JP3418554B2 - 平板保持装置及び平板保持方法 - Google Patents
平板保持装置及び平板保持方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、長方形状の液晶用
ガラスマスクやフォトマスクなどの平板を水平に載置す
る平板保持装置および方法に関する。
ガラスマスクやフォトマスクなどの平板を水平に載置す
る平板保持装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から平板保持装置は、例えば平板の
平面度や表面粗さを測定する場合などに用いられてお
り、従来の装置として図６に示すものがある。図に示す
ように従来の平板保持装置は、基台９上に３つの支持部
材８ａ，８ｂ，８ｃが設けられ、前記３つの支持部材８
ａ，８ｂ，８ｃによって、図７に示す長方形平板１を３
点で支持するものである。なお、図７中、８ａ，８ｂ，
８ｃは長方形平板１の支持点を示している。
平面度や表面粗さを測定する場合などに用いられてお
り、従来の装置として図６に示すものがある。図に示す
ように従来の平板保持装置は、基台９上に３つの支持部
材８ａ，８ｂ，８ｃが設けられ、前記３つの支持部材８
ａ，８ｂ，８ｃによって、図７に示す長方形平板１を３
点で支持するものである。なお、図７中、８ａ，８ｂ，
８ｃは長方形平板１の支持点を示している。
【０００３】また、従来の平板保持装置において、前記
３つの支持部材８ａ，８ｂ，８ｃのうち２つの支持部材
８ａ，８ｂは基台９に対して上下に移動自在に取付けら
れ、他の支持部材８ｃは基台９に固定されている。従来
の平板保持装置は、上述のように構成されているため、
長方形平板１を支持部材８ａ，８ｂ，８ｃに載置し、支
持部材８ａを上下動させると平板１はα方向に上下動
し、支持部材８ｂを上下動させると平板１はβ方向に上
下動する。このような操作により平板１を水平に保持す
るようにする。
３つの支持部材８ａ，８ｂ，８ｃのうち２つの支持部材
８ａ，８ｂは基台９に対して上下に移動自在に取付けら
れ、他の支持部材８ｃは基台９に固定されている。従来
の平板保持装置は、上述のように構成されているため、
長方形平板１を支持部材８ａ，８ｂ，８ｃに載置し、支
持部材８ａを上下動させると平板１はα方向に上下動
し、支持部材８ｂを上下動させると平板１はβ方向に上
下動する。このような操作により平板１を水平に保持す
るようにする。
【０００４】また、図８は他の従来の平板保持装置を示
し、基台９に支持部材８ａ，８ｂを固定し、該支持部材
８ａ，８ｂと対向する辺に可動部材１０を基台９に可動
自在に取付け、可動部材１０の両端に支持部材８ｃ，８
ｄを取付けたものである。また、可動部材１０の下側略
中央には支持軸１１が形成され、該支持軸１１を基台９
に軸支することにより可動部材１０が支持軸１１を中心
にして上下動するように構成されている。この従来の平
板保持装置は上述のように構成されているため、長方形
平板を支持部材８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄに載置し、可動
部材１０を可動させて支持部材８ｃ，８ｄを上下動させ
ることにより長方形平板を水平に保持するように調整す
る。
し、基台９に支持部材８ａ，８ｂを固定し、該支持部材
８ａ，８ｂと対向する辺に可動部材１０を基台９に可動
自在に取付け、可動部材１０の両端に支持部材８ｃ，８
ｄを取付けたものである。また、可動部材１０の下側略
中央には支持軸１１が形成され、該支持軸１１を基台９
に軸支することにより可動部材１０が支持軸１１を中心
にして上下動するように構成されている。この従来の平
板保持装置は上述のように構成されているため、長方形
平板を支持部材８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄに載置し、可動
部材１０を可動させて支持部材８ｃ，８ｄを上下動させ
ることにより長方形平板を水平に保持するように調整す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の平板保持装置に
おいて、図６に示すような３点支持構造のものでは、平
板を３点で支持するため、平板自体の自重による変形が
大きく、被測定物である平板に対して要求される測定精
度が向上してくると、この平板の変形が無視できなくな
り、高精度の測定ができないという技術的課題があっ
た。また、図８に示す平板保持装置においては、測定時
に揺れや振動を生じ、精度良く測定することができない
という技術的課題があった。
おいて、図６に示すような３点支持構造のものでは、平
板を３点で支持するため、平板自体の自重による変形が
大きく、被測定物である平板に対して要求される測定精
度が向上してくると、この平板の変形が無視できなくな
り、高精度の測定ができないという技術的課題があっ
た。また、図８に示す平板保持装置においては、測定時
に揺れや振動を生じ、精度良く測定することができない
という技術的課題があった。
【０００６】本発明は上記技術的課題を解決するために
なされたものであり、平板の自重による変形を少なく
し、平面度を測定する場合などにおいて精度良く測定す
ることのできる平板保持装置および方法を提供すること
を目的とする。
なされたものであり、平板の自重による変形を少なく
し、平面度を測定する場合などにおいて精度良く測定す
ることのできる平板保持装置および方法を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた請求項１にかかる発明は、平板を水平に保
持する平板保持装置であって、平板が載置される互いに
対向する第１、第２支持部材および第３、第４支持部材
と、前記第１乃至第４支持部材にかかる前記平板の荷重
をそれぞれ検出する第１乃至第４荷重検出手段と、前記
第１乃至第４支持部材の少なくとも１つを上下に移動さ
せる移動手段とを備えたことを特徴とする。
めになされた請求項１にかかる発明は、平板を水平に保
持する平板保持装置であって、平板が載置される互いに
対向する第１、第２支持部材および第３、第４支持部材
と、前記第１乃至第４支持部材にかかる前記平板の荷重
をそれぞれ検出する第１乃至第４荷重検出手段と、前記
第１乃至第４支持部材の少なくとも１つを上下に移動さ
せる移動手段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】ここで、前記第１乃至第４荷重検出手段に
より検出された荷重に応じて前記移動手段の上下動を制
御する制御手段を備えることが望ましく、また前記平板
は長方形平板であることが望ましい。また、前記移動手
段は、前記第３および第４支持部材を同時に上下動させ
るようにすることが望ましい。
より検出された荷重に応じて前記移動手段の上下動を制
御する制御手段を備えることが望ましく、また前記平板
は長方形平板であることが望ましい。また、前記移動手
段は、前記第３および第４支持部材を同時に上下動させ
るようにすることが望ましい。
【０００９】また、上記の課題を解決するためになされ
た請求項５にかかる発明は、互いに対向する第１、第２
支持部材および第３、第４支持部材に平板を載置し、該
平板を水平に保持する平板保持方法であって、前記第１
乃至第４支持部材に平板を載置する工程と、前記第１乃
至第４支持部材にかかる前記平板の荷重をそれぞれ検出
する工程と、前記第１および第２支持部材にかかる荷重
を加算した荷重と第３および第４支持部材にかかる荷重
を加算した荷重との荷重差を検出する工程と、前記荷重
差が所定の許容値の範囲内にあるかを判別する工程と、
前記荷重差が所定の許容値の範囲内にないときに前記第
１乃至第４支持部材の少なくとも１つを上下に移動させ
る工程とを備え、前記移動工程は、前記許容値判別工程
において前記荷重差を許容値の範囲内となるように前記
第１乃至第４支持部材の少なくとも１つを上下動させる
ようにしたことを特徴とする。
た請求項５にかかる発明は、互いに対向する第１、第２
支持部材および第３、第４支持部材に平板を載置し、該
平板を水平に保持する平板保持方法であって、前記第１
乃至第４支持部材に平板を載置する工程と、前記第１乃
至第４支持部材にかかる前記平板の荷重をそれぞれ検出
する工程と、前記第１および第２支持部材にかかる荷重
を加算した荷重と第３および第４支持部材にかかる荷重
を加算した荷重との荷重差を検出する工程と、前記荷重
差が所定の許容値の範囲内にあるかを判別する工程と、
前記荷重差が所定の許容値の範囲内にないときに前記第
１乃至第４支持部材の少なくとも１つを上下に移動させ
る工程とを備え、前記移動工程は、前記許容値判別工程
において前記荷重差を許容値の範囲内となるように前記
第１乃至第４支持部材の少なくとも１つを上下動させる
ようにしたことを特徴とする。
【００１０】更に、上記の課題を解決するためになされ
た請求項６にかかる発明は、互いに対向する第１、第２
支持部材および同時に上下動する第３、第４支持部材に
長方形平板を載置し、該平板を水平に保持する平板保持
方法であって、前記第１乃至第４支持部材に平板を載置
する工程と、前記第１乃至第４支持部材にかかる前記平
板の荷重をそれぞれ検出する工程と、前記検出工程にお
いて荷重が検出されない支持部材を判別する工程と、前
記判別工程において第３支持部材または第４支持部材に
荷重が検出されないときに該第３支持部材および第４支
持部材を上方に移動させる工程と、前記判別工程におい
て第１支持部材または第２支持部材に荷重が検出されな
いときに前記第３支持部材および第４支持部材を下方に
移動させる工程と、前記検出工程においてすべての支持
部材に荷重が検出されたとき前記第１および第２支持部
材にかかる荷重を加算した荷重から第３および第４支持
部材にかかる荷重を加算した荷重を減算した荷重差を算
出する工程と、前記荷重差と所定の許容値とを比較する
工程と、前記比較工程において許容値が荷重差より大で
あれば前記第３支持部材および第４支持部材を上方に移
動させる工程と、前記比較工程において許容値が荷重差
より小であれば前記第３支持部材および第４支持部材を
下方に移動させる工程とを備え、前記荷重差が許容値の
範囲内となるように前記平板を保持するようにしたこと
を特徴とする。ここで、前記平板は長方形平板であるこ
とが望ましい。
た請求項６にかかる発明は、互いに対向する第１、第２
支持部材および同時に上下動する第３、第４支持部材に
長方形平板を載置し、該平板を水平に保持する平板保持
方法であって、前記第１乃至第４支持部材に平板を載置
する工程と、前記第１乃至第４支持部材にかかる前記平
板の荷重をそれぞれ検出する工程と、前記検出工程にお
いて荷重が検出されない支持部材を判別する工程と、前
記判別工程において第３支持部材または第４支持部材に
荷重が検出されないときに該第３支持部材および第４支
持部材を上方に移動させる工程と、前記判別工程におい
て第１支持部材または第２支持部材に荷重が検出されな
いときに前記第３支持部材および第４支持部材を下方に
移動させる工程と、前記検出工程においてすべての支持
部材に荷重が検出されたとき前記第１および第２支持部
材にかかる荷重を加算した荷重から第３および第４支持
部材にかかる荷重を加算した荷重を減算した荷重差を算
出する工程と、前記荷重差と所定の許容値とを比較する
工程と、前記比較工程において許容値が荷重差より大で
あれば前記第３支持部材および第４支持部材を上方に移
動させる工程と、前記比較工程において許容値が荷重差
より小であれば前記第３支持部材および第４支持部材を
下方に移動させる工程とを備え、前記荷重差が許容値の
範囲内となるように前記平板を保持するようにしたこと
を特徴とする。ここで、前記平板は長方形平板であるこ
とが望ましい。
【００１１】本発明にかかる平板保持装置及び平板保持
方法よれば、平板の自重による変形が少なくなり、平面
度を測定する場合などにおいて精度良く測定することの
できる。また、構成および方法が比較的簡単であり、容
易に実現できる。
方法よれば、平板の自重による変形が少なくなり、平面
度を測定する場合などにおいて精度良く測定することの
できる。また、構成および方法が比較的簡単であり、容
易に実現できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。図１、図２に本発明にかかる
平板保持装置の構成例を示す。同図において、１は長方
形状の平板であって、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは前記平
板１を支持する、それぞれ対向する第１、第２支持部材
および第３、第４支持部材（以下、総称するときは支持
部材２という）、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは前記支持部
材２に平板１が載置されたときにかかる荷重を測定して
検出する荷重検出手段としての荷重検出センサ（以下、
総称するときは荷重検出センサ３という）、４は対向す
る前記第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを連結するための
連結部材、５は前記連結部材４の略中央部に設けられ、
第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを上下に移動させるため
の移動手段としての上下駆動機構部、６は前記第１、第
２支持部材２ａ，２ｂを直接固定するとともに、前記上
下駆動機構部５を固定する基台、７は荷重検出センサ３
より検出されたセンサ出力が入力されるとともに、前記
上下駆動機構部５に対して駆動信号を出力する制御手段
を含む制御装置である。なお、各支持部材２は平板１を
載置したときに、平板１の形状や物性値から平板１の自
重による変形量が最も小さい位置に取り付けられてい
る。
施形態について説明する。図１、図２に本発明にかかる
平板保持装置の構成例を示す。同図において、１は長方
形状の平板であって、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄは前記平
板１を支持する、それぞれ対向する第１、第２支持部材
および第３、第４支持部材（以下、総称するときは支持
部材２という）、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは前記支持部
材２に平板１が載置されたときにかかる荷重を測定して
検出する荷重検出手段としての荷重検出センサ（以下、
総称するときは荷重検出センサ３という）、４は対向す
る前記第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを連結するための
連結部材、５は前記連結部材４の略中央部に設けられ、
第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを上下に移動させるため
の移動手段としての上下駆動機構部、６は前記第１、第
２支持部材２ａ，２ｂを直接固定するとともに、前記上
下駆動機構部５を固定する基台、７は荷重検出センサ３
より検出されたセンサ出力が入力されるとともに、前記
上下駆動機構部５に対して駆動信号を出力する制御手段
を含む制御装置である。なお、各支持部材２は平板１を
載置したときに、平板１の形状や物性値から平板１の自
重による変形量が最も小さい位置に取り付けられてい
る。
【００１３】前記制御装置７は、ＣＰＵ７１と、荷重検
出センサ３よりのセンサ出力を荷重データとしてＣＰＵ
７１に入力するインターフェース７２と、ＣＰＵ７１よ
り出力される駆動データを駆動信号として上下駆動機構
部５に出力する駆動装置７３より構成されている。上下
駆動機構部５は前記駆動信号により上下に駆動され、そ
の結果、連結部材４に取り付けられた第３、第４支持部
材２ｃ，２ｄが連結部材４と協動して上下方向に移動す
る。
出センサ３よりのセンサ出力を荷重データとしてＣＰＵ
７１に入力するインターフェース７２と、ＣＰＵ７１よ
り出力される駆動データを駆動信号として上下駆動機構
部５に出力する駆動装置７３より構成されている。上下
駆動機構部５は前記駆動信号により上下に駆動され、そ
の結果、連結部材４に取り付けられた第３、第４支持部
材２ｃ，２ｄが連結部材４と協動して上下方向に移動す
る。
【００１４】次に、本発明にかかる平板保持装置の動作
を図３に示すフローチャートとともに説明する。なお、
同図はＣＰＵ７１が処理する処理内容を示している。ま
ず、第３、第４支持部材２ｃ，２ｄが第１、第２支持部
材２ａ，２ｂより下方の位置となるように、ＣＰＵ７１
より駆動装置７３に対して駆動データを出力する（ステ
ップＳ１）。駆動装置７３はこの駆動データにより駆動
信号を発生し、上下駆動機構部５が下方に駆動される。
その結果、第３、第４支持部材２ｃ，２ｄが下方に移動
し、所定位置にて停止する。これにより、第３、第４支
持部材２ｃ，２ｄは第１、第２支持部材２ａ，２ｂより
下方に位置される。
を図３に示すフローチャートとともに説明する。なお、
同図はＣＰＵ７１が処理する処理内容を示している。ま
ず、第３、第４支持部材２ｃ，２ｄが第１、第２支持部
材２ａ，２ｂより下方の位置となるように、ＣＰＵ７１
より駆動装置７３に対して駆動データを出力する（ステ
ップＳ１）。駆動装置７３はこの駆動データにより駆動
信号を発生し、上下駆動機構部５が下方に駆動される。
その結果、第３、第４支持部材２ｃ，２ｄが下方に移動
し、所定位置にて停止する。これにより、第３、第４支
持部材２ｃ，２ｄは第１、第２支持部材２ａ，２ｂより
下方に位置される。
【００１５】次に、平板１の下面側を支持部材２に載置
する。このとき、図２に示すように、平板１の下面にす
べての支持部材２（２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ）が対向す
るようにし、平板１はその４隅あるいは４隅近傍部分と
第１乃至第４支持部材２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがそれぞ
れ対向するような位置で載置される。かかる載置状態に
おいては、第３、第４支持部材２ｃ，２ｄが第１、第２
支持部材２ａ，２ｂより下方に位置しているため、図４
に示すように平板１は第１支持部材２ａおよび第２支持
部材２ｂと、第３支持部材２ｃまたは第４支持部材２ｄ
のいずれか一方と当接し、３点で支持される。なお、図
４は、平板保持装置に保持された平板を示す概念図であ
って、実線で示されている２ａ、２ｂは、第１支持部材
２ａおよび第２支持部材２ｂが支持する点を、また点線
で示されている２ｃ、２ｄは、第３支持部材２ｃおよび
第４支持部材２ｄが支持する点を示している。
する。このとき、図２に示すように、平板１の下面にす
べての支持部材２（２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ）が対向す
るようにし、平板１はその４隅あるいは４隅近傍部分と
第１乃至第４支持部材２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがそれぞ
れ対向するような位置で載置される。かかる載置状態に
おいては、第３、第４支持部材２ｃ，２ｄが第１、第２
支持部材２ａ，２ｂより下方に位置しているため、図４
に示すように平板１は第１支持部材２ａおよび第２支持
部材２ｂと、第３支持部材２ｃまたは第４支持部材２ｄ
のいずれか一方と当接し、３点で支持される。なお、図
４は、平板保持装置に保持された平板を示す概念図であ
って、実線で示されている２ａ、２ｂは、第１支持部材
２ａおよび第２支持部材２ｂが支持する点を、また点線
で示されている２ｃ、２ｄは、第３支持部材２ｃおよび
第４支持部材２ｄが支持する点を示している。
【００１６】平板１を載置した後、ＣＰＵ７１は第１乃
至第４荷重センサ３ａ乃至３ｄより検出された各支持部
材２に加わる荷重量を表わすセンサ出力を、インターフ
ェース７２を介して荷重データとして入力し、第３支持
部材２ｃにかかる荷重が検出されなかったかあるいは第
４支持部材２ｄにかかる荷重が検出されなかったかを判
別する（ステップＳ２）。すなわち、第３支持部材２ｃ
の第３荷重センサ３ｃよりのセンサ出力または第４支持
部材２ｄの第４荷重センサ３ｄよりのセンサ出力が発生
せずに、どちらか一方の荷重が０であるかを判別する。
この判別の結果がＹＥＳであれば、ＣＰＵ７１より駆動
装置７３に対して上下駆動機構部５が上方に駆動するよ
うな駆動データを出力し、上下駆動機構部５が上方に駆
動されて第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを所定の同距離
だけ上方に移動せしめる（ステップＳ３）。
至第４荷重センサ３ａ乃至３ｄより検出された各支持部
材２に加わる荷重量を表わすセンサ出力を、インターフ
ェース７２を介して荷重データとして入力し、第３支持
部材２ｃにかかる荷重が検出されなかったかあるいは第
４支持部材２ｄにかかる荷重が検出されなかったかを判
別する（ステップＳ２）。すなわち、第３支持部材２ｃ
の第３荷重センサ３ｃよりのセンサ出力または第４支持
部材２ｄの第４荷重センサ３ｄよりのセンサ出力が発生
せずに、どちらか一方の荷重が０であるかを判別する。
この判別の結果がＹＥＳであれば、ＣＰＵ７１より駆動
装置７３に対して上下駆動機構部５が上方に駆動するよ
うな駆動データを出力し、上下駆動機構部５が上方に駆
動されて第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを所定の同距離
だけ上方に移動せしめる（ステップＳ３）。
【００１７】かかるステップＳ２、Ｓ３の処理により、
第３支持部材２ｃと第４支持部材２ｄが下降した位置に
あって、図４に示すように平板１が第１支持部材２ａと
第２支持部材２ｂ、および第３支持部材２ｃあるいは第
４支持部材２ｄのいずれか一方と当接するような３点支
持の状態にある場合に、第３支持部材２ｃと第４支持部
材２ｄを上方に移動させて平板１を４点で支持しようと
する。
第３支持部材２ｃと第４支持部材２ｄが下降した位置に
あって、図４に示すように平板１が第１支持部材２ａと
第２支持部材２ｂ、および第３支持部材２ｃあるいは第
４支持部材２ｄのいずれか一方と当接するような３点支
持の状態にある場合に、第３支持部材２ｃと第４支持部
材２ｄを上方に移動させて平板１を４点で支持しようと
する。
【００１８】次に、ステップＳ３の処理後あるいはステ
ップＳ２の判別結果がＮＯの場合に、ＣＰＵ７１は荷重
センサ３よりの各荷重データに基づき、第１支持部材２
ａにかかる荷重が検出されなかったかあるいは第２支持
部材２ｂにかかる荷重が検出されなかったかを判別する
（ステップＳ４）。すなわち、第１支持部材２ａの第１
荷重センサ３ａよりのセンサ出力または第２支持部材２
ｂの第２荷重センサ３ｂよりのセンサ出力が発生せず
に、どちらか一方の荷重が０であるかを判別する。
ップＳ２の判別結果がＮＯの場合に、ＣＰＵ７１は荷重
センサ３よりの各荷重データに基づき、第１支持部材２
ａにかかる荷重が検出されなかったかあるいは第２支持
部材２ｂにかかる荷重が検出されなかったかを判別する
（ステップＳ４）。すなわち、第１支持部材２ａの第１
荷重センサ３ａよりのセンサ出力または第２支持部材２
ｂの第２荷重センサ３ｂよりのセンサ出力が発生せず
に、どちらか一方の荷重が０であるかを判別する。
【００１９】この判別の結果がＹＥＳであれば、ＣＰＵ
７１より駆動装置７３に対して上下駆動機構部５が下方
に駆動するような駆動データを出力し、上下駆動機構部
５が下方に駆動されて第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを
所定の同距離だけ下方に移動せしめる（ステップＳ
５）。かかるステップＳ４、Ｓ５の処理により、ステッ
プＳ２、Ｓ３と逆に第３支持部材２ｃと第４支持部材２
ｄが上昇した位置にあって、図５に示すように平板１が
第３支持部材２ｃと第４支持部材２ｄ、および第１支持
部材２ａあるいは第２支持部材２ｂのいずれか一方と当
接するような３点支持の状態にある場合、第３支持部材
２ｃと第４支持部材２ｄを下方に移動させて平板１を４
点で支持させようとする。なお、図５は、平板保持装置
に保持された平板を示す概念図であって、実線で示され
ている２ｃ、２ｄは、第３支持部材２ｃおよび第４支持
部材２ｄが支持する点を、また点線で示されている２
ａ、２ｂは、第１支持部材２ａおよび第２支持部材２ｂ
が支持する点を示している。ステップＳ５の処理後、ス
テップＳ２の処理に戻る。
７１より駆動装置７３に対して上下駆動機構部５が下方
に駆動するような駆動データを出力し、上下駆動機構部
５が下方に駆動されて第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを
所定の同距離だけ下方に移動せしめる（ステップＳ
５）。かかるステップＳ４、Ｓ５の処理により、ステッ
プＳ２、Ｓ３と逆に第３支持部材２ｃと第４支持部材２
ｄが上昇した位置にあって、図５に示すように平板１が
第３支持部材２ｃと第４支持部材２ｄ、および第１支持
部材２ａあるいは第２支持部材２ｂのいずれか一方と当
接するような３点支持の状態にある場合、第３支持部材
２ｃと第４支持部材２ｄを下方に移動させて平板１を４
点で支持させようとする。なお、図５は、平板保持装置
に保持された平板を示す概念図であって、実線で示され
ている２ｃ、２ｄは、第３支持部材２ｃおよび第４支持
部材２ｄが支持する点を、また点線で示されている２
ａ、２ｂは、第１支持部材２ａおよび第２支持部材２ｂ
が支持する点を示している。ステップＳ５の処理後、ス
テップＳ２の処理に戻る。
【００２０】ステップＳ４の判別結果がＮＯであれば、
平板１はすべての支持部材２ａ乃２ｄで４点支持されて
いるので、ＣＰＵ７１はインターフェース７２を介して
入力される荷重センサ３よりの各荷重データに基づき、
第１及び第２荷重センサ３ａ，３ｂから得られる第１支
持部材２ａと第２支持部材２ｂにかかる荷重を加算した
荷重和Ｗａｂと、第３及び第４荷重センサ３ｃ，３ｄか
ら得られる第３支持部材２ｃと第４支持部材２ｄにかか
る荷重を加算した荷重和Ｗｃｄをそれぞれ算出する（ス
テップＳ６）。
平板１はすべての支持部材２ａ乃２ｄで４点支持されて
いるので、ＣＰＵ７１はインターフェース７２を介して
入力される荷重センサ３よりの各荷重データに基づき、
第１及び第２荷重センサ３ａ，３ｂから得られる第１支
持部材２ａと第２支持部材２ｂにかかる荷重を加算した
荷重和Ｗａｂと、第３及び第４荷重センサ３ｃ，３ｄか
ら得られる第３支持部材２ｃと第４支持部材２ｄにかか
る荷重を加算した荷重和Ｗｃｄをそれぞれ算出する（ス
テップＳ６）。
【００２１】次に、荷重和Ｗａｂから荷重和Ｗｃｄを減
算し、対向する一対の支持部材の荷重和どおしの差を荷
重差として求め、この荷重差（Ｗａｂ−Ｗｃｄ）と予め
設定した許容値Ｗｒｅｆとを比較し、荷重差（Ｗａｂ−
Ｗｃｄ）が許容値Ｗｒｅｆより大であるかを判別する
（ステップＳ７）。
算し、対向する一対の支持部材の荷重和どおしの差を荷
重差として求め、この荷重差（Ｗａｂ−Ｗｃｄ）と予め
設定した許容値Ｗｒｅｆとを比較し、荷重差（Ｗａｂ−
Ｗｃｄ）が許容値Ｗｒｅｆより大であるかを判別する
（ステップＳ７）。
【００２２】この判別の結果がＹＥＳであれば、ＣＰＵ
７１より駆動装置７３に対して上下駆動機構部５が上方
に駆動するような駆動データを出力し、上下駆動機構部
５が上方に駆動されて第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを
所定の同距離だけ上方に移動せしめる（ステップＳ
８）。
７１より駆動装置７３に対して上下駆動機構部５が上方
に駆動するような駆動データを出力し、上下駆動機構部
５が上方に駆動されて第３、第４支持部材２ｃ，２ｄを
所定の同距離だけ上方に移動せしめる（ステップＳ
８）。
【００２３】かかるステップＳ７、Ｓ８の処理は、第１
支持部材２ａと第２支持部材２ｂに加わる荷重が第３支
持部材２ｃと第４支持部材２ｄに加わる荷重に比して許
容値Ｗｒｅｆを越えて平板１を支持している場合に、こ
れを是正すべく前記荷重差が許容値Ｗｒｅｆの範囲内と
するように第３支持部材２ｃと第４支持部材２ｄを上方
に移動させるために行われる。
支持部材２ａと第２支持部材２ｂに加わる荷重が第３支
持部材２ｃと第４支持部材２ｄに加わる荷重に比して許
容値Ｗｒｅｆを越えて平板１を支持している場合に、こ
れを是正すべく前記荷重差が許容値Ｗｒｅｆの範囲内と
するように第３支持部材２ｃと第４支持部材２ｄを上方
に移動させるために行われる。
【００２４】ステップＳ８の処理後あるいはステップＳ
７の判別結果がＮＯの場合は、ステップＳ７と逆に荷重
和Ｗｃｄから荷重和Ｗａｂを減算し、この荷重差（Ｗｃ
ｄ−Ｗａｂ）と許容値Ｗｒｅｆとを比較し、荷重差（Ｗ
ｃｄ−Ｗａｂ）が許容値Ｗｒｅｆより大であるかを判別
する（ステップＳ９）。この判別の結果がＹＥＳであれ
ば、ＣＰＵ７１より駆動装置７３に対して上下機構部５
が下方に駆動するような駆動データを出力し、上下機構
部５が下方に駆動されて第３、第４支持部材２ｃ，２ｄ
を所定距離だけ下方に移動せしめる（ステップＳ１
０）。
７の判別結果がＮＯの場合は、ステップＳ７と逆に荷重
和Ｗｃｄから荷重和Ｗａｂを減算し、この荷重差（Ｗｃ
ｄ−Ｗａｂ）と許容値Ｗｒｅｆとを比較し、荷重差（Ｗ
ｃｄ−Ｗａｂ）が許容値Ｗｒｅｆより大であるかを判別
する（ステップＳ９）。この判別の結果がＹＥＳであれ
ば、ＣＰＵ７１より駆動装置７３に対して上下機構部５
が下方に駆動するような駆動データを出力し、上下機構
部５が下方に駆動されて第３、第４支持部材２ｃ，２ｄ
を所定距離だけ下方に移動せしめる（ステップＳ１
０）。
【００２５】かかるステップＳ９、Ｓ１０の処理は、ス
テップＳ７、Ｓ８と逆に第３支持部材２ｃと第４支持部
材２ｄに加わる荷重が第１支持部材２ａと第２支持部材
２ｂに加わる荷重に比して許容値Ｗｒｅｆを越えて平板
１を支持している場合に、これを是正すべく前記荷重差
が許容値Ｗｒｅｆの範囲内とするように第３支持部材２
ｃと第４支持部材２ｄを下方に移動させるために行われ
る。
テップＳ７、Ｓ８と逆に第３支持部材２ｃと第４支持部
材２ｄに加わる荷重が第１支持部材２ａと第２支持部材
２ｂに加わる荷重に比して許容値Ｗｒｅｆを越えて平板
１を支持している場合に、これを是正すべく前記荷重差
が許容値Ｗｒｅｆの範囲内とするように第３支持部材２
ｃと第４支持部材２ｄを下方に移動させるために行われ
る。
【００２６】ステップＳ９の判別結果がＹＥＳであれば
ステップＳ６の荷重和算出処理に戻り、ＮＯであれば対
向する一対の支持部材の荷重和ＷａｂとＷｃｄの差の絶
対値が許容値Ｗｒｅｆ以下であり、この荷重差が許容値
Ｗｒｅｆの範囲内にあるから、ステップＳ１１とＳ１２
により再度ステップＳ２、Ｓ４と同様の判別処理を行
い、支持部材２の中で荷重が検出されていないものがあ
るかを判別し、いずれの判別結果もＮＯであれば、平板
１が４点で支持されかつ前述の荷重差が許容値Ｗｒｅｆ
の範囲内に収まっていると判別され、処理を終了する。
また、いずれかの判別結果がＹＥＳであればステップＳ
１に戻る。
ステップＳ６の荷重和算出処理に戻り、ＮＯであれば対
向する一対の支持部材の荷重和ＷａｂとＷｃｄの差の絶
対値が許容値Ｗｒｅｆ以下であり、この荷重差が許容値
Ｗｒｅｆの範囲内にあるから、ステップＳ１１とＳ１２
により再度ステップＳ２、Ｓ４と同様の判別処理を行
い、支持部材２の中で荷重が検出されていないものがあ
るかを判別し、いずれの判別結果もＮＯであれば、平板
１が４点で支持されかつ前述の荷重差が許容値Ｗｒｅｆ
の範囲内に収まっていると判別され、処理を終了する。
また、いずれかの判別結果がＹＥＳであればステップＳ
１に戻る。
【００２７】かかる装置を用いて、平板１としてたとえ
ば縦６２０ｍｍ、横７２０ｍｍ、厚さ９ｍｍの平板ガラ
スを載置した場合、図６に示す従来の３点支持構成のも
のにおいては平板ガラスの自重により３０μｍもの変形
を呈するが、実施形態にかかる装置および方法において
は変形量は６μｍと小さく、高精度で測定が可能とな
る。
ば縦６２０ｍｍ、横７２０ｍｍ、厚さ９ｍｍの平板ガラ
スを載置した場合、図６に示す従来の３点支持構成のも
のにおいては平板ガラスの自重により３０μｍもの変形
を呈するが、実施形態にかかる装置および方法において
は変形量は６μｍと小さく、高精度で測定が可能とな
る。
【００２８】なお、前述した実施形態においては、被測
定部材として平板を用いて説明したが、他の形状（例え
ば長方形状以外の多角形状平板）を用いてもよい。ま
た、実施形態においては、２つの支持部材２ａ，２ｂを
基台６に固定し、他の２つの支持部材２ｃ，２ｄを上下
移動可能としたが、前述したように、４つの支持部材に
おいて対向する一対の支持部材の荷重和どおしの差が許
容値Ｗｒｅｆの範囲内となるように所定の支持部材２を
上下に移動させればよいのであるから、１つの支持部材
を移動可能として他の３つの支持部材を固定するように
してもよい。あるいは３つの支持部材を移動可能として
他の１つの支持部材を固定してもよし、４つの支持部材
すべてを移動可能とするようにしてもよい。更に、本発
明にかかる保持装置を、半導体や液晶パネルなどの基板
に現像液などの薬液を塗布するための基板塗布装置に適
用してもよい。
定部材として平板を用いて説明したが、他の形状（例え
ば長方形状以外の多角形状平板）を用いてもよい。ま
た、実施形態においては、２つの支持部材２ａ，２ｂを
基台６に固定し、他の２つの支持部材２ｃ，２ｄを上下
移動可能としたが、前述したように、４つの支持部材に
おいて対向する一対の支持部材の荷重和どおしの差が許
容値Ｗｒｅｆの範囲内となるように所定の支持部材２を
上下に移動させればよいのであるから、１つの支持部材
を移動可能として他の３つの支持部材を固定するように
してもよい。あるいは３つの支持部材を移動可能として
他の１つの支持部材を固定してもよし、４つの支持部材
すべてを移動可能とするようにしてもよい。更に、本発
明にかかる保持装置を、半導体や液晶パネルなどの基板
に現像液などの薬液を塗布するための基板塗布装置に適
用してもよい。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、平板の
自重による変形が少なくなり、平面度を測定する場合な
どにおいて精度良く測定することのできる。また、構成
および方法が比較的簡単であり、容易に実現できる。
自重による変形が少なくなり、平面度を測定する場合な
どにおいて精度良く測定することのできる。また、構成
および方法が比較的簡単であり、容易に実現できる。
【図１】図１は、本発明の実施形態にかかる平板保持装
置の構成を示す図である。
置の構成を示す図である。
【図２】図２は、平板が保持された状態の平板保持装置
を示す図である。
を示す図である。
【図３】図３は、平板保持動作を示すフローチャートで
ある。
ある。
【図４】図４は、平板保持装置に保持された平板を示す
概念図である。
概念図である。
【図５】図５は、平板保持装置に保持された平板を示す
概念図である。
概念図である。
【図６】図６は、従来の平板保持装置の構成を示す図で
ある。
ある。
【図７】図７は、従来の平板保持装置に保持された平板
を示す図である。
を示す図である。
【図８】図８は、従来の他の平板保持装置の構成を示す
図である。
図である。
１ 長方形状平板
２ａ 第１支持部材
２ｂ 第２支持部材
２ｃ 第３支持部材
２ｄ 第４支持部材
３ａ 第１荷重センサ
３ｂ 第２荷重センサ
３ｃ 第３荷重センサ
３ｄ 第４荷重センサ
４ 連結部材
５ 上下駆動機構部
６ 基台
７ 制御装置
７１ ＣＰＵ
７２ インターフェース
７３ 駆動装置
８ａ 支持部材
８ｂ 支持部材
８ｃ 支持部材
９ 基台
１０ 可動部材
１１ 支持軸
Claims (7)
- 【請求項１】 平板を水平に保持する平板保持装置であ
って、 平板が載置される互いに対向する第１、第２支持部材お
よび第３、第４支持部材と、 前記第１乃至第４支持部材にかかる前記平板の荷重をそ
れぞれ検出する第１乃至第４荷重検出手段と、 前記第１乃至第４支持部材の少なくとも１つを上下に移
動させる移動手段とを備えたことを特徴とする平板保持
装置。 - 【請求項２】 前記第１乃至第４荷重検出手段により検
出された荷重に応じて前記移動手段の上下動を制御する
制御手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載され
た平板保持装置。 - 【請求項３】 前記平板は長方形平板であることを特徴
とする請求項１または請求項２に記載された平板保持装
置。 - 【請求項４】 前記移動手段は、前記第３および第４支
持部材を同時に上下動させるようにしたことを特徴とす
る請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された平板保
持装置。 - 【請求項５】 互いに対向する第１、第２支持部材およ
び第３、第４支持部材に平板を載置し、該平板を水平に
保持する平板保持方法であって、 前記第１乃至第４支持部材に平板を載置する工程と、 前記第１乃至第４支持部材にかかる前記平板の荷重をそ
れぞれ検出する工程と、 前記第１および第２支持部材にかかる荷重を加算した荷
重と第３および第４支持部材にかかる荷重を加算した荷
重との荷重差を検出する工程と、 前記荷重差が所定の許容値の範囲内にあるかを判別する
工程と、 前記荷重差が所定の許容値の範囲内にないときに前記第
１乃至第４支持部材の少なくとも１つを上下に移動させ
る工程とを備え、 前記移動工程は、前記許容値判別工程において前記荷重
差を許容値の範囲内となるように、前記第１乃至第４支
持部材の少なくとも１つを上下動させるようにしたこと
を特徴とする平板保持方法。 - 【請求項６】 互いに対向する第１、第２支持部材およ
び同時に上下動する第３、第４支持部材に長方形平板を
載置し、該平板を水平に保持する平板保持方法であっ
て、 前記第１乃至第４支持部材に平板を載置する工程と、 前記第１乃至第４支持部材にかかる前記平板の荷重をそ
れぞれ検出する工程と、 前記検出工程において荷重が検出されない支持部材を判
別する工程と、 前記判別工程において第３支持部材または第４支持部材
に荷重が検出されないときに該第３支持部材および第４
支持部材を上方に移動させる工程と、 前記判別工程において第１支持部材または第２支持部材
に荷重が検出されないときに前記第３支持部材および第
４支持部材を下方に移動させる工程と、 前記検出工程においてすべての支持部材に荷重が検出さ
れたとき前記第１および第２支持部材にかかる荷重を加
算した荷重から第３および第４支持部材にかかる荷重を
加算した荷重を減算した荷重差を算出する工程と、 前記荷重差と所定の許容値とを比較する工程と、 前記比較工程において許容値が荷重差より大であれば前
記第３支持部材および第４支持部材を上方に移動させる
工程と、 前記比較工程において許容値が荷重差より小であれば前
記第３支持部材および第４支持部材を下方に移動させる
工程とを備え、 前記荷重差が許容値の範囲内となるように前記平板を保
持するようにしたことを特徴とする平板保持方法。 - 【請求項７】 前記平板は長方形平板であることを特徴
とする請求項５または請求項６に記載された平板保持装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18165598A JP3418554B2 (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 平板保持装置及び平板保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18165598A JP3418554B2 (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 平板保持装置及び平板保持方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000002778A JP2000002778A (ja) | 2000-01-07 |
| JP3418554B2 true JP3418554B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=16104553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18165598A Expired - Fee Related JP3418554B2 (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 平板保持装置及び平板保持方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3418554B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4793851B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2011-10-12 | レーザーテック株式会社 | カラーフィルタ基板のステージ装置及び検査装置 |
-
1998
- 1998-06-12 JP JP18165598A patent/JP3418554B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000002778A (ja) | 2000-01-07 |
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