JP3428946B2 - 半導体工場の自動搬送記録解析システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場の自動
搬送記録解析システムに関し、特に、半導体工場におけ
る保守管理に用いて好適な半導体工場の自動搬送記録解
析システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体工場においては、同種の処理を行
う半導体製造装置を１つのエリア（１つのベイ）に集め
て配置するジョブショップ式のレイアウトが一般に採用
されている。

【０００３】例えば図９に示すように、半導体工場１０
０は、拡散処理を行う拡散ベイ１０１と、化学蒸着を行
うＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）ベイ１０２
と、エッチングを行うエッチングベイ１０３と、検査を
行う検査ベイ１０４と、露光を行うフォトベイ１０５
と、洗浄を行う洗浄ベイ１０６とを備えている。各ベイ
内には、さらにその内部で処理された被処理物を倉庫等
に搬送するベイ内走行車が設けられている。

【０００４】例えば、ＣＶＤベイ１０２は、図１０に示
すように、化学蒸着を行うＣＶＤ設備１１１，１１２
と、ベイ内走行車１１３と、被処理物を一時保管する倉
庫１１４と、ＣＶＤ設備１１１等の各設備を制御するた
めのコマンドの送信等を行う制御監視装置１１５とを備
えている。

【０００５】ＣＶＤ設備１１１は、制御監視装置１１５
からの外部メッセージに基づいて所定の動作を行う一
方、その動作の終了後にはそれが終了したことを示す外
部メッセージを制御監視装置１１５に送信する。また、
ＣＶＤ設備１１２、ベイ内走行車１１３、倉庫１１４
も、同様に制御監視装置１１５からの外部メッセージを
受信し、そして所定の処理の終了後に外部メッセージを
送信する。

【０００６】このようなジョブショップ式の半導体工場
１００においては、何らかの問題が発生した場合、制御
監視装置１１５は、各設備からのすべての外部メッセー
ジを調べることによって各設備の動作内容を時系列的に
把握し、そして問題の解析を行う。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、あるベイ内
を構成する各設備はそれぞれ異なるメーカで製造された
ものであることがあり、各設備の外部メッセージは統一
されていない。例えば、ＣＶＤ設備１１１とＣＶＤ設備
１１２のメーカが異なる場合、ＣＶＤ設備１１１，１１
２は、同じ処理を行っても、異なる外部メッセージを制
御監視装置１１５に送信することがある。制御監視装置
１１５は、メーカ毎に外部メッセージを解読しなけれ
ば、各設備の動作内容を把握することができない。

【０００８】また、半導体工場に問題が生じたときの問
題解析の手法は、半導体工場毎に異なり、共通化されて
いない。したがって、問題が発生したときは、他の半導
体工場の問題解析の手法を用いることができず、問題解
析の処理が非常に煩雑である。さらに、問題が発生した
ときは、通常、既に二次災害や三次災害に至っている。
このとき、ベイ内の各設備がどの時点まで正しく動作し
ていたか、問題発生の原因は何であったのかを特定する
のが困難であり、問題の解析に多大な時間がかかる。

【０００９】本発明は、上述した問題点を解消するため
に提案されたものであり、ベイ内の各設備の動作を容易
に把握し、問題が生じた場合でも容易にその解析を行う
ことができる半導体工場の自動搬送記録解析システムを
提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
各々異なる外部メッセージを各々解読可能な所定の自動
搬送装置に送信する制御監視装置と、前記外部メッセー
ジに基づく処理の終了後に各々異なる外部メッセージを
制御監視装置に送信する複数の自動搬送装置と、を備え
た半導体工場の自動搬送記録解析システムにおいて、前
記制御監視装置及び各自動搬送装置が送信した各々異な
る外部メッセージを受信する受信手段と、前記受信手段
で受信された各々異なる外部メッセージを、対象物のパ
ラメータを含んだ一元化された内部コマンドに変換する
変換手段と、前記変換手段で変換された内部コマンドを
その受信時刻とともに時系列的にログ情報として記録す
る記録手段と、前記半導体工場内に配置された各設備及
び各自動搬送装置のレイアウトを、前記各設備及び前記
各自動搬送装置にそれぞれ対応する複数のオブジェクト
で表示すると共に、前記記録手段に記録されたログ情報
の解析に基づいて、前記各設備における対象物の情報を
表示する表示手段と、を備えたものである。

【００１１】前記各設備は、外部メッセージを受信して
所定の動作を開始したときや所定の動作が完了したとき
に、制御監視装置に外部メッセージを送信する。この外
部メッセージは、通常、各設備のメーカ毎に異なってい
て、統一されたものではない。そこで、変換手段は、各
メーカの外部メッセージを一元化された内部コマンドに
変換する。この内部コマンドは、ログ情報として記録手
段に書き込まれる。したがって、記録手段に記録された
ログ情報を解析し、前記各設備における対象物の情報を
表示することによって、前記各設備の動作状態や、故障
等の問題が生じた場合はその原因を認識することができ
る。

【００１２】請求項２記載の発明は、内部コマンドを発
行しその内部コマンドに対応する各々異なる外部メッセ
ージを各々解読可能な所定の自動搬送装置に送信する制
御監視装置と、前記外部メッセージに基づく処理の終了
後に各々異なる外部メッセージを制御監視装置に送信す
る複数の自動搬送装置と、を備えた半導体工場の自動搬
送記録解析システムにおいて、前記各自動搬送装置から
の各々異なる外部メッセージを受信する受信手段と、前
記受信手段で受信された各々異なる外部メッセージを、
対象物のパラメータを含んだ一元化された内部コマンド
に変換する変換手段と、前記変換手段で変換された内部
コマンドと前記制御監視装置が発行した内部コマンドと
を、その発行時刻とともに時系列的にログ情報として記
録する記録手段と、前記半導体工場内に配置された各設
備及び各自動搬送装置のレイアウトを、前記各設備及び
前記各自動搬送装置にそれぞれ対応する複数のオブジェ
クトで表示すると共に、前記記録手段に記録されたログ
情報の解析に基づいて、前記各設備における対象物の情
報を表示する表示手段と、を備えたものである。

【００１３】制御監視装置は、内部コマンドを発行し、
これを外部コマンドに変換して各設備に送信する。前記
各設備は、外部メッセージを受信して所定の動作を開始
したときや所定の動作が完了したときに、制御監視装置
に外部メッセージを送信する。この外部メッセージは、
通常、各設備のメーカ毎に異なっていて、統一されたも
のではない。変換手段は、各設備からの外部メッセージ
のみを内部コマンドに変換する。記録手段は、変換手段
で変換された内部コマンドと、制御監視装置が発行した
内部コマンドをログ情報として記録する。したがって、
記録手段に記録されたログ情報を解析し、前記各設備に
おける対象物の情報を表示することによって、前記各設
備の動作状態や、故障等の問題が生じた場合はその原因
を認識することができる。

【００１４】さらに、請求項３記載の発明のように、過
去の時刻を設定する時刻設定手段を更に備え、前記制御
手段は、前記時刻設定手段で設定された過去の時刻にお
ける各設備及び各自動搬送装置の状態を、前記記録手段
に記録されたログ情報に基づいて解析し、それらの状態
をオブジェクトで表示するように前記表示手段を制御す
るようにしてもよい。

【００１５】時刻設定手段に設定する過去の時刻として
は、例えば「何年何月何日何時何分何秒」としてもよい
し、「現在から何時間何分何秒前」としてもよい。さら
に、「何年何月何日何時何分何秒から同日何時何分何秒
まで」とするように所定の時間帯であってもよい。

【００１６】また、請求項４記載のように、前記表示手
段に表示されたオブジェクトを指示する指示手段を更に
備え、前記制御手段は、前記指示手段で指示されたオブ
ジェクトに対応する設備又は自動搬送装置のプロパティ
を、前記記録手段に記録されたログ情報に基づいて解析
し、そのプロパティを表示するように前記表示手段を制
御するようにしてもよい。

【００１７】請求項５記載のように、前記記録手段に記
録されたログ情報に基づいて、前記ベイ内の所定設備が
所定動作を所定時間内に行ったかを判別し、所定動作を
所定時間内に行っていないときに前記所定設備に問題が
生じたと推定する推定手段を更に備え、前記表示手段
は、前記推定手段の推定結果に基づいて、前記問題推定
時における前記所定設備の推定結果を表示してもよい。

【００１８】また、請求項６記載のように、前記記録手
段に記録されているログ情報に基づいて、ベイ内の各設
備がオンラインかオフラインかを判別する判別手段を更
に備え、前記表示手段は、前記判別手段の判別結果に基
づいて、オフライン発生時における前記判別結果を表示
してもよい。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。本発明は、半導体工場の同種の処理単位で
あるベイの各構成設備の稼働状況を解析するものであ
る。

【００２０】（第１の実施の形態）図１に示すように、
本発明の第１の実施の形態に係る自動搬送記録解析シス
テム１は、化学蒸着を行うベイであるＣＶＤ（Chemical
Vapor Deposition）ベイ１０と、走行車の搬送結果等
を記録する搬送記録装置（以下、「ＭＨＲ」（Material
Handling Recorder）という。）２０とを備えている。
なお、本実施の形態ではＣＶＤベイを管理する場合を例
に挙げて説明するが、本発明は他のベイについても同様
にして管理することができるのは勿論である。

【００２１】ＣＶＤベイ１０は、所望の薄膜を形成する
複数のＣＶＤ設備１１（１１ａ，１１ｂ・・・）と、こ
のベイ内を走行してウェーハを搬送するベイ内走行車１
２（１２ａ，１２ｂ・・・）と、ウェーハを一時保管す
る倉庫１３と、外部メッセージのプロトコル変換を行う
ゲートウェイ１５と、ＣＶＤ設備１１やベイ内走行車１
２などの上述した各設備の稼働状況を監視する制御監視
装置１６とを備えている。

【００２２】ＣＶＤ設備１１は、化合物ガスや単体ガス
を基板上に供給して気相又は基板表面での化学反応によ
り所望の薄膜を形成する。ウェーハ処理工程は繰り返し
行われるので、複数のＣＶＤ設備１１が設けられてい
る。各ＣＶＤ設備１１は、それぞれ固有の名称が付され
ており、また、ポート数、各ポートの属性、処理単位の
情報を備えている。

【００２３】ベイ内走行車１２は、無軌道上を走行する
バッテリ搭載の自走型搬送車（ＡＧＶ：Automatic Guid
ed Vehicle）であり、例えばＣＶＤ設備１１の所定のポ
ートからウェーハを取り出して倉庫１３に搬送したり、
倉庫１３からウェーハを取り出してＣＶＤ設備１１の所
定のポートに搬送する。

【００２４】倉庫１３は、縦方向、横方向及び奥行き方
向に配列された複数の棚を備えている。倉庫１３は、各
棚に所定のアドレスを割り振っており、さらに各棚につ
いて有効棚／無効棚であるか、実棚／空棚であるか、実
箱／空箱であるか等の情報を有している。

【００２５】ゲートウェイ１５は、制御監視装置１６と
ＣＶＤ設備１１やベイ内走行車１２などの各設備との間
でやり取りが行われている外部メッセージを取り出し、
この外部メッセージをＭＨＲ２０に供給する。

【００２６】制御監視装置１６は、監視、操作、制御、
保守の各機能の効率と能力を向上させてＣＶＤベイ１０
内のＣＶＤ設備１１、ベイ内走行車１２等の各設備の稼
働状況を集中監視すべく、各設備に外部メッセージを送
信する。また、制御監視装置１６は、内部時計を備え、
各設備がそれぞれ立ち上がる際に時刻情報を送信する。
これにより、ＣＶＤベイ１０内の各設備の時刻を統一し
ている。

【００２７】このようなＣＶＤベイ１０は、後述する表
示部２３により、図２に示すようにレイアウト表示され
る。ここでは、ベイ内走行車１２ａは倉庫１３にあるウ
ェーハをＣＶＤ設備１１の所定の棚に搬送し、また、ベ
イ内走行車１２ｂはＣＶＤ設備１１の所定の棚からウェ
ーハを搬送して倉庫１３に保管している。なお、ベイ内
走行車１２ｃは、停止している。

【００２８】一方、ＭＨＲ２０は、外部メッセージを内
部コマンドに変換する外部／内部変換部２１と、内部コ
マンド等をログ情報として記憶するログ情報記憶部２２
と、各設備のオブジェクトなどの画像を表示する表示部
２３と、オペレータの指示が入力される入力部２４と、
データの読み出しなど装置全体の制御を行う制御部２５
とを備えている。

【００２９】外部／内部変換部２１は、各メーカのそれ
ぞれの外部メッセージに対応する内部コマンドを示す変
換テーブルを有している。外部／内部変換部２１は、ゲ
ートウェイ１５からの外部メッセージを受信すると、こ
の変換テーブルに基づいてその外部メッセージに対応す
る内部コマンドを出力する。

【００３０】ログ情報記憶部２２には、外部／内部変換
部２１からの内部コマンドが時系列的にログ情報として
記憶される。ログ情報記憶部２２は、外部／内部変換部
２１から順次送られている内部コマンドをその受信時刻
とともにログ情報として記憶したり、入力部２４から入
力されたＣＶＤベイ１０の各構成設備の設定情報等を記
憶する。

【００３１】表示部２３は、制御部２５の表示制御に従
って、ＣＶＤベイ１０内の各構成設備のレイアウトをオ
ブジェクトで表示する。具体的には図３に示すように、
表示部２３には、ＣＶＤベイ１０の各構成設備に対応す
る複数のオブジェクトを有するオブジェクト群ウィンド
ウ３０と、各設備の配置位置を示す配置ウィンドウ４０
とが表示されている。

【００３２】入力部２４は、表示部２３に表示される所
定のアイコン等を指示するポインティングデバイスや、
文字や記号を入力するキーボード等が該当する。

【００３３】制御部２５は、外部／内部変換部２１から
の内部コマンドをその受信時刻とともにログ情報として
ログ情報記憶部２２に記憶させたり、また、ログ情報記
憶部２２に記憶されているログ情報を必要に応じて読み
出す制御を行う。また、制御部２５は、ログ情報記憶部
２２に記憶されているログ情報に基づいて、ＣＶＤベイ
１０の各構成設備の動作を解析し、その解析結果を表示
部２３に表示する。なお、制御部２５は、入力部２４に
より変換テーブルの書き換えの指示が入力されたとき
は、その指示に従って外部／内部変換部２１の変換テー
ブルを書き換える制御を行うこともできる。

【００３４】ここで、表示部２３に表示されるオブジェ
クト群ウィンドウ３０は、図３に示すように、ＣＶＤベ
イ１０の各構成設備やそれ以外の装置に対応するオブジ
ェクトを備えている。ここで、オブジェクト群ウィンド
ウ３０には、例えば、拡散設備を示す拡散設備オブジェ
クト３１と、ＣＶＤ設備１１を示すＣＶＤ設備オブジェ
クト３２と、洗浄設備を示す洗浄設備オブジェクト３３
と、ベイ内走行車１２を示すベイ内走行車オブジェクト
３４と、倉庫１３を示す倉庫オブジェクト３５とが設け
られている。

【００３５】配置ウィンドウ４０は、ＣＶＤベイ１０内
の各構成設備のオブジェクトを、実際の配置に対応して
表示するウィンドウである。初期状態の配置ウィンドウ
４０には、マトリクス状のメッシュ４１のみ表示され、
他のオブジェクトは表示されていない。なお、このメッ
シュ４１は、オブジェクト間の距離やおおよその位置を
測るために利用される。

【００３６】オペレータは、オブジェクト群ウィンドウ
３０から所望のオブジェクトをポインタ３８で指示し、
ドラッグによりそのオブジェクトを取り出し、それを配
置ウィンドウ４０上の所定の位置に貼り付ける（ドラッ
グ＆ドロップ）。オペレータは、同様にして、所望のオ
ブジェクトをドラッグ＆ドロップして、次々に配置ウィ
ンドウ４０の所定の位置に貼り付ける。これにより、配
置ウィンドウ４０には、図４に示すように、ＣＶＤベイ
１０内の実際の各設備の配置位置に対応したオブジェク
トが表示される。この配置ウィンドウ４０には、縦方向
のメッシュ４１に沿ってＣＶＤ設備オブジェクト４２
（４２ａ，４２ｂ）とベイ内走行車オブジェクト４３
（４３ａ，４３ｂ）とが設けられ、さらに、ベイ内走行
車オブジェクト４３ａ，４３ｂに沿って倉庫オブジェク
ト４４が設けられている。

【００３７】また、オペレータは、配置ウィンドウ４０
にＣＶＤベイ１０の各構成設備のオブジェクトを貼り付
けるだけでなく、各構成設備の初期設定も行うことがで
きる。ＣＶＤ設備１１の初期設定の情報としては、例え
ば、名称、ポート数、ポート属性（ローダ専用／アンロ
ーダ専用／ローダ・アンローダ兼用）、処理単位（ロッ
ト／枚葉／バッチ）等がある。倉庫１３の初期設定の情
報としては、例えば、名称、アドレス（縦、横、奥）、
有効棚／無効棚、実棚／空棚、実箱／空箱等がある。こ
れらの情報が入力部２４により初期設定情報として入力
されると、制御部２５は、これらの情報をログ情報とし
てログ情報記憶部２２に書き込む処理を行う。

【００３８】（ログの記録）このように構成された自動
搬送記録解析システム１においては、ＣＶＤベイ１０の
各構成設備の動作内容は以下のようにしてログ情報とし
て記録される。最初に、制御監視装置１６は、制御対象
となる例えばベイ内走行車１２に対して外部メッセージ
を送信する。このとき、ゲートウェイ１５は、制御監視
装置１６からベイ内走行車１２に送信された外部メッセ
ージを取得し、この外部メッセージをＭＨＲ２０に供給
する。

【００３９】ＭＨＲ２０の外部／内部変換部２１は、ゲ
ートウェイ１５からの外部メッセージを内部コマンドに
変換する。そして、制御部２５は、外部／内部変換部２
１で変換された内部コマンドをその受信時の時刻情報と
共に、ログ情報としてログ情報記憶部２２に書き込む。

【００４０】一方、ベイ内走行車１２は、制御監視装置
１６からの外部メッセージを受信すると、その外部メッ
セージに従って所定の処理を開始するとともに、その開
始を示す外部メッセージを外部に送信する。ベイ内走行
車１２は、所定の処理が完了すると、その完了を示す外
部メッセージを外部に送信する。なお、ベイ内走行車１
２は、この所定の処理中にその稼働状態を示す外部メッ
セージを送信してもよい。ゲートウェイ１５は、ベイ内
走行車１２からの外部メッセージを受信すると、それを
ＭＨＲ２０に送信する。

【００４１】ＭＨＲ２０の外部／内部変換部２１は、ゲ
ートウェイ１５からの外部メッセージを内部コマンドに
変換する。制御部２５は、外部／内部変換部２１で変換
された内部コマンドをログ情報その受信時の時刻情報と
共に、ログ情報記憶部２２に書き込む。

【００４２】この内部コマンドは、時刻情報（年月日時
分秒）、パラメータ、元の外部メッセージとから構成さ
れる。このパラメータは、例えば、アドレス、搬送対象
物、元の場所を示すＦＲＯＭアドレス、行き先の場所を
示すＴＯアドレス、オブジェクトの名称、ステータス等
がある。

【００４３】例えば、内部コマンド「ＭＯＶＥ−Ｓ」
は、時刻情報及び元の外部メッセージの他に、図５に示
すように、パラメータとして、「ＦＲＯＭアドレス」、
「ＴＯアドレス」、「搬送対象物」を有している。「−
Ｓ」は、所定動作の開始を意味する。したがって、この
内部コマンドは、搬送対象物をＦＲＯＭ点からＴＯ点に
運ぶことを命令する移動命令開始を示している。内部コ
マンド「ＭＯＶＥ−Ｅ」は、時刻情報及び元の外部メッ
セージの他に、パラメータとして、「ＦＲＯＭアドレ
ス」、「ＴＯアドレス」、「搬送対象物」を有してい
る。「−Ｅ」は、所定動作の終了を意味する。したがっ
て、この内部コマンドは、搬送対象物をＦＲＯＭ点から
ＴＯ点に運んで動作が完了した移動命令完了を示してい
る。このように、内部コマンドは、時刻情報と、具体的
な動作内容を示すパラメータと、動作開始又は動作完了
を示す情報とを有している。

【００４４】また、内部コマンド「ＳＴＡＳ−１」は、
パラメータとして、「オブジェクト名称」、「ステータ
ス１」を有している。この内部コマンドは、「オブジェ
クト名称」に対応する装置の稼働状態を通知している。
内部コマンド「ＳＴＡＳ−２」は、パラメータとして、
「アドレス」、「ステータス２」を有しており、搬入の
要求又は搬出の要求を示している。その他、内部コマン
ドとしては、例えば図５に示すようなものがある。ここ
では、時刻情報及び元の外部メッセージは省略してい
る。

【００４５】制御部２５は、このような内部コマンドを
時系列的にログ情報記憶部２２に書き込むことによっ
て、ＣＶＤベイ１０の各構成設備の動作内容をログ情報
としてログ情報記憶部２２に格納している。このログ情
報は、ＣＶＤベイ１０内の各設備の具体的な動作、その
動作開始時刻又は動作完了時刻、所定の装置の稼働状態
等を示す情報である。

【００４６】以上のように、この自動搬送記録解析シス
テム１は、ＣＶＤベイ１０内の各設備について、それら
の具体的な動作やその開始時刻等を記憶しているので、
そのＣＶＤベイ１０内の装置に故障や問題が生じたとき
はログ情報を解析することで、その故障や問題の原因を
特定することができる。

【００４７】（再生表示）また、自動搬送記録解析シス
テム１において、ＭＨＲ２０は、ＣＶＤベイ１０の各構
成設備に対応するオブジェクトを用いて、それらの各構
成設備の動作を再生することができる。

【００４８】再生モードに移行すると、制御部２５は、
表示部２３に、図６に示す再生制御ウィンドウ５０を表
示する。再生制御ウィンドウ５０は、自動再生を行う自
動再生ボタン５１と、任意の時刻の状態を頭出しする頭
出しボタン５２と、コマ送り再生又はコマ戻し再生を行
うコマ再生ボタン５３とを備えている。

【００４９】制御部２５は、入力部２４により自動再生
ボタン５１がクリックされると、ログ情報記憶部２２か
らログ情報を読み出す。ここでは、ログ情報として、例
えば内部コマンド「ＬＯＡＤ−Ｅ」、「ＵＮＬＤ−Ｓ」
が読み出されたとする。

【００５０】制御部２５は、「ＬＯＡＤ−Ｅ」から搬送
対象物の荷積み完了したときの時刻及びアドレスを認識
し、「ＵＮＬＤ−Ｓ」から搬送対象物の荷下ろし開始し
たときの時刻及びアドレスを認識する。これにより、制
御部２５は、「ＬＯＡＤ−Ｅ」及び「ＵＮＬＤ−Ｓ」に
基づいて、ベイ内走行車１２の進行方向、距離、移動速
度等を算出し、この算出結果に基づいて表示部２３のベ
イ内走行車１２のオブジェクトを動かす。

【００５１】以上のように、自動搬送記録解析システム
１は、ログ情報から、各設備の動作開始時刻及び開始位
置、動作完了時刻及び完了位置を認識することができる
ので、各設備の移動距離や移動速度を算出し、その算出
結果に応じて各設備のオブジェクトをグラフィック表示
して動かすことができる。

【００５２】また、制御部２５は、各設備の動作を解析
した結果、ある装置が誤った動作をしたり異常を生じた
ときには、その装置に対応するオブジェクトを例えば赤
色に表示することもできる。これにより、オペレータ
は、故障や問題の発生原因を視覚により容易に認識する
ことができる。

【００５３】また、オペレータは、自動再生ボタン５１
の下段に再生時のステップ数を入力してもよい。このと
き、制御部２５は、配置ウィンドウ４０上で各オブジェ
クトをそのステップ数（例えば所定のコマ数や所定秒）
毎に動かすステップ再生を行う。さらに、自動再生ボタ
ン５１の下段の「送り」又は「戻し」を選択してもよ
い。このとき、制御部２５は、「送り」が選択されてい
るときは通常の順番でオブジェクトの再生を行い、「戻
し」が選択されているときは通常の反対の順番でオブジ
ェクトの再生を行う。なお、戻し再生とステップ再生を
同時に行うこともできる。

【００５４】したがって、ステップ再生を用いることで
故障等の原因が生じた時点を迅速に探し出し、送り再生
又は戻し再生を用いることでその時点を何度も繰り返し
確認することができる。

【００５５】また、頭出しボタン５２を用いることによ
って、所望の時刻における各オブジェクトの状態を配置
ウィンドウ４０に表示することもできる。頭出しボタン
５２には、各オブジェクトについて表示したい時刻（年
月日時分秒）が入力される。入力部２４により表示した
い時刻が入力されると、制御部２５は、表示部２３に記
憶されているログ情報を解析して、入力された時刻にお
ける各設備の状態をオブジェクトで配置ウィンドウ４０
に表示する。これにより、オペレータは、所望の時刻に
おける各オブジェクトの状態を視覚により確認すること
ができる。

【００５６】また、コマ再生ボタン５３を用いることに
よって、各オブジェクトを１コマずつ表示することがで
きる。具体的には、コマ再生ボタン５３がクリックされ
る毎に、制御部２５は、配置ウィンドウ４０上で各オブ
ジェクトを１コマずつ動かすようにグラフィック表示を
行う。これにより、オペレータは、例えば故障等が生じ
た時刻の前後における各設備の様子を視覚により確認す
ることができる。 （プロパティ表示）ＣＶＤベイ１０内の各構成設備が所
定の処理を行う毎に、その属性（プロパティ）も逐次変
化している。各構成設備は、所定の処理を開始し又は完
了する毎に外部メッセージを送信する。この外部メッセ
ージは、内部コマンドに変換された後、ログ情報として
ログ情報記憶部２２に記憶される。したがって、各設備
のプロパティは、ログ情報を解析することで判別するこ
とができる。

【００５７】ここでは、配置ウィンドウ４０上のオブジ
ェクトがクリックされると、そのオブジェクトに対応す
る装置のプロパティが表示される。例えば、配置ウィン
ドウ４０上の倉庫オブジェクト４４がクリックされる
と、制御部２５は、ログ情報記憶部２２に記憶されてい
るログ情報に基づいて現在の倉庫１３のプロパティを解
析し、そして図７に示すように、そのプロパティの内容
を示す倉庫プロパティウィンドウ６０を表示する。

【００５８】倉庫プロパティウィンドウ６０は、倉庫１
３の各棚の情報を示すものである。具体的には、倉庫プ
ロパティウィンドウ６０は、１行、２行、３行・・・、
１列、２列、３列・・・とマトリクスを構成し、その升
目に各棚を割り当てている。例えば図７に示すように、
１行１列の棚は空箱、１行２列の棚は実箱、１行３列の
棚は無効棚になっている。

【００５９】以上のように、オペレータは、所望のオブ
ジェクトをクリックすれば、そのオブジェクトに対応す
る装置のプロパティが表示されることにより、容易に所
望の装置のプロパティを確認することができる。なお、
他のオブジェクトがクリックされた場合についても同様
に、表示部２３にはそのオブジェクトに対応する装置の
プロパティが表示される。

【００６０】（頭出し機能）本発明は、上述した実施の
形態に限定されるものではなく、例えば以下に示すよう
なことも行うことができる。

【００６１】例えば、ＣＶＤ設備１１が稼働していると
きに突然このＣＶＤ設備１１がオフラインになった場合
に、ＭＨＲ２０の制御部２５は、ログ情報に基づいてＣ
ＶＤ設備１１がオフラインになったときまで時刻を戻
し、このときの各オブジェクトを頭出し表示することも
できる。

【００６２】また、ＡＮＤやＯＲ等を組み合わせた検索
条件を入力するウィンドウを設けてもよい。このとき、
制御部２５は、ログ情報に基づいて入力された検索条件
に合致する状況を検索し、合致する状況があるときには
その時刻におけるオブジェクトを表示するようにすれば
よい。

【００６３】自動搬送記録解析システム１は、このよう
な検索機能を備えることにより、オペレータが頭出しし
たい時刻を特定できない場合であっても、オフラインに
なった時刻や条件に合致する時刻にまで戻り、その場面
を配置ウィンドウ４０上に頭出し表示することができ
る。 （エラーハンドリング機能）ログ情報を構成する内部コ
マンドの属性として、独立した内部コマンドと、他の内
部コマンドと密接な関係を有する内部コマンドとがあ
る。例えばベイ内走行車１２に対しては、移動、荷積
み、移動、荷卸しの４つの動作で一連の動作を構成す
る。したがって、これらの４つの動作の内部コマンドは
セットになり、密接な関係を有している。

【００６４】そこで、ＭＨＲ２０の制御部２５は、ログ
情報記憶部２２に記憶されているログ情報の中に他のコ
マンドと密接な関係を有する内部コマンドがある場合に
は、以下のような処理を行う。

【００６５】制御部２５は、ログ情報記憶部２２のログ
情報を解析し、移動、荷積み、移動、荷卸しの４つの内
部コマンドを所定時間内に受信したかを判定する。制御
部２５は、これらの４つのコマンドを所定時間内に受信
しなかったと判定したときはベイ内走行車１２に何らか
の問題が発生したと推定することができる。このとき、
制御部２５は、配置ウィンドウ４０上の問題のあるベイ
内走行車オブジェクト４３を例えば赤く表示して、オペ
レータに注意を喚起するようにしてもよい。また、制御
部２５は、上述した推定結果をグループ毎に層別して表
示部２３に表示することで、オペレータに情報を提供し
てもよい。これにより、自動搬送記録解析システム１
は、ＣＶＤベイ１０内の装置に故障等の問題が発生した
場合には、オペレータに通報することができる。

【００６６】なお、ＣＶＤベイ１０においては、通常で
は制御監視装置１６とＣＶＤ設備１１等とはオンライン
で通信しているが、保守や故障によりオフラインになる
ことがある。そこで、制御部２５は、ログ情報記憶部２
２に記憶されているログ情報に基づいて、ＣＶＤベイ１
０の各設備についてオンラインになっているかオフライ
ンになっているかを判別することができる。このとき、
表示部２３に、その判別結果の一覧表を表示するように
してもよい。これにより、オペレータは、ＣＶＤベイ１
０内の各構成設備がオンラインかオフラインかを視覚に
より判別することができる。 （ガントチャート）さらに、自動搬送記録解析システム
１においては、ＭＨＲ２０の制御部２５は、ログ情報記
憶部２２に記憶されているログ情報に基づいて、内部コ
マンドを層別することにより、一連のシーケンスを特定
することができる。制御部２５は、さらに、特定された
一連のシーケンスを縦軸にして時間を横軸にすること
で、同時に動作したシーケンスをガントチャート（Gant
t Chart）として表示部２３に表示してもよい。 （リアルタイムモニタリング）上述した実施の形態で
は、ＣＶＤベイ１０内の各設備の過去の動作を、ログ情
報に基づいて再生することについて説明した。しかし、
自動搬送記録解析システム１は、過去の再生だけでな
く、リアルタイムで生じたことをモニタリングすること
もできる。

【００６７】具体的には、ＭＨＲ２０の外部／内部変換
部２１は、外部メッセージを受信すると、この外部メッ
セージを内部コマンドに変換し、この内部コマンドをロ
グ情報としてログ情報記憶部２２に供給する。制御部２
５は、ログ情報記憶部２２に記憶されたログ情報をすぐ
に読み出し、各設備の稼働状況をリアルタイムで解析す
る。そして、制御部２５は、この解析結果に基づいて、
配置ウィンドウ４０上に各設備の動作を各オブジェクト
の動作で表示する。これにより、オペレータは、ＣＶＤ
ベイ１０内の各構成設備の動作をリアルタイムでモニタ
リングすることができる。

【００６８】以上説明した自動搬送記録解析システム１
は、図１０に示した現行のＣＶＤベイ１０２にＭＨＲ２
０を設けるだけで実現することができるので、現行のシ
ステムを用いて容易に実現することができる。なお、上
述した実施の形態では制御監視装置１６とＭＨＲ２０を
別々に設けた場合について説明したが、本発明はこれら
を一体にして構成してもよいのは勿論である。この場合
については、第２の実施の形態で説明する。

【００６９】（第２の実施の形態）つぎに、本発明の第
２の実施の形態について説明する。なお、第１の実施の
形態と同一の部位には同一の符号を付し、重複する箇所
についてはその詳細な説明を省略する。

【００７０】第２の実施の形態においては、制御監視装
置１６Ａは、図８に示すように構成されている。すなわ
ち、制御監視装置１６Ａは、全体を制御すると共に内部
コマンドを発行する制御／内部コマンド発行部３０と、
ＭＨＲ２０Ａと、図示しない入力部とを備えている。

【００７１】制御／内部コマンド発行部３０は、制御監
視装置１６Ａ全体を制御するだけでなく、さらにその制
御に従って内部コマンドを発行し、この内部コマンドを
ＭＨＲ２０Ａの後述するログ情報記憶部２２及び変換部
２６に供給する。また、制御／内部コマンド発行部３０
は、ＭＨＲ２０Ａからの内部コマンドを受信し、この内
部コマンドに基づいて次の所定の制御を行う。

【００７２】ＭＨＲ２０Ａは、ログ情報を記憶するログ
情報記憶部２２と、所定のオブジェクトを表示する表示
部２３と、内部コマンドと外部メッセージの変換を行う
内部／外部−外部／内部変換部（以下、「変換部」とい
う。）２６とを備えている。

【００７３】ログ情報記憶部２２には、制御／内部コマ
ンド発行部３０や変換部２６から供給される内部コマン
ドがそれを受信した時刻情報と共に、ログ情報として記
憶される。

【００７４】表示部２３には、制御／内部コマンド発行
部３０によるログ情報の解析に従って、各設備のオブジ
ェクトが表示される。

【００７５】変換部２６は、制御／内部コマンド発行部
３０からの内部コマンドを外部メッセージに変換し、こ
の外部メッセージをＣＶＤ設備１１やベイ内走行車１２
等の各設備に送信する。また、変換部２６は、各設備か
ら送信される外部メッセージを内部コマンドに変換し、
これをログ情報記憶部２２及び制御／内部コマンド発行
部３０に供給する。

【００７６】以上のような構成の制御監視装置１６Ａに
おいては、制御／内部コマンド発行部３０が発行した内
部コマンドは、変換部２６で外部メッセージに変換され
て各設備に送信されると共に、その内部コマンドのまま
ログ情報記憶部２２に記憶される。

【００７７】したがって、自動搬送記録解析システム１
は、ＣＶＤ設備１１やベイ内走行車１２等の各設備につ
いて、それらの具体的な動作やその開始時刻等を記憶し
ているので、そのＣＶＤベイ１０内の装置に故障や問題
が生じたときはログ情報を解析することで、その故障や
問題の原因を特定することができる。自動搬送記録解析
システム１は、具体的には第１の実施の形態と同様に、
再生表示、プロパティ表示、頭出し、エラーハンドリン
グ、ガントチャート、リアルタイムモニタリングを行う
ことができるのは勿論である。

【００７８】

【発明の効果】本発明は、変換手段で変換された内部コ
マンドをその受信時刻とともに時系列的にログ情報とし
て記録し、記録手段に記録されたログ情報を解析し、各
設備における対象物の情報を表示することによって、半
導体工場内の各設備の稼働状況を視覚により容易に認識
することができる。

【００７９】また、本発明は、変換手段で変換された内
部コマンドと制御監視装置が発行した内部コマンドと
を、その発行時刻とともに時系列的にログ情報として記
録し、記録手段に記録されたログ情報を解析し、各設備
における対象物の情報を表示することによって、半導体
工場内の各設備の稼働状況を視覚により容易に認識する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る自動搬送記録
解析システムの構成を示すブロック図である。

【図２】自動搬送記録解析システムのＣＶＤベイの概略
的な構成を示す図である。

【図３】ＭＨＲの表示部に表示されるオブジェクト群ウ
ィンドウと配置ウィンドウを示す図である。

【図４】ＭＨＲの表示部に表示されるオブジェクト群ウ
ィンドウと、オブジェクトが貼られた後の配置ウィンド
ウを示す図である。

【図５】内部コマンドの一例を説明する図である。

【図６】ＭＨＲの表示部に表示される再生制御ウィンド
ウの構成を示す図である。

【図７】ＭＨＲの表示部に表示される倉庫プロパティウ
ィンドウの構成を示す図である。

【図８】本発明の第２実施の形態に係る自動搬送記録解
析システムの制御監視装置の構成を示すブロック図であ
る。

【図９】半導体工場の概略的な構成を示す図である。

【図１０】半導体工場の従来のＣＶＤベイの概略的な構
成を示す図である。

【符号の説明】

１ 自動搬送記録解析システム １０ ＣＶＤベイ １１ ＣＶＤ設備 １２ ベイ内走行車 ２０ ＭＨＲ ２１ 外部／内部変換部 ２２ ログ情報記憶部 ２３ 表示部 ２４ 入力部 ２５ 制御部

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平11−143522（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−103938（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−219023（ＪＰ，Ａ) 特開2000−52991（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−59829（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−208176（ＪＰ，Ａ) 特開2000−99429（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05B 23/00 - 23/02 G05B 15/00 - 15/02 G05D 1/00 - 1/20 G06F 17/60

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 各々異なる外部メッセージを各々解読可
   能な所定の自動搬送装置に送信する制御監視装置と、前
   記外部メッセージに基づく処理の終了後に各々異なる外
   部メッセージを制御監視装置に送信する複数の自動搬送
   装置と、を備えた半導体工場の自動搬送記録解析システ
   ムにおいて、 前記制御監視装置及び各自動搬送装置が送信した各々異
   なる外部メッセージを受信する受信手段と、 前記受信手段で受信された各々異なる外部メッセージ
   を、対象物のパラメータを含んだ一元化された内部コマ
   ンドに変換する変換手段と、 前記変換手段で変換された内部コマンドをその受信時刻
   とともに時系列的にログ情報として記録する記録手段
   と、 前記半導体工場内に配置された各設備及び各自動搬送装
   置のレイアウトを、前記各設備及び前記各自動搬送装置
   にそれぞれ対応する複数のオブジェクトで表示すると共
   に、前記記録手段に記録されたログ情報の解析に基づい
   て、前記各設備における対象物の情報を表示する表示手
   段と、 を備えた半導体工場の自動搬送記録解析システム。
2. 【請求項２】 内部コマンドを発行しその内部コマンド
   に対応する各々異なる外部メッセージを各々解読可能な
   所定の自動搬送装置に送信する制御監視装置と、前記外
   部メッセージに基づく処理の終了後に各々異なる外部メ
   ッセージを制御監視装置に送信する複数の自動搬送装置
   と、を備えた半導体工場の自動搬送記録解析システムに
   おいて、 前記各自動搬送装置からの各々異なる外部メッセージを
   受信する受信手段と、 前記受信手段で受信された各々異なる外部メッセージ
   を、対象物のパラメータを含んだ一元化された内部コマ
   ンドに変換する変換手段と、 前記変換手段で変換された内部コマンドと前記制御監視
   装置が発行した内部コマンドとを、その発行時刻ととも
   に時系列的にログ情報として記録する記録手段と、 前記半導体工場内に配置された各設備及び各自動搬送装
   置のレイアウトを、前記各設備及び前記各自動搬送装置
   にそれぞれ対応する複数のオブジェクトで表示すると共
   に、前記記録手段に記録されたログ情報の解析に基づい
   て、前記各設備における対象物の情報を表示する表示手
   段と、 を備えた半導体工場の自動搬送記録解析システム。
3. 【請求項３】 過去の時刻を設定する時刻設定手段を更
   に備え、 前記制御手段は、前記時刻設定手段で設定された過去の
   時刻における各設備及び各自動搬送装置の状態を、前記
   記録手段に記録されたログ情報に基づいて解析し、それ
   らの状態をオブジェクトで表示するように前記表示手段
   を制御する請求項１または２記載の半導体工場の自動搬
   送記録解析システム。
4. 【請求項４】 前記表示手段に表示されたオブジェクト
   を指示する指示手段を更に備え、 前記制御手段は、前記指示手段で指示されたオブジェク
   トに対応する設備又は自動搬送装置のプロパティを、前
   記記録手段に記録されたログ情報に基づいて解析し、そ
   のプロパティを表示するように前記表示手段を制御する
   請求項１から３のいずれか１項記載の半導体工場の自動
   搬送記録解析システム。
5. 【請求項５】 前記記録手段に記録されたログ情報に基
   づいて、前記ベイ内の所定設備が所定動作を所定時間内
   に行ったかを判別し、所定動作を所定時間内に行ってい
   ないときに前記所定設備に問題が生じたと推定する推定
   手段を更に備え、 前記表示手段は、前記推定手段の推定結果に基づいて、
   前記問題推定時における前記所定設備の推定結果を表示
   すること を特徴とする 請求項１から４のいずれか１項記
   載の半導体工場の自動搬送記録解析システム。
6. 【請求項６】 前記記録手段に記録されているログ情報
   に基づいて、ベイ内の各設備がオンラインかオフライン
   かを判別する判別手段を更に備え、 前記表示手段は、前記判別手段の判別結果に基づいて、
   オフライン発生時における前記判別結果を表示すること
   を特徴とする 請求項１から５のいずれか１項記載の半導
   体工場の自動搬送記録解析システム。