JP3427610B2 - 放電加工機の加工液供給装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、放電加工機の加工
液供給装置に関するもので、詳しくは、放電加工機で使
用する加工液を収容し、必要に応じて放電加工機にそれ
を供給する加工液供給装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】放電加工機には、ワイヤ放電加工機と形
彫放電加工機とがあるが、ここではワイヤ放電加工機を
例に説明する。図１８は従来のワイヤ放電加工機の加工
液供給装置の説明図を示すものである。図において、１
は放電加工を行うワイヤ電極、２は被加工物となる工作
物、３は水または加工油等からなる加工液、４は放電加
工を行うエネルギーを供給する加工電源、５は放電加工
を行う条件を制御するＮＣ制御装置、６は工作物２を固
定するテーブル、７は工作物２に設けられた加工スター
ト穴、８は加工液３を収容する加工槽、９は加工槽８に
液回路Ｂを介して加工液３を供給する槽給ポンプ、１０
は極間間隙に液回路Ａを介して加工液３を供給する供給
ポンプ、１１は極間間隙に加工液３を噴出するノズル、
１２は清浄な加工液（清液）、１３は加工槽８から帰還
する加工液３を受ける汚液槽、１４は汚れた加工液（汚
液）、１５は汚液１４を瀘過するための瀘過ポンプ、１
６は汚液１４を瀘過して清液１２にするフィルタ、１７
は清液１２を貯蔵する清液槽、１８は加工槽８内の加工
液３が滞留しないよう液回路Ｃを介して循環を促す循環
ポンプ、１９は循環ポンプ１８によって加工液３を加工
槽８内に噴出する噴射口、２０は加工液３の絶縁性を高
めるためのイオン交換樹脂、２１はイオン交換樹脂２０
へ清液１２を送るイオン交換ポンプ、２２は加工液供給
装置、２３はワイヤ放電加工機の機械本体である。

【０００３】次に、従来のワイヤ放電加工機の加工液供
給装置の動作について説明する。ワイヤ放電加工機は周
知のように、ワイヤ電極１と工作物２との間に絶縁性の
高い加工液３（通常は、清液１２でイオン交換水）を介
して加工電源４より電圧を印加し、発生した放電エネル
ギーで加工を行うものである。加工形状はＮＣ制御装置
５がプログラムに従ってワイヤ電極１と工作物２とを相
対運動させることによって得られている。具体的には、
実際のワイヤ放電加工は次のような手順で行われる。ま
ず、工作物２をテーブル６の上に固定し、ワイヤ電極１
を工作物２のスタート穴７に通し、初期位置の位置決め
を行う。工作物２を加工するプログラムをＮＣ制御装置
５に読み込ませる。また、加工槽８に加工液３を供給す
る槽給ポンプ９を動作させ、加工槽８に加工液３を供給
する。そして、供給ポンプ１０を動作させ、ノズル１１
から極間間隙に加工液（清液）１２を噴出させ、ワイヤ
電極１の供給装置を駆動し、ワイヤ電極１を走行させ、
加工電源４を入れる。そして、ワイヤ放電加工の加工プ
ログラムをスタートさせる。なお、ここで、プログラム
をＮＣ制御装置５に読み込ませた後の制御は、ＮＣプロ
グラムによって実行させることもできる。

【０００４】ワイヤ放電加工が進行すると、加工槽８内
の加工液３は加工によって生成された加工屑で汚れてく
る。加工が行われる極間間隙に加工屑が滞留するとワイ
ヤ電極１と工作物２との短絡が発生しやすくなり、加工
が不安定になるため、極間間隙には常に清浄な加工液、
即ち、清液１２が供給される必要がある。清液１２は加
工槽８から加工液供給装置２２の汚液槽１３に還流した
汚れた加工液、即ち、汚液１４を瀘過ポンプ１５でフィ
ルタ１６に圧送して得られる。清液１２は清液槽１７に
貯留されている。瀘過ポンプ１５は常時動作させてもよ
いし、清液１２を必要とする供給ポンプ１０の動作と同
期させてもよい。

【０００５】一方、加工槽８内の加工屑が自重によって
工作物２の表面に沈降すると、異種間金属の接触となり
局部電池の原理により腐食が発生する。これを防ぐた
め、加工槽８内の加工液３が滞留しないように循環ポン
プ１８を動作させ、噴射口１９から加工液、即ち、汚液
１４を噴射する。滞留を防ぐことが目的なので噴射する
加工液は汚液１４でよい。イオン交換ポンプ２１は電気
電導度の高い水の絶縁性を増加、維持するために、イオ
ン交換樹脂２０を介して清液１２を生成しそれを清液槽
１７に貯留しておく。これらのポンプ類はＮＣプログラ
ム、手動スイッチ、ＮＣ制御装置５により自動制御され
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来のワイヤ放電加工
機の加工液供給装置２２は、上記のように構成されてい
たので、加工槽８に加工液３を供給する槽給ポンプ９、
ノズル１１から極間間隙に清液１２を噴出させる供給ポ
ンプ１０、汚液１４をフィルタ１６で瀘過するための瀘
過ポンプ１５、加工槽８内の加工液３が滞留しないよう
にする循環ポンプ１８、電気電導度の高い水の絶縁性を
増加及び維持するイオン交換樹脂２０を介して清液１２
を生成するイオン交換ポンプ２１という多くのポンプを
必要とし、取付場所、ポンプの駆動停止を行う開閉器や
ポンプを駆動するモータに接続する過電流保護装置等の
制御機器、配線等もそのポンプの台数分必要であり、コ
スト的にも高価となり、スペースも広くする必要があっ
た。そこで、本発明はこのような問題点を解決するため
になされたもので、ポンプの設置台数を少なく、かつ、
ポンプの設置スペースを狭くできる放電加工機の加工液
供給装置の提供を課題とするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１にかかる放電加
工機の加工液供給装置は、１つのポンプをバルブの切替
えによって、常時瀘過を行いながら必要に応じて加工槽
に加工液を供給したり、加工槽内の加工液を循環させる
ことができ、１つのポンプをフィルタに加工液を送る瀘
過ポンプとして、また、加工槽に加工液を溜める槽給ポ
ンプ、加工槽内の加工液を滞留させないよう循環させる
循環ポンプとして使用する。

【０００８】請求項２にかかる放電加工機の加工液供給
装置は、１つのポンプにより、常時フィルタで瀘過を行
いながら必要に応じてバルブを切替えて加工槽に加工液
を供給し、かつ、１つのポンプをバルブで切替えること
により加工槽に加工液を溜める槽給ポンプ、加工槽内の
加工液を滞留させないよう循環させる循環ポンプとして
使用することができる。なお、加工液を瀘過する液回路
は絞り弁または定流量弁を配設することによって加工液
を通す流体抵抗を高くすることによって、フィルタへ流
入する加工液量を制限している。

【０００９】請求項３にかかる放電加工機の加工液供給
装置は、請求項２乃至請求項４のうちの１つに記載のバ
ルブの切替えを、ノズルから放電加工を行う極間間隙に
加工液が噴射される液回路の送給タイミングにより加工
液噴射が指示されると、前記加工液を瀘過する液回路も
動作させるものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の放電加工機の加工
液供給装置の実施形態について説明する。なお、放電加
工機の加工液供給装置の実施形態としてワイヤ放電加工
機の場合について説明し、ここでは形彫放電加工機の場
合の説明を省略するが、本発明を実施する場合には、形
彫放電加工機においても全く同様に適用できる。また、
図中、従来例と同一符号及び記号は従来例の構成部分と
同一または相当する構成部分を示すものであり、また、
省略されている機械本体２３、加工電源４、ＮＣ制御装
置５は従来例の構成と同一であるから、ここでは重複す
る説明を省略する。

【００１１】実施形態１． 図１は本発明にかかる放電加工機の加工液供給装置の第
１実施形態の断面を示す説明図、図２は本発明にかかる
放電加工機の加工液供給装置の第１実施形態の動作を表
すタイミングチャートである。図３は本発明にかかる放
電加工機の加工液供給装置の第１実施形態の別の動作例
を表すタイミングチャートである。図において、２４は
加工液３を収容する加工槽８に汚液１４を供給する液回
路（槽給液回路）Ｂに配設した電磁弁、２５は汚液１４
を瀘過して清液１２にするフィルタ１６を有する液回路
（瀘過液回路）Ｄに配設した電磁弁である。２６は液回
路Ｂまたは液回路Ｄを介して汚液１４を送給する槽給／
瀘過ポンプである。そして、２０は加工液３の絶縁性を
高めるためのイオン交換樹脂、２１はイオン交換樹脂２
０へ清液１２を送るイオン交換ポンプであり、これらイ
オン交換樹脂２０へ清液１２を送るイオン交換ポンプ２
１によって液回路（イオン交換液回路）Ｅが形成されて
いる。なお、機械本体２３、加工電源４、ＮＣ制御装置
５は本発明の要旨に直接関係しない個所であり、かつ、
図１８に示した従来例と同一であるため、それらの構成
を省略する。また、ここでいう汚液１４、清液１２は、
両者共に加工液３となるものであるが、相対的に汚液１
４は汚れが混入されている割合が大きく、清液１２は汚
れが混入されている割合が小さいものであるが、これら
は加工液３の使用によって変化するものである。

【００１２】次に、本実施形態における放電加工機の加
工液供給装置の動作について、図２のタイミングチャー
トを用いて説明する。常時、瀘過を行う場合には、電磁
弁２４が閉、電磁弁２５が開の状態で槽給／瀘過ポンプ
２６が動作し、汚液１４は汚液槽１３から槽給／瀘過ポ
ンプ２６、電磁弁２５を介してフィルタ１６からなる液
回路Ｄによって、汚液１４はフィルタ１６で瀘過されて
清液１２となり、清液槽１７で瀘過された清液１２が貯
蔵される。タイミングｔ1 で図示しない手動スイッチま
たはＮＣプログラム等で加工槽８への汚液１４の供給が
指示されると、電磁弁２４が開、電磁弁２５が閉とな
り、汚液１４は汚液槽１３から槽給／瀘過ポンプ２６、
電磁弁２４からなる液回路Ｂによって、加工槽８へ送ら
れる。タイミングｔ2 で加工槽８の加工液３が所定の液
位になったとき、図示しないフロートスイッチが動作
し、その供給が完了すると電磁弁２４が閉、電磁弁２５
が開の状態に戻り、液回路Ｄによって瀘過を再開する。
このような制御では、汚液１４が汚液槽１３から槽給／
瀘過ポンプ２６、フィルタ１６を介して清液槽１７に流
れる液回路Ｄによって、汚液１４は瀘過されて清液１２
となるが、清液槽１７の清液１２の量は、通常、供給ポ
ンプ１０でノズル１１から加工液噴射させる量によって
決定されるから、好ましくは、瀘過を供給ポンプ１０の
動作と同期させるとよい。

【００１３】次に、瀘過を供給ポンプ１０の動作と同期
させる場合について説明する。本実施形態における放電
加工機の加工液供給装置による他の動作について、図３
のタイミングチャートを用いて説明する。瀘過をノズル
１１から放電加工を行う工作物２とワイヤ電極１間の極
間間隙に清液１２が噴射される液回路（噴射液回路）Ａ
の送給タイミングに供給ポンプ１０の動作と同期させる
場合は、図示しない手動スイッチまたはＮＣプログラム
等によって、タイミングｔ11でノズル１１から極間間隙
に清液１２の加工液噴射が指示されると、供給ポンプ１
０が駆動し、同時に、電磁弁２５が開き、槽給／瀘過ポ
ンプ２６が動作して、汚液１４が槽給／瀘過ポンプ２
６、フィルタ１６を介して清液槽１７に流れる液回路Ｄ
によって瀘過を開始する。タイミングｔ12でノズル１１
からの加工液噴射の停止が指示されると、供給ポンプ１
０、槽給／瀘過ポンプ２６が停止し、電磁弁２５が閉じ
る。また、タイミングｔ13で加工槽８への加工液供給が
指示されると、電磁弁２４が開き、槽給／瀘過ポンプ２
６が駆動し、汚液１４は汚液槽１３から槽給／瀘過ポン
プ２６、電磁弁２４からなる液回路Ｂによって、加工槽
８へ送られる。タイミングｔ14で供給が完了すると電磁
弁２４が閉じ、槽給／瀘過ポンプ２６が停止する。な
お、ここでは電磁弁２４及び電磁弁２５を用いる例を示
したが、３方向弁等１入力２出力を持ち、出力が任意に
切換えられるバルブであれば同様に使用できる。また、
イオン交換ポンプ２１は電気電導度の高い水の絶縁性を
増加、維持するために、イオン交換樹脂２０を介してよ
り良い清液１２を生成し、それを清液槽１７に貯留して
おくように機能する。

【００１４】実施形態２． 図４は本発明にかかる放電加工機の加工液供給装置の第
２実施形態の断面を示す説明図で、図５は本発明にかか
る放電加工機の加工液供給装置の第２実施形態の動作を
表すタイミングチャート、図６は本発明にかかる放電加
工機の加工液供給装置の第２実施形態の他の動作を表す
タイミングチャートである。図において、２７は絞り弁
であり、槽給／瀘過ポンプ２６とフィルタ１６との間に
配設されている。即ち、汚液１４が汚液槽１３から槽給
／瀘過ポンプ２６、絞り弁２７、フィルタ１６を介して
清液槽１７に流れる液回路Ｄによって、汚液１４は瀘過
されて清液１２となる。

【００１５】次に、本実施形態における放電加工機の加
工液供給装置の動作について、図５のタイミングチャー
トを用いて説明する。瀘過を行う場合には、常時、電磁
弁２４が閉の状態で槽給／瀘過ポンプ２６が動作してい
る。そして、図示しない手動スイッチまたはＮＣプログ
ラムによってタイミングｔ21で加工槽８への加工液供給
が指示されると、電磁弁２４が開き、加工槽８へ汚液１
４が送られる。この間も、フィルタ１６へは汚液１４が
分配して送られ、瀘過が継続される。絞り弁２７は瀘過
回路側の流量を制限し、フィルタ１６の内部抵抗が小さ
い場合（目詰まりしていない状態）でも供給側への流量
を確保する役割を果たす。ただし、瀘過流量は供給回路
の液回路抵抗と、絞り弁２７を含めたフィルタ１６側の
液回路抵抗によって変化する。タイミングｔ22で供給が
完了すると電磁弁２４が閉の状態に戻り、槽給／瀘過ポ
ンプ２６の全吐出量がフィルタ１６側の液回路Ｄへ送ら
れる。なお、絞り弁２７は特定の抵抗値のバルブを設け
なくとも管路の抵抗を所定の値とすればよい。

【００１６】このような制御では、汚液１４が汚液槽１
３から槽給／瀘過ポンプ２６、絞り弁２７、フィルタ１
６を介して清液槽１７に流れる液回路Ｄによって、汚液
１４は瀘過されて清液１２となるが、清液槽１７に供給
される清液１２の量は、電磁弁２４の開閉及び液回路Ｄ
の流動抵抗に依存されることから、更には、供給ポンプ
１０でノズル１１から加工液噴射させる量によって清液
槽１７の量が決定されるから、好ましくは、瀘過を供給
ポンプ１０の動作と同期させるとよい。次に、瀘過を供
給ポンプ１０の動作と同期させる場合について説明す
る。本実施形態における放電加工機の加工液供給装置に
よる他の動作について、図６のタイミングチャートを用
いて説明する。瀘過を供給ポンプ１０の動作と同期させ
る場合、供給ポンプ１０が動作しているときの動作は前
述の図５のタイミング動作と同じとなる。即ち、図６の
タイミングｔ31及びタイミングｔ32の電磁弁２４の開閉
動作となる。供給ポンプ１０が動作していなければ、タ
イミングｔ33で加工槽８への加工液供給が指示されたと
きに槽給／瀘過ポンプ２６が動作すると同時に、電磁弁
２４が開き供給を開始する。タイミングｔ34で供給が完
了すると電磁弁２４が閉じ、槽給／瀘過ポンプ２６が停
止する。

【００１７】ここで、汚液１４が汚液槽１３から槽給／
瀘過ポンプ２６、絞り弁２７、フィルタ１６を介して清
液槽１７に流れる液回路Ｄの流動抵抗を高くする理由に
ついて説明する。フィルタ１６は内部に加工屑が付着
し、内部圧力が高くなって使用限界（寿命）となるが、
圧力の上がり方は実験的には瀘紙面を通る被瀘過液（汚
液１４）の流速の２乗に比例する。清液１２（瀘過液）
は最低限供給ポンプ１０の吐出量だけ必要なので、清液
吐出量と同程度まで液回路Ｄの流量を制限することでフ
ィルタ１６の寿命を長くすることができる。次に、この
技術を使用した実施例について説明する。

【００１８】実施形態３． 図７は本発明にかかる放電加工機の加工液供給装置の第
３実施形態の断面を示す説明図である。図７の実施形態
においては、流量制限素子を定流量弁２８としたもので
ある。フィルタ１６は内部に加工屑が付着し、内部圧力
が高くなっても、その流量を確保、即ち、フィルタ１６
の瀘紙面を通る被瀘過液（汚液１４）の流速の２乗に比
例した圧力として、その流量を確保する。清液１２（瀘
過液）は最低限供給ポンプ１０の吐出量だけ必要なの
で、定流量弁２８の制限流量を供給ポンプ１０の吐出流
量より少しだけ多めに設定しておけばフィルタ１６の寿
命を最大限にできる。

【００１９】実施形態４． 図８は本発明にかかる放電加工機の加工液供給装置の第
４実施形態の断面を示す説明図で、図９は本発明にかか
る放電加工機の加工液供給装置の第４実施形態の動作を
表すタイミングチャート、図１０は本発明にかかる放電
加工機の加工液供給装置の第４実施形態の他の動作を表
すタイミングチャートである。図において、２４は加工
液３を収容する加工槽８に汚液１４を供給する液回路Ｂ
に配設した電磁弁、２５は汚液１４を瀘過して清液１２
にするフィルタ１６を有する液回路Ｄに配設した電磁弁
である。２９は絞り弁（または定流量弁）３０と直列に
接続して、加工槽８内の加工液３が滞留しないよう循環
を促す液回路（循環液回路）Ｃに配設した電磁弁、３１
は液回路Ｂまたは液回路Ｃまたは液回路Ｄを介して汚液
１４を送給する槽給／瀘過／循環ポンプである。

【００２０】次に、本実施形態における放電加工機の加
工液供給装置の動作について、図９のタイミングチャー
トを用いて説明する。瀘過を行う場合には、常時、電磁
弁２４が閉、電磁弁２９が閉、電磁弁２５が開の状態で
槽給／瀘過／循環ポンプ３１が動作している。図示しな
い手動スイッチまたはＮＣプログラム等によってタイミ
ングｔ41で加工槽８への加工液の供給が指示されると、
電磁弁２５が閉じ、電磁弁２４が開き、加工槽８へ加工
液が送られる。タイミングｔ42で供給が完了すると、電
磁弁２４が閉、電磁弁２５が開の状態に戻り、瀘過を再
開する。加工が開始される等により加工槽８内の加工液
３の循環がタイミングｔ43で必要となったとき、ＮＣプ
ログラムまたはＮＣ制御装置５の自動制御等によって電
磁弁２９が開き、加工槽８へ循環用の加工液が送られ
る。循環用の加工液は大量に送ると加工槽８から加工液
３がオーバーフローしてしまうため、絞り弁（または定
流量弁）３０で液量を調整する。加工が終了する等によ
り加工槽８内の加工液３の循環がタイミングｔ44で不要
となったとき、ＮＣプログラムまたはＮＣ制御装置５の
自動制御等によって電磁弁２４が閉、電磁弁２９が閉、
電磁弁２５が開となる。

【００２１】循環が必要な加工中は供給ポンプ１０が動
作するため、電磁弁２９を供給ポンプ１０と連動させて
もよい。ただし、供給ポンプ１０は加工槽８に加工液３
が供給されていないときにも噴出させる場合がある（吹
掛加工）が、加工槽８内の循環は加工槽８内に加工液３
が供給していない状態では行わないため、供給完了信号
と論理積をとる等の手段によりインターロックが必要と
なる。

【００２２】次に、瀘過を供給ポンプ１０の動作にタイ
ミングを合せるときについて説明する。本実施形態にお
ける放電加工機の加工液供給装置による他の動作につい
て、図１０のタイミングチャートを用いて説明する。瀘
過を供給ポンプ１０の動作にタイミングを合せるとき
は、図示しない手動スイッチまたはＮＣプログラム等で
ノズル１１からの加工液噴射が指示されると、供給ポン
プ１０が動作すると同時に、電磁弁２５が開き、槽給／
瀘過／循環ポンプ３１が動作して瀘過を開始する。タイ
ミングｔ51でノズル１１からの加工液噴射の停止が指示
されると、供給ポンプ１０、槽給／瀘過／循環ポンプ３
１が停止し、電磁弁２５が閉じる。また、タイミングｔ
52で加工槽８への加工液供給が指示されると、電磁弁２
４が開き、槽給／瀘過／循環ポンプ３１が動作する。タ
イミングｔ53で供給が完了すると電磁弁２４が閉じ、槽
給／瀘過／循環ポンプ３１が停止する。加工槽８への加
工液の供給が完了していて、加工が開始されるなど加工
槽８内の加工液循環が必要となった場合、図示しない手
動スイッチ、ＮＣプログラムまたはＮＣ制御装置の制御
プログラム等によってタイミングｔ54で電磁弁２９が開
き、加工槽８へ循環用の加工液が送られる。このように
供給ポンプ１０とタイミングを合わせてもよい。なお、
ここでは電磁弁２４と電磁弁２９を使用したが、３方向
弁等１入力２出力を持ち、出力が任意に切替えられる機
器としても同様のことが実現できる。また、絞り弁３０
は特定の機器を設けなくとも配管の抵抗を利用してもよ
い。

【００２３】実施形態５． 図１１は本発明にかかる放電加工機の加工液供給装置の
第５実施形態の断面を示す説明図で、図１２は本発明に
かかる放電加工機の加工液供給装置の第５実施形態の動
作を表すタイミングチャート、図１３は本発明にかかる
放電加工機の加工液供給装置の第５実施形態の他の動作
を表すタイミングチャートである。図において、２７
は、図８に示す実施形態における汚液１４を瀘過して清
液１２にするフィルタ１６を有する液回路Ｄに配設した
電磁弁２５に代って配設した絞り弁であり、槽給／瀘過
／循環ポンプ３１とフィルタ１６との間に配設されてい
る。即ち、汚液１４が汚液槽１３から槽給／瀘過／循環
ポンプ３１、絞り弁２７、フィルタ１６を介して清液槽
１７に流れる液回路Ｄによって、汚液１４は瀘過されて
清液１２となる。

【００２４】次に、本実施形態における放電加工機の加
工液供給装置の動作について、図１２のタイミングチャ
ートを用いて説明する。瀘過を行う場合には、常時、電
磁弁２４が閉、電磁弁２９が閉の状態で槽給／瀘過／循
環ポンプ３１が絞り弁２７を介して動作している。図示
しない手動スイッチまたはＮＣプログラム等によってタ
イミングｔ61で加工槽８への加工液の供給が指示される
と、電磁弁２４が開き、加工槽８へ加工液が送られる。
この間もフィルタ１６へは汚液１４が分配して送られ、
瀘過は継続される。タイミングｔ62で供給が完了すると
電磁弁２４が閉の状態に戻る。加工槽８への加工液の供
給が完了していて、タイミングｔ63で加工が開始される
等の加工槽８内の加工液循環が必要となったとき、図示
しない手動スイッチ、ＮＣプログラムまたはＮＣ制御装
置５の自動制御等によって電磁弁２９が開き、絞り弁３
０を介して加工槽８へ循環用の加工液が送られる。タイ
ミングｔ64で加工が終了し、加工槽８内の加工液循環が
不要となるまで継続される。

【００２５】次に、瀘過を供給ポンプ１０の動作にタイ
ミングを合せるときについて説明する。本実施形態にお
ける放電加工機の加工液供給装置による他の動作につい
て、図１３のタイミングチャートを用いて説明する。瀘
過を供給ポンプ１０の動作にタイミングを合せるとき
は、図示しない手動スイッチまたはＮＣプログラム等で
ノズル１１からの加工液噴射が指示されると、供給ポン
プ１０が動作すると同時に、槽給／瀘過／循環ポンプ３
１が動作して絞り弁２７を介して瀘過を開始する。タイ
ミングｔ71でノズル１１からの加工液噴射の停止が指示
されると、供給ポンプ１０、槽給／瀘過／循環ポンプ３
１が停止し、絞り弁２７を介して瀘過を行っていた動作
を停止する。また、タイミングｔ72で加工槽８への加工
液供給が指示されると、電磁弁２４が開き、槽給／瀘過
／循環ポンプ３１が動作し、加工槽８への加工液供給が
行われると同時に、絞り弁２７を介して槽給／瀘過／循
環ポンプ３１が動作して瀘過を開始する。タイミングｔ
73で供給が完了すると電磁弁２４が閉じ、槽給／瀘過／
循環ポンプ３１が停止する。加工槽８への加工液の供給
が完了していて、加工が開始されるなど加工槽８内の加
工液循環が必要となった場合、図示しない手動スイッ
チ、ＮＣプログラムまたはＮＣ制御装置の制御プログラ
ム等によってタイミングｔ74で電磁弁２９が開き、加工
槽８へ循環用の加工液が送られる。このように供給ポン
プ１０とタイミングを合わせてもよい。なお、ここでは
電磁弁２４と電磁弁２９を使用したが、３方向弁等１入
力２出力を持ち、出力が任意に切替えられる機器として
も同様のことが実現できる。また、絞り弁２７及び絞り
弁３０は特定の機器を設けなくとも配管の抵抗を利用し
てもよい。

【００２６】実施形態６． 図１４は本発明にかかる放電加工機の加工液供給装置の
第６実施形態の断面を示す説明図である。この実施形態
では、第５実施形態の絞り弁２７を定流量弁２８にした
ものである。これによって、フィルタ１６の内部に加工
屑が付着し、内部圧力が高くなっても、その流量を確
保、即ち、フィルタ１６の瀘紙面を通る被瀘過液（汚液
１４）の流速の２乗に比例した圧力として、その流量を
確保する。清液１２（瀘過液）は最低限供給ポンプ１０
の吐出量だけ必要なので、定流量弁２８の制限流量を供
給ポンプ１０の吐出流量より少しだけ多めに設定してお
けばフィルタ１６の寿命を最大限にできる。

【００２７】実施形態７． 図１５は本発明にかかる放電加工機の加工液供給装置の
第７実施形態の断面を示す説明図である。図において、
２４は加工液３を収容する加工槽８に汚液１４を供給す
る液回路Ｂに配設した電磁弁、２５は汚液１４を瀘過し
て清液１２にするフィルタ１６を有する液回路Ｄに配設
した電磁弁である。２６は液回路Ｂまたは液回路Ｄを介
して汚液１４を送給する槽給／瀘過ポンプである。ま
た、３２は槽給／瀘過ポンプ２６（或いは槽給／瀘過／
循環ポンプ３１）の回転数を制御する回転数制御装置
で、例えば、インバータ等のモータの回転数を制御する
速度制御装置からなる。

【００２８】次に、この実施形態の放電加工機の加工液
供給装置の動作について説明する。この実施形態の槽給
／瀘過ポンプ２６は、インバータ等からなる回転数制御
装置３２で回転数制御している。加工液３を収容する加
工槽８に汚液１４を供給する液回路Ｂに配設した電磁弁
２４、汚液１４を瀘過して清液１２にするフィルタ１６
を有する液回路Ｄに配設した電磁弁２５及び槽給／瀘過
ポンプ２６の動作タイミングは、図１の実施形態の説明
で行ったものと同一であるので、ここではインバータ等
からなる回転数制御装置３２の動作についてのみ説明す
る。加工槽８への加工液の供給は、生産性の観点からみ
れば速いほどよい。したがって、加工液３を収容する加
工槽８に汚液１４を供給する液回路Ｂに配設した電磁弁
２４が開となっており、槽給／瀘過ポンプ２６が槽給ポ
ンプとして動作しているときは、槽給／瀘過ポンプ２６
の定格で動作させる。必要に応じて、許容限度まで回転
数を高めてもよい。一方、汚液１４を瀘過して清液１２
にするフィルタ１６を有する液回路Ｄに配設した電磁弁
２５が開となっており、槽給／瀘過ポンプ２６が、瀘過
ポンプとして動作しているときは、前述のように流量が
少ない方がよいので、インバータ等からなる回転数制御
装置３２は必要最低流量が得られるように槽給／瀘過ポ
ンプ２６の回転数を決定し、その回転数で出力制御す
る。

【００２９】実施形態８． 図１６は本発明にかかる放電加工機の加工液供給装置の
第８実施形態の断面を示す説明図である。図において、
２４は加工液３を収容する加工槽８に汚液１４を供給す
る液回路Ｂに配設した電磁弁、２５は汚液１４を瀘過し
て清液１２にするフィルタ１６を有する液回路Ｄに配設
した電磁弁である。２９は絞り弁（または定流量弁）３
０と直列に接続して、加工槽８内の加工液３が滞留しな
いよう循環を促す液回路Ｃに配設した電磁弁、３１は液
回路Ｂまたは液回路Ｃまたは液回路Ｄを介して汚液１４
を送給する槽給／瀘過／循環ポンプである。また、３２
は槽給／瀘過／循環ポンプ３１を回転数制御する回転数
制御装置で、例えば、インバータ等のモータの回転数を
制御する速度制御装置からなる。

【００３０】次に、この実施形態の放電加工機の加工液
供給装置の動作について説明する。この実施形態の槽給
／瀘過／循環ポンプ３１は、インバータ等からなる回転
数制御装置３２で回転数制御している。加工液３を収容
する加工槽８に汚液１４を供給する液回路Ｂに配設した
電磁弁２４、汚液１４を瀘過して清液１２にするフィル
タ１６を有する液回路Ｄに配設した電磁弁２５、絞り弁
（または定流量弁）３０と直列に接続して、加工槽８内
の加工液３が滞留しないよう循環を促す液回路Ｃに配設
した電磁弁２９及び槽給／瀘過／循環ポンプ３１の動作
タイミングは、図８の実施形態で説明を行ったものと同
一であるので、ここではインバータ等からなる回転数制
御装置３２の動作についてのみ説明する。前述したよう
に、加工槽８への加工液の供給は、生産性の観点からみ
れば速いほどよい。したがって、加工液３を収容する加
工槽８に汚液１４を供給する液回路Ｂに配設した電磁弁
２４が開、及び加工槽８内の加工液３が滞留しないよう
循環を促す液回路Ｃに配設した電磁弁２９が開となって
おり、槽給／瀘過／循環ポンプ３１が槽給ポンプとして
動作しているときは、槽給／瀘過／循環ポンプ３１の定
格で動作させる。必要に応じて、許容限度まで回転数を
高めてもよい。一方、汚液１４を瀘過して清液１２にす
るフィルタ１６を有する液回路Ｄに配設した電磁弁２５
が開となっており、槽給／瀘過／循環ポンプ３１が瀘過
ポンプとして動作しているときは、前述のように流量が
少ない方がよいので、インバータ等からなる回転数制御
装置３２は必要最低流量が得られるように槽給／瀘過／
循環ポンプ３１の回転数を決定し、その回転数で出力制
御する。

【００３１】実施形態９． 図１７は本発明にかかる放電加工機の加工液供給装置の
第９実施形態の断面を示す説明図である。図において、
２４は加工液３を収容する加工槽８に汚液１４を供給す
る液回路Ｂに配設した電磁弁、２５は汚液１４を瀘過し
て清液１２にするフィルタ１６を有する液回路Ｄに配設
した電磁弁である。２６は液回路Ｂまたは液回路Ｄを介
して汚液１４を送給する槽給／瀘過ポンプである。ま
た、３２は槽給／瀘過ポンプ２６の回転数を制御する回
転数制御装置で、例えば、インバータ等のモータの回転
数を制御する制御装置からなる。３３はフィルタ１６の
目詰まり状態を検出する目詰まりセンサ、例えば、圧力
センサまたは流量センサからなり、槽給／瀘過ポンプ２
６の吐出出力とフィルタ１６との流体抵抗によって発生
する圧力を圧力センサで検出するか、或いはそのときの
液回路Ｄの流速を流量センサで検出するものである。３
４はフィルタ１６の目詰まり状態を検出する目詰まりセ
ンサ３３の出力に応じてインバータ等からなる回転数制
御装置３２の速度を決定する回転指令装置である。

【００３２】次に、この実施形態の放電加工機の加工液
供給装置の動作について説明する。この実施形態の槽給
／瀘過ポンプ２６は、インバータ等からなる回転数制御
装置３２で回転数制御している。加工液３を収容する加
工槽８に汚液１４を供給する液回路Ｂに配設した電磁弁
２４、汚液１４を瀘過して清液１２にするフィルタ１６
を有する液回路Ｄに配設した電磁弁２５及び槽給／瀘過
ポンプ２６の動作タイミングは、図１の実施形態で説明
を行ったものと同一であるので、ここではインバータ等
からなる回転数制御装置３２及び目詰まりセンサ３３の
動作についてのみ説明する。フィルタ１６は加工時間に
応じて目詰まりが進行する。目詰まりが進行すると、瀘
過した加工液、即ち、清液１２の流量が減少する。しか
し、極端に清液１２の流量が減少し、供給ポンプ１０の
吐出量より少なくなると、供給ポンプ１０が空運転とな
り、供給ポンプ１０を破損する可能性がある。また、極
間間隙に清液１２が供給されなくなってしまうので加工
できなくなる可能性がある。また、目詰まりセンサ３３
は、フィルタ１６の内部圧力或いはフィルタ１６への供
給流量などによってフィルタ１６の目詰まり情況を検知
し、目詰まりが所定の条件まで進行したときには、回転
数制御装置３２の回転を決定する回転指令装置３４が槽
給／瀘過ポンプ２６の回転数を上げるようインバータ等
からなる回転数制御装置３２に指令する。これにより、
規定量以上の清液１２を確実に極間間隙に確保すること
ができる。

【００３３】なお、上記各実施形態の電磁弁、インバー
タの制御はＮＣ制御装置或いは手動スイッチ等と接続さ
れ、シーケンス制御またはプログラム制御される前提で
説明したが、本発明を実施する場合には、制御方法を特
定するものではない。また、ここでいう加工液３、汚液
１４、清液１２は、両者共に加工液となるものである
が、相対的に汚液１４は汚れが混入されている割合が大
きく、清液１２は汚れが混入されている割合が小さいも
のであり、これらは同一加工液の使用及び場所によって
変化するものである。そして、上記各実施形態では、電
気的に開閉動作する電磁弁を用いるバルブの例を示した
が、本発明を実施する場合には、３方向弁等１入力２出
力を持ち、出力が任意に切換えられるバルブ、或いは手
動するバルブとして実施することもできる。

【００３４】ところで、上記実施形態の放電加工機の加
工液供給装置は、加工槽８に取付けた工作物２を加工
液、特に清液１２に浸漬して加工する放電加工機に対し
て、加工液（加工液３、清液１２、汚液１４）を供給す
る放電加工機の加工液供給装置において、同一のポン
プ、即ち、槽給／瀘過ポンプ２６または槽給／瀘過／循
環ポンプ３１に接続され、加工槽８に汚液１４を供給す
る液回路Ｂ及び汚液１４を瀘過して清液１２にするフィ
ルタ１６を有する液回路Ｄと、前記２つの液回路Ｂと液
回路Ｄとの切替えを行うバルブ、即ち、電磁弁２４、電
磁弁２５とを具備するものであり、槽給／瀘過ポンプ２
６または槽給／瀘過／循環ポンプ３１の１つのポンプ
は、従来の加工槽８に汚液１４を溜めるときには槽給ポ
ンプ９として、それ以外のときにはフィルタ１６に汚液
１４を送る瀘過ポンプ１５として使用することができ、
瀘過ポンプ１５と槽給ポンプ９を共通にでき、ポンプ及
びそのポンプの取付スペース、ポンプの制御機器を減ら
すことができ、低コスト化、省スペース化が図れる。

【００３５】上記実施形態の放電加工機の加工液供給装
置は、加工槽８に取付けた工作物２を加工液、特に清液
１２に浸漬して加工する放電加工機に対して、加工液
（加工液３、清液１２、汚液１４）を供給する放電加工
機の加工液供給装置において、同一のポンプ、即ち、槽
給／瀘過ポンプ２６または槽給／瀘過／循環ポンプ３１
に接続され、バルブとしての電磁弁２４を配設した加工
槽８に加工液３を供給する液回路Ｂ、及び汚液１４を通
す流体抵抗を高くした汚液１４を瀘過する液回路Ｄとを
具備するものである。したがって、槽給／瀘過ポンプ２
６または槽給／瀘過／循環ポンプ３１からなる１つのポ
ンプで、常時、汚液１４を瀘過する液回路Ｄで瀘過を行
いながら、必要に応じて加工槽８に汚液１４を供給する
ものであるから、従来例のフィルタ１６に汚液１４を送
る瀘過ポンプ１５として、また、加工槽８に汚液１４を
溜める槽給ポンプ９として使用できる。なお、汚液１４
を瀘過する液回路Ｄは汚液１４を通す流体抵抗を高くす
ることによって、フィルタ１６への流入加工液量を制限
している。故に、従来の瀘過ポンプ１５と槽給ポンプ９
を共通にでき、ポンプ及びそのポンプの取付スペース、
ポンプの制御機器を減らすことができ、低コスト化、省
スペース化が図れる。更に、汚液１４を瀘過する液回路
Ｄは汚液１４を通す流体抵抗を高くしているため、電気
的制御系を付加する必要性がなくなり、バルブの制御機
器関係も少なくすることができる。

【００３６】上記実施形態の放電加工機の加工液供給装
置は、加工槽８に取付けた工作物２を加工液、特に清液
１２に浸漬して加工する放電加工機に対して、加工液
（加工液３、清液１２、汚液１４）を供給する放電加工
機の加工液供給装置において、同一のポンプ、即ち、槽
給／瀘過ポンプ２６または槽給／瀘過／循環ポンプ３１
に接続され、加工槽８に汚液１４を供給する液回路Ｂ及
び汚液１４を瀘過する液回路Ｄ及び加工槽８内の加工液
３を滞留させないよう循環させる液回路Ｂと、複数の液
回路Ｂ，Ｄの切替えを行うバルブとを具備するものであ
る。したがって、槽給／瀘過ポンプ２６または槽給／瀘
過／循環ポンプ３１からなる１つのポンプで、バルブに
よって切替えて汚液１４を瀘過する液回路Ｄで瀘過を行
いながら、必要に応じて加工槽８に汚液１４を供給する
ものであるから、従来例のフィルタ１６に汚液１４を送
る瀘過ポンプ１５として、また、加工槽８に汚液１４を
溜める槽給ポンプ９として使用できる。故に、従来の瀘
過ポンプ１５と槽給ポンプ９を共通にでき、ポンプ及び
そのポンプの取付スペース、ポンプの制御機器を減らす
ことができ、低コスト化、省スペース化が図れる。

【００３７】上記実施形態の放電加工機の加工液供給装
置は、加工槽８に取付けた工作物２を加工液、特に清液
１２に浸漬して加工する放電加工機に対して、加工液
（加工液３、清液１２、汚液１４）を供給する放電加工
機の加工液供給装置において、同一のポンプ、即ち、槽
給／瀘過ポンプ２６または槽給／瀘過／循環ポンプ３１
に接続され、加工槽８に汚液１４を供給する液回路Ｂ及
び加工槽８内の加工液３を滞留させないよう循環させる
液回路Ｃ、及び汚液１４を通す流体抵抗を高くした汚液
１４を瀘過する液回路Ｄと、加工槽８に汚液１４を供給
する液回路Ｂと加工槽８内の加工液３を循環させる液回
路Ｃとの切替えを行うバルブとを具備するものである。
したがって、槽給／瀘過ポンプ２６または槽給／瀘過／
循環ポンプ３１からなる１つのポンプで、バルブによっ
て切替えて汚液１４を瀘過する液回路Ｄで瀘過を行いな
がら、必要に応じて加工槽８に汚液１４を供給するもの
であるから、従来例のフィルタ１６に汚液１４を送る瀘
過ポンプ１５として、また、加工槽８に汚液１４を溜め
る槽給ポンプ９として、加工槽８内の加工液３を循環さ
せる循環ポンプ１８として使用できる。故に、従来の瀘
過ポンプ１５と槽給ポンプ９、循環ポンプ１８を共通に
でき、ポンプ及びそのポンプの取付スペース、ポンプの
制御機器を減らすことができ、低コスト化、省スペース
化が図れる。更に、汚液１４を瀘過する液回路Ｄは汚液
１４を通す流体抵抗を高くしているため、電気的制御系
を付加する必要性がなくなり、バルブの制御機器関係も
少なくすることができる。

【００３８】加えて、上記各実施形態のポンプ、即ち、
槽給／瀘過ポンプ２６または槽給／瀘過／循環ポンプ３
１が回転数制御されているものでは、加工槽８への清液
１２の供給を多くして作業性を上げ、汚液１４を瀘過し
て清液１２にするフィルタ１６を有する液回路Ｄを動作
しているときは、流量が少ない方がよいので、インバー
タ等からなる回転数制御装置３２は必要最低流量が得ら
れるように回転数を決定し、その回転数で出力制御する
ことができる。また、無駄なエネルギ消費を抑制するこ
とができ、不必要な騒音も減少できる。

【００３９】また、上記各実施形態の汚液１４を瀘過す
る液回路Ｄに配設したフィルタ１６は、その目詰まり状
態を検出する目詰まりセンサ３３を備え、前記目詰まり
センサ３３の出力に応じて前記ポンプ、即ち、槽給／瀘
過ポンプ２６または槽給／瀘過／循環ポンプ３１の回転
数制御を行う回転数制御装置３２を具備するものでは、
加工時間に応じてフィルタ１６の目詰まりが進行する
と、瀘過した清液１２の流量が減少する。極端に清液１
２の流量が減少し、供給ポンプ１０の吐出量より少なく
なると、供給ポンプ１０が空運転となり、供給ポンプ１
０を破損するのを未然に防止できる。また、極間間隙に
清液１２が供給されなくなるのを防止できる。

【００４０】そして、上記各実施形態の汚液１４を通す
流体抵抗を高くし、汚液１４を瀘過する液回路Ｄは、絞
り弁２７または定流量弁２８で汚液１４を通す流体抵抗
を高くしたものであるから、フィルタ１６の内部に加工
屑が付着し、内部圧力が高くなって使用限界（寿命）と
なる圧力の上がり方は被瀘過液（汚液１４）の流速の２
乗に比例するから、清液１２が最低限で供給ポンプ１０
の吐出量だけ必要なので、清液吐出量と同程度まで液回
路Ｄの流量を制限することでフィルタ１６の寿命を長く
することができる。なお、汚液１４を通す流体抵抗を高
くし、汚液１４を瀘過する液回路Ｄの実施の態様は、液
回路Ｄの管路抵抗を高くすればよいことから、配管の太
さを細くすることによっても対応できる。また、絞り弁
２７によって、局部的に絞り込むこともできる。この場
合には、絞り弁２７によって任意の絞り込みができる。
また、定流量弁２８を使用する場合には、フィルタ１６
の内部に加工屑が付着し、内部圧力が高くなっても、そ
のフィルタ１６を通る汚液１４の流速の２乗に比例した
圧力として、その流量を確保できるから、清液１２は最
低限供給ポンプ１０の吐出量だけ使用しているから、定
流量弁２８の制限流量を供給ポンプ１０の吐出流量より
少しだけ多めに設定しておけばフィルタ１６の寿命を最
大限にすることができる。

【００４１】また、上記各実施形態のバルブの切替え
は、ノズル１１から放電加工を行う極間間隙に加工液が
噴射される液回路Ａのタイミングに応じて行うものにお
いては、汚液１４を清液１２に生成したものの使用量に
合致した制御が可能となり、特に、無駄のない経済性を
重視した制御ができる。勿論、ノズル１１から放電加工
を行う極間間隙に加工液が噴射される液回路Ａのタイミ
ングに無関係にバルブの切替えを行っても、清液１２の
監視状態によっては同様の制御が可能である。

【００４２】

【発明の効果】以上のように、請求項１の放電加工機の
加工液供給装置は、加工液を供給する放電加工機の加工
液供給装置において、同一のポンプに接続され、加工槽
に加工液を供給する液回路及び前記加工液を瀘過する液
回路及び前記加工槽内の加工液を滞留させないよう循環
させる液回路とを具備し、バルブによって前記複数の液
回路の切替えを行うものである。したがって、バルブを
切替えることによって、１つのポンプで加工液を瀘過す
る液回路で瀘過を行いながら、必要に応じて加工槽に加
工液を供給するものであるから、前記加工槽に加工液を
供給する液回路と、前記加工液を瀘過する液回路と、前
記加工槽内の加工液を滞留させないよう循環させる液回
路とに個々にポンプを配設する必要がなくなり、ポンプ
及びそのポンプの取付スペース、ポンプの制御機器、開
閉制御機器、過電流防止装置等の保護装置を減らすこと
ができ、低コスト化、省スペース化が図れる。

【００４３】請求項２の放電加工機の加工液供給装置
は、加工液を供給する放電加工機の加工液供給装置にお
いて、同一のポンプに接続され、加工槽に加工液を供給
する液回路と、前記加工槽内の加工液を滞留させないよ
う循環させる液回路と、絞り弁または定流量弁を配設す
ることによって前記加工液を通す流体抵抗を高くした前
記加工液を瀘過する液回路との切替えをバルブで行うも
のである。したがって、１つのポンプによって、バルブ
を切替えて加工液を瀘過する液回路で瀘過を行いなが
ら、必要に応じて加工槽に加工液を供給するものである
から、従来の瀘過ポンプと槽給ポンプ、循環ポンプを共
通にでき、ポンプ及びそのポンプの取付スペース、ポン
プの制御機器、開閉制御機器、過電流防止装置等の保護
装置を減らすことができ、低コスト化、省スペース化が
図れる。更に、加工液を瀘過する液回路は加工液を通す
流体抵抗を高くしているため、電気的制御系を付加する
必要性がなくなり、バルブの制御機器関係も少なくする
ことができる。また、絞り弁または定流量弁で加工液を
通す流体抵抗を高くしたものであるから、加工液を瀘過
する液回路は、清液吐出量と同程度まで液回路の流量を
制限することでフィルタの寿命を長くすることができ
る。

【００４４】請求項３の放電加工機の加工液供給装置
は、請求項１または請求項２に記載のバルブの切替え
を、ノズルから放電加工を行う極間間隙に加工液が噴射
される液回路のタイミングにより加工液噴射が指示され
ると、前記加工液を瀘過する液回路も動作させるもので
は、請求項１または請求項２に記載の効果に加えて、加
工液の使用量に合致した制御が可能となり、無駄のない
経済性を重視した制御ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明にかかる放電加工機の加工液供
給装置の第１実施形態の断面を示す説明図である。

【図２】 図２は本発明にかかる放電加工機の加工液供
給装置の第１実施形態の動作を表すタイミングチャート
である。

【図３】 図３は本発明にかかる放電加工機の加工液供
給装置の第１実施形態の別の動作例を表すタイミングチ
ャートである。

【図４】 図４は本発明にかかる放電加工機の加工液供
給装置の第２実施形態の断面を示す説明図である。

【図５】 図５は本発明にかかる放電加工機の加工液供
給装置の第２実施形態の動作を表すタイミングチャート
である。

【図６】 図６は本発明にかかる放電加工機の加工液供
給装置の第２実施形態の他の動作を表すタイミングチャ
ートである。

【図７】 図７は本発明にかかる放電加工機の加工液供
給装置の第３実施形態の断面を示す説明図である。

【図８】 図８は本発明にかかる放電加工機の加工液供
給装置の第４実施形態の断面を示す説明図である。

【図９】 図９は本発明にかかる放電加工機の加工液供
給装置の第４実施形態の動作を表すタイミングチャート
である。

【図１０】 図１０は本発明にかかる放電加工機の加工
液供給装置の第４実施形態の他の動作を表すタイミング
チャートである。

【図１１】 図１１は本発明にかかる放電加工機の加工
液供給装置の第５実施形態の断面を示す説明図である。

【図１２】 図１２は本発明にかかる放電加工機の加工
液供給装置の第５実施形態の動作を表すタイミングチャ
ートである。

【図１３】 図１３は本発明にかかる放電加工機の加工
液供給装置の第５実施形態の他の動作を表すタイミング
チャートである。

【図１４】 図１４は本発明にかかる放電加工機の加工
液供給装置の第６実施形態の断面を示す説明図である。

【図１５】 図１５は本発明にかかる放電加工機の加工
液供給装置の第７実施形態の断面を示す説明図である。

【図１６】 図１６は本発明にかかる放電加工機の加工
液供給装置の第８実施形態の断面を示す説明図である。

【図１７】 図１７は本発明にかかる放電加工機の加工
液供給装置の第９実施形態の断面を示す説明図である。

【図１８】 図１８は従来のワイヤ放電加工機の加工液
供給装置の説明図である。

【符号の説明】

３ 加工液、８ 加工槽、９ 槽給ポンプ、１０ 供給
ポンプ、１１ ノズル、１２ 清液、１３ 汚液槽、１
４ 汚液、１５ 瀘過ポンプ、１６ フィルタ、１７
清液槽、１８ 循環ポンプ、２１ イオン交換ポンプ、
２２ 加工液供給装置、２４ 電磁弁、２５ 電磁弁、
２６ 槽給／瀘過ポンプ、２７ 絞り弁、２８ 定流量
弁、２９ 電磁弁、３０ 絞り弁、３１ 槽給／瀘過／
循環ポンプ、３２ 回転数制御装置、３３ 目詰まりセ
ンサ、３４ 回転指令装置。

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−261746（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−1621（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−215940（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−310318（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−144809（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−2521（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭47−30195（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−86123（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭60−35550（ＪＰ，Ｙ２) 実公 昭39−27078（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23H 7/36

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工槽に取付けた工作物を加工液に浸漬
   して加工する放電加工機に対し、前記加工液を供給する
   放電加工機の加工液供給装置において、 同一のポンプに接続され、前記加工槽に加工液を供給す
   る液回路及び前記加工液を瀘過する液回路及び前記加工
   槽内の加工液を滞留させないよう循環させる液回路と、 前記複数の液回路の切替えを行うバルブとを具備するこ
   とを特徴とする放電加工機の加工液供給装置。
2. 【請求項２】 加工槽に取付けた工作物を加工液に浸漬
   して加工する放電加工機に対し、前記加工液を供給する
   放電加工機の加工液供給装置において、 同一のポンプに接続され、前記加工槽に加工液を供給す
   る液回路及び前記加工槽内の加工液を滞留させないよう
   循環させる液回路及び絞り弁または定流量弁を配設する
   ことによって前記加工液を通す流体抵抗を高くした前記
   加工液を瀘過する液回路と、 前記加工槽に加工液を供給する液回路と前記加工槽内の
   加工液を循環させる液回路の切替えを行うバルブとを具
   備することを特徴とする放電加工機の加工液供給装置。
3. 【請求項３】 前記バルブの切替えは、ノズルから放電
   加工を行う極間間隙に加工液が噴射される液回路の送給
   タイミングにより加工液噴射が指示されると、前記加工
   液を瀘過する液回路も動作させることを特徴とする請求
   項２乃至請求項４のうちの１つに記載の放電加工機の加
   工液供給装置。