JP3418514B2 - ヘッド・サスペンション・システムのロード・ビーム - Google Patents

ヘッド・サスペンション・システムのロード・ビーム

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JP3418514B2 JP34395696A JP34395696A JP3418514B2 JP 3418514 B2 JP3418514 B2 JP 3418514B2 JP 34395696 A JP34395696 A JP 34395696A JP 34395696 A JP34395696 A JP 34395696A JP 3418514 B2 JP3418514 B2 JP 3418514B2
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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/484—Integrated arm assemblies, e.g. formed by material deposition or by etching from single piece of metal or by lamination of materials forming a single arm/suspension/head unit

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  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Television Systems (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には、磁気
記録媒体用の変換器サスペンション・システムに関し、
特に、変換器ヘッドとロード・ビーム（load beam）と
を接続する可撓性部材であって小さい側面(low profil
e)を有するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】ディスク・ドライブ等の直接アクセス記
憶装置（ＤＡＳＤ）は、回転可能な磁気記録ディスクの
同心状トラック上に情報を記憶する。回転するディスク
上の所望の情報を読み取ったり記録したりするために、
サスペンション・アーム上の磁気ヘッド又は他の変換器
素子を、回転型又は直線型のアクチュエータによりトラ
ックからトラックへと移動させる。サスペンション・ア
ームは、ヘッド・サスペンション組部材であり、通常、
アクチュエータ・アームに取り付けられるロード・ビー
ムと、このロード・ビームに接続される可撓性部材
（「フレクシャ(flexure)」として知られる）と、この
フレクシャに取り付けられる変換器ヘッドとを具備す
る。実際にディスク上のデータを読み取ったり書き込ん
だりする磁気ヘッドは、エアベアリング・スライダ内に
配置される。ディスクが回転する間、このスライダは、
回転しているディスク表面のわずか上方において浮動
し、ロード・ビームはこのスライダを支持し、そしてフ
レクシャは、不可避であるディスク表面の跳び出しや平
坦度のばらつきに対処するべく、スライダを水平に保持
するようにその向きを調整する。
【０００３】サスペンション・システムの例は、米国特
許第５３７７０６４号（Yaginuma、１９９４年１２月２
７日特許）、同第５２８２１０２号（Christianson、１
９９４年１月２５日特許）、同第５２２５９５０号（Cr
ane、１９９３年７月６日特許）、同第５１９８９４５
号（Blaeserら、１９９３年３月３０日特許）、同第５
１８７６２５号（Blaeserら、１９９３年２月１６日特
許）、同第５１１５３６３号（Khanら、１９９２年３月
１９日特許）、同第４９９６６２３号（Erpeldingら、
１９９１年２月２６日特許）、同第４７９７７６３号
（Levyら、１９８９年１月１０日特許）、同第４７６１
６９９号（Ainslieら、１９８８年８月２日特許）に記
載がある。また、欧州特許出願公開第０４８７９１４Ａ
２号（Footeら、１９９２年６月３日公開）、ＰＣＴ公
開第ＷＯ９４／２４６６４号（Jurgenson、１９９４年
１０月２７日公開）、ＰＣＴ公開第ＷＯ９４／１２９７
４（Budde、１９９４年６月９日公開）、特開昭第５９
−２０７０６５号（Hashimoto、１９８４年１１月２４
日公開）にも記載がある。
【０００４】フレクシャには、スライダのために適宜の
回動可能な接続機構を設ける必要がある。これにより、
動作中のスライダは、揺動に対して適宜の剛性を保持し
つつエアベアリングを維持するために僅かにピッチ運動
及びロール運動を行うことによって製造上及び操作上の
不規則さを補償することができる。ロール運動は、フレ
クシャ平面内においてアクチュエータ・アームから直接
延びている軸についての回転として定義され、ピッチ運
動は、ロール運動の軸に垂直でかつフレクシャ平面上に
ある軸についての回転として定義される。揺動は、エア
ベアリング表面に対して垂直な軸の周りの旋回である。
有用であるために、いずれのフレクシャも、エアベアリ
ングの浮動高の許容度において十分小さいピッチ運動及
びロール運動の剛性を実現しなければならないと同時
に、十分大きい揺動の剛性を実現しなければならない。
【０００５】所与のサスペンション組部材におけるフレ
クシャは、ロード・ビームと一体化されている。すなわ
ち、一枚の金属板から形成されている。別のサスペンシ
ョン組部材におけるフレクシャは、別個に作製された
後、ロード・ビームへ取り付けられる。
【０００６】２つの部品からなるロード・ビームは、フ
レクシャとロード・ビーム本体との間に予負荷を与える
ための窪みを有する。例えば、米国特許第５３７７０６
４号の図１２に開示のフレクシャは、上向きの窪みを形
成した結合パッドを具備する。この窪みは、ロード・ビ
ームの一部分に押し当てられるように設計されており、
これにより、変換器ヘッドに予負荷を与えている。窪み
を具備した２部品からなるロード・ビームは、この窪み
が非常に堅いので、実質的な予負荷を与えることができ
るという利点がある。しかしながら、２部品からなるロ
ード・ビームには、製造コストが高くなるという欠点が
ある。特に、在庫管理において２つの部品の各々を別々
に管理しなければならず、各々の部品を取り扱うために
更なるツールが必要であり、また各々の部品を検査しな
ければならない。さらに、２つの部品からなるロード・
ビーム及びフレクシャを作製するために付加的な工程が
必要であり、不合格部品の数が増加する。一体的フレク
シャは、これらの問題の多くを解決することができる。
【０００７】一体的フレクシャの一例は、米国特許第５
２８２１０２号に、捻れバーにより接続された２つの別
個の結合バッドが開示されている。変換器ヘッドは、双
方の結合へ接続される。結合パッドの捻れバーは、ロー
ド・ビームの先端上の開口を横切って延びるロード・ビ
ームの捻れバーへ接続される。米国特許第５２８２１０
２号の図７Ｂの例においては、結合パッド及び捻れバー
の組部材が押圧されることにより、変換器ヘッドのピッ
チ運動及びロール運動のための間隙を生じている。一体
的フレクシャは、コストの低いエッチング・プロセスに
より形成できるので、単純で製造コストが低いという利
点がある。１つの欠点は、変換器ヘッドへの予負荷が、
押圧する（圧力により金属を変形させる）ことにより与
えられるため、このプロセスの精密な制御が困難である
点である。
【０００８】上記のような汎用的な一体的フレクシャの
欠点の１つは、薄い部分的エッチング形状部が単独で又
は面内力との組合せで曲がる作用によりスライダの予負
荷が与えられていたので、予負荷の力が、小さな値に制
限されていたことである。これらの汎用的なフレクシャ
において予負荷を大きくするとすれば、フレクシャは許
容値を超える過剰な応力を被るか又は撓むこととなり、
その結果、フレクシャとスライダとの間における望まし
くない障害を生じた。汎用な一体的フレクシャにおいて
は、剛性はその厚さと直接的に関連するが、応力はその
断面積に関連し、そして撓みはその体積に関連する。一
般的にこのことは、応力及び特に撓みが、フレクシャの
挙動をしばしば支配することを意味する。
【０００９】大容量ディスク・ドライブは、通常、同じ
回転主軸上に装着された複数のディスクを有する。複数
のディスク構成は、フォーム・ファクタ・パッケージ(f
ormfactor package)等の工業規格により課された一定の
大きさ制限内においてより大きな記憶領域を設けるとい
う利点がある。ディスク間の距離が２．４乃至４．０mm
の範囲であることは、ほぼ現在の技術限界であると共
に、フォーム・ファクタ・パッケージに適合するディス
ク数の限界を課している。同じ高さの中に、さらに多く
のディスクを設けるためには、ディスク間距離をさらに
狭くすることが有利である。
【００１０】ディスク間距離をさらに近接させるために
は、サスペンション・システムが非常に小さい側面を有
することが重要である。ディスク間距離が非常に小さい
状況下では、ＨＧＡ(「ヘッド水平維持部材(Head Gimba
l Assembly)」)の正味の高さが、ディスク間距離以内に
適合するように十分小さくなければならない。ＨＧＡの
正味の高さは、スライダのエアベアリング面からスライ
ダより上のＨＧＡ形状の最も遠い位置までの距離として
規定される。例えば、予負荷を与えるための窪みを有す
る汎用的な２部品サスペンションにおいては、サスペン
ション側面が、フレクシャ結合パッドの厚さ、窪みの高
さ、ロード・ビームの厚さ、及び、ロード・ビーム支持
材すなわちフランジが（スライダより）上を向いている
場合はこれらの厚さを含んでいる。もちろん、フランジ
が下を向いている場合はサスペンション側面には含まれ
ない。正味の高さは、可能な限り薄いスライダを選択し
かつ信号ワイヤをサスペンションの上ではなく横に配線
することによって低減することができる。さらに、正味
の高さは、サスペンションの側面を改善することによっ
ても低減することができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、実質
的な予負荷を与えられる一体的フレクシャを具備したロ
ード・ビームを設けることにより、揺動を実質的に防止
しながらピッチ運動及びロール運動を可能とすることで
ある。本発明の更なる目的は、近接したディスク間距離
を適用する際に用いられる一体的フレクシャの側面を極
めて小さくすることである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成し、従
来技術の限界を克服するために、複数の積層したディス
クを有するディスク・ドライブ・システムにおいて、近
接したディスク間距離に適合するサスペンションを提供
する。例えば、本明細書に記載の一体的フレクシャを有
するサスペンション組部材（suspension assembly）
が、ディスク間の１．４mmの間隔内に適合し、各サスペ
ンションにつき０．２mmの組合せ間隙を有する。さら
に、予負荷の範囲を、６ｇ又はそれ以上に増すことがで
きる。ここに記載される小側面サスペンションは、型押
し窪みのもつ大きな予負荷の利点と、一体的フレクシャ
のもつ低コストの利点とを組み合わせたものである。揺
動剛性及び面内強度もまた、大きく改善される。
【００１３】これらの利点を得るために、ディスク・ド
ライブ・システムにおいてヘッド・サスペンション組部
材にロード・ビームが設けられる。ロード・ビームは、
変換器ヘッドとの結合のための一体的フレクシャと、ア
クチュエータ・アームとの結合のための本体とを有す
る。ロード・ビームの本体は、第１の延長部材と第２の
延長部材とを有する。一体的フレクシャに一対の屈曲バ
ーが設けられ、第１の屈曲バーは第１の延長部材に結合
され、そして第２の屈曲バーは第２の延長部材に結合さ
れる。一体的フレクシャは、一対の屈曲バーに接続され
るフロート・パッドを含む。このフロート・パッドに窪
みが形成され、下方へ延びている。捻れバーは、その第
１の側面がフロート・パッドへ接続され、その第２の側
面が結合パッドに接続される。結合パッドは、変換器ヘ
ッドと接続される下側の面を有する。好適には、捻れバ
ー及び屈曲バーは、例えば、部分的エッチングにより厚
さの薄い部分を有するように形成される。さらに好適に
は、屈曲バーが、Ｕ字形状を有する。変換器ヘッドは、
結合パッドと接続され、そして窪みの上に載置される。
動作の際には、捻れバーが捻れることにより変換器ヘッ
ドがロール運動を行うことができ、一方、屈曲バーはピ
ッチ運動を可能とする。この構造は高い揺動剛性が得ら
れるので、揺動は最小限となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面を参照して
好適例について詳述する。図面中、同様の符号は、同一
又は類似の要素を示している。本発明は、その目的を達
成するために最適な態様に関して説明されるが、当業者
であれば、これらの教示の見地から本発明の主旨を逸脱
することなく変形が可能であることは自明であろう。
【００１５】図１及び図２は、それぞれ、ディスク・ド
ライブ・システム１１０の側面図及び平面図である。デ
ィスク・ドライブ・システム１１０は、主軸１１４に装
着された複数の積層磁気記録ディスク１１２を有する。
ディスク１１２は、汎用的な粉体若しくは薄膜の記録デ
ィスクであり、又は他の実施形態においては、最近提示
された液体ベアリングディスクでもよい。主軸１１４
は、主軸１１４及びディスク１１２を回転させる主軸モ
ータ１１６へ取り付けられる。ハブ部材１３２は、アク
チュエータ軸１３０について回転し、複数のアクチュエ
ータ・アームを支持する。アクチュエータ・アーム１３
４の積層体を、「コーム(comb)」と称することがある。
ロータリー・ボイス・コイル・モータ１４０が、シャー
シ１２０及びアクチュエータ・アーム１３４の後背部に
取り付けられる。
【００１６】複数のヘッド・サスペンション組部材１５
０が、アクチュエータ・アーム１３４へ取り付けられ
る。これらのサスペンション組部材１５０の各々に、複
数の変換器ヘッド１５２が、それぞれ取り付けられる。
変換器ヘッド１５２は、ディスク１１２に近接して配置
されるので、動作中、読取り及び書込みのためにディス
ク１１２と電磁気的情報伝達を行う。ロータリー・ボイ
ス・コイル・モータ１４０は、ヘッド・サスペンション
組部材１５０をディスク１１２上の所望する径方向位置
に移動させるために、アクチュエータ軸１３０について
アクチュエータ・アーム１５０を回転させる。アクチュ
エータ軸１３０、ハブ部材１３２、アクチュエータ・ア
ーム１３４、及びロータリー・ボイス・コイル・モータ
１４０は、集合的にロータリー・アクチュエータ組部材
と称される。
【００１７】制御ユニット１６０は、システム１１０全
体を制御する。制御ユニット１６０は、通常、中央演算
処理装置（ＣＰＵ）、メモリ・ユニット、及び他のデジ
タル回路を含む（図示せず）が、これらの態様は、当業
者であればハードウェア・ロジックとしても実現可能で
あることは自明であろう。制御ユニット１６０は、アク
チュエータ制御／駆動ユニット１６６へ接続され、さら
にこのユニット１６６は、ロータリー・ボイス・コイル
・モータ１４０へ接続される。この構成により、制御ユ
ニット１６０が、ディスク１１２の回転を制御すること
ができる。ホスト・システム１８０は、通常、コンピュ
ータ・システムであり、制御ユニット１６０へ接続され
る。ホスト・システム１８０は、ディスク１１２上に記
憶するべきデジタル・データを制御ユニット１６０へ送
るか、又はディスク１１２上の指定場所のデジタル・デ
ータを読み取ってホスト・システム１８０へ送るように
要求する。ＤＡＳＤ装置の基本動作は、技術的に周知で
あり、詳細は「The MagneticRecording Handbook」(C.
Dennis Mee and Eric D. Daniel, McGraw-Hill Book Co
mpany, 1990)を参照されたい。
【００１８】図３は、一具体例のロード・ビーム１５０
の斜視図である。ロード・ビームは、一般的に平板構造
を有し、その板上には、例えばエッチング等により多く
の形状が形成されている。一端においてロード・ビーム
は、ベース部３００を有し、ここには、適宜の手段によ
りアクチュエータ・アーム１３４（図１及び図２参照）
へ接続するための開孔３０４を有する。例えば、アクチ
ュエータ・アーム１３４及びベース部３００対して、装
着板（図示せず）を設置することにより、ロード・ビー
ム１５０をアクチュエータ・アーム１３４へ接続するべ
く有効に支持する。この装着板は、好適には、例えばス
テンレス鋼等の剛体材料から作製され、そして開孔３０
４を通してアーム１３４の開孔（又は同等の取付部）へ
とスエージ(swage)接続によりアーム１３４へ取り付け
られる。この装着板とロード・ビーム１５０とは、複数
箇所の溶接により互いに取り付けることもできる。ロー
ド・ビーム１５０は、その中に形成された複数の孔３１
０、３１２及び３１４も有しており、これらの孔は、治
具処理、位置決め、及びロード・ビームに対するフレク
シャ配置の制御の目的のためである。
【００１９】フランジ３１６及び３１８は、ロード・ビ
ームに剛性を付与するために設けられ、それぞれロード
・ビームの長手方向の側縁に沿っている。特に、第１の
フランジ３１６は、ベース部３００から延びる第１の側
縁に沿って形成され、そして第２のフランジ３１８は、
ベース部３００から延びる第２の側縁に沿って形成され
る。図４は、ロード・ビーム１５０の側面図であり、第
１のフランジ３１６が描かれている。フランジ３１６及
び３１８は、汎用的には、例えば、型押しにより作製す
ることができる。
【００２０】ロード・ビーム１５０の第１の側縁と第２
の側縁は、先端へ向かって互いに接近しており、先端に
は、第１の側縁上に第１の延長部材３２０が、そして第
２の側縁上に第２の延長部材３２２が設けられる。延長
部材３２０及び３２２は、フレクシャ３３０へ接続さ
れ、フレクシャ３３０はロード・ビーム１５０と構造的
に一体化している。言い替えるならば、ロード・ビーム
内のフレクシャは、エッチング工程を利用して一枚の金
属板から形成される。好適には、フレクシャの形状は、
部分的にエッチングされる形状も含めて、ロード・ビー
ム上の他のエッチングされる形状と同じ工程においてエ
ッチングされる。
【００２１】図３を参照すると、一体的フレクシャ３３
０は、変換器ヘッド１５２へ結合される下面を有する結
合パッド３３２を具備する。捻れバー３３４は、結合パ
ッド３３２をフロート・パッド３３６と接続する。フロ
ート・パッド３３６は、下方へ延びる窪み３４０を有す
る。一対の屈曲バー３５０及び３５２は、フロート・パ
ッド３３６とロード・ビーム１５０の本体との間に形成
される。特に、第１の屈曲バー３５０は、ロード・ビー
ム１５０の第１の側縁上の第１の延長部材３２０へ接続
され、そして第２の屈曲バー３５２は、第２の側縁上の
第２の延長部材３２２へ接続される。一体的フレクシャ
３３０については、以下に図５乃至図７を参照して詳述
する。一体的フレクシャ３３０の別の具体例について
も、後出の図において説明する。
【００２２】図５、図６及び図７は、図３に示した一体
的フレクシャの好適例を示す図である。図５は、一体的
フレクシャ３３０の平面図、図６は、その中央に沿った
断面図、そして図７は、底面図である。
【００２３】図５では、変換器ヘッド１５２が破線で示
されており、一体的フレクシャ３３０に重なる位置にあ
る。変換器ヘッド１５２は、結合パッド３３２の下面に
対して接着等の適宜の手段で結合される。さらに変換器
ヘッド１５２は、窪み３４０の最下点上に載置される。
変換器ヘッドは、前述のようにロール運動及びピッチ運
動が可能である。図５は、ピッチ軸、ロール軸、及び揺
動軸の向きを示している。ロール運動は、ロード・ビー
ムの中央線及び変換器ヘッドの中央線をほぼ通るロール
軸５００により規定される。図示のように、ロール軸５
００は、ロール運動を可能とするように捻れる捻れバー
３３４と並んでいる。ピッチ軸５０２は、ロール軸に垂
直であるが、フレクシャの中間部面内にあるように規定
される。揺動軸５０４は、紙面から出て垂直に延びるよ
うに規定される。図５から明らかなように、ロール軸５
００は、捻れバー３３４にほぼ沿っている。
【００２４】動作において、変換器ヘッド１５２は、窪
み３４０上で転がることによりロール軸５００について
運動自在である。さらに、第１及び第２の屈曲バー３５
０及び３５２の可撓性により、ピッチ軸５０２に沿った
ピッチ運動が可能である。Ｕ字形状の屈曲バー３５０及
び３５２は、変換器ヘッドのほぼ中央に配置される。揺
動軸５０４についての運動が、設計の幾何学構造により
制限されることは有益である。特に、捻れバー３３４の
形状及び屈曲バー３５２のＵ字形状は、実質的に揺動を
抑止するよう互いに機能する。
【００２５】Ｕ字形状の屈曲バー３５０は、フロート・
パッド３３６から延びる真っ直ぐな部分５１０と、Ｕ字
形状の底を規定する曲がった部分５１２と、Ｕ字形状の
底５１２から第１の延長部材３６０へ延びる第２の真っ
直ぐな部分５１４とからなる。角度Ａは、中央線（汎用
的にロール軸５００）と、屈曲バー３５０の真っ直ぐな
部分５１０に平行に延びるライン５２０との間の角とし
て規定される。任意の設計において、この角度Ａは、揺
動及び接線の剛性を最適化するために調整することがで
きる。もちろん、この構造は中央線について対称である
ので、角度Ａの調整をする場合には、第２の屈曲バー３
５２についても行われることになる。
【００２６】図６の断面図及び図７の底面図は、選択さ
れた領域を部分的にエッチングすることにより形成され
るいくつかの形状を示している。従って、本来の厚さは
部分的に残っているのみである。特に、捻れバー３３４
には、捻れバー３３４の下面側を部分的にエッチングす
ることにより形成された部分的エッチング領域６００が
設けられる。エッチング工程及びエッチングされる領域
を制御することにより、捻れバー３３４により与えられ
る可撓性の程度を、所定の許容度内で慎重に制御するこ
とができる。通常、残される厚さは、元の厚さの約５０
％である。任意であるが、結合パッド３３２の領域内で
部分的にエッチングすることにより、接着ポケット６１
０を形成する。これにより、過剰な接着剤を捕捉するこ
とができると共に、変換器ヘッド１５２と結合パッド３
３２との間の良好な結合を実現できる。
【００２７】図５乃至図７に示した具体例においては、
窪み３４０が、金属を所望の形状に変形させる型押し工
程により形成される。結合パッド３３２は、捻れバーか
ら結合パッドへと下がる段差６２０を設けるために型押
しされる。これにより、結合パッドの下面６３０が、窪
み３４０の最下点６３２とほぼ同レベルに揃うことにな
る。型押し段差６２０の高さは、通常、０．０２５mmで
あり、これは約２度のピッチ運動及びロール運動の静止
高度を与えるに十分である。図１２及び図１３に示す別
の具体例では、結合パッドの型押しは不要である。
【００２８】図７では、屈曲バー３５０及び３５２は、
部分的エッチングにより形成された厚みの薄い領域を有
する。特に、第１の屈曲バー３５０に沿っての延びる領
域７００及び第２の屈曲バー３５２に沿って延びる領域
７０２は、それぞれ厚みの薄い領域を有する。厚みの薄
い領域７００及び７０２は、捻れバー領域６００及び接
着ポケット６１０の部分的エッチングと同時に行われる
部分的エッチング工程により形成できる。部分的にエッ
チングされた領域は、全て同じ厚さを有する。
【００２９】図８は、窪み３４０と変換器ヘッド１５２
との接触面における圧縮接触応力を示す計算値のグラフ
である。ここでは、最大圧縮応力が、窪みにおける力の
関数としてグラフ化されている。４本の別々の曲線は、
窪みの曲率半径を変化させた場合のヘッド材料及び窪み
材料の応力値に対する影響を示している。窪み自体はス
テンレス鋼から形成され、そしてヘッドはＮ５８等の合
金から形成されていると見なす。第１のグラフ曲線８０
０は、半径０．２５mmの窪み及びステンレス−Ｎ５８界
面において、窪みに適用される力の変化による圧縮応力
に対する影響を示す。グラフ曲線８１０は、同じく窪み
に適用される力と圧縮応力との関係を示すが、半径０．
２５mmの窪み及びステンレス−ステンレス界面における
ものである。同様に、第３のグラフ曲線８２０は、半径
０．５mmの窪み及びＮ５８−ステンレス界面における力
と圧縮応力との関係であり、第４のグラフ曲線８４０
は、半径０．５mmの窪み及びステンレス−ステンレス界
面におけるものである。
【００３０】この設計では、ステンレス−Ｎ５８界面が
最も大きな応力を生じているが、それでも尚、この応力
は、汎用的システムの応力よりは小さい。なぜなら、窪
みにおける力は予負荷全体の一部（約２０％）にすぎな
いからである。すなわち、変換器ヘッドと窪みとの間の
接触力は、比較的小さい。予負荷の力の残りの部分は、
結合パッドを通して伝達される。窪みにおける力を予負
荷の２０％に低減することには、さらに利点がある。な
ぜなら、一般的に点食及び故障の原因となる応力は、圧
縮力よりはむしろせん断力及び引張力だからである。図
８に示す圧縮応力に比べて、専断応力はその３３％であ
り、引張応力はその１３％である。変換器ヘッドと窪み
との間の腐食は、予負荷及び表面剛性に対して直接的に
比例する。スライダ材料はステンレス鋼よりも堅いの
で、摩耗と粒子生成が少なくなることが期待される。さ
らに、摩耗の観点から、ステンレス−Ｎ５８界面は、良
好な摩耗特性を有する。
【００３１】図９、図１０及び図１１は、一体的フレク
シャの別の具体例を示す図である。図９は平面図、図１
０は図９のラインに沿った断面図、そして図１１は底面
図である。図３乃至図７に示された一体的フレクシャと
比較すると、結合パッド及びフロート・パッドの位置が
逆になっている。図９の結合パッド９３０は、スライダ
の前方縁上に位置していることから、動作中に浮動高の
変動が少ないという利点がある。なぜなら、結合パッド
が、エアベアリング圧の少ない前方縁に位置しているの
で、エアベアリング面(ＡＢＳ)における歪みに対する浮
動高の感度が小さくなるからである。
【００３２】図９、図１０及び図１１を参照すると、フ
ロート・パッド９００は、屈曲バーを介してロード・ビ
ーム延長部材３６０及び３６２へ結合される。第１の屈
曲バー９１０は、フロート・パッド９００を第１の延長
部材３６０と結合し、第２の屈曲バー９１２は、フロー
ト・パッド９００を第２の延長部材３６２と結合する。
フロート・パッド９００は、下向きに形成された窪み９
０２を設けられる。捻れバー９２０は、フロート・パッ
ド９００を結合パッド９３０と結合している。組み立て
られたサスペンション・アームにおいては、変換器ヘッ
ド１５２が、適宜の接着剤又は他の手段により結合パッ
ドへ結合される。変換器ヘッド１５２は、窪み９０２の
下向きの先端９３２上に載置される。従って、動作中の
変換器ヘッド１５２は、必要に応じてピッチ運動及びロ
ール運動を自在に行える。捻れバー９２０が捻れること
により、変換器ヘッド１５２が窪み９０２の周りで旋回
したりロール運動したりできる。ピッチ運動を可能とす
るために、屈曲バー９１０及び９１２が変換器ヘッド１
５２を動かす。望ましくない揺動は、最小限となる。
【００３３】図１１を参照すると、幾つかの部分的エッ
チング領域が示され、各々、その厚さが薄くなってい
る。エッチング領域は、元の厚さの約５０％の残存厚み
を有する。第１及び第２の屈曲バー９１０及び９１２
は、それぞれ領域１１００及び１１０２の部分がエッチ
ングされて薄くされている。そして捻れバー９２０も、
剛性を低減するためにその領域１１１０において薄くさ
れている。結合パッド９３０内の段差９５０は、結合パ
ッド９３０の下面を窪みの最下点９３２と揃えるため
に、好適には、型押し工程により形成される。
【００３４】図１２及び図１３は、さらに別の具体例で
あり、フレクシャとスライダとの間に薄いスペーサ・シ
ート１２４０が設けられている。図１２では、フロート
・パッド１２００が、１対の屈曲バーによりロード・ビ
ーム本体に結合されている。第１のＵ字型屈曲バー１２
１０は、フロート・パッド１２００を、ロード・ビーム
本体から延びる第１の延長部材３６０と接続している。
第２の屈曲バー１２１０は、フロート・パッド１２００
を、ロード・ビーム本体から延びる第２の延長部材３６
２と接続している。結合パッド１２２０は、捻れバー１
２３０へ接続され、捻れバー１２３０はフロート・パッ
ド１２００へ接続されている。
【００３５】図１２及び図１３の双方を参照すると、ほ
ぼ三角形状のスペーサ・シート１２４０が、接着又はス
ポット溶接等の汎用的手段により結合パッド１２２０へ
接続される。フロート・パッド１２００には、下面の部
分的エッチングにより形成された窪み１２５０が設けら
れる。この部分的エッチングにより、型押し工程を避け
ることができるという利点があり、すなわち窪みを型押
しする必要もなく、結合パッドに段差を形成する必要も
ない。なぜなら、窪み１２５０の最下点は、既に、結合
パッド１２２０の最下点１２６０と揃っているからであ
る。スペーサ・シート１２４０は、ほぼ平坦で均一な厚
さを有する。他の具体例と同様に、捻れバー１２３０
は、その特性を向上させるために、厚さの薄い部分的に
エッチングされた領域１２３２を有する。
【００３６】スペーサ・シート１２４０には、窪みとス
ライダとの間の接触を避けられるという利点がある。さ
らに、窪みが、型押しによるのではなくエッチングによ
るので、窪みの先端が結合パッドと同レベルに揃うよう
に窪みを型押し成形する必要がない（図３乃至図７及び
図９乃至図１１の具体例では必要である）。しかしなが
ら、スペーサ・シート１２４０を用いると、厚み及び工
程が加算されるので、この具体例の正味の高さは、前述
の具体例とほぼ同じとなる。
【００３７】図１４、図１５及び図１６は、一体的フレ
クシャを有するロード・ビームの一具体例を示す。サス
ペンション・アーム１４００を形成するためにラミネー
ト材料が用いられる。特に、ロード・ビーム１４１０及
び一体的フレクシャ１４２０が、ラミネート材料で形成
される。スライダ・サスペンション・システムを構成す
るためにラミネート材料を用いることは、周知の技術で
ある。例えば、米国特許第４９９６６２３号（Erpeldin
gら、１９９１年２月２６日特許）には、２つの金属層
（支持のための上層と導電性のための下層）に挟まれた
ポリアミドの中間層を有するサスペンション・システム
が開示されている。米国特許第５１４５５５３号（A.A.
Albrechtら、１９９２年９月８日特許）は、金属層の１
つが銅／鉄／亜鉛／ベリリウム銅等の導電体からなるも
のを開示している。この導電体層を用いると、ディスク
・ドライブ内のヘッド組部材用の個別リード線を、導電
体層から形成される一体化リードにより置き換えること
ができる。例えば、上記米国特許第４９９６６２３号で
は、スライダを電気的に接続するためにサスペンション
・アームの銅層に形成される複数の導電体を開示してい
る。
【００３８】上記中間層において、ポリアミドは誘電体
として作用するので、テフロンやエポキシ等の他の任意
の電気的絶縁材料を用いることができる。支持層は、ス
テンレス鋼等の剛体材料とすることができる。導電体層
は、高強度銅を用いることができる。このようなラミネ
ート構造により、製造工程を簡略化し、ヘッド水平維持
部材のサイズを縮小することができる利点がある。
【００３９】図１４では、本体１４１０が、導電体層に
形成された複数の一体化導電体１４１２を有する。図示
のとおり、一体化導電体１４１２が、本体の両側に沿っ
て形成される。一体的フレクシャ１４２０を、図１５及
び図１６にさらに詳細に示す。本体同様に結合パッド
は、ステンレス鋼支持層１５０２、誘電体層１５０４、
及び銅導電体層１５０６を有する。配線は、結合パッド
１５００内の銅層の適宜部分に設置される。
【００４０】捻れバー１５２０は、結合パッド１５００
へ接続される。捻れバー１５２０は、フレクシャ１４２
０の中央線に沿って延びるように規定された中央線１５
２２２平行に延びる。捻れバー１５２０は、結合パッド
１５００をフロート・パッド１５３０と接続し、フロー
ト・パッド１５３０内には、窪み１５３２が型押しされ
て下に出ている。一対の屈曲バーが、フロート・パッド
１５３０をロード・ビーム１４１０の本体に接続する。
Ｕ字形状を有する第１の屈曲バー１５４０は、フロート
・パッド１５３０を、ロード・ビームの第１の延長部材
１５５０へ接続し、第２のＵ字形状を有する屈曲バー１
５４２は、フロート・パッド１５３０を、ロード・ビー
ムの第２の延長部材１５５２へ接続する。
【００４１】図１６の展開図は、スライダすなわち変換
器ヘッド１５２に関係するフレクシャ１４２０の断面を
示す。組み立てられたとき、変換器ヘッド１５２は、窪
み１５３２の最下点１６００上に直接載置される。誘電
体層１５０４及び導電体層１５０６の幅は、変換器ヘッ
ド１５２と窪み１６００とをほぼ水平にするために十分
な大きさであり、よって結合パッドの型押しや他の成形
は不要となる。なぜなら、誘電体層及び銅層は、共に結
合パッドから変換器ヘッドを十分に離隔することにより
それをほぼ水平にしているからである。
【００４２】捻れバー１５２０は、領域１６１０におい
てその上面から部分的にエッチングされる。これは、他
の具体例における下面からの部分的エッチングと異な
る。屈曲バー１５４０及び１５４２（図１５参照）もま
た、その上面から部分的にエッチングされる。部分的に
エッチングされた領域の厚さは、元の厚さの約５０％で
ある。
【００４３】一体的フレクシャ１４２０は、図３乃至図
７に開示されたものと基本的に同じ構成を有し、そして
同様の原理に従って動作する。スライダ組部材は、所定
の範囲内で必要に応じて、捻れバー１５２０により窪み
１５３２の周りでロール運動することができ、そして屈
曲バー１５４０及び１５４２によりピッチ運動すること
ができる。さらに、望ましくない揺動は、最小限とされ
る。
【００４４】以上の教示の見地により、当業者であれば
本発明の他の具体例及び変形が可能であろう。従って、
本発明は、そのような全ての他の具体例及び変形を含む
ものとする。
【００４５】まとめとして、本発明の構成に関して、以
下の事項を開示する。
【００４６】（１）ディスク・ドライブ・システムのヘ
ッド・サスペンション組部材において、変換器ヘッドを
結合する一体的フレクシャと、アクチュエータ・アーム
へ結合される本体とを有するロード・ビームであって、
前記本体へ接続される第１の屈曲バー及び第２の屈曲バ
ーを含む一対の屈曲バーと、前記一対の屈曲バーへ接続
されかつ窪みをもつフロート・パッドと、前記フロート
・パッドへ接続される捻れバーと、前記捻れバーへ接続
されかつ前記変換器ヘッドを結合する結合パッドとを有
するロード・ビーム。 （２）前記ロード・ビームが、ベース部から先端部へ向
かって延びる中央線を規定し、前記捻れバーが該中央線
に沿って設けられる上記（１）に記載のロード・ビー
ム。 （３）前記捻れバーが、厚さの薄い部分を有する上記
（２）に記載のロード・ビーム。 （４）前記中央線に垂直にかつ前記ロード・ビームの面
内にピッチ運動軸が規定され、前記屈曲バーが、該ピッ
チ運動軸について曲がることが可能なＵ字形状を有する
上記（１）に記載のロード・ビーム。 （５）前記第１及び第２の屈曲バーが、厚さの薄い部分
を有する上記（４）に記載のロード・ビーム。 （６）前記窪みがその下面の最下点を規定し、前記結合
パッドが該最下点とほぼ揃った下側の平坦な面を有する
上記（１）に記載のロード・ビーム。 （７）前記下側の平坦な面が、その中に設けられた接着
ポケットを有する上記（６）に記載のロード・ビーム。 （８）前記本体が、前記第１の屈曲バーへ接続される第
１の延長部材と、前記第２の屈曲バーへ接続される第２
の延長部材とを有する上記（１）に記載のロード・ビー
ム。 （９）ディスク・ドライブ・システムのヘッド・サスペ
ンション組部材において、変換器ヘッドを結合する一体
的フレクシャと、アクチュエータ・アームへ結合される
本体とを有するロード・ビームであって、前記本体へ接
続される第１のＵ字形状の屈曲バー及び第２のＵ字形状
の屈曲バーを含む一対の屈曲バーと、前記一対の屈曲バ
ーへ接続されかつ窪みをもつフロート・パッドと、捻れ
バーへ接続されかつ前記変換器ヘッドを結合する下面を
もつ結合パッドと、前記フロート・パッドへ接続され、
それにより前記変換器ヘッドが前記結合パッドへ結合さ
れるとき該変換器ヘッドの一部が該フロート・パッド上
の前記窪み上に載置されて該窪みの周りで運動可能とな
る捻れバーとを有するロード・ビーム。 （１０）前記結合パッドの前記下面が前記変換器ヘッド
を結合するために実質的に平坦な面を有し、該平坦な面
が前記窪みの下面上に設けられた最下点とほぼ揃うこと
により、該変換器ヘッドが該平坦な面に結合されかつ該
窪み上に載置されるとき該変換器ヘッドがピッチ運動及
びロール運動を自在に行える上記（９）に記載のロード
・ビーム。 （１１）前記変換器ヘッドが前記一体的フレクシャに結
合されるとき、ロール軸を規定し、前記捻れバーが実質
的に該ロール軸と並んでいる上記（９）に記載のロード
・ビーム。 （１２）前記結合パッドが下側の平坦な面と、その中に
設けられた接着ポケットとを有する上記（９）に記載の
ロード・ビーム。 （１３）前記本体が、前記第１の屈曲バーへ接続された
第１の延長部材と、前記第２の屈曲バーへ接続された第
２の延長部材とを有する上記（９）に記載のロード・ビ
ーム。 （１４）前記屈曲バーの各々が厚さの薄い領域を含み、
該捻れバーが厚さの薄い領域を含む上記（９）に記載の
ロード・ビーム。 （１５）ディスク・ドライブ・システムのヘッド・サス
ペンション組部材において、変換器ヘッドを結合する一
体的フレクシャと、該一体的フレクシャを支持する実質
的に平坦な本体とを有するロード・ビームであって、前
記本体から延びる第１の延長部材及び第２の延長部材
と、前記第１の延長部材へ接続される第１の屈曲バー及
び前記第２の延長部材へ接続される第２の屈曲バーを含
みかつ該屈曲バーの各々が部分的にエッチングされた厚
さの薄い領域をもつ一対のＵ字形状の屈曲バーと、前記
一対の屈曲バーへ接続され、前記第１の延長部材と前記
第２の延長部材の間に位置し、かつ前記変換器ヘッドと
接触する最下点をもつ下方に延びる窪みをもつフロート
・パッドと、前記第１の屈曲バーと前記第２の屈曲バー
のほぼ中央にある前記フロート・パッドから延びてお
り、部分的にエッチングされた厚さの薄い領域をもつ捻
れバーと、前記捻れバーへ接続されかつ前記変換器ヘッ
ドを結合する下面をもつ結合パッドとを有するロード・
ビーム。 （１６）前記結合パッドの前記下面が前記変換器ヘッド
を結合する実質的に平坦な面を有し、該平坦な面が前記
窪みに設けられた最下点とほぼ揃うことにより、該変換
器ヘッドが該平坦な面に結合されかつ該窪み上に載置さ
れるとき該窪みが予負荷を与えると共に該変換器ヘッド
がピッチ運動及びロール運動を自在に行える上記（１
５）に記載のロード・ビーム。 （１７）ディスク・ドライブ・システムにおけるヘッド
・サスペンション組部材であって、変換器ヘッドと、前
記変換器ヘッドを結合し、該変換器ヘッドを結合する一
体的フレクシャとアクチュエータ・アームへ結合される
本体とを具備するロードビームとを有し、上記フレクシ
ャが、前記本体へ接続される第１の屈曲バー及び第２の
屈曲バーを含む一対の屈曲バーと、前記一対の屈曲バー
へ接続されかつ前記変換器ヘッドと接触する下方へ延び
る窪みを設けたフロート・パッドと、前記フロート・パ
ッドへ接続される捻れバーと、前記捻れバーへ接続され
かつ前記変換器ヘッドを結合する下面をもつ結合パッド
とを有するヘッド・サスペンション組部材。 （１８）前記ロード・ビームが、ベース部から先端部へ
延びる中央線を規定し、前記捻れバーが該中央線に沿っ
て設けられる上記（１７）に記載のヘッド・サスペンシ
ョン組部材。 （１９）ディスク・ドライブ装置のアクチュエータ軸上
に装着するアクチュエータ組部材であって、前記アクチ
ュエータ軸へ結合される複数のアクチュエータ・アーム
とハブ部材とを具備するコーム・ユニットと、前記複数
のアクチュエータ・アームの１つへ各々結合される複数
のヘッド・サスペンション組部材とを有し、前記ヘッド
・サスペンション組部材の各々が、変換器ヘッドと、該
変換器ヘッドを結合する第１の端部及び該アクチュエー
タ・アームへ結合される第２の端部をもつロード・ビー
ムとを有し、前記ロード・ビームが、該変換器ヘッドを
結合する一体化フレクシャと、該アクチュエータ・アー
ムへ結合される本体とを有し、さらに、前記本体へ接続
される第１の屈曲バー及び第２の屈曲バーを含む一対の
屈曲バーと、前記一対の屈曲バーへ接続されかつ前記変
換器ヘッドと接触する下方へ延びる窪みを設けたフロー
ト・パッドと、前記フロート・パッドへ接続される捻れ
バーと、前記捻れバーへ接続されかつ前記変換器ヘッド
を結合する下面をもつ結合パッドとを有するアクチュエ
ータ組部材。 （２０）前記ロード・ビームが、ベース部から先端部へ
延びる中央線を規定し、前記捻れバーが該中央線に沿っ
て設けられる上記（１９）に記載のアクチュエータ組部
材。 （２１）ディクス・ドライブ装置であって、マスタ制御
ユニットと、前記マスタ制御ユニットへ結合される主軸
駆動コントローラと、前記主軸駆動コントローラへ電気
的に結合される複数の積層磁気ディスクと、前記マスタ
制御ユニットへ電気的に結合される変換器ヘッドと、前
記マスタ制御ユニットへ結合されるアクチュエータ駆動
コントローラと、前記アクチュエータ駆動コントローラ
へ結合されるアクチュエータ軸と、前記アクチュエータ
軸へ結合されるアクチュエータ組部材とを有し、該アク
チュエータ組部材が、前記アクチュエータ軸へ結合され
る複数のアクチュエータ・アームとハブ部材とを具備す
るコーム・ユニットと、前記複数のアクチュエータ・ア
ームの１つへ各々結合される複数のヘッド・サスペンシ
ョン組部材とを有し、前記ヘッド・サスペンション組部
材の各々が、変換器ヘッドと、該変換器ヘッドを結合す
る第１の端部及び該アクチュエータ・アームへ結合され
る第２の端部をもつロード・ビームとを有し、前記ロー
ド・ビームが、該変換器ヘッドを結合する一体化フレク
シャと、該アクチュエータ・アームへ結合される本体と
を有し、さらに、前記本体へ接続される第１の屈曲バー
及び第２の屈曲バーを含む一対の屈曲バーと、前記一対
の屈曲バーへ接続されかつ前記変換器ヘッドと接触する
下方へ延びる窪みを設けたフロート・パッドと、前記フ
ロート・パッドへ接続される捻れバーと、前記捻れバー
へ接続されかつ前記変換器ヘッドを結合する下面をもつ
結合パッドとを有するディスク・ドライブ装置。（２
２）前記ロード・ビームが、ベース部から先端部へ延び
る中央線を規定し、前記捻れバーが該中央線に沿って設
けられる請求項２１に記載のディスク・ドライブ装置。
【図面の簡単な説明】
【図１】ディスク・ドライブ・システム及び制御ユニッ
トの側面図及び構成図である。
【図２】ディスク・ドライブ・システムの平面図であ
る。
【図３】一体的フレクシャを有するロード・ビーム及び
これに結合される変換器ヘッドの斜視図である。
【図４】支持フランジを示す図３のロードビームの側面
図である。
【図５】一体的フレクシャの好適例の平面図である。
【図６】図５の一体的フレクシャの中央線の断面図であ
る。
【図７】部分的にエッチングされた領域を示す図５及び
図６の一体的フレクシャの底面図である。
【図８】２種の曲率半径についてのステンレス鋼の窪み
と、Ｎ５８又はステンレス鋼の変換器ヘッドとの界面に
おける接触の圧縮応力の関係を示すグラフである。
【図９】一体的フレクシャの別の具体例を示す平面図で
ある。
【図１０】図９の別の具体例の断面図である。
【図１１】部分的エッチング領域を示す図９の別の具体
例の底面図である。
【図１２】スペーサ及びエッチング窪みを利用する一体
的フレクシャのさらに別の具体例を示す図である。
【図１３】図１２の別の具体例の中央線に沿った断面図
である。
【図１４】一体化リード配線を設けたラミネート・ロー
ド・ビームから形成された一体的フレクシャをもつロー
ド・ビームの図である。
【図１５】ラミネートされた組部材における一体化リー
ド線を有する図１４の別の具体例の平面図である。
【図１６】変換器ヘッドも共に示した図１４及び図１５
のラミネートされた組部材の展開断面図である。
【符号の説明】
１３４ アクチュエータ・アーム １５０ ロード・ビーム １５２ 変換器ヘッド ３００ ベース部 ３０４ 開孔 ３１６、３１８ フランジ ３２０ 第１の延長部材 ３２２ 第２の延長部材 ３３０ フレクシャ ３３２ 結合パッド ３３４ 捻れバー ３３６ フロート・パッド ３４０ 窪み ３５０ 第１の屈曲バー ３５２ 第２の屈曲バー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−73625（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−272426（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−244826（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−29131（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 21/16 - 21/26 G11B 5/56 - 5/60 G11B 17/32 - 17/34

Claims (22)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ディスク・ドライブ・システムのヘッド・
    サスペンション組部材において、変換器ヘッドを結合す
    る一体的フレクシャと、アクチュエータ・アームへ結合
    される本体とを有するロード・ビームであって、 前記本体へ接続される第１の屈曲バー及び第２の屈曲バ
    ーを含む一対の屈曲バーと、 前記一対の屈曲バーへ接続されかつ窪みをもつフロート
    ・パッドと、 前記フロート・パッドへ接続される捻れバーと、 前記捻れバーへ接続されかつ前記変換器ヘッドを結合す
    る結合パッドとを有するロード・ビーム。
  2. 【請求項２】前記ロード・ビームが、ベース部から先端
    部へ向かって延びる中央線を規定し、前記捻れバーが該
    中央線に沿って設けられる請求項１に記載のロード・ビ
    ーム。
  3. 【請求項３】前記捻れバーが、厚さの薄い部分を有する
    請求項２に記載のロード・ビーム。
  4. 【請求項４】前記中央線に垂直にかつ前記ロード・ビー
    ムの面内にピッチ運動軸が規定され、前記屈曲バーが、
    該ピッチ運動軸について曲がることが可能なＵ字形状を
    有する請求項１に記載のロード・ビーム。
  5. 【請求項５】前記第１及び第２の屈曲バーが、厚さの薄
    い部分を有する請求項４に記載のロード・ビーム。
  6. 【請求項６】前記窪みがその下面の最下点を規定し、前
    記結合パッドが該最下点とほぼ揃った下側の平坦な面を
    有する請求項１に記載のロード・ビーム。
  7. 【請求項７】前記下側の平坦な面が、その中に設けられ
    た接着ポケットを有する請求項６に記載のロード・ビー
    ム。
  8. 【請求項８】前記本体が、前記第１の屈曲バーへ接続さ
    れる第１の延長部材と、前記第２の屈曲バーへ接続され
    る第２の延長部材とを有する請求項１に記載のロード・
    ビーム。
  9. 【請求項９】ディスク・ドライブ・システムのヘッド・
    サスペンション組部材において、変換器ヘッドを結合す
    る一体的フレクシャと、アクチュエータ・アームへ結合
    される本体とを有するロード・ビームであって、 前記本体へ接続される第１のＵ字形状の屈曲バー及び第
    ２のＵ字形状の屈曲バーを含む一対の屈曲バーと、 前記一対の屈曲バーへ接続されかつ窪みをもつフロート
    ・パッドと、 捻れバーへ接続されかつ前記変換器ヘッドを結合する下
    面をもつ結合パッドと、 前記フロート・パッドへ接続され、それにより前記変換
    器ヘッドが前記結合パッドへ結合されるとき該変換器ヘ
    ッドの一部が該フロート・パッド上の前記窪み上に載置
    されて該窪みの周りで運動可能となる捻れバーとを有す
    るロード・ビーム。
  10. 【請求項１０】前記結合パッドの前記下面が前記変換器
    ヘッドを結合するために実質的に平坦な面を有し、該平
    坦な面が前記窪みの下面上に設けられた最下点とほぼ揃
    うことにより、該変換器ヘッドが該平坦な面に結合され
    かつ該窪み上に載置されるとき該変換器ヘッドがピッチ
    運動及びロール運動を自在に行える請求項９に記載のロ
    ード・ビーム。
  11. 【請求項１１】前記変換器ヘッドが前記一体的フレクシ
    ャに結合されるとき、ロール軸を規定し、前記捻れバー
    が実質的に該ロール軸と並んでいる請求項９に記載のロ
    ード・ビーム。
  12. 【請求項１２】前記結合パッドが下側の平坦な面と、そ
    の中に設けられた接着ポケットとを有する請求項９に記
    載のロード・ビーム。
  13. 【請求項１３】前記本体が、前記第１の屈曲バーへ接続
    された第１の延長部材と、前記第２の屈曲バーへ接続さ
    れた第２の延長部材とを有する請求項９に記載のロード
    ・ビーム。
  14. 【請求項１４】前記屈曲バーの各々が厚さの薄い領域を
    含み、該捻れバーが厚さの薄い領域を含む請求項９に記
    載のロード・ビーム。
  15. 【請求項１５】ディスク・ドライブ・システムのヘッド
    ・サスペンション組部材において、変換器ヘッドを結合
    する一体的フレクシャと、該一体的フレクシャを支持す
    る実質的に平坦な本体とを有するロード・ビームであっ
    て、 前記本体から延びる第１の延長部材及び第２の延長部材
    と、 前記第１の延長部材へ接続される第１の屈曲バー及び前
    記第２の延長部材へ接続される第２の屈曲バーを含みか
    つ該屈曲バーの各々が部分的にエッチングされた厚さの
    薄い領域をもつ一対のＵ字形状の屈曲バーと、 前記一対の屈曲バーへ接続され、前記第１の延長部材と
    前記第２の延長部材の間に位置し、かつ前記変換器ヘッ
    ドと接触する最下点をもつ下方に延びる窪みをもつフロ
    ート・パッドと、 前記第１の屈曲バーと前記第２の屈曲バーのほぼ中央に
    ある前記フロート・パッドから延びており、部分的にエ
    ッチングされた厚さの薄い領域をもつ捻れバーと、 前記捻れバーへ接続されかつ前記変換器ヘッドを結合す
    る下面をもつ結合パッドとを有するロード・ビーム。
  16. 【請求項１６】前記結合パッドの前記下面が前記変換器
    ヘッドを結合する実質的に平坦な面を有し、該平坦な面
    が前記窪みに設けられた最下点とほぼ揃うことにより、
    該変換器ヘッドが該平坦な面に結合されかつ該窪み上に
    載置されるとき該窪みが予負荷を与えると共に該変換器
    ヘッドがピッチ運動及びロール運動を自在に行える請求
    項１５に記載のロード・ビーム。
  17. 【請求項１７】ディスク・ドライブ・システムにおける
    ヘッド・サスペンション組部材であって、 変換器ヘッドと、 前記変換器ヘッドを結合し、該変換器ヘッドを結合する
    一体的フレクシャとアクチュエータ・アームへ結合され
    る本体とを具備するロードビームとを有し、上記フレク
    シャが、 前記本体へ接続される第１の屈曲バー及び第２の屈曲バ
    ーを含む一対の屈曲バーと、 前記一対の屈曲バーへ接続されかつ前記変換器ヘッドと
    接触する下方へ延びる窪みを設けたフロート・パッド
    と、 前記フロート・パッドへ接続される捻れバーと、 前記捻れバーへ接続されかつ前記変換器ヘッドを結合す
    る下面をもつ結合パッドとを有するヘッド・サスペンシ
    ョン組部材。
  18. 【請求項１８】前記ロード・ビームが、ベース部から先
    端部へ延びる中央線を規定し、前記捻れバーが該中央線
    に沿って設けられる請求項１７に記載のヘッド・サスペ
    ンション組部材。
  19. 【請求項１９】ディスク・ドライブ装置のアクチュエー
    タ軸上に装着するアクチュエータ組部材であって、 前記アクチュエータ軸へ結合される複数のアクチュエー
    タ・アームとハブ部材とを具備するコーム・ユニット
    と、 前記複数のアクチュエータ・アームの１つへ各々結合さ
    れる複数のヘッド・サスペンション組部材とを有し、 前記ヘッド・サスペンション組部材の各々が、変換器ヘ
    ッドと、該変換器ヘッドを結合する第１の端部及び該ア
    クチュエータ・アームへ結合される第２の端部をもつロ
    ード・ビームとを有し、 前記ロード・ビームが、該変換器ヘッドを結合する一体
    化フレクシャと、該アクチュエータ・アームへ結合され
    る本体とを有し、さらに、 前記本体へ接続される第１の屈曲バー及び第２の屈曲バ
    ーを含む一対の屈曲バーと、 前記一対の屈曲バーへ接続されかつ前記変換器ヘッドと
    接触する下方へ延びる窪みを設けたフロート・パッド
    と、 前記フロート・パッドへ接続される捻れバーと、 前記捻れバーへ接続されかつ前記変換器ヘッドを結合す
    る下面をもつ結合パッドとを有するアクチュエータ組部
    材。
  20. 【請求項２０】前記ロード・ビームが、ベース部から先
    端部へ延びる中央線を規定し、前記捻れバーが該中央線
    に沿って設けられる請求項１９に記載のアクチュエータ
    組部材。
  21. 【請求項２１】ディクス・ドライブ装置であって、 マスタ制御ユニットと、 前記マスタ制御ユニットへ結合される主軸駆動コントロ
    ーラと、 前記主軸駆動コントローラへ電気的に結合される複数の
    積層磁気ディスクと、 前記マスタ制御ユニットへ電気的に結合される変換器ヘ
    ッドと、 前記マスタ制御ユニットへ結合されるアクチュエータ駆
    動コントローラと、 前記アクチュエータ駆動コントローラへ結合されるアク
    チュエータ軸と、 前記アクチュエータ軸へ結合されるアクチュエータ組部
    材とを有し、該アクチュエータ組部材が、 前記アクチュエータ軸へ結合される複数のアクチュエー
    タ・アームとハブ部材とを具備するコーム・ユニット
    と、 前記複数のアクチュエータ・アームの１つへ各々結合さ
    れる複数のヘッド・サスペンション組部材とを有し、 前記ヘッド・サスペンション組部材の各々が、変換器ヘ
    ッドと、該変換器ヘッドを結合する第１の端部及び該ア
    クチュエータ・アームへ結合される第２の端部をもつロ
    ード・ビームとを有し、 前記ロード・ビームが、該変換器ヘッドを結合する一体
    化フレクシャと、該アクチュエータ・アームへ結合され
    る本体とを有し、さらに、 前記本体へ接続される第１の屈曲バー及び第２の屈曲バ
    ーを含む一対の屈曲バーと、 前記一対の屈曲バーへ接続されかつ前記変換器ヘッドと
    接触する下方へ延びる窪みを設けたフロート・パッド
    と、 前記フロート・パッドへ接続される捻れバーと、 前記捻れバーへ接続されかつ前記変換器ヘッドを結合す
    る下面をもつ結合パッドとを有するディスク・ドライブ
    装置。
  22. 【請求項２２】前記ロード・ビームが、ベース部から先
    端部へ延びる中央線を規定し、前記捻れバーが該中央線
    に沿って設けられる請求項２１に記載のディスク・ドラ
    イブ装置。
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