JP3443516B2 - 真空バルブ用接点材料の製造方法 - Google Patents

真空バルブ用接点材料の製造方法

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JP3443516B2 JP16903997A JP16903997A JP3443516B2 JP 3443516 B2 JP3443516 B2 JP 3443516B2 JP 16903997 A JP16903997 A JP 16903997A JP 16903997 A JP16903997 A JP 16903997A JP 3443516 B2 JP3443516 B2 JP 3443516B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、大電流遮断特性、
裁断特性、通電特性、大電流通電特牲にすぐれ、かつ安
価な真空バルブ用接点材料の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】真空中でのアーク拡散性を利用して、高
真空中で電流遮断を行わせる真空バルブの接点は、対向
する固定および可動の2つの接点から構成されている。
この真空バルブを用いて、電動機負荷などの誘導性回路
の電流を遮断するとき、過度の異常サージ電圧が発生
し、負荷機器を破壊させる恐れかある。
【0003】この異常サージ電圧の発生原因は、例えば
真空中における小電流遮断時に発生する裁断現象(交流
電流波形の自然ゼロ点を待たずに強制的に電流遮断が行
われること)、あるいは高周波消弧現象などによるもの
である。裁断現象による異常サージ電圧の値Vsは、回
路のサージインピーダンスZo・Icで表される。
【0004】従って、異常サージ電圧Vsを低くするた
めには電流裁断値Icを小さくしなくてはならない。
【0005】低裁断電流特性を有する接点には、主とし
て溶解法によって作られるCu(銅)−Bi(ビスマ
ス)系の接点と、焼結溶浸法によって作られるAg
(銀)−WC(炭化タングステン)系接点とがある。そ
して、Ag−WC系合金接点は、 (1)WCの介在が電子放射を容易にさせる。
【0006】(2)電界放射電子の衝突による電極面の
加熱に基づく接点材料の蒸発を促進させる。
【0007】(3)接点材料の炭化物かアークにより分
解され、荷電体を生成してアークを接続するなどの点で
優れた低裁断電流特性を発揮し、この合金接点を用いた
真空開閉器が開発され実用化されている。
【0008】また、この接点にCuを複合化し、Agと
Cuとの比率をほぼ7:3としたAg−Cu−WC合金
が提案されている。(特公昭63−59212)。この
合金においては、限定をしたAgとCuとの比率を選択
するので、安定した裁断電流特性を発揮する。
【0009】さらに、特公平5−61338には、耐弧
性材料の粒径(例えば、WCの粒径)を0.2〜1μm
とすることにより、低裁断電流特性の改善に有効である
ことが示唆されている一方、Cu−Bi系合金接点で
は、Biの選択蒸発により電流裁断特性を改善している
この合金のうち、Biを10重量%(以下wt%とす
る)としたもの(特公昭35−14974)は、適度な
蒸気圧特性を有するので、低い裁断電流特牲を発揮す
る。また、Biを0.5wt%とした(特公昭41−1
2131)は、Biが結晶粒界に偏析して存在する結
果、合金自休を脆化し、低い溶着引き外し力を実現し、
大電流遮断性に優れている。
【0010】ところで、真空遮断器は本来の責務として
大電流遮断が行えなければならない。大電流遮断のため
には、接点材料表面全体にアークを点弧させ、接点材料
の単位表面積あたりの熱入力を小さくすることが重要と
なる。その一手段として、接点材料をマウントしている
電極部において、極間の電界と平行な方向に磁界を発生
させる縦磁界電極構造がある。特公昭54−22813
によれば、このような方向に磁界を適度に生じさせるこ
とにより、アークプラズマを接点表面に均一に分散させ
ることが可能となり、大電流遮断能力が高められるとさ
れている。
【0011】また、接点材料自体について、特開平4−
206121によれば、Ag−Cu−WC−Co(コバ
ルト)系接点材料において、WC−Coの粒子間距離を
0.3〜3μm程度とすることにより、アーク陰極点の
移動度が良好となり、大電流遮断特性の向上がはかれる
ことが示されている。
【0012】また、Coなど鉄属の補助成分の含有量を
高めることにより、遮断性能が高められることが示され
ている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】真空遮断器には低サー
ジ牲が要求され、従来では、上述のように低裁断電流特
性(低チョッピング特性)が要求されていた。しかしな
がら、真空バルブは、近年、大容量電動機等の誘導性回
路に適用されることが一層増えると共に、高サージ・イ
ンピーダンス負荷も出現したため、一層安定した低裁断
特性を持つことが望まれるのは勿論のこと、大電流遮断
特性についても兼備しなくてはならない。ところが、1
0wt%のBiとCuとを複合化した合金(特公昭35
−14974)では、開閉回数の増大と共に電極空間へ
の金属蒸気の供給量が減少して低裁断電流特牲の劣化が
現れ、高蒸気圧元素量に依存して耐電圧特性の劣化も指
摘されている。
【0014】0.5wt%のBiとCuとを複合化した
合金(特公昭41−12131)では、低裁断電流特牲
が不十分である。このように、高蒸気圧成分の選択蒸発
のみによっては、安定した低裁断性を有することは不可
能てある。
【0015】また、Ag−WC−CoのようなAgを導
電成分とする接点材料では比較的良好な裁断特性を示す
ものの蒸気圧が高すぎるため、十分な遮断性能が得られ
ない。
【0016】さらに、AgとCuとの重量比率をほぼ
7:3としたAg−Cu−WC合金(特公昭63−59
212)、およびこの合金のWC等の耐弧牲成分の粒径
を0.2〜1μmとする合金(特公平5−61338)
等のAgを主成分とする導電成分を有する接点材料で
は、優れた遮断特性および裁断特性を示すものの、高価
なAgを主成分としているため、接点の価格も高くなっ
てしまう。
【0017】また、これらの接点材料のCo含有量を増
加させることにより遮断性能の向上をはかった場合に
は、これにより低電流裁断特性が阻害されてしまう。
【0018】一方、安価なCuを導電成分として用いた
場合には、遮断特性は比較的良好となるが、耐弧成分量
を高めなければ良好な裁断特性は得られない。たとえ
ば、Cu−WC−Coの場合では、WCスケルトンの焼
結時にCoを添加することにより、WCスケルトンの空
隙率を低め、空隙に溶浸されるCuの量を抑制してい
る。
【0019】しかし、Co,Fe(鉄),Ni(ニッケ
ル)といった炭化物の焼結促進成分は、Cuの導電率を
低下させるため、通電特性がはなはだしく損なわれてし
まう。
【0020】そこで本発明は、安価でかつ優れた遮断特
性、低裁断特牲と通電特牲を兼備した真空バルブ用接点
材料の製造方法を提供することを目的としている。
【0021】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載した真空
バルブ用接点材料の製造方法は、接点組成として、含有
量65乃至40vol%のTiC或いはVC少なくとも
いずれか一方を含み、粒径が8μm以下の耐弧成分粉末
を加圧成形して耐弧成分スケルトンを作り、この耐弧成
分スケルトンに、接点組成として含有量35乃至60v
ol%のCuを主成分とする導電成分を溶浸させて真空
バルブ溶接点材料を製造する製造方法であって、溶浸さ
せる導電成分が0.2乃至2.0wt%のCrを含むC
uとCrとの合金であることを特徴とする
【0022】請求項2に記載した真空バルブ用接点材料
の製造方法は、耐弧成分スケルトンを形成する耐弧成分
粉末に、粉末全体の0.14乃至1.35vol%のC
rを添加したことを特徴とする。
【0023】請求項3に記載した真空バルブ用接点材料
の製造方法は、耐弧成分スケルトンに対する溶浸を真空
雰囲気で行うことを特徴とする
【0024】請求項4に記載した真空バルブ用接点材料
の製造方法は、耐弧成分スケルトンへの導電成分の溶浸
を真空雰囲気で行う際に、酸化物および窒化物で構成さ
れた耐熱材またはルツボの炉内に配置される部材を使用
することを特徴とする
【0025】請求項5に記載した真空バルブ用接点材料
の製造方法は、耐弧成分スケルトンの導電成分への溶浸
を真空雰囲気で行う際に、Cで構成された炉の耐熱材あ
るいはルツボと溶浸材および前記スケルトンとをAl 2
3 の板ブロックあるいは粉末で隔てて、Cに対して溶
浸材およびスケルトンが接触しないように配置すること
を特徴とする。
【0026】請求項6に記載した真空バルブ用接点材料
の製造方法は、外型が複数の部分に分割されている金型
を用いて耐弧成分スケルトンを加圧成形することを特徴
とする
【0027】一般に接点材料の裁断特性は、導電成分の
イオン生成特性と耐弧成分の熱電子放出特性および耐弧
成分量によって決まる。イオン生成特性は導電成分が高
蒸気圧である程高められるが、遮断牲能は逆に低下して
しまう。従って、ある程度の遮断性能を発揮させるため
には、導電成分はAgベースよりCuベースとする方が
望ましい。
【0028】また、導電成分にCuを用いた場合には、
安価な材料が得られる。しかし、導電成分がCuベース
の場合、裁断特性を良好にするには、耐弧成分に熱電子
放出能力がWC以上の炭化物を選択する必要がある。
【0029】AgベースのAg−WC−Co等の接点の
場合、Coの焼結促進作用によってWCスケルトンの焼
結密度を高め、スケルトン空隙を低くし、空隙に溶浸さ
れる導電成分の量を低くおさえることが可能となり、結
果として耐弧成分量を高めている。
【0030】しかし、導電成分をCuベースとした場合
には、Co,Fe,Niといった焼結促進成分が、Cu
に固溶し導電率を低下させてしまうため、通電性能が甚
だしく損なわれてしまう。また、Coが耐弧成分粒子の
表面を覆うため、耐弧成分の熱電子放出を阻害し、裁断
電流特性も劣化させてしまう。
【0031】本発明では、このような通電性能および低
電流裁断性能の低下を防止するために焼結促進材を用い
ず、成形時に耐弧成分スケルトンの密度を高めている。
通常、炭化物粉末は、粗いほど成形密度を高めることが
容易であるが、炭化物粉末の粒径が粗いと裁断特性のば
らつきが大きくなるため、安定して低い裁断特性を得よ
うとする場合には、細かい粒径の炭化物粉末を使用する
必要がある。
【0032】この細かい炭化物粉末の成形密度を上げる
ためには高い成形圧力で成形することが必要となる。通
常、接点材料の成形の際には、金型に押し出し型を利用
するが、炭化物の粉末は高圧力で成形した場合、型から
押し出して抜く際に割れが生じ易い。
【0033】本発明では割り金型を用い、金型を成形体
からはずすことにより高密度の成形体を得ることを可能
とするものである。CuとTiC(炭化チタン)は13
00度C以下の温度では十分な濡れ性が得られない。本
発明ではCuおよびTiCの界面に作用するCrの微量
添加により、両者の濡れ性を改善し、1100度C付近
の低い温度で溶融することが可能となっている。
【0034】CrはCと容易に反応し、炭化物を生成す
る元素である。このため、Ag−WC等の接点で通常行
われているように水素中で溶浸を行うと、水素を介して
炉材あるいはルツポのCとCrが反応し、炭化Crの被
膜が溶融した溶浸材の表面に形成され、溶浸材の溶浸を
阻害し、溶浸が不完全になる。
【0035】本発明では、真空中において溶浸を行うた
め、このようなCと溶浸材および焼結休が反応すること
はない。また、同様の観点から、溶浸プロセスの際に
は、本発明で示しているように炉材やルツボのCと、溶
浸材および焼結材が直接触れないようにAl2 3 の粉
末や板で遮蔽することが重要である。
【0036】また、炉内の耐熱材やルツボ等を酸化物や
窒化物のみて構成することもーつの解決策てある。
【0037】
【発明の実施の形態】次に本発明による真空バルブ用接
点材料の製造方法の実施の形態を説明する。図1は本実
施例を説明するための真空バルブの断面図、図2は図1
の電極部分の拡大断面図てある。図1において、遮断室
1は絶縁材料によりほぼ円筒状に形成された絶縁容器2
と、この両端に封止金具3a、3bを介して設けた金属
製の蓋休4a、4bとで真空気密に構成されている。
【0038】遮断室1内には導電棒5,6の対向する端
部に取付けられた一対の電極7,8が配設され、上部の
電極7を固定電極、下部の電極8を可動電極としてい
る。またこの電極8の電極棒6には、ベローズ9が取付
けられ遮断室1内を真空気密に保持しながら電極8の軸
方向の移動を可能にしている。
【0039】また、このベローズ9の上部には金属製の
アークシールド10が設けられ、ベローズ9がアーク蒸
気で覆われることを防止している。また、電極7,8を
覆うように遮断室1内に金属製のアークシールド11が
設けられ、これにより絶縁容器2がアーク蒸気で覆われ
ることを防止している。
【0040】さらに、電極8は図2に拡大して示す如
く、導電棒6にろう付け部12によって固定されるか、
又はかしめによって圧着接続されている。接点13
電極8にろう付け14によってろう付けで取付けられ
る。なお、接点13は電極7にろう付けにより取付け
られる。
【0041】次に、本発明の一実施例を説明するデータ
を得た評価方法、および評価条件について説明する。こ
こで、表1乃至表3には各接点の製造条件を示し、表4
および表5には各接点の組成および特牲を示した。
【0042】(1)電流裁断特性 各接点を取付けて10-5Pa以下に排気した組立て式バ
ルブを製作し、この装置を0.8m/秒の開極速度で開
極させ、遅れ小電流を遮断した時の裁断電流を測定し
た。遮断電流は20A(実効値)、周波数は50Hzと
した。開極位相はランダムに行い、500回遮断したと
きの裁断電流を接点数3個につき測定し、その最大値を
表2に示した。尚、数値は実施例2の裁断電流値の最大
値を1.0とした場合の相対値で示した。
【0043】(2)通電特性 通電電流1000Aで、真空バルブの温度が一定となる
まで行ない、その温度上昇値により評価した。表4およ
び表5に通電特性として、実施例2の温度上昇値を1.
0とした場合の相対領を示した。
【0044】(3)大電流遮断特性 遮断試験をJEC規格の5号試験により行い、これによ
り遮断特性を評価した。
【0045】まず、これらの接点の製造方法について説
明する。
【0046】実施例および比較例はすべて、耐弧成分を
TiCとした場合の接点の試作例である。試作方法を表
1乃至表3にまとめて示す。製造に先立って必要粒径別
に耐弧性成分TiCおよび補助成分を分類する。分類作
業は例えばふるい分けと沈降法とを併用して行うことで
容易に所定粒径の粉末を得る。
【0047】まず、所定粒径のTiCの所定量を用意
し、実施例10〜12、比較例6,7では所定粒径で所
定量のCrを、また、実施例13〜19および比較例
〜13では所定粒径のCuの所定量の−部を用意し、加
圧成形して粉末成形体を得る。成形に用いる金型は比較
13を除いて全て割り金型を使用した。比較例13
は押し出し金型を用いた。
【0048】ついで、この粉末成形休を所定温度で所定
時間、例えば1150度C−1時間の条件にて仮焼結し
仮焼結体を得る。ついで、この仮焼結体の残存空孔中に
実施例10〜12および比較例6〜7ではCuを、それ
以外ではCu−Cr合金を、1150度C−1時間で溶
浸し所定の合金を得る。溶浸は比較例10,11および
実施例17では水素中で行い、それ以外では真空中で行
なった。
【0049】尚、Cu等の溶浸素材は所定温度で、真空
度1.3×10-2Paにおいて所定比率で真空溶解して
得たインゴットを切断して用いた。使用した炉は実施例
14のみアルミナ製の炉心管のものを用い、それ以外は
全てステンレス製の炉で内部にカーボン材の耐熱材を有
するものを用いた。
【0050】また、炉内のボートも実施例17ではアル
ミナ製ボートを用い、他は全てカーボン製ボートとし
た。ボート内のしき粉は比較例12および実施例17
は使用せず、それ以外では全てアルミナのしき粉をボー
トにしいて行った。
【0051】次に各接点の材料組成およびその対応する
特牲データについて表1乃至表5を参照しながら考察す
る。
【0052】
【表1】
【表2】
【表3】
【表4】
【表5】 (実施例1〜3および比較例1,2) いずれの場合も導電成分をCu、耐弧成分の粒径を1.
μmとし、スケルトンの相対密度の調節により、耐弧
成分量を39.7〜67.0%の範囲で変えた。耐弧成
分量が40〜65vol%の範囲内である実施例1〜3
では遮断特性、裁断特性、通電特性は全て良好である
が、これらより耐弧成分を多く含む比較例−1では遮断
牲能は不合格で、逆にこれらより耐弧成分が少ない比較
例−2では、裁断電流値の最大値の相対値が2.0以上
までが高くなってしまう。
【0053】(実施例4〜6および比較例3) いずれの場合もCu45vol%、TiC55vol%
程度で組織比を一定とし、耐弧成分粒径を0.8〜10
μmの範囲で変化させた。組成の制御は成形圧力の調整
により行った。粒径が8μm以下の実施例4〜6では遮
断特性、裁断特性ともに良好てあるが、粒径10μmの
比較例3では遮断特牲が不合格であった。
【0054】(実施例7〜9および比較例4〜5) いずれの場合もCu45vol%,TiC55vol%
程度て組成比を一定とし、耐弧成分の粒径を1.3μm
とし、溶浸する導電成分中のCr量をCu量に対して
0.15〜2.20wt%の範囲で変化させた。Cu中
のCr量が0.2〜2.0wt%の範囲にある実施例7
〜9ではいずれも耐弧成分スケルトンが導電成分に良好
に溶浸されているが、導電成分中のCrがCu量に対し
て0.15wt%の比較例4ではCrの作用が十分でな
く、ポアの多い組織となっており、通電性能が不十分と
なっている。
【0055】また、このCr量の割合が2.20wt%
と過剰な比較例−5では、導電成分のCuに過剰にCr
が固溶してしまうため、導電率が著しく低く通電性能が
悪く遮断特性も不合格となる。
【0056】(実施例10〜12および比較例6〜7) いずれの場合もCu45vol%,TiC55vol%
程度で組成比を一定とし、耐弧成分の粒径を1.3μm
とし、スケルトンにCrを配合する量を調整することに
より、導電成分中のCr量をCu量に対して0.18〜
2.17wt%の範囲で変化させた。Cu中のCr量か
0.2〜2.0wt%の範囲にある実施例10〜12で
はいずれも耐弧成分スケルトンが導電成分に良好に溶浸
されているが、導電成分中のCrがCu量に対して0.
18wt%の比較例6では、Crの作用が十分でなく、
ポアの多い組織となっており、通電性能が不十分となっ
ている。
【0057】また、このCr量の割合が2.17wt%
と過剰な比較例−7では、導電成分のCuに過剰にCr
が固溶してしまうため、導電率が著しく低く通電性能が
悪く遮断特性も不合格となる。
【0058】(実施例13〜15および比較例8〜9) 耐弧成分の粒径は1.3μmで一定で、スケルトンにC
uを4.8〜25.3vol%の範囲で変化させて配合
し、いずれの場合もCrを含む導電成分が45vol
%,TiC55vol%程度で組成比が一定となるよう
に相対密度を調整した。
【0059】スケルトンに配合されるCu量が5.0〜
25.0vol%の範囲にある実施例13〜15ではい
ずれも耐弧成分スケルトンが導電成分に良好に溶浸され
ているが、このCu量が4.8wt%と少ない比較例8
では、溶浸が完全である。また、このCu量が25.
3vol%と過剰な比較例−9では、組織的な不均質が
著しくなり裁断電流値の最大値が相対値2.0を超えて
しまう。
【0060】(実施例16および比較例10) 耐弧成分の粒径は1.3μmで一定で、スケルトンにC
uを約16vol%配合し、いずれの場合もCrを含む
導電成分が45vol%,TiC55vol%程度とな
るように相対密度を調整し,炉内にカーボン材が存在す
る炉内においてカーボン製ボート上にアルミナのしき粉
をしい上に焼結体および溶浸材をおき、真空中および
水素中で溶浸を行った。真空中で行った実施例16では
耐弧成分スケルトンが導電成分に良好に溶浸されている
が、水素中で実施した比較例10では、溶浸材表面にC
r炭化物の被膜が生成したため不完全な状態となってい
る。
【0061】(実施例17およひ比較例11) 耐弧成分の粒径は1.3μmて一定で、スケルトンにC
uを約16vol%配合し、いずれの場合もCrを含む
導電成分が45vol%,TiC55vol%程度とな
るように相対密度を調整し溶浸を炉内にカーボン材が存
在する炉およびアルミナのみで構成される炉を用い、カ
ーボン製ボート上にアルミナのしき粉をしいた上、ある
いはアルミナ製ボート上にそのまま焼結休および溶浸材
をおき、水素中で溶浸を行なった。
【0062】アルミナのみで構成される炉でアルミナボ
ート上で実施した実施例17では、耐弧成分スケルトン
が導電成分に良好に溶浸されているが、溶浸を炉内にカ
ーボンが存在する炉でカーボン製ボート上行った比較例
10では溶浸材表面にCr炭化物の被膜が生成したため
不完全な状態となっている。
【0063】(実施例18および比較例12) 耐弧成分の粒径は1.3μmで一定で、スケルトンにC
uを約16vol%配合し、いずれの場合もCrを含む
導電成分が45vol%,TiC55vol%程度とな
るように相対密度を調整し、炉内にカーボン材が存在す
る炉内においてカーボン製ボート上にアルミナのしき粉
をしいた上、あるいはしかずに直接焼結休および溶浸材
をおき、真空中で溶浸を行った。
【0064】溶浸をアルミナしき粉の上で行った実施例
16では耐弧成分スケルトンが導電成分に良好に溶浸さ
れているが、アルミナのしき粉を用いず直にボート上に
焼結体と溶浸材をおいて実施した比較例12では、溶浸
材表面にCr炭化物の被膜が生成したため不完全な状態
となっている。
【0065】(実施例19および比較例13) 耐弧成分の粒径は1.3μmで一定で、スケルトンにC
uを約16vol%配合し、いずれの場合もCrを含む
導電成分が45vol%,TiC55vol%程度とな
るように相対密度を調整し、成形の際に割り金型および
押し出し金型を用いて実施した。
【0066】割り金型を用いた実施例19では、良好な
成形体が得られているが、押し出し金型を用いた比較例
13では、成形体にクラックが入り、組織的に不均質な
材料状態となってしまった。
【0067】以上の実施例においては、耐弧成分をTi
Cとして調べた結果について示したが、耐弧成分をVC
(炭化バナジウム)とした場合および、TiCとVCの
複合耐弧成分を用いた場合においても同様な効果が得ら
れている。
【0068】このように、真空バルブ用接点材料を粉末
の成形、焼結による耐弧成分スケルトンの形成と、スケ
ルトンへの導電成分の溶浸によって製造する製造方法に
おいて、耐弧成分のTiCあるいはVCにCrを微量添
加し、この添加したCrが炭化されない雰囲気で溶浸す
ることにより、Crの作用によりTiCとCuの濡れ性
を改善し、スケルトンへのCuの溶浸が可能となるとい
う知見を得るた。
【0069】
【0070】また、耐弧成分スケルトンヘ溶浸させる導
電成分、0.2〜2.0wt%のCrを含むCuとC
rの合金としたので、安価で大電流遮断特性、裁断特
性、大電流通電特性を向上させた真空バルブ用接点材料
の製造方法を得ることができる。
【0071】
【発明の効果】本発明により、真空バルブ用接点材料の
製造方法を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す真空バルブの断面図で
ある。
【図2】図1の接点部の拡大した断面図である。
【符号の説明】
1 遮断室 2 絶縁容器 3a,3b 封止金具 4a,4b 蓋体 5、6 導電体 7、8 電極 9 ベローズ 10、11 アークシールド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 経世 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東 芝 府中工場内 (72)発明者 草野 貴史 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東 芝 府中工場内 (56)参考文献 特開 平9−161628(JP,A) 特開 平8−77891(JP,A) 特開 平6−231649(JP,A) 特開 昭63−62122(JP,A) 特開 昭63−96204(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01H 33/66 C22C 9/00 C22C 29/02 H01H 11/04

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 接点組成として、含有量65乃至40v
    ol%のTiC或いはVC少なくともいずれか一方を含
    み、粒径が8μm以下の耐弧成分粉末を加圧成形して耐
    弧成分スケルトンを作り、この耐弧成分スケルトンに、
    接点組成として含有量35乃至60vol%のCuを主
    成分とする導電成分を溶浸させて真空バルブ溶接点材料
    を製造する製造方法であって、溶浸させる導電成分が
    0.2乃至2.0wt%のCrを含むCuとCrとの合
    金であることを特徴とする真空バルブ用接点材料の製造
    方法。
  2. 【請求項2】 接点組成として、含有量65乃至40v
    ol%のTiC或いはVC少なくともいずれか一方を含
    み、粒径が8μm以下の耐弧成分粉末を加圧成形して耐
    弧成分スケルトンを作り、この耐弧成分スケルトンに、
    接点組成として含有量35乃至60vol%のCuを主
    成分とする導電成分を溶浸させて真空バルブ溶接点材料
    を製造する製造方法であって、耐弧成分スケルトンを形
    成する耐弧成分粉末に、粉末全体の0.14乃至1.3
    vol%のCrを添加したことを特徴とする請求項1
    に記載の真空バルブ用接点材料の製造方法。
  3. 【請求項3】 耐弧成分スケルトンに対する溶浸を真空
    雰囲気で行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に
    記載の真空バルブ用接点材料の製造方法。
  4. 【請求項4】 耐弧成分スケルトンへの導電成分の溶浸
    を真空雰囲気で行う際に、酸化物および窒化物で構成さ
    れた耐熱材またはルツボの炉内に配置される部材を使用
    することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか
    に記載の真空バルブ用接点材料の製造方法。
  5. 【請求項5】 耐弧成分スケルトンの導電成分への溶浸
    を真空雰囲気で行う際に、Cで構成された炉の耐熱材あ
    るいはルツボと溶浸材および前記スケルトンとをAl2
    3 の板ブロックあるいは粉末で隔てて、Cに対して溶
    浸材およびスケルトンが接触しないように配置すること
    を特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の
    真空バルブ用接点材料の製造方法。
  6. 【請求項6】 外型が複数の部分に分割されている金型
    を用いて耐弧成分スケルトンを加圧成形することを特徴
    とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の真空バ
    ルブ用接点材料の製造方法。
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