JPH09145653A - 高導電率試料水の全有機炭素含有量の測定方法及び装置 - Google Patents
高導電率試料水の全有機炭素含有量の測定方法及び装置Info
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- JPH09145653A JPH09145653A JP32975195A JP32975195A JPH09145653A JP H09145653 A JPH09145653 A JP H09145653A JP 32975195 A JP32975195 A JP 32975195A JP 32975195 A JP32975195 A JP 32975195A JP H09145653 A JPH09145653 A JP H09145653A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 導電率が比較的高い水その他の液体のＴＯＣ
量を紫外線酸化／導電率変化モニター方式により正確且
つ迅速に測定できるようにすることにある。 【解決手段】 試料水中のＴＯＣに影響を及ぼさない
で、試料水の導電率を所定レベルまで低減させる電気透
析装置（18）が、紫外線酸化／導電率変化モニター方式
のＴＯＣ計（16）の上流側に設けられる。ＴＯＣ計（1
6）は、その使用可能な範囲まで導電率の低減した試料
水に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化学的に変
化させ、紫外線照射の前後における試料水の導電率測定
値の差に基づいてＴＯＣ量を決定する。導電率低減／Ｔ
ＯＣ測定装置（10）により、半導体洗浄用純水製造シス
テムに用いられる高導電率の原水又は使用済み洗浄水の
ＴＯＣ測定値が所定レベル以上であれば、これをプロセ
スラインから排出できる。
量を紫外線酸化／導電率変化モニター方式により正確且
つ迅速に測定できるようにすることにある。 【解決手段】 試料水中のＴＯＣに影響を及ぼさない
で、試料水の導電率を所定レベルまで低減させる電気透
析装置（18）が、紫外線酸化／導電率変化モニター方式
のＴＯＣ計（16）の上流側に設けられる。ＴＯＣ計（1
6）は、その使用可能な範囲まで導電率の低減した試料
水に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化学的に変
化させ、紫外線照射の前後における試料水の導電率測定
値の差に基づいてＴＯＣ量を決定する。導電率低減／Ｔ
ＯＣ測定装置（10）により、半導体洗浄用純水製造シス
テムに用いられる高導電率の原水又は使用済み洗浄水の
ＴＯＣ測定値が所定レベル以上であれば、これをプロセ
スラインから排出できる。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、一般に導電率が比較的
高い試料水に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ）量の測定に
関し、より詳細には、半導体洗浄用純水、医療用薬品製
造又は注射液製造用純水の製造システムで処理される原
水のＴＯＣ量を測定する紫外線酸化／導電率変化モニタ
ー方式の全有機炭素計（以下、「ＴＯＣ計」という）に
関する。また、本発明は特に、半導体洗浄用純水製造シ
ステムにおいて、半導体洗浄後に回収される高導電率の
使用済み純水のＴＯＣ量を測定する上記方式のＴＯＣ計
及び半導体洗浄用純水製造システムの作動方法に関す
る。
高い試料水に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ）量の測定に
関し、より詳細には、半導体洗浄用純水、医療用薬品製
造又は注射液製造用純水の製造システムで処理される原
水のＴＯＣ量を測定する紫外線酸化／導電率変化モニタ
ー方式の全有機炭素計（以下、「ＴＯＣ計」という）に
関する。また、本発明は特に、半導体洗浄用純水製造シ
ステムにおいて、半導体洗浄後に回収される高導電率の
使用済み純水のＴＯＣ量を測定する上記方式のＴＯＣ計
及び半導体洗浄用純水製造システムの作動方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】純水
は、半導体の洗浄用、医療用薬品や注射液などの製造
用、化学分析用等として用いられており、不純物、例え
ば微粒子、各種イオン、細菌等の微生物、有機化合物、
溶存酸素等の溶解物質を実質的に含んでいないことが必
要である。水の清浄化のために種々の技術が実用化され
ている。かかる技術としては、逆浸透法、蒸留法、イオ
ン交換法、吸着法、真空脱気法、紫外線酸化法、限外濾
過を含む種々の濾過法があり、純水の製造にあたって
は、これら技術は組み合わされて利用されるのが通例で
ある。特に、例えば半導体製造分野では、ＬＳＩの集積
度の増大につれ回路の間隔が狭くなっているので、回路
短絡を防止するために半導体洗浄水を一層高純度にする
必要があり、イオンのみならず、微粒子、細菌や有機物
質も可能な限り除去しなければならない。このため、半
導体洗浄用純水製造プロセスでは、イオン汚染物質や有
機汚染物質等の不純物を含有する原水流を清浄化して純
水にするために、イオン交換装置や限外濾過装置を含む
純水装置又はポリシャーが用いられている。
は、半導体の洗浄用、医療用薬品や注射液などの製造
用、化学分析用等として用いられており、不純物、例え
ば微粒子、各種イオン、細菌等の微生物、有機化合物、
溶存酸素等の溶解物質を実質的に含んでいないことが必
要である。水の清浄化のために種々の技術が実用化され
ている。かかる技術としては、逆浸透法、蒸留法、イオ
ン交換法、吸着法、真空脱気法、紫外線酸化法、限外濾
過を含む種々の濾過法があり、純水の製造にあたって
は、これら技術は組み合わされて利用されるのが通例で
ある。特に、例えば半導体製造分野では、ＬＳＩの集積
度の増大につれ回路の間隔が狭くなっているので、回路
短絡を防止するために半導体洗浄水を一層高純度にする
必要があり、イオンのみならず、微粒子、細菌や有機物
質も可能な限り除去しなければならない。このため、半
導体洗浄用純水製造プロセスでは、イオン汚染物質や有
機汚染物質等の不純物を含有する原水流を清浄化して純
水にするために、イオン交換装置や限外濾過装置を含む
純水装置又はポリシャーが用いられている。
【０００３】純水の清浄度を表す種々の方式の一つとし
て、２５℃における水の導電率（単位：μＳ／cm）表示
による目安があり、半導体洗浄用途では、０．０５６μ
Ｓ／cm以下の導電率が要求される場合がある。別の表示
方式として、最近では、水中の有機物の炭素量で汚染度
を表す方式である全有機炭素（ＴＯＣ）量（単位：mg／
l 又はｐｐｂ）が用いられることが多い。半導体洗浄用
途では、０．２０mg／l 以下のＴＯＣ量が要求される場
合がある。
て、２５℃における水の導電率（単位：μＳ／cm）表示
による目安があり、半導体洗浄用途では、０．０５６μ
Ｓ／cm以下の導電率が要求される場合がある。別の表示
方式として、最近では、水中の有機物の炭素量で汚染度
を表す方式である全有機炭素（ＴＯＣ）量（単位：mg／
l 又はｐｐｂ）が用いられることが多い。半導体洗浄用
途では、０．２０mg／l 以下のＴＯＣ量が要求される場
合がある。
【０００４】純水のＴＯＣ量を測定する手段として、紫
外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター方式と高温酸化
／ＣＯ2 分析方式の全有機炭素（ＴＯＣ）計がある。前
者のＴＯＣ計の一例について、その測定原理を図５を用
いて簡単に説明すると、測定ライン１中を流れる試料水
（純水）の導電率を導電率センサ２で測定した後、かか
る試料水を紫外線照射室３内へ導入し、ここで試料水に
紫外線を照射して試料水中の有機炭素を有機酸又は他の
物質、例えばＣＯ2 に変化させる。しかる後、試料水の
導電率を導電率センサ４で測定し、導電率センサ２，４
で得た導電率の変化を表す差に基づいて既知のデータか
ら純水のＴＯＣ量を求める。かかるＴＯＣ計は例えば、
東京都足立区所在のティー・アンド・シー・テクニカル
社より入手できる。
外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター方式と高温酸化
／ＣＯ2 分析方式の全有機炭素（ＴＯＣ）計がある。前
者のＴＯＣ計の一例について、その測定原理を図５を用
いて簡単に説明すると、測定ライン１中を流れる試料水
（純水）の導電率を導電率センサ２で測定した後、かか
る試料水を紫外線照射室３内へ導入し、ここで試料水に
紫外線を照射して試料水中の有機炭素を有機酸又は他の
物質、例えばＣＯ2 に変化させる。しかる後、試料水の
導電率を導電率センサ４で測定し、導電率センサ２，４
で得た導電率の変化を表す差に基づいて既知のデータか
ら純水のＴＯＣ量を求める。かかるＴＯＣ計は例えば、
東京都足立区所在のティー・アンド・シー・テクニカル
社より入手できる。
【０００５】ところで、純水製造装置に供給される原水
又は半導体洗浄用純水製造システムの半導体洗浄プロセ
ス部から再生のために回収される使用済み純水は、高い
導電率（１００〜１０００μＳ／cm）を有するだけでな
く、相当高いＴＯＣ量を含む場合がある。特に、半導体
洗浄プロセス部からの回収純水には、半導体洗浄プロセ
ス部で用いられた有機溶剤が混入することがあり、この
場合には使用済み純水のＴＯＣ量は約５００ｐｐｂ以上
にもなる。所定レベルを越えるＴＯＣ量を含有する原水
又は使用済み純水を清浄化するには、一層大がかりな構
成の純水装置が必要となってコスト高を招くと共に時間
もかかる。
又は半導体洗浄用純水製造システムの半導体洗浄プロセ
ス部から再生のために回収される使用済み純水は、高い
導電率（１００〜１０００μＳ／cm）を有するだけでな
く、相当高いＴＯＣ量を含む場合がある。特に、半導体
洗浄プロセス部からの回収純水には、半導体洗浄プロセ
ス部で用いられた有機溶剤が混入することがあり、この
場合には使用済み純水のＴＯＣ量は約５００ｐｐｂ以上
にもなる。所定レベルを越えるＴＯＣ量を含有する原水
又は使用済み純水を清浄化するには、一層大がかりな構
成の純水装置が必要となってコスト高を招くと共に時間
もかかる。
【０００６】したがって、プロセスライン中の原水流や
回収再生ライン中の使用済み純水流のＴＯＣ量を測定し
て、これが所定レベルを越えるときには、かかる原水や
使用済み純水をプロセスライン又は回収ラインからシス
テム外へ排出することが望ましい。純水のＴＯＣ量の測
定に用いられているＴＯＣ計をかかる用途に利用でき
る。
回収再生ライン中の使用済み純水流のＴＯＣ量を測定し
て、これが所定レベルを越えるときには、かかる原水や
使用済み純水をプロセスライン又は回収ラインからシス
テム外へ排出することが望ましい。純水のＴＯＣ量の測
定に用いられているＴＯＣ計をかかる用途に利用でき
る。
【０００７】しかしながら、紫外線（ＵＶ）酸化／導電
率変化モニター方式のＴＯＣ計は、導電率の高い、例え
ば約１０〜２０μＳ／cm以上の水に対しては、実際問題
として使用困難であることが判明した。というのは、例
えば、被検水の成分によっては、例えば、水にアンモニ
アが含まれていると、紫外線照射後、被検水の導電率が
結果的に低下し、真のＴＯＣの読みが得られない場合が
あるからである。
率変化モニター方式のＴＯＣ計は、導電率の高い、例え
ば約１０〜２０μＳ／cm以上の水に対しては、実際問題
として使用困難であることが判明した。というのは、例
えば、被検水の成分によっては、例えば、水にアンモニ
アが含まれていると、紫外線照射後、被検水の導電率が
結果的に低下し、真のＴＯＣの読みが得られない場合が
あるからである。
【０００８】このような高導電率の水に対しては高温酸
化／ＣＯ2 分析方式のＴＯＣ計を使えるが、この方式の
ＴＯＣ計は高価であり、また測定中に酸化剤を用いるた
めに一層多くの工程を必要とし、取扱いが面倒であっ
た。
化／ＣＯ2 分析方式のＴＯＣ計を使えるが、この方式の
ＴＯＣ計は高価であり、また測定中に酸化剤を用いるた
めに一層多くの工程を必要とし、取扱いが面倒であっ
た。
【０００９】上記の課題を考慮して、本発明の主目的
は、導電率が比較的高い水その他の液体のＴＯＣ量を紫
外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター方式により正確
且つ迅速に測定できるようにすることにある。
は、導電率が比較的高い水その他の液体のＴＯＣ量を紫
外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター方式により正確
且つ迅速に測定できるようにすることにある。
【００１０】本発明の別の目的は、純水装置に供給され
る有機炭素を含む高導電率の原水に対して、紫外線（Ｕ
Ｖ）酸化／導電率変化モニター方式のＴＯＣ計を利用で
きるようにし、原水のＴＯＣ量が所定レベル以上の場合
には、原水を純水装置の上流で純水製造プロセスライン
から排出するようになった純水製造システムを提供する
ことにある。
る有機炭素を含む高導電率の原水に対して、紫外線（Ｕ
Ｖ）酸化／導電率変化モニター方式のＴＯＣ計を利用で
きるようにし、原水のＴＯＣ量が所定レベル以上の場合
には、原水を純水装置の上流で純水製造プロセスライン
から排出するようになった純水製造システムを提供する
ことにある。
【００１１】本発明のもう一つの目的は、半導体洗浄用
純水製造システムの半導体洗浄プロセス部から再生のた
めに回収ラインを経て純水装置に循環する使用済み純水
のＴＯＣ量を紫外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター
方式により正確に測定して、ＴＯＣ量が所定レベル以上
の場合には、使用済み純水を回収ラインからシステム外
へ排出するようになった半導体洗浄用純水製造システム
及びその作動方法を提供する。
純水製造システムの半導体洗浄プロセス部から再生のた
めに回収ラインを経て純水装置に循環する使用済み純水
のＴＯＣ量を紫外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター
方式により正確に測定して、ＴＯＣ量が所定レベル以上
の場合には、使用済み純水を回収ラインからシステム外
へ排出するようになった半導体洗浄用純水製造システム
及びその作動方法を提供する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、導電率
の高い試料水に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ）量の測定
方法において、試料水中のＴＯＣに影響を及ぼさない
で、試料水の導電率を所定レベルまで低減させ、しかる
後、試料水の導電率を測定して第１の読みを得、試料水
に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化学的に変化
させた後に試料水の導電率を測定して第２の読みを得、
導電率の変化を表す第１の読みと第２の読みの差に基づ
いてＴＯＣ量を決定することを特徴とする方法にある。
の高い試料水に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ）量の測定
方法において、試料水中のＴＯＣに影響を及ぼさない
で、試料水の導電率を所定レベルまで低減させ、しかる
後、試料水の導電率を測定して第１の読みを得、試料水
に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化学的に変化
させた後に試料水の導電率を測定して第２の読みを得、
導電率の変化を表す第１の読みと第２の読みの差に基づ
いてＴＯＣ量を決定することを特徴とする方法にある。
【００１３】さらに、本発明の要旨は、導電率の高い試
料水に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ）量の測定装置にお
いて、試料水中のＴＯＣに影響を及ぼさないで、試料水
の導電率を所定レベルまで低減させる手段と、導電率低
減手段と流体連通状態に配置されていて、導電率低減手
段の出力試料水のＴＯＣ量を測定するための紫外線酸化
／導電率変化モニター方式のＴＯＣ計との組合せから成
り、該ＴＯＣ計は、試料水に紫外線を照射して試料水中
の有機炭素を化学的に変化させる手段と、紫外線照射の
前後における試料水の導電率測定値の差に基づいてＴＯ
Ｃ量を決定する手段とを含むことを特徴とする装置にあ
る。
料水に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ）量の測定装置にお
いて、試料水中のＴＯＣに影響を及ぼさないで、試料水
の導電率を所定レベルまで低減させる手段と、導電率低
減手段と流体連通状態に配置されていて、導電率低減手
段の出力試料水のＴＯＣ量を測定するための紫外線酸化
／導電率変化モニター方式のＴＯＣ計との組合せから成
り、該ＴＯＣ計は、試料水に紫外線を照射して試料水中
の有機炭素を化学的に変化させる手段と、紫外線照射の
前後における試料水の導電率測定値の差に基づいてＴＯ
Ｃ量を決定する手段とを含むことを特徴とする装置にあ
る。
【００１４】試料水の導電率は、最高約１０００μＳ／
cm、好ましくは、約１００〜１０００μＳ／cmである。
試料水の導電率低減段階では、導電率を約１０〜２０μ
Ｓ／cm以下に低減させる。好ましくは、試料水を電気透
析して導電率を低減させる。試料水の導電率を低減させ
るために用いられる電気透析装置は好ましくは、少なく
とも一対の陽イオン交換膜と陰イオン交換膜を有する。
cm、好ましくは、約１００〜１０００μＳ／cmである。
試料水の導電率低減段階では、導電率を約１０〜２０μ
Ｓ／cm以下に低減させる。好ましくは、試料水を電気透
析して導電率を低減させる。試料水の導電率を低減させ
るために用いられる電気透析装置は好ましくは、少なく
とも一対の陽イオン交換膜と陰イオン交換膜を有する。
【００１５】さらに、本発明の要旨は、有機炭素を含む
不純物を含有した原水流を清浄化して純水にする純水装
置を含む純水製造システムにおいて、全有機炭素（ＴＯ
Ｃ）量測定のために純水装置の上流側で純水製造プロセ
スラインから原水流の一部を試料水として採取する手段
と、採取手段と流体連通状態に設けられた導電率低減／
ＴＯＣ測定装置とを有し、導電率低減／ＴＯＣ測定装置
は、試料水流中のＴＯＣに影響を及ぼさないで、試料水
の導電率を所定レベルまで低減させる手段と、導電率低
減手段と連携していて、導電率低減手段の出力試料水の
ＴＯＣ量を測定するための紫外線酸化／導電率変化モニ
ター方式のＴＯＣ計との組合せから成り、該ＴＯＣ計
は、試料水に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化
学的に変化させる手段と、紫外線照射の前後における試
料水の導電率測定値の差に基づいてＴＯＣ量を決定する
手段とを含み、前記純水製造システムは更に、純水装置
とプロセスラインの試料水採取箇所との間でプロセスラ
イン中に設けられていて、ＴＯＣ計と連携のコンピュー
タ制御装置により制御自在な弁装置を有し、弁装置は、
常態では原水を通過させるようになっており、ＴＯＣ計
で測定されたＴＯＣ量が所定レベル以上の場合には原水
をプロセスラインから排出するよう動作できることを特
徴とするシステムにある。
不純物を含有した原水流を清浄化して純水にする純水装
置を含む純水製造システムにおいて、全有機炭素（ＴＯ
Ｃ）量測定のために純水装置の上流側で純水製造プロセ
スラインから原水流の一部を試料水として採取する手段
と、採取手段と流体連通状態に設けられた導電率低減／
ＴＯＣ測定装置とを有し、導電率低減／ＴＯＣ測定装置
は、試料水流中のＴＯＣに影響を及ぼさないで、試料水
の導電率を所定レベルまで低減させる手段と、導電率低
減手段と連携していて、導電率低減手段の出力試料水の
ＴＯＣ量を測定するための紫外線酸化／導電率変化モニ
ター方式のＴＯＣ計との組合せから成り、該ＴＯＣ計
は、試料水に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化
学的に変化させる手段と、紫外線照射の前後における試
料水の導電率測定値の差に基づいてＴＯＣ量を決定する
手段とを含み、前記純水製造システムは更に、純水装置
とプロセスラインの試料水採取箇所との間でプロセスラ
イン中に設けられていて、ＴＯＣ計と連携のコンピュー
タ制御装置により制御自在な弁装置を有し、弁装置は、
常態では原水を通過させるようになっており、ＴＯＣ計
で測定されたＴＯＣ量が所定レベル以上の場合には原水
をプロセスラインから排出するよう動作できることを特
徴とするシステムにある。
【００１６】好ましくは、純水は、半導体の洗浄に用い
られる超純水であり、原水を排出させるＴＯＣ量の所定
レベルは、約５００ｐｐｂである。
られる超純水であり、原水を排出させるＴＯＣ量の所定
レベルは、約５００ｐｐｂである。
【００１７】また、本発明の要旨は、有機炭素を含む不
純物を含有した原水流を清浄化して超純水にする純水装
置と、純水による半導体洗浄プロセス部と、半導体洗浄
プロセス部からの使用済み純水を純水装置に循環させる
回収再生ラインとを含む半導体洗浄用純水製造システム
において、使用済み純水中の全有機炭素（ＴＯＣ）量測
定のために回収再生ラインから使用済み純水流の一部を
試料水として採取する手段と、採取手段と流体連通状態
に設けられた導電率低減／ＴＯＣ測定装置とを有し、導
電率低減／ＴＯＣ測定装置は、試料水流中のＴＯＣに影
響を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベルまで低
減させる手段と、導電率低減手段と連携していて、導電
率低減手段の出力試料水のＴＯＣ量を測定するための紫
外線酸化／導電率変化モニター方式のＴＯＣ計との組合
せから成り、該ＴＯＣ計は、試料水に紫外線を照射して
試料水中の有機炭素を化学的に変化させる手段と、紫外
線照射の前後における試料水の導電率測定値の差に基づ
いてＴＯＣ量を決定する手段とを含み、前記純水製造シ
ステムは更に、回収再生ラインの試料水採取箇所の下流
で回収再生ライン中に設けられていて、ＴＯＣ計と連携
のコンピュータ制御装置により制御自在な弁装置を有
し、弁装置は、常態では使用済み純水を通過させるよう
になっており、ＴＯＣ計で測定されたＴＯＣ量が所定レ
ベル以上の場合には使用済み純水を回収再生ラインから
排出するよう動作できることを特徴とするシステムにあ
る。
純物を含有した原水流を清浄化して超純水にする純水装
置と、純水による半導体洗浄プロセス部と、半導体洗浄
プロセス部からの使用済み純水を純水装置に循環させる
回収再生ラインとを含む半導体洗浄用純水製造システム
において、使用済み純水中の全有機炭素（ＴＯＣ）量測
定のために回収再生ラインから使用済み純水流の一部を
試料水として採取する手段と、採取手段と流体連通状態
に設けられた導電率低減／ＴＯＣ測定装置とを有し、導
電率低減／ＴＯＣ測定装置は、試料水流中のＴＯＣに影
響を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベルまで低
減させる手段と、導電率低減手段と連携していて、導電
率低減手段の出力試料水のＴＯＣ量を測定するための紫
外線酸化／導電率変化モニター方式のＴＯＣ計との組合
せから成り、該ＴＯＣ計は、試料水に紫外線を照射して
試料水中の有機炭素を化学的に変化させる手段と、紫外
線照射の前後における試料水の導電率測定値の差に基づ
いてＴＯＣ量を決定する手段とを含み、前記純水製造シ
ステムは更に、回収再生ラインの試料水採取箇所の下流
で回収再生ライン中に設けられていて、ＴＯＣ計と連携
のコンピュータ制御装置により制御自在な弁装置を有
し、弁装置は、常態では使用済み純水を通過させるよう
になっており、ＴＯＣ計で測定されたＴＯＣ量が所定レ
ベル以上の場合には使用済み純水を回収再生ラインから
排出するよう動作できることを特徴とするシステムにあ
る。
【００１８】さらに、本発明の要旨は、有機炭素を含む
不純物を含有した原水流を清浄化して超純水にする純水
装置と、純水による半導体洗浄プロセス部と、半導体洗
浄プロセス部からの使用済み純水を純水装置に循環させ
る回収再生ラインとを含む半導体洗浄用純水製造システ
ムの作動方法において、使用済み純水中の全有機炭素
（ＴＯＣ）量測定のために回収再生ラインから使用済み
純水流の一部を試料水として採取し、試料水流中のＴＯ
Ｃに影響を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベル
まで低減させ、しかる後、試料水の導電率を測定して第
１の読みを得、試料水に紫外線を照射して試料水中の有
機炭素を化学的に変化させた後に試料水の導電率を測定
して第２の読みを得、導電率の変化を表す第１の読みと
第２の読みの差に基づいてＴＯＣ量を決定し、ＴＯＣ量
が所定レベル以上の場合には使用済み純水の流れを回収
再生ラインから排出することを特徴とする方法にある。
不純物を含有した原水流を清浄化して超純水にする純水
装置と、純水による半導体洗浄プロセス部と、半導体洗
浄プロセス部からの使用済み純水を純水装置に循環させ
る回収再生ラインとを含む半導体洗浄用純水製造システ
ムの作動方法において、使用済み純水中の全有機炭素
（ＴＯＣ）量測定のために回収再生ラインから使用済み
純水流の一部を試料水として採取し、試料水流中のＴＯ
Ｃに影響を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベル
まで低減させ、しかる後、試料水の導電率を測定して第
１の読みを得、試料水に紫外線を照射して試料水中の有
機炭素を化学的に変化させた後に試料水の導電率を測定
して第２の読みを得、導電率の変化を表す第１の読みと
第２の読みの差に基づいてＴＯＣ量を決定し、ＴＯＣ量
が所定レベル以上の場合には使用済み純水の流れを回収
再生ラインから排出することを特徴とする方法にある。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の概念説明図であ
る。導電率が比較的高い、例えば約１０００μＳ／cm以
下、好ましくは約１００〜１０００μＳ／cmの水又は液
体に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ）量を測定するための
本発明の導電率低減／ＴＯＣ測定ユニット１０が、試料
水採取ライン１２を介してプロセス流ライン１４と連通
して設けられている。プロセス流ライン１４中を流れる
代表的な液体として、水道水、地下水のような一般水、
工業用水、医療用薬品製造用純水の原水、半導体洗浄用
純水の原水、半導体洗浄プロセスから回収される使用済
み純水、及びこれらの混合物を挙げることができる。
る。導電率が比較的高い、例えば約１０００μＳ／cm以
下、好ましくは約１００〜１０００μＳ／cmの水又は液
体に含まれる全有機炭素（ＴＯＣ）量を測定するための
本発明の導電率低減／ＴＯＣ測定ユニット１０が、試料
水採取ライン１２を介してプロセス流ライン１４と連通
して設けられている。プロセス流ライン１４中を流れる
代表的な液体として、水道水、地下水のような一般水、
工業用水、医療用薬品製造用純水の原水、半導体洗浄用
純水の原水、半導体洗浄プロセスから回収される使用済
み純水、及びこれらの混合物を挙げることができる。
【００２０】ユニット１０は、紫外線（ＵＶ）酸化／導
電率変化モニター方式のＴＯＣ計１６と、該ＴＯＣ計の
上流側にこれと流体連通状態で配置されていて、試料水
中のＴＯＣに影響を及ぼさないで、試料水の導電率を所
定レベルまで低減させる導電率低減手段、例えば電気透
析装置１８との組合せから成る。電気透析装置１８は、
例えば図４に示すように間隔を置いて対向配置された一
対の陰イオン交換膜Ａと陽イオン交換膜Ｃを包囲してプ
ラス電極Ｅ（＋）とマイナス電極Ｅ（−）を設けて構成
した従来型のものである。当業者には周知であるが、図
示の電気透析装置の原理を簡単に説明すると、それぞれ
の構成要素間に原水を通すと、原水中の陽イオンは電極
Ｅ（−）へ引き寄せられると共に陰イオンは電極Ｅ
（＋）に引き寄せられ、かくして陰イオン交換膜Ａと陽
イオン交換膜Ｃの間の水の流れは脱イオン化され、ＴＯ
Ｃ量は変化しないが、導電率は低減した透過水が得られ
ることになる。なお、電気透析装置は、両電極間に複数
対の陰イオン交換膜と陽イオン交換膜を交互に配置した
ものを採用しても良い。なお、導電率低減手段として、
ＴＯＣを吸着しないイオン交換樹脂も使用可能である
が、有効寿命が短いので実用的ではない。電気透析装置
に用いられるイオン交換膜は、通電により自己再生しな
がら動作できるので、長期間にわたり使用可能である。
なお、かかるイオン交換膜の間にイオン交換樹脂ビーズ
を設けると一層良好な脱イオン化が達成される。
電率変化モニター方式のＴＯＣ計１６と、該ＴＯＣ計の
上流側にこれと流体連通状態で配置されていて、試料水
中のＴＯＣに影響を及ぼさないで、試料水の導電率を所
定レベルまで低減させる導電率低減手段、例えば電気透
析装置１８との組合せから成る。電気透析装置１８は、
例えば図４に示すように間隔を置いて対向配置された一
対の陰イオン交換膜Ａと陽イオン交換膜Ｃを包囲してプ
ラス電極Ｅ（＋）とマイナス電極Ｅ（−）を設けて構成
した従来型のものである。当業者には周知であるが、図
示の電気透析装置の原理を簡単に説明すると、それぞれ
の構成要素間に原水を通すと、原水中の陽イオンは電極
Ｅ（−）へ引き寄せられると共に陰イオンは電極Ｅ
（＋）に引き寄せられ、かくして陰イオン交換膜Ａと陽
イオン交換膜Ｃの間の水の流れは脱イオン化され、ＴＯ
Ｃ量は変化しないが、導電率は低減した透過水が得られ
ることになる。なお、電気透析装置は、両電極間に複数
対の陰イオン交換膜と陽イオン交換膜を交互に配置した
ものを採用しても良い。なお、導電率低減手段として、
ＴＯＣを吸着しないイオン交換樹脂も使用可能である
が、有効寿命が短いので実用的ではない。電気透析装置
に用いられるイオン交換膜は、通電により自己再生しな
がら動作できるので、長期間にわたり使用可能である。
なお、かかるイオン交換膜の間にイオン交換樹脂ビーズ
を設けると一層良好な脱イオン化が達成される。
【００２１】再び、図１を参照すると、本発明の紫外線
（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター方式ＴＯＣ計を適用
できる試料水の導電率は、約１０〜２０μＳ／cm以下で
あることが知られている。このために、試料水採取ライ
ン中でＴＯＣ計の前に、即ち上流側に配置された電気透
析装置１８は、導電率が約１００〜１０００μＳ／cmの
試料水を電気透析して導電率が約１０〜２０μＳ／cm以
下になるように構成される。好ましくは電気透析装置の
入口側と出口側に設けられた導電率センサ２０ａ，２０
ｂで導電率の変化を確認するのが良い。
（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター方式ＴＯＣ計を適用
できる試料水の導電率は、約１０〜２０μＳ／cm以下で
あることが知られている。このために、試料水採取ライ
ン中でＴＯＣ計の前に、即ち上流側に配置された電気透
析装置１８は、導電率が約１００〜１０００μＳ／cmの
試料水を電気透析して導電率が約１０〜２０μＳ／cm以
下になるように構成される。好ましくは電気透析装置の
入口側と出口側に設けられた導電率センサ２０ａ，２０
ｂで導電率の変化を確認するのが良い。
【００２２】かくして、プロセス流ライン１４中の高導
電率の水の流れの一部をライン１２により試料水として
採取し、これを電気透析装置１８で電気透析して導電率
を所定のレベル、好ましくは約１０〜２０μＳ／cm以下
に減少させる。出力試料水である透過水をＴＯＣ計１６
に送り込み、ここで公知の方法で、即ち、流入試料水の
導電率を測定して第１の読みを得、次いで、試料水に紫
外線を照射して試料水中の有機炭素を有機酸又はＣＯ2
に変化させた後に試料水の導電率を測定して第２の読み
を得、導電率の変化を表す第１の読みと第２の読みの差
に基づいて被検水のＴＯＣを求める。本発明によれば、
導電率低減手段を紫外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニ
ター方式ＴＯＣ計の上流側に配置しているので、導電率
の高い水、例えば約２００〜３００μＳ／cmの一般水や
約５００μＳ／cm台の半導体洗浄使用済み水であって
も、そのＴＯＣ量を正確に決定できる。
電率の水の流れの一部をライン１２により試料水として
採取し、これを電気透析装置１８で電気透析して導電率
を所定のレベル、好ましくは約１０〜２０μＳ／cm以下
に減少させる。出力試料水である透過水をＴＯＣ計１６
に送り込み、ここで公知の方法で、即ち、流入試料水の
導電率を測定して第１の読みを得、次いで、試料水に紫
外線を照射して試料水中の有機炭素を有機酸又はＣＯ2
に変化させた後に試料水の導電率を測定して第２の読み
を得、導電率の変化を表す第１の読みと第２の読みの差
に基づいて被検水のＴＯＣを求める。本発明によれば、
導電率低減手段を紫外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニ
ター方式ＴＯＣ計の上流側に配置しているので、導電率
の高い水、例えば約２００〜３００μＳ／cmの一般水や
約５００μＳ／cm台の半導体洗浄使用済み水であって
も、そのＴＯＣ量を正確に決定できる。
【００２３】図２は、本発明の電気透析装置／ＴＯＣ計
ユニット１０を、有機炭素を含む不純物を含有した原水
流、例えば地下水、水道水等を清浄化して純水にする純
水製造システム３０に組み込んだ構成例を示している。
かかる純水製造システムは、半導体の洗浄用、医療用薬
品や注射液などの製造用、化学分析用等として用いられ
る純水を製造するよう構成されたものであるのが良い。
このシステムに用いられる原水は比較的高い、例えば約
１００〜１０００μＳ／cmの導電率を有する場合があ
る。純水装置３２は一般に、逆浸透装置、蒸留装置、イ
オン交換装置、吸着装置、真空脱気装置、紫外線殺菌装
置、及び限外濾過装置等を組み合わせて構成された従来
型のものであって、約１μＳ／cmの純水を製造すること
ができる。半導体工業では、いわゆるポリシャーが用い
られ、超純水を得ることができる。得られた純水はユー
スポイント３４で所定の目的のために使用することがで
きる。
ユニット１０を、有機炭素を含む不純物を含有した原水
流、例えば地下水、水道水等を清浄化して純水にする純
水製造システム３０に組み込んだ構成例を示している。
かかる純水製造システムは、半導体の洗浄用、医療用薬
品や注射液などの製造用、化学分析用等として用いられ
る純水を製造するよう構成されたものであるのが良い。
このシステムに用いられる原水は比較的高い、例えば約
１００〜１０００μＳ／cmの導電率を有する場合があ
る。純水装置３２は一般に、逆浸透装置、蒸留装置、イ
オン交換装置、吸着装置、真空脱気装置、紫外線殺菌装
置、及び限外濾過装置等を組み合わせて構成された従来
型のものであって、約１μＳ／cmの純水を製造すること
ができる。半導体工業では、いわゆるポリシャーが用い
られ、超純水を得ることができる。得られた純水はユー
スポイント３４で所定の目的のために使用することがで
きる。
【００２４】図示のように、原水のＴＯＣ量を測定する
ための本発明の導電率低減／ＴＯＣ測定装置１０が採取
測定ライン１２を介して純水装置３２の上流側、原水タ
ンク３６が設けられている場合にはその上流側のプロセ
スライン１４に流体連通状態で結合されている。さら
に、原水採取部と純水装置３２又は原水タンク３６との
間でプロセス流ライン１４中には、ライン中の原水流を
システム外へ排出するよう動作できる弁装置３８が設け
られている。ユニット１０のＴＯＣ計１６はコンピュー
タ制御装置４０に接続されており、かかるコンピュータ
制御装置は又、ＴＯＣ計で得られるＴＯＣ量の読みに応
じて弁装置３８の動作を制御できるよう接続されてい
る。弁装置は、常態では原水流を原水タンク３６へ通過
させるようになっていることが望ましい。
ための本発明の導電率低減／ＴＯＣ測定装置１０が採取
測定ライン１２を介して純水装置３２の上流側、原水タ
ンク３６が設けられている場合にはその上流側のプロセ
スライン１４に流体連通状態で結合されている。さら
に、原水採取部と純水装置３２又は原水タンク３６との
間でプロセス流ライン１４中には、ライン中の原水流を
システム外へ排出するよう動作できる弁装置３８が設け
られている。ユニット１０のＴＯＣ計１６はコンピュー
タ制御装置４０に接続されており、かかるコンピュータ
制御装置は又、ＴＯＣ計で得られるＴＯＣ量の読みに応
じて弁装置３８の動作を制御できるよう接続されてい
る。弁装置は、常態では原水流を原水タンク３６へ通過
させるようになっていることが望ましい。
【００２５】動作原理を説明すると、原水が純水装置３
２に流入する前に、好ましくは原水タンク３６の上流側
で純水製造プロセスライン１４から測定ライン１２を経
て原水の一部を試料水として採取し、導電率低減／ＴＯ
Ｃ測定装置１０に送る。電気透析装置１８は試料水を電
気透析して、試料水の導電率が所定のレベル、例えば約
１０〜２０μＳ／cm以下になるようにする。ＴＯＣ量が
そのままの状態で導電率の減少した試料水を紫外線酸化
／導電率変化モニター方式ＴＯＣ計に送り込む。ここで
上述した方法でＴＯＣ量を決定する。もしＴＯＣ量の読
みが所望のレベル、例えば半導体洗浄分野では約５００
ｐｐｂよりも高い場合、連携のコンピュータ制御装置４
０によって弁装置３８を排水動作させ、プロセスライン
中の原水流をシステム外部へ排出するのが良い。という
のは、原水のＴＯＣ値が高い場合、原水を清浄化してＴ
ＯＣを除去する純水装置の負荷が大きくなりすぎ、時間
がかかると共にコストが増大するからである。
２に流入する前に、好ましくは原水タンク３６の上流側
で純水製造プロセスライン１４から測定ライン１２を経
て原水の一部を試料水として採取し、導電率低減／ＴＯ
Ｃ測定装置１０に送る。電気透析装置１８は試料水を電
気透析して、試料水の導電率が所定のレベル、例えば約
１０〜２０μＳ／cm以下になるようにする。ＴＯＣ量が
そのままの状態で導電率の減少した試料水を紫外線酸化
／導電率変化モニター方式ＴＯＣ計に送り込む。ここで
上述した方法でＴＯＣ量を決定する。もしＴＯＣ量の読
みが所望のレベル、例えば半導体洗浄分野では約５００
ｐｐｂよりも高い場合、連携のコンピュータ制御装置４
０によって弁装置３８を排水動作させ、プロセスライン
中の原水流をシステム外部へ排出するのが良い。という
のは、原水のＴＯＣ値が高い場合、原水を清浄化してＴ
ＯＣを除去する純水装置の負荷が大きくなりすぎ、時間
がかかると共にコストが増大するからである。
【００２６】次に、図３を参照すると、有機炭素を含む
不純物を含有した原水流を清浄化して超純水にする純水
装置３２と、純水による半導体洗浄プロセス部３４´
と、半導体洗浄プロセス部からの使用済み純水を純水装
置に循環させる回収再生系統４２とを含む半導体製造用
純水製造システム３０´の概略線図が示されている。本
発明の導電率低減／ＴＯＣ測定装置１０´をかかるシス
テムの回収再生系統４２に設けることができる。
不純物を含有した原水流を清浄化して超純水にする純水
装置３２と、純水による半導体洗浄プロセス部３４´
と、半導体洗浄プロセス部からの使用済み純水を純水装
置に循環させる回収再生系統４２とを含む半導体製造用
純水製造システム３０´の概略線図が示されている。本
発明の導電率低減／ＴＯＣ測定装置１０´をかかるシス
テムの回収再生系統４２に設けることができる。
【００２７】回収再生系統４２が設けられていることを
除けば、図３のシステムは、図２のシステムと構成が実
質的に同一である。半導体洗浄用純水製造システムの半
導体洗浄プロセス部３４´から再生のために回収される
使用済み純水は、半導体洗浄プロセス部で用いられた有
機溶剤を含有しており、高い導電率（１００〜１０００
μＳ／cm）を有するだけでなく、相当高いＴＯＣ量を含
む場合がある。
除けば、図３のシステムは、図２のシステムと構成が実
質的に同一である。半導体洗浄用純水製造システムの半
導体洗浄プロセス部３４´から再生のために回収される
使用済み純水は、半導体洗浄プロセス部で用いられた有
機溶剤を含有しており、高い導電率（１００〜１０００
μＳ／cm）を有するだけでなく、相当高いＴＯＣ量を含
む場合がある。
【００２８】図３の実施形態では、回収再生ライン１２
´には、イオン交換樹脂装置紫外線殺菌装置及び濾過装
置から成る従来型の回収装置４４が設けられているが、
これを設けるかどうかは任意である。
´には、イオン交換樹脂装置紫外線殺菌装置及び濾過装
置から成る従来型の回収装置４４が設けられているが、
これを設けるかどうかは任意である。
【００２９】弁装置３８´が使用済み純粋採取部の下流
側で回収再生ライン中に設けられている。本実施形態の
動作原理は、図２に示すシステムについて説明したのと
実質的に同一であり、当業者には明らかであるので説明
を省略する。この実施形態の場合にも、ＴＯＣ計で測定
したＴＯＣ値が約５００ｐｐｂ以上の場合、コンピュー
タ制御装置４０´により弁装置３８´を制御して排水モ
ードにし、高ＴＯＣ量の使用済み洗浄水流を純水装置３
２に流入する前に回収再生系統から排出するのが良い。
側で回収再生ライン中に設けられている。本実施形態の
動作原理は、図２に示すシステムについて説明したのと
実質的に同一であり、当業者には明らかであるので説明
を省略する。この実施形態の場合にも、ＴＯＣ計で測定
したＴＯＣ値が約５００ｐｐｂ以上の場合、コンピュー
タ制御装置４０´により弁装置３８´を制御して排水モ
ードにし、高ＴＯＣ量の使用済み洗浄水流を純水装置３
２に流入する前に回収再生系統から排出するのが良い。
【００３０】
【発明の効果】本発明では、紫外線酸化／導電率変化モ
ニター方式のＴＯＣ計の上流側に導電率低減手段を設
け、これにより被検水のＴＯＣに影響を及ぼさないで導
電率をＴＯＣ計の使用可能範囲まで低減させることがで
きるので、導電率が比較的高い水その他の液体のＴＯＣ
量を紫外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター方式によ
り正確且つ迅速に測定できる。
ニター方式のＴＯＣ計の上流側に導電率低減手段を設
け、これにより被検水のＴＯＣに影響を及ぼさないで導
電率をＴＯＣ計の使用可能範囲まで低減させることがで
きるので、導電率が比較的高い水その他の液体のＴＯＣ
量を紫外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター方式によ
り正確且つ迅速に測定できる。
【００３１】本発明の原理を純水製造プロセスに用いら
れる高導電率の原水に適用すると、原水のＴＯＣ量が所
定レベル以上の場合には、原水を純水装置の上流で純水
製造プロセスラインから迅速に排出できるので、純水製
造システムの操業効率が改善される。本発明の導電率低
減／ＴＯＣ測定装置は特に、半導体洗浄用純水製造シス
テムの回収再生系統に設けられると有利である。
れる高導電率の原水に適用すると、原水のＴＯＣ量が所
定レベル以上の場合には、原水を純水装置の上流で純水
製造プロセスラインから迅速に排出できるので、純水製
造システムの操業効率が改善される。本発明の導電率低
減／ＴＯＣ測定装置は特に、半導体洗浄用純水製造シス
テムの回収再生系統に設けられると有利である。
【００３２】
【図１】本発明の概念説明図であり、プロセス流ライン
中の導電率が比較的高い被検水のＴＯＣ値を得るための
本発明の導電率低減／ＴＯＣ測定装置を示す略図であ
る。
中の導電率が比較的高い被検水のＴＯＣ値を得るための
本発明の導電率低減／ＴＯＣ測定装置を示す略図であ
る。
【図２】本発明の電気透析装置／ＴＯＣ計ユニットを、
有機炭素を含む不純物を含有した原水流を清浄化して純
水にする純水製造システムに組み込んだ構成例を示す概
略線図である。
有機炭素を含む不純物を含有した原水流を清浄化して純
水にする純水製造システムに組み込んだ構成例を示す概
略線図である。
【図３】本発明の電気透析装置／ＴＯＣ計ユニットを半
導体洗浄用純水製造システムの回収再生系統に設けた構
成例を示す概略線図である。
導体洗浄用純水製造システムの回収再生系統に設けた構
成例を示す概略線図である。
【図４】代表的な電気透析法の原理を説明する略図であ
る。
る。
【図５】紫外線（ＵＶ）酸化／導電率変化モニター方式
のＴＯＣ計の測定原理を説明する略図である。
のＴＯＣ計の測定原理を説明する略図である。
１０ 導電率低減／ＴＯＣ測定装置又は電気透析装置／
ＴＯＣ計ユニット １２ 採取測定ライン １４ プロセス流ライン １６ 紫外線酸化／導電率変化モニター方式ＴＯＣ計 １８ 電気透析装置 ３０，３０´ 純水製造システム ３２ 純水装置 ３４，３４´ ユースポイント ３８，３８´ 弁装置 ４０，４０´ コンピュータ制御装置 ４２ 使用済み洗浄水回収再生系統
ＴＯＣ計ユニット １２ 採取測定ライン １４ プロセス流ライン １６ 紫外線酸化／導電率変化モニター方式ＴＯＣ計 １８ 電気透析装置 ３０，３０´ 純水製造システム ３２ 純水装置 ３４，３４´ ユースポイント ３８，３８´ 弁装置 ４０，４０´ コンピュータ制御装置 ４２ 使用済み洗浄水回収再生系統
Claims (28)
- 【請求項１】 導電率の高い試料水に含まれる全有機炭
素（ＴＯＣ）量の測定方法において、試料水中のＴＯＣ
に影響を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベルま
で低減させ、しかる後、試料水の導電率を測定して第１
の読みを得、試料水に紫外線を照射して試料水中の有機
炭素を化学的に変化させた後に試料水の導電率を測定し
て第２の読みを得、導電率の変化を表す第１の読みと第
２の読みの差に基づいてＴＯＣ量を決定することを特徴
とする方法。 - 【請求項２】 試料水の導電率は、最高約１０００μＳ
／cmであることを特徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 試料水の導電率は、約１００〜１０００
μＳ／cmであることを特徴とする請求項２記載の方法。 - 【請求項４】 試料水の導電率低減段階では、導電率を
約１０〜２０μＳ／cm以下に低減させることを特徴とす
る請求項１記載の方法。 - 【請求項５】 試料水の導電率低減段階では、試料水を
電気透析して導電率を低減させることを特徴とする請求
項１〜４のうち任意の一に記載の方法。 - 【請求項６】 電気透析を、少なくとも一対の陽イオン
交換膜と陰イオン交換膜を有する電気透析装置を用いて
実施することを特徴とする請求項５記載の方法。 - 【請求項７】 試料水は、水道水、地下水、工業用水、
医療用薬品製造用純水の原水、半導体洗浄用純水の原
水、半導体洗浄プロセスから回収される使用済み純水、
及びこれらの混合物から成る群から選択されることを特
徴とする請求項１記載の方法。 - 【請求項８】 導電率の高い試料水に含まれる全有機炭
素（ＴＯＣ）量の測定装置において、試料水中のＴＯＣ
に影響を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベルま
で低減させる手段と、導電率低減手段と流体連通状態に
配置されていて、導電率低減手段の出力試料水のＴＯＣ
量を測定するための紫外線酸化／導電率変化モニター方
式のＴＯＣ計との組合せから成り、該ＴＯＣ計は、試料
水に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化学的に変
化させる手段と、紫外線照射の前後における試料水の導
電率測定値の差に基づいてＴＯＣ量を決定する手段とを
含むことを特徴とする装置。 - 【請求項９】 試料水の導電率は、最高約１０００μＳ
／cmであり、導電率低減手段は、試料水の導電率を約１
０〜２０μＳ／cm以下に低減させるよう働くことを特徴
とする請求項８記載の装置。 - 【請求項１０】 試料水の導電率は、約１００〜１００
０μＳ／cmであることを特徴とする請求項９記載の装
置。 - 【請求項１１】 導電率低減手段は、少なくとも一対の
陽イオン交換膜と陰イオン交換膜を有する電気透析装置
から成ることを特徴とする請求項８、９又は１０記載の
装置。 - 【請求項１２】 前記測定装置は、試料水採取ラインを
介して純水製造プロセスラインと流体連通し、前記試料
水は、純水製造プロセスライン中を流れる水道水、地下
水、工業用水、医療用薬品製造用純水の原水、半導体洗
浄用純水の原水、半導体洗浄プロセスから回収される使
用済み純水、及びこれらの混合物から成る群から選択さ
れることを特徴とする請求項８〜１１のうち任意の一に
記載の装置。 - 【請求項１３】 有機炭素を含む不純物を含有した原水
流を清浄化して純水にする純水装置を含む純水製造シス
テムにおいて、全有機炭素（ＴＯＣ）量測定のために純
水装置の上流側で純水製造プロセスラインから原水流の
一部を試料水として採取する手段と、採取手段と流体連
通状態に設けられた導電率低減／ＴＯＣ測定装置とを有
し、導電率低減／ＴＯＣ測定装置は、試料水流中のＴＯ
Ｃに影響を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベル
まで低減させる手段と、導電率低減手段と連携してい
て、導電率低減手段の出力試料水のＴＯＣ量を測定する
ための紫外線酸化／導電率変化モニター方式のＴＯＣ計
との組合せから成り、該ＴＯＣ計は、試料水に紫外線を
照射して試料水中の有機炭素を化学的に変化させる手段
と、紫外線照射の前後における試料水の導電率測定値の
差に基づいてＴＯＣ量を決定する手段とを含み、前記純
水製造システムは更に、純水装置とプロセスラインの試
料水採取箇所との間でプロセスライン中に設けられてい
て、ＴＯＣ計と連携のコンピュータ制御装置により制御
自在な弁装置を有し、弁装置は、常態では原水を通過さ
せるようになっており、ＴＯＣ計で測定されたＴＯＣ量
が所定レベル以上の場合には原水をプロセスラインから
排出するよう動作できることを特徴とするシステム。 - 【請求項１４】 試料水の導電率は、最高約１０００μ
Ｓ／cmであり、導電率低減手段は、試料水の導電率を約
１０〜２０μＳ／cm以下に低減させるよう働くことを特
徴とする請求項１３記載のシステム - 【請求項１５】 試料水の導電率は、約１００〜１００
０μＳ／cmであることを特徴とする請求項１４記載のシ
ステム。 - 【請求項１６】 導電率低減手段は、少なくとも一対の
陽イオン交換膜と陰イオン交換膜を有する電気透析装置
から成ることを特徴とする請求項１３、１４、又は１５
記載のシステム。 - 【請求項１７】 前記純水は、半導体の洗浄に用いられ
る超純水であり、ＴＯＣ計で測定されたＴＯＣ量の前記
所定レベルは、約５００ｐｐｂであることを特徴とする
請求項１３記載のシステム。 - 【請求項１８】 前記純水は、半導体の洗浄に用いられ
る超純水であり、前記純水製造システムは、半導体の洗
浄に用いられた使用済み純水を回収して前記純水装置に
戻す回収再生ラインと、ＴＯＣ量測定のために回収再生
ラインから使用済み純水流の一部を試料水として採取す
る手段と、採取手段と流体連通状態に設けられた第２の
導電率低減／ＴＯＣ測定装置とを更に有し、第２の導電
率低減／ＴＯＣ測定装置は、試料水流中のＴＯＣに影響
を及ぼさないで、試料水の導電率を所定レベルまで低減
させる手段と、導電率低減手段と連携していて、導電率
低減手段の出力試料水のＴＯＣ量を測定するための紫外
線酸化／導電率変化モニター方式の第２のＴＯＣ計との
組合せから成り、第２のＴＯＣ計は、試料水に紫外線を
照射して試料水中の有機炭素を化学的に変化させる手段
と、紫外線照射の前後における試料水の導電率測定値の
差に基づいてＴＯＣ量を決定する手段とを含み、更に、
回収再生ラインの試料水採取箇所の下流で回収再生ライ
ン中に設けられていて、第２のＴＯＣ計と連携の第２の
コンピュータ制御装置により制御自在な第２の弁装置を
有し、該弁装置は、常態では使用済み純水を通過させる
ようになっており、第２のＴＯＣ計で測定されたＴＯＣ
量が所定レベル以上の場合には使用済み純水を回収再生
ラインから排出するよう動作できることを特徴とする請
求項１３記載のシステム。 - 【請求項１９】 第２のＴＯＣ計で測定されたＴＯＣ量
の前記所定レベルは、約５００ｐｐｂであることを特徴
とする請求項１８記載のシステム。 - 【請求項２０】 有機炭素を含む不純物を含有した原水
流を清浄化して超純水にする純水装置と、純水による半
導体洗浄プロセス部と、半導体洗浄プロセス部からの使
用済み純水を純水装置に循環させる回収再生ラインとを
含む半導体洗浄用純水製造システムにおいて、使用済み
純水中の全有機炭素（ＴＯＣ）量測定のために回収再生
ラインから使用済み純水流の一部を試料水として採取す
る手段と、採取手段と流体連通状態に設けられた導電率
低減／ＴＯＣ測定装置とを有し、導電率低減／ＴＯＣ測
定装置は、試料水流中のＴＯＣに影響を及ぼさないで、
試料水の導電率を所定レベルまで低減させる手段と、導
電率低減手段と連携していて、導電率低減手段の出力試
料水のＴＯＣ量を測定するための紫外線酸化／導電率変
化モニター方式のＴＯＣ計との組合せから成り、該ＴＯ
Ｃ計は、試料水に紫外線を照射して試料水中の有機炭素
を化学的に変化させる手段と、紫外線照射の前後におけ
る試料水の導電率測定値の差に基づいてＴＯＣ量を決定
する手段とを含み、前記純水製造システムは更に、回収
再生ラインの試料水採取箇所の下流で回収再生ライン中
に設けられていて、ＴＯＣ計と連携のコンピュータ制御
装置により制御自在な弁装置を有し、弁装置は、常態で
は使用済み純水を通過させるようになっており、ＴＯＣ
計で測定されたＴＯＣ量が所定レベル以上の場合には使
用済み純水を回収再生ラインから排出するよう動作でき
ることを特徴とするシステム。 - 【請求項２１】 試料水の導電率は、最高約１０００μ
Ｓ／cmであり、導電率低減手段は、試料水の導電率を約
１０〜２０μＳ／cm以下に低減させるよう働くことを特
徴とする請求項２０記載のシステム - 【請求項２２】 試料水の導電率は、約１００〜１００
０μＳ／cmであることを特徴とする請求項２１記載のシ
ステム。 - 【請求項２３】 導電率低減手段は、少なくとも一対の
陽イオン交換膜と陰イオン交換膜を有する電気透析装置
から成ることを特徴とする請求項２０、２１、又は２２
記載のシステム。 - 【請求項２４】 ＴＯＣ計で測定されたＴＯＣ量の前記
所定レベルは、約５００ｐｐｂであることを特徴とする
請求項２０記載のシステム。 - 【請求項２５】 有機炭素を含む不純物を含有した原水
流を清浄化して超純水にする純水装置と、純水による半
導体洗浄プロセス部と、半導体洗浄プロセス部からの使
用済み純水を純水装置に循環させる回収再生ラインとを
含む半導体洗浄用純水製造システムの作動方法におい
て、使用済み純水中の全有機炭素（ＴＯＣ）量測定のた
めに回収再生ラインから使用済み純水流の一部を試料水
として採取し、試料水流中のＴＯＣに影響を及ぼさない
で、試料水の導電率を所定レベルまで低減させ、しかる
後、試料水の導電率を測定して第１の読みを得、試料水
に紫外線を照射して試料水中の有機炭素を化学的に変化
させた後に試料水の導電率を測定して第２の読みを得、
導電率の変化を表す第１の読みと第２の読みの差に基づ
いてＴＯＣ量を決定し、ＴＯＣ量が所定レベル以上の場
合には使用済み純水の流れを回収再生ラインから排出す
ることを特徴とする方法。 - 【請求項２６】 試料水の導電率は、最高約１０００μ
Ｓ／cmであり、試料水の導電率を約１０〜２０μＳ／cm
以下に低減させることを特徴とする請求項２５記載の方
法。 - 【請求項２７】 試料水の導電率は、約１００〜１００
０μＳ／cmであることを特徴とする請求項２６記載の方
法。 - 【請求項２８】 ＴＯＣ量の前記所定レベルは、約５０
０ｐｐｂであることを特徴とする請求項２５記載の方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32975195A JPH09145653A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 高導電率試料水の全有機炭素含有量の測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32975195A JPH09145653A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 高導電率試料水の全有機炭素含有量の測定方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145653A true JPH09145653A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=18224881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32975195A Withdrawn JPH09145653A (ja) | 1995-11-24 | 1995-11-24 | 高導電率試料水の全有機炭素含有量の測定方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09145653A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002214221A (ja) * | 2000-12-13 | 2002-07-31 | Samsung Electronics Co Ltd | 不純物検出装置および不純物検出方法 |
| JP2007093209A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-12 | Shimadzu Corp | 水質分析計 |
| JP4476353B1 (ja) * | 2009-09-14 | 2010-06-09 | 日本電色工業株式会社 | 濁度・色度連続計測装置、濁度・色度連続計測装置の自動洗浄システム及び自動洗浄方法 |
| CN104034684A (zh) * | 2014-06-05 | 2014-09-10 | 北京金达清创环境科技有限公司 | 一种基于紫外-可见吸收光谱的水质多指标检测方法 |
| JP2019155332A (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | オルガノ株式会社 | 洗浄装置および洗浄方法 |
-
1995
- 1995-11-24 JP JP32975195A patent/JPH09145653A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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