の構成部分については同一符
号を付し、その説明は省略する。
および不純物検出方法について図面を参照しながら説明
する。図１は、本発明の一実施形態に係わる不純物検出
システムの概略構成を示すブロック図である。なお、以
下の説明では、図４と同一の構成部分については同一符
号を付し、その説明は省略する。
【００１４】図１において、不純物検出装置１０は、紫
外線酸化処理装置１１、抵抗率計１２および溶存酸素計
１３を備えている。半導体工場などのユースポイント７
にサークル配管１により供給された純水または超純水
は、サークルリターン配管２により一次純水タンク４に
戻る。ここで、サークルリターン配管２により一次純水
タンク４に混入する可能性がある不純物として、例え
ば、界面活性剤、メチルアルコールやイソプロピルアル
コールなどのアルコール類、フッ酸、フッ化アンモニウ
ム、水酸化アンモニウム、硫酸、硝酸、燐酸、塩酸、金
属イオンなどの無機イオン類、オゾンや過酸化水素など
の酸化剤や過酸化物がある。
外線酸化処理装置１１、抵抗率計１２および溶存酸素計
１３を備えている。半導体工場などのユースポイント７
にサークル配管１により供給された純水または超純水
は、サークルリターン配管２により一次純水タンク４に
戻る。ここで、サークルリターン配管２により一次純水
タンク４に混入する可能性がある不純物として、例え
ば、界面活性剤、メチルアルコールやイソプロピルアル
コールなどのアルコール類、フッ酸、フッ化アンモニウ
ム、水酸化アンモニウム、硫酸、硝酸、燐酸、塩酸、金
属イオンなどの無機イオン類、オゾンや過酸化水素など
の酸化剤や過酸化物がある。
【００１５】なお、本明細書において「純水」とは、２
５℃換算電気抵抗率が１０．０ＭΩ・ｃｍ以上、ＴＯＣ
濃度５０ｐｐｂ以下、０．２μｍ以上の微粒子数が１０
個／ｍｌ以下の清浄度の高い水をいい、「超純水」と
は、２５℃換算電気抵抗率が１８．０ＭΩ・ｃｍ以上、
ＴＯＣ濃度が５ｐｐｂ以下、０．０５μｍ以上の微粒子
数が１０個／ｍｌ以下のさらに清浄度の高い水をいう。
５℃換算電気抵抗率が１０．０ＭΩ・ｃｍ以上、ＴＯＣ
濃度５０ｐｐｂ以下、０．２μｍ以上の微粒子数が１０
個／ｍｌ以下の清浄度の高い水をいい、「超純水」と
は、２５℃換算電気抵抗率が１８．０ＭΩ・ｃｍ以上、
ＴＯＣ濃度が５ｐｐｂ以下、０．０５μｍ以上の微粒子
数が１０個／ｍｌ以下のさらに清浄度の高い水をいう。
【００１６】サークルリターン配管２により一次純水タ
ンク４に戻る水の一部は、所定の流量に調節されて紫外
線酸化処理装置１１に供給される。紫外線酸化処理装置
１１は、水への紫外線照射（波長λ＝１８５ｎｍ）によ
り、ＯＨラジカルを生成し、純水中に微量残留するＴＯ
Ｃ成分を酸化分解し、炭酸イオンまたは有機酸イオンに
変化させる。
ンク４に戻る水の一部は、所定の流量に調節されて紫外
線酸化処理装置１１に供給される。紫外線酸化処理装置
１１は、水への紫外線照射（波長λ＝１８５ｎｍ）によ
り、ＯＨラジカルを生成し、純水中に微量残留するＴＯ
Ｃ成分を酸化分解し、炭酸イオンまたは有機酸イオンに
変化させる。
【００１７】また、過酸化物（Ｈ２Ｏ２）の場合、水へ
の紫外線照射（波長λ＝１８５ｎｍ）により、以下の化
学式に示すように、水と酸素に分解される。
の紫外線照射（波長λ＝１８５ｎｍ）により、以下の化
学式に示すように、水と酸素に分解される。
【００１８】
Ｈ２Ｏ２→Ｈ２Ｏ＋１／２Ｏ２＝２Ｈ２Ｏ＋Ｏ２
ここで、紫外線の照射量は、１ｍ３／ｈの水量当たり
０．２ｋｗ以上、好ましくは０．５ｋｗ以上である。た
だし、１．０ｋｗ以上では、サークルリターン配管２に
予想される不純物量から考えて大きすぎるため、０．５
ｋｗ前後が最適である。また、チャンバ容量は、導入さ
れる（超）純水の滞溜時間により決定されるが、前記照
射量において、１秒以上、好ましくは２秒以上である。
０．２ｋｗ以上、好ましくは０．５ｋｗ以上である。た
だし、１．０ｋｗ以上では、サークルリターン配管２に
予想される不純物量から考えて大きすぎるため、０．５
ｋｗ前後が最適である。また、チャンバ容量は、導入さ
れる（超）純水の滞溜時間により決定されるが、前記照
射量において、１秒以上、好ましくは２秒以上である。
【００１９】これにより、サークルリターン配管２によ
り一次純水タンク４に戻る純水または超純水に不純物汚
染があった場合、５秒程度以内の早い時間内に純水また
は超純水に不純物汚染を検出することが可能となる。
り一次純水タンク４に戻る純水または超純水に不純物汚
染があった場合、５秒程度以内の早い時間内に純水また
は超純水に不純物汚染を検出することが可能となる。
【００２０】紫外線酸化処理装置１１により紫外線照射
の行われた水は、抵抗率計１２により抵抗率（または導
電率）の測定が行われる。この抵抗率の測定により、純
水または超純水に混入した無機物および有機化合物を検
出することが可能となる。なお、抵抗率計１２は、導電
率計であってもよい。
の行われた水は、抵抗率計１２により抵抗率（または導
電率）の測定が行われる。この抵抗率の測定により、純
水または超純水に混入した無機物および有機化合物を検
出することが可能となる。なお、抵抗率計１２は、導電
率計であってもよい。
【００２１】また、紫外線酸化処理装置１１により紫外
線照射の行われた水は、溶存酸素計１３により溶存酸素
の測定が行われ、純水または超純水に混入した溶存酸素
および過酸化物を検出することが可能となる。
線照射の行われた水は、溶存酸素計１３により溶存酸素
の測定が行われ、純水または超純水に混入した溶存酸素
および過酸化物を検出することが可能となる。
【００２２】この結果、抵抗率計１２および溶存酸素計
１３を用いるだけで、純水または超純水中に含まれる無
機物、溶存酸素、有機化合物および過酸化物を検出する
ことが可能となり、図４のＴＯＣ計１５およびＨ２Ｏ２
モニタ１６を省くことが可能となる。
１３を用いるだけで、純水または超純水中に含まれる無
機物、溶存酸素、有機化合物および過酸化物を検出する
ことが可能となり、図４のＴＯＣ計１５およびＨ２Ｏ２
モニタ１６を省くことが可能となる。
【００２３】不純物検出装置１０により不純物が検出さ
れると、リターン配管２に設けられているバルブ８を閉
じ、バルブ９を開くことにより、汚染水を一次純水タン
ク４に戻すことを停止するとともに、この汚染水を外部
に排出する。これにより、サークルリターン配管２に不
純物が混入した場合においても、一次純水タンク４が汚
染されることを未然に防止することができる。なお、バ
ルブ８、９の開閉は、不純物検出装置１０からの信号に
基づいて自動的に行うことができる。
れると、リターン配管２に設けられているバルブ８を閉
じ、バルブ９を開くことにより、汚染水を一次純水タン
ク４に戻すことを停止するとともに、この汚染水を外部
に排出する。これにより、サークルリターン配管２に不
純物が混入した場合においても、一次純水タンク４が汚
染されることを未然に防止することができる。なお、バ
ルブ８、９の開閉は、不純物検出装置１０からの信号に
基づいて自動的に行うことができる。
【００２４】図２は、本発明の一実施形態に係わる有機
化合物の分解方法を示す図である。なお、図２の実施形
態では、分解対象となる有機化合物として、イソプロピ
ルアルコール（（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ）を例にとって説
明する。
化合物の分解方法を示す図である。なお、図２の実施形
態では、分解対象となる有機化合物として、イソプロピ
ルアルコール（（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ）を例にとって説
明する。
【００２５】図２（ａ）において、イソプロピルアルコ
ール（（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ）が混入した水に紫外線が
照射されると、ＯＨラジカルが生成され、このＯＨラジ
カルがイソプロピルアルコールのＯＨ基に作用すること
により、図２（ｂ）のアセトン（ＣＨ３ＣＯＣＨ３）が
生成される。
ール（（ＣＨ３）２ＣＨＯＨ）が混入した水に紫外線が
照射されると、ＯＨラジカルが生成され、このＯＨラジ
カルがイソプロピルアルコールのＯＨ基に作用すること
により、図２（ｂ）のアセトン（ＣＨ３ＣＯＣＨ３）が
生成される。
【００２６】次に、図２（ｂ）において、紫外線照射に
より生成されたＯＨラジカルがアセトンのＣＨ３基に作
用することにより、図２（ｃ）の酢酸（ＣＨ３ＣＯＯ
Ｈ）が生成される。
より生成されたＯＨラジカルがアセトンのＣＨ３基に作
用することにより、図２（ｃ）の酢酸（ＣＨ３ＣＯＯ
Ｈ）が生成される。
【００２７】次に、図２（ｃ）において、紫外線照射に
より生成されたＯＨラジカルが酢酸（ＣＨ３ＣＯＯＨ）
に作用することにより、図２（ｄ）の二酸化炭素（ＣＯ
２）および水（Ｈ２Ｏ）が生成される。
より生成されたＯＨラジカルが酢酸（ＣＨ３ＣＯＯＨ）
に作用することにより、図２（ｄ）の二酸化炭素（ＣＯ
２）および水（Ｈ２Ｏ）が生成される。
【００２８】図２（ｃ）、（ｄ）で生成された酢酸（Ｃ
Ｈ３ＣＯＯＨ）や二酸化炭素（ＣＯ ２）は、水に溶解す
ることにより、水の抵抗率を低下させる。このため、水
の抵抗率を測定することにより、水に混入したイソプロ
ピルアルコールを検出することができる。
Ｈ３ＣＯＯＨ）や二酸化炭素（ＣＯ ２）は、水に溶解す
ることにより、水の抵抗率を低下させる。このため、水
の抵抗率を測定することにより、水に混入したイソプロ
ピルアルコールを検出することができる。
【００２９】図３は、本発明の一実施形態に係わる超純
水供給システムの構成例を示すブロック図である。この
超純水供給システムは、原水からイオン、パーティク
ル、有機物などの不純物の大部分を取り除いた１次純水
を製造する１次純水系、１次純水をさらにポリッシング
して不純物を極限まで低減した超純水を製造し、クリー
ンルーム内の各ユースポイントに供給する２次純水系、
およびクリーンルーム内の各ユースポイントで洗浄など
に用いられた超純水を回収して再利用する回収系からな
る。
水供給システムの構成例を示すブロック図である。この
超純水供給システムは、原水からイオン、パーティク
ル、有機物などの不純物の大部分を取り除いた１次純水
を製造する１次純水系、１次純水をさらにポリッシング
して不純物を極限まで低減した超純水を製造し、クリー
ンルーム内の各ユースポイントに供給する２次純水系、
およびクリーンルーム内の各ユースポイントで洗浄など
に用いられた超純水を回収して再利用する回収系からな
る。
【００３０】図３において、原水が前処理装置２１に導
入され、原水中の懸濁物質等が分離・除去される。次い
で、前処理装置２１で処理された被処理水は活性炭吸着
装置２２に送られ、被処理水に含まれる有機物が分解さ
れる。次に、有機物が分解された被処理水は２床３塔２
３に送られる。２床３塔２３には、カチオン交換樹脂
塔、（真空）脱気塔及びアニオン交換樹脂塔が設けら
れ、２床３塔２３は、被処理水からイオン成分を除去す
る。次に、イオン成分が除去された被処理水は逆浸透装
置２４に導入され、有機物、微粒子およびコロイド状物
質等の除去が行われる。
入され、原水中の懸濁物質等が分離・除去される。次い
で、前処理装置２１で処理された被処理水は活性炭吸着
装置２２に送られ、被処理水に含まれる有機物が分解さ
れる。次に、有機物が分解された被処理水は２床３塔２
３に送られる。２床３塔２３には、カチオン交換樹脂
塔、（真空）脱気塔及びアニオン交換樹脂塔が設けら
れ、２床３塔２３は、被処理水からイオン成分を除去す
る。次に、イオン成分が除去された被処理水は逆浸透装
置２４に導入され、有機物、微粒子およびコロイド状物
質等の除去が行われる。
【００３１】次に、有機物、微粒子およびコロイド状物
質等の除去が行われた被処理水は混床式イオン交換装置
２５に送られ、被処理水中のイオン成分が除去された
後、真空脱気装置２６で溶存する気体、主として溶存酸
素が除去され、一次純水タンク２７に溜められる。一次
純水タンク２７に溜められた被処理水は、熱交換器２８
を介して低圧紫外線酸化装置２９に導入され、被処理水
の溶存有機物が分解される。次に、溶存有機物が分解さ
れた被処理水は非再生型ポリッシャー３０に送られ、被
処理水中のイオン成分が除去される。次に、イオン成分
が除去された被処理水は限外濾過膜装置３１に導入さ
れ、極微量の微粒子等が除去される。
質等の除去が行われた被処理水は混床式イオン交換装置
２５に送られ、被処理水中のイオン成分が除去された
後、真空脱気装置２６で溶存する気体、主として溶存酸
素が除去され、一次純水タンク２７に溜められる。一次
純水タンク２７に溜められた被処理水は、熱交換器２８
を介して低圧紫外線酸化装置２９に導入され、被処理水
の溶存有機物が分解される。次に、溶存有機物が分解さ
れた被処理水は非再生型ポリッシャー３０に送られ、被
処理水中のイオン成分が除去される。次に、イオン成分
が除去された被処理水は限外濾過膜装置３１に導入さ
れ、極微量の微粒子等が除去される。
【００３２】こうして製造された超純水は、ユースポイ
ント（採水点）３２に供給されるとともに、過剰量の超
純水は、リターン配管３３を介して一次純水タンク２７
に還流される。ここで、不純物検出装置３４は、リター
ン配管３３を流れる超純水を採取し、この超純水に混入
した不純物を測定する。そして、超純水に混入した不純
物が規定値を越える場合は、リターン配管３３に設けら
れているバルブ３５を閉じ、バルブ３６を開くことによ
り、汚染水を純水製造系外に排出し、汚染水が一次純水
タンク２７に戻されることを未然に防止する。また、回
収装置３７により回収された回収水は活性炭吸着装置２
２に戻され、回収水のリサイクルが行われる。
ント（採水点）３２に供給されるとともに、過剰量の超
純水は、リターン配管３３を介して一次純水タンク２７
に還流される。ここで、不純物検出装置３４は、リター
ン配管３３を流れる超純水を採取し、この超純水に混入
した不純物を測定する。そして、超純水に混入した不純
物が規定値を越える場合は、リターン配管３３に設けら
れているバルブ３５を閉じ、バルブ３６を開くことによ
り、汚染水を純水製造系外に排出し、汚染水が一次純水
タンク２７に戻されることを未然に防止する。また、回
収装置３７により回収された回収水は活性炭吸着装置２
２に戻され、回収水のリサイクルが行われる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
有機化合物および過酸化物を紫外線で分解することによ
り、導電率計（または抵抗率計）および溶存酸素計を用
いるだけで、純水または超純水に混入した無機物、溶存
酸素、有機化合物および過酸化物などを検出することが
可能となり、さらに、これらの不純物を５秒以内という
短時間に検出することが可能となり、水質汚染を未然に
防止することが可能となる。
有機化合物および過酸化物を紫外線で分解することによ
り、導電率計（または抵抗率計）および溶存酸素計を用
いるだけで、純水または超純水に混入した無機物、溶存
酸素、有機化合物および過酸化物などを検出することが
可能となり、さらに、これらの不純物を５秒以内という
短時間に検出することが可能となり、水質汚染を未然に
防止することが可能となる。
【図１】本発明の一実施形態に係わる不純物検出システ
ムの概略構成を示すブロック図である。
ムの概略構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態に係わる有機化合物の分解
方法を示す図である。
方法を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係わる超純水供給システ
ムの構成例を示すブロック図である。
ムの構成例を示すブロック図である。
【図４】従来の超純水汚染のモニタ方法を示すブロック
図である。
図である。
１ サークル配管
２、３３ リターン配管
３ 一次純水システム
４ 一次純水タンク
５ ポンプ
６ 超純水システム
７、３２ ユースポイント
８、９、３５、３６ バルブ
１０、３４ 不純物検出装置
１１、２９ 低圧紫外線酸化処理装置
１２ 抵抗率計
１３ 溶存酸素計
２１ 前処理装置
２２ 活性炭吸着装置
２３ ２床３塔
２４ 逆浸透装置
２５ 混床式イオン交換装置
２６ 真空脱気装置
２７ 一次純水タンク
２８ 熱交換器
３０ 非再生型ポリッシャー
３１ 限外濾過装置
３７ 回収装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｇ０１Ｎ 27/10 Ｇ０１Ｎ 27/10
(72)発明者 金 善必
大韓民国京畿道ヨンジ市キフン邑ノンソ
里 サン24 三星電子株式会社内
(72)発明者 竹内 日出夫
神奈川県厚木市岡田２丁目９番８号 野
村マイクロ・サイエンス株式会社内
(72)発明者 鄭 光浩
大韓民国京畿道ソンナム市ブンダン区ソ
ンネ洞６−４ 野村コリア株式会社内
(56)参考文献 特開2000−283939（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−94572（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−145653（ＪＰ，Ａ)
特開2000−131308（ＪＰ，Ａ)
実開 昭58−92655（ＪＰ，Ｕ)
クリーンテクノロジー Ｖｏｌ．７
Ｎｏ．５（199705）ｐ．57−61
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 33/18
Claims (2)
- 【請求項１】 有機物または過酸化物の少なくともいず
れか一方を含む水に紫外線を照射する紫外線照射手段
と、 前記紫外線照射された水の導電率または抵抗率を測定す
る電気伝導測定手段と、 前記紫外線照射された水の溶存酸素を測定する溶存酸素
測定手段とを備えることを特徴とする不純物検出装置。 - 【請求項２】 紫外線照射に基づいて、水に含まれる有
機物および過酸化物を分解するステップと、 前記紫外線照射された水の導電率または抵抗率を測定す
るステップと、 前記紫外線照射された水の溶存酸素を測定するステップ
とを備えることを特徴とする不純物検出方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000379454A JP3452897B2 (ja) | 2000-12-13 | 2000-12-13 | 不純物検出装置および不純物検出方法 |
| KR1020010078492A KR20020046974A (ko) | 2000-12-13 | 2001-12-12 | 불순물 검출 장치 및 불순물 검출 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000379454A JP3452897B2 (ja) | 2000-12-13 | 2000-12-13 | 不純物検出装置および不純物検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002214221A JP2002214221A (ja) | 2002-07-31 |
| JP3452897B2 true JP3452897B2 (ja) | 2003-10-06 |
Family
ID=18847822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000379454A Expired - Lifetime JP3452897B2 (ja) | 2000-12-13 | 2000-12-13 | 不純物検出装置および不純物検出方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3452897B2 (ja) |
| KR (1) | KR20020046974A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3513424B1 (en) * | 2016-09-16 | 2023-07-26 | Applied Materials, Inc. | Uv radiation method for arsenic outgassing control in sub 7nm cmos fabrication |
| JP2018134608A (ja) * | 2017-02-23 | 2018-08-30 | オルガノ株式会社 | 配管のフラッシング方法及びフィルターユニット |
| JP6590964B2 (ja) * | 2018-01-31 | 2019-10-16 | オルガノ株式会社 | 過酸化水素濃度の測定システムおよび測定方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5892655U (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-23 | 株式会社日立製作所 | 溶存酸素計 |
| KR960016302B1 (ko) * | 1992-05-15 | 1996-12-09 | 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 | 순수(純水)의 제조장치 및 순수의 제조방법 |
| US5518608A (en) * | 1994-01-18 | 1996-05-21 | Chubachi; Hiroshi | Water purity determining device and system for producing ultrapure water using such devices |
| JPH07260725A (ja) * | 1994-03-22 | 1995-10-13 | Japan Organo Co Ltd | 有機体炭素測定装置、及び同装置を組込んだ超純水製造装置 |
| JPH0994572A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Hitachi Ltd | 有機物含有水の処理方法及び装置 |
| JPH09145653A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | T & C Technical:Kk | 高導電率試料水の全有機炭素含有量の測定方法及び装置 |
| JP4232186B2 (ja) * | 1998-10-23 | 2009-03-04 | 栗田工業株式会社 | 超純水中の溶存窒素濃度測定装置及び測定方法 |
| JP3712225B2 (ja) * | 1999-03-29 | 2005-11-02 | オルガノ株式会社 | 脱塩水の水質監視方法 |
-
2000
- 2000-12-13 JP JP2000379454A patent/JP3452897B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-12-12 KR KR1020010078492A patent/KR20020046974A/ko not_active Application Discontinuation
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| Title |
|---|
| クリーンテクノロジー Ｖｏｌ．７ Ｎｏ．５（１９９７０５）ｐ．５７−６１ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20020046974A (ko) | 2002-06-21 |
| JP2002214221A (ja) | 2002-07-31 |
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