JP3443192B2 - 基板処理装置用処理液供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体デバイスや液
晶表示デバイスなどの製造工程において、シリコンウエ
ハ、ガラス基板等の基板の表面にフォトレジストを塗布
したり基板表面を現像処理したりする場合などに、基板
へフォトレジスト液、現像液等の処理液を供給する基板
処理装置用処理液供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体デバイスの製造装置にお
いて、シリコンウエハの表面にフォトレジストを塗布す
るには、例えば実公平３−５６０４０号公報等に開示さ
れているような構成の処理液供給装置が使用される。図
８は、従来使用されている処理液供給装置の流路構成の
１例を示す模式図である。この処理液供給装置は、処理
液（フォトレジスト液）10を収容した容器12、この容器
12と吸入管路14を介して吸入口が連通接続され吐出口が
吐出管路16に連通接続されたベローズ18及びこのベロー
ズ18を伸縮駆動させるシリンダ20から構成されたポンプ
22、並びに、吐出管路16の先端に接続され供給口がウエ
ハＷに対向するように配設された吐出ノズル24、吐出管
路16に介挿されたフィルタ26などにより構成されてい
る。そして、シリンダ20の一端側の流出入口に連通接続
された空気管路90及びシリンダ20の他端側の流出入口に
連通接続された空気管路92は、それぞれシリンダ動作切
換え弁94を経て圧縮空気源に切換え可能に流路接続され
ている。シリンダ動作切換え弁94は、４つのポートを持
つ２位置弁で構成され、４つのポートは、各空気管路9
0、92、圧縮空気の供給管路28及び排気管路96にそれぞ
れ各別に接続されている。また、各空気管路90、92に
は、それぞれ速度制御弁98が介挿されている。そして、
空気管路90、92を交互に圧縮空気の供給管路28と排気管
路96とに接続するようにシリンダ動作切換え弁94を作動
させることにより、シリンダ20を駆動させてベローズ18
を伸縮駆動させ、容器12から処理液10を、吸入管路14を
通しベローズ18を経て吐出管路16内へ送給し、吐出管路
16を通って吐出ノズル24へ供給された処理液を吐出ノズ
ル24の先端からウエハＷへ吐出するようになっている。
尚、図８に例示した処理液供給装置は、ベローズ18を伸
縮駆動させる駆動手段として圧縮空気の作動圧を利用し
たシリンダ20を使用しているが、モータを使用してベロ
ーズを伸縮駆動させるようにしてもよい。

【０００３】ところで、ウエハＷの表面に均一にフォト
レジストを塗布するには、吐出管路16内における気泡の
存在は許されない。従って、基板を順次処理していく過
程で、処理と処理との間などに、吐出管路16内からの気
泡抜きの作業を随時行なう必要がある。従来、この気泡
抜きの作業は、ポンプ22を実処理時と全く同様に低速で
動作させて、吐出管路16内に処理液を流し、フィルタ26
に付設された廃液ラインを通して処理液を排出したり吐
出ノズル24から処理液を排出したりすることにより行な
われていた。また、ポンプ22の動作速度を、速度制御弁
98、98を開いて速め、吐出管路16内に比較的大容量の処
理液を流して吐出管路16内からの気泡抜きを行ない、気
泡抜きの作業後に、速度制御弁98、98を元の状態に戻す
よう再調整していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、製品歩
留りの低下を防ぐためには、上記気泡抜きの作業を日常
的に行なう必要があり、ポンプ22を実処理時と同様の低
速で動作させて気泡抜きを行なう方法では、気泡抜き作
業に費やされる総時間が長くなって、処理装置の稼働率
低下の要因となる、といった問題点がある。また、気泡
抜きに際して、速度制御弁98を調整し、気泡抜き後に速
度制御弁98を再調整するといった方法は、速度調整弁98
の調整及び再調整に時間を要することとなって、結局、
気泡抜き作業全体に費やされる時間が長くなり、装置の
稼働率の低下を来すこととなる。

【０００５】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、基板処理装置の処理液供給装置にお
いて、日常的に行なう必要のある吐出管路からの気泡抜
きの作業を迅速に行なうことができ、作業性を向上させ
装置の稼働率の向上を図ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
吐出管路を通して基板へ処理液を供給するポンプと、こ
のポンプから比較的小流量の処理液を送り出すようにポ
ンプを低速で駆動させる低速駆動手段とを備えた基板処
理装置用処理液供給装置において、前記ポンプから比較
的大流量の処理液を送り出すようにポンプを高速で駆動
させる高速駆動手段と、前記ポンプから比較的小流量の
処理液を送り出すときは前記低速駆動手段のみを作動さ
せ、前記ポンプから比較的大流量の処理液を送り出すと
きは前記高速駆動手段を作動させるように、１台のポン
プの駆動速度を切り換える速度切換え手段と、基板への
処理液供給時には前記低速駆動手段のみを作動させて前
記ポンプから比較的小流量の処理液を送り出し、気泡抜
き時には前記高速駆動手段を作動させて前記ポンプから
比較的大流量の処理液を送り出すように、前記速度切換
え手段を制御する切換え制御手段とをさらに備えたこと
を特徴とする。請求項２に係る発明は、請求項１記載の
処理液供給装置において、前記ポンプが、吐出口が吐出
管路に連通接続されたベローズ及びこのベローズを伸縮
駆動させる駆動手段から構成されたベローズ型ポンプで
あることを特徴とする。請求項３に係る発明は、請求項
１記載の処理液供給装置において、前記ポンプが、吐出
口が吐出管路に連通接続されたダイヤフラム及びこのダ
イヤフラムを変位駆動させる駆動手段から構成されたダ
イヤフラム型ポンプであることを特徴とする。

【０００７】請求項４に係る発明は、処理液が収容され
た容器と、この容器と吸入管路を介して吸入口が連通接
続され吐出口が吐出管路に連通接続されたベローズと、
このベローズを伸縮駆動させるシリンダと、圧縮空気
源、排気管路並びに前記シリンダの一端側の流出入口と
の第１の空気管路及び他端側の流出入口との第１の別の
空気管路に各別に流路接続された４つのポートを持つ第
１のシリンダ動作切換え弁と、前記第１の空気管路及び
前記第１の別の空気管路にそれぞれ介挿された低速用速
度制御弁とを備えた基板処理装置用処理液供給装置にお
いて、前記圧縮空気源、排気管路並びに前記シリンダの
一端側の流出入口との第２の空気管路及び他端側の流出
入口との第２の別の空気管路に各別に流路接続された４
つのポートを持つ第２のシリンダ動作切換え弁と、前記
第２の空気管路及び前記第２の別の空気管路にそれぞれ
介挿された高速用速度制御弁と、前記圧縮空気源と前記
第１のシリンダ動作切換え弁又は前記第２のシリンダ動
作切換え弁とを択一的に連通させる弁機構と、基板への
処理液供給時には前記圧縮空気源と前記第１のシリンダ
動作切換え弁とを連通させて前記ベローズから比較的小
流量の処理液を送り出し、気泡抜き時には前記圧縮空気
源と前記第２のシリンダ動作切換え弁とを連通させて前
記ベローズから比較的大流量の処理液を送り出すよう
に、前記弁機構を制御する切換え制御手段とをさらに備
えたことを特徴とする。

【０００８】請求項５に係る発明は、処理液が収容され
た容器と、この容器と吸入管路を介して吸入口が連通接
続され吐出口が吐出管路に連通接続されたベローズと、
このベローズを伸縮駆動させるシリンダと、圧縮空気
源、排気管路並びに前記シリンダの一端側の流出入口と
の第１の空気管路及び他端側の流出入口との第１の別の
空気管路に各別に流路接続された４つのポートを持つク
ローズドセンタ弁からなる第１のシリンダ動作切換え弁
と、前記第１の空気管路及び前記第１の別の空気管路に
それぞれ介挿された低速用速度制御弁とを備えた基板処
理装置用処理液供給装置において、前記圧縮空気源、排
気管路並びに前記シリンダの一端側の流出入口との第２
の空気管路及び他端側の流出入口との第２の別の空気管
路に各別に流路接続された４つのポートを持つクローズ
ドセンタ弁からなる第２のシリンダ動作切換え弁と、前
記第２の空気管路及び前記第２の別の空気管路にそれぞ
れ介挿された高速用速度制御弁と、前記第１のシリンダ
動作切換え弁又は前記第２のシリンダ動作切換え弁を択
一的に中立位置とする速度切換え手段と、基板への処理
液供給時には前記第２のシリンダ動作切換え弁を中立位
置にして前記ベローズから比較的小流量の処理液を送り
出し、気泡抜き時には前記第１のシリンダ動作切換え弁
を中立位置にして前記ベローズから比較的大流量の処理
液を送り出すように、前記速度切換え手段を制御する切
換え制御手段とをさらに備えたことを特徴とする。

【０００９】請求項６に係る発明は、処理液が収容され
た容器と、この容器と吸入管路を介して吸入口が連通接
続され吐出口が吐出管路に連通接続されたベローズと、
このベローズを伸縮駆動させる第１のシリンダと、圧縮
空気源、排気管路並びに前記第１のシリンダの一端側の
流出入口との第１の空気管路及び他端側の流出入口との
第１の別の空気管路に各別に流路接続された４つのポー
トを持つ２位置弁からなる第１のシリンダ動作切換え弁
と、前記第１の空気管路及び前記第１の別の空気管路に
それぞれ介挿された低速用速度制御弁とを備えた基板処
理装置用処理液供給装置において、前記第１のシリンダ
にタンデム状に連接され、前記ベローズを伸縮駆動させ
る第２のシリンダと、前記圧縮空気源、排気管路並びに
前記第２のシリンダの一端側の流出入口との第２の空気
管路及び他端側の流出入口との第２の別の空気管路に各
別に流路接続された４つのポートを持つ２位置弁からな
る第２のシリンダ動作切換え弁と、前記第２の空気管路
及び前記第２の別の空気管路にそれぞれ介挿された高速
用速度制御弁と、前記第１のシリンダ動作切換え弁のみ
又は前記第２のシリンダ動作切換え弁を択一的に作動さ
せる速度切換え手段と、基板への処理液供給時には前記
第１のシリンダ動作切換え弁のみを作動させて前記ベロ
ーズから比較的小流量の処理液を送り出し、気泡抜き時
には前記第２のシリンダ動作切換え弁を作動させて前記
ベローズから比較的大流量の処理液を送り出すように、
前記速度切換え手段を制御する切換え制御手段とをさら
に備えたことを特徴とする。

【００１０】請求項７に係る発明は、処理液が収容さ
れ、その処理液中に吐出管路の一端が差し込まれた密閉
容器と、この密閉容器の内部を比較的低い空気圧で加圧
して密閉容器内から比較的小流量の処理液を前記吐出管
路内へ送り出す低加圧系統とを備え、前記吐出管路を通
して基板へ処理液を供給するようにした基板処理装置用
処理液供給装置において、前記密閉容器の内部を比較的
高い空気圧で加圧して密閉容器内から比較的大流量の処
理液を前記吐出管路内へ送り出す高加圧系統と、前記低
加圧系統又は前記高加圧系統の何れか一方により前記密
閉容器の内部を加圧するように切り換える圧力切換え手
段と、基板への処理液供給時には前記低加圧系統により
前記密閉容器内部を加圧して密閉容器内から比較的小流
量の処理液を送り出し、気泡抜き時には前記高加圧系統
により前記密閉容器内部を加圧して密閉容器内から比較
的大流量の処理液を送り出すように、前記圧力切換え手
段を制御する切換え制御手段とをさらに備えたことを特
徴とする。

【００１１】

【作用】請求項１に記載の発明に係る処理液供給装置で
は、基板へ処理液を供給して基板の処理を行なうときに
は、従来通り、低速駆動手段のみによりポンプが低速で
駆動されて、ポンプから比較的小流量の処理液が吐出管
路内へ送り出される。一方、吐出管路内からの気泡抜き
を行なうときは、切換え制御手段により速度切換え手段
が切り換えられて高速駆動手段が作動し、その高速駆動
手段により上記ポンプが高速で駆動されて、ポンプから
比較的大流量の処理液が吐出管路内へ送り出される。こ
のように、気泡抜き時には、比較的大流量の処理液が吐
出管路内に流されるので、気泡抜きの作業が迅速に行な
われることとなる。請求項２に記載の発明に係る処理液
供給装置では、ベローズが低速及び高速で切換え的に伸
縮駆動されることにより、ベローズから吐出管路内へ比
較的小流量及び比較的大流量の処理液が切換え的に送り
出される。請求項３に記載の発明に係る処理液供給装置
では、ダイヤフラムが低速及び高速で切換え的に変位駆
動されることにより、ダイヤフラムから吐出管路内へ比
較的小流量及び比較的大流量の処理液が切換え的に送り
出される。

【００１２】請求項４に記載の発明に係る処理液供給装
置では、基板への処理液供給時には、圧縮空気源と第１
のシリンダ動作切換え弁とが連通させられ、第１のシリ
ンダ動作切換え弁が作動し、低速用速度制御弁がそれぞ
れ介挿された第１の空気管路及び第１の別の空気管路を
通して、シリンダの一端側の流出入口への圧縮空気の供
給及びシリンダの他端側の流出入口からの圧縮空気の排
出と、シリンダの他端側の流出入口への圧縮空気の供給
及びシリンダの一端側の流出入口からの圧縮空気の排出
とが交互に繰り返されることにより、シリンダが低速で
駆動されて、べローズが低速で伸縮駆動される。そし
て、べローズ内へ容器内の処理液が吸入管路を通して吸
入され、べローズから吐出管路内へ比較的小流量の処理
液が送り出される。一方、気泡抜き時には、圧縮空気源
と第２のシリンダ動作切換え弁とが連通させられ、第２
のシリンダ動作切換え弁が作動し、高速用速度制御弁が
それぞれ介挿された第２の空気管路及び第２の別の空気
管路を通して、シリンダの一端側の流出入口への圧縮空
気の供給及びシリンダの他端側の流出入口からの圧縮空
気の排出と、シリンダの他端側の流出入口への圧縮空気
の供給及びシリンダの一端側の流出入口からの圧縮空気
の排出とが交互に繰り返されることにより、シリンダが
高速で駆動されて、べローズが高速で伸縮駆動される。
そして、べローズ内へ容器内の処理液が吸入管路を通し
て吸入され、べローズから吐出管路内へ比較的大流量の
処理液が送り出される。

【００１３】請求項５に記載の発明に係る処理液供給装
置では、基板への処理液供給時には、クローズドセンタ
弁からなる第２のシリンダ動作切換え弁が中立位置に保
持され、第１のシリンダ動作切換え弁のみを介して、圧
縮空気源及び排気管路と第１の空気管路及び第１の別の
空気管路とが連通することが可能な状態とされ、第１の
シリンダ動作切換え弁が作動し、低速用速度制御弁がそ
れぞれ介挿された第１の空気管路及び第１の別の空気管
路を通して、シリンダの一端側の流出入口への圧縮空気
の供給及びシリンダの他端側の流出入口からの圧縮空気
の排出と、シリンダの他端側の流出入口への圧縮空気の
供給及びシリンダの一端側の流出入口からの圧縮空気の
排出とが交互に繰り返されることにより、シリンダが低
速で駆動されて、べローズが低速で伸縮駆動される。そ
して、べローズ内へ容器内の処理液が吸入管路を通して
吸入され、べローズから吐出管路内へ比較的小流量の処
理液が送り出される。一方、気泡抜き時には、クローズ
ドセンタ弁からなる第１のシリンダ動作切換え弁が中立
位置に保持され、第２のシリンダ動作切換え弁を介し
て、圧縮空気源及び排気管路と第２の空気管路及び第２
の別の空気管路とが連通することが可能な状態とされ、
第２のシリンダ動作切換え弁が作動し、高速用速度制御
弁がそれぞれ介挿された第２の空気管路及び第２の別の
空気管路を通して、シリンダの一端側の流出入口への圧
縮空気の供給及びシリンダの他端側の流出入口からの圧
縮空気の排出と、シリンダの他端側の流出入口への圧縮
空気の供給及びシリンダの一端側の流出入口からの圧縮
空気の排出とが交互に繰り返されることにより、シリン
ダが高速で駆動されて、べローズが高速で伸縮駆動され
る。そして、べローズ内へ容器内の処理液が吸入管路を
通して吸入され、べローズから吐出管路内へ比較的大流
量の処理液が送り出される。

【００１４】請求項６に記載の発明に係る処理液供給装
置では、基板への処理液供給時には、２位置弁からなる
第２のシリンダ動作切換え弁が停止したままま作動せ
ず、第１のシリンダ動作切換え弁のみが作動し、低速用
速度制御弁がそれぞれ介挿された第１の空気管路及び第
１の別の空気管路を通して、第１のシリンダの一端側の
流出入口への圧縮空気の供給及び第１のシリンダの他端
側の流出入口からの圧縮空気の排出と、第１のシリンダ
の他端側の流出入口への圧縮空気の供給及び第１のシリ
ンダの一端側の流出入口からの圧縮空気の排出とが交互
に繰り返されることにより、第１のシリンダが低速で駆
動されて、べローズが低速で伸縮駆動される。そして、
べローズ内へ容器内の処理液が吸入管路を通して吸入さ
れ、べローズから吐出管路内へ比較的小流量の処理液が
送り出される。一方、気泡抜き時には、第２のシリンダ
動作切換え弁が作動し、高速用速度制御弁がそれぞれ介
挿された第２の空気管路及び第２の別の空気管路を通し
て、第２のシリンダの一端側の流出入口への圧縮空気の
供給及び第２のシリンダの他端側の流出入口からの圧縮
空気の排出と、第２のシリンダの他端側の流出入口への
圧縮空気の供給及び第２のシリンダの一端側の流出入口
からの圧縮空気の排出とが交互に繰り返されることによ
り、第２のシリンダが高速で駆動されて、べローズが高
速で伸縮駆動される。そして、べローズ内へ容器内の処
理液が吸入管路を通して吸入され、べローズから吐出管
路内へ比較的大流量の処理液が送り出される。

【００１５】請求項７に記載の発明に係る処理液供給装
置では、基板へ処理液を供給して基板の処理を行なうと
きには、低加圧系統により密閉容器の内部が比較的低い
空気圧で加圧され、密閉容器内から比較的小流量の処理
液が吐出管路内へ送り出される。一方、吐出管路内から
の気泡抜きを行なうときは、切換え制御手段により圧力
切換え手段が切り換えられ、高加圧系統により密閉容器
の内部が比較的高い空気圧で加圧され、密閉容器内から
比較的大流量の処理液が吐出管路内へ送り出される。こ
のように、気泡抜き時には、比較的大流量の処理液が吐
出管路内に流され、気泡抜きの作業が迅速に行なわれ
る。

【００１６】

【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。

【００１７】図１は、請求項１及び請求項４に記載の発
明の１実施例を示し、基板処理装置用処理液供給装置の
概略流路構成を示す模式図である。この処理液供給装置
の処理液供給手段は、図８に示した従来装置と同様に構
成されている。すなわち、処理液１０を収容した容器１
２、この容器１２と吸入管路１４を介して吸入口が連通
接続され吐出口が吐出管路１６に連通接続されたベロー
ズ１８及びこのベローズ１８を伸縮駆動させるシリンダ
３０から構成されたポンプ、吐出管路１６の先端に接続
され供給口がウエハＷに対向するように配設された吐出
ノズル２４、並びに、吐出管路１６に介挿されたフィル
タ２６から構成されている。

【００１８】そして、この装置では、シリンダ30の一端
側の流出入口に、第１の空気管路32及び第２の空気管路
36がそれぞれ連通接続されているとともに、シリンダ30
の他端側の流出入口に、第１の別の空気管路34及び第２
の別の空気管路38がそれぞれ連通接続されている。第１
の空気管路32及び第１の別の空気管路34は、第１のシリ
ンダ動作切換え弁40の２つのポートにそれぞれ各別に接
続されており、他の２つのポートに圧縮空気の供給管路
28の分岐管路及び排気管路44が各別に接続されている。
一方、第２の空気管路36及び第２の別の空気管路38は、
第２のシリンダ動作切換え弁42の２つのポートにそれぞ
れ各別に接続されており、他の２つのポートに圧縮空気
の供給管路28の分岐管路及び排気管路46が各別に接続さ
れている。また、第１の空気管路32及び第１の別の空気
管路34に、それぞれ低速用速度制御弁48が介挿されてお
り、一方、第２の空気管路36及び第２の別の空気管路38
に、それぞれ高速用速度制御弁50が介挿されている。さ
らに、圧縮空気の供給管路28の各分岐管路及び各排気管
路44、46には、それぞれ電磁開閉弁52が介挿されいる。
そして、各電磁開閉弁52の開閉動作をそれぞれ制御する
制御器54が設けられている。

【００１９】図１に示した処理液供給装置を使用して基
板Ｗの表面へ処理液を供給するときは、制御器54により
各電磁開閉弁52をそれぞれ制御し、圧縮空気の供給管路
28と第１のシリンダ動作切換え弁40とを接続する分岐管
路に介挿された電磁開閉弁52及び排気管路44に介挿され
た電磁開閉弁52をそれぞれ開き、一方、圧縮空気の供給
管路28と第２のシリンダ動作切換え弁42とを接続する分
岐管路に介挿された電磁開閉弁52及び排気管路46に介挿
された電磁開閉弁52をそれぞれ閉じる。そして、第１の
シリンダ動作切換え弁40を作動させる。すなわち、図２
に第１のシリンダ動作切換え弁40の構成の１例及びその
動作を示すように、第１のシリンダ動作切換え弁40を同
図（ａ）に示した状態と同図（ｂ）に示した状態とに交
互に切り換える動作を繰り返させることにより、低速用
速度制御弁48がそれぞれ介挿された第１の空気管路32及
び第１の別の空気管路34を通して、シリンダ30の一端側
の流出入口からシリンダ30内へ圧縮空気を供給するとと
もにシリンダ30の他端側の流出入口からシリンダ30外へ
圧縮空気を排出し、次いでシリンダ30の他端側の流出入
口からシリンダ30内へ圧縮空気を供給するとともにシリ
ンダ30の一端側の流出入口からシリンダ30外へ圧縮空気
を排出し、これらの動作を交互に繰り返させる。これに
より、シリンダ30が低速で駆動され、べローズ18が低速
で伸縮駆動される。そして、容器12から処理液10が、吸
入管路14を通しベローズ18を経て吐出管路16内へ送給さ
れ、比較的小流量の処理液が吐出管路16を通って吐出ノ
ズル24の先端からウエハＷへ吐出される。

【００２０】一方、吐出管路16内からの気泡抜きを行な
うときは、制御器54により各電磁開閉弁52をそれぞれ制
御し、圧縮空気の供給管路28と第２のシリンダ動作切換
え弁42とを接続する分岐管路に介挿された電磁開閉弁52
及び排気管路46に介挿された電磁開閉弁52をそれぞれ開
き、一方、圧縮空気の供給管路28と第１のシリンダ動作
切換え弁40とを接続する分岐管路に介挿された電磁開閉
弁52及び排気管路44に介挿された電磁開閉弁52をそれぞ
れ閉じる。そして、第２のシリンダ動作切換え弁42を、
上記した第１のシリンダ動作切換え弁40と同様に作動さ
せることにより、高速用速度制御弁50がそれぞれ介挿さ
れた第２の空気管路36及び第２の別の空気管路38を通し
て、シリンダ30の一端側の流出入口からシリンダ30内へ
圧縮空気を供給するとともにシリンダ30の他端側の流出
入口からシリンダ30外へ圧縮空気を排出し、次いでシリ
ンダ30の他端側の流出入口からシリンダ30内へ圧縮空気
を供給するとともにシリンダ30の一端側の流出入口から
シリンダ30外へ圧縮空気を排出し、これらの動作を交互
に繰り返させる。これにより、シリンダ30が高速で駆動
され、べローズ18が高速で伸縮駆動されて、比較的大流
量の処理液がベローズ18から吐出管路16内へ送給され
る。そして、比較的大流量の処理液が吐出管路16内を流
され、その処理液が、フィルタ26に付設された廃液ライ
ンを通して排出され或いは吐出ノズル24から排出される
ことにより、吐出管路16内部からの気泡抜きの作業が迅
速に行なわれる。

【００２１】尚、上記説明では、気泡抜き時に、圧縮空
気の供給管路28と第２のシリンダ動作切換え弁42とを接
続する分岐管路に介挿された電磁開閉弁52及び排気管路
46に介挿された電磁開閉弁52だけを開き第２のシリンダ
動作切換え弁42だけを作動させるようにしているが、す
べての電磁開閉弁52を開き、第１のシリンダ動作切換え
弁40と第２のシリンダ動作切換え弁42との作動タイミン
グを一致させて双方のシリンダ動作切換え弁40、42を同
時に作動させるようにしてもよい。

【００２２】尚、上記実施例の装置において、ベローズ
18の代わりにダイヤフラムを用いてポンプを構成するよ
うにしてもよい。

【００２３】次に、図３は、請求項１及び請求項５に記
載の発明の実施例を示す処理液供給装置の概略流路構成
図であり、図４は、この処理液供給装置における第１の
シリンダ動作切換え弁４００及び第２のシリンダ動作切
換え弁４２０の構成の１例及びその動作を示す図であ
る。

【００２４】図３に示した処理液供給装置が、図１に示
した処理液供給装置と相違する点は、第１のシリンダ動
作切換え弁400及び第２のシリンダ動作切換え弁420をそ
れぞれ４ポート３位置クローズドセンタ弁で構成し、シ
リンダ30（ベローズ18）の速度を切り換える場合には、
第１のシリンダ動作切換え弁400又は第２のシリンダ動
作切換え弁420の何れか一方が中立位置となるように制
御器54によって制御するようにし、電磁開閉弁52を不要
とした構成にある。その以外の構成は、図１に示した処
理液供給装置と同様であり、その説明を省略する。

【００２５】図３に示した処理液供給装置を使用して基
板Ｗの表面へ処理液を供給するときは、まず、制御器54
により第２のシリンダ動作切換え弁420を図３の（ａ）
及び（ｂ）に示すように中立位置に保持して、第１のシ
リンダ動作切換え弁400のみを介し、圧縮空気の供給管
路28の分岐管路及び排気管路44と低速用速度制御弁48が
それぞれ介挿された第１の空気管路32及び第１の別の空
気管路34とが連通することが可能な状態とする。そし
て、第１のシリンダ動作切換え弁400を作動させること
により、低速用速度制御弁48がそれぞれ介挿された第１
の空気管路32及び第１の別の空気管路34を通し、図３の
（ａ）に示す状態においてシリンダ30の一端側の流出入
口からシリンダ30内へ圧縮空気を供給するとともにシリ
ンダ30の他端側の流出入口からシリンダ30外へ圧縮空気
を排出し、次いで、制御器54により第１のシリンダ動作
切換え弁400を図３の（ｂ）に示す状態に切り換えて、
シリンダ30の他端側の流出入口からシリンダ30内へ圧縮
空気を供給するとともにシリンダ30の一端側の流出入口
からシリンダ30外へ圧縮空気を排出し、これらの動作を
交互に繰り返させる。これにより、シリンダ30が低速で
駆動されて、ベローズ18が低速で伸縮駆動される。そし
て、容器12から処理液10が、吸入管路14を通しベローズ
18を経て吐出管路16内へ送給され、比較的小流量の処理
液が吐出管路16を通って吐出ノズル24の先端からウエハ
Ｗへ吐出される。

【００２６】一方、吐出管路16内からの気泡抜きを行な
うときは、まず、制御器54により第１のシリンダ動作切
換え弁400を図３の（ｃ）及び（ｄ）に示すように中立
位置に保持して、第２のシリンダ動作切換え弁420のみ
を介し、圧縮空気の供給管路28の分岐管路及び排気管路
44と高速用速度制御弁50がそれぞれ介挿された第２の空
気管路36及び第２の別の空気管路38とが連通することが
可能な状態とする。そして、第２のシリンダ動作切換え
弁420を作動させることにより、高速用速度制御弁50が
それぞれ介挿された第２の空気管路36及び第２の別の空
気管路38を通し、図３の（ｃ）に示す状態においてシリ
ンダ30の一端側の流出入口からシリンダ30内へ圧縮空気
を供給するとともにシリンダ30の他端側の流出入口から
シリンダ30外へ圧縮空気を排出し、次いで、制御器54に
より第２のシリンダ動作切換え弁420を図３の（ｄ）に
示す状態に切り換えて、シリンダ30の他端側の流出入口
からシリンダ30内へ圧縮空気を供給するとともにシリン
ダ30の一端側の流出入口からシリンダ30外へ圧縮空気を
排出し、これらの動作を交互に繰り返させる。これによ
り、シリンダ30が高速で駆動されて、ベローズ18が高速
で伸縮駆動される。そして、容器12から処理液10が、吸
入管路14を通しベローズ18を経て吐出管路16内へ送給さ
れ、比較的大流量の処理液が吐出管路16を通って吐出ノ
ズル24の先端からウエハＷへ吐出される。

【００２７】尚、上記説明では、気泡抜き時に、第１の
シリンダ動作切換え弁400を中立位置に保持して第２の
シリンダ動作切換え弁420だけを作動させるようにして
いるが、第１のシリンダ動作切換え弁400と第２のシリ
ンダ動作切換え弁420との作動タイミングを一致させて
双方のシリンダ動作切換え弁400、420を同時に作動させ
るようにしてもよい。

【００２８】次に、図５は、請求項１及び請求項６に記
載の発明の実施例を示す処理液供給装置の概略流路構成
図であり、図６は、この処理液供給装置における第１の
シリンダ動作切換え弁７０及び第２のシリンダ動作切換
え弁７２の構成の１例及びその動作を示す図である。

【００２９】図５に示した処理液供給装置は、ベローズ
18を伸縮駆動させる駆動手段が、ベローズ18に直接連結
された第１のシリンダ60ａと、この第１のシリンダ60ａ
にタンデム状に連接され、第１のシリンダ60ａを介在さ
せてベローズ18を伸縮駆動させる第２のシリンダ60ｂと
から構成されている。そして、第１のシリンダ60ａの一
端側の流出入口に連通接続された第１の空気管路62及び
他端側の流出入口に連通接続された第１の別の空気管路
64に、それぞれ低速用速度制御弁78が介挿されており、
第１の空気管路62及び第１の別の空気管路64が、４ポー
ト２位置弁で構成された第１のシリンダ動作切換え弁70
の２つのポートにそれぞれ各別に接続され、残りのポー
トに圧縮空気の供給管路28の分岐管路及び排気管路74が
各別に接続されている。一方、第２のシリンダ60ｂの一
端側の流出入口に連通接続された第２の空気管路66及び
他端側の流出入口に連通接続された第２の別の空気管路
68に、それぞれ高速用速度制御弁80が介挿されており、
第２の空気管路66及び第２の別の空気管路68が、４ポー
ト２位置弁で構成された第２のシリンダ動作切換え弁72
の２つのポートにそれぞれ各別に接続され、残りのポー
トに圧縮空気の供給管路28の分岐管路及び排気管路76が
各別に接続されている。また、第１のシリンダ動作切換
え弁70及び第２のシリンダ動作切換え弁72の切換え動作
をそれぞれ制御する制御器84が設けられている。

【００３０】図５に示した処理液供給装置を使用して基
板Ｗの表面へ処理液を供給するときは、まず、制御器84
により第２のシリンダ動作切換え弁72を図６の（ａ）及
び（ｂ）に示すような状態に保持したままにして、第１
のシリンダ動作切換え弁70のみを作動させることによ
り、低速用速度制御弁78がそれぞれ介挿された第１の空
気管路62及び第１の別の空気管路64を通し、図６の
（ａ）に示す状態において第１のシリンダ60ａの他端側
の流出入口から第１のシリンダ60ａ内へ圧縮空気を供給
するとともに第１のシリンダ60ａの一端側の流出入口か
ら第１のシリンダ60ａ外へ圧縮空気を排出し、次いで、
制御器84により第１のシリンダ動作切換え弁70を図６の
（ｂ）に示す状態に切り換えて、第１のシリンダ60ａの
一端側の流出入口から第１のシリンダ60ａ内へ圧縮空気
を供給するとともに第１のシリンダ60ａの他端側の流出
入口から第１のシリンダ60ａ外へ圧縮空気を排出し、こ
れらの動作を交互に繰り返させる。これにより、第１の
シリンダ60ａを低速で駆動させて、べローズ18を低速で
伸縮駆動させる。そして、ベローズ18から吐出管路16内
へ比較的小流量の処理液を送り出し、その処理液を吐出
ノズル24の先端からウエハＷへ吐出させるようにする。

【００３１】一方、吐出管路16内からの気泡抜きを行な
うときは、まず、制御器84により第１のシリンダ動作切
換え弁70を図６の（ｃ）及び（ｄ）に示すような状態に
保持したままにして、第２のシリンダ動作切換え弁72の
みを作動させることにより、高速用速度制御弁80がそれ
ぞれ介挿された第２の空気管路66及び第２の別の空気管
路68を通し、図６の（ｃ）に示す状態において第２のシ
リンダ60ｂの他端側の流出入口から第２のシリンダ60ｂ
内へ圧縮空気を供給するとともに第２のシリンダ60ｂの
一端側の流出入口から第２のシリンダ60ｂ外へ圧縮空気
を排出し、次いで、制御器84により第２のシリンダ動作
切換え弁72を図６の（ｄ）に示す状態に切り換えて、第
２のシリンダ60ｂの一端側の流出入口から第２のシリン
ダ60ｂ内へ圧縮空気を供給するとともに第２のシリンダ
60ｂの他端側の流出入口から第２のシリンダ60ｂ外へ圧
縮空気を排出し、これらの動作を交互に繰り返させる。
これにより、第２のシリンダ60ｂを高速で駆動させて、
べローズ18を高速で伸縮駆動させる。そして、ベローズ
18から吐出管路16内へ比較的大流量の処理液を送り出
し、その処理液を吐出管路16内に流して、フィルタ26に
付設された廃液ラインを通して排出し或いは吐出ノズル
24から排出する。これにより、吐出管路16内部からの気
泡抜きの作業が迅速に行なわれることとなる。

【００３２】尚、気泡抜き時に、第１のシリンダ動作切
換え弁70と第２のシリンダ動作切換え弁72との作動タイ
ミングを一致させて双方のシリンダ動作切換え弁70、72
を同時に作動させ、第１のシリンダ60ａと第２のシリン
ダ60ｂとを同時に駆動させるようにしてもよい。

【００３３】図７は、請求項７に記載の発明の１実施例
を示し、処理液供給装置の概略流路構成を示す模式図で
ある。

【００３４】この処理液供給装置は、処理液（フォトレ
ジスト液)10が収容され密閉された密閉容器100、この密
閉容器100内の処理液10中に一端が差し込まれ、電磁開
閉弁104が介挿された吐出管路102、この吐出管路102に
接続され供給口がウエハＷに対向するように配設された
吐出ノズル106、密閉容器100に連通された給気管路108
を通して密閉容器100の内部を比較的低い空気圧で加圧
する低圧加圧系統110、給気管路108を通して密閉容器10
0の内部を比較的高い空気圧で加圧する高圧加圧系統112
などを備えて構成されている。低圧加圧系統110は、圧
縮空気の供給管路114から分岐し給気管路108に流路接続
された分岐管路116に、調圧弁118、圧力計120及び加圧
時に分岐管路116を介して圧縮空気の供給管路114と給気
管路108とを連通させる三方弁122を介挿して構成されて
おり、比較的低い供給圧が得られるように調圧弁118が
調整設定されている。一方、高圧加圧系統112は、圧縮
空気の供給管路114から分岐し給気管路108に流路接続さ
れた分岐管路124に、調圧弁126、圧力計128及び加圧時
に分岐管路124を介して圧縮空気の供給管路114と給気管
路108とを連通させる三方弁130を介挿して構成されてお
り、比較的高い供給圧が得られるように調圧弁126が調
整設定されている。また、各分岐管路116、124には、電
磁開閉弁132、134がそれぞれ介挿されており、その各電
磁開閉弁132、134を択一的に開放・閉塞するように制御
する制御器136が設けられている。

【００３５】図７に示した処理液供給装置を使用して基
板Ｗの表面へ処理液を供給するときは、制御器136によ
り各電磁開閉弁132、134を制御して、分岐管路116に介
挿された電磁開閉弁132を開き、分岐管路124に介挿され
た電磁開閉弁134を閉じる。そして、低圧加圧系統110に
より、密閉容器100に連通された給気管路108を通して密
閉容器100の内部を比較的低い空気圧で加圧する。これ
により、密閉容器100内から比較的小流量の処理液10が
吐出管路102内へ送り出され、吐出管路102の先端の吐出
ノズル106から基板Ｗの表面へ処理液が供給される。

【００３６】一方、吐出管路102内からの気泡抜きを行
なうときは、制御器136により各電磁開閉弁132、134を
制御して、分岐管路124に介挿された電磁開閉弁134を開
き、分岐管路116に介挿された電磁開閉弁132を閉じる。
そして、高加圧系統112により、密閉容器100に連通され
た給気管路108を通して密閉容器100の内部を比較的高い
空気圧で加圧する。これにより、密閉容器100内から比
較的大流量の処理液10が吐出管路102内へ送り出され、
比較的大流量の処理液が吐出管路102内を流れて吐出ノ
ズル106から排出される。このように、気泡抜き時に
は、比較的大流量の処理液が吐出管路102内に流され、
気泡抜きの作業が迅速に行なわれる。

【００３７】

【発明の効果】請求項１ないし請求項７に記載の各発明
に係る処理液供給装置を使用したときは、基板の処理工
程において、日常的に行なう必要のある吐出管路からの
気泡抜きの作業が迅速に行なわれるため、作業性を向上
させ装置の稼働率の向上を図ることができる。

【００３８】そして、請求項４ないし請求項６に記載の
各発明によれば、ベローズ型ポンプを使用してそのポン
プの駆動速度を高・低の２段に切り換えるといった構成
により、また、請求項７に記載の発明によれば、ポンプ
を使用しないで処理液の圧送圧力を高・低の２段に切り
換えるといった構成により、簡単な装置構成で、制御も
簡単でかつ条件通りに確実に行なうことができて、上記
効果を奏する処理液供給装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１及び請求項４に記載の発明の１実施例
を示し、基板処理装置用処理液供給装置の概略流路構成
を示す模式図である。

【図２】図１に示した処理液供給装置における第１のシ
リンダ動作切換え弁の構成の１例及びその動作を示す図
である。

【図３】請求項１及び請求項５に記載の発明の実施例を
示し、処理液供給装置の概略流路構成を示す模式図であ
る。

【図４】図３に示した処理液供給装置における第１のシ
リンダ動作切換え弁及び第２のシリンダ動作切換え弁の
構成の１例及びその動作を示す図である。

【図５】請求項１及び請求項６に記載の発明の実施例を
示し、処理液供給装置の概略流路構成を示す模式図であ
る。

【図６】図５に示した処理液供給装置における第１のシ
リンダ動作切換え弁及び第２のシリンダ動作切換え弁の
構成の１例及びその動作を示す図である。

【図７】請求項７に記載の発明の１実施例を示し、処理
液供給装置の概略流路構成を示す模式図である。

【図８】従来の処理液供給装置の概略流路構成の１例を
示す模式図である。

【符号の説明】

10 処理液 12 容器 14 吸入管路 16、102 吐出管路 18 べローズ 24、106 吐出ノズル 28、114 圧縮空気の供給管路 30 シリンダ 32、62 第１の空気管路 34、64 第１の別の空気管路 36、66 第２の空気管路 38、68 第２の別の空気管路 40、70、400 第１のシリンダ動作切換え弁 42、72、420 第２のシリンダ動作切換え弁 44、46、74、76 排気管路 48、78 低速用速度制御弁 50、80 高速用速度制御弁 52、132、134 電磁開閉弁 54、84、136 制御器 60ａ 第１のシリンダ 60ｂ 第２のシリンダ 100 密閉容器 108 給気管路 110 低圧加圧系統 112 高圧加圧系統 118、126 調圧弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−114565（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−211920（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−110656（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−77932（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−121435（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B05B 9/00 - 9/08 B05B 12/00 - 13/06 B05C 11/00 - 11/115 G03F 7/16 H01L 21/306

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吐出管路を通して基板へ処理液を供給す
   るポンプと、 このポンプから比較的小流量の処理液を送り出すように
   ポンプを低速で駆動させる低速駆動手段とを備えた基板
   処理装置用処理液供給装置において、 前記ポンプから比較的大流量の処理液を送り出すように
   ポンプを高速で駆動させる高速駆動手段と、前記ポンプから比較的小流量の処理液を送り出すときは
   前記低速駆動手段のみを作動させ、前記ポンプから比較
   的大流量の処理液を送り出すときは前記高速駆動手段を
   作動させるように、１台のポンプの駆動速度を切り換え
   る速度切換え手段と、 基板への処理液供給時には前記低速駆動手段のみを作動
   させて前記ポンプから比較的小流量の処理液を送り出
   し、気泡抜き時には前記高速駆動手段を作動させて前記
   ポンプから比較的大流量の処理液を送り出すように、前
   記速度切換え手段を制御する切換え制御手段とをさらに
   備えたことを特徴とする基板処理装置用処理液供給装
   置。
2. 【請求項２】 前記ポンプが、吐出口が吐出管路に連通
   接続されたベローズ及びこのベローズを伸縮駆動させる
   駆動手段から構成されたベローズ型ポンプである請求項
   １記載の基板処理装置用処理液供給装置。
3. 【請求項３】 前記ポンプが、吐出口が吐出管路に連通
   接続されたダイヤフラム及びこのダイヤフラムを変位駆
   動させる駆動手段から構成されたダイヤフラム型ポンプ
   である請求項１記載の基板処理装置用処理液供給装置。
4. 【請求項４】 処理液が収容された容器と、 この容器と吸入管路を介して吸入口が連通接続され吐出
   口が吐出管路に連通接続されたベローズと、 このベローズを伸縮駆動させるシリンダと、 圧縮空気源、排気管路並びに前記シリンダの一端側の流
   出入口との第１の空気管路及び他端側の流出入口との第
   １の別の空気管路に各別に流路接続された４つのポート
   を持つ第１のシリンダ動作切換え弁と、 前記第１の空気管路及び前記第１の別の空気管路にそれ
   ぞれ介挿された低速用 速度制御弁とを備えた基板処理装
   置用処理液供給装置において、 前記圧縮空気源、排気管路並びに前記シリンダの一端側
   の流出入口との第２の空気管路及び他端側の流出入口と
   の第２の別の空気管路に各別に流路接続された４つのポ
   ートを持つ第２のシリンダ動作切換え弁と、 前記第２の空気管路及び前記第２の別の空気管路にそれ
   ぞれ介挿された高速用速度制御弁と、 前記圧縮空気源と前記第１のシリンダ動作切換え弁又は
   前記第２のシリンダ動作切換え弁とを択一的に連通させ
   る弁機構と、 基板への処理液供給時には前記圧縮空気源と前記第１の
   シリンダ動作切換え弁とを連通させて前記ベローズから
   比較的小流量の処理液を送り出し、気泡抜き時には前記
   圧縮空気源と前記第２のシリンダ動作切換え弁とを連通
   させて前記ベローズから比較的大流量の処理液を送り出
   すように、前記弁機構を制御する切換え制御手段とをさ
   らに備えたことを特徴とする 基板処理装置用処理液供給
   装置。
5. 【請求項５】 処理液が収容された容器と、 この容器と吸入管路を介して吸入口が連通接続され吐出
   口が吐出管路に連通接続されたベローズと、 このベローズを伸縮駆動させるシリンダと、 圧縮空気源、排気管路並びに前記シリンダの一端側の流
   出入口との第１の空気管路及び他端側の流出入口との第
   １の別の空気管路に各別に流路接続された４つのポート
   を持つクローズドセンタ弁からなる第１のシリンダ動作
   切換え弁と、 前記第１の空気管路及び前記第１の別の空気管路にそれ
   ぞれ介挿された低速用速度制御弁とを備えた基板処理装
   置用処理液供給装置において、 前記圧縮空気源、排気管路並びに前記シリンダの一端側
   の流出入口との第２の空気管路及び他端側の流出入口と
   の第２の別の空気管路に各別に流路接続された４つのポ
   ートを持つクローズドセンタ弁からなる第２のシリンダ
   動作切換え弁と、 前記第２の空気管路及び前記第２の別の空気管路にそれ
   ぞれ介挿された高速用速度制御弁と、 前記第１のシリンダ動作切換え弁又は前記第２のシリン
   ダ動作切換え弁を択一 的に中立位置とする速度切換え手
   段と、 基板への処理液供給時には前記第２のシリンダ動作切換
   え弁を中立位置にして前記ベローズから比較的小流量の
   処理液を送り出し、気泡抜き時には前記第１のシリンダ
   動作切換え弁を中立位置にして前記ベローズから比較的
   大流量の処理液を送り出すように、前記速度切換え手段
   を制御する切換え制御手段とをさらに備えたことを特徴
   とする 基板処理装置用処理液供給装置。
6. 【請求項６】 処理液が収容された容器と、 この容器と吸入管路を介して吸入口が連通接続され吐出
   口が吐出管路に連通接続されたベローズと、 このベローズを伸縮駆動させる第１のシリンダと、 圧縮空気源、排気管路並びに前記第１のシリンダの一端
   側の流出入口との第１の空気管路及び他端側の流出入口
   との第１の別の空気管路に各別に流路接続された４つの
   ポートを持つ２位置弁からなる第１のシリンダ動作切換
   え弁と、 前記第１の空気管路及び前記第１の別の空気管路にそれ
   ぞれ介挿された低速用速度制御弁とを備えた基板処理装
   置用処理液供給装置において、 前記第１のシリンダにタンデム状に連接され、前記ベロ
   ーズを伸縮駆動させる第２のシリンダと、 前記圧縮空気源、排気管路並びに前記第２のシリンダの
   一端側の流出入口との第２の空気管路及び他端側の流出
   入口との第２の別の空気管路に各別に流路接続された４
   つのポートを持つ２位置弁からなる第２のシリンダ動作
   切換え弁と、 前記第２の空気管路及び前記第２の別の空気管路にそれ
   ぞれ介挿された高速用速度制御弁と、 前記第１のシリンダ動作切換え弁のみ又は前記第２のシ
   リンダ動作切換え弁を択一的に作動させる速度切換え手
   段と、 基板への処理液供給時には前記第１のシリンダ動作切換
   え弁のみを作動させて前記ベローズから比較的小流量の
   処理液を送り出し、気泡抜き時には前記第２のシリンダ
   動作切換え弁を作動させて前記ベローズから比較的大流
   量の処理液を送り出すように、前記速度切換え手段を制
   御する切換え制御手段とをさらに備えたことを特徴とす
   る基板処理装置用処理液供給装置。
7. 【請求項７】 処理液が収容され、その処理液中に吐出
   管路の一端が差し込まれた密閉容器と、 この密閉容器の内部を比較的低い空気圧で加圧して密閉
   容器内から比較的小流量の処理液を前記吐出管路内へ送
   り出す低加圧系統とを備え、 前記吐出管路を通して基板へ処理液を供給するようにし
   た基板処理装置用処理液供給装置において、 前記密閉容器の内部を比較的高い空気圧で加圧して密閉
   容器内から比較的大流量の処理液を前記吐出管路内へ送
   り出す高加圧系統と、 前記低加圧系統又は前記高加圧系統の何れか一方により
   前記密閉容器の内部を加圧するように切り換える圧力切
   換え手段と、 基板への処理液供給時には前記低加圧系統により前記密
   閉容器内部を加圧して密閉容器内から比較的小流量の処
   理液を送り出し、気泡抜き時には前記高加圧系統により
   前記密閉容器内部を加圧して密閉容器内から比較的大流
   量の処理液を送り出すように、前記圧力切換え手段を制
   御する切換え制御手段とをさらに備えたことを特徴とす
   る基板処理装置用処理液供給装置。