JPH0356040Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体製造用レジスト液、レジスト
シンナー、レジスト現像液、エツチング液、リン
ス液等の液体をフオトマスク基板や半導体基板に
半導体酸化物を被着した基板上に滴下する装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の滴下装置としては第２図に示す
ものが知られている。すなわち、１はレジスト液
等の液体２を貯蔵する貯蔵部としての容器、３は
一端が容器１内に挿入され他端にノズル４が設け
られた前記液体２を移送するための配管、５は逆
止弁、６は容器１内の液体２を吸い上げノズル４
に導くためのベローズポンプからなる圧送部、７
は液体２をノズル４から所定量滴下した後、液体
２の移送を停止するための停止弁で、この弁は逆
止弁作用を有している。８は停止弁７の閉鎖直後
に動作することによりノズル４側の液体を容器１
側に引き戻し、液体滴下終了時の液体２のボタ落
ち、ノズル部での液体乾燥によるノズルの汚染、
液体の粘度変化等を防止する引き戻し手段として
のサツクバツクバルブ、９は液体２内に混入して
いる異物を除去するためのフイルタ部で、これら
によつて滴下装置２０を構成している。逆止弁
５、圧送部６、停止弁７、サツクバツクバルブ８
およびフイルタ部９はこの順序で配管３の途中に
設けられている。フイルタ部９には液体２を固化
させる空気を外部に排出するための手段としてニ
ードル弁１０が設けられている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来の滴下装置にお
いては、停止弁７、サツクバツクバルブ８および
フイルタ部９がこの順序で圧送部６とノズル４と
の間に配設されていることから、停止弁７によつ
て液体２の移送を停止しても、フイルタ部９内に
液体２を滴下させるための圧力が残つているため
に、サツクバツクバルブ８を作動させてノズル４
側の液体２を引き戻そうとしてもその効果を十分
に発揮できず、液体２がフオトマスク基板上にボ
タ落ちしてしまい、均一な膜厚のレジスト膜が得
られないという問題があつた。このことは、特に
未使用のフイルタを内蔵したフイルタ部を用いた
時に顕著である。すなわち、未使用フイルタは液
体２がフイルタを通過しずらいことから、圧送部
６の圧力を高くして液体２をノズル４へ移送する
必要があるが、そうするとサツクバツクバルブ８
による引き戻し効果をより一層低下させることに
なるからである。

なお、サツクバツクバルブ８をフイルタ部９と
ノズル４との間に配置しても、フイルタ部内の圧
力の影響を受けるため、同様に液体はボタ落ちす
る。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案に係る滴下装置は上述したような問題点
を解決すべくなされたもので、液体中の異物を除
去するフイルタ部、滴下終了後閉鎖される停止弁
の閉鎖直後に動作してノズル側の液体を停止弁側
へ引き戻す手段とをこの順序で液体移送用配管の
途中に設けたものである。

〔作用〕

本考案においてはフイルタ部内の圧力は停止弁
で遮断され、下流側の引き戻し手段に作用しない
ため、該手段による引き戻し効果を十分に発揮す
るこてができる。したがつて、滴下終了後の液体
のボタ落ちを防止する。

〔実施例〕

以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

第１図は本考案に係る滴下装置の一実施例を示
す構成図である。なお、図中第２図に示した従来
装置と同一構成部品のものに対しては同一符号を
以つて示し、その説明を省略する。同図におい
て、本実施例は配管３の途中で圧送部６とフイル
タ部９との間に逆止弁２１を設けた点、同じく配
管３の途中でフイルタ部９とノズル４との間にエ
ア駆動型の停止弁７（例：(株)ハルナ社製エア弁
AV1C−53T−W1／4T）および液体２の引き戻
し手段としてのダイヤフラム式サツクバツクバル
ブ８（例：フローコントロールコンポーネツツ社
製990−01）をこの順序で配置した点および容器
１をフイルタ部９のニードル弁１０とを配管３と
は別の配管２２によつて接続した点が第２図に示
した従来装置と異なつている。

この場合、配管３と２２とは容器１内において
適宜間隔Ｄ（例えば10cm程度）を保つて液体２内
に差し込まれ、また配管２２の下端は配管３の下
端よりΔh（例：１cm）だけ上方に位置している。
フイルタ部９の空気排出口２４は、該フイルタ部
９における液体２がフイルタに入る方を上にし、
その最高の位置に設けられており、最も空気が排
出しやすいようになつている。上流側の逆止弁５
は圧送部６が収縮したとき、圧送部６側の液体２
が容器１側に逆流するのを防止する。一方、下流
側の逆止弁２１は圧送部６が伸長した時、該圧送
部６が負圧となるためフイルタ部９側の液体２が
圧送部６側に逆流するのを防止する。

次に、このような構成からなる滴下装置の動作
等について説明する。

先ず圧送部６を伸縮動作させることにより、容
器１内の液体２を配管３内に吸い上げ、逆止弁
５、圧送部６、逆止弁２１、フイルタ部９、停止
弁７およびサツクバツクバルブ８を経てノズル４
に導き、フオトマスク基板２５上に滴下する。圧
送部６の動作中、ニードル弁１０は開いており、
フイルタ部９内の空気を配管２２を介して容器１
内に排出する。次に、所定量の液体２を滴下した
後、停止弁７を閉鎖する。この時、圧送部６のベ
ローズは伸長状態にて停止する。停止弁７の閉鎖
後直ちにサツクバツクバルブ８を動作させてノズ
ル４側の液体２を停止弁７側に引き戻し、ノズル
４からのボタ落ちを防止する。続いて、再度液体
２を滴下するときは、停止弁７を開く一方、サツ
クバツクバルブ８を停止し、圧送部６のベローズ
を伸縮動作させればよい。

ここで、本実施例構造においてはフイルタ部
９、停止弁７およびサツクバツクバルブ８を配管
３の途中にこの順序で配置しているので、液体２
の移送・滴下終了時にフイルタ部９内の圧力を停
止弁７が完全に遮断してサツクバツクバルブ８に
伝えることがなく、したがつて該バルブ８による
液体の引き戻し効果を十分に発揮し、ノズル４か
らの液体２のボタ落ちを防止するものである。ま
た、本実施例はフイルタ部９の最も高い位置にニ
ードル弁１０が接続される空気排出口２４を設
け、かつその配管２２を容器１内の液体２中に挿
入しているので、フイルタ部９内に空気が滞留す
ることがなく、その結果液体２の固化を防止で
き、またフイルタ部９内の液体が空気と共に前記
排出口２４より排出されても、この液体はニード
ル弁１０および配管２２を通つて容器１内に排出
され、再利用されるため、液体２の消費量が少な
く経済的である。さらに、配管２２の容器１側端
を配管３の容器１側端より適宜距離Ｄだけはなす
と共に上方にΔhだけ位置させているので、配管
２２から液体２中に排出された空気が配管３に入
り込むことはない。加えて、容器１内の液体２が
配管２２を通つてフイルタ部９内に入つても、そ
の入つた液体はフイルタによつてフイルタリング
されることから何ら問題はない。また、圧送部６
を停止したときでも、ニードル弁１０を開いてお
けば、フイルタ部９内の空気はそのフイルタ部９
内が大気圧になるまで排出され、液体２の固化を
減少させることができる。

なお、上記実施例はベローズポンプで圧送部６
を構成したが、本考案はこれに何ら特定されるも
ものではなく、他のポンプであつてもよく、また
容器１内にN₂ガス等の不活性ガスを入れて、そ
の圧力により液体２を送り出すようにしたもので
あつてもよい。但し、この加圧による移送の場合
は、逆止弁は１つでよい。さらに、上記実施例の
ようにフイルタ部９に空気排出用の配管２２を接
続しているときは、該配管２２を容器１とは別の
容器に入れる必要がある。なぜなら、同一の容器
だと、配管２２を逆流してしまうからである。ま
た、上記実施例構造であつても、別の容器を設
け、その中に配管２２を挿入してもよい。

また、停止弁７および引き戻し手段８も上述の
形式のものに特定されるものではなく、他の形式
のものの使用が可能であることはいうまでもな
い。

〔考案の効果〕

以上述べたように本考案に係る滴下装置は、液
体移送用の配管途中にフイルタ部を設け、このフ
イルタ部とノズルとの間の配管中に停止弁と、滴
下終了後ノズル側の液体を停止弁側に引き戻す手
段とをこの順序で設けたので、滴下終了時にフイ
ルタ部内の圧力を停止弁が遮断して引き戻し手段
に悪影響を及ぼすことがなく、したがつて、該引
き戻し手段が十分に引き戻し効果を発揮し、ノズ
ルからの液体のボタ落ち、更には液体乾燥による
ノズル部の汚染、液体の粘度変化等を防止し、安
定した装置を提供することができる。また、構造
も簡単で、既存装置でも容易に改良することがで
き、その実用上の効果大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る滴下装置の一実施例を示
す構成図、第２図は従来装置の構成図である。 １……容器（貯蔵部）、２……液体、３……配
管、４……ノズル、５……逆止弁、６……圧送
部、７……停止弁、８……サツクバツクバルブ、
９……フイルタ部、１０……ニードル弁、２２…
…配管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 滴下すべき液体を貯蔵する貯蔵部と、先端にノ
   ズルが設けられ前記液体を移送するための配管
   と、前記貯蔵部内の液体を配管に導くための圧送
   部と、前記配管の途中に設けられ液体中の異物を
   除去するフイルタ部と、このフイルタ部より下流
   側配管中に設けられ滴下終了後閉鎖される停止弁
   およびこの停止弁より下流側配管中に設けられ該
   停止弁の閉鎖直後動作することによりノズル側の
   液体を停止弁側へ引き戻すための手段とを備えた
   ことを特徴とする滴下装置。